Spectrométrie AUGER (AES:
Auger electron spectroscopy))
La spectroscopie des électrons Auger consiste en l’analyse de l’énergie cinétique émis par
un échantillon irradiée par une énergie primaire. Les pics d’énergie d’électrons Auger sont
caractéristiques d’un atome ou d’une molécule et sont indépendants de l’énergie des
électrons incidents..
Le pouvoir de pénétration, du faisceau incident, dans le métal est inférieur à 1 µm. Un
premier électron d’une couche interne des nuages atomiques est arraché par suite d'une
collision avec une particule incidente dont l'énergie est supérieure à 708 eV (typiquement
entre 1 kev et 1.5 keV); c’est un électron photoémis XPS.
Ensuite, un atome peut se désexciter de deux manières différentes: soit par émission d'une
radiation (mode radiatif: XRF), soit par largage d'un autre électron (mode non radiatif)
appelé électron AUGER dont l’énergie est caractéristique du matériau..
Émission radiative: XRF
Émission non radiative: Auger
Électron Auger
Source d’électrons
Les électrons AUGER ont une énergie de l’ordre d’une dizaines d’eV, viennent d'une
profondeur supérieure ou égale à quelques angströms, et sont donc sensible aux liaisons
chimiques. L’analyse chimique est souvent limitée aux éléments légers puisque
généralement les éléments lourds produisent des photons X.
La spectroscopie Auger est le complément de l’XPS et est utilisé pour l’analyse chimique
d’une surface
Un faisceau d'électron d'énergie de l'ordre de 1000 eV est focalisé sur la surface à étudier.
Ce faisceau crée une lacune électronique dans un atome de la surface situé sur le niveau
d'énergie EA. Cette lacune est remplie par un électron du niveau B. L'énergie restante
EA – EB, est utilisée pour expulser un électron du niveau C. C'est cet électron dont on
Ecin = EA – EB – EC – φ
mesure l'énergie cinétique qui vaut :
φ l'énergie travail de sortie de l’analyseur EV - EF ~ 4,5 ev
La spectroscopie AUGER nécessite l'ultravide (environ 10 -8 Torr) pour éviter la
contamination. L'échantillon étudié doit donc supporter l'ultravide et être propre, ce qui
nécessite une préparation de la surface in situ par décapage ionique.
Nomenclature des transitions Auger:
Exemple de calcul.
EL2,3M1M 2,3 E L2,3 EM1 EM 2,3 99 8 3 88 ev
Allure du spectre AES
On représente le nombre d’électron N(E) ou la dérivé première dN(E)/dE en
fonction de l’énergie des électrons.
Spectre du cadmium montrant les multiplets
Analyse élementaire
L’intensité du signal Auger d’un élément A est lié à l’intensité incidente, la profondeur
d’échappement, l’angle d’observation.
IA(ABC) = Ip T CA(x,y, d) PA (ABC) P(mat,d) A(Ep, n,l) (1 + R)
I I 0 (1 R) exp(z / cos ))
Dans la pratique, on utilise le ASF pour quantifier. Tel que:
I mesuré
Ca
ASF
I A ASFB
L’analyse quantitative relative: CA / CB
I B ASFA
La composition d’un élément X dans la surface est donnée par:
I X / ASFX
CX
I i / ASFi
Exemple d’application
Intensités ASF
Cr pic à 529 eV: 4.7 0.32
Fe pic à 703 eV: 10.1 0.20
Ni pic à 848 eV: 1.5 0.27
%Fe= 71, %Cr = 21 et % Ni = 8
On peut utilisé un standard pour déterminer la quantité d’un élément présent dans
une surface.
N I (Z) (ABC) (1 R )
inc inc s s
x x x B
N I (Z) (ABC) (1 R )
s
x
s
x
inc
x
inc
B
Effet de l’environnement et l’oxydation
Si-Si
Si-H
Si-N
Si-O
Questions que XPs et AES permettent de renseigner :
- Quels éléments sont présents en surface ?
- Quel est leur état chimique ?
- Combien de chaque composé est présent en surface?
- Quelle est la distribution spatiale 3D ?
- Y-a-t-il un film mince en surface ?
- Si oui, quelle est son épaisseur ? Est-elle uniforme ? Quelle est la distribution
chimique dans cette couche ?
