Production du vide

par Jean LECLERC

Ingénieur de l’École supérieure de chimie industrielle de Lyon
Docteur 3e cycle chimie minérale et structurale
Consultant

1. Rôle d’une pompe à vide........................................................................ BM 4 270 - 3

2. Classification des pompes à vide ........................................................ — 4
3. Caractérisation des pompes à vide..................................................... — 5
3.1 Pression limite d’aspiration ........................................................................ — 6
3.2 Débit-volume ou vitesse de pompage ....................................................... — 6
3.3 Taux de compression .................................................................................. — 8
3.4 Pression critique de refoulement ............................................................... — 9
3.5 Pression de refoulement maximal ............................................................. — 9
3.6 Puissance d’aspiration ................................................................................ — 9
3.7 Rétrodiffusion d’huile et contamination .................................................... — 10
3.8 Pression maximale tolérable d’aspiration de vapeur d’eau et charge
tolérable de vapeur d’eau ........................................................................... — 10
3.9 Autres caractéristiques................................................................................ — 11
4. Mesures des caractéristiques d’une pompe à vide ........................ — 12
4.1 Mesure du débit-volume............................................................................. — 12
4.2 Mesure de la pression limite ...................................................................... — 14
4.3 Mesures des autres caractéristiques.......................................................... — 14
5. Aspects énergétiques de la mise en vide.......................................... — 14
5.1 Action sur les installations existantes........................................................ — 15
5.2 Conception d’installations nouvelles et réingénierie ............................... — 16
6. Huiles pour pompes à vide .................................................................... — 17
6.1 Propriétés des huiles de pompes à vide.................................................... — 17
6.2 Différentes huiles utilisables dans les pompes à vide.............................. — 19
6.3 Vieillissement de l’huile .............................................................................. — 19
6.4 Régénération de l’huile ............................................................................... — 20
6.5 Problèmes de sécurité................................................................................. — 21
6.6 Considérations économiques ..................................................................... — 21
6.7 Conclusion.................................................................................................... — 21
Doc. BM
Pour en savoir plus ........................................................................................... 4 270

es techniques d’élaboration de produits et de matériaux qui font appel au

L « vide » sont de plus en plus nombreuses. Ces techniques (comme la distilla-
tion sous vide ou la fabrication des tubes de télévision), sorties des laboratoires
depuis longtemps, utilisent les basses pressions (terme plus exact que le terme
vide qui engendre toujours des difficultés de compréhension entre utilisateurs et
constructeurs) car le domaine couvre treize décades de l’atmosphère (103 hPa à
10 −10 hPa). Comme dans tous les domaines industriels, la course au rendement
et à l’efficacité de la production a généré des besoins en pompes à vide de plus
en plus spécifiques. Les volumes à pomper, les pressions à obtenir pour le bon
déroulement des procédés, les débits-volumes des pompes nécessaires à la
bonne marche des installations ont amené les constructeurs à améliorer les

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pompes existantes et à concevoir de nouvelles pompes. Les problèmes posés

par l’environnement (rejets) et la qualité des produits (pollution) ont aussi néces-
sité la création de nouvelles machines dans lesquelles il a fallu prendre en
compte les rendements énergétiques toujours marginalisés dans les recherches
de laboratoire, ainsi que les problèmes de maintenance, de sûreté et de sécurité.
La très grande variété des applications parmi les nombreux utilisateurs engen-
dre un esprit et une culture du « vide » que les fournisseurs ont quelquefois du
mal à saisir. Cela fait que chaque système de pompage doit être personnalisé et
les pompes à utiliser choisies avec pertinence. Les notions de vide propre et de
pompage dit sec nécessitent encore beaucoup d’explication auprès des utilisa-
teurs. Il est impossible d’énoncer ici la multitude des cas d’application et leurs
solutions. De plus, les gains obtenus par les nouvelles technologies ne sont pas
toujours économiquement chiffrables lors d’une étude théorique.

Notations et symboles

Symbole Unité Définition

C L/s conductance

G Pa · m3 quantité énergétique d’un gaz (à 20 °C en

principe)

K taux de compression

K0 taux de compression à débit nul ou taux

de compression maximal

pa Pa pression à l’aspiration

p Pa pression limite

pr Pa pression de refoulement

Q ou qG Pa · m3 · s−1 puissance d’aspiration (capacité d’aspiration)

pour une pompe

qG ou qpv Pa · m3 · s−1 flux gazeux

qm kg/s débit-masse ou débit massique

qv m3/s débit-volume

S m3 · s−1 débit-volume d’une pompe à vide (dénommé

aussi vitesse de pompage)

Seff m3/h débit-volume effectif d’une pompe à vide

(à la sortie du réservoir)

S0 m3/h débit-volume pour un taux de compression

unité

ρu kg/m3 · Pa masse volumique unitaire

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1. Rôle d’une pompe à vide Les pompes capables de refouler directement à la pression
atmosphérique sont appelées pompes primaires.
Certaines pompes ne peuvent fonctionner et refouler qu’à une
Une pompe à vide est, par définition (norme NF X 10-501), « un pression souvent très inférieure à la pression atmosphérique : on les
dispositif permettant de faire, d’améliorer ou de maintenir le vide ». appelle pompes secondaires. Elles ne peuvent être mises en œuvre
C’est donc une machine capable d’extraire des molécules gazeuses que prévidées par une pompe primaire que l’on appelle alors
d’un réservoir pour les évacuer soit dans l’air ambiant, soit dans un pompe préliminaire ou pompe de prévidage et qui refoule à la pres-
autre réservoir. sion atmosphérique. Dans certaines conditions, quelques pompes
La provenance et la nature de ces molécules peuvent être très peuvent être à la fois primaires et secondaires, c’est-à-dire fonction-
variables suivant les applications. ner de la pression atmosphérique au vide poussé. Il existe aussi des
pompes à vide qui peuvent refouler à une pression très nettement
En d’autres termes une pompe à vide doit être capable d’abaisser
supérieure à la pression atmosphérique (plusieurs bars).
la pression dans un réservoir puisque la pression est proportion-
nelle au nombre de molécules gazeuses présentes dans ce réservoir. Afin d’améliorer les performances en pression limite, il est cou-
Cette pression dépend aussi de la température et, suivant celle-ci, il rant de coupler en série plusieurs pompes du même type. Ce cou-
peut être nécessaire de prendre aussi en compte les liquides à forte plage est parfois réalisé à l’intérieur d’une même machine. On
tension de vapeur ainsi que les corps facilement sublimables. parlera alors de pompes monoétagées, biétagées, triétagées,...,
La pompe à vide doit être capable d’aspirer un certain flux, de le multiétagées. Les différents étages peuvent avoir des « cylindrées »
comprimer et de le refouler à une pression supérieure à la pression différentes afin de tenir compte de la quantité de gaz et de la pres-
d’aspiration (figure 1). sion relative dans chaque corps de compression.
Il est d’usage, en technique du vide, plutôt que de parler de flux Le lecteur pourra utilement se référer à l’article Compresseurs
aspiré, de définir la pompe par son débit-volume. Ce débit-volume volumétriques [1] de ce traité, les pompes à vide étant aussi, par
est exprimé en m3 · s−1 en unités légales et a pour symbole S. Il est définition, des compresseurs.
souvent dénommé vitesse de pompage sous l’influence anglo-
saxonne (speed). La quantité de gaz pompé (nombre de molécules) s’exprimera
suivant les utilisateurs soit en termes de débit massique (qm), soit
Cette unité n’étant pas toujours pratique on utilisera plutôt : en flux gazeux (qv). On parlera aussi de puissance d’aspiration Q ou
— le mètre cube par heure (m3/h) pour les pompes primaires ; qpv qui, suivant la norme NFX 10-501, est le flux gazeux qui s’écoule
— le litre (décimètre cube) par seconde (L/s) pour les pompes à travers l’admission de la pompe.
secondaires.
Certains parlent de capacité d’aspiration qui est un terme inadé-
Un gros effort de normalisation est en cours, mais les habitudes quat car il est plutôt réservé aux pompes à fixation et représente la
sont fortement ancrées aussi bien chez les constructeurs que chez quantité totale de gaz pouvant être fixée par la pompe.
les utilisateurs.
L’unité légale pour exprimer la puissance d’aspiration est le
Afin de faciliter les relations entre fournisseurs et utilisateurs, on
Pa · m3 · s−1 qui est équivalent au watt. On emploie plutôt mainte-
fractionne le vaste domaine des pressions couvert par les techni-
nant le symbole Q mais aussi qG puisque G = pV (quantité énergé-
ques du vide en sous-domaines ayant reçu chacun une appellation
tique d’un gaz). Ce flux est égal au produit du débit-volume à l’aspi-
spécifique mais dont les frontières ne sont nullement codifiées de
ration de la pompe par la pression p prise à cet endroit :
sorte qu’elles peuvent varier assez largement selon les auteurs.
On peut néanmoins distinguer : qG = pS ou Q = pS
— le vide grossier de 105 à 102 Pa ; Ce langage, issu des habitudes des « vidistes », n’est pas toujours
— le vide moyen de 102 à 10−1 Pa ; clair. Le débit-volume est un volume « géométrique » (cylindrée) ;
— le vide poussé de 10−1 à 10−5 Pa ; pour un gaz donné, à une température et sous une pression don-
— l’ultra-vide de 10−5 à 10−8 Pa ; nées, il correspond au débit massique si on multiplie sa valeur par
— le vide extrême de 10−8 à 10−12 Pa. la masse spécifique prise dans les mêmes conditions.
Bien entendu, quel que soit le domaine dans lequel on envisage Certains constructeurs parlent alors de débit nominal qui est le
de travailler, il reste indispensable de franchir tout le spectre des volume géométrique balayé par le mécanisme de la pompe. Ce
pressions, de la pression atmosphérique à la pression de travail. débit nominal sera fonction de la vitesse de rotation du moteur. On
trouve ainsi, dans les caractéristiques des notices techniques, la
valeur des débits-volumes pour les pompes entraînées par des
moteurs alimentés en 50 Hz et en 60 Hz. Il convient donc de faire
Canalisation attention. Les logiciels de calcul des installations de vide ne spéci-
de refoulement
fient pas toujours ce fait quand ils comportent des données enre-
gistrées sur les pompes.
Atmosphère
Réservoir Pompe Une pompe primaire (pompe volumétrique) de débit-volume
Canalisation 200 m3/h (55 L/s) à 1 hPa est capable de pomper à 0 °C un débit mas-
de liaison
Pression sique de 72 mg d’air par seconde.

pr
Une pompe secondaire (pompe à diffusion) de diamètre
pr 1 000 mm et de débit-volume 50 000 L/s (180 000 m3/h) à 10−4 hPa
p et à 0 °C aura un débit massique d’air de 7,5 mg/s.
pa
pa
Les machines en usage courant couvrent une gamme de débits-
volumes allant de quelques dizièmes de m3/h à 10 5 m3/h (figure 2).
La gamme des pressions mises en œuvre est très vaste de 105 Pa
p : pression dans le réservoir pr : pression au refoulement (1 000 hPa ou mbar) à 10−12 Pa (10−10 hPa ou mbar) (figure 3). Pour
pa : pression à l'aspiration les mesures de pression se reporter à la référence [2]. Certains
constructeurs utilisent encore la notion de pourcentage de vide. Une
Figure 1 – Schéma fondamental du pompage en technique du vide : pompe établissant 99 % de vide a, en fait, une pression limite de
évolution de la pression 10 hPa.

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Débit
(m3/h)
Ultravide Vide poussé Vide moyen Vide grossier
< 10–7 mbar 10–7 à 10–3 mbar 10–3 à 1 mbar 1 à 103 mbar
8 < 10–5 Pa 10–5 à 10–1 Pa 10–1 à 102 Pa 102 à 105 Pa
6
4
Multipalettes (MP) Pompes à vide à piston alternatif
Roots sans soupapes
2 + huile perdue Pompes à vide à membrane
piston oscillant (PO)
10 000
8
6
4 Anneau liquide (AL) Pompes à vide à anneau liquide
+ Roots
Anneau liquide (AL) Pompes à vide rotatives à palettes
2 + éjecteur
+ Roots
1 000 Piston
8 oscillant (PO) Pompes à vide multipalettes
6
4
Pompes à vide à plateau oscillant
Pompe à palettes
2 à 2 étages
Pompes à vide à piston oscillant
100
8
6
Pompes Roots multiétagées
4 Multipalettes (MP)
avec soupapes
Pompe à palettes huile recyclée Pompes à vis
2 (PP) à 1 étage
10 2 4 6 8 2 4 6 8 2 4 6 8 2 4 6 8 2 4 6 8 2 4 6 8 Pompes à spirales
10–3 10–2 10–1 1 10 100 1 000
(Pression (hPa)
Pompes à becs (claw)
Débit Débit
(m3/h) (m3/h)
Pompes à vide Roots
100 000 100 000
Boosters Turbopompes à vide
Éjecteurs AL + Roots Éjecteurs
Éjecteurs
Roots
Pompes à vide à anneau gazeux
10 000 10 000
Boosters Pompes moléculaires
Boosters Éjecteurs AL + Roots
Éjecteurs MP huile perdue
Éjecteurs Roots
PO + Roots MP + Roots MP + Roots AL Pompes turbomoléculaires
PO + Roots Éjecteurs
PP + Roots PO + Roots Dépresseurs Roots
PP + Roots PO (1 000 m3/h) Pompes à vide à jet de liquide
1 000
600
PO
PP + Roots PO ou PT + Roots MP huile recyclée MP huile perdue Pompes à vide à jet de vapeur
PO + Roots PP + Roots AL + éjecteurs MP huile recyclée
MP + Roots Éjecteurs AL Pompes à diffusion
Éjecteurs
100 100
PP 1 et 2 étages MP huile recyclée
Pompes à diffusion-éjecteur
PP 2 étages PP
AL + éjecteurs Pompes à adsorption
Éjecteurs
10
10
10–3 10–2 10–1 1 10 100 1 000 Pompes à sublimation
Pression (hPa)
Pompes ioniques à pulvérisation

Cryopompes
Figure 2 – Domaines d’utilisation des machines d’usage courant
Pompes à getter

2. Classification des pompes 10–11 10–10 10–9 10–8 10–7 10–6 10–5 10–4 10–3 10–2 10–1 1 10 102 103
Pression (hPa ou mbar)
à vide
Figure 3 – Gamme de pressions mises en œuvre dans les pompes
à vide
Les pompes à vide ont été classées suivant leur principe physique
de fonctionnement. Ce classement (norme NFX 10-501 ou DIN
28400) reste valable malgré l’apparition sur le marché de nouvelles
pompes qui se classent dans les sous-rubriques. — les pompes volumétriques qui sont des pompes dans lesquel-
les un volume rempli de gaz est isolé cycliquement de l’admission,
La révision des normes est en cours (comité ISO, TC 112) (cf. [3]). ce gaz étant ensuite transféré vers un refoulement. Dans la plupart
des pompes de ce type, le gaz est comprimé avant son refoulement ;
■ On distingue deux grands groupes de pompes à vide (figure 4) : — les pompes cinétiques dans lesquelles une quantité de mouve-
— Les pompes qui, à travers un ou plusieurs étages de compres- ment est communiquée aux gaz ou aux molécules de façon telle que
sion, extraient les molécules de gaz ou de vapeur des réservoirs à le gaz soit transféré de l’admission vers le refoulement. On distin-
pomper et les refoulent à une pression supérieure. On les appelle gue les pompes cinétiques à fluide moteur et les pompes cinétiques
pompes de transfert ou pompes d’extraction ; à entraînement mécanique. Nombre de ces pompes ne peuvent
— les pompes qui fixent les molécules de gaz ou de vapeur sur fonctionner que reprises par une pompe primaire.
une paroi solide par la condensation ou la sorption de celles-ci ou
par procédé chimique dans des conditions telles que la réémission ■ Pompage par dilution
de la surface piégeante soit extrêmement faible. Ce sont les pompes Parmi les nombreux procédés industriels utilisant les techniques
à fixation. Certaines pompes récentes peuvent utiliser les deux phé- du vide, certains sont très spécifiques : on cherche non pas à faire le
nomènes (pompes turbo-cryo). vide mais à extraire d’un mélange gazeux (air par exemple) une
espèce chimique interdisant le fonctionnement.
Le premier groupe, de loin le plus important, se divise en deux
grands sous-groupes selon des principes physiques conduisant à La pression partielle d’un gaz actif dans l’air atmosphérique
des systèmes très différents : (dioxygène) peut être réduite à une valeur négligeable en utilisant la

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Classification des pompes à vide

basée sur leur principe
de fonctionnement

Pompe à transfert Pompe à fixation

de gaz

Pompe volumétrique Pompe cinétique

Pompe à entraînement Pompe à fluide

Pompe alternative Pompe rotative mécanique Pompe à ionisation Pompe à adsorption
moteur

Pompe à piston Pompe à anneau Dépresseur Pompe à sorbeur

à turbine Pompe à éjecteur
alternatif liquide

Pompe à palettes Pompe moléculaire Trompe à eau Pompe à sublimation

mécanique
Pompe à piston
tournant Pompe turbo- Pompe ionique
Éjecteur à gaz à sorbeur
moléculaire
Pompe à piston
oscillant
Pompe ionique
Éjecteur à vapeur à sublimation
Dépresseur Roots
Pompe ionique
Pompe à diffusion à pulvérisation
Pompe à vis
Pompe à diffusion Pompe cryostatique
et à éjecteur
Pompe à becs

Pompe à bain
Pompe à spirale
Pompe à circuit
fermé

Condenseur

Figure 4 – Tableau de classification des pompes à vide

technique dite de pompage par dilution. Cette technique consiste à Pf pression à laquelle le réservoir est évacué de
évacuer le réservoir contenant le gaz actif (usuellement l’air) à une manière répétitive,
pression relativement basse, puis à le remplir d’un gaz inerte à une Pr pression à laquelle le réservoir est rempli avec le
pression moyenne et à pomper à nouveau ces gaz. En répétant gaz neutre,
l’opération plusieurs fois on élimine le gaz gênant. n nombre de cycles.
Par exemple, dans l’industrie des ampoules électriques, on utilise
cette technique pour évacuer le dioxygène et la vapeur d’eau de l’air
en les remplaçant par du diazote. On obtient une pression partielle
de dioxygène de 2 x 10−7 Pa après avoir pompé jusqu’à 1 hPa puis 3. Caractérisation
après avoir rempli l’ampoule sous 104 Pa de diazote et répété l’opé-
ration quatre fois. Cette application a amené la construction indus- des pompes à vide
trielle de pompes à vide spécifiques. On résout ainsi le problème
d’une très faible quantité de dioxygène dans l’ampoule en évitant
l’utilisation coûteuse et longue d’un pompage sous vide poussé. Toutes les pompes à vide peuvent être caractérisées par des gran-
deurs mesurables dont les principales sont :
En appelant Ppu la pression partielle ultime du gaz actif obtenue
après n dilutions, on obtient : — le débit-volume ou vitesse de pompage ;
— la pression limite d’aspiration ;
Pf n — le taux de compression maximale ;
P pu = P 1  ----- 
P  — la pression critique de refoulement maximale ;
r — la pression de refoulement maximale.
avec P1 pression partielle du gaz actif après la première Ces caractéristiques ne sont pas totalement indépendantes les
évacuation, unes des autres (cf. § 3.3).

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3.1 Pression limite d’aspiration

Débit-volume S
On appelle pression limite d’une pompe (cf. norme NF X 10-501)
« la valeur vers laquelle tend asymptotiquement la pression dans un
dôme d’essai normalisé en l’absence d’introduction de gaz, la
pompe fonctionnant normalement. On peut distinguer la pression 60 Hz
limite due aux seuls gaz non condensables de la pression limite
totale due aux gaz et aux vapeurs ». C’est en fait la pression la plus
basse que la pompe permet d’obtenir en pompant sur un volume
50 Hz
faible et propre, c’est-à-dire pratiquement sur elle-même.
Si une pression limite de faible valeur est un critère certain de
qualité, on peut se poser valablement la question de savoir si cela
est utile car, très souvent, les pompes sont utilisées à des pressions
plus élevées, le débit-volume à cette pression limite étant nul.
Deux phénomènes sont à prendre en considération :
— le premier est l’influence de la pression limite sur la partie
basse de la courbe débit-volume/pression (cf. § 3.2) ;
— le second est d’ordre pratique : on ne se trouve que rarement P T
dans les conditions idéales dans lesquelles les constructeurs relè-
vent les caractéristiques sur des pompes neuves et propres. Une 0
pompe à joint d’huile usagée et surtout dont l’huile est polluée, soit 10 –5 10 –4 10 –3 10 –2 10 –1 1 101 102 103
par des condensats, soit par l’humidité atmosphérique, soit même Pression (hPa)
par un fonctionnement prolongé, n’a plus les mêmes caractéris- P courbes de pression partielle mesurée selon méthode Pneurop
tiques. T courbes de pression totale mesurée avec une jauge capacitive
courbes de pompage avec lest d'air ouvert
Il est donc prudent de prévoir une marge de sécurité et d’adopter
une pompe dont la pression limite soit sensiblement plus basse que
la pression que l’on cherche à obtenir ; un facteur 10 constitue un Figure 5 – Caractéristiques d’une pompe volumétrique à joint d’huile
minimum et nous recommandons plutôt entre 50 et 100 car, dans un en 50 Hz et 60 Hz (doc. Alcatel)
certain nombre d’applications, il faut plutôt parler des pressions
partielles que de la pression totale.
En effet, un problème important se pose : celui de la mesure de la — la désorption des matériaux constitutifs de la pompe ;
pression limite et de la signification de cette mesure. Pour que cette — les fuites internes et fuites virtuelles ;
valeur de la pression limite soit significative, il est indispensable de
— la saturation des matériaux adsorbants (cas de pompes à
savoir par quelle méthode de mesure elle a été relevée. Il est en effet
fixation) ;
bien connu [2] que la quasi-totalité des manomètres utilisés pour la
mesure des basses pressions (le vide) ont une sensibilité variable en — la pression de refoulement, dans certains cas, pour les pompes
fonction de la nature du gaz, hormis les manomètres mécaniques, et secondaires (cas des pompes Roots et des pompes turbomoléculai-
deux appareils de principes différents (et quelquefois de même res, par exemple).
type) peuvent donner des indications dissemblables lorsqu’ils sont L’importance de ces facteurs varie d’un type de machine à l’autre.
montés sur le même système (cf. § 4.2, mesure de la pression
Nota : la pression limite dans l’enceinte à pomper dépend, elle, de nombreux autres fac-
limite). teurs (désorption, dégazage, fuites, conductance de la liaison entre la pompe et
Pour certaines pompes telles que les pompes mécaniques à bain l’enceinte...) (cf. [4]).
d’huile et à joint d’huile ou les pompes à diffusion, une, voir deux
décades entre les deux mesures peuvent être relevées (figure 5).
Pour bien comprendre ces différences, il faut considérer que les 3.2 Débit-volume ou vitesse de pompage
pompes à vide travaillent pratiquement sur chacun des gaz comme
s’il était seul. Une analyse spectrographique de l’atmosphère rési-
duelle montre que, pour la plupart des pompes, elle est souvent Avec la pression limite, le débit-volume est la caractéristique prin-
constituée de vapeur d’eau et de vapeur d’huile pour une fraction cipale d’une pompe à vide. C’est la grandeur la plus couramment
non négligeable. On devrait donc, dans une pompe quelle qu’elle utilisée. La norme NF X 10-501 nous en donne la définition
soit, tenir compte de la composition de l’atmosphère résiduelle pour suivante : « Débit-volume, extrait par la pompe, de la phase gazeuse
parler correctement de la pression limite. de l’enceinte à évacuer. Ce type de définition n’est applicable qu’à
des pompes qui constituent un ensemble distinct et séparé de
Un capteur piégé avec de l’azote liquide (manomètre Mac Leod,
l’enceinte à vide. Toutefois, pour des raisons pratiques, le débit-
par exemple, encore utilisé en métrologie) ne mesure en fait que la
volume d’une pompe donnée pour un gaz donné est, par conven-
pression partielle des gaz permanents, c’est-à-dire essentiellement
tion, défini comme étant le quotient du flux gazeux du gaz consi-
le diazote, le dioxygène, l’argon et le dihydrogène.
déré, issu d’un dôme d’essai normalisé connecté à la pompe, par la
Les pompes actuelles permettent d’atteindre les pressions don- pression d’équilibre mesurée en un point spécifié du dôme d’essai
nées sur la figure 3. Les valeurs sont données en pression totale et et dans des conditions de fonctionnement spécifiées ». La norme
constituent des valeurs moyennes. NF X 10-500 nous donne une définition plus générale du débit-
La pression limite d’aspiration des pompes à vide dépend de plu- volume qv : c’est « à travers une surface donnée S, le quotient du
sieurs paramètres : volume de gaz − de température et de pression définies − qui tra-
verse pendant un intervalle donné de temps, par ce temps ».
— la présence de volumes morts ;
— la pression de vapeur saturante du fluide moteur ou Le débit-volume d’une pompe à vide est, dans la quasi-totalité des
d’étanchéité ; cas, variable avec la pression d’aspiration et tous les constructeurs
— le dégazage de gaz dissous dans le fluide moteur ou donnent, dans leur documentation technique, les courbes de varia-
d’étanchéité ; tion du débit-volume en fonction de la pression.

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Débit-volume S
Débit-volume
(m3/h)
S0 260 S2p2 S1p1
S4p4 S3p3
240 S5p5
S6p6
220
S 7 p7
200
180 S8 p8

0 160 S9p9
p lg pa
140
p pression limite pa pression à l'aspiration S10p10
120
Figure 6 – Caractéristiques d’une pompe d’extraction 100
80 S11p11
60 p12
40
Débit-volume S 10–3 10–2 10–1 10 101 102 103 104
Pression (hPa)
S0
Figure 8 – Exemple d’utilisation de la courbe débit-volume/pression
pour déterminer le temps de pompage d’un réservoir

0
p lg pa Tableau 1 – Calculs pour l’exemple de la figure 8 (1)
p pression limite pa pression à l'aspiration
Segment Débit-volume pn pn Temps
Figure 7 – Caractéristiques d’une pompe secondaire Pression -------------- lg --------------
pn + 1 pn + 1
(m3/h) (hPa) (h)
Ces courbes ont l’allure générale indiquée sur la figure 6 où l’on
distingue deux parties principales : S1 250 1 000/100 1 0,0920

— un palier sur lequel le débit-volume S est pratiquement cons- S2 245 100/10 1 0,0938
tant (pour les pompes à joint d’huile dont l’étanchéité interne est S3 242 10/2 0,7 0,0665
assurée) ;
S4 235 2/0,5 0,6 0,0587
— une partie décroissante dont la concavité est tournée vers le
bas pour atteindre une valeur nulle lorsque l’on atteint la pression S5 230 0,5/0,2 0,4 0,0400
limite.
S6 225 0,2/0,1 0,3 0,0306
Nous avons signalé précédemment qu’il y avait plusieurs façons
S7 185 0,1/0,05 0,3 0,0373
de mesurer la pression limite d’une pompe qui donnent des valeurs
très différentes les unes des autres. Cela a une incidence directe sur S8 158 0,05/0,03 0,22 0,0320
la courbe débit-volume/pression qui se décale par translation, dans
sa partie basse, avec la pression limite. S9 130 0,03/0,02 0,17 0,0300

Il faut noter aussi que la position du capteur pour la mesure du S10 80 0,02/0,01 0,3 0,0862
débit-volume n’est pas indifférente. Suivant la position utilisée (qui S11 55 0,01/0,008 0,097 0,0405
correspond d’ailleurs à des normes différentes), le débit-volume
peut varier de 60 %. Temps total ................................................................. 0,607 h soit
36,42 min
Les pompes secondaires ont une courbe un peu différente
(figure 7) dans la partie haute pression car il est nécessaire d’amor- (1) n varie de 1 à 11.
cer ces pompes pour les amener en régime d’écoulement molécu-
laire.
Exemple : soit la courbe débit-volume S d’une pompe de débit
■ Utilisation de la courbe débit-volume/pression pour déterminer nominal 250 m3/h en fonction de la pression P. Pour calculer le temps
le temps de pompage d’un réservoir que mettra la pompe à vidanger un réservoir de volume V (10m3), on
divise la courbe en segments et on la confond avec une succession de
Le temps de vidange d’un réservoir de volume V sans fuite est segments de droites pris entre deux points de pression p1, p2...
donné par la relation : À chaque segment correspond une valeur moyenne de débit-volume
S. Il suffit de calculer les temps pour chaque segment et les additionner
t = 2, 3 (V/S) lg p1/ p2 (cf. [4]) pour avoir le temps total pour passer de la pression pa (1 000 hPa) à la
pression p (dans ce cas 8 x 10−3 hPa).
Mais S n’étant pas constant, il faut déterminer sa valeur pour cha- Les résultats sont récapitulés dans le tableau 1.
que pression à l’aide de la courbe de la figure 8.
Ces calculs sont désormais effectués à l’aide de logiciels.

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3.3 Taux de compression

On utilise aussi parfois, pour caractériser une pompe à vide, son

taux de compression : « rapport de la pression de refoulement à la S
pression d’aspiration, pour un gaz déterminé ».
S0
Ce taux de compression est lié aux autres paramètres (débit- 0,9 S0
volume et pression limite). En effet :
avec pa pression d’aspiration,
pr pression de refoulement,
q flux de fuite interne considéré comme proportionnel à
pr − pa ,
0 lg p 10 lg p lgp
S débit-volume de la pompe,
p pression S débit-volume
S0 débit-volume pour un taux de compression unité,
K taux de compression, K
S = S0 1 –
K0
K0 taux de compression pour un débit-volume nul,
C conductance interne ;
on peut écrire :
pa S = pa S0 − q et q = C (pr − pa) par définition
Figure 9 – Courbe débit-volume en fonction de la pression
pa S = pa S0 − C (pr − pa) pr = Kpa
d’une pompe volumétrique à joint d’huile (doc. Alcatel)
S = S0 − CK + C = S0 − C (K − 1)
S0
Pour K = K 0 S = 0 donc C = ---------------- -
K0 – 1
K–1 K0 – K
d’où S = S 0 – S 0 ----------------- = S 0 ------------------
K0 – 1 K0 – 1 Taux
de compression K

S = S 0  1 – ------
K 1010
si K 0 >> 1
 K  0

Cette formule n’est pas valable pour les pompes ayant un taux de
compression faible (dépresseurs Roots, par exemple). N2
En pratique on utilisera une formule équivalente dans laquelle
apparaît la pression d’utilisation p et la pression limite p  . On a 108
donc alors :

p
S = S 0  1 – -----
 p

formule que traduit la courbe de la figure 9. 106

Cette formule peut permettre de retrouver le débit en pression
totale, s’il est donné en pression partielle ou inversement.
Il faut savoir également que les pompes secondaires ne sont pas
indifférentes à la nature des gaz pompés et que leur débit-volume
varie assez sensiblement d’un gaz à l’autre, en particulier pour le 104 He
dihydrogène et l’hélium qui sont les gaz les plus difficiles à pomper
pour certaines pompes et les plus faciles pour d’autres.
Il faut se rappeler que, dès que l’on se trouve en régime d’écoule- H2
ment moléculaire, une pompe à vide est un piège à molécules et
non un aspirateur. En effet, une pompe secondaire retient la plus
grande partie des molécules qui se présentent à son entrée et le 102
taux de compression sera très variable selon la nature des gaz. La
figure 10 donne un exemple pour une pompe turbomoléculaire.
Le cas particulier des pompe Roots mérite une attention spéciale.
Le taux de compression maximal d’une pompe Roots est relative-
ment faible (10 à 50). Il en résulte que le débit-volume varie très sen- 1
siblement en fonction du débit de la pompe préliminaire qui lui est
10– 3 10–1 10
associée. Il est indispensable de se rappeler cette caractéristique
Pression à l'aspiration de la pompe (hPa)
lorsqu’on sélectionne une pompe Roots car, dans certains cas, le
débit vrai du groupe de pompage peut être de 30 à 40 % inférieur à
celui du débit nominal de la pompe.
Le tableau de la figure 2 résume l’échelle des débits-volumes Figure 10 – Variation du taux de compression selon la nature du gaz
existants dans les pompes commerciales. dans une pompe turbomoléculaire

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3.4 Pression critique de refoulement Q (Pa . m3 . s–1 ou W)

106
105
C’est, par définition, la « pression au refoulement au-dessus de
104
laquelle un éjecteur à vapeur ou une pompe à diffusion cesse de
fonctionner correctement. C’est la valeur la plus élevée de la pres- 103
sion au refoulement pour laquelle une légère augmentation de 102
celle-ci ne provoque pas encore d’augmentation sensible de la pres- 10
sion à l’aspiration. La pression critique de refoulement dépend prin- 1
cipalement du flux gazeux ». 10–1
2 2a 1 1a
10–2
Cette grandeur caractérise essentiellement les pompes secondai- 10–3
res, puisque les pompes primaires sont capables de refouler les gaz 10 –2 10 –1 1 10 10 2 10 3 10 4 105
aspirés contre la pression atmosphérique et même au-delà, certai- Débit-volume : 60 m3/h pa (Pa)
nes d’entre elles étant capables de refouler jusqu’à des pressions Courbe 1 : pompe monoétagée sans lest d'air
absolues de plusieurs bars. Courbe 1a : pompe monoétagée avec lest d'air
Courbe 2 : pompe biétagée sans lest d'air
Les valeurs de la pression critique de refoulement, pour les pom- Courbe 2a : pompe biétagée avec lest d'air
pes secondaires, sont indiquées dans les catalogues des construc-
teurs, sauf généralement pour les dépresseurs Roots. Pour ces Figure 12 – Puissance (capacité d’aspiration) d’une pompe à joint
derniers, on indique, la plupart du temps, la différence de pression d’huile
maximale qu’ils peuvent supporter.
Cette grandeur, de l’ordre de 20 à 50 hPa augmente avec la pres-
sion d’aspiration de la pompe et rend souvent délicate la détermina- Flux (sccm) Pression d'aspiration (Pa)
tion de la taille de la pompe préliminaire qui doit être associée à un 10–3 10–2 10–1 1 101 102 103
10 000
dépresseur Roots (on choisit généralement un rapport de débits
compris entre 3 et 10). Gaz : N2
1 000
Cette pression critique de refoulement ainsi que le débit-volume à
cette pression est indispensable à connaître pour réaliser un bon
100 Limites d'utilisation en
couplage entre la pompe primaire et la pompe secondaire.
fonctionnement continu
Remarque 10
Pour certaines pompes, ce phénomène ne se produit pas brus-
quement et il n’est pas possible d’indiquer avec précision une pres- 1
sion critique de refoulement. À ce moment, le flux gazeux émanant 10–5 10–4 10–3 10–2 10–1 1 101
de la pompe secondaire doit pouvoir être repris entièrement par la Pression d'aspiration (mbar)
pompe primaire, sinon il y a désamorçage (figure 11). sccm : standard cubic centimeter par minute
ATH 1 000 M ATH 400 M
Dans le cas des pompes turbomoléculaires, la vitesse de rotation
chute et les systèmes de sécurité peuvent arrêter la pompe puis la Figure 13 – Puissance d’aspiration au flux (en sccm) en fonction
remettre en marche si la pression le permet. de la pression (doc. Alcatel)

Flux
3.5 Pression de refoulement maximal
Débit- Débit-volume constant Pompage
volume constant (surcharge) mécanique
C’est la « pression à l’aspiration correspondant au débit maximal
de gaz que peut supporter la pompe en marche continue sans être
détériorée ».

3.6 Puissance d’aspiration

Point critique
de refoulement
Encore appelée capacité d’aspiration, elle est définie comme étant
le flux gazeux Q ou qpv en Pa · m3 · s−1 (ou watt) qui s’écoule à tra-
vers l’admission de la pompe. Nous avons donc par définition :
Q = pS
C’est l’équation de base des « vidistes ». Cette puissance d’aspira-
tion est donnée dans certains catalogues conjointement avec la
courbe débit-volume/pression (figure 12) pour différents types de
pompes.
Pour les applications dans l’industrie des semi-conducteurs, cette
p puissance d’aspiration est donnée en une unité non conven-
Pression
autres pompes primaires tionnelle : le sccm (standard cubic centimeter per minute), unité uti-
lisée par les fabricants de débitmètres sous vide qui injectent les gaz
Figure 11 – Influence de la pression critique de refoulement dans une de procédé dans les machines de fabrication. Cela facilite le choix de
association pompe primaire mécanique-pompe à diffusion l’utilisateur (figure 13) car il a directement le dimensionnement de

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— utiliser la pompe à une température la plus basse possible en

Rétrodiffusion évitant de la confiner dans des espaces clos où la température
(µg/cm2 . h) ambiante est élevée ; il faut se rappeler qu’une pompe mécanique
150 génère un flux de chaleur important qui doit être évacué si l’on ne
100
veut pas voir trop augmenter la température de la pompe. Il faudra
néanmoins faire très attention à la condensation des vapeurs dans
la pompe et, là, le compromis étant difficile à trouver, le recours aux
accessoires est indispensable ;
10 — équiper l’aspiration des pompes de pièges : de nombreux
modèles existent sur le marché ; le piège à adsorption à base de
tamis moléculaires (zéolithes ou alumine activée) est le plus cou-
ramment utilisé car il permet une réduction importante de la rétrodi-
ffusion d’huile, mais demande un remplacement fréquent. On utilise
1
0 2 4 6 8 10 12 aussi des pièges catalytiques qui transforment les molécules d’huile
Flux gazeux (hPa . L /min) en dioxyde de carbone et en vapeur d’eau ;
— utiliser une pompe auxiliaire, montée entre la pompe à joint
Figure 14 – Rétrodiffusion d’une pompe à joint d’huile (d’après Backer, d’huile et l’enceinte (pompe Roots, pompe turbomoléculaire,
Holland et Stanton) pompe moléculaire). Dans ce cas, il faut néanmoins assurer une
bonne séquence de fonctionnement entre les démarrages et les
arrêts des pompes.
la pompe à installer (si, bien sûr, il n’y a pas de fuite dans
l’installation et que les autres paramètres restent constants). Tout cela a conduit les constructeurs à fabriquer des pompes dites
sèches qui, malgré les coûts d’investissement plus élevés, sont de
plus en plus utilisées à cause, en particulier, d’un coût plus faible en
exploitation et en maintenance.
3.7 Rétrodiffusion d’huile
et contamination
3.8 Pression maximale tolérable
La rétrodiffusion des pompes hydrodynamiques et des pompes d’aspiration de vapeur d’eau et charge
mécaniques lubrifiées à l’huile et même par les graisses est deve- tolérable de vapeur d’eau
nue, dans les applications récentes, un facteur important car il
caractérise la qualité du vide obtenu et sa propreté [5]. De plus, les
gaz extraits de l’enceinte, traversant ces pompes de transfert pour
C’est « la pression maximale d’aspiration de vapeur d’eau à
une récupération, seront pollués. La purification de ces gaz
laquelle une pompe avec ou sans lest d’air, dans les conditions nor-
demande alors un procédé spécifique entraînant des coûts supplé-
males ambiantes, peut pomper et rejeter en régime continu ».
mentaires. Dans certains cas, les rejets des gaz à l’atmosphère sont
impossibles sans traitement (préservation de l’environnement) (cf. La charge tolérable de vapeur d’eau représente le débit-masse
articles [BM 4 271] et [BM 4 272] de cette rubrique). pour la vapeur d’eau en régime continu et dans les conditions nor-
Toutes les pompes à vide lubrifiées sont émettrices d’hydrocarbu- males ambiantes si le gaz pompé est de la vapeur d’eau.
res ou d’huile de synthèse soit en phase gazeuse, soit en phase
liquide : c’est le cas des pompes à diffusion mais, également des Ces valeurs sont données par certains constructeurs dans leur
pompes turbomoléculaires des dépresseurs Roots et des pompes à catalogues pour aider l’utilisateur dans le choix de la pompe à utili-
joint d’huile et à bain d’huile (palettes, multipalettes, piston ser.
oscillant...). Le fait de vouloir pomper des quantités d’eau importantes (cas du
Bien que la rétrodiffusion d’huile des pompes primaires séchage sous vide, assisté ou non par les hyperfréquences) a amené
mécaniques à joint d’huile soit une caractéristique gênante pour la réalisation de pompes fonctionnant à des températures relative-
l’obtention d’un vide propre (figure 14), elle peut être réduite d’un ment élevées (80 °C à 95 °C et même plus).
facteur 100 environ en utilisant des accessoires (piège, pompe
Roots, pompe moléculaire mécanique) en association avec elles. À Cela se fera bien sûr au détriment de la pression limite et de la
l’aide d’artifices simples dans leur mise en œuvre et peu coûteux, on dégradation de l’huile de la pompe. Le compromis pour obtenir une
peut également diminuer très nettement la rétrodiffusion intrinsè- bonne fiabilité sera affaire d’expérience car, de plus, on ne pompe
que des pompes et ainsi arriver à réaliser des groupes de pompage que très rarement de l’eau pure ; il y a toujours d’autres agents chi-
qui peuvent être considérés sans rétrodiffusion mesurable. miques, parfois en faibles traces, ou des produits de dégazage qui
compliquent le choix. Aussi est-il recommandé d’utiliser plutôt des
La quantité d’huile (ou plus généralement d’hydrocarbures) condenseurs et des pièges en amont des pompes. Ces dispositifs
émise par une pompe lubrifiée dépend des facteurs suivants : sont parfois intégrés dans les pompes.
— la nature de l’huile ;
Les pompes refroidies par eau possèdent alors un régulateur
— la température ambiante et celle de la pompe ;
d’eau de refroidissement qui commande le débit de passage de
— la pression de service ; l’eau de refroidissement en fonction de la température de la pompe,
— le temps. permettant ainsi de maintenir la pompe à la température de service
Pour diminuer les effets de la pollution générée par la rétrodi- nécessaire.
ffusion d’huile des pompes mécaniques à joint d’huile, on dispose Afin de surveiller le bon fonctionnement des paliers, des palpeurs
de plusieurs solutions : pyrométriques sont installés. Ils peuvent actionner un ventilateur,
— contrôler la séquence de pompage en veillant tout particuliè- une circulation d’eau, une alarme. Les pompes à vide actuelles sont
rement à la détermination du seuil de commutation entre le pom- de plus en plus gérées par microprocesseurs, car d’autres paramè-
page préliminaire et le pompage secondaire ; tres peuvent aussi être pris en considération (pH de l’huile...).

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3.9 Autres caractéristiques

Flasque avant Remplissage

3.9.1 Étanchéité
Bâti
C’est un problème important car il met en jeu plusieurs paramè- Compartiment
tres liés au bon fonctionnement et à la fiabilité des pompes à vide. étanche (huile)

■ Étanchéité vis-à-vis de l’installation à vider

Rotor
Les pompes à anneau liquide, les pompes à joint d’huile et les
pompes à bain d’huile contiennent, par principe, un liquide qui peut
se déplacer, si la pompe n’est pas étanche, sous l’effet de la pression
atmosphérique. Après la vidange d’un réservoir, une panne de cou-
rant peut avoir des effets catastrophiques car le liquide de la pompe
va pénétrer dans le réservoir sous vide. La plupart des pompes à
joint d’huile actuelles sont équipées d’organes (clapets) qui les ren-
dent étanches à l’arrêt, aussi bien pour l’air que pour l’huile. Il est
néanmoins toujours recommandé d’installer une vanne d’isolement Vidange
électromagnétique à fermeture par manque de courant avec remise
à l’air à l’aspiration de la pompe car certaines impuretés ou débris Figure 15 – Étanchéité du passage d’arbre du rotor (doc. Alcatel)
peuvent se loger sous le clapet de la pompe et provoquer de graves
détériorations.
■ Étanchéité vis-à-vis de l’extérieur
Les différents joints de carter, de passage de capteur, de niveau
d’huile peuvent, sous l’action combinée des gaz à pomper et de
l’huile, se détériorer et entraîner des fuites d’huile toujours indésira-
bles, surtout dans un local très propre (salle blanche).
Il est recommandé de mettre un bac de rétention afin d’éviter les
gouttes d’huile pouvant entraîner des glissades dangereuses.
■ Étanchéité interne à la pompe
Dans ce cas, deux types vont nous intéresser : le premier est celui
lié au fonctionnement propre de la pompe (étanchéité des palettes,
par exemple, sur le stator ; étanchéité relative des lobes dans une
pompe Roots...) et qui se traduit par un mauvais taux de
compression ; le second sera relatif à l’étanchéité des passages de
mouvements (arbre moteur-pompe) appelés, dans le langage des
fabricants, garnitures mécaniques.
Dans tous les systèmes mécaniques de haute technologie, ces
garnitures mécaniques posent des problèmes. On se trouve, dans le
cas des pompes, avec une interface qui d’un côté « renferme » le
vide, c’est-à-dire les gaz que l’on cherche à pomper et, de l’autre, Rotor Stator Cage étanche
soit l’atmosphère, soit l’huile ou la graisse de lubrification, incluant
parfois les roulements de rotation. Il est nécessaire de trouver des
matériaux qui résistent à toutes les agressions. De plus, les roule- Figure 16 – Rotor étanche (doc. Alcatel)
ments des paliers chauffent, entraînant une contrainte supplémen-
taire. Les constructeurs ont développé de nombreux systèmes pour
résoudre les problèmes posés [6].
Le montage de la figure 15 est le montage classique d’une garni- Labyrinthe
ture assurant l’étanchéité. On a aussi recours à des entraînements Roulements
magnétiques. Dans d’autres cas, c’est le moteur électrique lui- HP
même qui est enfermé dans un carter étanche électriquement avec lubrifiés
la pompe (figure 16), mais il est nécessaire d’évacuer la chaleur due (PFPE)
au moteur (en général, par une circulation d’eau). Une autre solu-
tion consiste à mettre le rotor à courant continu sous vide ; il fait
alors partie intégrante de la pompe ; le stator, pour faciliter le refroi-
dissement, sera à la pression atmosphérique. Les constructeurs de
certaines machines proposent dans leur catalogue des garnitures Roulements
BP graissés
mécaniques spécifiques suivant les applications. Dans les cas d’acti- (PFPE)
vité chimique importante où les gaz transférés peuvent quelquefois Labyrinthe
provoquer la condensation de produits gênants, un balayage de gaz
neutre (diazote en général) est alors assuré (figure 17). Joint à lèvres
(Téflon)

3.9.2 Bruit Purges de gaz neutre

D’autres qualités peuvent être demandées aux pompes à vide sui- Figure 17 – Étanchéité d’arbre avec balayage de gaz neutre
vant les applications. C’est, en particulier, le silence de fonctionne- (doc. Alcatel)

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ment car dans certaines usines, plusieurs dizaines de pompes

peuvent être installées côte à côte, provoquant un niveau sonore
important. Il est alors nécessaire d’isoler phoniquement les pompes
et d’évacuer la chaleur produite, car l’isolation phonique est aussi
une isolation thermique, en plaçant les pompes dans des galeries Dôme d'essai
techniques où la température sera surveillée. Quelques fournisseurs Débitmètre
mettent cette donnée dans leur catalogue.
Afin de vérifier le bon fonctionnement des pompes lors des essais Manomètre
techniques de réception, les constructeurs enregistrent les émis-
sions acoustiques de leurs machines.

3.9.3 Vibrations et pulsations Robinet à fuite

réglable

Les vibrations sont aussi parfois gênantes car elles se transmet-

tent aux bâtis par les canalisations ; des harmoniques peuvent se
développer et gêner le travail (bâti d’étude des surfaces, microscope
électronique...). Le fait que, dans certaines pompes mécaniques
volumétriques, l’aspiration soit cyclique peut aussi gêner. Cela s’est
traduit, par exemple, par le développement des dépresseurs Roots Pompe à mesurer
à trois lobes permettant ainsi d’avoir un flux gazeux plus régulier et
de diminuer le bruit tout en augmentant la vitesse de rotation, donc
le débit.

3.9.4 Corrosion
Pompe primaire

C’est bien évidemment un problème posé lors du pompage de

gaz chimiquement actifs. Les constructeurs proposent alors des
matériaux plus ou moins compatibles avec les gaz pompés. Mais, Figure 18 – Mesure du débit-volume d’une pompe secondaire
en plus, ces gaz, toujours en contact avec l’huile de la pompe ou (doc. Pneurop)
l’huile de lubrification imposent l’installation d’accessoires, indis-
pensables si l’on veut obtenir une relative longévité de la pompe.
Une solution simple consiste quelquefois à diluer les gaz pompés.
On utilise alors le dispositif du lest d’air ou un balayage de gaz neu- alors que le débit-volume recherché de la pompe à la pression p est
tre (cf. § 6.5). égal à :

qG
S ( ou q v ) = ------
p
4. Mesures On réduit ensuite le débit par l’intermédiaire du robinet à fuite et
des caractéristiques l’on mesure la nouvelle pression.
On comprendra tout de suite, en considérant la formule précé-
d’une pompe à vide dente, que l’incertitude de la mesure sur le débit-volume S ou sur
qpv est fonction de l’incertitude sur la pression p. Or on sait que
l’incertitude des manomètres (surtout pour des pressions inférieu-
res à 10−3 hPa) est importante.
4.1 Mesure du débit-volume
On peut alors utiliser une méthode plus sophistiquée basée sur la
connaissance de la conductance d’un orifice en paroi mince
(figure 19). Dans ce cas nous avons :
La mesure des caractéristiques des différentes pompes à vide a
fait l’objet d’une codification précise de l’association Pneurop, asso-
p1
ciation des constructeurs de compresseurs, pompes à vide et outils S ( ou q v ) = C  ------ – 1
à air comprimé formée par douze pays européens. Ces normes ont  p2 
été reprises par l’Association Française de Normalisation (AFNOR)
et sont à l’heure actuelle en cours de révision par l’International C est la conductance calculée en tenant compte des dimensions de
Organization for Standardization (ISO) (cf. [3] et [Doc. BM 4 270]). l’orifice et de la nature du gaz et peut s’exprimer par :
Le principe de la mesure des débits-volumes est à peu près tou- πRT 1
jours le même quel que soit le type de pompe. C = ------------ × ------------- d 2
32M 1
1 + ---
La pompe dont on veut mesurer le débit est coiffée d’un dôme de d
forme et de dimensions normalisées (figure 18) qui dépendra du
débit-volume à mesurer. avec M masse molaire du gaz,
On introduit un flux gazeux à pression atmosphérique au moyen R constante molaire des gaz,
d’un robinet à fuite réglable. Il est mesuré par un débitmètre qui
T température thermodynamique,
mesure un débit qG ; il se détend dans le dôme et on mesure la pres-
sion p en un point parfaitement défini par un manomètre. On écrit d diamètre de l’orifice.

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Dôme d'essai
Pression
Conductance (hPa)
103

Manomètre 102
p1

10
Spectromètre S 65 B
de masse S 40 B
1
D 65 B
Robinet à fuite D 40 B
réglable 10–1
Manomètre
10–2

p2 10–3
Manteau 0 1 2 3 4
d'étuvage Temps (min)
sans lest d'air avec lest d'air
S pompe monoétagée D pompe biétagée
Pompe à mesurer Réservoir de 100 L

Manomètre Figure 20 – Temps de descente en pression pour une série de pompes

à joint d’huile avec et sans lest d’air (doc. Leybold)

Robinet à fuite Piège

réglable thermique Cette perte de « performances » est souvent ignorée et conduit de
nombreux utilisateurs à des déboires car, si le flux gazeux à pomper
est relativement important, il est impossible d’obtenir la pression
Pompe primaire désirée dans un temps raisonnable.

Suivant les types de pompes, nous aurons des courbes débit-

volume dont l’allure sera différente.
Figure 19 – Mesure du débit-volume d’une pompe secondaire
par la méthode de la conductance (doc. Pneurop) Il y a en effet une grande différence de fonctionnement physique
entre une pompe primaire et une pompe secondaire. Les pompes
secondaires ont besoin d’une pression d’amorçage pour fonction-
ner.
L’expression 1 ⁄  1 + --- est un facteur correctif qu’on peut définir
1
 d Remarque
comme étant la probabilité moyenne de passage.
On peut trouver encore aujourd’hui des résultats d’une méthode
Afin d’aider l’utilisateur, les constructeurs mettent parfois dans
normalisée antérieurement par l’American Vacuum Society (AVS).
leur catalogue une courbe donnant la pression dans un réservoir de
volume donné V en fonction du temps. La loi de descente en pres- La méthode AVS, d’un principe analogue à la première méthode
sion est donnée par (figure 20) : exposée précédemment, pèche gravement par le dessin du dôme de
mesure qui est tel que la pression y est mesurée dans une région où
le flux gazeux n’est pas maxwellien. Il en résulte que l’on trouve, par
V p1
t = 2,3 --- lg ------ la méthode AVS, des débits-volumes plus grands d’un facteur 1,5 à
S p2 2 que ceux mesurés par la méthode Pneurop. Il est reconnu par tous
aujourd’hui que la méthode Pneurop est la seule scientifiquement
Le débit-volume effectif Seff d’une pompe à vide dans l’installation juste et les normes ISO actuellement en cours d’homologation la
est le débit-volume à l’endroit considéré, en l’occurrence très sou- respectent. Cela est surtout valable pour les pompes secondaires.
vent à la liaison avec l’enceinte :
Le marché des pompes à vide est international. Les caractéristi-
1 1 1 ques des pompes à vide dépendent, pour la plupart, de la vitesse de
---------- = --- + ---- rotation de leur moteur d’entraînement qui varie en fonction de la
S eff S C
fréquence utilisée (50 ou 60 Hz). Aussi les constructeurs donnent-ils
les courbes caractéristiques des pompes à vide dans les deux cas :
avec C conductance des liaisons de la pompe à l’enceinte.
cela influe sur le débit-volume, puisque le volume balayé est plus
Cette formule permet d’évaluer quel sera le débit-volume effecti- important mais aussi, pour certaines pompes, sur les pressions limi-
vement disponible. Pour une canalisation d’un diamètre de 25 mm tes (figure 21).
et de longueur 1 m, reliée à une pompe de 12 m3/h, nous obtenons
les résultats suivants : Parfois les constructeurs donnent, dans leurs notices techniques
et leurs catalogues, le débit-volume théorique (débit nominal) des
pmoy ................. (hPa) 10 1 10−1 10−2 pompes volumétriques qui est celui calculé à partir des volumes
balayés par le mécanisme de compression et qui ne tient pas
Seff ................. (m3/h) 11,9 11,25 7,7 4,5 compte des fuites internes.

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Débit-volume S 5. Aspects énergétiques

(m3/h)
200
de la mise en vide
C 0200
150
Dans une pompe à vide volumétrique (compression par réduction
de volume), on décrit un cycle thermodynamique et la compression
100 ne peut être obtenue qu’au prix d’une dépense d’énergie
C 0100
mécanique.
50
En mettant les choses au mieux et en admettant que la compres-
sion est isotherme, la puissance P nécessaire pour comprimer, de la
0
10 –2 10 –1 1 10 101 102 pression d’aspiration pa à la pression de refoulement pr un flux de
Pression p (hPa) gaz de débit-volume S est donnée par la formule :
50 Hz 60 Hz
pr
Fréquence Pression limite p  P = p a S ln -----
Modèle pa
(Hz) (hPa)
50 5 x 10–1
C 0200 II est clair que, dans cette formule, où pr est constant, la puissance
60 1,3 x 10–1
de compression diminue très vite avec pa (pa décroît plus vite que
50 3x 10–1
C 0100 pr
60 4 x10–1 ln ----- ).
pa
Figure 21 – Pressions limites et débits-volumes en fonction
de la vitesse de rotation (doc. Busch) Or, si l’on veut rapporter la puissance de compression à la puis-
sance réellement dépensée dans une pompe à vide, on s’apercevra
que la plupart des machines ont des rendements énergétiques
déplorables.
4.2 Mesure de la pression limite Exemple en vide poussé : une pompe à jet de vapeur, d’un débit-
volume de 10 000 L/s, aspire à 5 x 10−4 hPa et refoule (à l’aspiration
La mesure de la pression limite ne pose pas de tels problèmes. d’une pompe primaire) à 0,5 hPa.
C’est avant tout une question d’atmosphère gazeuse et d’étalon- La puissance de compression isotherme, calculée par la formule pré-
nage des manomètres. Les précautions à prendre même en vide pri- cédente avec les unités SI est de :
maire sont néanmoins indispensables et sont aussi normalisées par
0,5 × 10 2
Pneurop et l’AFNOR (cf. [Doc. BM 4 270]). P = 5 × 10 –2 × 10 × 2,3 lg -------------------------
5 × 10 –2
Nous rappelons que, dans les pompes contenant de l’huile, cette
pression limite dépend des lubrifiants utilisés et nous reviendrons P = 3,45 W
sur le sujet lors de la description des pompes (cf. articles [BM 4 271]
et [BM 4 272]). alors que, pour faire fonctionner une telle pompe à jet de vapeur, il faut
fournir une puissance de 8 kW.
La pression limite peut dépendre pour certaines pompes (en par- Peut-on parler de rendement énergétique ?
ticulier Roots et turbomoléculaire) de la pompe préliminaire, aussi
Reconnaissons que cet exemple est un exemple extrême.
est-il souhaitable d’indiquer avec quelle pompe la mesure est effec-
tuée.
On calculerait de meilleurs rendements pour les machines du
domaine du vide grossier (car la pression d’aspiration pa serait
moins basse). Les machines mécaniques, comme les pompes à
4.3 Mesures des autres caractéristiques anneau liquide, auront un meilleur rendement que les machines
thermiques (telles les pompes à jet de vapeur).

II n’en reste pas moins vrai que les rendements énergétiques des
L’utilisateur, désireux de réceptionner une installation de vide
pompes à vide seront toujours faibles.
n’aura pas, en général, à entreprendre la mesure d’autres caractéris-
tiques que celles évoquées ci-dessus.
La maîtrise de l’énergie ne passera donc pas, en général, par la
Toutes les normes Pneurop, AFNOR et DIN, précises et complètes, substitution d’un système par un autre thermodynamiquement plus
codifient les méthodes des mesures indiquées dans certains performant.
catalogues :
Au demeurant, la détermination d’un système de pompage,
— de l’absorption d’eau pour une pompe primaire ; dominée par des considérations techniques, ne laisse que rarement
— de la rétrodiffusion d’huile d’une pompe à jet de vapeur ; le choix entre plusieurs solutions.
— du taux de compression pour une pompe turbomoléculaire ;
— de la pression critique de refoulement. Tout effort pour maîtriser l’énergie serait-il dont exclu ? Nulle-
ment.
Bien que de telles mesures ne puissent pas être incluses dans les
essais de réception, il faut savoir que la quasi-totalité des construc- Que le rendement énergétique d’une pompe à vide soit mauvais,
teurs les ont adoptées et que les caractéristiques données dans les médiocre ou moyen, il reste que la puissance à lui fournir, qu’elle
notices techniques sont établies par ces méthodes, ce qui permet soit mécanique ou thermique, est sensiblement proportionnelle au
théoriquement une comparaison aisée. débit-volume de la pompe.

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5.1 Action sur les installations existantes 5.1.2 Pertes de charge

La pression qui importe à l’utilisateur est la pression dans

Le problème posé en technique du vide est d’absorber un flux l’enceinte. Celle que devra atteindre la pompe à vide est toujours
gazeux qG à une pression opérationnelle p avec une pompe à vide plus faible. Entre les deux, on trouve la perte de charge (conduc-
de débit-volume S. tance) de la canalisation de liaison pompe-enceinte.
Ces trois valeurs sont liées par la relation qG = pS. On sous-estime généralement l’influence de cette perte de charge
qui correspond toujours à une demande de puissance accrue du
On voit immédiatement que : générateur de vide.
— un flux parasite qui viendrait s’ajouter au flux du procédé q On rappelle ici deux effets importants des lois des écoulements
entraînerait une augmentation de S donc une augmentation de la laminaires et transitoires, cas général des écoulements en techni-
consommation d’énergie ; que du vide industriel (cf. [4]).
— une perte de charge due à une mauvaise conductance en ligne
Pour une canalisation donnée, parcourue par un flux donné, la
qui conduirait à entretenir à l’aspiration de la pompe une pression
perte de charge (conductance) est inversement proportionnelle à la
plus faible que souhaitable entraînerait une augmentation de S
pression moyenne dans Ia canalisation.
donc une augmentation de la consommation d’énergie ;
— un débit-volume S plus élevé qu’il ne serait nécessaire aug- Un clapet antiretour ou une vanne parfaitement adapté(e) pour
menterait Ia consommation d’énergie. une utilisation à la pression atmosphérique peut se révéler
désastreux(se) dans une utilisation à basse pression.
C’est par le contrôle de ces facteurs qu’on acquerra la maîtrise de
l’énergie en technique du vide. Exemple : une canalisation de liaison enceinte-pompe à vide pré-
sente une perte de charge de 3 hPa à une pression moyenne de
Des économies substantielles sont réalisables sur la plupart des 100 hPa. C’est une valeur tout à fait convenable car, bien entendu, il
installations existantes, par une surveillance attentive de l’installa- n’est pas question d’annuler totalement les pertes de charge.
tion ou par la mise en œuvre de modifications mineures. On veut alors faire fonctionner cette même installation à 30 hPa. La
Gagner 20 % sur la consommation d’énergie n’est pas rare mais perte de charge de la canalisation passe alors à 10 hPa. La pression à
on pourrait citer des exemples où l’on a gagné jusqu’à 50 %. atteindre à l’entrée de la pompe sera de 30 − 10 = 20 hPa.
Pour un flux donné, la perte de charge se trouve responsable d’une
Les sources de gaspillage d’énergie sont de trois ordres et sont augmentation du débit donc de Ia consommation d’énergie de 33 %.
immédiatement suggérées en considérant la formule qG = pS.
II faut aussi rappeler que la perte de charge est inversement pro-
portionnelle à Ia quatrième puissance du diamètre des canalisa-
5.1.1 Débit de fuites parasites tions.
Exemple : un dépôt de 4 mm d’épaisseur, dans une canalisation de
Les défauts d’étanchéité des assemblages (brides d’appareils, bri- 150 mm de diamètre, augmente la perte de charge de 20 % en admet-
des de tuyauteries, raccords, presses-étoupe, garnitures tant encore que le régime d’écoulement reste laminaire et que les
mécaniques, etc.) provoquent des entrées d’air parasites importan- aspérités de la paroi ne déclenchent pas des turbulences qui viendront
tes. Dans le domaine de l’ultravide, l’opérateur est tout de suite augmenter encore Ia perte de charge.
avisé d’une quelconque entrée d’air dans son installation car les
conditions de fonctionnement sont immédiatement profondément Pour résumer ce paragraphe, les erreurs les plus fréquemment
perturbées (1 mm3 d’air à la pression atmosphérique devient commises qui conduisent à une augmentation des pertes de char-
1 000 m3 à 1 x 10−9 hPa). ges, lesquelles se répercutent sur Ia consommation des pompes,
sont dues à :
II n’en est pas de même en vide grossier, domaine plus spécifique
— des canalisations comportant trop de coudes à angles vifs ou
des installations industrielles, où l’opérateur ne sera pas forcément
d’un trop faible rayon ;
alerté par une remontée significative de la pression dans l’installa-
tion. — des canalisations mal entretenues, encrassées et rugueuses ;
— des canalisations dont la voie est réduite par des dépôts
Exemple : soit un réacteur travaillant à 100 hPa et dont les produits condensés ;
de la réaction sont constitués pour 80 % de vapeurs condensables et — des vannes et des clapets antiretour, mal adaptés à la techni-
pour 20 % de gaz permanents. que du vide ;
Une fuite qui porterait la pression dans le réacteur à 105 hPa a de for- — des filtres partiellement colmatés.
tes chances de passer inaperçue ou, tout au moins, de n’alerter per-
sonne. Or, cette fuite est totalement constituée d’air donc de gaz
incondensable. Le débit-volume de la pompe d’extraction (cf. § 5.1.3) 5.1.3 Réglage du débit des pompes
passe de 20 à 25 m3/h et sa consommation se trouve augmentée de
25 %.
Une installation peut avoir de multiples fonctions. Une pompe
La vérification de l’étanchéité des installations devrait donc être peut donc avoir à s’adapter à plusieurs conditions de pompage.
effectuée périodiquement, car les joints et les garnitures d’étan- Au cours d’un traitement, il n’est pas rare de voir le flux à pomper
chéité se détériorent avec le temps. diminuer vers Ia fin de l’opération.
Cette vérification devient impérative à la mise en service et cha- En vertu du principe « qui peut le plus peut le moins », les pompes
que fois qu’intervient une modification de structure. installées sont capables du flux maximal mais aucune mesure n’est
Le contrôle d’étanchéité et ses corollaires, la localisation des fui- prise pour adapter leur débit-volume aux conditions de fonctionne-
tes et leurs réparations, sont des techniques qui ont aujourd’hui ment moins sévères ou bien, quand ces mesures sont prises, c’est
atteint leur pleine maturité [7]. par l’intermédiaire d’une vanne réglable localisée entre l’enceinte et
la pompe, ce qui maintient sans doute les conditions de pression au
Plusieurs sociétés de prestation de service peuvent se charger de niveau du réacteur mais n’améliore en rien la consommation d’éne-
telles opérations qui sont évidemment affaires de spécialistes. rgie de la pompe.

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II existe pourtant des moyens pour faire varier le débit-volume de détruire des déchets par incinération, peut fabriquer de Ia vapeur
des pompes en fonction du besoin et c’est ainsi qu’il faut procéder. à très bas prix).
Les pompes à anneau liquide permettent de s’adapter à une assez II est donc vain de vouloir établir des règles générales. Chaque
large gamme de vitesses, entre un maximum défini par les contrain- cas est un cas d’espèce. Il appartient à chacun de faire l’étude éco-
tes admissibles sur les aubages et une vitesse minimale définie par nomique avec ses données particulières.
le décrochage de l’anneau liquide. Cette étude est d’autant plus nécessaire que des économies
On peut faire varier leur débit-volume soit par variation électrique d’énergie considérables peuvent être faites par des substitutions
de la vitesse du moteur d’entraînement, soit par une transmission appropriées de systèmes de pompage.
par poulies et courroies appropriées.
On peut aussi faire varier le débit d’eau de refroidissement. Un
débit moindre conduit à un réchauffement de la pompe, lequel dimi- 5.2.2 Associations de pompes
nue Ie débit engendré.
Le niveau de pression requis par Ie processus exige souvent de
Dans un éjecteur à vapeur, on jouera sur Ia pression de la vapeur
placer plusieurs pompes à vide en série ; même si ce n’est pas une
motrice, soit en disposant de buses de sections différentes en fonc-
nécessité, Ies associations de pompes sont souvent bénéfiques sur
tion du traitement, soit en disposant d’une buse à section variable.
le plan économique.
Une buse à débit variable permettra aussi d’ajuster le débit de
vapeur à la température du condenseur, laquelle peut varier dans de
notables proportions (de 10 °C à 25 °C) entre l’hiver et l’été.
5.2.3 Associations condenseur et pompe
d’extraction

5.2 Conception d’installations nouvelles La combinaison la plus fréquemment rencontrée est l’association
et réingénierie d’une pompe à vide d’extraction avec un condenseur, celui-ci
n’étant rien d’autre qu’une pompe à vide à fixation.
Dans les processus industriels, les flux pompés sont le plus sou-
Le choix d’un type de pompe à vide sera le plus généralement vent constitués de vapeurs saturantes (vapeur d’eau ou autres
déterminé par des considérations techniques lesquelles pré- vapeurs aisément condensables) et de gaz permanents.
vaudront toujours sur les conditions économiques.
II est toujours économiquement avantageux d’extraire le maxi-
Le tableau de la figure 2 donne une idée des solutions possibles mum de vapeurs condensables par condensation, Ia pompe
en fonction des deux variables essentielles que sont Ia pression d’extraction n’étant alors dimensionnée que pour extraire les gaz
opérationnelle et le débit-volume. permanents.
Dans l’immense domaine de la technique du vide, nous avons Si l’on fait un retour en arrière, on voit combien le débit de fuites
limité notre étude aux pressions supérieures à 1 hPa et aux débits- parasites peut être coûteux car il augmente Ia capacité installée de
volumes supérieurs à 70 dm3/s (partie droite du tableau) les problè- Ia seule pompe d’extraction qui sera une machine toujours plus oné-
mes posés dans le vide poussé (pompes secondaires) étant très dif- reuse qu’un condenseur.
férents.
Le débit-volume de Ia pompe d’extraction, calculé pour le seul
En dehors de ces frontières, les problèmes énergétiques sont flux permanent de gaz incondensables, conduit quelquefois à des
marginalisés, soit que les considérations techniques priment (c’est machines de capacité insuffisante pour abaisser Ia pression dans
le cas des pressions inférieures à 1 hPa), soit que les puissances l’enceinte au niveau souhaité en un temps raisonnable. II peut être
mises en jeu soient trop faibles pour justifier I’intérêt d’une étude alors bénéfique de prévoir deux groupes de pompage, I’un puissant
critique. utilisé pour la mise en route et l’autre de performances moindres
Rappelons que, si les deux variables évoquées ci-dessus sont pré- mais de fonctionnement plus économique pour le traitement.
pondérantes, ce ne sont pas forcément les seules conditions techni-
ques à prendre en considération.
5.2.4 Choix du type de pompes à vide en amont
La sélection technique une fois réalisée, il reste qu’on peut se du premier condenseur
trouver en présence de plusieurs solutions techniquement satisfai-
santes. La sélection se poursuivra alors sur des critères purement
économiques. La plus grande partie des vapeurs condensées ayant été retenue
dans le premier condenseur, le choix du groupe d’extraction, appelé
quelquefois groupe de désaérage, reste à faire.
5.2.1 Pompes à éjecteur (thermocompresseur) Ce groupe est de plus en plus rarement constitué par une chaîne
ou pompes mécaniques d’éjecteurs à vapeur [8]. Les éjecteurs sont en effet d’autant plus
gourmands en énergie qu’ils travaillent à pression élevée.
La combinaison Ia plus fréquemment rencontrée oppose les éjec- On préférera donc aujourd’hui des pompes mécaniques, telles
teurs (thermocompresseurs) et les compresseurs mécaniques que dépresseurs Roots, pompes à anneau liquide avec ou sans éjec-
(pompes volumétriques à anneau liquide, à bain d’huile ou pompes teur à jet d’eau, pompes sèches.
Roots). Elle donne lieu à des affrontements sans fin entre les tenants
de l’une ou de l’autre formule. Sur le plan purement thermodynami-
que, Ia question est tranchée facilement, Ia supériorité des pompes 5.2.5 Consommation d’eau.
mécaniques sur les pompes à injecteurs n’étant pas contestable. Usage des échangeurs-condenseurs
Mais cette considération ne règle en rien le problème économi-
que, pour lequel il faut faire intervenir le coût de toutes les énergies La plupart des pompes à vide industriel nécessitent une circula-
mises en œuvre : électricité, eau, vapeur. tion d’eau de refroidissement. Pour certaines d’entre elles (pompes
Or, les prix de revient de ces différents fluides peuvent être extrê- à anneau liquide), l’eau est un élément fonctionnel.
mement différents selon les situations locales (l’utilisateur dispo- On peut alimenter la pompe soit en eau perdue, soit avec récupé-
sant d’un puits peut se fournir en eau à bon compte ou celui obIigé ration partielle de l’eau, soit en circuit totalement fermé.

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Dans ce dernier cas, le refroidissement du liquide peut se faire par C’est un fait d’expérience que, dans une chaîne de pompes, la cor-
échangeur eau-eau ou aéroréfrigérant. rosion se produit toujours dans la pompe qui refoule à pression
Un bilan économique de ces trois solutions montre que l’une ou atmosphérique.
l’autre d’entre elles peut se montrer plus avantageuse selon les
coûts de l’eau, de l’électricité et le taux d’utilisation de Ia machine.
Encore une fois, on ne peut pas ici donner de règle générale. Il 6.1 Propriétés des huiles de pompes
s’agit de cas d’espèce et le calcul est à faire pour chaque cas particu- à vide
lier.
Mais il mérite cependant d’être fait, surtout quand il conduit à des
résultats a priori un peu paradoxaux. N’est-il pas surprenant de Examinons donc les propriétés spécifiques demandées aux huiles
constater, par exemple, qu’il peut être plus économique de refroidir de pompes à vide et spécialement à celles qui doivent être utilisées
une pompe par un échangeur eau-eau que de Ia refroidir directe- en milieu industriel, où l’on a souvent affaire à des gaz ou à des
ment en eau perdue ? vapeurs corrosives.

6.1.1 Pression de vapeur

6. Huiles pour pompes à vide
Une huile pour pompe à vide doit avoir une faible pression de
vapeur aux températures de fonctionnement de la machine.
Les pompes à huile utilisées industriellement comportent de très
En admettant que la pompe travaille à des températures voisines
nombreux modèles.
de 60 °C, ce qui est le cas général, plus exceptionnellement jusqu’à
Toutes utilisent ou peuvent utiliser l’huile, non seulement pour 100 °C, il est évident qu’on ne peut atteindre des pressions inférieu-
son action lubrifiante mais à des fins fonctionnelles. res à la pression de vapeur saturante de l’huile à la température de
Les éjecteurs, dont le fluide moteur peut être l’air, l’eau ou la fonctionnement de la pompe.
vapeur d’eau, travaillent aussi pour certaines applications à la La figure 22 donne les courbes de la pression de vapeur en fonc-
vapeur d’huile. tion de la température pour quatre huiles types utilisées dans les
Les pompes à anneau liquide ne fonctionnent pas uniquement pompes.
avec un anneau d’eau bien que ce soit leur utilisation la plus répan-
due. Les applications pour lesquelles on utilise d’autres fluides, dont
l’huile, sont de plus en plus fréquentes.
Enfin, toute la famille des pompes à piston oscillant, à palettes à Pression de vapeur
joint d’huile ou à multipalettes à bain d’huile fonctionnent avec de (hPa)
l’huile liquide introduite dans la chambre de compression elle-
même.
Les fonctions demandées à cette huile sont multiples. D’abord elle
1 2
doit remplir son rôle habituel de lubrifiant. Elle participe ensuite aux
transferts de chaleur dans la pompe. Enfin, elle constitue un joint 10 –1
d’étanchéité entre les pièces mécaniques en mouvement relatif. 3
4
Cette dernière action confère aux pompes de la famille à joint
10 –2
d’huile de remarquables propriétés puisque celles-ci sont les seules
à développer des taux de compression de 106 en refoulant à pres-
sion atmosphérique. 10 –3
Ces performances ne sont obtenues cependant qu’avec des huiles
dotées de propriétés inhabituelles au regard de ce qui est demandé 10 – 4
à l’huile utilisée comme seul lubrifiant.
Nous n’étudierons pas ici les fluides pour pompes à jet de vapeur.
10 – 5
Non pas que nous rejetions celles-ci hors de la classe des machines
industrielles, mais nous pensons que les usagers des vides poussés
sont déjà très avertis des problèmes d’huile. 10 – 6
Au demeurant, le problème des fluides pour les pompes à vide
poussé est sensiblement moins complexe que celui des pompes 10 –7
pour le vide moyen, pour deux raisons essentielles :
— la première est qu’aux basses pressions les quantités de gaz
mises en jeux sont extrêmement faibles et l’action des gaz, s’ils sont 10 – 8
– 40 – 20 0 20 40 80 120 160 220
corrosifs, est très limitée ;
— la seconde est qu’aux températures moyennes et aux pres- Température (°C)
sions voisines de l’atmosphère on condense en phase liquide des
1 huile minérale raffinée à base paraffinique
fluides qui restent en phase gazeuse à des pressions moins élevées.
Exemple : prenons le cas de l’eau. À une pression de 10−3
hPa, la 2 huile minérale distillée sous vide
vapeur se condense à − 80 °C, condition qu’on ne rencontre pas en pra- 3 huile synthétique perfluoropolyéther
tique, alors qu’à 20 hPa, elle se condense à 18 °C et à 200 hPa à 60 °C.
4 huile synthétique chlorocarbonée
Or la corrosion par les liquides qui restent dans la pompe est
beaucoup plus intense que celle qui se produit par les gaz qui eux ne Figure 22 – Pression de vapeur saturante des huiles pour pompes
font qu’être transférés. primaires (doc. Alcatel)

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Tableau 2 – Pression limite obtenue dans une pompe à palettes à deux étages avec différentes huiles
Pression de vapeur à 60 °C Pression limite de la pompe
Type d’huile
(hPa) (hPa)
Huile minérale raffinée à base paraffinique 2 x 10−3 2 x 10−3
Huile minérale distillée sous vide 3x 10−5 1 x 10−3
Huile synthétique perfluoropolyéther 3x 10−5 2 x 10−3
Huile synthétique chlorocarbonée 3x 10−4 5 x 10−3

Ces courbes, en fait, ne représentent que des valeurs moyennes.

Viscosité
Les huiles ne sont pas des corps chimiquement purs, ce sont des
mélanges dont les composants ont des pressions de vapeur diffé- (10–3 Pa . s)
rentes pouvant s’étendre sur une plage d’une puissante de 10. Mais 1 200
il n’y a pas dans les pompes mécaniques, d’autorectification 3
(comme dans certaines pompes à diffusion) et cela n’a donc pas de
conséquences pratiques. 4
600
Il ne faut cependant pas considérer uniquement le critère de la 500
pression de vapeur. Quelle soit faible est certes une condition néces- 400
saire. Elle est loin d’être suffisante. 300
La pression limite d’une pompe n’est pas directement liée à la
pression de vapeur de l’huile et l’emploi d’une huile à basse pres- 200
sion de vapeur n’entraîne pas automatiquement une basse pression
limite, ainsi que le montre le tableau 2.
100
Expliquer ce phénomène nous conduirait à entrer trop en détail 1
dans le fonctionnement des pompes à joint d’huile. 2

On peut cependant retenir que, dans toutes les pompes rotatives, 50

les caractéristiques (le vide limite en particulier) sont largement
dépendantes de la quantité et de la qualité de l’huile qui, au cours du
cycle, est transférée du compartiment haute pression au comparti-
ment basse pression. 25

Cette quantité et cette qualité dépendent de la viscosité de l’huile

et surtout de ses aptitudes à dissoudre les gaz.
Une huile dans laquelle les gaz sont facilement solubles donnera 10
un médiocre vide limite. 10 20 25 30 40 50 60 70 80 100
Température (°C)
Ajoutons que les valeurs indiquées sur le tableau de la figure 2 se
rapportent à des pompes aspirant de l’air sec et pur. Qu’en sera-t-il 1 huile minérale raffinée à base paraffinique
après quelques semaines de travail ? Les performances indiquées 2 huile minérale distillée sous vide
ne peuvent que se dégrader. 3 huile synthétique perfluoropolyéther
4 huile synthétique chlorocarbonée
1 centipoise = 10–3 Pa . s
6.1.2 Lubrification
Figure 23 – Viscosité des huiles pour pompes primaires (doc. Alcatel)

Il ne faudrait pas oublier que la fonction de l’huile introduite dans

la pompe est d’être un bon lubrifiant.
6.1.3 Viscosité
Cette condition limite quelque peu la panoplie des huiles qui peu-
vent être utilisées dans les pompes mécaniques. La figure 23 donne, pour les quatre huiles types déjà prises
C’est ainsi que, dans les pompes à jet de vapeur, on utilise des comme référence, la variation de la viscosité en fonction de la tem-
huiles dont la pression de vapeur est très basse. Mais celles-ci ne pérature. Comme on peut le voir, les pompes sont assez tolérantes,
sont pas de bons lubrifiants et ces huiles ne doivent pas être utili- quant à la viscosité de l’huile utilisée.
sées dans les pompes mécaniques. De plus, on a vu, en effet, qu’une Il faut se rappeler qu’une huile visqueuse entraîne une sur-
huile à très basse pression de vapeur n’entraîne pas forcément de consommation d’énergie (il faudra quelquefois entraîner la pompe
meilleures performances de la pompe. par un moteur plus puissant) et fait travailler la pompe à des tempé-
ratures plus élevées, ce qui accroît l’agressivité des gaz corrosifs.
Par contre, si on ne recherche pas de basses pressions limites, par Très grossièrement, on peut admettre qu’aux températures moyen-
exemple dans les pompes multipalettes à huile recyclée ou non, nes la vitesse de corrosion double pour une augmentation de tem-
pour des pressions supérieures à 1 hPa, on peut employer des hui- pérature de 10 °C.
les standards pour moteur.
L’huile de forte viscosité peut aussi poser des problèmes lors du
L’huile multigrade 20-40 convient fort bien. démarrage à froid des pompes surtout si celles-ci sont situées dans

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des locaux non chauffés. Des dispositifs de préchauffage existent Ces huiles sont malheureusement sensibles aux produits corro-
pour les cas exceptionnels. sifs (composés chlorés et fluorés, acides minéraux ou organiques et
Par contre, à chaud, une viscosité trop faible peut entraîner des dioxygène, lorsque sa concentration dépasse notablement les 20 %
instabilités de vitesse de pompage, le joint d’huile qui donne à la de sa teneur dans l’air).
pompe ses performances ne se formant pas convenablement. Historiquement, le problème s’est posé pour la première fois en
Il y a quand même des différences assez sensibles dans les carac- termes industriels dans les années 50 pour la séparation isotopique
téristiques de viscosité des huiles conseillées par les différents de l’uranium et du trifluorure de chlore.
constructeurs et il est recommandé de suivre sur ce point les ins- Les pompes à joint d’huile de par leurs possibilités antérieures
tructions fournies. étaient souvent considérées comme des outils de laboratoire aux
Les pompes à piston oscillant, par exemple, ont besoin d’une performances remarquables certes mais impropres à un usage
huile plus visqueuse que les pompes à palettes. industriel.
Les progrès de ces dernières années remettent fondamentale-
6.1.4 Pouvoir de désémulsion ment en cause cette façon de voir.
On trouve aujourd’hui sur le marché toute une gamme d’huiles
On a vu que les vapeurs condensables, l’eau en particulier, pou- synthétiques résistant bien aux agents chimiques et adaptées à dif-
vaient se transformer en liquide au cours du cycle de compression. férents usages qui ouvrent très largement le domaine d’utilisation
des pompes à joint d’huile.
Bien que les pompes à joint d’huile possèdent toutes un dispositif
dit « lest d’air » qui évite cette transformation dans la chambre de
compression, on ne peut empêcher, dans ces machines, de mettre
en contact l’huile avec les liquides condensés.
6.2 Différentes huiles utilisables dans
En général, ces liquides sont peu miscibles à l’huile et ils se
décantent facilement ; il existe cependant des huiles antiémulsion
les pompes à vide
qui facilitent cette séparation.
Ces huiles ont en général une moins bonne pression de vapeur, Le tableau 3 donne une vue synthétique des huiles utilisées
mais cette perte de caractéristiques est assez faible et, en milieu aujourd’hui dans les pompes à joint d’huile.
industriel, peut être négligée eu égard aux avantages qu’elles
apportent. On voit qu’à côté des huiles d’usage général qui restent encore les
plus utilisées, on a le choix entre différentes huiles de propriétés
spécifiques. Nous avons fait figurer dans la dernière colonne du
6.1.5 Résistance à la température tableau, les prix relatifs et approximatifs de ces différentes qualités
d’huile. L’éventail des prix, comme on le constatera, est extrême-
ment ouvert et il ne serait pas convenable de choisir systématique-
Les pompes à vide mécaniques travaillent normalement à des
ment le fluide le plus performant.
températures comprises entre 60 et 100 °C, la limite supérieure
étant plutôt exceptionnelle. Exemple : les huiles minérales doublement distillées ne compren-
La plupart des huiles supportent ces températures sans dom- nent plus que des composés hydrocarbonés à chaînes longues qui sont
mage. Cependant la température moyenne de l’huile de la pompe plus résistants aux attaques chimiques que les composés à chaînes
peut ne pas être significative de la température maximale atteinte courtes. Ces huiles, dont le prix est sensiblement inférieur à celui des
par l’huile à certains points chauds localisés. En particulier, l’huile huiles perfluoropolyéther de synthèse, beaucoup plus résistantes, peu-
qui passe du compartiment haute pression au compartiment basse vent souvent rivaliser avec elles. Nous reviendrons plus en détails sur
pression du point de contact rotor-stator est fortement laminée et sa ces questions économiques.
température s’élève localement à une valeur très supérieure à la
température moyenne.
Il est donc prudent, pour éviter une détérioration trop rapide de 6.3 Vieillissement de l’huile
l’huile lorsque la pompe travaille à des régimes pour lesquels la
puissance de compression est grande, d’utiliser une huile particuliè-
rement résistante à la température. Ce type d’huile a une pression
L’action de la température, l’émulsion avec l’eau ou les solvants,
de vapeur moins bonne que les huiles standards utilisées mais,
l’attaque par les gaz corrosifs font perdre à l’huile ses qualités initia-
dans cette application, cela n’a aucune importance. La puissance de
les de lubrification (sa pression de vapeur augmente ainsi que sa
compression dans une pompe à vide mécanique refoulant à pres-
viscosité).
sion atmosphérique est nulle dans les deux cas limites où la pres-
sion d’aspiration est soit très faible (< 1 hPa), soit voisine de la La vitesse de dégradation est extrêmement variable en fonction
pression atmosphérique. Elle passe par un maximum situé aux de l’usage qui est fait de la pompe. Il est impossible comme le font
environs de 400 hPa. Cette puissance de compression vient s’ajou- les constructeurs d’automobiles de donner des consignes d’entre-
ter à la puissance perdue par frottements visqueux qui est sensible- tien basées sur un temps de fonctionnement.
ment constante en fonction de la pression...
Une pompe travaillant en permanence au vide limite sur un circuit
propre peut fonctionner un an sans révision. Ce temps peut être
6.1.6 Inertie vis-à-vis des produits chimiques réduit à une semaine ou moins, si la pompe doit absorber des gaz
corrosifs. Il serait donc de la première importance de pouvoir
contrôler le vieillissement de l’huile par une mesure quantitative. Il
Pendant des décennies, les pompes à vide à joint d’huile n’ont été n’existe malheureusement pas à l’heure actuelle de méthode rigou-
utilisées que pour pomper de l’air sec, de la vapeur d’eau ou le reuse permettant ce contrôle. Dans la majorité des cas, on conseille
mélange des deux. à l’utilisateur d’examiner la couleur, l’odeur et la viscosité de l’huile
Pour ces applications les fluides dont sont chargés les pompes et de se constituer sa propre expérience. On conviendra que ces
sont des huiles qu’on peut qualifier d’usage général. Ce sont des directives sont extrêmement sommaires. Pour ne pas être totale-
huiles minérales, raffinées, de base paraffinique, donnant de bon- ment négatif, on peut conseiller de compléter l’examen visuel par
nes pressions limites. une mesure du pH de l’huile ou d’indice de neutralisation [9].

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Tableau 3 – Principales huiles utilisables dans les pompes à vide (doc. Alcatel)
Propriétés
Constitution Applications Prix relatif
favorables défavorables
Huile minérale raffinée de base paraffinique Bonne pression limite Combustible Usage général 1
Huile minérale raffinée de base paraffinique Pompage vapeur d’eau,
avec additifs antiémulsion, antirouille, Combustible séchage sous vide, lyophi- 1
dopage basique, etc. lisation, pompage vapeur
faiblement acide
Utilisable simultanément
Très basse pression de dans les pompes mécaniques
Huile minérale de base paraffinique vapeur, résistante Combustible et à jet de vapeur 5à8
doublement distillée à la corrosion Recommandée pour la lubrifi-
cation des engrenages
de pompes Roots
Résistante Pompage à pression élevée
Huile synthétique hydrocarbonée à la température Combustible (100 hPa) 1,5

Très grande viscosité

nécessitant un moteur
Bonne résistance aux puissant
Huile synthétique chlorocarbonée agents chimiques Déconseillée par cer- 75
tains constructeurs eu
égard à sa grande visco-
sité
Très grande inertie aux Pompage oxygène, ozone
produits chimiques oxydant minéraux, composés
Huile synthétique perfluopolyéther même à température halogénés, bases minérales, 100
élevée sels minéraux, acides miné-
Ininflammable raux, acides de Lewis
Déconseillée pour
le pompage d’oxygène
Huile triarylphosphate-ester pur ou de concentration Pompage des gaz oxydants 3
supérieure à 30 %

Cette mesure, si elle apporte un élément quantitatif d’évaluation,

ce qui constitue un progrès incontestable sur l’examen visuel, ne Cartouche
Orifice filtrante
dispense pas pour autant l’utilisateur de se constituer lui-même sa de remplissage
propre règle. Il devra tester l’huile neuve et à différents degrés
d’usage pour déterminer lui-même la fréquence des opérations
d’entretien.
Manomètre

Vannes d'isolement
de la pompe
6.4 Régénération de l’huile

Quoi qu’il en soit, l’utilisateur souhaitera retarder le vieillissement

de l’huile dans toute la mesure du possible et, en particulier, en la Préfiltre
régénérant. huile Pompe
de circulation
La régénération de l’huile se fait en continu. Une pompe la fait cir- d'huile
culer dans un circuit comportant des filtres appropriés (figure 24). Vannes de vidange
du filtre
Ces filtres sont soit mécaniques soit chimiques.
Le filtre mécanique s’impose lorsque les gaz pompés sont char- Figure 24 – Filtration d’huile en continu sur pompe à joint d’huile
gés de poussières, ou que leur combinaison avec l’huile donne lieu (doc. Alcatel)
à formation de particules solides (boues, cristaux...). Il n’est cepen-
dant pas sans action sur l’acidité de l’huile. Les produits de réaction
des gaz corrosifs avec l’huile sont souvent formés de petits cristaux Les filtres chimiques peuvent être équipés de différentes cartou-
et la seule filtration mécanique améliore toujours le pH de l’huile. ches (terre ou alumine activées) recommandées pour l’absorption
Les filtres chimiques sont à utiliser lorsque les fluides pompés des acides minéraux, charbons actifs pour les gaz chlorés, l’ammo-
sont susceptibles de se dissoudre dans l’huile. niac et les produits nitreux.
Comme ce sont aussi des filtres mécaniques, on évitera de les uti- Ce traitement de l’huile en continu, qui nécessite un investisse-
liser seuls, lorsque le gaz pompé est fortement chargé en poussiè- ment au départ, peut retarder le vieillissement de l’huile d’un facteur
res. Ils sont aussi recommandés avec les huiles dopées car celles-ci 20 ou même 50, ce qui le rend presque toujours économiquement
ne sont pas neutres et perdraient leurs propriétés. valable.

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Azote sec 6.6 Considérations économiques

Évacuation
Entrée
du pompage Pratiquement, l’utilisation d’huiles de synthèse perfluorées per-
met de résoudre tous les problèmes de pompage de fluides agres-
Vanne sifs. Toutefois, leur prix est tel qu’il faut réfléchir à l’aspect
de lest d'air
économique avant d’adopter une solution aux performances techni-
ques élevées.
Il y a un optimum à trouver pour le coût de la maintenance en
fonction de la fréquence des vidanges d’huile et le prix unitaire
(matière et main d’œuvre) d’une vidange.
Corps de pompe
On ne peut pas, bien sûr, donner de règles générales, le premier
facteur dont dépend la solution étant l’activité corrosive des gaz
pompés.
Figure 25 – Balayage d’azote dans une pompe à joint d’huile Un bilan peut faire apparaître que l’huile moins résistante à la cor-
(doc. Alcatel) rosion est économiquement plus avantageuse. Toutefois, le bilan
doit être fait avec beaucoup de précautions, d’une part parce que les
données économiques varient d’un utilisateur à l’autre et d’autre
part, surtout, parce que les données techniques varient en fonction
6.5 Problèmes de sécurité de l’intensité de la pollution de l’huile.
On peut dire avec une quasi-certitude que, pour une pollution
Les gaz pompés peuvent poser certains problèmes de sécurité ou relativement faible, la solution « huile chère » semble plus avanta-
plus simplement de récupération d’effluents. geuse.
L’industrie électronique fait aujourd’hui usage de gaz particuliè-
rement corrosifs ou dangereux, composés fluorés, chlorés, phos- Mais on ne peut rien conclure, si la pollution est forte.
phorés, dioxygène pur.
Le plus grave des dangers à prendre en considération est l’explo-
sion. Celle-ci peut se produire avec le dioxygène, si sa concentration 6.7 Conclusion
est supérieure aux 20 % de sa teneur normale dans l’air par réaction
sur l’huile de la pompe, mais elle peut aussi se produire avec le
dihydrogène, le silane, etc. par réaction avec le dioxygène de l’air.
L’huile utilisée dans une pompe à vide comme fluide fonctionnel
Le risque le plus important est constitué par les volumes morts confère à la pompe, quel que soit son type, des propriétés toujours
dans lesquels le gaz peut s’accumuler.... On devra donc veiller à intéressantes au plan des performances en basses pressions.
balayer ceux-ci avec un gaz neutre (voir figure 25).
Les autres gaz corrosifs devront être arrêtés par des pièges, soit Mais la relative intolérance de l’huile à de nombreux fluides pom-
chimiques, soit froids (au diazote liquide en général) si on a affaire à pés, qui se traduit par la perte de ses qualités essentielles (pouvoir
des vapeurs condensables. lubrifiant, basse pression de vapeur) ou par un danger d’explosion,
limitait dans un passé encore récent sa diffusion.
La position des pièges sur le circuit de vide est importante. Si on
les place en amont de la pompe, ils ont l’avantage de la protéger De récents progrès, notamment avec l’apparition d’huiles synthé-
puisque les éléments corrosifs seront arrêtés avant de l’avoir tiques très résistantes et la création d’accessoires d’environnement,
atteinte. Cette solution est cependant souvent onéreuse. À l’aspira- ont fondamentalement renouvelé les données du problème.
tion de la pompe, les gaz sont détendus, ils occupent un grand
volume, les pièges sont volumineux et coûteux. Il est presque tou- Mais cela ne suffit pas. La maintenance et la contamination par
jours préférable de charger la pompe avec une huile résistant à la rétrodiffusion, le coût entraîné par le rejet des huiles ont amené au
corrosion, même si celle-ci est chère et d’arrêter les gaz corrosifs au développement des pompes sèches qui n’utilisent aucune huile
refoulement. fonctionnelle.
Quelle que soit la place des pièges sur le circuit, il ne faut pas L’industrie du vide ultrapropre a même supprimé l’huile et les
oublier que ceux-ci peuvent être dangereux car les produits arrêtés graisses des roulements et utilise, pour les récentes générations de
s’y accumulent. Le réchauffage d’un piège froid peut entraîner une pompes turbomoléculaires, des paliers magnétiques. Quant aux
surpression considérable. Une entrée d’air sur un piège chimique pompes primaires, des balayages diazote judicieusement installés
peut provoquer une explosion. interdisent toute rétrodiffusion d’huile dans la chambre de procédé.

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Liste des mots clés Pression limite

§ 3.1
Pression critique
Vide § 3.4
[BM 4 270] Puissance
Pompe à vide
§ 3.6
§3 §4
Étanchéité
Compression
§ 3.3 § 3.9.1
Débit-volume Huile
§ 3.2 §6

Situation de l’article

N˚ de traité : 15
N˚ de rubrique : 15
N˚ de sous-rubrique : 10
N˚ de volume : B4

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