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Pompes à transfert de gaz

Pompes cinétiques
par Jean LECLERC
Ingénieur de l’École supérieure de chimie industrielle de Lyon
Docteur 3e cycle chimie minérale et structurale
Consultant

1. Définition normative ............................................................................... BM 4 272 - 2

2. Pompes cinétiques à fluide moteur .................................................... — 2
2.1 Pompe à vide à éjecteur.............................................................................. — 2
2.2 Pompe à diffusion........................................................................................ — 2
2.2.1 Principe ................................................................................................ — 2
2.2.2 Caractéristiques .................................................................................. — 3
2.2.3 Mise en œuvre .................................................................................... — 5
2.3 Pompe à diffusion et à éjecteur (booster à vapeur d’huile) ..................... — 6
3. Pompes cinétiques à entraînement mécanique .............................. — 6
3.1 Dépresseurs à turbine ................................................................................. — 6
3.1.1 Dépresseurs à flux axial ..................................................................... — 7
3.1.2 Dépresseurs à flux radial ................................................................... — 7
3.2 Pompes moléculaires .................................................................................. — 8
3.3 Pompes turbomoléculaires......................................................................... — 9
3.3.1 Principe ................................................................................................ — 9
3.3.2 Caractéristiques .................................................................................. — 10
3.4 Pompes turbomoléculaires hybrides ......................................................... — 12
3.5 Pompes turbomoléculaires cryogéniques................................................. — 12
Pour en savoir plus ........................................................................................... Doc. BM 4273

ans l’article sur les pompes volumétriques paru dans les Techniques de
D l’Ingénieur, on a pu remarquer que ces pompes avaient pour principe uni-
quement la compression par variation de volume. Ce n’est pas le seul principe
physique permettant d’évacuer ou de transférer des gaz ou des vapeurs d’une
enceinte pour la mettre « sous vide ».
Le second principe utilisé consiste à changer le vecteur vitesse des molécules
pour les entraîner dans un autre milieu. Ce changement peut être obtenu de plu-
sieurs façons par voie mécanique, en imprimant aux molécules des composan-
tes de vitesse pour les faire circuler où bon nous semble. Ces moyens diffèrent
les uns des autres du macroscopique (ailettes de turbine...) au microscopique
(chocs de molécules d’un fluide sur les molécules à pomper...). Cela nous don-
nera les différents types de pompes :
— pompes à fluide moteur (éjecteur...) ;
— pompes à entraînement mécanique (pompe turbomoléculaire, turbine
axiale et canal latéral).

Pour de plus amples renseignements sur la production du vide et les pompes volumétriques,
on se reportera aux articles [BM 4 270] et [BM 4 271] de ce traité [1] [4].

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1. Définition normative Air

comprimé Clapet

La norme NF X 10-501 donne la définition suivante d’une pompe

cinétique : Refoulement

« Pompe à vide dans laquelle une quantité de mouvement est

communiquée au gaz ou aux molécules de façon telle que le gaz
est transféré de l’admission vers le refoulement. On distingue
les pompes cinétiques à fluide moteur et les pompes cinétiques
à entraînement mécanique. »

Ces deux groupes sont étudiés par la suite.

Aspiration
2. Pompes cinétiques à fluide
moteur Figure 1 – Éjecteur (doc. PIAB)

2.2 Pompe à diffusion

Ce groupe comprend plusieurs types de pompes basés sur le
même principe physique.

Nous distinguerons deux sous-groupes : Définition normative : « Pompe cinétique dans laquelle une
nappe de vapeur à faible pression animée d’une grande vitesse
— le premier, essentiellement destiné au vide industriel (ou vide sert de fluide d’entraînement. Les molécules de gaz diffusent
grossier), couvrant le domaine des pressions depuis une atmos- dans cette nappe et sont entraînées vers le refoulement. Le
phère jusqu’aux environs de quelques pascals ; nombre volumique de molécules de gaz est toujours faible dans
la nappe de vapeur. Une pompe à diffusion fonctionne correcte-
— le second allant de quelques pascals au vide poussé et à l’ultra- ment en régime moléculaire ».
vide.

Le terme pompe à diffusion n’est pas correct car le mot diffusion

n’a rien à voir avec le mode de fonctionnement. C’est une habitude
2.1 Pompe à vide à éjecteur des techniciens du vide : il faut parler de pompe à jets de vapeur.
Ce sont essentiellement des pompes secondaires pour le vide
poussé et l’ultravide. Elles ne peuvent fonctionner que « prévidées »
Définition normative : « Pompe cinétique qui utilise la dépres- par une pompe primaire qui abaissera préalablement la pression
sion créée par un effet Venturi et dans laquelle le gaz est dans le domaine intermédiaire et moléculaire où le libre parcours
entraîné dans un jet à grande vitesse vers le refoulement. Un moyen des molécules à pomper sera supérieur à quelques centimè-
éjecteur fonctionne correctement dans les conditions d’un tres (une dizaine de pascals).
régime visqueux ou intermédiaire. »

2.2.1 Principe
Pour une étude détaillée sur les éjecteurs, le lecteur se reportera à
l’article [B 4 250] de ce traité [5]. La figure 2 schématise une telle pompe d’un modèle le plus cou-
rant.
Suivant la nature du fluide, nous aurons trois types de pompes :
Dans un réservoir dans lequel on fait un vide préalable, on chauffe
— la trompe à vide : « éjecteur qui utilise un liquide (habituelle- à environ 200 °C une huile de masse molaire élevée (supérieure à
ment de l’eau) comme fluide d’entraînement » ; 250) dont la pression de vapeur à température ambiante est très fai-
ble (de l’ordre de 10−5 Pa et même moins) et qui aura, à une tempé-
— l’éjecteur à gaz pour le vide : « éjecteur qui utilise un gaz non
rature de 200 °C, une pression de vapeur relativement élevée (de
condensable comme fluide d’entraînement » ; l’ordre de 100 Pa).
— l’éjecteur à vapeur pour le vide : « éjecteur qui utilise une La vapeur d’huile monte dans les collecteurs et est envoyée dans
vapeur (d’eau, de mercure ou d’huile) comme fluide d’entraî- le réservoir par des tuyères qui lui donnent une vitesse supersoni-
nement ». que. Le jet de vapeur atteint la paroi refroidie par circulation d’eau.
La vapeur s’y condense, coule sur la paroi et, par gravité, revient à
Remarque : l’industrie de la manutention a développé des petits la chaudière. L’huile en phase vapeur et liquide travaille donc en cir-
éjecteurs à air comprimé compacts à plusieurs étages (figure 1). cuit fermé.
Ces éjecteurs peuvent aussi être utilisés comme pompe primaire
pour amorcer des pompes moléculaires et turbomoléculaires hybri- Pendant leur trajet dans le réservoir, les molécules du jet de
des (cf. § 3.2) [1]. vapeur entrent en collision avec celles du gaz à pomper.

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Aspiration Fluide Débit-volume

(basse pression) de pompage (unités arbitraires)
Molécules
de gaz
Réfrigérant H2

He
Vapeur
N2 de décomposition
1er étage du fluide
Refoulement Ar
(haute pression)

2e étage Vapeur du fluide

Chicanes de pompage
3e étage

Retour 10–13 10–11 10–9 10–7 10–5 10–3 10–1

des vapeurs Pression (hPa)
condensées
4e étage Figure 3 – Débit-volume d’une pompe à diffusion
(éjecteur) en fonction des gaz pompés
Bouilloire
Fluide
Chauffage de pompage qui caractérise l’efficacité de la pompe. Les pompes récentes ont un
électrique facteur de Ho supérieur à 0,5.
Exemple : une pompe de diamètre 100 mm a un débit-volume pour
Figure 2 – Pompe à diffusion : mécanisme (doc. Varian)
le diazote à 20 °C de 2 500 dm3/s et une pompe de diamètre 600 mm
un débit-volume de 10 000 dm3/s (on parle plutôt couramment en litres
par seconde).
La quantité de mouvement de la molécule de vapeur d’huile
(masse élevée, grande vitesse) est considérablement plus grande On n’utilise plus guère aujourd’hui de pompes à diffusion de
que celle du gaz à pomper ; la molécule du gaz à pomper est donc grands diamètres (on a fabriqué pour certaines enceintes de simula-
renvoyée principalement dans la direction du jet de vapeur. tion spatiales des pompes de 1 500 mm de diamètre). On préfère
actuellement, pour des débits-volumes supérieurs à 10 000 dm3/s,
La combinaison de l’action de trois jets (parfois quatre) produit utiliser des pompes cryogéniques (cf. article [B 2 382] du traité
l’effet de pompage désiré. Génie énergétique) [7].
Le gaz pompé est extrait de la partie inférieure du réservoir par Il est indispensable de prendre en compte d’autres caractéristi-
une canalisation munie de chicanes afin d’éviter l’entraînement ques spécifiques. Comme le montre la figure 3, le débit-volume est
d’huile en communication avec l’aspiration de la pompe primaire. fonction de la nature des gaz pompés. Dans une pompe à diffusion,
les gaz légers (dihydrogène, hélium) seront plus facilement pompés
que les gaz lourds à masse molaire élevée (hydrocarbures) et la
2.2.2 Caractéristiques pression limite sera plus mauvaise. Le débit-volume (ou vitesse de
pompage) est inversement proportionnel à la racine carrée de la
masse molaire du gaz. Cela est une conséquence directe du mode
■ Taux de compression et débit-volume de fonctionnement.
Comme toute pompe à transfert (ou d’extraction), une pompe à ■ Rétrodiffusion d’huile
diffusion peut se caractériser par son taux de compression à débit
nul K0 et par son débit-volume pour un taux de compression Bien que le jet de vapeur soit dirigé par l’orientation des tuyères
unité S0 . vers les parois du corps de pompe, une très faible partie de celui-ci
est dispersée dans toutes les directions et, notamment, vers
En général, dans la presque totalité des applications, le taux K0 , l’enceinte.
fort élevé, n’est pas pris en considération.
Si faible soit-elle, cette rétrodiffusion de vapeur d’huile est géné-
Quant au débit-volume S0 , il est constant dans une très large ralement considérée comme inadmissible.
gamme de pression et c’est lui qui sert à caractériser la pompe (cf. Toutes les pompes à diffusion sont donc surmontées de disposi-
article [BM 4 270, figure 11]). Il est fonction du diamètre de la pompe tifs destinés à piéger ces vapeurs ; ce sont en général des structures
et, théoriquement, proportionnel à la surface d’entrée. à chevrons (figure 4) refroidies à l’eau, appelées baffles. Ces baffles
Le débit-volume maximal théorique Smax est donné par (cf. article doivent être optiquement étanches, c’est-à-dire ne pouvoir être tra-
[B 4 020] de ce traité) [6] : versés directement par les molécules qui, en régime moléculaire, se
propagent en ligne droite comme un rayon lumineux. Certaines
Smax = 11,6 A pompes ont cette structure directement intégrée dans la pompe
elle-même (figure 5).
avec A surface d’entrée (cm2), Pour abaisser encore, s’il est nécessaire, la pression de vapeur
Smax exprimé en dm3/s pour de l’air à 20 °C. saturante de l’huile dans l’enceinte, on interpose sur le circuit de
pompage un piège à diazote liquide ou un baffle refroidi à très
On définit alors un facteur de Ho [12] : basse température par un circuit frigorifique (procédé Polycold ® ).
Avec de telles précautions, la rétrodiffusion d’huile peut tomber à
H = S0 /Smax des niveaux très bas, inférieurs aux valeurs mesurables (ne pas

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Exemple : une pompe de débit-volume pour le diazote de

Assemblage des chevrons 150 dm3/s aura un débit-volume de 60 dm3/s avec son baffle refroidi
optiquement étanche par l’eau et un débit-volume de 30 dm3/s avec un piège refroidi au dia-
zote liquide. Avec un tel montage, la rétrodiffusion sera inférieure à
10−9 mg/cm2 · min.

■ Pression limite
Entrée et sortie
d'eau C’est, en première analyse, la pression partielle du fluide moteur
qui déterminera la pression limite qu’on pourra atteindre.
Entrée et sortie
d'eau La pression limite est donc dépendante des systèmes de piégeage
de l’huile (baffles et pièges à diazote liquide) que l’on aura associés
à la pompe elle-même. Le dégazage des parties internes de la
pompe, des baffles et des pièges crée un flux parasite qui peut, lui
aussi, se répercuter sur la pression limite.

L’huile, par l’action conjuguée de la température et des gaz pom-

pés, se dégrade en produisant des espèces moléculaires dont les
pressions partielles de vapeur seront plus ou moins élevées. Ainsi,
des masses molaires comprises entre 300 et 600 peuvent exister
dans le réservoir de la pompe. La pression limite de la pompe sera
Figure 4 – Baffle à chevrons donnée par l’espèce ayant la plus forte pression partielle. Aussi,
pour amoindrir ce phénomène, on a construit des pompes à diffu-
sion fractionnante.

Conduite Définition normative. « Pompe à diffusion à vapeur d’huile à

en cuivre plusieurs étages, dans laquelle l’étage à la plus basse pression
Réservoir
refroidie est alimenté par les éléments les plus denses, à basse pression
de diazote Disque
liquide de vapeur, du fluide moteur, tandis que les étages à pression
refroidi
plus élevée sont alimentés par les éléments les moins denses,
au diazote
de pression de vapeur plus élevée ».
liquide

Le principe consiste à faire revenir l’huile dans le bouilleur par

une série de canaux concentriques. Chaque jet est alimenté par une
région différente du bouilleur. Les jets les plus près de l’extérieur
reçoivent les condensats de vapeur les plus légers et l’étage central
reçoit le fluide dont la tension de vapeur est la plus basse (figure 6).

Les structures avec peu de brides et des brides à joints métalli-

ques permettent d’atteindre de meilleures performances.

Le tableau 1 donne une idée des moyens à employer pour attein-

dre le but recherché.

■ Pression de flux maximal

Au-dessus d’une certaine pression p1 dite de flux maximal, le

débit-volume de la pompe n’est plus constant : il décroît rapidement
et la pompe aspire alors à flux constant.

La pression de flux maximal se situe aux environs de 10−1 Pa.

Cette pression est plus élevée pour les pompes de petit diamètre
(2 à 3 × 10−1 Pa pour une pompe de diamètre 100 mm) que pour les
grosses pompes (5 × 10−2 Pa pour une pompe de 500 mm).

■ Pression d’amorçage
Figure 5 – Pompe à diffusion avec baffles intégrés
et refroidissement au diazote liquide Ce régime à flux constant cesse pour une pression dite d’amor-
çage p2 au-dessous de laquelle la vitesse de pompage est nulle. Les
pressions d’amorçage se situent selon les constructeurs de pompes
oublier que la contamination peut provenir du pompage primaire entre 30 et 50 Pa. Il est intéressant de disposer d’une pompe à diffu-
(cf. article [BM 4 040]) [3]. sion à pression d’amorçage élevée lorsque la pompe est destinée à
pomper des flux élevés car c’est elle qui conditionne le débit-
Ces baffles et ces pièges, par leur conductance, réduisent le débit- volume de la pompe primaire à associer à la pompe à diffusion. Cer-
volume d’une façon très importante. Aussi les constructeurs don- tains constructeurs ajoutent d’ailleurs un petit éjecteur entre la tubu-
nent-ils dans leurs catalogues la conductance des baffles ainsi que lure de refoulement et le corps de pompe. Ce dispositif permet
les valeurs de rétrodiffusion obtenues, qui dépendent d’ailleurs des d’obtenir une pression d’amorçage plus élevée (de l’ordre de
huiles utilisées. 100 Pa).

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Tableau 1 – Mise en œuvre de structures en fonction de la pression et du dégazage désirés

Conditions opérationnelles Mise en œuvre
Pression
Pression limite
Dégazage Piège à azote Étuvage
souhaitée Huile Joints Baffles (Pa)
de l’enceinte liquide (°C)
(Pa)
Dégazage
moyen et faible Minérale
10−2 ou Perbunan à eau Non Non 2 × 10−5
Dégazage faible Silicone simple
Rétrodiffusion DC 704
faible

10−3 Minérale Oui

Dégazage fort ou Perbunan à eau double avec ou sans Non 2 × 10−5
Silicone alimentation
10−4 DC 704 automatique

10−5 Silicone Oui

Dégazage faible
DC 705 Viton à eau double avec ou sans 120 3 × 10−7
ou alimentation
10−6 Santovac 5 automatique
Silicone Oui
10−7 Dégazage faible
DC 705 Métal à eau double avec ou sans 500 3 × 10−9
ou alimentation
Santovac 5 automatique

Éjecteurs Tableau 2 – Pression d’amorçage obtenue

avec différentes huiles
Pression critique Pression limite avec
Fluide d’amorçage piège cryogénique
Tubes (hPa) (hPa)
concentriques
Santovac 5 0,6 5 × 10−9
Silicone DC 702 1,2 7 × 10−6
Condenseur
Apiezon C 0,7 4 × 10−8
Silicone DC 705 0,6 7 × 10−9
Silicone DC 704 EU 0,8 6 × 10−8

Éjecteur
2.2.3 Mise en œuvre
Réchauffeur
■ Une pompe à diffusion est donc aujourd’hui toujours équipée
d’un baffle, sauf dans les structures dites intégrées, ainsi que d’un
piège cryogénique. Cela est insuffisant pour la mise en œuvre et le
Écran protecteur système exige un jeu de trois robinets (ou vannes) (figure 7) :
— vanne secondaire A ;
— vanne série B ;
— vanne de by-pass C.
La mise en œuvre de cet ensemble est conduit de la manière
suivante : vanne A et C fermées, B ouverte, on fait, avec la pompe
primaire, le vide à l’intérieur de la pompe à diffusion pendant que
Circulation du fluide celle-ci est mise en chauffe. Lorsque l’huile est chaude, après une
dans la bouilloire
période de 15 à 30 min selon la dimension de la pompe, on ferme la
Figure 6 – Pompe à diffusion fractionnante
vanne B. On peut alors prévider l’enceinte en pompant avec la
pompe primaire, vanne C ouverte. Lorsque la pression dans
l’enceinte est inférieure à la pression d’amorçage de la pompe à dif-
fusion (0,3 à 0,8 hPa), on ferme C et on ouvre A et B. La pompe
Cette pression d’amorçage dépend de la nature de l’huile comme secondaire est alors en service.
le montre le tableau 2.
L’arrêt de la pompe nécessite lui aussi une certaine séquence. On
Quand la pompe se désamorce, une rétrodiffusion très impor- ferme la vanne A et on peut faire une entrée d’air ou de gaz neutre
tante a lieu et contamine gravement l’enceinte à évacuer. sec dans l’enceinte à l’aide d’un robinet.

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Manomètre Entrée
secondaire
Vanne Jets annulaires
d'entrée d'air (type pompe
à diffusion)

Enceinte Manomètre
primaire
C Condenseur
Étage
d'éjecteur

Manomètre
primaire

B
Pompe
à diffusion Retour d'huile

Pompe Bouilloire
primaire

Figure 7 – Mise en œuvre d’une pompe à diffusion

Chaufferette

■ Domaine d’utilisation : pompage secondaire jusqu’au vide Figure 8 – Pompe à diffusion et à éjecteur (booster pump)
extrême. (doc. BOC Edwards)

Pression : 1 Pa à 10−10 Pa.

Débit-volume : pour le diazote, de 12,5 dm3/s à 5 × 104 dm3/s ;

3. Pompes cinétiques
: pour le dihydrogène, de 15 dm3/s à 8 × 104 dm3/s. à entraînement
mécanique
2.3 Pompe à diffusion et à éjecteur
(booster à vapeur d’huile) Ce groupe comporte divers types de pompes aux performances et
aux domaines d’utilisation extrêmement différents, puisque le vide
produit va de la dépression d’une dizaine de milliers de pascals au
vide extrême (10−10 Pa).
Définition normative : « Pompe cinétique à plusieurs étages
dans laquelle un ou plusieurs étages ayant les caractéristiques
d’une pompe à diffusion sont suivis par un ou plusieurs étages
ayant les caractéristiques d’un éjecteur ». 3.1 Dépresseurs à turbine

La figure 8 montre un tel arrangement. Définition normative : « Pompe cinétique tournante dans
laquelle le transfert de grandes quantités de gaz est obtenu à
Cette pompe est constituée par une partie identique à celle d’une l’aide d’un dispositif tournant à grande vitesse. L’étanchéité
pompe à diffusion à deux étages de jets annulaires suivis d’un éjec- dynamique est obtenue sans frottement. La circulation de gaz se
teur à vapeur d’huile contenus dans une structure unique refroidie fait, soit selon l’axe de la pompe (dépresseur à flux axial), soit
par des serpentins d’eau. Une huile beaucoup moins volatile que perpendiculairement à l’axe de la pompe (dépresseur à flux
pour une pompe à diffusion, dont la pression de vapeur à 20 °C est radial) ».
de 10−4 hPa, est utilisée. La pression dans le réservoir est comprise
entre 25 et 50 hPa. Cela permet d’obtenir un grand débit-volume et
un très fort flux gazeux entre 0,5 et 10−4 hPa.
Ce sont des pompes utilisées par le vide industriel qui ne néces-
site pas des pressions limites faibles. Certains les classent plutôt
■ Domaine d’utilisation : pompage secondaire.
dans les dépresseurs mais, dès que l’on est au-dessous de la pres-
Pression : 10−4 hPa. sion atmosphérique, on a affaire à une « pompe à vide ». Les carac-
téristiques sont données de manière différente : on parle en
Débit-volume : pour le diazote, de 4 000 dm3/s à 12 500 dm3/s ; dépression de quelques dizaines à quelques centaines de millibars
(50 à 300 hPa). L’exemple le plus répandu est bien sûr celui de l’aspi-
: pour le dihydrogène, de 6 000 dm3/s à 15 000 dm3/s. rateur ménager (vacuum cleaner aux États-Unis) qui est quelquefois

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Aspiration
Enceinte de travail C
à section circulaire

Roue Canal latéral

Sortie Roue
Diffuseur

Palier Interruption
Arbre du canal
latéral

Prise pour Moteur

pompe à vide C
Refroidissement
Palier C–C Aubes
Pompe
à huile

Figure 9 – Pompe à flux axial (turbine centrifuge) (doc. Leybold)

utilisé par les opérateurs en détection de fuite pour vider une

enceinte souple. Enceinte
B A
Ces pompes sont aussi utilisées pour faire circuler un gaz de de travail
refroidissement dans les lasers, pour la manutention...

3.1.1 Dépresseurs à flux axial

■ Appelés aussi turbines centrifuges, ils sont basés sur un système

dynamique dans lequel le gaz est comprimé et entraîné par la rota- B A
tion de la roue (figure 9).
Sortie Interruption Entrée
Le gaz se déplace radialement vers l’extérieur de la roue. Il en du canal latéral
résulte un effet d’aspiration au centre qui provoque un flux d’air
dans l’entrée. Le flux est dévié par les aubes fixées au moyeu et ren-
voyé vers la périphérie de la roue.
En s’échappant de la roue, le gaz pénètre dans le carter centrifuge Entrée A–A Sortie B–B
où sa vitesse se réduit. De ce fait, une partie de l’énergie cinétique
est transformée en pression. Le flux d’air en surpression sort du car-
ter spiral par la tubulure de sortie. a principe du canal latéral (doc. Rietschle)
■ Domaine d’utilisation : Dépression par rapport à la pression
ambiante jusqu’à 100 hPa.
Débit-volume à pression atmosphérique : de 600 m3/h à
2 500 m3/h.

3.1.2 Dépresseurs à flux radial

■ Appelés aussi pompes à canal latéral, c’est un système de pompe

dans lequel le gaz est comprimé par la turbine dans une enceinte de
travail annulaire dont la section est circulaire (figure 10 a ).
L’enceinte est constituée d’un côté par la roue avec ses aubes et, de
l’autre, par un élément fixe appelé canal latéral. Celui-ci possède
une interruption entre l’entrée et la sortie. Le gaz entrant à la partie
inférieure est entraîné et accéléré par la force centrifuge. Quand il
est expulsé à l’extérieur des aubes, il entre dans le canal latéral qui
le dévie à nouveau vers l’intérieur. Ainsi le processus d’accélération
des molécules de gaz se répète. Il se renouvelle d’autant plus sou-
vent que le flux d’air est étranglé à l’aspiration ou à l’échappement.
On représente la trajectoire des molécules de gaz à l’intérieur de
l’enceinte annulaire comme une spirale (figure 10 b ) dont le pas b trajectoire des molécules dans un dépresseur
à canal latéral (doc. Siemens)
diminue avec l’étranglement. Le débit est plus faible que celui d’une
turbine à flux axial de même dimension en raison de la section du
canal annulaire. Figure 10 – Dépresseur à canal latéral

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Sortie Entrée

a concept selon Gaede

Entrée
Entrée

Sortie

Sortie Sortie

b concept selon Holweck

c concept selon Siegbahn Figure 11 – Principe de l’entraînement

des molécules

■ Domaine d’utilisation : dépression. pompage. Ces concepts ayant entraîné des réalisations fort utiles
Dépression : de 105 Pa à 2 × 104 Pa. (fabrication de tubes électroniques pour la radiodiffusion pendant la
Première Guerre mondiale) furent repris dans les années 1970 et,
Débit-volume : de 80 dm3/s à 160 dm3/s (250 m3/h à 600 m3/h). grâce aux progrès de l’électrotechnique d’une part et de la mécani-
que (paliers) d’autre part, les constructeurs ont pu réaliser de nou-
velles pompes à vide à vocation industrielle dites pompes
3.2 Pompes moléculaires moléculaires (drag pumps en anglais). L’intérêt primordial de ces
pompes est de pouvoir refouler à haute pression (20 à 30 hPa), donc
d’être « amorcées » avec des pompes primaires sèches à membrane
ou à piston (voire avec des éjecteurs à air comprimé) et d’avoir un
Définition normative : « Pompe cinétique dans laquelle une débit-volume important dans le domaine du régime d’écoulement
quantité de mouvement est communiquée aux molécules de intermédiaire. Elles constituent désormais, chez de nombreux
gaz par leur contact avec la surface d’un rotor tournant à grande constructeurs, l’étage final des pompes turbomoléculaires dites
vitesse, ceci ayant pour effet de diriger les molécules de gaz vers hybrides (cf. § 3.3 et 3.4).
le refoulement ».
Les vitesses de rotation sont d’environ 40 000 tr/min et l’espace
entre les parois tournantes est inférieur à un millimètre.
■ Le concept de l’entraînement des molécules entre un stator et un
rotor tournant à grande vitesse date de 1913 (Gaede, figure 11 a ), de La figure 12 représente une vue en coupe d’une pompe actuelle.
1922 (Holweck, figure 11 b ) et de 1943 (Siegbahn, figure 11 c ).
Les molécules frappant une paroi ne sont pas immédiatement La figure 13 donne les caractéristiques débit-volume en fonction
renvoyées mais restent adsorbées un certain temps, appelé « temps de la pression pour différents gaz.
de séjour », avant de retourner dans la phase gazeuse et d’être réad-
sorbées à nouveau (cf. théorie cinétique des gaz). À la désorption, ■ Domaine d’utilisation : pompage en vide intermédiaire et en vide
elles acquièrent une vitesse moléculaire propre correspondant à la poussé.
température de la paroi suivant leurs coefficients d’accommodation
(cf. article [B 4 110], de ce traité) [8] et dans une direction donnée par Pression : de 20 hPa à 10−6 hPa.
la loi de Lambert. Si la paroi elle-même est animée d’une vitesse
propre, les molécules acquièrent alors une composante de vitesse Débit-volume : pour le diazote, de 7,5 dm3/s à 27 dm3/s ;
qui s’ajoute à leur propre vitesse. Ainsi une paroi mobile entraîne les
molécules et crée un flux gazeux capable d’effectuer une action de : pour le dihydrogène, de 3 dm3/s à 15 dm3/s.

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Aspiration Aspiration

Arbre
Étape
d'attaque
Rotor
Roulement
Sillons à billes
du stator

Joint Moteur
dynamique
Stator
Holweck
Refoulement
Roulement
à billes

Prise moteur

Refoulement

Figure 12 – Pompe moléculaire (principe Holweck) (doc. Alcatel-

Vacuum Technology)

Figure 14 – Pompe turbomoléculaire (doc. Alcatel-Vacuum Technology)

Débit-volume S (L /s)
10

applications, elles ont supplanté celles-ci pour leur facilité d’exploi-

tation sauf dans les utilisations industrielles nécessitant de très
8 N2 grands débits-volumes.
Les efforts des constructeurs se sont portés sur celles-ci afin
6 d’obtenir une grande fiabilité. La nécessité de vide propre dans le
domaine du vide poussé et extrême pour de nombreuses applica-
tions les ont rendues indispensables.
He
4
H2
3.3.1 Principe
2
Plusieurs théories ont été élaborées et nous retiendrons celle éta-
blie en 1960 par Krüger et Shapiro du MIT [13]. On peut s’en faire
0 une idée sommaire par le raisonnement suivant.
2 5 2 5 2 5 2 5 2 5 2 5
10–6 10–5 10–4 10–3 10–2 10–1 1 Considérons, vue de dessus, une roue à aubes (figure 15). Elle
Pression (hPa) sépare l’espace en deux régions I et II.
Figure 13 – Caractéristiques débit-volume en fonction de la pression Dans un premier temps (figure 15 a ) considérons l’aubage arrêté
pour les pompes moléculaires suivant la nature du gaz et deux molécules M et M’ qui tombent sur les aubage perpendi-
(doc. Alcatel-Vacuum Technology) culaires à la roue. M vient de l’espace I, M’ vient de l’espace II.
M peut être renvoyée :
— soit vers I dans l’angle ;
3.3 Pompes turbomoléculaires — soit vers II dans l’angle ;
— soit sur l’ailette dans l’angle ;
M’ peut être renvoyée :
Définition normative : « Pompe moléculaire mécanique dont — soit vers II dans l’angle ’ ;
le rotor comporte des disques, dans lesquels sont ménagées — soit vers I dans l’angle ’ ;
des fentes ou des ailettes, qui tournent entre des disques analo- — soit sur l’ailette dans l’angle ’ ;
gues portés par le stator. La vitesse linéaire d’un point de la péri- et l’on a = ’, = ’, = ’.
phérie du rotor est de l’ordre de grandeur de la vitesse des
molécules du gaz. Une pompe turbomoléculaire fonctionne cor- Au total, il y a autant de molécules transmises de I vers II que de
rectement en régime moléculaire ». II vers I.
Considérons maintenant (figure 15 b) les aubages animés d’une
grande vitesse. Comme, sur le dessin, on ne peut pas représenter
Ces pompes (figure 14) sont utilisées dans les mêmes domaines l’aubage autrement que fixe, c’est la représentation des molécules
de pression que les pompes à diffusion. Dans de très nombreuses M et M’ que nous allons incliner en leur transposant la composante

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I I Taux de compression K
M V M
1011
V
α
α 1010 Ar

N2
γ' β β 109
γ' γ
γ β' CH4
β' 108

α'
α' 107
V
V
106
II M' a II v M' b

105
I, II régions de l'espace He

104
M, M' molécules v vitesse des aubages V vitesse des molécules
H2
a principe
103

102

10

1
10–5 10–4 10–3 10–2 10–1 1 10
Pression p (hPa)

Figure 16 – Courbe caractéristique d’une pompe turbomoléculaire

(cours UISTAV)

Les pompes disponibles sur le marché ont toutes un taux de com-

pression à débit-volume nul K0 élevé (1012 pour le diazote est une
valeur courante).
Le débit-volume des pompes est pratiquement constant sur un
très large domaine de pression. Il est fonction du diamètre de la
pompe et sensiblement proportionnel à la surface d’entrée (régime
moléculaire).

b aubage Exemple : 140 dm3/s pour le diazote pour une pompe de 100 mm
de diamètre ;
Figure 15 – Principe du pompage dans les pompes turbomoléculaires : 1 000 dm3/s pour le diazote pour une pompe de 300 mm
de diamètre.

Les caractéristiques de base (figure 16), pression p et taux de

de vitesse v, de sorte que les molécules ne semblent plus tomber compression K , sont fortement dépendantes de la nature des gaz
perpendiculairement au plan de la roue, mais dans une direction pompés (cf. [figure 10 de l’article BM 4 270]).
inclinée.
On ne saurait s’en étonner. L’efficacité de la pompe étant liée au
Dans ces conditions, si nous gardons à , et et ’, ’ et ’ la mouvement mécanique de la structure, on conçoit que les vitesses
même signification que ci-dessus, on voit que : entre la structure et les molécules puissent avoir une influence.
> ’; > ’ et > ’ En fait, une pompe turbomoléculaire n’est efficace que si la
vitesse mécanique des aubages est du même ordre de grandeur que
On conçoit donc qu’il puisse y avoir un transfert de molécules de celles des molécules.
la région I vers la région II.
Exemple : la plupart des pompes ont des vitesses d’aubages voi-
sines de 250 m/s, soit environ la moitié de la vitesse des molécules de
3.3.2 Caractéristiques diazote à température ambiante. Ce besoin entraîne des vitesses de
rotation élevées entre 15 000 et 60 000 tr/min.

La caractéristique débit-volume/pression d’une pompe turbomo- On sait (cf. article [B 4 020] de ce traité [6]) que la vitesse moyenne
léculaire suit la loi générale valable pour les pompes à transfert de des molécules est inversement proportionnelle à leur masse
gaz. molaire.

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La théorie, très bien vérifiée par l’expérience, prévoit que le loga-

rithme du taux de compression K0 d’une pompe turbomoléculaire Vide poussé
est proportionnel à la racine carrée de la masse molaire du gaz
pompé.
Il résulte immédiatement de cette loi deux conséquences impor-
R
tantes pour l’utilisation pratique de ces pompes :
— le taux de compression pour les gaz légers, notamment le
dihydrogène que l’on rencontre principalement dans les enceintes
du type à ultravide, est relativement faible ; ainsi, une pompe qui a R Étages
un taux de compression élevé pour le diazote (valeur courante 1012) basse
n’a, pour le dihydrogène, qu’un taux de compression de 103,2 ; pression
— le taux de compression pour les gaz lourds, notamment les R
vapeurs d’huile, est très vite considérable ; ainsi la pompe mention-
née ci-dessus aurait pour une huile de masse molaire 250 un taux de
compression de 1036.
R
La pompe turbomoléculaire offre donc un barrage très efficace à
la rétrodiffusion des vapeurs d’huile vers l’enceinte [3]. Cela consti-
tue un des avantages majeurs de ce type de pompe que l’on qualifie R
alors de pompe sèche. Étages
moyenne
Il faut noter toutefois que ce barrage n’est efficace qu’autant que R pression
la pompe est en rotation. Des précautions doivent être prises,
notamment au moment des rentrées de gaz dans l’enceinte, pour
éviter de venir polluer la structure de la pompe par un entraînement R
intempestif de vapeur d’huile.
En ce qui concerne le débit-volume S0 pour un taux de compres- R
sion unité, la théorie laisse prévoir que celui-ci est indépendant de la
nature du gaz pompé pour autant que tous les étages de la pompe R Étages
aient la même structure d’aubages. Ce n’est jamais le cas en haute
pratique ; les pompes sont en effet constituées avec des aubages de R pression
structure variable (figure 17).
R
Les étages vers « l’aspiration » (nous sommes en régime molé-
culaire) sont conçus pour avoir de forts débits-volumes avec de fai-
bles taux de compression, alors que c’est l’inverse pour les étages
Vide primaire
voisins du refoulement. Il s’ensuit que les pompes disponibles sur le
R rotor
marché ont des débits-volumes différents selon la nature des gaz
pompés et cela en fonction de leur construction. L’utilisateur ne peut
rien prévoir si le constructeur ne lui fournit pas les caractéristiques Figure 17 – Empilement des aubages dans une pompe
débit-volume/pression pour les gaz considérés. Néanmoins, les dif- turbomoléculaire (doc. Varian)
férences sont, en général, faibles et le plus souvent avantagent les
gaz légers.

■ Construction et aspects mécaniques

Deux configurations de pompes turbomoléculaires existent : la Entrée
première à double flux axial horizontal et la seconde, la plus répan-
due actuellement, à simple flux axial.
Les roulements à billes lubrifiées par de l’huile dans un petit
réservoir empêchent d’installer les pompes dans n’importe quelle
position. Aussi on a cherché à remplacer ces roulements par des Rotor
roulements graissés puis par des billes en céramiques non grais- Stator
sées. La qualité du vide réclamé par de nombreux utilisateurs (pas Roulement
de vapeurs ni de particules indésirables) a poussé les constructeurs Capteur
de sécurité radial
à remplacer ces roulements par des paliers magnétiques et l’on a
Bobine
ainsi obtenu des pompes parfaitement sèches sans aucune trace radiale
d’hydrocarbure ni de matériau lubrifiant et sans aucune poussière
même submicronique.
Moteur
Selon les modèles, les paliers magnétiques sont contrôlés et pilo- Aimant
tés suivant trois ou cinq axes (figure 18). électro-
magnétique
Certains modèles de pompes comportent des dispositifs de purge Sortie (bobine axiale)
dont le but est de diminuer la corrosion et/ou la formation de dépôt des gaz
Aimant
et aussi, parfois, de refroidir paliers et moteur. permanent
Capteur
■ Domaine d’application : pompe secondaire sèche pour vide axial
poussé et extrême.
Pression : de 10−3 hPa à 10−10 hPa.
Figure 18 – Pompe turbomoléculaire à palier magnétique (doc. SEIKO
Débit-volume (pour diazote) : de 35 dm3/s à 6 000 dm3/s. SEIKI)

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Figure 20 – Pompe turbomoléculaire hybride (dispositif Holweck)

Sortie (doc. Balzers)

Figure 19 – Éclaté de la partie basse d’une pompe turbomoléculaire

hybride (principe de Gaede/Siegbahn) (doc. Varian)

3.4 Pompes turbomoléculaires hybrides

■ La nécessité de pomper des flux élevés dans le domaine de

régime intermédiaire (entre 10−2 hPa et une dizaine de pascals) a
poussé les constructeurs à associer les pompes moléculaires avec
les pompes turbomoléculaires. On a conçu alors des pompes dites
hybrides. Celles-ci sont de deux types suivant le système retenu
pour le pompage moléculaire :
— dispositif avec disques de Gaede ou Siegbahn (figure 19) ;
— dispositif avec vis Holweck (figure 20).
Figure 21 – Pompe turbomoléculaire avec premier étage
Ces pompes tendent à remplacer les pompes turbomoléculaires cryogénique et compresseur cryogénique (doc. EBARA)
dans presque toutes les applications et comportent aussi, pour la
plupart, des paliers magnétiques, des dispositifs de purges, des col-
liers de chauffage pour éviter les dépôts par condensation.
cile. L’eau (M = 18) n’échappe pas à cette règle. Or il est bien connu
■ Domaine d’utilisation : pompe secondaire sèche pour vide que la pression partielle de la vapeur d’eau est prépondérante dans
poussé et extrême. une enceinte en régime intermédiaire. Il est aussi connu que les piè-
ges cryogéniques sont très efficaces pour le pompage de la vapeur
Pression de : 20 hPa à 10−10 Pa (suivant la pompe primaire). d’eau (cf. article [B 2 382] dans le traité Génie énergétique) [7]. Aussi
Débit-volume (pour le diazote) : 60 dm3/s à 2 000 dm3/s. l’idée d’associer les deux était évidente. La solution d’utiliser un
cryogénérateur a été retenue et a donné naissance à de nouvelles
générations de pompes (figure 21).
3.5 Pompes turbomoléculaires ■ Domaine d’utilisation : pompe secondaire sèche pour vide
cryogéniques poussé et extrême.
Pression : 100 Pa à 10−7 Pa.
■ Ces pompes sont le résultat de l’assemblage d’une pompe turbo-
Débit-volume : pour le diazote, 300 à 800 dm3/s ;
moléculaire classique avec un piège cryogénique à l’entrée. On a vu
que le pompage des molécules de masse molaire faible était diffi- : pour la vapeur d’eau, 1 700 à 3 200 dm3/s.

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