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Microscope Électronique À Balayage: Concours National Commun - Session 2025 - Filière MP

Le document présente les instructions pour le Concours National Commun 2025 en filière MP, ainsi que des concepts liés à la microscopie électronique à balayage. Il décrit les parties de l'épreuve, les données physiques nécessaires et les questions sur l'accélération des électrons et le fonctionnement des microscopes électroniques. Les candidats doivent justifier leurs réponses et signaler toute erreur d'énoncé pendant l'épreuve.

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Youssef Aadel
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Microscope Électronique À Balayage: Concours National Commun - Session 2025 - Filière MP

Le document présente les instructions pour le Concours National Commun 2025 en filière MP, ainsi que des concepts liés à la microscopie électronique à balayage. Il décrit les parties de l'épreuve, les données physiques nécessaires et les questions sur l'accélération des électrons et le fonctionnement des microscopes électroniques. Les candidats doivent justifier leurs réponses et signaler toute erreur d'énoncé pendant l'épreuve.

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Concours National Commun – Session 2025 – Filière MP

• On veillera à une présentation et une rédaction, claires et soignées des copies. Il convient en
particulier de rappeler avec précision les références des questions abordées.
• Si, au cours de l’épreuve, un candidat repère ce qui lui semble être une erreur d’énoncé, il le signale
sur sa copie et poursuit sa composition en indiquant clairement les raisons des initiatives qu’il est
amené à prendre.
• Toutes les réponses devront être très soigneusement justifiées.
• Si un résultat donné par l'énoncé est non démontré, il peut néanmoins être admis pour les questions
suivantes. Ainsi, les diverses parties de l’épreuve sont relativement indépendantes entre elles.

Microscope électronique à balayage


La microscopie (en grec ancien, mikros et skopein signifient respectivement « petit » et
« examiner ») est un ensemble de techniques d’imagerie objets de petites dimensions. Un
microscope électronique est un type de microscope qui utilise un faisceau d'électrons pour illuminer
un échantillon et en créer une image très agrandie.
Le sujet est composé de deux parties indépendantes. La partie 1 est notée sur 4 points, la
partie 2 sur 16 points.
Données :
- Charge d’un électron : qe = −e = −1, 60.10 −19 C .
- Masse d’un électron : me = 9,11.10 −31 kg .
- Constante de BOLTZMANN : kB = 1, 38.10 −23 J.K −1 .
- Constante de PLANCK : h = 6, 63.10 −34 J.s .
- Vitesse de la lumière dans le vide : c = 3, 00.108 m.s −1 .
- Accélération de la pesanteur : g = 9,81m.s −2 .
- 1eV = 1, 6.10 −19 J .
ρ
- Équation de POISSON satisfaite par le potentiel électrostatique V : ΔV + =0.
ε0
Partie 1
Accélération des électrons
On s’intéresse dans cette partie à l’accélération des
électrons dans une chambre d’accélération. Une zone de champ
électrique uniforme (figure 1) est établie entre deux armatures,
( A1 ) et ( A2 ) , planes, parallèles distantes de d0 et séparées par
du vide quasi-parfait (le champ est supposé nul en dehors et on
néglige les effets de bord). La différence de potentiel entre les
deux armatures est U = V2 −V1 , où V1 est le potentiel de ( A1 ) et
V2 celui de ( A2 ) . Un électron assimilé à un point matériel, de
masse me et de charge qe , pénètre en A1 , avec une vitesse nulle.
On se place dans le référentiel du laboratoire (R) , supposé
!"
! !"
! !"
( )
galiléen, associé à un repère cartésien A1, ex , ey , ez . Dans les
conditions de l’expérience, le potentiel électrostatique en un
point de l’espace entre les armatures ne dépend que de la
Figure 1 : Accélération des
coordonnée z du point, V = V (z) .
électrons

Épreuve de Physique I 1/7


Concours National Commun – Session 2025 – Filière MP
On néglige le poids de l’électron par rapport à la force électrostatique ainsi que tout
frottement. On donne d0 = 10cm .
1. Définir un référentiel galiléen. Pourquoi est-il pertinent de considérer le référentiel du
laboratoire comme galiléen dans cette étude ?
2. Établir l’expression du potentiel électrostatique V (z) en un point de l’espace entre les
armatures. En déduire l’expression du champ électrostatique entre les armatures.
!"
!
3. Établir l’expression vectorielle de la force de LORENTZ FL subie par l’électron en fonction
!"
de U , e , d0 et ez .
4. Quel doit être le signe de la tension U entre les armatures de la cavité pour que les électrons
soient accélérés ?
5. Justifier quantitativement que le poids de l’électron peut être effectivement négligé devant la
force de LORENTZ.
6. On se place dans le cadre de la mécanique classique. Appliquer le théorème de l’énergie
cinétique sous forme intégrale à l’électron dans le référentiel (R) entre ( A1 ) et ( A2 ) .
Exprimer puis calculer numériquement la vitesse v0c acquise par l’électron lorsqu’il atteint
l’armature ( A2 ) pour U = 10kV , U = 100kV et U = 1000kV . Commenter.

Partie 2
Microscope électronique à balayage
La microscopie électronique est une technique de
microscopie utilisant les diverses interactions électrons-matière
pour produire des images en haute résolution de la surface d’un
échantillon à analyser. Le premier microscope électronique fut
conçu en 1931 par Ernst RUSKA (prix Nobel en 1986) avec une
résolution de quelques dizaines de nm . Le microscope
électronique à balayage (MEB ou SEM pour Scanning Electron
Microscopy) a été proposé par Max KNOLL dès 1935. Dans un
MEB, un faisceau d’électrons est envoyé sur l’échantillon à
analyser qui, en réponse, réémet certaines particules. Ces
particules sont analysées par différents détecteurs qui
permettent de reconstruire une image en trois dimensions de la
surface.
Un MEB est constitué d’un canon à électrons, d’un
système de lentilles magnétiques, de bobines de balayage,
d’une pompe à vide et d’un détecteur d’électrons secondaires
(figure 2). Figure 2 : Principe du MEB
1. Fabrication d’un faisceau d’électrons
Un canon à électrons à émission de champ est la source du faisceau d’électrons qui viendra
balayer la surface de l’échantillon analysé. Il est composé d’une cathode, pointe conductrice très
fine, (figure 3) que l’on porte à un potentiel négatif. Un champ électrique très intense, de 10 9 à
1010 V.m −1 , est ainsi créé à l'extrémité de la cathode et permet alors d’extraire les électrons du
sommet de la pointe par effet tunnel. Ces électrons sont ensuite accélérés à l’aide d’un champ
électrique uniforme, créé entre l’électrode d’extraction et l’électrode d’accélération planes et
parallèles et séparées par du vide quasi-parfait (figure 4).

1.1. Expliquer brièvement ce qu’est l’effet tunnel.

Épreuve de Physique I 2/7


Concours National Commun – Session 2025 – Filière MP
1.2. On montre que le champ électrique maximal situé au sommet de la pointe a pour expression
2Uep
Emax = . Calculer numériquement le champ électrique d’émission Emax pour
⎛ 4d ⎞
r0 ln ⎜ ⎟
⎝ r0 ⎠
Uep = 4kV . On donne d = 1mm .

Figure 3 : Pointe de rayon de courbure r0 = 1µ m Figure 4 : Canon à émission de champ

1.3. On note Ve le potentiel électrique de l’électrode d’extraction par rapport à la masse. Quel
doit être le signe de Ve pour que les charges s’écoulent de la pointe de la cathode vers
l’électrode d’accélération ?
1.4. On considère la vitesse initiale de l’électron v = 0 à hauteur de l’électrode d’extraction.
Calculer numériquement le potentiel Ve si l’on veut communiquer à l’électron émis une
énergie potentielle E p = 15keV .
1.5. En déduire la valeur numérique du potentiel de la pointe Vp par rapport à la masse.

2. Un vide quasi-parfait !
On assimile l’air à un gaz parfait. Le libre parcours moyen, l , défini comme étant la
distance moyenne que parcourt une molécule entre deux chocs successifs, dépend du nombre de
molécules par unité de volume n* , et de la section efficace de collisions que l’on peut déterminer
1
par le diamètre effectif σ de la molécule. Il est donné par l = .
π 2σ 2 n*
2.1. Exprimer la densité moléculaire n* en fonction de la température T et de la pression P de
l’air.
2.2. En déduire l’expression de l en fonction de la température T et de la pression P de l’air.
2.3. Pour l’air à T = 300K , on admet que le libre parcours moyen est donné par :
6, 7.10 −2
l(mm) = . Calculer n* et l à la pression atmosphérique, à la pression de 10 −6 mbar
P(mbar)
puis à la pression 10 −10 mbar . Commenter le résultat obtenu.
2.4. Un vide quasi-parfait (de l'ordre de 10 −3 à 10 −4 Pa ) est réalisé dans l'enceinte du microscope
où se propage le faisceau électronique. Pourquoi ?
2.5. L’enceinte doit aussi être blindée. Pourquoi ?

3. Fonctionnement d’une lentille magnétique


Une fois les électrons extraits et accélérés, ils doivent être regroupés de manière à former un
faisceau cohérent. C’est le rôle des différentes lentilles de la colonne du microscope. Celles-ci

Épreuve de Physique I 3/7


Concours National Commun – Session 2025 – Filière MP
constituent l’étage condenseur et objectif. Ce sont ces lentilles qui permettent de « diriger » les
électrons. Une lentille magnétique est constituée d'un enroulement de spires conductrices
parcourues par un courant électrique, engendrant un champ magnétique axial (figure 5a).
L’ensemble des enroulements est enfermé dans une armature ferromagnétique qui piège le champ
magnétique. Un anneau de cuivre, diamagnétique, permet aux lignes de champ de s’extraire
localement de l’armature (figure 5b). En donnant à l’armature une forme particulière au voisinage
de cet anneau (« pièces polaires ») (figure 5c), on concentre le champ magnétique au voisinage de
l’axe.

(a) (b) (c)


Figure 5 : Lentille électromagnétique
La figure 6 schématise la lentille magnétique constituée par le champ magnétique non
uniforme, d'axe de révolution Oz créé dans l'entrefer de pièces polaires, entre les plans (P1 ) et (P2 )
symétriques par rapport au point O . On modélise la source du champ magnétique par une bobine
plate de N spires circulaires de rayon a , de centre O , d’axe Oz et parcourue par un courant
électrique d’intensité stationnaire I (figure 7). Les composantes du champ magnétique
!" !" !" !"
! !"
( )
B = B(r, ϕ, z) dans la base cylindrique er , eϕ , ez sont respectivement Br (r, ϕ, z) , Bϕ (r, ϕ, z) ,
Bz (r, ϕ, z) . La position d’un électron, supposé non relativiste, est repérée par le point M de
coordonnées cylindriques r(t) , ϕ (t) et z(t) (figure 7). L’axe Oz étant l’axe de symétrie de
l’enroulement centrée en O , confondu avec l’axe de révolution du faisceau électronique. On
négligera le poids de l’électron. On suppose que le faisceau électronique reste en permanence au
voisinage immédiat de l’axe de la bobine.
On note µ 0 la perméabilité magnétique du vide.

Figure 6 : Lentille magnétique Figure 7 : Repérage du point M


!"
3.1. Justifier que le champ magnétique B(O') créé par la bobine plate au point O' de son axe est
!" !"
porté par Oz , B(O') = Bz (O')ez .
!"
3.2. Exprimer le champ magnétique B(O') créé par la bobine plate au point O' . On posera dans
la suite, Bz (O') = B(z) .
!"
3.3. Tracer l’allure du module de B(O') en fonction de z . Dans quelle région le champ
magnétique est-il intense ?
3.4. Dessiner l’allure des lignes du champ magnétique en précisant leur sens.

Épreuve de Physique I 4/7


Concours National Commun – Session 2025 – Filière MP
3.5. Justifier que le champ magnétique en un point M repéré par ses coordonnées cylindriques
!" !" !"
(r, ϕ, z ) s’écrit sous la forme : B(M ) = Br (r, z)er + Bz (r, z)ez .
3.6. En écrivant la conservation du flux magnétique à travers les surfaces limitant le volume d’un
cylindre d’axe Oz , de rayon r et de longueur dz , montrer qu’au point M au voisinage de
r ∂Bz ( r, z )
l’axe du bobinage, on a Br ( r, z ) = − .
2 ∂z
On considère un électron incident ayant coupé l’axe Oz de l’enroulement au point A en
amont de la lentille, sous l’angle α . Dans la géométrie du champ magnétique étudié, la trajectoire
de l’électron reste au voisinage immédiat de l’axe et on peut considérer que la composante axiale de
!"
B proche de l'axe ne dépend pas de r , Bz (r, z) = Bz (0, z) = B(z) . L’électron est en mouvement à la
! !"
!
vitesse v par rapport au référentiel du laboratoire (R) supposé galiléen. Sa vitesse initiale v0 en A
!"
!
est dans le plan méridien ϕ = 0 et est quasi colinéaire à l’axe Oz (l’angle α que fait v0 avec l’axe
Oz est de faible valeur).
!!!!" !
3.7. Exprimer le vecteur position OM , le vecteur vitesse v(M, R) et le vecteur accélération
!
a(M, R) de l’électron en coordonnées cylindriques dans le référentiel (R) .
!"!
3.8. Écrire l’expression de la force de LORENTZ FL appliquée à un électron.
3.9. Justifier que le champ magnétique seul ne permet pas d'augmenter la vitesse de l’électron.
3.10. Écrire le principe fondamental de la dynamique pour un électron dans le référentiel (R) .
3.11. En considérant des électrons qui se déplacent selon les génératrices d'un cylindre, préciser
!"
l’effet de chacune des composantes, radiale Br et tangentielle Bz du champ B .
!" !"
! !"
3.12. Par projection du principe fondamental de la dynamique respectivement sur er , eϕ et ez ,
déduire trois équations différentielles que l’on numérotera respectivement (1) , (2) et (3) .
3.13. De la relation (2) établie dans la question précédente, déduire par intégration la relation :
dϕ er 2 B(z)
mer 2 = + C . Montrer que la constante d’intégration C est nulle.
dt 2
3.14. En reportant le résultat trouvé dans la question précédente dans la relation (1) , montrer que
d 2r
l’on obtient 2 + KrB 2 (z) = 0 , K étant fonction de e et me à déterminer.
dt
3.15. Que devient l’équation (3) si l’on néglige le terme du second ordre en r ? En déduire
dz
l’expression simplifiée de .
dt
d 2r
3.16. Montrer alors que l’on obtient l’équation différentielle en r(z) : 2 = −K 'rB 2 (z) , K ' étant
dz
fonction de e , me , v0 et α à déterminer.
Afin de déterminer la relation de
conjugaison de la lentille magnétique, on
considère un électron incident ayant
coupé l’axe de l’enroulement au point
objet A puis dévié par la lentille et
recoupe l’axe au point image A' (figure
8). On fait l'approximation des lentilles
minces en supposant que la distance
entre les plans (P1 ) et (P2 ) est faible Figure 8 : Allure de la variation de r en fonction de z .
devant la distance OA . Dans le deuxième

Épreuve de Physique I 5/7


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membre de la relation obtenue dans la question 3.16, on considère alors que r est constant et égal à
r0 . On suppose ainsi que la lentille crée un champ magnétique nul partout sauf entre les cotes
z(O1 ) = z1 et z(O2 ) = z2 . La figure 8 représente également allure de la variation de r(z) en fonction
de z .
3.17. Quel est l’analogue du rayon lumineux de l’optique géométrique pour le microscope
électronique ?
⎛ dr ⎞ ⎛ dr ⎞
3.18. Exprimer ⎜ ⎟ et ⎜ ⎟ en fonction de OA , OA' et r0 .
⎝ dz ⎠z=z1 ⎝ dz ⎠z=z2
1 1 1
3.19. Montrer que l’on obtient − = . Commenter cette relation et exprimer la distance
OA' OA f '
z2
focale f ' de la lentille en fonction de e , me , v0 et de ∫ B 2 (z)dz . Justifier que f ' est
z1

indépendante de la polarisation du champ magnétique.


3.20. La lentille magnétique est-elle convergente ou divergente ? Peut-on avoir l’autre type ?
3.21. De quel(s) paramètre(s) dépend la distance focale de la lentille magnétique ?
3.22. La tension accélératrice U étant fixée, sur quel(s) paramètre(s) peut-on agir pour modifier
très précisément la valeur de f ' ?
3.23. Pourquoi les lentilles magnétiques ne sont pas appropriées pour la focalisation des ions ?
3.24. Simplifier l’expression de f ' en supposant B(z) = B0 constant entre z1 et z2 et en prenant
α ≈0.
3.25. Évaluer f ' pour z2 − z1 = 1mm ; B0 = 1T et v0 = 2.108 m.s −1 . Conclure sachant que la
distance focale d’un microscope est de l’ordre du millimètre.
3.26. Parallèlement à la convergence, le faisceau électronique subit une rotation d’angle ϕ .
Expliquer et tracer l’allure de la trajectoire d’un électron.

4. Pouvoir de résolution du microscope électronique


Les électrons qui bombardent la surface de l’échantillon observé proviennent du canon à
électrons. L’énergie cinétique qu’ils possèdent est celle qu’ils ont à la sortie du canon à électrons.
Le pouvoir de résolution δm d’un instrument correspond à la
distance minimale qui doit séparer deux points de l’objet observé
pour qu’ils soient correctement discernés par l’instrument. On peut
montrer que le pouvoir de résolution d'un microscope (optique ou
électronique) d’ouverture numérique ω 0 = nsin u est donnée par la
λ0 ,
relation δm = 0, 61 λ0 étant la longueur d’onde dans le vide du
ω0
rayonnement utilisé, n l’indice du milieu dans lequel ce
rayonnement se déplace et u l'angle de vue de l'objectif du Figure 9 : Angle de vue de
microscope depuis l’échantillon (figure 9). l'objectif

4.1. Quel est le phénomène physique qui limite le pouvoir de résolution d’un microscope ? Un
microscope optique ne peut révéler des détails plus petits que l’ordre de grandeur de la
longueur d’onde de la lumière visible. Expliquer pourquoi et donner une valeur numérique
typique.
4.2. Expliquer ce qu’est la dualité onde corpuscule. Ces deux aspects sont-ils inséparables ?
4.3. En 1924, Louis DE BROGLIE émet l’hypothèse qu’il est possible d’associer à tout corpuscule
!"
matériel, de quantité de mouvement p , une onde de longueur d’onde λLDB . Donner
l’expression de λLDB .

Épreuve de Physique I 6/7


Concours National Commun – Session 2025 – Filière MP
4.4. Exprimer la longueur d’onde λLDB c
associée à un électron non relativiste et de vitesse v0c en
fonction de h , me , e et U .
La tension d'accélération est habituellement de plusieurs milliers de volts, permettant à
l'électron d'atteindre une proportion appréciable de la vitesse de la lumière c . À ces vitesses, les
effets relativistes doivent être pris en compte. En mécanique relativiste introduite par EINSTEIN en
1905, l’énergie cinétique et la quantité de mouvement de l'électron s'écrivent respectivement,
1

!" " ⎛ ⎛ v ⎞2 ⎞ 2
Ec = (γ −1) E0 et p = γ me v avec γ = ⎜⎜1− ⎜ ⎟ ⎟⎟ et E0 = mec 2 .
⎝ ⎝c⎠ ⎠

4.5. Sachant qu’en mécanique relativiste, le théorème de l'énergie cinétique s’écrit de la même
façon qu’en mécanique classique, montrer que la vitesse acquise par un électron de vitesse
1
initiale nulle lorsqu’il est accéléré par une tension U est donnée par v0r = c 1− 2
.
⎛ eU ⎞
⎜1+ ⎟
⎝ E0 ⎠
Calculer v0r pour U = 10kV , U = 100kV et U = 1000kV . Commenter.
c
λLDB
4.6. Montrer que la longueur d'onde des électrons est modifiée selon : λLDB
r
= .
eU
1+
2mec 2
Retrouve-t-on l’expression obtenue dans la question 4.4 ?
4.7. On peut ainsi déterminer, en fonction de la tension accélératrice U , la longueur d’onde
r
λLDB , dans l’hypothèse relativiste, et comparer ses valeurs avec celles de la longueur d’onde
classique λLDB
c
que l’on obtiendrait si l’on ne prenait pas en compte la relativité restreinte.
Calculer λLDB
r
et λLDB
c
pour U = 10kV , U = 100kV et U = 1000kV . En quoi, au vu des
valeurs de λLDB
r
et de λLDB
c
, peut-on dire que les effets relativistes limitent la résolution
intrinsèque du microscope électronique ?
4.8. Pour un microscope optique, on prend n = 1 , u = 85° et λ0 = 589nm .
4.8.1. Donner les valeurs des longueurs d’ondes extrêmes (dans le vide) du spectre visible.
4.8.2. À quelle couleur correspond la longueur d’onde λ0 = 589nm ?
4.8.3. Calculer l’ouverture numérique ω 0o et le pouvoir de résolution δmo pour le microscope
optique.
4.9. Pour un microscope électronique, on prend n = 1 et u = 10 −2 rad . Les électrons sont
accélérés par la tension U = 100kV .
4.9.1. Calculer l’ouverture numérique ω 0e et le pouvoir de résolution δme pour le microscope
électronique pour la tension d’accélération U = 100kV . Comparer δme à δmo et conclure.
4.9.2. On suppose l’ouverture numérique ω 0e constante. Dans quel sens faut-il varier la tension
accélératrice U si l’on souhaite améliorer la résolution des images obtenues ?
4.9.3. On souhaite obtenir un pouvoir de résolution de 10 −12 m . Quelle sera alors l’énergie
cinétique des électrons envoyés sur l’échantillon ?
4.10. Expliquer l’intérêt d’utiliser des électrons plutôt que les photons de la lumière visible pour
effectuer de la microscopie.

Épreuve de Physique I 7/7

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