Chapitre 4 : Les capteurs 1

1 – Mesure de l’accélération . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
2 – Mesure de la pression . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
3 – Mesure de la pression . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
4 – Mesure de la pression - suite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
5 – Mesure de la pression - suite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

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 Chapitre 4 : Les capteurs 2

1 – Mesure de l’accélération

déplacement
Les informations de position et de vitesse sont par-
masse
fois insuffisantes, et des capteurs d’accélération sont
souhaités. Selon le principe fondamental de la dy- signal capteur
namique, l’accélération est reliée à une force. de sortie piézo-électrique

→
−
F = −m→
−
a
Les capteurs d’accélération sont souvent des capteurs de force d’inertie :

• une ”masse d’inertie”, est appliquée sur un capteur de compression.

• les accélérations de l’ensemble induisent un effort de la part de la masse envers le capteur de
compression, qui émet alors le signal correspondant.

• Le capteur de compression est le plus souvent un capteur piezo-électrique.

• Toute la difficulté réside dans le comportement de ce système identique à l’assemblage masse
-ressort : des résonances apparaissent à certaines fréquences, et le capteur doit être proprement
amorti.

Ces capteurs sont très coûteux, et leur usage est limité par les difficultés d’installation. Leur emploi
concerne essentiellement la navigation, l’étude des chocs et des vibrations.

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 Chapitre 4 : Les capteurs 3

2 – Mesure de la pression
Capteurs de mesure à jauges de contrainte : Ils reposent sur l’effet piézorésistif, c’est à dire l’effet d’une
pression sur les caractéristiques d’une résistance (R = ρ sl ) appelée jauge de contrainte, et soumise à la
même déformation que la membrane qui la supporte, sous l’effet de cette pression. Comme la variation
géométrique d’une jauge de contrainte se traduit par une variation de sa résistivité, alors on pourra
exploiter celle-ci pour identifier l’amplitude de la contrainte. Les formes de membrane imaginables tout
autant que celles des jauges sont très diverses et sont adaptées au mieux à l’application concernée.

déplacement déplacement
déplac ement
déplacement

pression
pression pression pression
MEMBRANE ONDULÉE MEMBRANE PLANE CAPSULE SOUFFLET

déplacement déplacement déplacement déplacement

pression
pression

pression
pression
TUBE DE BOURDON
TUBE DROIT EN C EN HÉLICE EN SPIRALE

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 Chapitre 4 : Les capteurs 4

3 – Mesure de la pression
Plusieurs technologies : fils collés sur un support, jauges à trame pelliculaire, jauges à semiconducteur.
Les jauges à fil sont constituées d’un fil résistant de faible diamètre (12µm) collé sur un support dont la
nature varie selon le type d’application et le domaine de température : ce peut être un papier fin poreux
(0.1mm d’épaisseur) ou le plus souvent un film polyamide. La colle reliant le fil à son support sera du
type epoxy (-190,+100o C) phénolique (100 à 300o C) ou un ciment réfractaire (au delà de 300o C).
Ces jauges doivent être protégées contre la corrosion et l’humidité à l’aide de vernis, résines époxy,
élastomères silicones.

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 Chapitre 4 : Les capteurs 5

4 – Mesure de la pression - suite

Jauge à trame pelliculaire : De plus en plus on remplace les jauges à fils par ces dernières dont la
technologie se prête mieux aux procédures automatisées propres aux fabricants de composants
électroniques. Le fil est alors remplacé par un conducteur mince et plat obtenu par photogravure. Les
récents progrès des techniques photolithographiques autorisent la réalisation de brins de jauge de 3µm
de largeur séparés par moins de 2µm.

Ces jauges présentent de nombreux avantages : masse plus faible donc moindre inertie, dissipation
thermique accrue, effet transversal réduit (on peut varier la largeur), épanouissement aux extrémités
facilitant la connexion, géométries complexes adaptées à des cas très particuliers facilement réalisables.

Jauge à semiconducteur : Il est possible d’utiliser le silicium comme matériau de jauge plutôt qu’un
alliage métallique. Le principal intérêt réside dans le facteur de jauge accru d’un facteur 50, par rapport
aux jauges métalliques et aux possibilités très récentes de fabrication de l’ensemble du capteur en
silicium. Dans ce dernier cas, on évite ainsi toutes les opérations de montage des jauges sur une
membrane. Cependant le silicium présente l’inconvénient majeur d’avoir un fort coefficient de dérive
thermique.

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5 – Mesure de la pression - suite

Pont de mesures : On travaille en pont de wheat-

stone constitué de 4 jauges de résistance identique en
A
l’absence de contrainte. Les jauges sont placées de

ja
façon symétrique sur la pièce en déformation de telle

ug
e

e
ug
façon que la jauge 1 et la jauge 3 subissent des allonge-

4
ja
ments positifs tandis que la jauge 2 et la jauge 4 sont −
E
comprimées : +

ja

3
ug

e
R1 E R2 E

ug
VA − VB =

2
−

ja
(R1 + R4 ) (R2 + R3 )
B

Sous l’action d’une contrainte, Ri devient Ri + dRi avec dRi > 0 ou < 0, et on montre facilement
que
E
d(VA − VB ) =
4R[dR1 − dR4 + dR3 − dR2 ]
Cette relation montre bien que la contribution à d(VA − VB ) due à la température est nulle car à
température homogène tous les dRi sont identiques, tandis que la sensibilité aux contraintes est
maintenue en plaçant les jauges comme précisé ci-dessus.

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