Microphone électrostatique

CPDA - Électroacoustique

Manuel Melon,
Maître de Conférences, Chaire d’Acoustique du CNAM

Jeudi 24 Octobre 2013

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Plan

1 Généralités

2 Transduction

3 Microphone électrostatique
Principe de transduction
Interface acoustique mécanique
Modélisation d’un micro de mesure
Courbe de réponse
Polarisation et conditionnement
Caractéristiques microphones réels

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Généralités
Définition
Le microphone est un dispositif de conversion des ondes
acoustiques en signal électrique. Il fait partie de la la
famille des capteurs.

Symbole
U (t)
p(t)

Interface mécano-acoustique
La plupart des microphones possède une membrane qui
assure la conversion du signal acoustique en vibrations
mécaniques.

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Domaines d’utilisation
Quatre grands domaines
Mesure : laboratoire, in situ, normative...
Communication : téléphonie, prothèse auditive,
visioconférence...
Prise de son professionnelle : enregistrement,
radiodiffusion, sonorisation...
Électronique grand public : multimedia, jouets,
consoles...

Exigences
Suivant l’utilisation visée, la conception d’un microphone
nécessite de hiérarchiser ses caractéristiques : performances
électroacoustiques, caractéristiques mécaniques et
électriques, coût, design...
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Ordres de grandeurs

Sur la bande audio, pour une onde plane

Lp Pression Vitesse Déplacement
20 Hz 1 kHz 20 kHz
0 dB 20 µPa 50 nm.s−1 0.4 nm 8 pm 0.4 pm
60 dB 20 mPa 50 µm.s−1 0.4 µm 8 nm 0.4 nm
120 dB 20 Pa 50 mm.s−1 0.4 mm 8 µm 0.4 µm

Valeurs à capter pouvant être très faibles

Grande dynamique
Attention aux perturbations introduites par la présence du
microphone

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Diffraction
La présence du microphone modifie le champ
acoustique.
Pour diminuer les effets de la diffraction, il est
préférable de :
Minimiser les dimensions du microphone afin de
rejeter les effets indésirables en dehors de la bande
passante.
Limiter la présence d’arêtes et préférer les formes
cylindriques et sphériques.

Illustration : microphone de mesure 1/2 pouce

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Force exercée sur la membrane
Pour beaucoup de microphones, l’interface
acousto-mécanique est une membrane.
Pour une onde plane en incidence
normale la force exercée sur la face
avant de la membrane de surface S
vaut : Fm = p ∗ S.
En incidence oblique, la pression θ
exercée n’est plus uniforme
δl
(apparition de différences de phase
dues à la propagation) a
En BF (ka  1), ces différences sont
négligeables : pression homogène sur
la membrane ⇒ minimisation des
dimensions du microphones.
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Principe Physiques
Modification de la résistance

Microphone à Charbon :
capteur actif constitué de
granulés de charbon dont la
résistance de contact est
modifiée par l’action de
vibrations.
Avantages : robuste, bon
marché, sensibilité adaptée au
champ proche, impédance Carbon microphone removed from a
électrique adaptée. Western Electric telephone that was
manufactured about 1976. Gerry
Ashton
Inconvénients : non linéarités,
réponse en fréquence
irrégulière, bruit important.
8 / 42 CPDA
Principe Physiques

Conversion électrodynamique

Capteur passif utilisant les

propriétés de l’induction
électromagnétique.
Avantages : robustesse, capteur
passif, relativement bon
marché, supporte de forts
niveaux de pression.
Inconvénients : bande passante
limitée, courbe de réponse peut
être accidentée.

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Principe Physiques
Conversion piezoélectrique

Capteur passif exploitant les

propriétés piézoélectriques que
possèdent certains matériaux
(Quartz, PZT :
Titano-Zirconate de Plomb,
PVDF : polyfluorure de
vinylidène)
Avantages : bonne sensibilité,
bon marché, résistance aux
chocs.
Inconvénients : résonnant
difficile à amortir, sensible aux
vibrations.
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Principe Physiques
Conversion électrostatique

Capteur exploitant la variation

de capacité d’un condensateur
dont une armature est mise en
vibration par l’onde sonore.
Avantages : Réponse en
fréquence régulière et étendue,
sensibilité correcte, bruit de
fond.
Inconvénients : fragile,
polarisation nécessaire.
Bien adapté à la mesure.

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Conversion électrostatique

Géométrie
Le microphone
électrostatique est un Notation :
condensateur dont :
Une armature est
rigide et fixe

Uc (t)
L’autre armature, d(t) x(t)
parallèle à la d0
première, peut
être mise en O
vibration par
l’onde acoustique

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Capacité d’un condensateur plan

Armatures fixes
√
Si la surface S des électrodes satisfait : S  d0 , la
capacité C0 d’un condensateur plan est donnée par :
εS
C0 =
d0
où ε est la permittivité du diélectrique compris entre
les deux électrodes.
La permittivité de l’air est quasiment égale à celle du
vide :
1
ε ' ε0 =
36π109

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Capacité d’un condensateur plan

Condensateur dont une armature est mobile

Distance inter-électrodes :

d(t) = d0 − x(t)

La capacité dépend alors du temps et vaut :

εS εS εS 1 1
C(t) = = = = C0
d(t) d0 − x(t) d0 x(t) x(t)
1− 1−
d0 d0
où C0 correspond à la capacité du condensateur au
repos.

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Tension aux bornes du condensateur
La tension est donnée par
!
Q(t) Q(t) Q(t) x(t)
Uc (t) = = 1 = 1 −
C(t) C0 C0 d0
x(t)
1−
d0
Q(t) Q(t)x(t)
Uc (t) = −
C0 C 0 d0

Le premier terme traduit le comportement d’un

condensateur avec électrodes fixes.
Le deuxième terme introduit une grandeur mécanique
x(t) dans une équation électrique, c’est un terme de
couplage.

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Force entre les armatures

Pour un condensateur, la force Fc (t) est donnée

par
Q2 (t) Q2 (t)
Fc (t) = = !
2C(t)d(t) 1 x(t)

2C0 d0 1 − 
d0

x(t)
 
1− 
 d0
Q2 (t)

Fc (t) =
2C0 d0

Cette équation mécanique dépend d’une grandeur

électrique Q(t), c’est donc une équation de couplage.
Cette force a tendance à rapprocher le électrodes.

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Équations de couplage
Les équations gouvernant la transduction
électrostatique ont donc la forme suivante :

Q(t) Q(t)x(t)
Uc (t) = −



C0 C0 d0

2
 Q (t)
 Fc (t) =


2C0 d0

Ces équations sont intrinsèquement non-linéaires

Fc proportionnelle à Q2 (t)
Uc dépend du produit Q(t)x(t)
Un son pur de fréquence f à l’entrée du microphone
donnerait une tension de sortie comprenant une
composante de fréquence 2f .

17 / 42 CPDA
Linéarisation des équations de
couplage
La linéarisation s’opère par polarisation du
condensateur
Au repos, le condensateur possède une charge
électrique Q0 .
Lorsque l’armature mobile est en mouvement :
Q(t) = Q0 + Qa (t) où Qa (t) est la charge variable due
à l’acoustique.
La polarisation est réglée de manière à toujours
obtenir Q0  Qa .
On fait également l’hypothèse de petits mouvements :
x(t)  d0 .
Il est alors possible de réécrire les équations de
couplage satisfaisant ces deux hypothèses.
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Linéarisation des équations de
couplage
Tension électrique

Q(t) Q(t)x(t) Q0 + Qa (t) (Q0 + Qa (t)) x(t)

Uc (t) = − = −
C0 C0 d0 C0 C 0 d0
Q0 Qa (t) Q0 x(t) Qa (t)x(t)
Uc (t) = + − −
C0 C0 C0 d0 C0 d0

Tension continue
Termes linéaires
Terme non linéaire négligeable au vu des hypothèses

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Linéarisation des équations de
couplage
Force entre les électrodes

Q2 (t) (Q0 + Qa (t))2 Q2 + 2Q0 Qa (t) + Q2a (t)

Fc (t) = = = 0
2C0 d0 2C0 d0 2C0 d0
Q20 Q0 Qa (t) Q2a (t)
Fc (t) = + +
2C0 d0 C 0 d0 2C0 d0

Force constante
Terme linéaire
Terme non linéaire négligeable au vu des hypothèses

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Linéarisation du couplage
Au premier ordre, les équations de couplage sont
données par :

Q0 Qa (t) Q0 x(t)
Uc (t) = + −



C0 C0 C 0 d0

2
 Q0 Q0 Qa (t)

 Fc (t) = +
2C0 d0 C 0 d0


Il est possible de réécrire ces équations pour le courant

dQa
électrique i(t) = et pour la vitesse de l’électrode
dt
dx
mobile v(t) =
dt

dUc (t)  0)
d(Q0 /C  i(t)
 Q0 v(t)
−


 =  +
dt  dt C0 C0 d0

2
 dF c (t) d(Q /(2C
0  0 0
d))
 Q i(t)
0

 =  +
dt dt Cd

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Linéarisation du couplage
U0 Q0
Soit en posant E0 = =
d0 C 0 d0
dUc (t) i(t)



 = − E0 v(t)
dt C0
 dFc (t)
= E0 i(t)


dt
En régime harmonique, (d/dt ⇒ ×jω), le système
devient :

 i E0
i 
 Uc = − v
jωUc = − E0 v
 
jωC0 jω
 
C0 ⇒ E0
 jωF = E i
 Fc = i
 

c 0 
jω

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Circuit électrique équivalent

Coefficient de couplage
E0
Le facteur est le coefficient de couplage
jω
électrostatique
C’est une quantité complexe dependant de la fréquence
car écriture en courant/vitesse et non
charge/déplacement

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Membrane tendue

Position du problème
La plupart des microphones de mesures possèdent une
interface mécano-acoustique de type membrane
tendue.
Hypothèses : membrane souple tendue par une tension
linéïque τ constante ; lorsqu’elle est mise en vibration
par une onde sonore, la vitesse est nulle sur le
pourtour.
En basse fréquence (en dessous du premier mode de
vibration), il est possible d’effectuer une approximation
qui simplifie les expressions mathématiques gouvernant
le comportement de la membrane.

24 / 42 CPDA
Membrane tendue
Approximation BF
En basse fréquence (λ  a), la
déformation de la membrane est
a
pratiquement la même ∀f . r
Le mouvement peut être ξ(t)
approximé par la fonction x
quadratique suivante :
!
p(t)a2 r2
ξ(t) = 1− 2
4τ a a r
Trouver un oscillateur mécanique
x(t)
amorti d’impédance Zm
x
équivalent (dont le déplacement
ne dépend pas de r). ⇒
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Membrane tendue
Égalisation des énergies cinétiques et potentielles des
deux systèmes
L’énergie cinétique conduit à la détermination de la
masse mm de l’oscillateur mécanique équivalent.
L’énergie potentielle conduit à la détermination de La
souplesse Cm de l’oscillateur mécanique équivalent.
Pour prendre en compte la dissipation d’énergie, on
peut également introduire une résistance mécanique
rm
On prendra également en compte le rayonnement
acoustique sous la forme d’une impédance de
rayonnement (inductance + résistance) qui s’ajoutent
aux éléments ci-dessus.
Finalement, en BF, la membrane tendue peut donc se
modéliser par un oscillateur mécanique amorti
1
d’impédance Zm = rm + jωmm + .
jωCm
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Vue éclatée d’un micro de mesure

Hypothèses pour la
modélisation :
Grille retirée.
Membrane tendue =
oscillateur mécanique
amorti, rayonnement inclus
dans les éléments.
λ  a : diffraction et effet
de de phase négligés (force
uniforme sur la membrane).
Le volume derrière la contre
électrode est clos.

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Modélisation
Schéma simplifié
Les hypothèses choisies
permettent de redessiner la
capsule microphonique
comme suivant :

Circuit acoustique arrière

Le débit imposé par la
membrane traverse les trous de
Ra La
la contre électrodes qui q
débouchent sur le volume
arrière. On a donc un circuit p Ca
électrique équivalent de type
RLC série.
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Réponse en boucle ouverte
M
Courbe de réponse en fréquence : 20 log
M0 Hz

20
Réponse normalisée (dB)

−20

−40

−60

−80
−12 dB/octave

−100 1 2 3 4
10 10 10 10
Fréquence (Hz)

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Réponse en boucle ouverte
Commentaires :
La fréquence de coupure haute est déterminée par la
tension de la membrane (τ % ⇒ Ct & ⇒ fh %).
Où Ct est la souplesse de l’ensemble membrane +
cavité arrière.
Sensibilité nominale : M0 = E0 SCt .
Augmente avec S et U0 , pb : modes de membrane,
diffraction, effet de phase et claquage.
Diminue avec d0 et τ , pb : claquage et τ % ⇒ fh %.
⇒ Compromis
Contrôle du facteur de qualité de la résonance par les
pertes dans l’espace interélectrodes et dans les trous de
la contre électrode.

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Trou d’égalisation

En pratique, pour empêcher la membrane de se

déformer sous l’effet des variations de pression
atmosphérique, un trou d’égalisation est percé pour
relier le volume arrière à l’extérieur.

Trou d’égalisation

Trou = capillaire : Rae

Quel est l’effet de du trou d’égalisation sur la réponse
en fréquence ?

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Réponse en boucle ouverte
Avec trou d’égalisation

20
Réponse normalisée (dB)

+6 dB/octave
−20

−40
−12 dB/octave
−60

−80

−100 1 2 3 4
10 10 10 10
Fréquence (Hz)

32 / 42 CPDA
Polarisation
Par une alimentation externe

Tension de polarisation typique : 200 V

Condensateur de découplage

33 / 42 CPDA
Polarisation
Par un électret

Electret : diélectrique polarisé de façon permanente.

Modélisation : ajout de la capacité du diélectrique en
série

34 / 42 CPDA
Polarisation

Par un électret
Avantages :
Suppression de l’alimentation de polarisation
(nécessite toutefois une alimentation pour le
conditionnement)
Suppression des risques de claquage
Facile à miniaturiser
Grande capacité par unité de surface
Fabrication des électrets mieux maîtrisée ⇒ moins de
pertes de charges au cours du temps ⇒ type de
polarisation de plus en plus utilisée.

35 / 42 CPDA
Conditionnement
Le conditionnement du signal s’effectue par le
préamplificateur

Permet d’adapter l’impédance :

Impédance d’entrée (' 10 GΩ).
Impédance de sortie adaptée (' 50 Ω).
Amplification de la puissance du signal et également
du bruit associé.

36 / 42 CPDA
Diffraction
Réponse d’un microphone 1/2 pouce sans grille
pour différentes incidences

37 / 42 CPDA
Directivité

Courbes de directivité d’un microphone avec

grille

38 / 42 CPDA
Grille de protection

Rôles

Protection de la
membrane.
Atténuation des effets de
diffraction.
Extension de la bande
passante vers les aigus.

39 / 42 CPDA
Ex. de gamme de micros à pression

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 [1] M. Rossi, Audio, Lausanne, Presses Polytechniques et
Universitaires Romandes, 2008.
[2] Brüel & Kjær, Microphone handbook,
http://www.bksv.com/, 1996.
[3] P. Herzog, Perception et prise de son, cours de Master
2 d’acoustique, Marseille.
[4] P. Lotton, Cours d’électroacoustique, cours de DEUST
VAS 1, Le Mans.

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