RÉPUBLIQUE ALGÉRIENNE DÉMOCRATIQUE ET POPULAIRE

MINISTÈRE DE L’ENSEIGNEMENT SUPERIEUR

ET DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
Faculté des Nouvelles Technologies de DOMAINE : Sciences et Technologies
L’information Et de la Communication FILIERE : Télécommunications
Département d’Electronique et Des SPECIALITE : Systèmes des
Télécommunication Télécommunications

Mémoire présenté pour l’obtention

Du diplôme de Master Académique
Présentée par
✓ MAAMRI MOHAMMED ALI ✓ BRIKI ANIS
Thème

Étude des capteurs à cristaux

photoniques planaires
Soutenu publiquement le : 14/6/2022

Soutenu devant le jury composé de :

[Link] Abdelkrim Université kasdi Merbah – Ouargla Président
m. Otmani Hamza Université kasdi Merbah – Ouargla Encadreur
m.M oad Sayah Université kasdi Merbah – Ouargla Examinateur

Année Universitaire : 2021-2022

 Remerciement
Avant tout, nous remercions Dieu le tout puissant et
miséricordieux, qui nous a aidés dans nos études et
nous a donné la force, la patience et la volonté
d’accomplir ce Modeste travail.
Nous tenons à exprimer nos sincères remerciements
et notre gratitude à notre encadreur Mr. Hamza
Otmani pour ses conseils, son aide et son infinie
patience tout au long de la période d'achèvement de
ce travail. Nos vifs remerciements vont également
aux membres du jury pour l’intérêt qu’ils ont porté à
notre recherche en acceptant d’examiner notre
travail Et de l’enrichir par leurs propositions. Nous
adressons également nos remerciements à tous nos
enseignants pendant nos études et à tous les
employés du Département d’Electronique et Des
Télécommunication.
Enfin, nous remercions toutes les personnes qui ont
participé de près ou de loin à la réalisation de ce
travail.
 Je dédie ce modeste travail et ma profonde gratitude

À celle qui m'a enseigné l'ambition...ma mère. À l'a personne devant laquelle
tous les mots de l'univers sont incapables d'exprimer mon amour et mon
affection pour elle, à l'être qui m'est le plus cher, à ma chère mère. Mère, si tu
savais combien je t'aime.

À mon cher père qui a payé d'amour et de sacrifices le prix de ma façon de

penser. Père, je te remercie d'avoir fait de moi un homme.

À mes chers frères et sœurs.

À tous mes amis et mes collègues de promos et tous mes enseignants tout au
long de mes études.

À tous ceux qui, de loin ou de près, ont contribué à la réalisation de ce travail.

Briki Anis
 Je veux remercie mon dieu jour et nuit pour son succès. Il m'a donné la
patience et le pouvoir et la volonté, pour en arriver ici Aujourd'hui.
Ou est-ce que je mets cet humble travail entre vos mains.
Je dédie ce travail simple à ceux qui été m'ont fait existe à mon père et ma
chère maman, et je suis très content pour se tenir à côté de moi et veiller
tard pour réussir mes études, et leur souci d'obtenir un niveau supérieur
d'instruction et éducation...mon oncle (AMAR) ou comme on l'appelle
(DJAMEL) sans, je n'aurais pas atteint ce niveau, je le dédie aussi à
tous mes frères et mes sœurs et ma famille et n'oublie pas mes professeurs
qui m'a appris des la première année à ce jour.
Je soumets ce travail avec mes sincères à mon collègue qui m'a accompagné
et partage le avec moi monsieur "BRIKI ANIS" et toute sa famille,
ainsi que tous mes amis, et tous ceux qui ont faveur de près ou de loin, ont
participé avec moi.

Maamri Mohammed Ali

 Sommaire

SOMMAIRE
SOMMAIRE ............................................................................................................................... I
Liste Des Figures..................................................................................................................... III
Liste Des Tableaux .................................................................................................................VII
Liste des Symboles ................................................................................................................ VIII
Liste des Acronymes ................................................................................................................ IX
Introduction générale................................................................................................................ 1
Ⅰ-2. Etude sur les Cristaux Photoniques : ................................................................................ 3

Ⅰ-2.1. Les Cristaux Photoniques naturels............................................................................................. 4

Ⅰ-2.2. : Analogie électron-Photon : ....................................................................................................... 7

Ⅰ-3. Types des Cristaux Photoniques : ...................................................................................... 8

Ⅰ-3.1. Les Cristaux Photoniques Unidimensionnels (CPs-1D) : ......................................................... 8

Ⅰ-3.1.1. Contraste D’indice ....................................................................................................................................9
Ⅰ-3.1.2. La Période ..................................................................................................................................................9
Ⅰ-3.1.3. Facteur de Remplissage .......................................................................................................................... 10

Ⅰ-3.2. Les Cristaux Photoniques Bidimensionnels (CPs-2D) :......................................................... 12

Ⅰ-3.3. Les Cristaux Photoniques Tridimensionnels (CPs-3D) : ........................................................ 15

Ⅰ-3.3.1. Structure de yablonovite......................................................................................................................... 15
Ⅰ-3.3.2. Structure tas de bois : ............................................................................................................................. 16
Ⅰ-4. Domaines d’utilisation Cristaux Photoniques ................................................................ 17
Ⅰ-5. Capteurs à Cristaux Photoniques .................................................................................... 18
Ⅰ-6. Conclusion ........................................................................................................................ 19
Références bibliographies du chapitre I ................................................................................. 20
Ⅱ.1. Introduction sur les capteurs .......................................................................................... 22
Ⅱ.2. Structure d’un capteur .................................................................................................... 22

Ⅱ.2.1. Le corps d’épreuve ................................................................................................................... 22

Ⅱ.2.2. Transducteur ............................................................................................................................. 22

Ⅱ.3 Cristaux photoniques pour la détection optique ............................................................. 23

Ⅱ.3.1. Introduction .............................................................................................................................. 23

Ⅱ.3.2. Capteurs à cristaux photoniques planaires ............................................................................ 23

I
 Sommaire

Ⅱ.3.3. Capteurs PhC basés sur l'indice de réfraction (RI) ............................................................... 24

Ⅱ.4. Conclusions ..................................................................................................................... 43
Références bibliographies du chapitre II ............................................................................... 45
III.1. Introduction ................................................................................................................... 47
III.2. La méthode des différences finies dans le domaine temporel (FDTD) ....................... 47
III.3. La méthode des ondes planes (PWE) ............................................................................ 47
III.4. Description du logiciel ................................................................................................... 48
III.5. Structure utilisée ............................................................................................................ 50
III.6. Diagramme des bandes interdites photoniques ............................................................ 51
III.7. Variation de la bande interdite photonique en fonction de l’indice de réfraction ..... 52

III.7.1. Pour la polarisation TE .......................................................................................................... 53

III.7.2. Pour la polarisation TM ......................................................................................................... 54

III.8. Cavités à cristaux photoniques ..................................................................................... 56

III.8.1. Confinement de la lumière à cavité en cristal photonique 2D ............................................. 57

III.8.2. Variation de confinement de la lumière à cavité en fonction de la polarisation ................ 58

III.8.3. Variation de confinement de la lumière à cavité en fonction de l’indice de réfraction « n »

............................................................................................................................................................... 58
III.8.3.1. Pour la polarisation TE : ..................................................................................................................... 58
III.8.3.2. Pour la polarisation TM ....................................................................................................................... 59

III.8.4 Variation de la transmission en fonction de la longueur d’onde pour différentes valeurs

de l’indice de réfraction....................................................................................................................... 61
III.8.4.1 Pour la polarisation TE ......................................................................................................................... 61
III.8.4.2 Pour la polarisation TM ........................................................................................................................ 62

III.8.5. Utilisation des cavités à cristal photonique pour la détection (capteurs) :......................... 63
III.8.5.1 Capteurs basés sur l’indice de réfraction : .......................................................................................... 63
III.8.5.2 Couplage guides –cavité ........................................................................................................................ 64
III.9. Conclusion ..................................................................................................................... 69
Références bibliographies du chapitre III ............................................................................. 70
Conclusion Générale : ............................................................................................................ 71

II
 Liste Des Figures

Liste Des Figures

Chapitre I : Généralités sur les cristaux photoniques

Figure Ⅰ.1 : Représentation schématique de cristaux photoniques unidimensionnels (1D),

bidimensionnels (2D), tridimensionnels (3D) .......................................................................... 4

Figure Ⅰ.2 : Une vue microscopique d’une structure de cristal photonique naturel
papillons: ................................................................................................................................... 5
Figure Ⅰ.3 : Plume de paon. L’encadré de droite est une image prise au microscope

électronique à balayage (MEB) de la coupe d’une barbule verte ........................................... 5

Figure Ⅰ.4 : Exemples de réalisations naturelles de structures périodiques. Ces structures

apparaissent chez certaines espèces animales et minérales comme les souris de mer:.......... 6
Figure Ⅰ.5: Image au microscope électronique d'une opale naturelle constituée d'un réseau
quasi-périodique de billes de silice ........................................................................................... 6
Figure Ⅰ.6 : Schéma d’un miroir de Bragg constitué d’un empilement de couches
d’épaisseurs ............................................................................................................................... 8
Figure Ⅰ.7 : Représentation schématique de l’interface des ondes réfléchies par chaque
dioptre ........................................................................................................................................ 9

Figure Ⅰ.8 : (a) Relation de dispersion d'un cristal photonique unidimensionnel (miroir de
Bragg) à incidence normale : une bande d'énergie interdite apparait en bord de zone de
Brillouin (b) Incidence oblique .............................................................................................. 11

Figure Ⅰ.9: Structures bidimensionnelles : (a) connectée, (b) déconnectée ......................... 12

Figure Ⅰ.10: Image MEB d’un cristal photonique gravé dans une hétéro structure ........... 13
Figure Ⅰ.11: Représentation (a) d’un réseau carré (b) d’un réseau triangulaire (c) d’un
réseau hexagonal .................................................................................................................... 14
Figure Ⅰ.12 : Structure des cristaux photoniques tridimensionnels .................................... 15

Figure Ⅰ.13 :(a) Structure de yablonovite (b) Image MEB d'une structure Yablonovite en
PMMA ..................................................................................................................................... 16
Figure Ⅰ.14 : Structure tas de bois ......................................................................................... 16

III
 Liste Des Figures

Figure Ⅰ.15 : Dispositifs à base de cristaux photoniques 2D. (a) Coupleur directionnel ;(b)
Biocapteur ;(c) Diviseur de puissance ;(d) Filtre ;(e) Démultiplexeur ;(e) Double virage .. 17
Figure Ⅰ.16 : a) vue au microscope électronique à balayage d'une microcavité à cristal
photonique intégrée avec deux guides d'ondes ruban, (b) spectres de transmission normalisés
de la microcavité, (c) vue au microscope électronique à balayage de guide d'ondes à cristal
photonique (PCW) sur SOI, (d) spectres de transmission mesurés pour quatre solutions
d’indices différents .................................................................................................................. 17

Chapitre II : Les capteurs à cristaux photoniques

Figure Ⅱ.1 : Définition d’un capteur .................................................................................... 22

Figure Ⅱ.2 : Structure d’un capteur ...................................................................................... 22

Figure Ⅱ.3. a) détection de surface et (b) détection homogène. Les molécules sondes (bleues)
sont déposées sur les surfaces des trous et les molécules cibles (rouges) sont capturées par
des récepteurs formant une couche adjective sur la surface du capteur. ............................. 25

Figure Ⅱ.4. Micro cavité PhC (a) réalisée en supprimant sept trous comme défaut de ligne
(cavité L7) et section transversale (b). .................................................................................... 27
Figure Ⅱ.5 . Zoom de la région de la cavité de la cavité L7. ................................................. 27

Figure Ⅱ.6 : Impact du changement de l'indice de réfraction de l’environnement des tiges

sur la longueur d'onde de résonance ..................................................................................... 28

Figure Ⅱ.7. Cavité PhC Air-slot avec zoom de fente dans la fente. ...................................... 29

Figure Ⅱ.8. Structure schématique du capteur pour la détection d'eau de mer .................. 30
Figure Ⅱ.9. Coupe transversale (a) et vue de dessus (b) du capteur PhC basé sur la cavité du
pont d'air.................................................................................................................................. 31
Figure Ⅱ.10. Structure de la cavité 𝑯𝟎 avec le zoom de la disposition des trous ................. 33
Figure Ⅱ.11. Réseau de cavités résonnantes 𝑯 𝟎 ................................................................... 34
Figure Ⅱ.12. Mycrocavité à cristaux photoniques 1D ........................................................... 35
Figure Ⅱ.13. Vue de dessus du dispositif PhC avec une sphère de latex dans le défaut central
de la microcavité ...................................................................................................................... 37

IV
 Liste Des Figures

Figure Ⅱ.14. Schéma du capteur d'ADN à base de PhC caractérisé par des guides d'ondes
monomodes d'entrée et de sortie de 500 nm de large............................................................. 38
Figure Ⅱ.15. Capteur de guide d'onde à cristal photonique avec trous sensibles ................ 39
Figure Ⅱ.16. a) Haut et (b) vue en coupe du capteur de guide d'ondes à cristal photonique
pour la détection de gaz........................................................................................................... 40
Figure Ⅱ.[Link] avec guide d'onde à cristal photonique à fente (a) et vue en coupe
transversale (b) ........................................................................................................................ 41

Figure Ⅱ.18. Schéma d'un appareil MMI 1x4 ...................................................................... 42

Chapitre III : Résultats de Simulation

Figure III.1. Procédure de simulation dans Opti-FDTD ...................................................... 49

Figure III.2 : plateforme de logicielle Opti-FDTD ................................................................ 50
Figure III.3: la structure de cristal photonique bidimensionnel utilisé ............................... 51
Figure III.4 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal, polarisation TE .................... 52
Figure III.5 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal, polarisation TM ................... 52
Figure III.6: Diagramme de bande d‘un réseau hexagonal avec n= 3.4777, polarisation TE
.................................................................................................................................................. 53
Figure III.7 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal avec n= 3.4577, polarisation TE
.................................................................................................................................................. 53
Figure III.8 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal avec n= 3.4377, polarisation TE
.................................................................................................................................................. 54
Figure III.9 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal avec n= 3.4777, polarisation TM
.................................................................................................................................................. 54

Figure III.10 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal avec n= 3.4577, polarisation
TM ............................................................................................................................................ 55

Figure III.11 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal avec n= 3.4377, polarisation
TM ............................................................................................................................................ 55
Figure III.12 : Cristal photonique à base de structure hexagonal avec un défaut ponctuel
(cavité)...................................................................................................................................... 57

V
 Liste Des Figures

Figure III.13 : Type de cavité (H2) ........................................................................................ 57

Figure III.14 : a) confinement de la lumière dans la polarisation TE, b) confinement de la

lumière dans la polarisation TM ............................................................................................ 58

Figure III.15 : Confinement de la lumière à cavité, avec n=3.4777 ..................................... 58

Figure III.16 : Confinement de la lumière à cavité, avec n=3.4577 ..................................... 59

Figure III.17 : Confinement de la lumière à cavité, avec n=3.4377 ..................................... 59

Figure III.18 : Confinement de la lumière dans la polarisation TM, avec n=3.4777 .......... 59
Figure III.19 : Confinement de la lumière dans la polarisation TM, avec n=3.4577 .......... 60
Figure III.20 : Confinement de la lumière dans la polarisation TM, avec n=3.4377 .......... 60

Figure III.21: la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 3.4777 ............. 61

Figure III.22 : la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 3.4577 ............ 61
Figure III.23 : la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 0.4377 ............ 61
Figure III.24 : la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 3.4777 ............ 62

Figure III.25 : la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 3.4577 ............ 62

Figure III.26 : la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 3.4377 ............ 62

Figure III.27. Structure de couplage guides cavité ............................................................... 65

Figure III. 28. Propagation de la lumière dans la structure de couplage guides cavité ...... 65
Figure III. 29 : la transmission en fonction de la longueur d’onde à différentes points
(a),(b),(c),(d)et(e) ..................................................................................................................... 67

Figure III. 30 : Différentes points d’observation de la transmission.................................... 67

Figure III. 31 : Informations sur la transmission ................................................................. 68

VI
 Liste Des Tableaux

Liste Des Tableaux

Chapitre I : Généralités sur les cristaux photoniques

Tableau I : Caractéristiques géométriques principales des réseaux bidimensionnels carré et

triangulaire .......................................................................................................................................... 14

Chapitre III : Résultats de Simulation

Tableau III.1 : Les valeurs de largeur de la bande interdite photonique et leur
emplacement, pour chaque valeur de l’indice de réfraction avec les deux polarisations TE
et TM ........................................................................................................................................ 56

Tableau III.2: variation de la longueur d’onde en fonction des indices de réfraction pour
les deux polarisations TE et TM ............................................................................................. 63
Tableau III.3: La sensibilité du capteur pour divers décalages de l'indice de réfraction du
milieu entourant les tiges du dispositif ................................................................................................... 64

VII
 Liste des Symboles

Liste des Symboles :

⃗⃗⃗
𝑬 : Champ électrique

⃗𝑯
⃗⃗ : Champ magnétique

𝑽 : Potentiel
𝒓 : Rayon du cristal photonique

 : Permittivité diélectrique du matériau (0 : Permittivité diélectrique du vide)

µ : Perméabilité magnétique du matériau (µ0 : Perméabilité magnétique du vide)
t : les dépendances temporelles
𝒏 : Indice de réfraction
𝝎 : La fréquence radiale
λ : Longueur d'onde
S : Sensibilité
∆n : la variation de l'indice de réfraction
L : la longueur du guide d'onde
T : le spectre de transmission

VIII
 Liste des Acronymes

Liste des Acronymes :

CP : Cristal Photonique

PhCs : Les cristaux photoniques

BIP: Bande interdite photonique

PBG: Photonic Band Gap

TM : Transverse Magnétique

TE : Transverse Electrique

FDTD-2D : Méthode des différences finies dans le domaine temporel à deux dimensions

PWE : La méthode de décomposition en onde plane (Plane Wave Expansion)

1D : Unidimensionnelles

2D : Bidimensionnelles

3D : Tridimensionnelles

CMOS : Technologie de fabrication de composants électroniques (Complementary MetalOxide

Semiconductor)

MEMS : Microsystème électromécanique (Micro-Electro-Mechanical Systems)

GO : Guide d’onde

RI : Indice de Réfraction

Opti-FDTD : Logiciel de simulation

OSA : analyseur de spectre optique

SPR : Résonance Plasmonique de Surface

RIU : Unité d’Indice de Réfraction (Refractive Index Unit)

SOI: Le silicium sur isolant

UPML: Uniaxial Perfect Matched Layer

IX
 Liste des Acronymes

PML: Perfect Matched Layer

PD: photodetector

Mid-IR: Moyen infrarouge.

X
Introduction Générale
 Introduction Générale

Introduction générale :

L'année 1987 a été témoin de la proposition de l'idée des cristaux photoniques par le
scientifique E. Yablonovitch et S. John, et quatre ans plus tard, le premier cristal photonique a été
fabriqué. Depuis cette époque à ce jour, des travaux ont été réalisés pour développer ces cristaux
et des études sont toujours en cours. Afin de les améliorer. Et l'invention d'appareils qui dépendent
dans leur travail de ces cristaux, et ce qui a à voir avec eux. Peut-être parmi les plus importantes
de ces inventions sont les capteurs à cristaux optiques, ces derniers ont été développés à partir de
capteurs électroniques traditionnels qui ne conviennent pas à certains travaux et ne peuvent être
présents partout.

Les cristaux photoniques tirent leur nom du fait qu'ils sont similaires aux cristaux ordinaires
en termes de structure, car ils alignent périodiquement les atomes en trois dimensions lorsque les
cristaux tridimensionnels imposent des restrictions sur la propagation de la lumière et peuvent
parfois l'empêcher de se propager. Les électrons sont à l'intérieur, ce sont donc des semi-
conducteurs, et cette propriété anti-prolifération est utilisée dans la fabrication de filtres optiques,
et la différence de propagation avec une polarisation différente peut être utilisée dans la fabrication
de disjoncteurs photoniques. Les cristaux optiques leur ont trouvé une place dans le domaine de
l'optique, grâce aux inventions qui en sont issues, comme les séparateurs de faisceau, qui présentent
de nombreux avantages, comme diviser la même quantité de lumière du signal reçu en deux, quatre
ou huit canaux de sortie avec une perte minimale, et c'est ce qui a beaucoup aidé l'homme par la
suite.

L'objet de ce travail est l'étude des capteurs à cristaux photoniques planaires.

Ce mémoire s'articule autour de trois chapitres :

Le premier chapitre, consacré à généralités sur les cristaux photoniques. En premier lieu, Nous
commençons par étudier les cristaux photoniques à partir des définitions et concepts de base, en
parlant les CPs naturels et analogie entre l'électron et le photon. Ensuite, nous présentons un aperçu
des différents types de cristaux photoniques, puis nous citons les différents domaines d'utilisation
des CPs. Enfin, nous parlerons de certains des concepts des capteurs à cristaux photoniques, qui
font l’objet de notre étude.

Le deuxième chapitre, nous présentons en détail les capteurs à cristaux photoniques.

1
 Introduction Générale

Dans le dernier chapitre, nous présentons une définition de deux méthodes de simulation sur
lesquelles nous nous appuyons dans notre étude : la méthode des différences finies dans le domaine
temporel (FDTD), la méthode des ondes planes (PWE) respectivement, puis nous fournissons une
description sur logiciel de simulation « Opti-FDTD » que nous utilisons dans notre travail. Puis
nous présentons les résultats de simulation pour notre travail, qui consiste à concevoir un nouveau
type de capteur optique à cristal, à l'aide du logiciel de simulation Opti-FDTD, nous réalisons une
cavité dans la structure cristalline et étudions l'effet de la différence d'indice de réfraction RI sur le
longueur d'onde de résonance et la sensibilité de notre capteur et étudier la bande interdite
photonique de valeurs différentes pour l'indice de réfraction avec les deux polarisation TE et TM.
Nous suggérons également une autre structure pour comparer la sensibilité dans différentes
structures.

Enfin, nous terminerons notre travail par une conclusion générale sur les travaux obtenus.

2
Chapitre : I

Généralités sur les

cristaux photoniques
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Ⅰ-1. Introduction :

Les cristaux photoniques (CP) ou matériaux à bande interdite photonique désignent des
structures synthétiques dont la constante diélectrique (indice de réfraction) varie périodiquement
sur la gamme de longueur d'onde, cette patrouille se traduit par la non-diffusion des photons dans
une gamme spectrale spécifique (BIP). Grâce aux propriétés qui distinguent les cristaux
photoniques, il a ouvert la porte à de nouveaux domaines de recherche ce qui a conduit au
développement de nouveaux capteurs (capteur à cristal photonique) plus rapides, plus précis et
plus simples. Contrairement aux capteurs électroniques, ils sont autorisés à fonctionner dans des
environnements qui ne peuvent pas être contrôlés ou accessibles.

Ce premier chapitre a pour objet de présenter brièvement les notions de base concernant les
cristaux photoniques et des capteurs. Nous allons commencer par étudier sur les cristaux
photoniques à travers la présentation d’un ensemble de notions et de définitions, les différents types
des cristaux photoniques, Domaines d’utilisation, capteurs à cristaux photoniques.

Ⅰ-2. Etude sur les Cristaux Photoniques :

La notion de ”cristaux photoniques” a été proposée pour la première fois en 1987 [1,2]. Le
premier cristal photonique a été réalisé en 1991[3].

Les cristaux photoniques sont des matériaux à nanostructures isolées électriquement dont
l'indice de réfraction varie périodiquement sur l'échelle des longueurs d'onde selon une ou plusieurs
dimensions de l'espace. Il possède de nombreux phénomènes intéressants, tels que le contrôle de
l'auto-émission d'atomes élevés dans les cristaux photoniques, et possède des propriétés
submicroniques qui permettent un contrôle sans précédent sur le confinement et la propagation de
la lumière. Ces structures artificielles sont classées en unidimensionnelles (1D), bidimensionnelles
(2D) et tridimensionnelles (3D), cette dernière étant la plus efficace des trois mais difficile à
fabriquer.

La principale propriété des cristaux photoniques est d'interdire à la lumière (photons) de se

propager dans une direction et une bande de fréquences spécifiques, appelée la bande interdite
photonique (BIP en français, PBG en anglais), cette propriété est similaire à celle que l'on trouve
dans les semi-conducteurs, appelée Phénomène d'ouverture de bande interdite électronique.

3
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Figure Ⅰ.1 : Représentation schématique de cristaux photoniques unidimensionnels (1D),

bidimensionnels (2D), tridimensionnels (3D)

Ⅰ-2.1. Les Cristaux Photoniques naturels :

Les structures photoniques sont apparues dans la nature il y a plusieurs centaines de millions
d'années. Dans le monde vivant, la couleur est utilisée pour la communication et cette fonction
importante impacte fortement les chances individuelles de survie ainsi que les chances de se
reproduire. Cela a une influence statistique sur les populations d'espèces. Par conséquent, parce
qu'elles sont impliquées dans l'évolution, les structures génératrices de couleurs naturelles sont –
d'un certain point de vue – hautement optimisées. Ces structures cristaux photonique naturelles se
trouvent dans les insectes, les araignées, les oiseaux, les poissons, d'autres animaux marins, les
plantes, etc. [4]

▪ Papillon:

Ces matériaux naturels peuvent inspirer les physiciens de diverses manières. Dans un premier
temps, il pourrait essayer de copier la structure existante telle quelle, voire de l'utiliser directement.
Nous verrons que certains verres hydrophobes sont ainsi directement inspirés des propriétés des
ailes de papillon Figure Ⅰ.2, tandis qu'une autre aile de papillon fait office de détecteur de vapeur
Les physiciens peuvent également modifier la structure initiale après modélisation pour amplifier
le phénomène [5].

4
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Figure Ⅰ.2 : Une vue microscopique d’une structure de cristal photonique naturel
papillons
▪ Plumes de paons :

On note la présence de cristaux photoniques naturels. Les images au microscope

électronique sont présentées à la Figure Ⅰ.3. Les couleurs bleue, verte, jaune et brune des plumes
de paon sont dérivées de la diffraction d'un cristal photonique bidimensionnel avec un nombre et
une longueur de maille variables.

Figure Ⅰ.3 : Plume de paon. L’encadré de droite est une image prise au microscope électronique
à balayage (MEB) de la coupe d’une barbule verte

5
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

▪ Souris de mer :

Les plumes de paon ne sont pas le seul exemple de cristaux photoniques naturels. La
Figure Ⅰ.4 montre un autre exemple de CP naturel. Des biologistes ont découvert un ver dont la
coquille est un cristal photonique plus efficace que celui fabriqué actuellement. Cet animal
s'appelle une souris de mer [6].

Figure Ⅰ.4 : Exemples de réalisations naturelles de structures périodiques. Ces structures

apparaissent chez certaines espèces animales et minérales comme les souris de mer
▪ L’opale :
La présence de cristaux photoniques naturels peut être observée dans l'opale naturelle, qui consiste
en un réseau semi-périodique de billes de silice. Comme le montre la Figure Ⅰ.5, une image au
microscope électronique l’opale [7].

Figure Ⅰ.5: Image au microscope électronique d'une opale naturelle constituée d'un réseau
quasi-périodique de billes de silice

6
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Ⅰ-2.2. : Analogie électron-Photon :

Un cristal photonique est un matériau dont la constante diélectrique varie périodiquement
dans une ou plusieurs directions de l'espace. Cette définition peut sembler simple, mais elle a des
significations importantes. En effet, si la période de modulation de la constante diélectrique est de
l'ordre de la longueur d'onde de la lumière utilisée, alors cette modulation conduit à l'émergence
d'un intervalle d'énergie à densité de mode électromagnétique nulle, c'est-à-dire sans rayonnement
lumineux, quelle que soit sa polarisation et sa direction de propagation, peut s'y propager [8].

Les équations de Maxwell sont les équations qui régissent la propagation de la lumière dans
les cristaux photoniques. Dans un milieu diélectrique, linéaire, isotrope, non magnétique (μᵣ=1), la
permittivité est 𝜀(𝑟) (le milieu n'absorbe pas), et en l'absence de charge et de courant, les quatre
équations de Maxwell se forment comme suit [9] :

̅ × (𝜀(𝑟) )𝐸⃗(𝑟,𝑡) = 0
∇ Ⅰ.1

̅. 𝐻
∇ ⃗ (𝑟,𝑡) = 0 Ⅰ.2
𝜕
̅. 𝐸⃗(𝑟,𝑡) = −𝜇0
∇ ⃗ (𝑟,𝑡)
𝐻 Ⅰ.3
𝜕𝑡
𝜕
̅. 𝐻
∇ ⃗ (𝑟,𝑡) = 𝜀0 𝜀(𝑟) 𝐸⃗(𝑟,𝑡) Ⅰ.4
𝜕𝑡

⃗⃗⃗
𝑬 et ⃗𝑯
⃗⃗ : sont respectivement les champs électriques et magnétiques

0 et µ0 : sont la permittivité électrique et la perméabilité magnétique du vide.

⃗ : sont les dépendances temporelles et spatiales respectivement.
t et 𝒓
Après avoir appliqué un ensemble d'opérations aux équations et les avoir simplifiées, on obtient
l'équation suivante :
1 𝜔2
∇×( ∇ × 𝐻(𝑟) ) = 𝐻(𝑟) Ⅰ.5
𝜀(𝑟) 𝑐2

L'équation (V) est l'analogue formel de l'équation de Schrödinger décrivant le mouvement des
électrons dans le potentiel périodique d'un cristal, 𝐻(𝑟) étant l'analogue électromagnétique de la
fonction d'onde électronique (𝑟) et 𝜀(𝑟) l’analogue du potentiel atomique 𝑉(𝑟) [10].

7
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Ⅰ-3. Types des Cristaux Photoniques :

Le terme cristal désigne un matériau dans lequel des motifs sont répétés de manière
régulière. Dans le cas de l’optique, par analogie avec les cristaux atomiques, on appelle cristal
photonique, une structure dans laquelle les atomes ou molécules sont remplacés par un milieu
macroscopique avec différentes constantes diélectriques ،Et il a 3 types Mis en exergue Lequel :

Ⅰ-3.1. Les Cristaux Photoniques Unidimensionnels (CPs-1D) :

➢ Pour étudier les cristaux photoniques, nous étudions le cas simple d'un milieu dont la
constante diélectrique est périodique dans une dimension. Ce support peut être constitué de
couches diélectriques alternées. Cette structure est appelée miroir de Bragg [11]. Les
réseaux de Bragg ont prouvé leur utilité dans de nombreuses applications :
➢ Convertisseurs démodes pour fibres optiques.
➢ Filtres sélectifs de longueur d’onde.
➢ Multiplexeurs.

Figure Ⅰ.6 : Schéma d’un miroir de Bragg constitué d’un empilement de couches d’épaisseurs

Ils sont généralement formés par empilement de couches d'indices de réfraction différents
[6], Un cristal photonique unidimensionnel est souvent utilisé pour réaliser les miroirs de cavités
lasers [11]. Le comportement du réflecteur de Bragg est expliqué à partir du processus
d’interférences multiples. Comme le montre la Figure Ⅰ.7. Une onde qui se propage dans la
succession des couches, subit une réflexion à chaque interface.

8
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Cette réflexion s’accompagne d’un changement de phase π si l’onde va d’un milieu de

faible indice vers un milieu de fort indice. Elle s’effectue sans changement de phase dans le cas
contraire [10].

Figure Ⅰ.7 : Représentation schématique de l’interface des ondes réfléchies par chaque
dioptre
Un cristal photonique unidimensionnel (CP-1D) est caractérisé par les différents matériaux qui le
composent, le système selon lequel ces matériaux sont organisés et les volumes relatifs qu’ils
occupent dans la cellule élémentaire du cristal. Les quantités représentatives de ces différentes
propriétés sont :

Ⅰ-3.1.1. Contraste D’indice : Rapport entre les indices des deux matériaux, qui peut être
comparé à la hauteur de la barrière de potentiel de la physique solide

𝑛ℎ
𝛿= Ⅰ.6
𝑛1

Avec -𝑛ℎ : L’indice de réfraction du matériau de haut indice.

-𝑛1 : L’indice de réfraction du matériau de bas indice.
Ⅰ-3.1.2. La Période : Ces paramètres géométriques, choisis en fonction du domaine fréquentiel
étudié, affectent les propriétés de la bande interdite photonique. La période a = (𝑎1 + 𝑎2 ) avec

𝑎1 l’épaisseur de la couche de permittivité 𝜀1 et 𝑎2 l’épaisseur de la couche de permittivité𝜀2 ,

noter que l’indice de réfraction et la permittivité.

9
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Sont reliés par la relation : 𝑛 = √𝜀 Ⅰ.7

Ⅰ-3.1.3. Facteur de Remplissage : Peut être comparé à la largeur du potentiel périodique. Si un

matériau à indice de réfraction élevé est pris comme exemple, il est défini comme le rapport entre
le volume occupé par ce matériau dans la cellule élémentaire du cristal et le volume de cellule de
cette dernière [12].

Avec
𝒗𝒊
𝑓= Ⅰ.8
∆

L'énergie électromagnétique du mode d'énergie 𝜔1 est concentrée dans la couche à indice de

réfraction élevé, tandis que l'énergie électromagnétique du mode d'énergie 𝜔2 est concentrée
dans la couche à faible indice de réfraction. Par conséquent, les bandes de transmission
correspondantes sont appelées respectivement bande air et bande diélectrique.

Lorsque l'onde se propage avec une incidence oblique, elle détecte des milieux de périodes
différentes. Lorsque l'angle d'incidence augmente au-delà de l'angle critique 𝛼0 , les bandes
interdites ne se recouvrent plus et la propagation des ondes est à nouveau autorisée à la fréquence
𝜔0 . Le cône d'angle au sommet 𝛼0 définit l'ouverture angulaire de la bande interdite : à
l'intérieur de ce cône, aucune onde électromagnétique ne peut se propager à la fréquence
𝜔0 [12].

10
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

(a) (b)
Figure Ⅰ.8 : (a) Relation de dispersion d'un cristal photonique unidimensionnel (miroir
de Bragg) à incidence normale : une bande d'énergie interdite apparait en bord de zone de
Brillouin (b) Incidence oblique
Sans calculs détaillés, il a été montré que lorsque les épaisseurs optiques des différentes
couches sont égales, la largeur de cette bande interdite ne dépend que du contraste d'indice de
réfraction.

4 𝑎1 −𝑎2
∆𝜔 = 𝜔0 𝑎𝑟𝑐𝑠𝑖𝑛 | | Ⅰ.9
𝜋 𝑎1 +𝑎2

Où 𝑎1 = √𝜀1 et 𝑎2 = √𝜀2 sont les indices de réfraction des deux matériaux diélectriques et la
fréquence centrale [13].

Tous les résultats que nous avons énoncés ici sont valables dans le cas d’une onde incidente
normale à la structure. Pour une incidence oblique, les fréquences des bandes interdites changent.

Ainsi à une longueur d’onde donnée, le miroir de Bragg ne réfléchit que les rayons arrivant dans
un certain cône

Pour créer une bande interdite plus complète il faut structurer la permittivité du matériau selon
plusieurs dimensions de l’espace [14].

11
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Ⅰ-3.2. Les Cristaux Photoniques Bidimensionnels (CPs-2D) :

Un cristal photonique bidimensionnel est une structure qui présente une modulation
périodique de la permittivité diélectrique 𝜀 le long de deux directions de l’espace, et homogène
dans la troisième.

Ces structures périodiques sont constituées de cylindres diélectriques. Ils ont une relative simplicité
géométrique, ce qui facilite les études théoriques et expérimentales [15], Les propriétés optiques
des structures bidimensionnelles sont fortement dépendantes de la polarisation de l’onde
électromagnétique. La réalisation de ces structures se fait de plusieurs façons Figure Ⅰ.9, Par
exemple, On peut placer des tiges diélectriques

Dans l’air (structure déconnecté "𝑛1 > 𝑛2 ") ou encore dans un autre diélectrique (structure

connectée"𝑛1 < 𝑛2 "). Afin d’ouvrir des bandes interdites larges, il faut un contraste d’indice
(différence entre les indices du milieu et des tiges) suffisamment grand Les réponses optiques de
ces structures dépendent de la polarisation de l’onde électromagnétique qui peut être soit de type
TE (Transverse Electrique) ou bien TM (Transverse Magnétique) et peuvent ne pas posséder une
bande interdite complète [16].

Figure Ⅰ.9: Structures bidimensionnelles : (a) connectée, (b) déconnectée

12
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Il est possible d'introduire des défauts dans ce type de cristal photonique. Par contre, la
lumière sans confinement vertical est gênante pour l'application de ce type de cristal photonique
en optique intégrée. Pour pallier ce manque, la lumière peut être confinée verticalement par des
guides d'ondes classiques Figure Ⅰ.10. Les guides d'ondes classiques sont constitués d'une couche
diélectrique entourée de deux autres couches diélectriques d'indice de réfraction inférieur. Les
guides d'ondes conventionnels sont couramment utilisés dans l'optique intégrée et sont facilement
fabriqués par des techniques d'épitaxie standard [12].

Figure Ⅰ.10: Image MEB d’un cristal photonique gravé dans une hétéro structure
Les trous du cristal photonique sont gravés dans le guide d'onde classique. Ce type de cristal
photonique, connu sous le nom de cristal photonique bidimensionnel planaire, est fabriqué à l'aide
de techniques standard de la microélectronique, permettant une grande liberté dans les
changements locaux des propriétés du réseau. Ces avantages font de ces structures des candidats
prometteurs pour la réalisation de composants optiques intégrés [17], De nombreux théoriciens
tentent d'optimiser les dimensions des structures pour obtenir des bandes interdites complètes,
même si celles-ci ont des applications.

Selon la forme du réseau, il existe principalement 3 familles de matériaux BIP 2D, comme indiqué
ci-dessous [15] :

▪ Réseau Carré : La maille primitive est un carré de côté a. Sa zone de Brillouin est un
triangle isocèle rectangle.
▪ Réseau Triangulaire : Ce réseau permet d’ouvrir des bandes interdites les plus large
dans le plan. Le réseau est décrit par les vecteurs directs 𝑎1 et 𝑎2 .

13
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

▪ Réseau Hexagonal : En ôtant quelques motifs au réseau précédent, un réseau hexagonal

peut être obtenu.
La Figure Ⅰ.11 Montre un diagramme des réseaux mentionnés précédemment.

(a) (b) (c)

Figure Ⅰ.11: Représentation (a) d’un réseau carré (b) d’un réseau triangulaire (c) d’un réseau
hexagonal
Les propriétés géométriques de base des réseaux bidimensionnels carrés et triangulaires de trous
circulaires sont résumées dans le tableau I. Le facteur de remplissage d'air f représente le rapport
entre la surface occupée par le motif (ici le disque) et la surface des éléments du réseau maillé
considérés [12].

Tableau I : Caractéristiques géométriques principales des réseaux bidimensionnels carré et

triangulaire

Réseau carré Réseau triangulaire

Vecteur direct 𝑎1 = 𝑎 (1,0) 𝑎1 = 𝑎 (1,0)

1 √3
(𝑎1 ,𝑎2 ) 𝑎2 = 𝑎 (0,1) 𝑎2 =𝑎( , )
2 2

2𝜋 2𝜋 √3
Vecteur réciproque 𝑏1 = 𝑎 (1,0) 𝑏1 = 𝑎 (1, - 3 )

(𝑎1 ,𝑎2 ) 2𝜋 2𝜋 2√3

𝑏2 = (0,1) 𝑏2 = (0, )
𝑎 𝑎 3

Facteur de 𝑟2 2𝜋 𝑟 2
𝑓 = 𝜋(𝑎2) 𝑓= ( )
remplissage en air f √3 𝑎 2

14
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Dans le cas de réseaux bidimensionnels, il faut considérer deux directions de propagation au lieu
d’une seule pour les unidimensionnels.

Ⅰ-3.3. Les Cristaux Photoniques Tridimensionnels (CPs-3D) :

Les cristaux photoniques tridimensionnels (CPs-3D) suscitent toujours beaucoup d'intérêt.
Ce sont des structures tridimensionnelles périodiques qui suivent trois directions dans l'espace.

Les configurations 3D les plus intéressantes sont basées sur des diamants. Il existe deux
structures, la première est appelée "hexagone", qui est produite par deux angles de vue différents
du diamant, Figure Ⅰ.12 et la deuxième dite « en tas de bois » [18].

Figure Ⅰ.12 : Structure des cristaux photoniques tridimensionnels

Pour obtenir une bande interdite omnidirectionnelle, un cristal photonique tridimensionnel

doit être utilisé. De nombreux travaux portent sur les différentes géométries possibles et leur
fabrication. Un certain nombre de procédés ont été proposés pour fabriquer des cristaux
photoniques tridimensionnels. Nous pouvons nous référer à la structure Yablonovite et à la
structure en bois empilé et à la structure Opale.
Ⅰ-3.3.1. Structure de yablonovite : C'était le premier cristal photonique 3D à être fabriqué, et
il a été nommé Yablonovite après qui l'a conceptualisé. Une pièce de tissu est recouverte d'un
masque constitué de trous triangulaires. Chaque trou a été foré 3 fois à un angle de 35,26° par
rapport à la normale, réparti sur 120 en azimut. Les Vias sous la surface de la dalle produisent une
structure FCC tridimensionnelle complète.

15
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Le forage peut être effectué avec de véritables forets pour le travail par micro-ondes, ou par gravure
ionique réactive pour créer des structures FCC à des longueurs d'onde optiques. La bande noire à
droite représente une déviation totalement interdite.

(a) (b)

Figure Ⅰ.13 :(a) Structure de yablonovite (b) Image MEB d'une structure Yablonovite en PMMA

Ⅰ-3.3.2. Structure tas de bois : La structure périodique de ces cristaux photoniques

tridimensionnels est créée en déposant des rubans de poly silicium en couches successives dans
des tranches de dioxyde de silicium, qui sont dans le plan. Après la construction de la structure, le
dioxyde de silicium est éliminé, ce qui donne un cristal photonique Si/Air 3D avec un contraste
d'indice de réfraction suffisant pour ouvrir la bande interdite omnidirectionnelle [19].

Figure Ⅰ.14 : Structure tas de bois

16
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Ⅰ-4. Domaines d’utilisation Cristaux Photoniques :

La structure CP est très prometteuse pour la réalisation de circuits optiques intégrés. Ils ont
bénéficié d'avancées technologiques importantes dans l'industrie de la microélectronique, qui ont
permis de structurer la matière à l'échelle nanométrique, ouvrant notamment la voie à une
intégration dans les circuits CMOS classiques. Basées sur le fort contraste d'indice de réfraction,
ces structures peuvent confiner la lumière dans des volumes de l'ordre des longueurs d'onde. Ainsi,
des composants passifs tels que des guides courbes et des coupleurs ont été réalisés à des distances
réduites dans des guides diélectriques à sections rectangulaires. Mais surtout, leurs fortes propriétés
de confinement favorisent les interactions lumière-matière, ce qui leur permet de concevoir et
produire des actifs de plus en plus efficaces [20]. Les cristaux photoniques sont couramment
utilisés dans les télécommunications et l'informatique, notamment en optique intégrée. En fait, en
utilisant des photons au lieu d'électrons, les informations voyageront plus rapidement avec moins
de perte.

L'utilisation de la CP dans d'autres applications se développe et différents dispositifs ont

été proposés et étudiés dans plusieurs domaines tels que les coupleurs directionnels, les doubles
spires, les filtres, les démultiplexeurs, les diviseurs de puissance, les capteurs et les biocapteurs.
Ces nouveaux dispositifs reproduisent le fonctionnement des différents composants des circuits
intégrés en utilisant des photons au lieu d'électrons comme support d'informations. Nous
présenterons brièvement quelques exemples d'utilisation de cristaux photoniques 2D [15] :

Figure Ⅰ.15 : Dispositifs à base de cristaux photoniques 2D.

(a) Coupleur directionnel ;(b) Biocapteur ;(c) Diviseur de puissance ;(d) Filtre ;
(e) Démultiplexeur ;(f) Double virage

17
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Ⅰ-5. Capteurs à Cristaux Photoniques :

Et l’application des cristaux photoniques en tant que capteurs (senseurs) constitue un domaine de
recherche qui semble être très prometteur en raison de leur micro-structuration périodique qui
permet de piéger les photons et de créer des résonances optiques très sensibles à la présence des
molécules à détecter, de leur extrême miniaturisation (0.1 mm2 de surface de détection), de leur
haute sensibilité spectrale, de la préparation minimale de l'échantillon sans marquage par
fluorescence, de la sélectivité dans le mécanisme de détection et de la possibilité de les intégrer
aux MEMS [6]. Récemment, il y a eu plusieurs travaux de recherche utilisant les cristaux
photoniques en tant qu’élément de détection, en raison de leur structure de bande et du confinement
de la lumière.

➢ Le mécanisme de détection de ce type de capteurs repose sur les changements induits sur
une longueur d'onde de résonance ou de la localisation spectrale d'une bande dues aux
changements d'indice de réfraction.

La Figure Ⅰ.16 montre deux dispositifs différents de capteurs à cristaux photoniques basés RI et
les résultats de leur caractérisation

Figure Ⅰ.16 : a) vue au microscope électronique à balayage d'une microcavité à cristal photonique
intégrée avec deux guides d'ondes ruban, (b) spectres de transmission normalisés de la microcavité, (c)
vue au microscope électronique à balayage de guide d'ondes à cristal photonique (PCW) sur SOI, (d)
spectres de transmission mesurés pour quatre solutions d’indices différents

18
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

L’un des principes de fonctionnement de ces capteurs consiste en la mesure d’un changement
d’indice de réfraction d’un élément sensible en fonction de la présence d’un analyte (substance à
détecter).

La détection est effectuée par une monocouche sensible qui réagit avec l’analyte. La zone de
détection est composée d’une structure photonique fonctionnant avec une monocouche sensible.

Cette mono couche réagit avec l’analyte qui induit une variation de l’indice de réfraction, de
l’épaisseur de la couche sensible et de son absorption.

Cette structure doit être conçue pour être fortement sensible à la variation de l’indice de réfraction.
L’étude de cette dernière consiste à calculer le spectre de transmission qui devrait donner un
déplacement en longueur d’onde, d’une valeur bien définie, en présence de l’analyte.

Dans le deuxième chapitre on va détailler ces capteurs à cristaux photoniques.

Ⅰ-6. Conclusion :
Dans ce chapitre, nous avons introduit les concepts de base liés aux cristaux photoniques.
Parmi celles-ci se trouvent des structures isolées électriquement dont la constante diélectrique
change périodiquement sur l'échelle des longueurs d'onde dans une ou plusieurs directions, et cette
anisotropie périodique se traduit par de nombreuses propriétés intéressantes, comme l'ouverture
d'une bande optique interdite, qui interdit la propagation de la lumière dans la structure. Nous avons
également présenté de manière générale les différents types de cristaux photoniques, ainsi que les
domaines d'utilisation des cristaux photoniques, et quelques concepts de capteurs à cristaux
photoniques qui seront étudié en détail dans le deuxième chapitre.

19
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

Références bibliographies du chapitre I

[1] E. Yablonovitch, « Physical Review Letters »58(20), 20592062 (1987).

[2] S. John, « Physical Review Letters » 58, 2059 (1987).
[3] E. Yablonovitch, T.J. Gmitter, and K.M. Leung. « Physical Review Letters »67(17), 2295–
2298
[4] Physique B : Physique de la Matière Condensée, Volume 407, Numéro 20, p. 4032-4036.
[5] Dossier Pour la Science N°79 - Avril 2013, « Les paradoxes de la matière »
[6] BOUDIAF Kenza, SAFER Hadjer, « Etude et conception des capteurs à cristaux Photoniques
pour des applications biomédicales », Mémoire de master, Université de Msila, 2018.
[7] BOUGRIOU FAIDA, « Etude Théorique des matériaux a bandes interdites photoniques
bidimensionnels : applications dans le domaine du guidage optique et la détection », Thèse de
doctorat, Université de Constantine, 2013.
[8] Michael Sarrazin, « Etude de propriétés optiques liées à la transmission de cristaux
photoniques bidimensionnels », Thèse de doctorat nº 903, Université de Franche-Comté, 24 avril
2002.
[9] K. Sakoda, « Optical Properties of Photonic Crystals», Springer, Berlin, Springer Series in
Optical Sciences, Vol 80, pp 253, 2001.
[10] H. Abri Badaoui, « Etude et conception des micros composants à base des cristaux
photoniques bidimensionnels », Thèse de doctorat, Université de Tlemcen, 2012.
[11] Benoît Lombardet, « Etude et réalisation de cristaux photoniques pour l'optique intégrée »,
Thèse de Doctorat, école polytechnique fédérale de Lausanne, Thèse no 3254, (2005)
[12] Malache Hadjeri, Mahi Amel, « Nouvelles Structures Des Démultiplexeurs En Cristaux
Photoniques 2D Pour Les systèmes Très Hauts Débits », Mémoire de Master, Université de
Tlemcen, 2019.
[13] Seri Asmaa, « Propriétés optique des cristaux photoniques unidimensionnels périodiques »,
Mémoire de Master, Université de Mostaganem, 2018.
[14] BENDEMAGH Khalissa, « Etude de dimensionnement d’un coupleur à base de cristaux
photoniques destiné aux systèmes de communications », Thèse de doctorat, Université de
Setif,2019.
[15] Chalabi Sara, « Amélioration de la sensibilité d’un capteur à base d’un cristal photonique »,
Mémoire de Master, Université de Bordj Bou Arreridj,2021.

20
 Chapitre I | Généralités sur les cristaux photoniques

[16] AIT OUARET Taklit, YOUCEF Meriem, « étude et conception d’un démultiplexeur à base
de cavités à cristaux photoniques », Mémoire de master, Université de Bejaïa,2020.
[17] BOUGRIOU FEIDA, « étude des guides d’ondes à cristaux photoniques bidimensionnels »,
Mémoire de magister, Université de CONSTANTINE,2008
[18] Rafraf Asma, « Etude et modélisation d’un Bio-capteur à base de cristaux photoniques »,
Mémoire de Master, Université de ANNABA ,2019
[19] BELHASSOS Ahlam, METREF Sofiane, « Etude et simulation des cristaux photoniques »,
Mémoire de Master, Université de OUARGLA ,2017
[20] Safia ARAFA, « Étude des composants à base de cristaux photoniques : Application dans le
domaine du démultiplexage et de la détection », Thèse de Doctorat, Université de
CONSTANTINE, (2018).
[21] Georges Asch, Les capteurs en instrumentation industrielle, Edition : 4, Publié par Dunod,
1993, 816 pages
[22] Dallel BENELARBI, « Étude de cristaux photoniques en silicium pour l'application à la
biodétection », Thèse de Doctorat, Université de CONSTANTINE, 2018.

21
Chapitre : ⅠI

Les capteurs à cristaux

photoniques
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Ⅱ.1. Introduction sur les capteurs :

Un capteur est un dispositif électronique capable de convertir des éléments physiques,
chimiques, de la biomasse... (Le mesurande) en une quantité d'électricité utilisable, telle que la
tension, la hauteur de mercure, la force ou la déviation de l'aiguille.

Figure Ⅱ.1 : Définition d’un capteur

Ⅱ.2. Structure d’un capteur :
Les différentes parties constitutives d’un capteur sont décrites comme suit (Figure Ⅱ.2) :
Ⅱ.2.1. Le corps d’épreuve :
Le corps d’épreuve est un élément sensible qui réagit à la grandeur à mesurer. Il a pour rôle de
transformer la grandeur à mesurer en une autre grandeur physique dite mesurable.
Ⅱ.2.2. Transducteur :
Le transducteur est un élément sensible lié au corps d’épreuve. Il traduit les réactions du corps
d’épreuve en une grandeur électrique constituant le signal de sortie.

Figure Ⅱ.2 : Structure d’un capteur

22
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Ⅱ.3 Cristaux photoniques pour la détection optique :

Ⅱ.3.1. Introduction :
Les capteurs photoniques ont connu un développement massif en raison de la demande
croissante d'applications de détection dans les domaines de la santé, de la défense, de la sécurité,
de l'automobile, de l'aérospatiale, de l'environnement, du contrôle de la qualité des aliments
……etc.
Dans ce contexte, les cristaux photoniques (PhC) représentent une solution ambitieuse pour
atteindre des performances élevées dans les applications de détection. En fait, comme de
nombreuses architectures photoniques ont été largement étudiées et utilisées dans la détection
photonique (par exemple, un résonateur en anneau, des capteurs basés sur la résonance
plasmonique de surface (SPR), des micro disques, des micro sphères …. etc), les PhC présentent
un fort confinement optique de la lumière à un très petit volume, permettant la détection d'espèces
chimiques caractérisées par des dimensions nanométriques. De plus, en utilisant des techniques
avancées de fonctionnalisation de surface chimique et une intégration avec des systèmes
microfluidiques, des performances très élevées peuvent être obtenues dans des puces de capteur
ultra compactes. Par exemple, la détection de concentrations d'avidine dissoute aussi faibles que
15nm ou 1μm/ml [1]. Des performances ultra élevées ont été démontrées expérimentalement et
théoriquement, comme une LOD inférieure à 20 pm pour l'anti-biotine, correspondant à moins de
4,5 fg de matériau lié à la surface du capteur et à moins de 80 molécules dans le volume modal de
la microcavité intégrée [2].
Des capteurs à base de PhC ont également été proposés comme capteurs de gaz dans
l'infrarouge moyen (IR moyen), car de nombreux gaz (par exemple, CO2, CH4, CO) présentent
des raies d'absorption dans la région de longueur d'onde de l'IR moyen. D'autres applications
rapportées dans la littérature concernent la détection de mesures de température, de pression, de
stress et d'humidité …. etc.
Dans ce chapitre, une revue complète des capteurs planaires basés sur PhC est présentée. En
particulier, il sera axé sur le choix des matériaux et les applications de détection. Les principes de
détection optique seront décrits en détail.

Ⅱ.3.2. Capteurs à cristaux photoniques planaires

De nos jours, les capteurs intégrés à base de cristaux photoniques (PhCs) représentent l'une
des classes les plus populaires de capteurs photoniques, généralement utilisés pour la détection

23
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

physique et chimique/biochimique. Dans ce contexte, les principaux avantages de ces architectures

de capteurs photoniques sont le confinement ultra-élevé de la lumière dans de très petits volumes,
une sélectivité élevée en longueur d'onde, une sensibilité ultra-élevée et une sélectivité dans le
mécanisme de détection.
Les matériaux habituellement utilisés pour détecter les dispositifs planaires PhCs sont des
couches hétéropitaxiales telles que AlGaAs/GaAs, des couches de composé de nitrure III ou des
couches diélectriques telles que Si3N4, TiO2, SiO2 et les tranches SOI bien connues [3]. De plus,
les composés organiques et les polymères ont suscité un intérêt croissant ces dernières
années. Enfin, des cristaux photoniques de silicium poreux ont également été récemment proposés
pour la détection de vapeur organique.
En fin, plusieurs types d'architectures de capteurs basés sur PhC sont présentés dans cette
section, en se concentrant sur les principes de détection employés (c'est-à-dire, capteur basé sur
l'indice de réfraction (RI), absorption optique, effets opto-mécaniques, non linéaires) et les
performances de l'application.

Ⅱ.3.3. Capteurs PhC basés sur l'indice de réfraction (RI) :

Les capteurs basés sur l'indice de réfraction représentent la classe la plus diffusée de
capteurs PhC. En fait, un grand nombre d'architectures avancées (par exemple, des microcavités
intégrées et des configurations interférométriques) utilisent la détection d'indice de réfraction pour
la détection. Les capteurs PhC basés sur RI présentent de nombreux avantages tels qu'une
préparation d'échantillon minimale sans marquage par fluorescence, une détection en temps réel,
une sensibilité et une sélectivité élevées. En particulier, le principe de détection consiste à mesurer
les changements d'IR d'une solution en vrac (par exemple, de l'eau déminéralisée, 𝑛𝐸𝑎𝑢 = 1,33 ou
air, 𝑛𝐴𝑖𝑟 = 1 à λ= 1,55 μm) en raison de la présence d'analytes chimiques ou de gaz généralement
caractérisés par des indices de réfraction plus élevés. Des applications en milieu gazeux et humide
ont été étudiées pour détecter des concentrations d'espèces chimiques et biologiques. En fait, en
utilisant ces capteurs, il est possible de quantifier la densité de surface ou volumétrique des
molécules et des protéines (par exemple, la streptavidine, l'ADN, l'ARNm). Récemment, des
capteurs avancés à base de PhC correctement conçus pour la détection d'une seule molécule se sont
avérés capables de détecter le nombre de molécules concentrées dans une solution complexe [4].

24
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Dans cette section, deux principes de détection fondamentaux couramment utilisés dans la
détection RI photonique sont présentés, c'est-à-dire la détection de surface et la détection
homogène.

Figure Ⅱ.3. a) détection de surface et (b) détection homogène. Les molécules sondes (bleues)
sont déposées sur les surfaces des trous et les molécules cibles (rouges) sont capturées par des
récepteurs formant une couche adjective sur la surface du capteur.
Sur la Figure Ⅱ.3. a) le principe de détection de surface est tracé. En particulier, les trous
PhC sont initialement fonctionnalisés par des molécules réceptrices correctement choisies afin
d'adsorber sélectivement les analytes cibles dans une solution complexe. Par conséquent, lorsque
le dispositif est exposé à un échantillon chimique, les molécules cibles sont immobilisées par des
récepteurs sur les surfaces internes des trous du capteur. La couche adsorbée caractérisée par une
épaisseur tad induit un changement d'indice de réfraction localisé autour de la région du trou. Enfin,
une sensibilité de surface S est généralement définie comme suit :

𝜕𝑛𝑒𝑓𝑓
𝑆𝑠 = ⅠⅠ.1
𝜕𝑡𝑎𝑑

Où 𝑛𝑒𝑓𝑓 est l'indice effectif du mode optique se propageant dans le dispositif capteur.

Le mécanisme de détection restant, appelé détection homogène, est schématiquement

esquissé sur la Figure Ⅱ.3. b) . Dans ce cas, l'indice effectif du mode optique de propagation
change en raison des variations de couverture RI induites par des échantillons de gaz ou de liquide
correctement concentrés dans le milieu de couverture, où le capteur photonique est exposé. Par
conséquent, une sensibilité homogène Sh peut être définie comme suit :

𝜕𝑛𝑒𝑓𝑓
𝑆ℎ = 𝜕𝑛𝑐
ⅠⅠ.2

25
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

𝑛𝑐 est l'indice de réfraction du couvercle.

Dans ce qui suit, les principales architectures des capteurs basés sur PhC RI sont présentées,
en se concentrant sur leurs principes de fonctionnement et leurs performances.
La première classe de capteurs à discuter est celle basée sur des microcavités résonnantes à cristaux
photoniques. Ces dispositifs sont fabriqués en introduisant des défauts localisés (c'est-à-dire en
supprimant un ou plusieurs trous) dans la distribution périodique des trous. De cette façon, la
périodicité parfaite du cristal photonique est compromise et un état défectueux dans la carte de
bande interdite est introduit, permettant l'excitation des modes de résonance.
En particulier, les capteurs à base de cavité PhC peuvent être testés selon deux modes distincts. Le
premier est le mode de test en longueur d'onde et le second est le mode de test en intensité. Dans
la première méthode, la lecture optique consiste à surveiller la longueur d'onde du signal optique à
travers un analyseur de spectre optique (OSA), tandis que dans la seconde, il est possible de
surveiller les changements d'intensité du signal de sortie en utilisant un photodétecteur (PD). Dans
ce contexte, la sensibilité à la longueur d'onde Sλ représente un paramètre fondamental pour
quantifier les performances du capteur en cas de schéma d'interrogation en longueur d'onde. Sλ est
défini selon l’équation :
Δ
𝑆𝜆 = Δ𝜆 ⅠⅠ.3
𝑛

Comme le rapport entre le décalage de la longueur d'onde de résonance (Δ λ) induite par le

changement de l'indice de réfraction de fond (∆n). De plus, il est donné en unités de nm/RIU (unité
d'indice de réfraction).
La Figure Ⅱ.4 illustre un exemple typique de microcavité PhC bidimensionnelle (2D) dans une
tranche de silicium sur isolant (SOI) [5]. Comme esquissé sur la Figure Ⅱ.4, les trous d'air sont
gravés uniquement dans la couche de silicium supérieure et ils peuvent être réalisés par gravure
anisotrope standard. La structure périodique est caractérisée par une cellule hexagonale à constante
de réseau 𝑎 = 515 nm. Le rayon r des trous d'air et l'épaisseur de la couche de silicium h sont choisis
pour être les rapports r/a = 0,33 et h / a = 0,427, résultant en 𝑟 = 170 nm et ℎ = 220 nm. Comme il
est possible de l'observer sur la Figure Ⅱ.4, la microcavité est obtenue en supprimant sept trous
d'air au centre de PhC dans la direction ΓΚ. Une telle microcavité est formellement désignée sous
le nom de cavité L7, en raison du nombre de trous supprimés dans la structure périodique de PhC.

26
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Figure Ⅱ.4. Micro cavité PhC (a) réalisée en supprimant sept trous comme défaut de ligne
(cavité L7) et section transversale (b).
Différentes dispositions de trous d'air près du centre de la cavité améliorent le facteur de
Quality 𝑄 de la microcavité présentée ci-dessus. En particulier, en décalant trois rangées de trous
d'air dans la direction 𝛤𝑀 espacées du centre de la cavité d'une distance de 0,02a, 0,014a et 0,017a,
il est possible d'obtenir une amélioration de 𝑄𝑓𝑎𝑐𝑡𝑒𝑢𝑟 ~1 000. De plus, en plaçant trois paires de
mini-trous dans la région de la cavité, il est possible d'augmenter encore les performances de la
cavité résonnante PhC.

L'image de ce nouvel agencement est esquissée sur la Figure Ⅱ.5. En particulier, le couple
nommé C a un rayon 𝑟𝑐 = 0,78 r et un changement de position vers l'extérieur 𝑑𝑐 = 0,2 a. Le centre
de la deuxième paire (c'est-à-dire B) n'est pas déplacé, mais les rayons de ces trous sont minimisés,
ce qui entraîne 𝑑𝐵 = 0 et 𝑑𝐵 = 0,2r. Enfin, la paire de trous la plus interne a un déplacement par
rapport à la position d'origine 𝑑𝐴 = 0,2 r et un rayon légèrement plus grand que la paire précédente
pour être 𝑟𝐴 = 0,28r. Dans ces conditions de conception, en cas d'infiltration d'air, la cavité atteint
un Q-facteur de 2600, présentant une longueur d'onde résonnante autour de 1550 nm.

Figure Ⅱ.5. Zoom de la région de la cavité de la cavité L7.

27
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Les performances du capteur proposé ont été évaluées en cas d'infiltration d'eau ou
d'éthanol, dont les indices de réfraction sont estimés à 1,332 et 1,359 à λ≈ 1,55 μm,
respectivement. Le décalage de longueur d'onde de résonance mesuré dans le premier cas est de
22,28 nm et dans le second est égal à 12,65 nm. Enfin, le dispositif décrit jusqu'à présent présente
une sensibilité aussi élevée que 460 nm/RIU, supérieure aux sensibilités habituellement atteintes
par la cavité L3.

Un capteur intéressant basé sur RI utilisant une microcavité résonnante PhC est caractérisé par une
région de cavité dans une fente d'air. Dans ce capteur, l'approche technologique employée pour
réaliser la microcavité ne consiste pas à modifier la constante de réseau ou les rayons des trous
caractérisant le PhC, mais à introduire un défaut de ligne droite dans lequel une largeur de guide
d'onde modifiée agit comme cavité résonnante [6].

Dans le travail de la référence [7], les tiges de CP étaient entourées d’air dont l’indice de
réfraction est 𝑛𝑜 = 1, le système indiquait une longueur d’onde de résonance 𝜆𝑜 = 1.257 μm, comme
il ressort du spectre normalisé de la puissance transmise mesuré à la sortie, comme il est indiqué
dans la Figure Ⅱ.6 (le point A= 0.39). Le changement de l'indice de réfraction de tiges
environnantes affecte la longueur d'onde de résonance du système en la décalant vers des longueurs
d'onde plus élevées, comme il est montré dans la Figure Ⅱ.6 (le point B= 0.27) de 𝜆𝑜 à 𝜆1 . Ici, le
décalage induit de l'indice de réfraction est ΔN.

Figure Ⅱ.6 : Impact du changement de l'indice de réfraction de l’environnement des tiges sur la
longueur d'onde de résonance [7].

28
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Figure Ⅱ.7. Cavité PhC Air-slot avec zoom de fente dans la fente.
Comme illustré à la Figure Ⅱ.7, le dispositif consiste en un PhC 2D caractérisé par une
cellule hexagonale et une constante de réseau 𝑎 = 510 nm. La région de guide d'onde est obtenue
en supprimant une rangée de trous d'air au milieu de la structure. Une fente d'air est intégrée dans
cette région de défaut de ligne. La largeur de la fente d'air est maintenue constante à 100 nm, sauf
au milieu. Une fente est réalisée en augmentant la largeur de la fente d'air de 100 nm à 120 nm, au
centre. Cette réduction de largeur de fente se traduit par la formation de barrières réfléchissantes
pour le mode défilement, donc dans une cavité résonnante dont la longueur est 𝐿 =3a.

Le dispositif complet a été traité sur une plaquette SOI de 220 nm d'épaisseur avec une
couche d'oxyde enterrée de 2 μm. Le mode de cavité est fortement confiné dans la région de la
cavité, le volume de mode effectif est 𝑉𝑒𝑓𝑓 = 0,05µm3 et le chevauchement spatial entre le mode
cavité et la fente d'air est 𝛤 > 0,73.

Lorsque l'air caractérisé par l'indice de réfraction n=1 est infiltré dans les trous PhC, le capteur
présente la fréquence de résonance 𝜆0 = 1570 nm, proche de la fréquence de coupure qui se produit
à 1590 nm. Le facteur de qualité a été estimé à 𝑄 = 26 000 et la sensibilité 𝑆𝜆 = 570nm/RIU.

Les performances des capteurs ont été quantifiées expérimentalement en exposant la cavité
à différents gaz. Plusieurs gaz ont été utilisés. En particulier, l'air (𝑛 = 1,000265) comme gaz de
référence, l'azote (𝑁2 , 𝑛 = 1,000270), l'hélium (𝐻𝑒 , 𝑛 = 1,000032), dioxyde de carbone (𝐶𝑂2 , n =
1,000406), acétylène (𝐶2 𝐻2 , 𝑛 = 1,000579) et le propane (𝐶3 𝐻8 , n = 1,000999). Tous les indices
de réfraction sont donnés à pression atmosphérique à la longueur d'onde de résonance
𝜆0 = 1570 nm et la température ambiante, 𝐽= 20 ° C.

29
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Les résultats expérimentaux montrent un décalage vers le bleu pour le gaz He et un décalage
vers le rouge pour le 𝐶𝑂2 ou 𝐶3 𝐻8 caractérisé par des RI plus élevés. En fait, il a été démontré que
le décalage de la longueur d'onde de résonance dépend linéairement des changements d'indice de
réfraction (n gaz - 1) calculé par rapport au gaz de référence, soit l'air (𝑛= 1).

Le capteur PhC décrit ci-dessus est limité par le fait que les décalages de longueur d'onde
de résonance ne sont pas seulement influencés par les changements d'indice de réfraction du
couvercle, mais également par des paramètres externes tels que la température, la pression,
l'humidité adsorbée ou l'oxydation progressive de la surface du capteur. Afin de minimiser cet effet,
il est nécessaire de tester le capteur avec 𝑂2 gaz libres ou utiliser une architecture de capteur
identique servant de référence pour compenser les effets indésirables mentionnés ci-dessus.

Un capteur PhC basé sur une cavité résonnante en anneau a été proposé pour surveiller le
niveau de salinité de l'eau de mer entre 0% et 40% [8]. En particulier, un résonateur en anneau est
réalisé en enlevant un certain nombre de tiges de silicium dans la structure PhC caractérisée par
une distribution périodique de cellules carrées de tiges de silicium dans l'air. L'architecture du
capteur est illustrée à la Figure Ⅱ.8 ci-dessous.

Figure Ⅱ.8. Structure schématique du capteur pour la détection d'eau de mer.

La constante de réseau est 𝑎 = 540 nm et le rayon des tiges est
𝑟 = 0,185 𝑎 = 100 nm. L'indice de réfraction des tiges de silicium est 𝑛 = 3,46 tandis que l'IR de
fond est défini comme étant l'IR de l'eau de mer. Des guides d'ondes d'entrée et de sortie sont placés
dans la direction horizontale par rapport au centre de la cavité annulaire.

Différents pourcentages de salinité induisent des changements d'IR de fond, entraînant une
variation détectable du spectre de transmission du capteur. En particulier, il est possible d'adopter

30
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

à la fois un schéma d'interrogation d'intensité et de longueur d'onde, résultant en une lecture optique
plus exacte et plus précise. L'efficacité de sortie du capteur diminue de 99% à 80% en augmentant
le niveau de sel dans l'eau de 0% à 40%. De plus, dans la plage de salinité 0÷40%, le RI de l'eau
augmente de 1,33300 à 1,34031, respectivement. Selon l’équation précédente, les changements de
la solution de fond RI produisent des décalages de longueur d'onde résonants. En fait, dans la plage
d'intérêt, c'est-à-dire 0÷40 %, la longueur d'onde de résonance passe de 1590,55 nm à 1590,05
nm. Finalement, le 𝑄𝑐ℎ𝑎𝑛𝑔𝑒𝑚𝑒𝑛𝑡𝑠 de facteurs en fonction de la salinité. En effet, en augmentant le
taux de sel dans l'eau, 𝑄𝑓𝑎𝑐𝑡𝑒𝑢𝑟 augmente.

Un capteur PhC basé sur une cavité à pont d'air a été proposé, présentant une bonne
sensibilité [9]. Le capteur à cristal photonique est caractérisé par un réseau triangulaire (ou
hexagonal) de trous d'air avec une constante de réseau 𝑎 = 440nm et rayon
r = 0,29a = 127,5 nm. La microcavité a été réalisée en diminuant le rayon du trou central
(𝑟𝑑 = 0,2a = 88nm). Le pont aérien est réalisé en retirant une partie du dioxyde de silicium enfoui
qui est pris en sandwich entre deux couches de silicium, comme illustré à la Figure Ⅱ.9. La couche
supérieure de silicium avec épaisseur 𝑡=0,591 a est séparé par 1 µm de SiO2 de la deuxième couche
de silicium sur le fond de la même structure.

Figure Ⅱ.9. Coupe transversale (a) et vue de dessus (b) du capteur PhC basé sur la cavité du
pont d'air.
La carte de la bande interdite met en évidence une bande interdite photonique uniquement
pour le mode polarisé électrique transversal (TE) dans la microcavité. Dans ces conditions, la
sensibilité a été estimée à 𝑆= 570nm/RIU, supérieur à la sensibilité évaluée dans un simple capteur
à base de SOI PhC caractérisé par les mêmes caractéristiques physiques.

31
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Dans le capteur présenté ci-dessus, la conception du rayon du défaut et de l'épaisseur de la

dalle joue un rôle fondamental pour améliorer les performances de détection. En fait, en changeant
le rayon du défaut, il est possible d'obtenir différentes cartes de bande interdite. De plus, différents
états défectueux, et, par conséquent, différentes conditions de résonance, peuvent être correctement
introduits. Par exemple, en augmentant le rayon du trou défectueux, un décalage vers le bleu de la
longueur d'onde de résonance se produit, présentant une sensibilité plus élevée. Cet effet est justifié
par le fait qu'une plus grande partie du champ localisé est distribuée dans la région de la cavité, ce
qui entraîne un chevauchement élevé entre les modes optiques résonnants et les espèces
chimiques/biochimiques à détecter.

L'épaisseur de la couche supérieure représente un paramètre clé car elle influence les
paramètres de performance, c'est-à-dire 𝑆𝜆 et 𝑄𝑓𝑎𝑐𝑡𝑒𝑢𝑟 . De plus, la distribution du champ et la bande
interdite d'énergie sont également sérieusement affectées par l'épaisseur de la couche
supérieure. En effet, pour une dalle plus fine 𝑆𝜆 est plus grand et 𝑄𝑓𝑎𝑐𝑡𝑒𝑢𝑟 est plus petit en raison
d'un moindre confinement et d'un plus grand chevauchement entre l'intensité du champ électrique
et le fond. Au contraire, la longueur d'onde de résonance se décale vers des longueurs d'onde plus
longues en augmentant l'épaisseur de la couche supérieure.

Une solution très intéressante proposée pour améliorer les performances de détection consiste en
un capteur PhC basé sur le principe de détection RI et caractérisé par un réseau de microcavités
résonnantes.

Le premier dispositif est intégré sur un substrat de silicium monolithique d'épaisseur

𝑡 = 0,55a = 232,65 nm [10]. Le PhC 2D est caractérisé par un réseau triangulaire de trous avec une
constante de réseau 𝑎 = 423 nm et rayon du trou d'air 𝑟 = 0,32a = 135,36 nm. Comme représenté
sur la figure 7 , le dispositif consiste en un guide d'ondes obtenu en supprimant une rangée de trous
d'air le long de la direction horizontale. Un tel guide d'onde guide la lumière de l'entrée du capteur
vers la sortie. La région de la cavité est adjacente au guide d'onde et elle est réalisée en tirant vers
l'extérieur deux trous dans la direction opposée (parallèle au guide d'onde). De plus, les rayons des
trous environnants ont été ajustés afin d'optimiser la dimension de la cavité. En particulier, le rayon
des trous gauche et droit doit être 𝑟𝑋 = 0,25a et le rayon des trous supérieur et inférieur est
ry= 0,35a. La géométrie globale est esquissée sur la Figure Ⅱ.10.

32
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Figure Ⅱ.10. Structure de la cavité 𝐻0 avec le zoom de la disposition des trous.

Le décalage du trou représente un paramètre de conception stratégique. En fait, en faisant
varier le décalage des trous de la cavité, la longueur d'onde de résonance du spectre de transmission
se décale, entraînant des changements de la 𝑄 𝑓𝑎𝑐𝑡𝑒𝑢𝑟 , aussi. Pour la structure dessinée à la Figure
Ⅱ.10, il a été démontré que le décalage optimal est 𝑠𝑋 = 0,2 a, car le maximum 𝑄 𝑓𝑎𝑐𝑡𝑒𝑢𝑟 est obtenu
à cette valeur. De plus, le meilleur jeu de rayons a été défini sur 𝑟𝑋 = 0,32a et 𝑟𝑦 = 0,28a, afin
d'obtenir un facteur de qualité aussi élevé que 𝑄 = 2 761.

Un autre paramètre de conception fondamental est le nombre de trous fonctionnalisés

autour de la région de la cavité pour l'analyse de sensibilité de masse. Initialement, les récepteurs
de sonde sont déposés sur les surfaces intérieures des trous près de la région de la cavité. Lorsque
les molécules cibles sont infiltrées dans les trous, l'indice de réfraction autour de la zone de la cavité
change. Ce phénomène est dû à la liaison entre les molécules sondes et les objets cibles, résultant
en une détection de surface.

Il convient d'introduire un nouveau paramètre appelé sensibilité de masse 𝑆𝑚 , qui illustre la

dépendance du décalage de la longueur d'onde de résonance 𝛥 𝜆 sur le nombre de trous
fonctionnalisés N :

Δλ
𝑆𝑚 = ⅠⅠ.4
𝑁

Comme prévu, la sensibilité augmente en diminuant le nombre de trous fonctionnalisés. Les

trous les plus sensibles aux changements de RI sont les plus internes dans la direction 𝑦. Par
conséquent, afin d'optimiser l'événement de détection, il est nécessaire de déposer une couche de
molécules sondes uniquement à la surface des trous mentionnés ci-dessus.

33
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

De cette façon, les n capteurs sont réalisés en cascade, couplés latéralement avec le même
guide d'onde, permettant une détection multiple et parallèle. Comme le montre la Figure Ⅱ.11,
chaque cavité 𝐻 0 est caractérisée par la même architecture avec différents ensembles de
paramètres géométriques. Le spectre de transmission montre différents dips, chacun indépendant
des autres. Lorsqu'un événement de liaison se produit, seul le creux de transmission correspondant
est affecté par un décalage. Cela permet une détection multiple et simultanée de différentes espèces
chimiques.

Figure Ⅱ.11. Réseau de cavités résonnantes 𝐻 0 .

En conclusion, ce capteur présente une sensibilité en longueur d'onde de 115,60
nm/RIU. De plus, la sensibilité peut également varier de 84,39 nm/RIU à 161,25 nm/RIU, en
ajustant le nombre de trous fonctionnalisés de 2 à 28, respectivement. L'avantage de cette
architecture est représenté par la faible masse limite de détection obtenue avec une petite surface
fonctionnalisée, résultant en un bon niveau d'intégration optique et un grand degré de détection
multiplexée en milieu humide.

Un capteur PhC basé sur RI basé sur la même architecture décrite ci-dessus (c'est-à-dire
une série de cavités résonnantes en cascade) a été proposé pour la détection simultanée de
différentes espèces dans un environnement aqueux [11]. L'architecture se compose de réseaux de
résonateurs PhC unidimensionnels (1D) couplés à un seul guide d'onde de bus. Chaque cavité a
une largeur légèrement différente par rapport aux autres, de sorte que chacun peut détecter
indépendamment une espèce bio-moléculaire différente en réponse aux changements du milieu
environnant RI. Le mécanisme de détection se produit lorsque des biomolécules concentrées dans
la cavité du capteur sont capturées par des molécules réceptrices préalablement déposées sur la
surface du capteur. Les résonateurs en anneau ont été conçus pour présenter des longueurs d'onde
34
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

de résonance différentes et uniques, permettant ainsi une détection multiplexée avec un seul guide
d'onde. Lorsque les molécules cibles sont sélectivement capturées par les récepteurs, le creux du
spectre de transmission montre un décalage vers le rouge.

La structure se compose d'un guide d'ondes en silicium monomode conçu pour avoir une
largeur de 450 nm et une hauteur de 250 nm, tandis que des résonateurs ont été réalisés avec la
région de la cavité entourée de 8 trous d'air des deux côtés de 200 nm de diamètre, la constante de
réseau 1D étant égale à 390 nm. La zone de cavité du premier capteur a été obtenue en déplaçant
vers l'extérieur les trous les plus internes de 39 nm à partir du centre, comme illustré à la Figure
Ⅱ.12.

Figure Ⅱ.12. Mycrocavité à cristaux photoniques 1D.

L'architecture présentée ci-dessus a été adoptée pour détecter différentes bio-molécules. La
première configuration est constituée de cinq résonateurs, chacun devant être fonctionnalisé par
une sonde différente. En particulier, les résonateurs fonctionnalisés avec du glutaraldéhyde et de la
streptavidine servent de contrôle pour l'adsorption d'analyte non spécifique. Les autres résonateurs
fonctionnalisés avec des anticorps monoclonaux sont destinés au suivi et à la détection d'in-
vivoconcentrations d'interleukines 4,6 et 8 [11]. L'appareil peut détecter des anticorps dans une
plage de concentration de 1 μg/ml÷1 mg/ml, adaptée aux applications cliniques et aux diagnostics
médicaux, tels que le test VIH et le dépistage des drogues.

La même architecture caractérisée par un agencement analogue de cinq résonateurs près du

guide d'onde PhC, a été conçue avec un nombre différent de trous fonctionnalisés plutôt qu'une
taille différente de régions de cavité [12]. Chaque résonateur a été fonctionnalisé par une
monocouche d'ADN simple brin (𝐷𝑁𝐴𝑠𝑠 ) de 50 nm d'épaisseur avec indice de réfractionnADNss=
1,456. Un événement de détection se produit lorsque l'ADNss complémentaire s'hybride avec les

35
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

sondes de capture fonctionnalisées, formant un ADN double brin (𝐷𝑁𝐴𝑑𝑠 ). De plus, la sensibilité
du capteur peut être réglée en modifiant le nombre de trous fonctionnalisés, comme indiqué dans
l'expression ci-dessous :

Δ𝜆 Δ𝑛 Δ𝜆 1
𝑆𝜆 = = ×[ × ] ⅠⅠ.5
Δ𝑚 Δ𝑚 /𝐴 Δ𝑛 𝐴

Où ∆𝑛 est le changement d'indice de réfraction dû à l'événement de liaison, A est la surface

fonctionnalisée du capteur, Δ λ est le décalage de longueur d'onde de résonance et Δ m est la masse
de la cible liée. La sensibilité du capteur augmente en diminuant le nombre de trous fonctionnalisés
N, comme déjà démontré pour les architectures de capteurs précédemment analysées. Dans ce cas
précis, pour seulement deux trous fonctionnalisés, une sensibilité aussi élevée que 3,5 nm/fg est
atteinte, tandis que pour seize trous, la sensibilité chute à 1 nm/fg.

Dans cette revue sur les capteurs intégrés PhC basés sur RI, nous présentons également un
capteur innovant capable de détecter les in-vivo, particules simples aussi petites que des virus en
milieu aqueux et gazeux [13]. Le capteur PhC est caractérisé par un réseau hexagonal de trous
d'air cylindriques intégrés dans une plaquette SOI avec une constante de réseau 𝑎 = 400nm et un
rayon de trou r = 120nm. Le rayon du trou central est 𝑟𝑑 = 342,5 nm, résultant en une bande interdite
allant de 1440 nm à 1590 nm pour les modes TE.

Une sphère en latex avec un indice de réfraction 𝑛 = 1,45 peut être piégé dans le trou central
du PhC, caractérisé par un diamètre plus grand par rapport à celui des trous environnants et au
diamètre de la même sphère à détecter. De cette manière, il est possible de détecter la présence de
la particule unique piégée dans le plus grand trou en observant le décalage de longueur d'onde de
résonance dans le spectre de transmission du capteur. En effet, lorsque la sphère est piégée dans la
cavité du capteur, le pic de résonance caractérisé par le mode TE d’un 𝑄 𝑓𝑎𝑐𝑡𝑒𝑢𝑟 d'environ 2000,
est décalé vers le rouge d'environ 4 nm. De plus, le décalage vers le rouge augmente
proportionnellement à mesure que le diamètre de la sphère de latex augmente également. Enfin, le
capteur décrit jusqu'à présent représente un outil utile dans les applications médicales et de santé
pour la détection de molécules uniques.

36
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Figure Ⅱ.13. Vue de dessus du dispositif PhC avec une sphère de latex dans le défaut central de
la microcavité.
Dans plusieurs capteurs basés sur RI, le guide d'ondes PhC agit directement comme élément
de détection sans concevoir de microcavité intégrée, comme précédemment analysé dans d'autres
architectures de capteurs. Comme précédemment, un guide d'onde PhC est généralement réalisé en
introduisant un défaut de ligne dans la structure planaire périodique. Dans de telles structures de
guides d'ondes, seule la lumière à des longueurs d'onde en dehors de la bande interdite PhC peut
être guidée. En particulier, les modes de propagation sont confinés par la réflexion interne totale
(TIR) le long de la direction verticale et par la structure périodique latéralement.

Les performances des capteurs basés sur RI peuvent être quantifiées en surveillant les
changements de longueur d'onde de coupure (λcoupure) en fonction de la couverture RI. En
particulier, λ coupure décrit la longueur d'onde maximale à laquelle le mode optique peut se propager
dans le guide d'onde PhC et elle dépend du milieu de couverture RI. Par conséquent, la sensibilité
du capteur peut être définie comme le rapport entre les changements de longueur d'onde de coupure
et les changements de couverture RI, comme suit :

𝜕𝑇 ∆𝜆𝑐𝑢𝑡𝑜𝑓𝑓
𝑆= = ⅠⅠ.6
𝜕𝑛𝑐 Δ𝑛𝑐

Où 𝑇 est le spectre de transmission, 𝛥𝑛𝐶 est le changement de l’indice de réfraction (RI) de la

couche de cristal photonique et Δλcutoff est le changement de longueur d'onde de coupure.

37
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Un capteur PhC basé sur RI a été proposé pour détecter l'ADNss, présentant une limite de
détection de 19,8 nm [14]. Ce capteur, potentiellement capable de détecter de très faibles
concentrations d'analytes (par exemple, protéines, bactéries, ADN) est fabriqué dans une tranche
de SOI avec une épaisseur de couche de silicium de 250 nm et un dioxyde de silicium enterré de 3
μm d'épaisseur.

Figure Ⅱ.14. Schéma du capteur d'ADN à base de PhC caractérisé par des guides d'ondes
monomodes d'entrée et de sortie de 500 nm de large.
La constante de réseau PhC est 𝑎 = 390 nm et le rayon du trou est 𝑟 = 111 nm. Par
conséquent, la structure présente un mode TE guidé avec son bord de bande situé autour de
𝜆 = 1550 nm. À l'entrée et à la sortie du guide d'ondes PhC, la lumière est couplée ou collectée par
un guide d'ondes monomode de 500 nm de large, comme illustré à la Figure Ⅱ.14.
Le régime opérationnel de détection est effectué par des pics spectraux créés par l'excitation
de modes 𝑘 multiples dans le régime d'ondes lentes près du bord de la bande. En fait, les
changements de positions des pics sont surveillés en permanence, définissant ainsi la sensibilité du
capteur selon l’équation précédente.

Le capteur a été testé avec une solution DNA complémentaire liée à la sonde ssDNA pré-
déposée sur la surface du capteur. Un déplacement maximal de 𝛥 𝜆 = 47,1 pm correspond à une
concentration d'ADN de 0,5μm dans l'échantillon complexe.
Un paramètre important à concevoir correctement pour augmenter les performances de
détection dans un capteur à guide d'ondes PhC à une seule ligne est le rayon des trous localisés des
deux côtés du défaut de ligne [15]. Dans ce contexte, un capteur intégré basé sur un guide d'onde
PhC a été proposé. L'architecture du capteur est caractérisée par des trous d'air circulaires dans la
plaquette de silicium, comme illustré à la Figure Ⅱ.15. La structure de réseau triangulaire a une
constante de réseau 𝑎 = 370 nm et rayon du trou 𝑟 = 120 nm. Le guide d'ondes est obtenu en

38
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

supprimant une rangée entière de trous dans la direction horizontale, ce qui donne un guide d'ondes
PhC de 9,5 μm de long. De plus, 12 rangées de trous sont périodiquement réparties de chaque côté
de la ligne de défaut. Le capteur PhC présente une large bande interdite entre 1230 nm et 1720 nm
pour les modes TE et une très petite bande interdite pour la polarisation TM.
La sensibilité de l'appareil a été évaluée en surveillant le décalage de la longueur d'onde de
coupure lorsque le capteur, initialement exposé à la couverture d'air (𝑛𝐶 = 1), est ensuite recouvert
d'une solution aqueuse (c'est-à-dire de l'eau déminéralisée avec 𝑛𝐶 = 1.33). Par conséquent, le
décalage de la longueur d'onde de coupure est estimé à 30 nm, en raison d'un changement de RI de
couverture de 0,33 (1,33-1).

Figure Ⅱ.15. Capteur de guide d'onde à cristal photonique avec trous sensibles.
La sensibilité du capteur peut être améliorée en infiltrant l'échantillon à analyser
uniquement dans les trous adjacents au défaut de ligne. Cette disposition produit un décalage de
coupure de 20 nm correspondant à une sensibilité de 60 nm/RIU. Des expériences ont montré que
la sensibilité peut être encore augmentée en optimisant la taille des trous près du défaut de ligne,
qui sont plus sensibles que les régions périphériques. En fait, en augmentant la taille du trou, un
décalage de coupure de longueur d'onde de 80 nm et une sensibilité aussi élevée que 𝑆𝜆 = 240
nm/RIU peut être atteint, ce qui entraîne une amélioration d'environ 62 % par rapport au capteur
d'origine.

Un capteur basé sur RI a également été proposé pour la détection de gaz. En particulier,
l'interaction entre le mode de lumière lente se propageant dans la structure et le gaz infiltré dans
celle-ci, est transduite par les changements d'indice de réfraction effectif du guide d'onde,

39
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

entraînant des changements de longueur d'onde du régime de lumière lente [16]. Ce type de capteur
présente l'avantage d'améliorer les performances de détection du fait de l'interaction lumière-
matière renforcée. De plus, la sélectivité du capteur est assurée car le spectre de transmission ne
change d'amplitude que lorsque le gaz est rempli dans la structure PhC.

Figure Ⅱ.16. a) Haut et (b) vue en coupe du capteur de guide d'ondes à cristal photonique pour
la détection de gaz.
Comme le montre la Figure Ⅱ.16, le capteur consiste en une configuration de membrane à
pont d'air InP. En particulier, une couche d'air en bas et en haut de la dalle PhC de 285 nm
d'épaisseur assure la symétrie du dispositif. La structure PhC est encastrée dans la dalle InP avec
une périodicité triangulaire, une constante de réseau 𝑎 = 441 nm et rayon des trous
d'air 𝑟 = 0,33a. Le guide d'onde est obtenu en supprimant toute une rangée de trous d'air.
Les performances de détection ont été estimées en exposant le capteur initialement recouvert d'air,
à l'argon (𝑛 = 1,000282) et Hélium (𝑛 = 1,000035) gaz, correctement rempli dans le guide d'ondes
PhC. En particulier, un décalage de 0,6 nm a été détecté en cas d'Hélium rempli dans le guide
d'onde et un décalage de 0,05 nm en cas d'Argon. Le capteur présente une bonne tolérance aux
perturbations environnementales et il est capable de détecter tous les gaz caractérisés par des
indices de réfraction similaires à ceux de l'argon et de l'hélium, à l'exception de ceux dont les
indices de réfraction sont très proches de l'air RI (c'est-à-dire, 𝑛𝐴𝑖𝑟 = 1).
En conclusion, les capteurs à base de PhC intégrés dans les architectures d'interféromètres ont été
passés en revue. Généralement, le principe de détection caractérisant les architectures
d'interféromètres est basé sur la mesure de déphasage. En particulier, si une perturbation ne se
produit que sur un bras de l'interféromètre, le signal de sortie diffère du signal d'entrée, montrant

40
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

une variation de sa phase ou de son amplitude. Dans la configuration Mach Zehnder, il est possible
de quantifier la quantité de déphasage sur le bras actif en suivant l'intensité de sortie du signal. La
perturbation mentionnée ci-dessus peut être associée au changement d'indice de réfraction de
couverture dans un bras du MZI, en raison de la présence d'analytes dans l'échantillon. Ce
phénomène peut être décrit par la relation suivante :

2𝜋
Δ𝜑 = Δ𝛽𝐿 = Δ𝑛𝐿 ⅠⅠ.7
𝜆

Où ∆𝑛 est la variation de l'indice de réfraction, 𝐿 est la longueur du guide d'onde et 𝜆 est la longueur
d'onde.
Comme le montre la Figure Ⅱ.17, un capteur basé sur MZI avec un guide d'onde à fente
PhC a été fabriqué et caractérisé expérimentalement [17]. Le capteur est composé de guides d'ondes
PhC dans les bras actifs et de référence, de guides d'ondes à nervures pour l'entrée et la sortie du
capteur, de jonctions en 𝑌, d'électrodes et de coussinets d'électrodes. En particulier, les guides
d'ondes PhC sont réalisés en supprimant une seule rangée de trous d'air dans une plaque de
silicium. Le dispositif est fabriqué sur une plaquette SOI, dans laquelle l'épaisseur de la couche
centrale de silicium est 𝑡 = 215 nm, le milieu de gaine supérieur est de l'air et la couche inférieure
est une couche d'oxyde enterrée de 2 µm d'épaisseur. Dans la plaque de silicium, les trous sont
disposés par des cellules hexagonales à constante de réseau 𝑎 = 400 nm entraînant le diamètre du
trou d'air 𝑑= 0,53 a.

Figure Ⅱ.[Link] avec guide d'onde à cristal photonique à fente (a) et vue en coupe transversale
(b).
Pour les applications de capteur, il est possible d'induire des changements RI localisés en
remplissant la région du guide d'ondes avec des matériaux d'analyte en phase gazeuse ou
liquide. De cette manière, l'intensité du signal de sortie peut être modifiée en raison de l'effet de
conjonction de la tension d'attaque statique supportée par les électrodes sur les bras du capteur et

41
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

les changements de RI du couvercle. Enfin, une comparaison expérimentale montre comment le

guide d'ondes PhC à fente en silicium fournit un changement d'indice 30 fois efficace par rapport
au guide d'ondes à bande à fentes en silicium conventionnel.
Un capteur qui combine les caractéristiques de séparation de puissance optique du séparateur de
puissance d'interférence multimode (MMI) et les caractéristiques de résonance de chute de
transmission de plusieurs réseaux de microcavités PhC, a été récemment étudié et proposé [18]. Le
dispositif, illustré à la Figure Ⅱ.18, est fabriqué sur une plate-forme SOI et se compose d'un
séparateur de puissance optique MMI 1x4 qui divise la lumière d'entrée d'un guide d'ondes à crête
en quatre canaux de sortie. Le MMI a une longueur et une largeur de 123 μm et 16 μm,
respectivement. Le guide d'onde d'entrée a une largeur de 2,5 μm et les sorties sont séparées de 1,5
μm. Les guides d'ondes PhC sont des défauts de ligne avec une constante de réseau uniforme
𝑎 = 400 nm et diamètre des trous d= 0,54a qui est couvert une plaque de silicium d'épaisseur
𝑡 = 0,58a = 232 nm.

Sur les bras #1 à #3, les trous d'air de bord sur l'axe de la microcavité PhC sont décalés vers
l'extérieur dans la direction horizontale d'une distance égale à 0,15a. Sur le bras #4, deux
microcavités espacées de 50 μm, sont conçues de type L13. Dans le premier, les trous d'air de bord
sont décalés vers l'intérieur de 0,15a, dans la deuxième microcavité, les trous d'air de bord sont
décalés vers l'extérieur de 0,15a entraînant une diaphonie (transmission bidirectionnelle) nulle.

Figure Ⅱ.18. Schéma d'un appareil MMI 1x4.

Chaque microcavité est recouverte de différentes biomolécules réceptrices, chacune
répondant à son conjugué spécifique. En effet, en introduisant dans la zone sensible 60 μl de 600nm
d'IgG de chèvre anti-lapin Abs dissous dans du PBS, seul le spectre de transmission du bras #2
change, montrant un décalage de longueur d'onde résonnant. En effet, le bras #2 est imprimé avec
un conjugué spécifique lapin anti-chèvre IgG Abs. Le bras n ° 4 fonctionne de manière similaire

42
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

tandis que tout décalage est observé dans les bras restants car les bras n ° 1 et n ° 3 sont imprimés
avec de l'IL-10 Abs humain et le bras n ° 4 dans la deuxième microcavité est recouvert de BSA. Par
conséquent, en changeant la solution d'échantillon, donc en introduisant 60 μl de 600 nm d'Abs
anti-IL-10 humaine de rat dissous dans du PBS, un seul décalage de longueur d'onde de résonance
est observé dans le bras #1. Enfin, le capteur est insensible aux changements environnementaux et
permet une détection multiple, étant très approprié pour le dépistage à haut débit.

Ⅱ.4. Conclusions :
Dans ce chapitre, l'état de l'art des capteurs basés sur PhC a été examiné en se concentrant
sur les principales caractéristiques et avantages des différentes architectures et configurations de
mesure présentées dans la littérature.
Dans le cas des capteurs intégrés à base de PhC, le principe physique le plus courant est la détection
RI utilisée pour la détection de particules, de gaz, de molécules chimiques et biologiques, de
protéines, de virus, de la salinité de l'eau …etc.
Les architectures interférométriques et les capteurs photoniques basés sur des microcavités
résonnantes représentent sans aucun doute les solutions intégrées les plus efficaces pour des
performances de détection ultra élevées et des lectures optiques et compatibles CMOS
simples. Dans ce contexte, les valeurs typiques des sensibilités aux longueurs d'onde sont de l'ordre
de 𝑆𝜆 = 298nm/RIU obtenu par un résonateur en anneau basé sur un guide d'ondes à fente [19] et
𝑆𝜆 = 26nm/RIU présenté par une configuration Mach-Zehnder [20]. En comparaison avec les
performances mentionnées ci-dessus, il a été démontré que les cavités résonnantes PhC sont
capables d'atteindre des sensibilités de longueur d'onde plus élevées aussi élevées que
𝑆𝜆 = 460nm/RIU et 𝑆𝜆 = 570nm/RIU.
Le principal inconvénient caractérisant les capteurs à base de PhC est représenté par le contrôle
rigoureux des processus technologiques à exécuter lors de la conception et de la fabrication. Ces
exigences sont nécessaires en raison des tailles nanométriques des défauts et des trous dans la
structure périodique de PhC et de la très grande sensibilité de fonctionnement du capteur vis-à-vis
des changements géométriques et physiques. Quoi qu'il en soit, la plate-forme technologique SOI
bien connue identifie une installation standard et bon marché pour la production à grande échelle
de capteurs à base de PhC.

43
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Enfin, la technologie des cristaux photoniques représente sûrement un domaine de recherche à

approfondir pour son incroyable potentiel dans des applications telles que le traitement du signal
optique, les télécommunications et, enfin et surtout, la détection optique avancée [21].

44
 Chapitre II | Les capteurs à cristaux photoniques

Références bibliographies du chapitre II

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Photonic Crystals for Optical Sensing: A Review”, Chapter 11, Advances in Photonic Crystals,
[Link]

46
Chapitre : ⅠII

Résultats de Simulation
 Chapitre III | Résultats de Simulation

III.1. Introduction :
Les simulations numériques permettent de reproduire des phénomènes physiques
complexes et réels dont les descriptions sont basées sur des modèles mathématiques contenant des
équations aux dérivées partielles. Dans ce travail, nous intéressons à la méthode FDTD et la
méthode d’expansion d’onde plane (PWE), qui existe dans la base de données OPTI-WAVE. Dans
ce chapitre, nous proposons la conception d'un nouveau type de capteur basé sur des cristaux
acoustiques 2D. Nous commençons d’abord par définissons les deux méthodes FDTD et PWE,
puis décrivons le programme de simulation "Opti-FDTD" utilisé dans notre travail, Et présentons
la structure proposée. Après, nous présentons les résultats de simulation obtenus.
III.2. La méthode des différences finies dans le domaine temporel (FDTD) :
La méthode « Finite Difference Time Domain » (FDTD) a été proposée pour la première
fois par Kane S. Yee en 1966 et a été largement utilisée dans le calcul électromagnétique. La
méthode est basée sur la résolution temporelle, et les équations de Maxwell sont discrétisées dans
l'espace et dans le temps. Ensuite, la méthode FDTD a été appliquée aux cristaux photoniques. Le
calcul de toutes les composantes du champ permet l'utilisation des transformées de Fourier pour
obtenir des informations à tout moment et sur tous les champs calculés, comme le spectre de
plusieurs points structuraux, les champs de cartographie électrique ou magnétique à l'intérieur du
cristal, etc. Cette méthode est adaptée à l'étude de défauts ou de cavités. Cette méthode permet
d'étudier de réseaux de taille finie à l'aide de conditions aux limites absorbantes ou à l'infini à l'aide
de réseaux de conditions de parois magnétiques ou électriques. [1]

III.3. La méthode des ondes planes (PWE) :

La méthode des ondes planes (PWE) fait référence à une technique de calcul en
électromagnétisme qui résout les équations de Maxwell en formulant des problèmes de valeurs
propres à partir des équations. Cette approche est populaire dans la communauté des cristaux
photoniques comme moyen de résoudre la structure de bande (relation de dispersion) d'une
géométrie de cristal photonique spécifique. PWE remonte à des formulations analytiques qui
peuvent être utilisées pour calculer des solutions modales aux équations de Maxwell sur une
géométrie inhomogène ou périodique

47
 Chapitre III | Résultats de Simulation

III.4. Description du logiciel :

Opti-wave est un logiciel de conception pour photonique, Opti-FDTD est un logiciel puissant,
hautement intégré et convivial qui permet la conception et la simulation assistées par ordinateur de
composants photoniques passifs avancés. Opti-FDTD vous permet de concevoir, d'analyser et de
tester des composants photoniques passifs et non linéaires modernes pour la propagation, la
diffusion, la réflexion, la diffraction, la polarisation et les phénomènes non linéaires des ondes. Le
programme de base d'Opti-FDTD est basé sur un algorithme de domaine temporel à différence
finie (FDTD) avec une précision numérique de second ordre et une condition aux limites de pointe
- la condition aux limites de la couche uniaxiale parfaitement adaptée (UPML). L'algorithme résout
les champs électriques et magnétiques dans les domaines temporel et spatial en utilisant la forme
différentielle vectorielle complète des équations de boucle couplée de Maxwell. [2]

Opti-FDTD a 4 applications principales :

1. Le concepteur de disposition (Layout Designer) : ici, nous pouvons définir les paramètres de
la structure et de la simulation.

2. Concepteur de profil (Profile Designer) : permet de définir les matériaux et profils utilisés
dans la simulation

3. Simulateur (Simulator) : Le programme charge les fichiers du concepteur et effectue des

simulations. Le simulateur commence par le concepteur de mise en page.

4. Analyseur (Analyzer) : Ce programme est utilisé pour afficher les résultats et effectuer un post-
traitement. Après avoir exécuté la simulation, le simulateur vous demandera si vous souhaitez
ouvrir l'analyseur.

La Procédure de simulation <<Opti-FDTD>> est résumée dans l'organigramme de la Figure III.1

48
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.1. Procédure de simulation dans Opti-FDTD

L'outil de simulation Opti-FDTD (finite time-Domain simulation design) OPTIWAVE, est un
leader émergent dans le développement de logiciels innovants pour la conception et la révision de
composants, d'interfaces, de systèmes et de réseaux pour la nanotechnologie, l'optoélectronique,
les réseaux optiques et d'autres applications optiques.

Le programme Opti-FDTD comprend un ensemble d'outils et de fichiers qui lui permettent de tracer
et d'analyser, le mode solution 2D/3D, la capacité de chargement, la prise en charge de la simulation
multiprocesseur et cross-core, les formats de masque de sortie GDSII/DXF.

Opti-FDTD est un environnement de CAO (conception assistée par ordinateur) puissant, hautement
intégré et convivial pour la conception et la simulation de dispositifs photoniques passifs et non
linéaires avancés. L'image de sa plateforme est montrée dans la figure III.2.

49
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.2 : plateforme de logicielle Opti-FDTD

III.5. Structure utilisée :

Dans nos simulations, on s’intéresse à la polarisation TE (Transverse Electric) et Polarisation TM
(Transverse Magnetic). Notre étude comprend le calcul des spectres de transmission et de bande.

La figure III.3 montre la structure du cristal photonique bidimensionnel utilisé. Pour le réseau
hexagonal, la structure est constituée de tiges de l’indice de réfraction (𝑛𝑠𝑖 = 3.4777), plongées dans
l’air (𝑛 = 1), Le diamètre des tiges est égal à 0.3a.
La périodicité de la structure est caractérisée par une cellule hexagonale avec une constante de
réseau 𝑎 = 515 nm. Le rayon r des tiges et l'épaisseur de la couche de silicium h sont choisis tels
que 𝑟 = 0,33a et ℎ = 0,427a.

50
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.3: la structure de cristal photonique bidimensionnel utilisée

III.6. Diagramme des bandes interdites photoniques :

La distribution du diagramme de bande de la configuration de notre dispositif a été analysée
à l'aide de la méthode d'extension d'onde plane (PWE). Les figures III.4 et III.5 représentent les
diagrammes de bandes pour des cristaux photoniques bidimensionnels. Pour le réseau hexagonal,
la structure est constituée de tiges de l’indice de réfraction n = 3.4777 plongées dans l’air (𝑛 = 1),
Le diamètre des tiges est égal à 0.3a.

On observe deux larges bandes interdite photonique pour la polarisation TE, par contre pour la
polarisation TM, on obtient plusieurs bandes (4 bandes), mais elles sont petites par rapport à la
polarisation TE.

51
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.4 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal, polarisation TE

Figure III.5 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal, polarisation TM

III.7. Variation de la bande interdite photonique en fonction de l’indice de
réfraction :
Pour voir l'effet de l'indice de réfraction sur la largeur de la bande interdite Pour la
photonique, on fait varier l'indice de réfraction de la tige, à partir de n = 3,4777 (silicium), la
deuxième structure est à 𝑛=3,4577 et on se retrouve avec 𝑛=3,4377.

52
 Chapitre III | Résultats de Simulation

III.7.1. Pour la polarisation TE :

Figure III.6: Diagramme de bande d‘un réseau hexagonal avec n= 3.4777, polarisation TE

Figure III.7 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal avec n= 3.4577, polarisation TE

53
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.8 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal avec n= 3.4377, polarisation TE

III.7.2. Pour la polarisation TM :

Figure III.9 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal avec n= 3.4777, polarisation TM

54
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.10 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal avec n= 3.4577, polarisation TM

Figure III.11 : Diagramme de bande d’un réseau hexagonal avec n= 3.4377, polarisation TM

Dans le tableau ci-dessous, nous donnons les valeurs de largeur de bande interdite photonique et
leurs positions pour chaque valeur d'indice de réfraction (3.4777, 3.4577, 3.4377) avec deux
polarisations TE et TM.

55
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Tableau III.1 : Les valeurs de largeur de la bande interdite photonique et leur emplacement,
pour chaque valeur de l’indice de réfraction avec les deux polarisations TE et TM

𝑛=3.4777 𝑛=3.4577 𝑛=3.4377

(0.210711,0.311285)
(0.211882,0.312787) (0.213065,0.314301)
gap=0.100574
TE (0.411393,0.527728)
gap=0.100905 (0.413695, gap=0.101236 (0.416022,
0.530123) gap=0.116428 0.532534) gap=0.116512
gap=0.116335

(0.360415,0.376819)
(0.357331,0.375765)
(0.358868,0.37629) gap=0.0164042 (0.43173,
gap=0.018434
gap=0.0174228 (0.429443, 0.530157) gap=0.0984268
(0.42718, 0.527192)
0.528678) gap=0.0992356 (0.581161,0.594424)
TM gap=0.100012
(0.578419,0.592523) gap=0.0132633
(0.575698,0.589855)
gap=0.0141049 (0.642289, (0.644909, 0.659479)
gap=0.0141566 (0.63968,
0.656971) gap=0.014682 gap=0.0145704
0.654516) gap=0.014836

Il y a deux bandes à chaque valeur de l'indice de réfraction "n" pour la polarisation TE, pour la
polarisation TM il y a 4 bandes.

Dans les deux polarisations les bandes interdites photoniques (BIP), si on diminue l’indice de
réfraction "n", les bandes diminuent aussi.

III.8. Cavités à cristaux photoniques :

Dans le cas de cristaux bidimensionnels, des défauts sont créés par modification locale de
l'indice de réfraction ou par changement de la taille du motif cristallin (défauts de substitution), ou
par déplacement d'un de ces motifs (défauts interstitiels). Soit l'un des motifs est manquant (défaut
lacunaire), soit même un motif différent (dopant) est inséré. La présence de défauts ponctuels peut
entraîner des niveaux d'énergie discrets dans la bande interdite. Dans notre exemple, nous
utiliserons des défauts lacunaires.
Sur la figure III.12, un exemple typique de microcavité à PhC bidimensionnelle (2D) dans du
silicium sur isolant (SOI) est représentée. Comme le montre la figure III.13, les tiges sont gravées
uniquement dans la couche supérieure de silicium et ils peuvent être réalisés par gravure anisotrope
standard. La microcavité est obtenue en supprimant des tiges au centre de PhC dans la direction
ΓΚ. Une telle microcavité est formellement indiquée comme cavité H2, en raison du nombre de
trous supprimés dans la structure à PhC périodique.

56
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.12 : Cristal photonique à base de structure hexagonal avec un défaut ponctuel
(cavité).
III.8.1. Confinement de la lumière à cavité en cristal photonique 2D :
Une manière simple de confiner le champ dans un volume très réduit est de briser
localement la périodicité du réseau par l’introduction de défauts. Les modes photoniques ainsi
créés, à condition qu’ils se situent dans la bande interdite, concentrent leur énergie dans cette zone
de défauts. Le cristal environnant agit comme un miroir, la lumière se reflétant sur les bords du
défaut. Les défauts ou microcavités les plus étudiés sont obtenus en omettant un certain nombre de
trous dans les réseaux périodiques, notamment dans les réseaux triangulaires, les microcavités
hexagonales de type Hn, où (n) est le nombre de rangées Chaque côté de l'hexagone est manquant.
Les dimensions de ces microcavités sont généralement de l'ordre de quelques longueurs d'onde,
soit quelques microns. Dans notre cas, la cavité utilisée est de type H2, où nous avons omis les 2
trous du réseau périodique [3] (figure III.13).

Figure III.13 : Type de cavité (H2)

57
 Chapitre III | Résultats de Simulation

III.8.2. Variation de confinement de la lumière à cavité en fonction de la

polarisation :

(a) (b)
Figure III.14 : a) confinement de la lumière dans la polarisation TE, b) confinement de la
lumière dans la polarisation TM
III.8.3. Variation de confinement de la lumière à cavité en fonction de l’indice de
réfraction « n » :
III.8.3.1. Pour la polarisation TE :

Figure III.15 : Confinement de la lumière à cavité, avec n=3.4777

58
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.16 : Confinement de la lumière à cavité, avec n=3.4577

Figure III.17 : Confinement de la lumière à cavité, avec n=3.4377

III.8.3.2. Pour la polarisation TM :

Figure III.18 : Confinement de la lumière dans la polarisation TM, avec n=3.4777

59
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.19 : Confinement de la lumière dans la polarisation TM, avec n=3.4577

Figure III.20 : Confinement de la lumière dans la polarisation TM, avec n=3.4377

De l'observation du confinement pour la lumière polarisée TE et TM, on voit que le confinement

sera fort pour la polarisation TE et faible pour la polarisation TM avec tous les indices de réfraction.
Par ailleurs le confinement sera fort lorsqu’avec l’augmentation de l’indice de réfraction c.-à-d.
l’augmentation de la différence d’indice entre les tiges et la couche de silicium.

60
 Chapitre III | Résultats de Simulation

III.8.4 Variation de la transmission en fonction de la longueur d’onde pour

différentes valeurs de l’indice de réfraction :
III.8.4.1 Pour la polarisation TE :

Figure III.21: la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 3.4777

Figure III.22 : la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 3.4577

Figure III.23 : la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 0.4377

61
 Chapitre III | Résultats de Simulation

III.8.4.2 Pour la polarisation TM :

Figure III.24 : la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 3.4777

Figure III.25 : la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 3.4577

Figure III.26 : la transmission en fonction de la longueur d’onde avec n= 3.4377

D’après les Figures III.21 – III.26 qui représentent les piques de transmission dans une cavité
pour différents indices de réfraction avec les deux polarisations TE et TM, on voit que pour la
polarisation TE deux piques de transmission est apparu, le premier est grand par rapport au

62
 Chapitre III | Résultats de Simulation

deuxième, ces deux piques montrent la forme de la cavité H2, comme le nombre de piques lié au
nombre de trous qu'on a supprimé, par contre à la polarisation TM on voit qu’un seul pique de
transmission.

De plus, les longueurs d’onde de résonnance de ces piques varient avec l'indice de réfraction,
lorsque l'indice de réfraction diminue, la longueur d’onde de résonnance du pique à la polarisation
TE diminue, mais pour la polarisation TM il se passe le contraire.

Dans le tableau ci-dessous, nous présentons les valeurs de transmission pour les indices de
réfraction (3,4777, 3,4577 et 3,4377) avec les deux polarisations TE et TM.
Tableau III.2: variation de la longueur d’onde en fonction des indices de réfraction pour les
deux polarisations TE et TM

n=3.4777 n=3.4577 n=3.4377

TE 1.56005 µm 1.54959 µm 1.53028 µm
TM 1.53016 µm 1.56219 µm 1.5641 µm

III.8.5. Utilisation des cavités à cristal photonique pour la détection (capteurs) :

III.8.5.1 Capteurs basés sur l’indice de réfraction :

Les capteurs basés sur l'indice de réfraction (RI) représentent la classe la plus diffusée de capteurs à
PhC. En fait, un grand nombre d'architectures avancées (par exemple, microcavités intégrées) utilise
l'indice de réfraction pour la détection.
Dans la mesure où une faible variation du changement d’indice au sein de la cavité a pour
conséquence une faible variation de la fréquence du mode d’intérêt, cette propriété peut être utilisée
comme méthode de transduction et justifie l’utilisation des CP comme détecteurs optiques. La
position spectrale λ0 de la résonance de la cavité peut servir de référence.

Dans ce contexte, la sensibilité à la longueur d'onde Sλ représente un paramètre fondamental pour

quantifier les performances du capteur en cas de schéma d'étude de longueur d'onde. Sλ est défini
Δ
selon l'Equation : 𝑆𝜆 = Δ𝜆 III.1
𝑛

Comme le rapport entre le décalage de la longueur d'onde de résonance (𝛥 𝜆 ) induit par le

changement d’indice de réfraction (𝛥 𝑛 ). De plus, il est donné en unités de nm / RIU (indice de
réfraction unité).

63
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Dans notre travail le changement dans l'indice de réfraction de l’environnement entourant les tiges
de silicium modifie la longueur d'onde de résonance. Les résultats de la simulation sont présentés
dans le tableau suivant.
Tableau III.3: La sensibilité du capteur pour divers décalages de l'indice de réfraction du milieu
entourant les tiges du dispositif
Polarisation 𝛥𝑛 𝛥𝜆 S, [nm/RIU]
0.02 50.61nm 2530,5
TE
0.04 194,87nm 4871,75
0.02 3.76nm 188
TM
0.04 14,69nm 367,25

Ce tableau représente les valeurs de la sensibilité pour las deux polarisations, pour la polarisation
TE on a des valeurs de sensibilité très importantes, comparativement à la polarisation TM.
Alors on conclure que la variation de l’indice de réfraction et le mode de polarisation (TE ou TM)
influencent sur la sensibilité de la structure étudiée.
III.8.5.2 Couplage guides –cavité

Afin de comparer la sensibilité trouvée pour différentes structures, nous proposons une
autre structure à base toujours d’un cristal photonique, cette structure est représentée par deux
guides d’ondes couplées au centre avec une cavité, les deux guides d'ondes sont obtenus en
supprimant une rangée de tiges dans la direction x. Ils ont l'habitude de coupler la lumière dans et
hors de la cavité PhC.

Les trous aux tours de guides et cavités ont des diamètres de double par rapport aux autres
trous de la structure du cristal, pour le réseau hexagonal, la structure est constituée de tiges de
l’indice de réfraction 𝑛 = 3.4777 plongées dans l’air (𝑛 = 1), le diamètre des tiges est égal à 0.3a,
pour la polarisation TE.

64
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.27. Structure de couplage guides cavité

Figure III.28. Propagation de la lumière dans la structure de couplage guides cavité

La propagation de la lumière dans la structure est représentée dans la Figure III.28, l’effet
de la suppression des tiges est apparu par une dispersion d’une partie de lumière dans la structure,
par contre une autre partie est confinée dans les guides et la cavité.

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 Chapitre III | Résultats de Simulation

(a)

(b)

(c)

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 Chapitre III | Résultats de Simulation

(d)

(e)
Figure III.29 : la transmission en fonction de la longueur d’onde à différents points (a), (b), (c),
(d)et(e)

Figure III.30 : Différentes points d’observation de la transmission

67
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Figure III.31 : Informations sur la transmission

D’après les figures ci-dessus (Figure III.29 (a) jusqu’à Figure III.31), on remarque un pique de
transmission dont l’amplitude de ce pique est diminuée d’un point à une autre .si on s’éloigne à la
source l’amplitude de la transmission au fur et à mesure va diminuer.
➢ La sensibilité à cette structure :
𝚫𝝀
𝑺𝝀 = 𝐈𝐈𝐈. 𝟐
𝚫𝒏
𝚫𝝀 =1.55µm-0.88µm=0.67µm=67nm
𝚫𝒏 = 3.4777- 3.4377=0.04
𝚫
𝑺𝝀 = 𝚫 𝝀 =1675[nm/RIU]
𝒏

Cette sensibilité est calculée en comparant l’indice de réfraction de la structure couplage guides-
cavité par celle de cavité, et la longueur de résonance du pique à cette structure avec la longueur
de résonance de cavité.
Alors la sensibilité varie en fonction de l’indice de réfraction et en fonction de changement de la
structure.

68
 Chapitre III | Résultats de Simulation

III.9. Conclusion :
Dans ce chapitre nous avons étudié les capteurs à cristaux photoniques, pour cela nous avons
travaillé sur une structure de cavité à cristal photonique, cette cavité à été créé par l’omission de
deux tiges dans une structure de silicium d’indice de réfraction « 𝑛 =3.477 », dans le but de voir
l’influence de variation de l’indice de réfraction sur la longueur d’onde de résonance de notre cavité
(pique de transmission) et alors pratiquement sur la sensibilité de notre capteur ,nous avons fait des
simulations sur la structure de cristal photonique ,en utilisant le logiciel Opti-FDTD ,on a
commencé par une étude de la bande interdite photonique de notre cristal photonique afin de voir
l’existence de cette bande pour différentes valeurs de l’indice de réfraction, on a trouvé des larges
bandes pour la polarisation TE ,et des petites bandes pour la polarisation TM ,après on a simulé le
confinement de la lumière dans notre cavité H2 pour les deux polarisations ,on remarque que le
confinement est fort pour la polarisation TE comparativement à la polarisation TM, après nous
avons étudié l’emplacement de pique de transmission pour différentes valeurs de l’indice de
réfraction avec les deux polarisations ,les résultats obtenues nous permet de les utilisés pour
mesurer la sensibilité de notre capteur, ces résultats sont très importantes notamment pour la
polarisation TE.
Notre cavité à cristal photonique présenté un fort confinement optique de la lumière à un très petit
volume, permettant la détection de produits chimiques espèces caractérisées par des dimensions
nanométriques.
Afin de comparer la sensibilité trouvée pour différentes structures, nous proposons une autre
structure à base toujours d’un cristal photonique, cette structure est représentée par deux guides
d’ondes couplées au centre avec une cavité, les deux guides d'ondes sont obtenus en supprimant
une rangée de tiges dans la direction x.
Des capteurs à base de cristal photonique ont également été proposés comme capteurs de gaz
dans l'infrarouge moyen (IR moyen), depuis de nombreux gaz (par exemple, 𝐶𝑂2, 𝐶𝐻4 , 𝐶𝑂)
présentent des raies d'absorption dans la région de longueur d'onde IR moyenne

69
 Chapitre III | Résultats de Simulation

Références bibliographies du chapitre III

[1] Thèse DOCTORAT EN SCIENCES EN ELECTRONIQUE, Contribution à l’étude des

microcavités à base des cristaux photoniques, AMIROUCHE Amel,28/09/2017

[2] ''OptiFDTD Technical Background and Tutorials'' [Link]

content/uploads/2014/09/OptiFDTD_Getting_Started.pdf

[3] Salim BOUTAMI, « MICROCAVITES OPTIQUES VERTICALES A BASE DE

CRISTAUX PHOTONIQUES MEMBRANAIRES », Thèse de doctorat, Ecole Centrale de Lyon,
2007. Franç[Link]-00341736

70
Conclusion Générale
 Conclusion Générale

Conclusion Générale :

Les cristaux photoniques sont des matériaux artificiels avec une constante diélectrique
périodique selon une, deux ou trois directions de l'espace, où il est devenu concevable d'utiliser des
cristaux photoniques pour stocker, localiser, filtrer, voire diriger la lumière, et pour ces fins, nous
devons avoir dans le domaine interdit des cristaux La fréquence optique est admissible, et pour cela
il faut introduire des défauts dans cette structure périodique. En l'absence de défauts, la lumière
dans une gamme de fréquences spécifique semble incapable de se propager pour eux. Ces
propriétés rendent les cristaux photoniques intrigants car ils rendent possible le contrôle de la
lumière de manière plus répandue et répandue pour de nombreuses applications en optique intégrée.

Dans ce mémoire, nous avons proposé un modèle de capteur à cristal optique et pour
simuler un tel dispositif il est nécessaire d'utiliser un logiciel spécialisé tel que Optiwave et ses
accessoires notamment Opti-FDTD qui est le logiciel appliqué dans cette note. Il est considéré
comme le pionnier dans le domaine de l'optique et le plus célèbre. Pour compléter la simulation, la
méthode des différences finies dans le domaine temporel (FDTD) et la méthode des ondes planes
(PWE) doivent être utilisées, qui sont bien adaptées à l'étude des structures à base de cristaux
photoniques.

Pour atteindre l'objectif, nous avons divisé le travail, comme indiqué précédemment, en
trois chapitres. Dans le premier, nous avons présenté les concepts de base des cristaux photoniques,
leurs définitions, les différents types de cristaux photoniques, leurs principes de fonctionnement et
leurs domaines d’utilisation, et nous avons également présenté quelques concepts et exemples de
capteurs à cristaux photonique. - Dans le deuxième chapitre, nous avons faire une étude théorique
sur les capteurs à cristaux photoniques.

Nous avons conclu avec le troisième chapitre de ce mémoire, dans lequel nous avons
discuté de la présentation des résultats de simulation pour une structure cristalline dans laquelle
nous avons créé une cavité cristalline de type H2. En fin, nous avons atteint plusieurs résultats
représentés dans l'effet de l'indice de réfraction sur la largeur de la bande interdite, et pour les
bandes optiques, il s'agissait de larges bandes de polarisation pour TE et de petites bandes de
polarisation pour TM. Les résultats des valeurs de transmission avec des indices de réfraction avec
des polarisations TE et TM nous permettent de les utiliser pour calculer la sensibilité de notre

71
 Conclusion Générale

capteur, et la propagation de la lumière n'était que dans notre cavité, c'est-à-dire que la cavité
fournissait un fort confinement à lumière, permettant de détecter des espèces chimiques
caractérisées par des dimensions nanométriques.

Dans ce travail, nous avons traité le sujet des capteurs à cristaux photoniques planaires afin
de l'étudier, en essayant de nous essayons de créer de nouveaux horizons pour ce type de capteurs
afin de résoudre d'autres problèmes et difficultés de cette vie, et également de faire la lumière sur
les cristaux photoniques et préciser leur rôle, leurs caractéristiques et leurs types, et le vaste champ
de recherche que ces cristaux ouvraient aux scientifiques.

72
Résumé :
Les cristaux photoniques (PC) ou les matériaux à matériaux à bandes interdites photoniques (BIP) sont des
structures artificielles avec une structure à l'échelle nanométrique caractérisée par une constante
diélectrique (indice de réfraction) qui change périodiquement à l'échelle de la longueur d'onde dans
plusieurs directions de l'espace. Ces propriétés le rendent intéressant pour de nombreuses applications en
optique. Dans ce contexte, l'objectif de ce travail est d'étudier les capteurs à cristaux photoniques, et pour
y parvenir, Basé sur la méthode de différence finie dans le domaine temporel (FDTD) et la méthode
d'onde plane (PWE) en utilisant du logiciel OptiFDTD, nous avons étudié les bandes interdites
photoniques d'une structure hexagonale. Nous avons réalisé une cavité cristalline optique en retirant deux
tiges de silicium remplis d'air, puis nous avons étudié le confinement de la lumière et la position du pique
de transmission pour la polarisation TE et TM. Le travail effectué a conduit à la réalisation d'un capteur à
base de cristaux photonique qui permet la détection de produits chimiques espèces caractérisées par des
dimensions nanométriques. Nous proposons également une autre structure d'un cristal photonique afin de
comparer la sensibilité d'une autre structure, et cette structure représente deux guides d'ondes couplés au
centre avec une cavité. La sensibilité de cette structure est calculée en comparant l'indice de réfraction
avec l'indice de réfraction de la cavité, et la longueur de résonance du pic au niveau de cette structure avec
la longueur de la cavité résonnante. Les capteurs basés sur l'indice de réfraction sont la classe la plus
courante de capteurs PhC.
Mots clés : Cristaux photoniques, capteurs, FDTD, PWE, Opti-FDTD, TE, TM.
Title: Study of planar photonic crystal sensors
Abstract:
Photonic crystals (PCs) or photonic band gap materials (PBMs) are artificial structures with a nanoscale
structure characterized by a dielectric constant (refractive index) that changes periodically on the
wavelength scale in several directions in space. These properties make it interesting for many applications
in optics. In this context, the objective of this work is to study photonic crystal sensors, and to do so, based
on the finite difference time domain (FDTD) and plane wave (PWE) methods using OptiFDTD software,
we have studied the photonic band gaps of a hexagonal structure. We realized an optical crystal cavity by
removing two silicon rods filled with air, then we studied the confinement of the light and the position of
the transmission peak for TE and TM polarization. The work carried out led to the realization of a sensor
based on photonic crystals which allows the detection of chemical species characterized by nanometric
dimensions. We also propose another structure of a photonic crystal in order to compare the sensitivity of
another structure, and this structure represents two waveguides coupled at the center with a cavity. The
sensitivity of this structure is calculated by comparing the refractive index with the refractive index of the
cavity, and the resonant length of the peak at this structure with the length of the resonant cavity.
Refractive index-based sensors are the most common class of PhC sensors.
Keywords: Photonic crystals, sensors, FDTD, PWE, Opti-FDTD, TE, TM.
‫ دراسة مستشعرات البلورات الضوئية المستوية‬:‫العنوان‬
:‫الملخص‬
)‫) هي هياكل اصطناعية ذات بنية نانوية تتميز بثابت عازل (معامل االنكسار‬BIP( ‫) أو مواد فجوة النطاق الضوئية‬PC( ‫البلورات الضوئية‬
‫ هذه الخصائص تجعلها مثيرة لالهتمام للعديد من التطبيقات في‬.‫يتغير بشكل دوري على مقياس الطول الموجي في عدة اتجاهات في الفضاء‬
‫ استنادا إلى المجال الزمني‬،‫ ولتحقيق ذلك‬،‫ الهدف من هذا العمل هو دراسة المستشعرات البلورية الضوئية‬،‫ في هذا السياق‬.‫مجال البصريات‬
‫ درسنا نطاقات الفوتونات الضوئية لهيكل‬OptiFDTD ‫) باستخدام برنامج‬PWE( ‫) وطريقة الموجة المستوية‬FDTD( ‫للفرق المحدود‬
‫ ثم درسنا حصر الضوء وموقع ذروات‬،‫ قمنا بعمل تجويف بلوري ضوئي عن طريق إزالة قضيبين من السيليكون مملوءين بالهواء‬.‫سداسي‬
‫ وأدت االعمال المنجزة لتحقيق كاشف يعتمد على البلورات الضوئية يسمح باكتشاف األنواع الكيميائية التي‬، TM‫و‬TE ‫االرسال الستقطابين‬
‫ ويمثل هذا الهيكل دليلين موجيين مقترنين في‬،‫ أيضا نقترح بنية أخرى لبلورة فوتونية من أجل مقارنة حساسية بنية أخرى‬.‫تتميز بأبعاد نانوية‬
‫ وطول الرنين للذروة عند هذا‬،‫ يتم حساب حساسية هذه البنية بمقارنة معامل االنكسار مع معامل االنكسار الخاص بالتجويف‬.‫المركز بتجويف‬
.‫ شيوعا‬PhC ‫ تمثل المستشعرات القائمة على مؤشر االنكسار أكثر فئات مجسات‬.‫الهيكل مع طول التجويف الرنيني‬
.TM ،TE ،Opti-FDTD ،PWE ،FDTD ،‫ أجهزة االستشعار‬،‫ البلورات الضوئية‬:‫الكلمات الرئيسية‬