04extrait Physique Electronique
04extrait Physique Electronique
Le bouton clic qui peut apparaître sur certaines pages indique qu’elles ne sont pas terminé[Link] suffit de cliquer
dessus pour progresser dans la page.
Les liens hypertexte permettent une connexion directe sur des pages précises. Ils apparaissent en bleu souligné
avant d’avoir été visités et en rouge souligné après.
Une liste des constantes physiques et des caractéristiques des différents matériaux semi-conducteurs est accessible
pour la rédaction des exercices.
La liste des symboles permet d’expliciter chacun d’entre eux. Elle renvoie systématiquement à la page d’ou l’on vient.
Plan Général
Du Sable à la
Puce
• Introduction
• Bienvenue
• Démarche Pédagogique
• Objectifs
• Position du problème
• Un point d’histoire
C’est une approche graduelle de la physique des composants permettant une bonne
compréhension de leur fonctionnement ainsi que des limitations des circuits dans lesquels
ils sont utilisés.
Plan Général
Démarche Pédagogique
Ce support de formation a été conçu dans le cadre d’une pédagogie par objectifs.
Il repose sur un cours à plusieurs niveaux et des exercices représentatifs de l’ensemble du savoir et du savoir faire à acquérir.
Le 1er niveau est nécessaire à la réalisation des exercices.
Les niveaux suivants correspondent à des approfondissements accessibles à l’aide de liens hypertextes; ils ne
sont pas indispensables en 1ère lecture mais permettent d’acquérir une vision plus globale de la discipline et font partie de la
connaissance nécessaire à un Ingénieur.
Plan Général
Objectifs du Cours
L’objectif général de ce cours est de comprendre le fonctionnement des
composants semi-conducteurs. Il doit permettre de savoir « Dimensionner » un
composant en vue d’une application précise et de comprendre les limitations
inhérentes à ce dimensionnement.
Plan Général
Position du problème
La résolution d’un problème passe généralement par la réponse à trois questions qui sont illustrées ci dessous.
- De quoi est ce que je dispose? Ce sont généralement toutes les données ou des constantes physiques, électriques…etc.
La méthode de résolution que nous adopterons consiste à partir du résultat escompté (généralement représenté
par une expression mathématique ou pouvant s’y rattacher) et à décomposer logiquement les calculs pour
redescendre jusqu’aux données. Arrivé à ce stade, il suffira de refaire le chemin inverse.
Plan Général
Constantes Physiques et électriques
Constantes Physiques générales
k (Constante de Boltzmann)= 8,619 10 –5 eV/°K UT=kT/q = 25,857 mV; (26 mV à 300 °K)
Ge Si As Ga
Largeur de bande interdite EG (eV) 0,66 1,12 1,43
Densité effective d’états (cm –3)
- dans la bande de Conduction NC 1,04 10 19 2,8 10 19 4,7 10 17
- dans la bande de Valence NV 6,1 10 19 1,02 10 19 7 10 18
Concentration Intrinsèque ni (at/cm3) 2,4 10 13 1,6 10 10 1,1 10 7
Mobilités pour un matériau Intrinsèque (cm2/Vs)
- électrons mn 3900 1500 8500
- trous mp 1900 600 400
Plan Général
Un point d’histoire
L’histoire de la Physique des Composants et des Circuits Intégrés qui en sont un des aboutissements peut se
décomposer en plusieurs phases.
-1833 FARADAY
•Conductibilité du sulfure d’Argent en fonction de la température
variant à l’inverse des autres métaux.
-1873 WILLOUGBY-SMITH
•Conductibilité du Sélénium variant avec l’éclairement
Découverte de la couche d’inversion 1959 HOERNI et NOYCE qui avaient quitté Schokley pour
Fairchild déposent un brevet de principe sur la technique PLANAR
OHL, SCAFF et THEURER encore utilisée à ce jour. NOYCE fondera « INTEL » avec les
revenus de ce brevet.
Silicium dopé (Bell Téléphone)
1960 HOFSTEIN et HEIMANN aux USA
1943 K.L HOROWITZ
Mise au point du JFET
Caractérisation totale du Germanium
GROSVALET en France Mise au point du MOST
1947 BRATTAIN et BARDEEN
Découverte du transistor à pointe 1962 Premier Circuit Intégré!
E
Les droites du diagramme ne représentent pas un état énergétique
2p6
E1 mais un ensemble d’états très voisins.
2s2 2 pour le niveau s
E2
6 pour le niveau p
Plan Général
Nombres quantiques et classification périodique des éléments
La classification des éléments nécessite, afin de pouvoir différentier l’ensemble d’entre eux, l’utilisation de quatre nombres:
Le nombre quantique principal n => 1, 2, 3, ; il définit la couche du tableau de Mendeleïev (K, L, M, N, …),
Le nombre quantique orbital (secondaire) l => 0, 1, …, n-1 ; il définit la sous couche (s, p, d, f, g, …),
Le nombre quantique magnétique m => -l…0…+l ,
Le nombre quantique de spin s => +1/2 ou –1/2.
Les deux premiers nombres (n,l) définissent les niveaux d’énergie alors que l’ensemble des trois premiers (n, l, m) caractérisent les états
quantiques. Ces derniers peuvent comporter deux électrons de spin antiparallèle.
On peut donc, à partir de ces considérations, dresser un tableau faisant apparaître le nombre d’électrons possibles par couche
Exemple: Hydrogène Z=1 (1 électron) n=1, l=0, m=0 Couche incomplète 1s1
Hélium Z=2 (2 électrons) n=1, l= 0, m=0 Couche complète 1s2
Bore Z=5 (5 électrons) n=2, l=0, 1, m= -1, 0, 1 Couche externe incomplète 1s2, 2s2, 2p1
Silicium Z=14 (14 électrons) n=3, l=0, 1, 2, m= -2, -1, 0,1,2 1s2, 2s2, 2p6, 3s2, 3p2
Le Matériau semi-conducteur Intrinsèque
• 1-2 - Atomes liés, bandes d’énergie
•a)-Formation des bandes
Pour qu’il y ait apparition de « bandes d’énergie », il faut que cette dernière puisse varier de façon continue ce qui n’est pas le cas
d’un atome isolé. Supposons maintenant que nous ayons un ensemble de N atomes (N très grand) suffisamment éloignés de manière
à ce qu’ils puissent être considérés comme indépendants (cas d’un gaz).l Le principe d’exclusion de PAULI s’appliquant
séparément à chacun, il existe donc autant d’ électrons dans le même état énergétique qu’il y a d’atomes.
Si nous rapprochons ces N atomes, le principe précité ne s’applique plus à chacun séparément mais à l’ensemble des N atomes car
ils dépendent maintenant les uns des autres. A chaque niveau permis va correspondre maintenant N niveaux pouvant contenir chacun
2 électrons. Pour N de l’ordre de 10 22 cm –3 (ce qui correspond sensiblement à la densité d’atomes d’un matériau standard), on peut
considérer qu’il existe une bande d’énergie (voir ci après).
E E
Bande
d’énergie
La distance inter-atomique d0 correspondant à la maille élémentaire du cristal définit la largeur de la bande permise. Ceci se
produit pour des distances inter-atomiques faibles (de l’ordre de quelques angstrœms) correspondant aux principaux
matériaux.
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Intrinsèque
La figure suivante illustre schématiquement la multiplication des niveaux à partir de deux niveaux uniques 2s et 2p. L’orbite 2s étant
intérieure à l’orbite 2p, les interactions apparaissent plus tôt sur la seconde.
E 2p E
Bande Permise
2s Bande Interdite
Bande Permise
d0
Pour visualiser le cas du Diamant, cliquer ici
Distance inter-atomique
On remarque donc l’apparition de deux bandes permises séparées par une bande interdite.
« Gap »
Plan Général
Cas du Diamant
Le Diamant est constitué de Carbone pur cristallisé. Sa formule atomique est: 1s2 2s2 2p2. Les niveaux 2s et 2p correspondant à la couche
externe sont appelés « niveaux de valence ». Ils peuvent accepter au total 8 électrons: 2 sur le niveau 2s, 6 sur le niveau 2p.
L’atome de Carbone n’en possédant que quatre, peut donc en accepter Quatre de plus et
donc se lier avec quatre atomes voisins afin de former un cristal. La couche externe sera Atome de Carbone
donc une couche pleine.
Lorsqu’on met en présence un grand nombre (N) d’atomes de même type et qu’on les
rapproche, pour des distances suffisamment faible on constate l’apparition des bandes
d’énergie. Lorsque la distance devient inférieure à d1, les bandes se chevauchent. Les N
niveaux 2p de la bande supérieure passent dans les niveaux 2s. Si on continue a
rapprocher les atomes, les bandes se séparent à nouveau (voir figure ci dessous).
2N niveaux 2p libres
E Bande de Conduction
3N niveaux 2p
EC
Bande Interdite
EV
2N niveaux (N 2s, N2p occupés)
Bande de Valence
2N niveaux 2s
d
d2 d1
La présence d’une bande interdite dans le diagramme d’énergie signifie qu’il faut communiquer aux électrons de valence une énergie
supérieure à la largeur de la bande interdite pour les faire passer dans un état excité (les places possibles se situant dans la bande de
conduction). Ils pourront alors, comme dans le cas du métal, participer à des phénomènes de conduction.
Il existe donc un seuil d’énergie au dessous duquel le matériau se comporte comme un isolant. Ce seuil correspond au « Gap »:
EG = EC – EV
}
Germanium (Ge) 0,67 eV
Silicium (Si) 1,12 eV Semi-conducteurs
Arséniure de Gallium (As Ga) 1,40 eV
Dans le cas des isolants, l’énergie nécessaire pour faire passer un électron dans un état excité est supérieure à celle assurant la
cohésion du cristal. De ce fait, il y aura destruction du matériau avant que de pouvoir générer des électrons libres.
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Intrinsèque
• 1-3 - Répartition des porteurs sur les états quantiques, Niveau de FERMI.
Les répartitions de porteurs obéissent à des lois qui peuvent dépendre du type de particules.
Trois types de lois peuvent être utilisées:
E m
__
•La statistique de BOLTZMANN qui s’applique aux gaz parfaits n n exp
0 kT
__
•La statistique de FERMI-DIRAC pour les particules de spin nn 0
1
E m
1exp
demi-entier kT
__
•La statistique de BOSE-EINSTEIN pour les particules de spin n n 0
1
E m
entier (photons, phonons). exp 1
kT
Le cas qui nous intéresse correspond à celui des électrons et suit donc la statistique de FERMI-DIRAC.
(E) 1
f E E F
1exp
n
kT
Cette expression fait apparaître un niveau énergétique EF qui correspond à une probabilité de présence égale à ½: f (E F) 1
n 2
Ce niveau correspond, au zéro absolu, à la séparation entre les niveaux vides et les niveaux pleins. On parle parfois « d’énergie
moyenne » ou de « taux moyen de remplissage ».
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Intrinsèque
Si on trace la fonction correspondante, on obtient:
f n
(E)
T = 0 °K
Pour une température égale à 0°K 1
T1
Pour une température T1
1/2 T2 > T1
Pour T2 > TI
Dans le cas de matériaux semi-conducteurs, on peut assurer que le niveau de FERMI se trouve dans la bande interdite. En effet, au
zéro degré absolu, la bande de valence est pleine et la bande de conduction vide;
En considérant que le niveau de FERMI est situé au milieu de la
(EC)0
f
f
n
n
(EV)1 } => EV < EF < EC
bande interdite, ce qu nous justifierons plu loin, on peut calculer la
probabilité de présence d’un électron sur le niveau EC pour
différentes températures.
Exemple du Silicium:
EG = 1,12 eV
{ 5,35 10 –36 à 80 °K EC
k = 8,619 10 –5 eV/°k EF
f (E C) 3,92 10 –10 à 300 °K 1,12 eV
n
EV
5,36 10 –7 à 450 °K
Ces probabilités de présence sont donc très faibles et varient énormément en fonction de la température.
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Intrinsèque
Le calcul précédent amène à une conclusion très intéressante; on peut remarquer que, quelle que soit la température, le terme
E E F
exp est toujours très grand devant 1. On peut donc simplifier la fonction probabilité de présence qui devient
kT
E E F
(E) exp
f kT
(E) 1
f n E E F
===== n
1exp
kT
électron L’apport d’énergie peut donc, en satisfaisant la condition définie ci dessus, casser
une liaison faisant ainsi apparaître une liaison manquante (trou) et un électron
libre. Ces deux entités vont pouvoir, sous l’action d’une force extérieure (champ
Si Trou
électrique), se déplacer donnant naissance à des courants électriques. Ces charges
étant de type opposé et se déplaçant en sens contraire donnent naissance à des
courants additifs.
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Intrinsèque
2 – Matériau Intrinsèque, Densité d’états.
•Définition Par matériau Intrinsèque on entend un matériau idéal, dépourvu de toute impureté et dont la structure cristalline est
parfaite. Le Silicium cristallise dans une structure de type « Diamant » c’est à dire Cubique faces centrées décalé d’un quart de
diagonale.
•La caractéristique principale d’un semi-conducteur intrinsèque est la densité des électrons et des trous libres. Ces densités sont
__ __
égales et sont représentées par les lettres:
n pour les électrons, p pour les trous.
__ __
A l’équilibre thermodynamique on peut écrire: n p
=
La barre située au dessus de la lettre indique
que l’on est à l’équilibre thermodynamique.
•Calcul de la densité des porteurs dans les bandes permises, à l’équilibre thermodynamique.
L’existence d’un porteur, dans un matériau, doit satisfaire simultanément deux contraintes:
- probabilité de présence non nulle,
- nombre d’états possibles non nul.
Si nous nous plaçons dans la bande de conduction, nous pouvons écrire, autour d’une énergie E: dE
__
d n n(E)* (E) n(E) représentant la fonction densité d’états.
dE fn
Le nombre d’électrons s’en déduit par une intégration. Sur la bande de conduction.
_ _
n n(E)* f n(E) dE
d n
EC EC
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Intrinsèque
Ce calcul fait appel à des notions de mécanique quantique et pourra être détaillé en annexe (cliquer ici pour le visualiser). Le résultat s’écrit
:
h kT
exp ( ECEF ) Qui est la probabilité de présence d’un électron sur le niveau EC : f n
(E c)
kT
3
N = 23 *(2 m k T) 2 Qui est la densité d’états sur le niveau EC.
h
Tout se passe comme si la bande de conduction se ramenait à un seul niveau énergétique d’énergie E C
possédant N états possibles.
Ces relations sont toutefois des relations approchées mais qui sont bien suffisantes pour décrire le comportement des dispositifs à
semi-conducteurs. En toute rigueur, la masse affectée aux particules n’est pas leur masse au repos (m0 = 9,1 10 –28 g ), mais leur
masse en mouvement appelée « masse effective ». Cette dernière, qui résulte d’un calcul compliqué, est fonction de l’énergie de la
particule c’est à dire de sa position dans la bande.
Les valeurs moyennes couramment admises sont:
mc = 1,05 m0 pour les électrons,
mv = 0,62 m0 pour les trous.
Dans la majorité des cas et sauf indication contraire, nous prendrons mc = mv = m0. On en déduit une densité d’états qui vaut:
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Intrinsèque
•3 – Densité Intrinsèque, Niveau de Fermi, densité des porteurs en fonction de T°.
Compte tenu du calcul précédent, nous avons montré que les densités de porteurs s’écrivaient:
h kT
3
p 23*(2 mkT) 2 exp ( EF EV )
h kT
Le produit de ces deux densités possède une propriété très intéressante. On peut en effet remarquer qu’il est indépendant
de la position du niveau de Fermi. C’est une constante à température donnée. C’est la loi d’action de masse.
h kT kT
n* pni
2
{
Germanium (Ge) 2,5 10 13 cm –3
Par exemple, à 300 °K, les valeurs de ni sont: Silicium (Si) 1,6 10 10 cm-3
Arséniure de Gallium (As Ga) 1,1 10 7 cm-3
•Justification de la position de niveau de Fermi.
Nous avons émis l’hypothèse que, dans un semi-conducteur intrinsèque, le niveau de Fermi se trouvait au milieu de la bande
interdite. Nous pouvons, à partir des équations établies, justifier cette hypothèse. Il suffit d’égaler les expressions donnant les
densités de porteurs. Nous pouvons remarquer que, si les masses effectives étaient égales, le niveau de Fermi se trouverait
strictement au milieu de la bande interdite. En réalité, on obtient:
Compte tenu des valeurs des masses effectives, ce décalage vaut EF EC EV 3kT Ln mc EI 3kT Ln mc
2 4 mv 4 mv
à température ambiante, dans le cas du Silicium:
1,04 10-2 eV ce qui est négligeable.
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Intrinsèque
•Densité des porteurs en fonction de la Température.
La température est un paramètre important car elle intervient de manière directe dans les différents termes de la fonction qui définit
la densité des porteurs dans les bandes. Toutefois, son influence peut être différente suivant le type de fonction dans laquelle elle est
présente. L’expression de la densité intrinsèque des porteurs s’écrit:
n* pni N 2*exp EG
2
kT
Dans cette expression, T apparaît de manière explicite dans le terme exponentiel mais aussi dans le terme Densité d’états (N2 ). En
effet, si on développe ce dernier, il s’écrit:
2 3
N 46 *(2 mk) *T
3
h
L’expression de la densité intrinsèque peut donc se mettre sous la forme: ni Cte*T 3*exp EG
2
kT
1 ni
2
La sensibilité à la température se met en évidence en calculant la variation relative
ni T
2
{
Germanium (Ge) 9,63% / °K
On peut donc calculer cette variation relative
1 n
2
autour de la température ambiante pour les i
Silicium (Si) 15,4% / °K
ni T
2
principaux éléments précités. On obtient:
Arséniure de Gallium (As Ga) 19,04% / °K
On constate donc une grande sensibilité par rapport à la température.
Plan Général
Calcul de la sensibilité en température
L’expression des densités de porteurs s’écrit:
3
ni N 2*exp EG 3
ni 46*(2 mk) *T *exp EG
2 3
N 46 *(2 mk) *T
2
avec 2 3 soit:
kT h h kT
ni2 4
6*(2 mk) *T 3*exp EG 3 EG
2 3
On peut dans cette équation mettre ni en facteur.
t kT 2
h T kT
2
Il suffit donc de diviser les deux termes par ni pour obtenir:
1 ni 3 EG
2
ni t T kT 2
2
Plan Général
Calcul de la densité des porteurs dans les bandes
Ce calcul s’entend dans des conditions d’équilibre thermodynamique c’est-à-dire pour un matériau homogène et une température constante.
En mécanique quantique, on associe une onde à une particule. La fonction caractéristique correspondante s’écrit, dans le cas d’un
modèle unidimensionnel:
x,t [Link]kxt dans lequel: =2n est la pulsation, k=2/l est le vecteur d’onde.
En intégrant cette relation on obtient: pdk k Cette relation est connue sous le nom de Relation de De Broglie
p d 2
On peut tirer de tout cela la relation liant l’énergie et le vecteur d’onde. v k soit d kdk kdk k
m dk m m m 2m
Comme: E
2 2
on obtient : E k Pour les électrons de la bande de conduction on aura
2 2
E k EC
2m 2m
Plan Général
Calcul de la densité des porteurs dans les bandes
•Généralisation à trois dimensions.
Dans un espace tridimensionnel,un vecteur d’onde peut se décomposer suivant les trois axes: les composantes de base s’écrivent:
kx 2 nx ky 2 ny kz 2 nz avec: n(x), n(y), n(z) nombres entiers positifs, négatifs ou nul
Lx Ly Lz
2 2 2 2
On peut donc associer 8 vecteurs d’onde à chaque état
L’énergie s’écrit alors: Enx,ny,nz nx2 ny2 nz2 EC énergétique. On parlera de dégénérescence d’ordre 8 pour
2m Lx Ly Lz
l’énergie.
kz
La figure suivante montre une représentation des sites possible
pour les électrons en fonction des valeurs de k. On a noté avec
des couleurs différentes les sites possibles correspondant à des
plans définis par des valeur de ky constantes.
Le nombre d’états possibles peut s’exprimer par la relation:
Plan Général
Calcul de la densité des porteurs dans les bandes
__
La probabilité de trouver un électron d’énergie comprise entre E et E+dE s’écrit: d n n(E)* (E)
dE fn
La dualité énergie vecteur d’onde s’écrit: nEdEnk dVk
Le volume élémentaire, dans l’espace des vecteurs d’onde est une sphère de rayon k.
2
k
1 k dk or: k 2 2mE
d’ou; dVk 4 k dk
2
4
Vk k 3 2
nk dVk 4 k dk 2 z
3 4 3 2
_
2E 2 m 2 dE
_
23
3
kT Ec kT
EF E12 dE 2 2 m 2 exp EC EF exp EEC E12 dE En posant u = (E-Ec)/(kT), on obtient:
_ 212m32kT32
kT 2 exp ECEF 1
1 3 3
1
C EF
(Intégrale d’Euler).
exp E u 2
exp u du 2 2
m 2
1/2) vaut 2
n
2 3 2 3 2
kT Ec kT
En remplaçant par h
2
et en réduisant les termes, on obtient: _
3
EF
n 23 2 mkT exp ECkT
h
2
N 23 2 mkT 2
h
3
Tout se passe comme si la bande de conduction se ramenait à un seul niveau possédant N états possibles.
Plan Général
1-B:Le Matériau semi-conducteur Extrinsèque
1 – Densité des porteurs
1 –1 Niveaux d’énergie introduits par les impuretés et les imperfections du cristal.
Les cristaux de silicium (de germanium ou d’arséniure de gallium…) utilisés pour la fabrication des composants et des circuits
intégrés, contiennent de nombreuses imperfections consistant en impuretés ou en défauts de cristallisation du réseau. Certaines de
ces impuretés seront d’ailleurs introduites volontairement dans le réseau afin de conférer au matériau des propriétés particulières.
Les impuretés néfastes proviennent soit du matériau de base, soit de la chaîne de traitement permettant l’obtention du cristal.
Nous avons vu dans ce qui précède que la densité intrinsèque des porteurs vaut, pour le silicium: ni = 1,6 10 10 cm-3. Pour que les
impuretés puissent être considérées comme négligeables dans ce matériau, elles doivent être en quantité beaucoup plus faibles
(1/100, 1/1000 …), soit des densités de l’ordre de 10 7 ou 10 8 cm -3. On peut comparer ce chiffre avec le nombre d’atomes de
silicium par cm 3. Celui-ci se calcule aisément à partir de la connaissance du système de cristallisation du silicium.
Le silicium cristallise dans un système « cubique faces centrées » décalé d’un
quart de diagonale. La figure ci contre montre la structure de la maille de base.
L’arête du cube vaut 5,43 Angstrom. Un rapide calcul s’appuyant sur la
cristallographie montre que cette structure correspond à 8 atomes par maille. On
peut donc calculer le nombre d’atomes par cm 3 dans un cristal de silicium. Il vaut:
Le matériau intrinsèque, au sens étymologique du terme n’existe donc pas. Il permet toutefois de définir une constante
extrêmement importante qui est la densité intrinsèque ni.
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Extrinsèque
Toutes ces imperfections (impuretés résiduelles, défauts de cristallisation,…) perturbent localement la périodicité du potentiel et, de ce
fait, introduisent des niveaux énergétiques qui peuvent être accessibles aux électrons. Par opposition avec les niveaux correspondant au
matériau pur, nous parlerons de « niveaux extrinsèques ». On peut généralement admettre que ces imperfections étant en nombre
relativement faibles par rapport au nombre d’atomes du réseau, elles génèrent des niveaux discrets et non des bandes d’énergie.
Dans tout ce qui suit, nous nous intéresserons à des matériaux qui satisfont cette condition (matériaux non dégénérés).
Les niveaux extrinsèques peuvent se situer soit dans les bandes permises, soit dans la bande
interdite. Leur influence sur les caractéristiques du matériau seront totalement différentes.
Les niveaux apparaissant dans les bandes permises auront très peu d’effet compte tenu de leur
dilution. Ils viennent se rajouter au niveaux intrinsèque qui sont en nombre très important par
rapport à eux ( 1000 à 100000fois plus).
Par contre, en ce qui concerne les niveaux apparaissant dans la bande interdite, leur influence va être très importante. On pourra toutefois
les classer en deux catégories suivant leur position dans la bande interdite:
- Niveaux de bords de bande ou « Shallow levels »,situés à quelques centièmes d’Électron Volt de EC ou EV,
- Niveaux profonds ou « Deep levels », situés vers le milieu de la bande interdite.
La figure ci dessous montre, à titre d’exemple, les différents niveaux extrinsèques qui apparaissent dans la bande interdite du
silicium. On remarquera le nombre important de niveaux et le fait que certains corps donnent naissance à plusieurs niveaux.
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Extrinsèque
•Les niveaux profonds: Ce sont généralement des métaux. Ils peuvent avoir une action sur la conductivité du matériau (compensation de
l’effet des niveaux de bord de bande), mais leur rôle le plus important se situera au niveau de la durée de vie des porteurs en excès.
•Les niveaux de bord de bande: Distants de moins de 0,1 eV de Ec ou Ev, ils peuvent interagir facilement avec les bandes permises et
conditionnent la conductivité extrinsèque du matériau. Ils vont permettre de générer soit des électrons soit des trous. Ce sont, pour le
silicium, surtout le Phosphore, le Bore, le Gallium, l’Aluminium…
Nous allons, dans un premier temps, nous intéresser à ce deuxième type de niveaux et plus particulièrement, au Bore et au Phosphore dans
le silicium. Ces deux impuretés appartiennent, dans la classification périodique de éléments, aux colonnes adjacentes à celle du silicium:
colonne III pour le Bore, colonne V pour le phosphore. Ils possèdent donc soit un électron de plus, soit un électron de moins que le silicium.
De plus, ils se situent très près des bords de bandes: 0,O44 eV de Ec
pour le Phosphore, 0,045 eV de Ev pour le Bore, (Figure ci contre).
Considérons le cas du Phosphore dans le silicium. Ec
ED (Phosphore)
Si on introduit une quantité relativement faible de phosphore dans le silicium, celui-ci 0,44 eV
EG = 1,12 eV
va se substituer à des atomes de silicium. Or, il possède 5 électrons de valence. Quatre
d’entre-eux vont être utilisés pour les liaisons avec les atomes voisins et le cinquième 0,45 eV EA (Bore)
pourra facilement être libéré compte tenu du faible écart d’énergie entre le niveau ED et Ev
la bande de conduction. Soit ND la concentration en atomes de phosphore; Un faible
apport d’énergie va libérer l’électron excédentaire qui va passer sur le niveau de
conduction et de ce fait devenir libre. Cela se traduit par : ND + énergie ND+ + 1 e-
Il y a donc apparition de deux types de charges: ND+ qui est un Ion positif totalement
stable car il possède 8 liaisons de valence et un électron qui pourra très facilement
Si être libéré afin de participer au processus de conduction.
5ème Le processus est similaire avec le Bore. Ce dernier n’ayant que 3 électrons de valence
électron
P peut en accepter un quatrième provenant de la bande de valence. Il devient alors Ion
négatif stable et fait apparaître un trou. NA + énergie NA- + 1 trou
Ce processus, appelé « Dopage » permet de générer de électrons OU des
trous et confère un caractère spécifique au matériau qui sera dit de type
N ou de type P.
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Extrinsèque
Le processus de dopage permettant de générer un trou est matérialisé sur la figure ci Si
contre. La liaison manquante due au fait que le bore ne comporte que trois électrons de Liaison
valence permettra, lorsque cette liaison sera comblée par un électron d’un autre atome de manquante
générer un ion négatif stable et un trou qui s’est déplacé participant ainsi au passage B
B-
d’un courant électrique. En fait, le déplacement d’un trou correspond à celui d’un Déplacement du trou
électron qui saute de liaison en liaison.
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Extrinsèque
Détermination de la loi de variation de la densité des porteurs en fonction de la température:
Les trois zones définies précédemment permettent de déterminer les équations des assymptôtes à la courbe Ln(n)= f(1/T).
Zone Intrinsèque.
Lorsque la température devient suffisamment élevée, il est possible de faire passer des porteurs de la bande de valence à la bande de
[Link] génère alors des paires électron-trou. La bande de valence permettant de créer un nombre très important de porteurs ,
ceux issus du niveau donneur sont rapidement en quantité négligeable et le matériau se comporte alors comme un matériau intrinsèque.
L’intersection des assymptôtes permet de déterminer les températures T1 et T2 qui limitent les différentes zones. Il faut donc calculer les
valeurs correspondantes afin de positionner la température ambiante. Le calcul montre qu’elle se situe sur le plateau, dans la zone
d’épuisement (cliquer ici pour le calcul complet). La courbe représentative est tracée en bleu.
Plan Général
Equation des assyptôtes à la courbe Ln(n)=f(T).
Dans la zone d’ionisation, la densité des atomes d’impuretés ionisées s’écrit: N D N D
1 N Dexp E DE F
1exp E DE F kT
Cette expression fait apparaître le niveau de Fermi dont on ne connaît pas la position. kT
Il faut donc disposer d’une deuxièmeéquation faisant intervenir celui-ci. C’est l’équation de définition de la densité des porteurs que nous
avons établi au début de ce cours. n N *exp ECEF En égalant ces deux expressions, on peut éliminer EF. On obtient alors la loi de
kT
variation n=f(T) dans cette première zone.
On obtient: Ln(n) 1 Ln(NN D) ECED On a donc une droite de pente EC E D Et d’ordonnée à l’origine: 12 Ln(NN D)
2k
2 2kT
La zone d’épuisement des donneurs permet d’écrire: Ln (n) Ln(N D)
Pour la zone intrinsèque, le niveau de Fermi se situe au milieu de la bande interdite donc, EF = (EC-EV)/2. En reportant dans l’équation qui
donne n, on obtient: Ln(n)Ln(N) E2CkTEV On obtient aussi une droite de pente ECEV et d’ordonnée à l’origine Ln(N) .
2k
La détermination des valeurs des températures limites des zones se fait en égalant deux à deux les équations.
Pour T1: Ln (N D) 1 Ln(NN D) ECE D soit: T 1 EC END
2 2kT1 kLn( )
ND
Ln(N D)Ln(N) ECEV
EC EV
Pour T2: soit: T 2
2kT 2 2kLn( N )
ND
Application numérique:
ND = 10 15 cm-3 On obtient:
On peut remarquer que la température ambiante est bien au milieu du plateau. Le matériau est donc stable
en température et on peut affirmer que, à température ambiante, toutes les impuretés sont ionisées.
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Extrinsèque
2 – Loi d’action de masse
Compte tenu du calcul précédent, on peut donc conclure que pour un semi-conducteur dopé, à température ambiante:
Cette relation ne fait intervenir que des constantes du matériau à une température donnée ( largeur
de bande interdite, nombre de places possibles sur les niveaux, constantes universelles),elle est donc
valable que le semi-conducteur soit dopé ou non.
En résumé:
• Matériau de type N
2
n N D p ni
ND La connaissance de la densité des atomes dopants donne les
densités des porteurs de chaque type
• Matériau de type P
2
n ni
p N A NA
Exemple:
• Silicium dopé N ( ni = 1,6 10 10 cm –3): ND = 10 16 cm-3; n = 10 16 cm-3 , p = 2,56 10 4 cm -3
Plan Général
Le Matériau semi-conducteur Extrinsèque
3 – Position du niveau de Fermi
A très basse température, les échanges se font entre le niveau donneur (ou accepteur) et la bande voisine. Le niveau de Fermi se
situe donc entre ces deux niveaux c’est-à-dire très près du niveau EC (ou EV). Le niveau de Fermi peut donc se situer dans toute
la bande interdite ( contrairement au matériau Intrinsèque ou il est au milieu). Sa position se calcule à partir de l’équation de
neutralité qui s’écrit:
n N A p N D
Cette équation n’a pas de solution analytique et se résout donc numériquement. Elle est très complexe. Cliquer ici pour le calcul
On peut avoir une idée du résultat en traçant les variations assymptôtiques des quatre termes de cette équation .
pN exp ( EFEV )
_
kT
CE F
_
nN exp ( E )
kT
N A N A f n(E A)
Point théoriquement
neutre
N D N D f p(ED)
n N A NA
p N D
ND
Ces différents termes, représentés en fonction de
l’énergie, dans la bande interdite, se coupent en
un point qui correspond à la position du niveau
de Fermi (neutralité).
Pour ce, on considère que la somme de deux
logarithmes est le logarithme du plus grand. EA
Ev EF ED Ec
Plan Général
Calcul de la position du niveau de fermi
La position exacte du niveau de Fermi est solution de l’équation:
n N A p N D 0
kT kT kT
n N exp ( ECEI ) exp ( EI EF ) ni exp ( EI EF )
_
kT kT kT
_ _
kT kT
n p ni exp ( EI EF ) exp ( EI EF ) 2 ni sh EI EF
kT
f n(EA) 1 exp EAEF exp EAEI exp EI EF
E AE F kT kT kT
1exp
kT
f
(ED)1 f (ED) 1 1
1 exp EDEI exp EI EF
1exp E E kT kT
p n
D
n p ND N A
F
kT
2 ni sh EI EF NA exp EAEI ND exp EDEI exp EI EF ND
kT kT kT kT
Plan Général
1-C:Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
1- Injection ou extraction de porteurs, durée de vie
Un semi-conducteur est dit à l’équilibre thermodynamique si sa température est constante, s’il est homogène et si les densités de porteurs
obéissent à la loi d’action de masse: n* pni2.
Lorsqu’on perturbe cet équilibre, on peut définir deux cas:
-Extraction de porteurs: n*pni
2
Le deuxième cas est le plus fréquent. L’injection peut se faire de différentes manières:
-Élévation de température,
-Utilisation d’un rayonnement ionisant,
-Injection à partir d’une électrode.
On peut classer les phénomènes d’injection en deux catégories suivant la valeur de la densité des porteurs injectés par rapport à la densité
des porteurs majoritaires dans le matériau.
-Faible niveau d’injection si la densité des porteurs injectés est faible par rapport à celle des majoritaires,
-Fort niveau d’injection si elle devient du même ordre de grandeur.
^ ^
On désignera par n et p les densités de porteurs en excès. Les densités totales pour un matériau hors d’équilibre s’écriront alors:
^ ^
n n n et p p p
Plan Général
Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
Les phénomènes de génération et de recombinaison sont illustrés ci-contre.
A l’équilibre thermodynamique, les densités étant constantes, on peut en
déduire que la génération et la recombinaison sont égales: g0 = r0.
Ec
Si g > r, on a augmentation de la densité des porteurs, c’est à dire injection.
g r
Si g < r, on a une diminution de la densité des porteurs, c’est à dire extraction. Ev
Ces mécanismes d’écart par rapport à l’équilibre s’effectuent avec une
constante de temps t appelée durée de vie des porteurs.
Or, la vitesse de recombinaison est proportionnelle aux densités de porteurs dans les bandes
F (un électron se recombinant avec un trou). On peut donc écrire:
r A p n (A est une constante de proportionnalité)
À l’équilibre, on peut écrire: r0 A p n
Si les densités de porteurs augmentent, la vitesse de recombinaison va aussi augmenter et on atteindra un nouvel équilibre dans
lequel les densités seront égales: p = n.
Plan Général
Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
^ ^
La vitesse de recombinaison sous éclairement vaudra: r A pn A( p p)(nn)
^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^2
Développons cette expression: r A pn A( pnn p) A( pn) or,pn et r0 A pn soit: rr 0 A( pn) p A p . Le matériau étant de
^ ^ ^ ^ ^2
Type N, pn p n
et si nous nous plaçons dans l’hypothèse de faible niveau d’injection, ( pn) pn p
soit: et:n p p .
^
L’équation précédente devient donc: rr0 A pn. Un nouvel équilibre sera atteint lorsque: g = r.
Le temps de retour à l’équilibre est voisin de 3t. Durée de vie des porteurs. t 1
An
Lors de la définition du matériau extrinsèque, nous avions défini deux types de niveaux se situant dans la bande interdite; les niveaux de
bord de bande qui interviennent dans le mécanisme de dopage et les niveaux profonds (situés vers le milieu de la bande interdite). Ces
derniers ont un rôle fondamental dans les mécanismes de génération-recombinaison. Ils peuvent en effet servir de relais pour le passage
des électrons et seront d’autant plus efficaces qu’ils se situent près du milieu de la bande interdite car les probabilités d’échanges avec
les bandes de valence ou de conduction (émission ou capture d’électrons) seront alors sensiblement égales
Plan Général
Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
Le Matériau semi-conducteur Intrinsèque
Considérons le cas d’un semi-conducteur dans lequel existe un niveau piège. Ce dernier va pouvoir capturer puis réémettre de électrons
après un certain temps correspondant au temps de piégeage. Les mécanismes d’échange avec les bandes permises son définis ci dessous.
Les mécanismes d’échange entre les bandes et le niveau piège peuvent se modéliser
par les quatre cas suivants:
Ec
-a) Capture d’un électron de la bande de conduction par un piège vide (c) (d)
Er
-b) Émission d’un électron vers la bande de conduction par un piège plein
(Nr)
(a) (b)
-c) Capture d’un trou de la bande de valence par un piège plein Ev
-d) Émission d’un trou dans la bande de valence par un piège vide
Les centres pièges vont servir de « catalyseur » à la recombinaison des électrons libres en capturant ceux de la bande de conduction
pour les réémettre vers la bande de valence (cas a et c). Les pièges peuvent aussi jouer le rôle de donneur (b) ou d’accepteurs (d). Le
temps pendant lequel l’électron reste « piégé » est plus ou moins long. C’est lui qui définit la durée de vie.
Nous allons, dans ce qui suit, modéliser les différents échanges afin d’en tirer une expression de la durée de vie des porteurs.
Toutefois, ce calcul est simplement indicatif car il ne met en œuvre qu’un seul niveau piège ce qui ne reflète que partiellement la
réalité. Les résultats obtenus sont malgré tout satisfaisants, l’écart par rapport aux mesures n’étant que de quelques pourcents.
Le flux d’électrons capturés par centimètres cubes et secondes est proportionnel à la concentration des électrons dans la bande de
conduction et à la densité de pièges vides (chargés positivement). Si nous appelons Cn le coefficient de proportionnalité, le taux de
capture Rcn s’écrit:
Rcn CnnNr(1 fn(Er))
Plan Général
Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
Émission d’un électron vers la bande de conduction par un piège plein
Ce taux dépend du nombre de places vides dans la bande de conduction et du nombre de pièges pleins (chargés négativement). Le
coefficient de proportionnalité sera noté En et le taux d’émission Ren.
Ren En(N n)Nr fn(Er)
A l’équilibre, on peut considérer que ces deux mécanismes se compensent ce qui permet de déterminer la relation liant Cn et En.
L’égalité Ren = Rcn donne: n 1 fn(Er)
EnCn avec fn(Er) 1
(N n) fn(Er)
1 exp( Er EF )
kT
N exp( EcEF ) N exp( Ec Er )
1 fn(Er) EnCn kT Er EF
kT Cn n
or exp( Er EF
) donc, exp( ) Cn
fn(Er) kT (N n) kT (N n) (N n)
Le terme n* représente la densité qui existerai dans la bande de conduction si le niveau de Fermi était confondu avec Er.
Lorsque le matériau est hors d’équilibre,Rcn et Ren sont différents; le flux d’électrons libres réellement capturés vaut:
Rn RcnRen CnNr[n(1 fn(Er))n fn(Er)]
Le même processus appliqué aux échanges avec la bande de valence permet d’écrire:
Rp RcpRep CpNr[ p fn(Er) p(1 fn(Er))]
En régime permanent, il y a égalité entre ces deux termes (pas d’accumulation ) soit, Rn = Rp.
^
La durée de vie s’écrit donc: RnRp
p
t Électron capturé
Les constantes Cn et Cp caractérisent la capacité d’un piège à capturer un électron (fig
ci contre). Elles sont fonction de la vitesse instantanée de l’électron (vitesse thermique
vth ~ 10 7 cm/s) et d’un terme appelé « section efficace de capture » qui traduit la sn
proximité du piège dans lequel doit passer l’électron pour être capturé. Cette section,
notée sn ou sp est de l’ordre de 10 –15 à 10 –16 cm2.
Électron dévié
Cn = sn <vth> de même, Cp = sp <vth>
Plan Général
Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
Dans l’hypothèse de faible niveau d’injection, l’excès de densité des porteurs est faible devant les densités d’équilibre. En posant:
t s v1 N et t s
n
n
th r n
p
1
vthNr
on obtient:
t
p p
t p nn t n
n p n p
Cette expression est connue sous le nom de « Formule de Hall-Schokley-Read » du non des trois chercheurs qui l’ont établie.
Elle peut s’approximer dans le cas de matériaux dopés. On obtient:
Le problème ne peut se traiter que dans le cas ou il n’existe aucune corrélation entre les différents niveaux (chacun d’entre eux est
considéré comme totalement indépendant des autres de manière à ne prendre en compte que ses échanges possibles avec les bandes).
On peut alors appliquer le raisonnement précédent à chacun d’entre eux.
Plan Général
Etude de la durée de vie
Problème.
Considérons un matériau semi-conducteur (Silicium) dopé phosphore dans lequel existe un niveau recombinant Er dont les
caractéristiques sont:
Position par rapport à la bande de conduction Ec – Er = 0,375 eV
Densité d’états sur le niveau recombinant: Nr = 10 13 cm-3
•1°) – Ecrire l’expression de la durée de vie de Hall-Schokley-Read en fonction des deux variables qui sont:
EI EF EI Er
UF , Ur
kT kT
Plan Général cc
Etude de la durée de vie
Solution.
p p
t p n n t n
1°)-La durée de vie est donnée par l’expression de Hall-Schokley-Read qui s’écrit: t n p n p
p
e e
UF UF Diagramme d’énergie du matériau
Calcul de la valeur de Ur: à 300 °K, kT = 26 10 –3 eV, EG = 1,12 eV. Ur = (Ei-Er)/kT Ur = - (0,56-0,375)/26 10 -3 = -7
2°)- UF Ur , UF 0 Le niveau de Fermi se trouve au dessous du niveau intrinsèque donc, le matériau est de type P.
t s 1v N et t s
UR UR
t t t n eeUF t n , car eeUF 0
UF 1
e or,
p
e
UF n
n
th r p
p
vthNr
En reportant les valeurs numériques, on obtient: t n
100 ms et t 10 ms
p
Conclusion: pour un matériau de type P la durée de vie est celle des électrons (porteurs minoritaires).
t t n
100 ms
t t p
10 ms
UF 0 Le niveau de Fermi est confondu avec le niveau intrinsèque donc, le matériau est Intrinsèque.
3°)-Si le centre recombinant se situe au milieu de la bande interdite, Ur = 0. Il s’en suit exp(Ur) =1 d’ou:
4°)-S’il n’y avait pas de centre recombinant, tout se passerait comme si ce centre se trouvait dans une des
bandes permises; à la limite sur EC ou EV.
Dans le cas d’un matériau intrinsèque (UF = 0), la durée de vie devient: t 12 t p
exp ( EG ) 1,13104 s
2kT
Cela correspond environ à 3 heures et 8 minutes, ce qui est énorme et inconcevable. Ce type de matériau, s’il existait, ne
présenterait quasiment aucun intérêt car son comportement fréquentiel serait fonction de l’inverse de la durée de vie (10 –4 Hz!!!).
Il ne serait donc utilisable qu’en continu.
Considérons un gaz d’électrons constitué de N électrons libres. En l’absence de force extérieure appliquée ( Champ électrique), ils se
meuvent de façon aléatoire. La vitesse moyenne de déplacement du nuage d’électrons s’écrit:
1 v
vD N i
i1
(vi représente la vitesse ins tantannée et vD la vitesse moyenne)
Cette vitesse moyenne est nulle car aucune direction n’est privilégiée (mouvement Brownien).
S nous appliquons une force extérieure, l’équation du mouvement va s’écrire: m D) F qE
d (v
dt
qE
Cette équation a pour solution: vD vD(0) m t
Ce résultat n’est toutefois pas satisfaisant car on s’aperçoit que la vitesse augmente linéairement avec le temps et de ce fait, le régime
établi n’est jamais atteint. Il est donc nécessaire d’introduire une contrainte sur le déplacement des porteurs. Ce terme, appelé temps
de relaxation (tR), est lié au libre parcours moyen des électrons ainsi qu’au temps moyen entre deux collisions. Il résume l’ensemble
des mécanismes de collisions et peut être défini comme
étant la durée nécessaire au rétablissement de l’équilibre.
d(vD) vD
L’équation du mouvement devient donc: m ( dt t R ) F qE
vD vD(0) e t R
t
La suppression de la perturbation entraîne un retour à l’équilibre suivant une loi qui s’écrit:
Les mobilités des deux types de porteurs diffèrent principalement par la valeur des masses effectives, les électrons étant plus mobiles que
les trous. Cela peut se comprendre intuitivement car ils sont à un niveau énergétique supérieur, c’est à dire moins liés à l’atome.
Plan Général
Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
Influence du champ électrique sur la mobilité. v
Vth=10 7 cm/s
Pour des champs électriques faibles, la loi de proportionnalité est valable. électrons
trous
Dès que les champs électriques deviennent importants (quelques kilovolts),
la vitesse des porteurs devient de l’ordre de grandeur de la vitesse
thermique et la mobilité décroît.
Ceci est représenté sur le graphique ci contre. 1 2
E (10 4 V/cm)
Paramètres influant sur la mobilité des porteurs.
La température
L’augmentation de température se traduit par une agitation thermique plus
importante dans le réseau cristallin et, de ce fait, le temps de relaxation va
diminuer car la probabilité de chocs avec les atomes augmente. Il s’en suit une
diminution de la mobilité qui suit une loi empirique de la forme:
3 est un coefficient qui dépend de la nature du
m T 2 matériau et du type de porteur
Le dopage du matériau
Les atomes d’impuretés vont influer sur les trajectoires des électrons
dans le cristal car, à température ambiante, ils sont tous ionisés. Le
nombre de collisions va augmenter et cela va se traduire par une
diminution de la mobilité .
Le graphique ci contre montre la variation de m en fonction du dopage
dans le cas du silicium.
Plan Général
Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
2-b- résistivité, conductivité, loi d’Ohm.
Nous venons de montrer que lorsqu’on applique une force extérieure (champ électrique par exemple) à un matériau semi-conducteur,
les porteurs vont se déplacer. Il y aura donc apparition d’un courant électrique.
Le courant de déplacement s’écrit: j r v D dans lequel, r est la densité de charges: r q N
qt R 2t R N Exercices
Donc: j q N v D q N
E s E avec: s q q N m
m m
s est appelé conductivité du matériau et s’exprime en W/cm.
L’existence de deux types de porteurs va faire apparaître deux courants
qui seront additifs (porteurs
de charge opposée se déplaçant
en sens opposé). En effet s est proportionnel à q qui est positif. j n s n E et j p s p E
2
On a coutume de caractériser les semi-conducteurs par leur
résistivité et non par leur conductivité. Elle s’écrit:
r 1
s
1
q n m n p m p
Ce terme est donc fonction du dopage et le diagramme ci contre
montre ses variations pour les matériaux usuels. On pourra remarquer
que pour des matériaux dopés, il ne dépend que des majoritaires.
Plan Général
Résistivité, conductivité (Exercices).
Exercice n° 1- En considérant une erreur maximale admissible de 1% , déterminer à partir de quel dopage on peut considérer que, dans le
calcul de la résistivité, seul les porteurs majoritaires interviennent. Application numérique au cas du Germanium, Silicium et Arséniure de
[Link] donne: Germanium mn = 4500 cm2/V.s mp = 2000 cm2/V.s
Silicium mn = 1500 cm2/V.s mp = 600 cm2/V.s
Arséniure de Gallium mn = 7500 cm2/V.s mp = 300 cm2/V.s
Exercice n° 2- Calculer la résistivité maximale de ces trois matériaux. Comparer cette valeur avec la résistivité intrinsèque . Conclusion.0
Exercice n° 3- La pureté maximale possible avec les technologies actuelles étant de 10 13 cm –3, calculer les conductivités correspondantes
pour les trois corps étudiés précédemment.
Exercice n° 4- On dope un barreau de silicium avec du phosphore. Donner le type et la valeur du dopage pour obtenir un matériau de
résistivité r = 0,6 [Link].
Quelle est la masse de phosphore nécessaire pour doper un lingot de 40 cm de long et de 15 cm de diamètre. Sachant que l’on peut garantir
la pesée du phosphore au 1/100ème de milligramme, quelle est l’erreur maximale commise sur le dopage?
Exercice n° 5- A partir du semi-conducteur précédent, on souhaite obtenir un matériau de type opposé. Quel dopant va-t-on utiliser et
quelle est la concentration et le poids nécessaire permettant d’obtenir un matériau de résistivité égale à 2 Wcm.
Exercice n° 6- Calculer le rapport du courant d’électrons et de trous correspondant au matériau de l’exercice n° 4. Conclusion.
Exercice n° 7- On considère un barreau de silicium de 2 cm de long et 0,1 cm2 de section . Le silicium est de type N (ND = 5 10 15 cm-3). On
applique aux bornes de ce barreau une tension de 12 Volts et on mesure un courant de 720 mA. Calculer la mobilité des électrons.
Exercice n° 8- Comparer la vitesse des électrons dans un semi-conducteur (par exemple celui de l’exercice n° 4) à celle des électrons dans
un métal qui serait parcouru par la même densité de courant. En déduire la mobilité des électrons dans le cuivre .
On donne: densité atomique: 5 10 22 cm-3.
Plan Général
Résistivité, conductivité (Correction des exercices).
Exercice n° 1- La résistivité d’un matériau semi-conducteur s’exprime par la relation: r 1
q(n mn pm p)
La conductivité est l’inverse de la résistivité. Elle vaut donc: s q(n mn pm p)
Le matériau étant à l’équilibre, les densités de porteurs sont reliées par la loi d’action de masse n p ni2
En utilisant cette dernière relation, on peut exprimer la conductivité en fonction d’un seul type de porteurs, par exemple les électrons.
n2
Il s’en suit s q(n mn i m p). En développant cette relation, on obtient une équation du second degré qui permet de relier n et s.
n
mp
n 2 s n ni2 0
qmn mn
q n 2 mn m p
2
Les solutions de cette équation peuvent se mettre sous la forme: n s (1 14 i 2 )
2qmn s
Le terme 4 ni m2n m p est très petit devant l’unité. La racine carrée est donc de la forme 1e . Le développement limité au premier
2
q 2
s
ordre de ce terme est 1 e .
2
s 1 (14 q ni2mn m p )
2
On peut donc calculer cette valeur pour chacun des matériaux les plus couramment utilisés. Dès que la résistivité sera inférieure à
cette valeur, on pourra considérer que la résistivité dépend exclusivement de la concentration des porteurs majoritaires.
Les applications numériques sont sur la page suivante.
Dans la réalité, cette condition sera TOUJOURS respectées et la résistivité (ou la conductivité) ne dépendront
que de la densité des porteurs Majoritaires.
n
ds ni2
Cette fonction passera par un minimum pour la valeur de n qui annulera la dérivée; dn q(mn 2 m p ) 0
n
mp
On obtient donc: n ni . On peut remarquer que cette valeur est inférieure à ni car mp est inférieur à mn. Le matériau présentant la
mn
résistivité maximale serait donc de type P. En reportant cette valeur de la densité dans l’expression de r, on obtient: rmax i 1
2 q ni mn m p
Application Numérique; Germanium mn = 4500 cm2/V.s mp = 2000 cm2/V.s ni = 2,5 10 13 cm -3
rmxi = 41,7 W cm-1
Silicium mn = 1500 cm2/V.s mp = 600 cm2/V.s ni = 1,6 10 10 cm -3
rmxi = 205 kW cm-1
Arséniure de Gallium mn = 7500 cm2/V.s mp = 300 cm2/V.s ni = 10 7 cm -3
rmxi = 169,5 MW cm-1
Pour le Silicium
Type P
Type N
p NA , n n
2
i
r 1 1
NA q(n mn pm p) q N Am p n N D , p ni
2
r 1 1
ND q(n mn pm p) q N D mn
A.N : r = 1 kW cm-1
A.N : r = 417 W cm-1
Pour l’Arséniure de Gallium
Type P Type N
p N A , n ni n N D , p ni
2 2
r 1 1 r 1 1
NA q(n mn pm p) q N Am p ND q(n mn pm p) q N D mn
A.N : r =1,56 kW cm-1 A.N : r = 73,5 W cm-1
Les dopages couramment utilisés en technologie étant toujours nettement supérieurs à cette valeur de 10 13 cm-3,
la résistivité ne dépendra que des majoritaires.
ND 1 soit;
q r mn
1 3
ND 710
15
19 cm
1,610 0,6 1500
Ce dopage donne une mobilité qui vaut
sensiblement 1100 cm2/Vs. On peut donc
recalculer la nouvelle valeur du dopage qui
vaut: 9,5 10 15 soit une mobilité de 1050
approximativement et un nouveau dopage
de 10 16 cm-3. Vu l’écart entre ces deux
dernières valeurs, on s’arrêtera là.
Il faudra donc introduire sensiblement 1 atome de Phosphore tous les 1 Million d’atomes de Silicium.
Dans ce type de calculs, l’important est de déterminer la puissance de 10 car on travaille sur des grands
nombres. Une erreur de quelques pourcents sur le résultat est tout à fait acceptable.
Si l’erreur absolue sur la pesée du Phosphore est de 1/100ème de mg, l’erreur relative vaut: 0,01/3,64 c’est à dire 2,7 10-3. L’erreur sur le
dopage sera la même car la densité d’atomes dopants est directement proportionnelle au poids. Cette précision est illusoire car les variations
du process ne permettent pas d’atteindre de telles précisions.
Exercice n° 5- Pour obtenir un matériau de type opposé, le dopant utilisé devra être un accepteur c’est-à-dire appartenir à la colonne III de la
classification périodique des éléments. Pour le silicium, le dopant généralement utilisé est le Bore. Le processus sera le même que celui
décrit ci-dessus pour le phosphore. Toutefois, le matériau n’étant pas intrinsèque au départ de l’opération, il faudra d’abord injecter une
quantité d’atomes de Bore égale à celle du phosphore pour compenser le matériau. On obtiendra du silicium « Intrinsèque par
compensation ». A partir de ce matériau compensé, on appliquera le même raisonnement que précédemment.
I n J n s n q n mn n mn n mn
2
I p J p s p q p m p ni m p ni m p
2 2
n
Application numérique: ce rapport vaut 0,78 10 12 ce qui revient à dire que le courant de conduction est le courant d ’électrons
c’est-à-dire le courant des porteurs majoritaires.
D’ou; q n v sc q N v m on obtient : v m v sc n
N
Ceci s’explique simplement par le fait que dans un métal il y a un électron libre par atome d’ou une population extrêmement
importante qui se déplacera très lentement. Il ne faut pas confondre vitesse de déplacement des porteurs et vitesse de propagation du
courant électrique.
Soit N1 le nombre de particules comprises entre x0- et x0 et N2 le nombre entre x0 et x0+ à l’instant t=0. A un instant t=t0 (t>t0), on
peut considérer que statistiquement, N1/2 particules ont leur vitesse dirigée vers la droite, de même, N2/2 ont leur vitesse dirigée vers
la [Link] flux qui en résulte pendant le temps t nécessaire pour parcourir la distance l vaut:
N1 N2 2
F x 2 2 N1 N2
or N1 n1n0 n2n0 n Dn
et N2 2 soit Fx 2 2 2tR or Dn dn
1n2
t 2t 2 2 dx x0
2
a la dimension de cm2/s. Elle est appelée « Constante de Diffusion » et notée D (Dn pour
2
Fx dn La constante
2t R
dx x0 2t R
les électrons , Dp pour les trous). Le flux de porteurs s’écrit:
Fx Dn grad nx
Plan Général
Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
Courant de Diffusion.
Les gradients de concentration étant opposés, les courants qui en découlent sont additifs eu égard aux
charges qui sont opposées.
Plan Général
Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
EC(x)EF
La relation de définition de la densité des porteurs permet d’écrire: n(x) N exp kT
EC(x)EI(x) exp EI(x)EF or; n N exp EC(x)EI(x) d’où: n(x) ni exp EI(x)EF
qui s’écrit: n(x) N exp
kT kT
i
kT kT
Log(n(x))
Log(n(x)) EFEI(x) Log(n(x)) soit: grad(EI(x)) kT grad[ ni ]
on en déduit: EFEI(x) kT
ni kT ni
grad(n(x))
grad(EI(x)) kT[
grad(n(x))
] or, grad(EI(x))grad(EC(x)) donc; E i q grad Ec(x) q kT [ n(x) ] UT [ n(x) ]
1 1 grad(n(x))
n(x)
On obtient une relation similaire pour les trous en changeant le signe et en remplaçant n par p.
grad(p(x))
E i UT [ p(x)
]
Si nous reportons cette expression du champ électrique dans les équations du courant, nous obtenons:
grad(n(x))
grad(n(x)) mn UT q Dn 0
q n(x) mn UT [ ] q Dn grad(n(x)) 0
n(x)
grad(p(x))
grad(p(x)) mp UT q Dp 0
q p(x) mp UT [ ] q Dp grad(p(x)) 0
p(x)
Dn Dp kT UT
Pour que ces deux relations soient vérifiées, il faut: mn mp q
Exercices
Plan Général
Injection de porteurs, variation de résistance (Exercices).
Exercice n° 1- Déterminer la longueur d’onde maximale permettant de générer une paire électron-trou dans du silicium. Même chose pour le
Germanium et l’Arséniure de Gallium. Conclusions.
Exercice n° 2- On considère le barreau de silicium représenté sur la figure ci dessous;
On applique entre les bornes de ce barreau une tension de 10 V. Calculer le courant qui circule dans cette structure.
On éclaire ce barreau de silicium avec une radiation de longueur d’onde telle que la vitesse de génération des porteurs soit constante dans
tout le volume du matériau. Cette vitesse de génération vaut: g = 10 17 porteurs/cm3.s.
Déterminer la variation relative de la résistance du barreau sous éclairement.
Exercice n° 3- On considère un barreau de semi-conducteur homogène type N (dopage ND = 10 15 cm-3. ) d’épaisseur W, dont on éclaire
la face avant avec une radiation de courte longueur d’onde. La génération suit une loi de la forme (fig):
Plan Général
Injection de porteurs, variation de résistance (Solution).
Exercice n° 1- Pour générer une paire électron-trou dans un matériau semi-conducteur, il faut que l’énergie du rayonnement soit supérieure ou
égale à la largeur de la bande interdite, soit: E EG
Or, l’énergie transportée par un rayonnement s’exprime par la relation: E h h c
l
L’énergie étant inversement proportionnelle à la longueur d’onde, l’énergie minimum correspondra à la longueur d’onde maximum
permettant de générer des porteurs. La relation s’écrira donc:
h c EG qui donne : lmax h c
lmax EG
Applications numériques.
Le tableau des constantes donne: h = 4,14 10-15 eV/s; c = 3 108 m/s;
On peut remarquer que pour les trois matériaux, le rayonnement visible sera efficace et que les rayonnements de grande longueur d’onde ne
seront pas arrêtés par ces matériaux. La longueur d’onde maximum correspond au « seuil de transparence ».
Plus le rayonnement sera de courte longueur d’onde, plus son énergie sera importante et plus la génération sera localisée au voisinage de la
surface. Cette dernière obéira a une loi de la forme: g g0 ex
n ni
2
Rr l avec: r 1 Or p NA et
s q(n mn pm p) NA
D’ou; r n 2
1
q( mn N Am p)
i
NA
En remplaçant par les valeurs, on obtient: R 1 1 12 332 W
19 2.5*61020 4*10
1,6*10 ( 1390 1014*470)
1014
Si à l’équilibre thermodynamique seuls les majoritaires interviennent, la variation est due aux deux types de
porteurs. On remarque en effet que c’est la somme des mobilités qui est à prendre en compte.
Abaque des Mobilités Tableau des Constantes
Injection de porteurs, variation de résistance.
Exercice n° 3- La génération de porteurs sur la face avant va créer un excès de densité de porteurs. Le fait d’utiliser une radiation de faible
longueur d’onde (bleu ou Ultra violet), génère des porteurs de manière locale. Le taux de génération va varier avec la distance par rapport à la
face avant. La densité des porteurs excédentaires va décroître de façon exponentielle avec la distance.
Dans le cas d’une hypothèse de faible injection, on peut considérer que seuls les minoritaires seront perturbés.
La structure étant isolée, le courant total est donc nul. Il existe donc un phénomène
antagoniste qui compense la diffusion. Ce phénomène correspondra à un corant de
conduction qui va s’opposer à la diffusion.
p
L’existence d’un courant de conduction est liée à l’apparition d’un champ
électrique. Ce courant s’exprime par une relation du type:
0 W
J pcond r(x) v q g0 t e *m pE q g0 t ex *m p V
x
W
Les deux termes se compensant, on peut écrire:
J pcond J pdiff q g0 t ex *m p V q Dp g0 t ex d'ou m p V Dp
W W
Soit; V UT W Cette tension fait apparaître un + sur la face avant .
On obtient des relations semblables dans les directions y et z. La variation du courant correspond donc à une divergence.
Génération: -Soit g la vitesse de génération. Son influence par unité de temps se traduit par: g*Dx Dy Dz (ce terme est positif)
Recombinaison: -De la même manière, le terme correspondant vaut: r* Dx Dy Dz (ce terme est négatif)
La variation du nombre de porteurs par unité de temps dans le volume donné s’écrit donc:
Dx Dy Dz 1 div j p g r Dx Dy Dz
dp dp
dt q soit 1 div j p g r
dt q
On obtient une équation similaire pour les électrons en remplaçant p par n et en changeant le signe de la divergence.
Plan Général
Semi-conducteur hors d’équilibre, phénomènes de conduction
Explicitation de la relation dans le cas général.
Dans le cas d’un faible niveau d’injection, seuls les porteurs minoritaires seront perturbés. Pour un matériau de type N par
^
exemple, on pourra écrire: ^ ^ ^ p
g g0 g et r r 0 r de plus, r
tp
^ ^
dp ^ p
L’équation de conservation s’écrit alors: 1 div j p g
dt q tp
Le courant peut être constitué de deux termes; un terme de diffusion et un terme de [Link] obtient donc, dans le cas général:
^ ^
^ ^ ^
Dans les cas pratiques, le champ électrique est généralement nul. Cela permet de simplifier cette équation.
En régime permanent, il n’y a pas de variation en fonction du temps. On en tire:
^ ^ ^
^ ^ p ^ p g
0 Dp D px g qui s'écrit aussi: D px
t p Dpt p Dp
On peut remarquer que la dimension du terme Dptp est cm2. On le posera égal à Lp2. Ce terme est appelé « Longueur de Diffusion »
Lp Dpt p
On pourra donc associer trois constantes aux porteurs libres dans un matériau semi-conducteur:
Une constante temporelle t Ces trois constantes sont reliées par les relations suivantes:
Une constante inertielle m ou D Dn Dp kT UT
Lp Dpt p et mn mp q
Une constante spatiale L
Exercices
Plan Général
Phénomènes de diffusion (Exercices).
Exercice n° 1- Soit un échantillon de silicium de type N de résistivité r = 0,5 Wcm. La durée de vie des porteurs en excès est inversement
proportionnelle au dopage et vaut t = 10 s pour N = 1016 cm-3. On génère à la surface du semi-conducteur des porteurs en excès avec une
vitesse de génération qui vaut: g = 1017 cm-2 s-1.
A)- La longueur de l’échantillon est supposée infinie.
1°)- Déterminer la loi de répartition des trous en fonction de la distance. Calculer la densité des trous dans le plan x = 0 .
2°)- A quelle distance l’excès de densité de trous devient-il égal au 110ème de sa valeur en 0? Quelle est à cette distance la
densité du courant de trous?
3°)- Calculer la vitesse de diffusion des trous. Quelle serait la valeur du champ électrique qui leur communiquerait la même
vitesse?
4°)- Calculer la quantité d’électricité emmagasinée lors de la diffusion.
B)_ Mêmes questions lorsque on place un contact Ohmique à la distance W = 10-4 cm.
p̂
p
x
0 W
ND
Dans le plan x = 0, la densité des porteurs excédentaires injectés vaut:
pˆ 0 g0 t 10 17 10 7 10 10 paire électron trou /cm3
On peut donc vérifier que: pˆ p et pˆ n Cette double condition satisfait donc l’hypothèse de faible niveau d’injection.
On peut donc considérer que la densité des porteurs en excès obéit à l’équation de conservation des porteurs qui s’écrit:
^ ^
dp ^ p
1 div j p g
dt q tp
1°)- La détermination des constantes d’intégration satisfait aux conditions aux limites énoncées ci-dessous:
en x 0 pˆ (0) pˆ 0 g0 t
en x pˆ (() 0 car à une distance infiniment grande, tous les porteurs sont recombinés.
Lp e
Lp
dx
Application Numérique: il faut donc déterminer Dp et Lp. L’abaque de mobilités nous donne pour ND = 10 16 cm-3: mp = 450 cm2/V*s
On en déduit: Dp = mp * UT = 450 * 26 10-3 = 11,7 cm2/s, d’ou; Lp2 = Dp * tp = 11,7 * 10-7 soit, Lp = 1,08 10-3c cm soit, 10,8 mm.
11,7*1010
La densité de courant dans le plan origine vaut donc: Jpˆ (0) 1,6*1019 17,33 mA/cm2
1,08*103
2°)- La densité des porteurs décroît exponentiellement. La distance pour laquelle elle sera divisée par 10 se déduit de:
x
pˆ (x) 1 pˆ 0*e L p
soit, x Lp Ln 10 2,3 Lp qui donne: x 24,84 mm
pˆ 0 10 pˆ 0
Au delà de cette distance, l’excès de densité de porteurs devient très faible. Cela permet de relativiser l’infini pour un porteur. La densité de
courant varie suivant la même loi ce qui implique que dans un système, si on place un contact à une distance grande devant la longueur de
diffusion, la densité de courant tendra vers 0. On comprend donc que les dimensions des composants devront être petites.
v
v D m pE soit: E D Dp UT soit E 24,07 V /cm. ce qui est très faible.
m p Lp m p Lp
4°)- Quantité d’électricité emmagasinée lors de la diffusion.
Elle s’exprime par la relation: x
Q q S pˆ(x) dx q S pˆ 0 e- L p dx q S pˆ 0 Lp S est la section du barreau.
0 0
Q
La charge par unité de surface vaut donc: q pˆ 0 Lp 1,73 pCb/cm2
S
Cette valeur peut paraître faible mais on verra que dans les composants, on obtient des valeurs beaucoup plus petites .
La constante de temps qui intervient dans le calcul de la charge est la Durée de vie du porteur.
Dans le régime libre, les paramètres associés au phénomène de diffusion sont les paramètres caractéristiques dus porteurs.
La seule modification intervient sur les conditions aux limites de l’équation de conservation. Elles deviennent:
en x 0 pˆ (0) pˆ 0 g0 t
en x W pˆ ((W) 0 L’annulation de l’excès de densité est due au contact Ohmique qui est recombinant.
Il s’en suit:
A B p̂0
{ W W
A e L p B e L p 0
pˆ 0 1
W W W
0 e Lp
A pˆ 0 W e L p W pˆ 0 e L p
e L p e L p 2 shW
1 1
W W Lp
e Lp e Lp
1 pˆ 0
W W W
e 0
Lp
B pˆ 0 We L p W pˆ 0 e L p
e L p e L p 2 shW
1 1
W W Lp
e Lp e Lp
shW x
En reportant, on obtient.
pˆ (x)
pˆ 0
2 shW
e W x
Lp e
W x
Lp pˆ 0
sh
Lp
W
Lp Lp
C’est la solution générale du système. On pourra vérifier que le passage à la limite x infini nous ramène à la solution en exponentielle.
Dans le cas de l’exercice, W = 1mm. Dans toutes les expressions précédentes, on remarque des termes faisant intervenir des
fonctions du rapport W/Lp. Ce terme intervient sous forme de sinus ou de cosinus hyperboliques.
Dès que ce rapport sera inférieur à 1/3, on pourra simplifier. En effet:
pour e << , sh e e; ch e 1 + e2/2 … etc.
Par exemple; sh(1/3) = 0,339. On considèrera donc que dès que le rapport W/L est inférieur à 1/3 on peut
linéariser les relations en utilisant les développements limités des fonctions correspondantes.
On peut remarquer que par rapport à la distance infinie, on a remplacé dans l’expression du courant, la longueur de diffusion par la
dimension du barreau. Cette dernière étant beaucoup plus petite que la longueur de diffusion et intervenant en dénominateur d’une fraction
fait que le courant devient plus important. De plus, il est indépendant de la distance.
Jpˆ (x) Dp
En ce qui concerne la vitesse de diffusion, on a: v D q pˆ (x) Lp cothWLp x
Dp chW x Dp 1 Dp
Lp shW Lp W 1 x W x
Lp W
On remarque le phénomène d’accélération du au contact (sana oublier la limitation due à la vitesse thermique).
q S pˆ 0 Lp 1ch W q S pˆ 0 Lp W2 q S pˆ 0 W
Pour le calcul de la charge stockée, il vient: Q
11
2
shW Lp W 2 Lp 2
Lp Lp
On peut donc remarquer que pour passer de l’espace infini au barreau court, il suffit de remplacer Lp par W sauf dans le cas de la charge
stockée ou apparaît un facteur 1:2. Ce facteur provient du développement limité au « second ordre »
Applications Numériques.
q Dp pˆ 0 mA
Densité de courant: Jpˆ ) W
187,16 2
cm
q S pˆ 0 W Q pCb
Charge stockée: Q 0,08 2
2 S cm
Ce cas particulier est celui que l’on retrouvera dans tous les composants actifs du type
bipolaire: Diodes à jonction et transistors bipolaires.
Plan Général
La jonction PN.
II-C: La jonction P-N idéale en régime dynamique; modélisation au 1er ordre
•1°)- Théorème de superposition des états
•2°)- Calcul du point de polarisation
•3°)- Modèle équivalent de la Diode en direct
•a)- Résistance dynamique
•b)- Capacité de diffusion
•3°)- Modèle équivalent en inverse; capacité de transition
Plan Général
La jonction PN.
II-E: La jonction P-N réelle en régime de commutation
•Réponse à un signal carré
Plan Général
La jonction PN idéale à l’équilibre thermodynamique.
1°- Création de la jonction
a) – Approche métallurgique.
E
Mettons ces deux matériaux en contact.
_ Les électrons vont diffuser des zones de forte concentration vers les zones
+
_ de faible [Link] vont de ce fait se recombiner avec les trous en
+
_ créant des ions fixes dans le réseau.
+
_
+ Ces ions, négatifs dans la région P (atome de bore ayant gagné un électron) et
_
+ positifs dans la région N (atomes de phosphore ayant perdu un électron) vont
_
+ donner naissance à un champ électrique qui a tendance à s’opposer à la
diffusion.
L’apparition de ce champ électrique génère donc un phénomène de conduction qui crée un flux de porteurs opposé à la diffusion.
L’équilibre sera établi lorsque les deux phénomènes se compenseront. I y aura à ce moment là une zone dépourvue de porteurs appelée
zone de charge d’espace séparant deux zones dans lesquelles sont confinés les porteurs libres.
Si nous mettons ces deux matériaux en contact, la seule constante qui va exister dans ce système sera le niveau de Fermi. Le diagramme
de bandes va donc évoluer de manière à ce que les niveaux de Fermi de chaque constituant s’alignent et, par conséquence, il y aura une
déformation des bandes d’énergie.
Loin de la jonction métallurgique, on va retrouver les matériaux originels par contre, au voisinage de celle ci, il va y avoir courbure des
bandes car elles restent continues. Le passage de la région N à la région P se fait graduellement, sans discontinuité.
La zone centrale appelée « charge d’espace » est une zone dans laquelle règne un champ électrique important (plusieurs kilovolts par
centimètre) et sera donc dépourvue de porteurs libres. Elle se caractérise par sa hauteur F et sa largeur d. Nous allons dans ce qui suit
déterminer les équations permettant de calculer ces deux éléments caractéristiques.
Pour définir les caractéristiques de la charge d’espace, nous allons utiliser des hypothèses connues sous le nom d’ hypothèses de Schokley.
Qui s’énoncent sous la forme suivante:
- La charge d’espace est limitée par des plans parallèles au plan de la jonction métallurgique.
- La charge d’espace est dépourvue de porteurs libres
- Le champ est nul en dehors de la charge d’espace (donc le potentiel est constant).
Plan Général Plan du chapître
La jonction PN idéale à l’équilibre thermodynamique.
Nous allons, pour établir les équations permettant de déterminer la hauteur et la largeur de la charge d’espace, utiliser le modèle défini à
partir des hypothèses de Schokley. Nous considèrerons en outre que le matériau est homogène dans le plan YZ et de ce fait, nous utiliserons
un modèle unidimensionnel. La charge électrique qui existe dans la charge d’espace correspond donc à la représentation ci dessous
xp r = + q ND.
-xn 0 De la même manière, coté P, entre la position de la jonction
métallurgique et la limite de charge d’espace (x = xp), la charge est
constante et négative. Elle vaut:
Région dopé N - qNA
r = - q NA
Lorsque dans un matériau il existe une charge, on peut lui associer un potentiel grâce à l’équation de poisson. Cette dernière s’écrit:
r
DV 0
e
Dans le cas d’un modèle unidimensionnel, le Laplacien se ramène à une simple dérivée seconde et la relation s’écrira donc:
d V r 0
2
d x2 e
On va donc résoudre cette équation successivement dans chacune des zones chargées en tenant compte des hypothèses de
Schokley, puis on écrira les conditions de continuité du champ électrique et du potentiel à la traversée d’une surface. Ce calcul
nous permettra non seulement d’établir la relation donnant la largeur de la charge d’espace, mais aussi mettra en évidence le fait
que la charge d’espace est globalement neutre.
e
q ND d V q N D ( x xn)
Le champ électrique s’écrit donc: E ( x xn) soit
e dx e
q N D x2
En intégrant une deuxième fois, on obtient: V ( x xn) C te
e 2
La détermination de la constante d’intégration se fera aussi en utilisant les conditions aux limites. Le champ étant nul à l’extérieur de la
charge d’espace, le potentiel qui en est l’intégrale première est constant. On le posera égal à Fn dans la région N. Il s’en suit:
q N D x2
C e 2n Fn
te
q N D ( x x )2
En reportant dans l’expression du potentiel, on obtient: V n Fn
2e
Le même calcul fait entre 0 et xp donnera des équations similaires. Il suffit de changer – xn par + xp et + qND par – qNA. On obtient, en
posant que la tension dans la région P est égale à Fp::
q NA q NA 2
E ( x x p) et V ( x x p ) Fp
e 2e
q NA q Nd
La continuité du champ et du potentiel en 0 donne: E (0) xp xn soit : N A x p N D xn
e e
Cette relation traduit la neutralité de la charge d’espace.
N A xp ND xn
F
q
2e
(N A x2p N D xn2)
d ND
xn x p xn d d xn d
xp N A ND N A ND
L’équation (1) donne: soit: xp et
ND NA ND N A ND N A ND N A N A ND N A ND ND N A
N A ND
N ND N A
*
Pour des simplifications d’écriture, on pose:
q d N d N
2 2
Il suffit donc de calculer la hauteur de la barrière de potentiel pour, connaissant les caractéristiques du matériau (dopages et constantes
caractéristiques), obtenir la dimension de la charge d’espace.
b)- Calcul de la hauteur de la barrière de potentiel
Pour déterminer la hauteur de la barrière de potentiel, nous allons nous référer à sa définition à partir des diagrammes d’é[Link]
schéma de bandes représenté ci-après montre que la hauteur de la barrière peut se déduire de la différence d’énergie des porteurs de
même type de part et d’autre de la charge d’espace.
F Fn F p
1
ECn ECp
q
Or, les densités de porteurs sont directement liées aux énergies. Nous pouvons donc exprimer la densité des porteurs d’un même
type de part et d’autre de la jonction.
Plan Général Plan du chapître
La jonction PN idéale à l’équilibre thermodynamique.
L’expression des densité de porteurs s’écrit:
Énergie
ECP
n N exp ( EC E F )
F kT
ECN
Si nous écrivons cette expression pour les électrons dans la région
EF EVP N et dans la région P, il vient:
EVN
Matériau type N d Matériau type P Région N: nN N exp ( ECN E F )
kT
E CP E F
Région P: nP N exp ( )
Charge d’espace Potentiel kT
F F n F p ECn ECp
1
Or:
F Fp
q
On en tire: ECp ECn q F ECn q n
En reportant cette valeur de ECp dans celle donnant la densité des électrons dans la région P, on obtient:
ECn q F E F E EF q F q F
nP N exp ( ) N exp ( Cn ) exp ( ) nN exp ( )
kT kT kT kT
F kT
Ce qui donne: nP nN exp ( ) dans lequel UT est appelé « Tension thermodynamique » et vaut 26 mV à 300 °K
UT q
Dans la région ou ils sont majoritaires,la densité des électrons vaut: nN = ND
ni2 Exercices
Dans celle ou ils sont minoritaires, cette densité devient np
NA
En remplaçant dans l’expression qui fait intervenir F, on a:
F n N N
nP nN exp ( ) F UT Ln N UT Ln A 2 D N A ND
UT nP ni Donc: F UT Ln
ni2
Région P Déterminer les caractéristiques de la région de charge d’espace (hauteur et largeur) dans les
Région N
différents cas suivants:
•1°)- ND = 10 18 cm-3, NA = 10 16 cm-3
•2°)- ND = 5 10 18 cm-3, NA = 2,5 10 16 cm-3
On étudiera successivement le cas du Germanium et du Silicium.
Déduire de ces résultats les dimensions électriques des régions N et P.
xn xp
Même question dans le cas ou les deux régions ont des dopages identiques égaux à : N = 10 16 cm-3.
Exercice n°2) – On reprend le cas de la diode correspondant à l’exercice précédent (ND = 5 10 18 cm-3, NA = 2,5 10 16 cm-3). Recalculer les
dimensions électriques des régions dans les cas suivants:
•Diode au silicium polarisée par:
•Une tension directe de 0,6 V
•Une tension inverse de 5 V
•Diode au Germanium polarisée par:
•Une tension directe de 0,3 V
•Une tension inverse de 5 V
Plan Général
Solution des exercices sur la charge d’espace
Exercice n°1) -
F 0,879V
Pour le germanium, ni = 2,5 10 13 cm-3
F 0,431V
Cas n°2)-ND = 5 10 18 cm-3, NA = 2,5 10 16 cm-3
F 0,496V
2e F 2 1012
d 0,813 0,318 mm
qN 1,6 1019 1016
2e F 2 1012
d 0,879 0,209 mm
q N 1,6 1019 2,51016
La répartition des extensions de charge d’espace dans les régions se fait en raison inverse des dopages.
dp d n d p d n d ND
d soit: dp d N et dn d N
ND NA ND N A ND N A ND N A NA ND
Comme nous avons considéré que N* = NA, toute la charge d’espace sera dans la région P. On aura donc:
WN = XN et WP = XP – d Cas n°1)- XP = 2,5 – 0,318 = 2,182 mm; cas n°2)- XP = 2,5 – 0,209 = 2,291 mm.
Plan Général
Solution des exercices sur la charge d’espace
Pour le germanium, ni = 2,5 10 13 cm-3
En remplaçant par les valeurs numériques, on obtient:
•Cas n°1)- ND = 10 18 cm-3, NA = 10 16 cm-3 N* = NA
2e F 2 1012
d 0,431 0,232 mm
q N 1,6 1019 1016
2e F 2 1012
d 0,496 0,157 mm
q N 1,6 1019 2,51016
La répartition des extensions de charge d’espace dans les régions se fait en raison inverse des dopages.
d ND
x p xn x p xn d soit: xp d N et xn d N
ND NA ND N A ND N A N D N A NA ND
Comme nous avons considéré que N* = NA, toute la charge d’espace sera dans la région P. On aura donc:
WN = XN et WP = XP – d Cas n°1)- XP = 2,5 – 0,232 = 2,268 mm; cas n°2)- XP = 2,5 – 0,157 = 2,343 mm.
Si les deux régions ont des dopages identiques, on recalcule la hauteur de la barrière. Elle vaut:0,879 V pour le Silicium et 0,496 V pour le Ge.
Pour ce qui est de la largeur, il faut calculer N* . Les deux dopages étant égaux, N* vaudra la moitié. On peut alors calculer les valeurs de d.
On obtient: 0,693 mm pour le silicium et 0,416 mm pour le germanium. Il faut faire attention cette fois-ci que les extensions de charge
d’espace seront égales dans les deux régions.
WN xn d WP x p d
2 2
Plan Général
Solution des exercices sur la charge d’espace
Exercice n°2) –
Pour une jonction polarisée, la hauteur de barrière est modifiée. Elle devient: F F VA
La tension appliquée est comptée en valeur algébrique c’est-à dire, négative pour une polarisation inverse, positive pour une
polarisation directe.
Plan Général
La jonction PN idéale hors d’équilibre: Caractéristique statique
1°)- Polarisation de la Jonction
a)- Approche Physique
Considérons une diode polarisée par le biais du circuit représenté sur le schéma ci-contre.
Suivant le sens de la tension V1, deux cas de figure peuvent se présenter.
•La tension V1 a le pôle – relié à la masse
•La tension V1 a le pôle + relié à la masse
Pour déterminer l’état de polarisation, il faut savoir si la tension appliquée va s’ajouter ou se
retrancher à la hauteur de la barrière de potentiel.
Nous allons donc représenter ci dessous le schéma de bandes d’une diode et superposer à celui
ci la tension de polarisation résultant de la source externe.
Polarisation en direct; cela
Va correspond à une
Ec diminution de la hauteur de
EF la barrière. La nouvelle
barrière vaut:
Ec Ev
F F VA
EF
Ev
Polarisation en inverse;
cela correspond à une
V augmentation de la
Ec EF hauteur de la barrière. La
nouvelle barrière vaut:
Ev F F VA
Les densités d’électrons sont reportées en rouge, celles des trous en ni2
ni2 NA
bleu.
ND
Si nous appliquons une tension de polarisation aux bornes de cette
diode, celle ci va se superposer à la barrière de potentiel afin soit de Charge
Région N Région P
l’augmenter soit de la diminuer. d’espace
Pour une polarisation en direct, la hauteur de la barrière de potentiel diminue. Par conséquence, sa largeur aussi. Les densités de
porteurs aux limites de la charge d’espace vont donc évoluer car elles sont fonction de l’énergie donc du potentiel. Nous considèrerons
dans tout ce qui va suivre que nous sommes dans le cas d’une hypothèse de « faible niveau d’injection » c’est à dire que, au premier
ordre près, nous ne perturbons que les densités de porteurs minoritaires.
Les densités de porteurs minoritaires aux limites de la charge d’espace sont fonction de l’énergie qui elle même dépend du potentiel
appliqué. Par exemple pour les électrons dans la région P, leur densité s’écrit:
EC qV EF
) N exp( EC EF ) exp
qV
n N exp( n exp V Électrons
kT kT kT UT excédentaires
L’excès de densité est donc: Trous n̂
nˆ n n n exp V n n exp V 1
UT UT
excédentaires
p̂
ni2
Il en est de même pour les trous dans la région N
ni2 NA
pˆ p exp V 1 ND
UT
Plan Général Plan du chapître
La jonction PN idéale hors d’équilibre: Caractéristique statique
Une autre façon de déterminer l’excès de densité des porteurs à la limite de la charge d’espace est d’utiliser la relation entre les densités des
porteurs d’un même type de part et d’autre de la barrière de potentiel. Cette relation s’écrit à l’équilibre et par exemple pour les électrons:
qF qF
nP ni nN exp (
2
) ND exp ( )
NA kT kT
Lorsqu’on polarise la jonction, la hauteur de barrière est modifiée et devient: F F VA dans lequel, Va est compté en valeur algébrique.
La relation entre les densités s’obtiendra donc en remplaçant dans l’expression ci dessus la tension à l’équilibre thermodynamique par la
nouvelle valeur hors d’équilibre, soit:
qFVa
nP ni ND exp (
2
)
NA kT
L’excès de densité des porteurs à la limite de la charge d’espace s’obtiendra donc en faisant la différence entre la densité totale (voir
expression ci dessus) et la densité à l’équilibre thermodynamique ni . On obtient donc:
2
NA
qF qF qFVa qF qF qVa
np ni ND exp (
2
) ND exp ( ) ND exp ( ) ND exp ( ) ND exp ( ) exp ( )1
NA kT kT kT kT kT kT
Va
Cette relation s’écrit donc: nˆ n n n exp (UT )1
Variation de la densité des
On obtient une équation identique pour les trous en changeant
porteurs en fonction de la
simplement n en p. Cette relation est valable quelle que soit la
Polarisation polarisation
polarisation (directe ou inverse). On peut remarquer en effet
Directe
que si Va est positif et grand devant UT, l’unité est négligeable
devant l’exponentielle, si Va est négatif, c’est l’exponentielle
qui est négligeable et que la variation de densité est alors Densités
négative. Ceci est illustré sur le schéma ci contre et explique le d’équilibre
fait que le courant change de sens avec la polarisation
(inversion du gradient de concentration) d’une part, et d’autre
part que le courant inverse théorique soit une constante car sa
Polarisation
valeur dépendra de l’excès de densité qui est égale, au
Inverse
maximum à la densité d’équilibre.
en x = W; pˆ W 0 En effet, quelle que soit la distance W, le contact ohmique impose un excès de densité nul
Les détails des calculs ont été faits précédemment (diapositive 77 et suivantes).
Le résultat est:
shWN x
pˆ(x)
ˆ0
p
2 shW N
WN x WN x
e Lp e Lp pˆ0 Lp
W
sh N
Lp Lp
q DN nˆ0 WP x
Jnˆ(x) ch
Ln shWP Ln
Ln
Nous avons vu que, lorsque les dimensions des régions son petites vis-à-vis des longueurs de diffusion, on peut simplifier les expressions.
En effet les termes en W/L interviennent sous forme de tangentes hyperboliques qui, pour des faibles valeurs de l’argument, peuvent se
pour e 1, th e e
linéariser.
; par exemple th 1 0,339 soit sensiblement 1
3 3
On considèrera donc que si cette condition est vérifiée, les équations vont se simplifier.
N A WP N DWN
Ce cas sera celui que l’on rencontrera généralement.
On pourra remarquer que dans ce cas, les différentes équations qui ont été établies sont linéarisée. La distribution des porteurs suivra une
loi linéaire. Cet état de fait présente un intérêt notable car le courant qui est proportionnel à la dérivée de la distribution est alors constant
et indépendant de la position. Ceci est représenté sur le schéma ci dessous.
Charge d’espace Dimensions électriques On peut donc conclure que tout se passe du côté le moins
dopé.
L’expression du courant inverse théorique fait apparaître deux termes correspondant aux courants de diffusion des porteurs minoritaires
dans chacune des régions. Chacun de ces termes est inversement proportionnel à la densité des porteurs majoritaires de la région
correspondante. Si la jonction est franchement dissymétrique, le courant correspondant à cette dernière sera très petit et pourra
généralement être négligé.
Tout se passera comme si seule la région la moins dopée intervenait.
Pour une jonction P+ N, le courant sera essentiellement un courant de trous qui dépendra des caractéristiques de la région N. Il suffira
d’inverser les indices relatifs à la région ou aux porteurs pour obtenir le cas N+ P.
D’une manière générale, le courant inverse théorique dépendra des éléments mentionnés ci dessous.
Dimension
Densité des
minoritaires dans la électrique de la Exercices
région
région
N+ P On donne:
Wn Wp ND = 10 18 cm-3 XN = 1,5 mm
NA = 5 10 15 cm-3 XN = 2,5 mm
xn xp Aire de la jonction: Aj = 70 mm * 70 mm
•Les épaisseurs des charges d’espace à l’équilibre thermodynamique dans chacune des régions afin de calculer les dimensions
électriques.
•L’expression analytique des composantes ISN et ISP des courants inverses théoriques liés à la diffusion en zone neutre.
•Le rendement d’injection de cette diode.
•Application numérique:
•Déterminer les valeurs de tensions directes correspondant à des courants de 1 mA, 10 mA, 100 mA, 1mA, 10 mA…
•Tracer la caractéristique de cette diode idéale.
Plan Général
Solution des exercices sur la caractéristique statique
Caractéristiques de la zone de charge d’espace.
N A ND
Hauteur de la barrière de potentiel: F UT Ln 0,745 V
ni2
Région N Région P
Dopage (cm-3) ND=10 18 NA=5 10 15
m 2
minoritaires (cm /Vs) 140 1280
D (cm /s)2 3,64 33,3
t (s) 10–8 2 10-6
L (cm) 1,9 10-4 81,6 10-4
W 0,789 3,18 10-2
Région courte
L Région normale
DN
Pour la région P: I SN q AJ ni2 6,46 1014 A
N A WP
On peut remarquer que le courant est essentiellement constitué de la composante correspondant aux électrons dans la région P ce qui,
compte tenu des valeurs de dopages était prévisible.
Ce terme, généralement désigné par E, est le rapport du courant inverse théorique dans la région la moins dopée, sur le courant
total à la jonction. Il sera surtout utilisé dans l’étude du transistor bipolaire.
E I SN 1
I SP I SN
Pour une jonction N+ P on aura: . Pour une P+ N, on inverse le rapport du dénominateur.
1 I SP
I SN
Ce terme est extrêmement voisin de l’unité et nécessitera un calcul précis. Dans notre cas, il vaut:
E = 1 – 9 10-3 = 0,9991
1
Tracé de la caractéristique.
I IS I
L’expression du courant s’écrit: I I s exp V avec, IS = ISN. On en déduit: V UT Ln UT Ln 1
UT IS IS
Il suffit donc de remplacer par les valeurs. On obtient le tableau suivant:
Courant (mA)
0,001 0,01 0,1 1 10
Tension (V)
0,43 0,49 0,55 0,61 0,67
ID
Cas général: I0q AJ n
2
i
DN
DP
N A Ln thWP ND Lp thWN
exp V 1
UT
Ln Lp ID
Jonction
dissymétrique (N+ P)
I0 q AJ n
2
i
DN
N A Ln thWP
exp V 1
UT
Ln
Jonction courte DN
I q AJ ni2
DP
N A WP N DWN
exp V 1
UT
Jonction dissymétrique
courte (N+ P)
DN
I q AJ ni2
N A WP
exp V 1
UT
0 VD
La caractéristique correspondante, pour une diode idéale est représentée sur le graphique dessus. On peut remarquer que cet
élément présente une caractéristique non linéaire. En direct elle se comporte comme un interrupteur fermé, en inverse comme un
interrupteur ouvert.
Les diodes ont été utilisées en logique pour réalise des fonctions élémentaires avant l’utilisation de fonctions intégrées.
Supposons le cas d’un circuit quelconque auquel on applique un signal tel que celui ci-dessous. Ce dernier peut se décomposer en :
-Une composante continue représentée par la valeur moyenne du signal en fonction du temps
-Une valeur instantanée correspondant au signal à valeur moyenne nulle.
v
v V
v(t) 0
Composante continue
V0
0 t
{ v(t)
0
+
t
Composante
variationnelle
0 t
Pour l’étude du comportement fréquentiel d’un système, on considèrera généralement trois domaines de fréquence dans lesquels les
composants tels que capacités ou bobines auront des comportements différents. Dans les circuits que nous étudierons, les composants
passifs que nous utiliserons seront essentiellement des résistances et des capacités.
Pour les capacités, nous ferons une différence entre les capacités physiques introduites dans les circuits afin de réaliser des
liaisons ou utilisées pour des découplages généralement de fortes valeurs (l’ordre de grandeur est le Microfarad) et les capacités
structurelles des composants actifs correspondant aux éléments du modèle dynamique (l’ordre de grandeur est le Picofarad). Ces éléments
auront des comportement différents dans chacun des domaines fréquentiels que nous allons définir
Cette décomposition en trois zones permet une étude beaucoup plus aisée et donne des
résultats absolument satisfaisants permettant de décrire de façon simple le comportement des
circuits linéaires.
e(t)
E0 Tensions continues
= C.O
Courants continus
E0 e(t) = C.C S0
Modèle équivalent des
composants actifs
ID Is exp UV 1
D
T
1
2 }
Ce système d’équations n’a pas de solution analytique car il appartient au groupe des « équations transcendantes »
Il faut donc trouver des méthodes de résolution autres. Trois possibilités vont alors s’offrir à nous:
•Une méthode Graphique
•Une méthode Itérative
•Une méthode Approchée.
Nous allons examiner successivement ces différentes méthodes.
ID
L’intersection de ces deux lois nous donne le point de
polarisation qui permet d’obtenir les valeurs de la tension VD aux
bornes de la diode et du courant ID circulant dans le circuit.
Méthode Itérative:
Exercice d’application.
Nous allons comparer les résultats obtenus à partir de la méthode approchée et de la méthode itérative pour un même exemple
correspondant au circuit ci dessous.
ID
ID 1,2 mA
10 kW
VD
12 V D
0 12 V
VD
(1) (2)
Si nous utilisons la méthode itérative, il faut se fixer un point de départ.
Prenons par exemple une tension nulle aux bornes de la diode: point (1)
Le courant dans le circuit vaut: I = (E/R) = 1,2 mA.
(5)
Si ce courant circule dans le circuit, la tension aux bornes de la diode vaut,
point (2). VD = UT Ln (I/Is) = 0,603 V. (4) (3)
Il n’est donc pas nécessaire de pousser le calcul plus loin vu l’écart entre les deux dernières valeurs. Le courant dans le circuit vaut donc:
I = 1,14 mA
Avec la méthode approchée, nous pouvons écrire: VD =0,6 V donc I = (E – VD)/R) = 1,14 mA. Si au lieu de prendre VD = 0,6 V on
prend 0,7 (erreur de 16 % sur la tension) la variation de courant est très faible. On obtient en effet I = 1,13 mA soit une variation relative
de 0,8 % ce qui est négligeable. Cette méthode sera donc systématiquement utilisée pour calculer les points de polarisation.
ID E0
R
D VD
v(t)
t
Nous allons donc, dans une première phase nous intéresser à la réponse du circuit vis à vis de la valeur moyenne du signal d’entrée.
Cela permettra de déterminer le point de polarisation c’est à dire la valeur des tensions continues aux différents nœuds et des courants
continus dans les différentes branches. Pour ce, nous utiliserons la source de tension continue E0.
V
L’équation de la maille E R I D VD peut s’écrire à tout
0
instant, la tension E étant comprise entre E e~ et E e~ . La
droite de charge va donc se déplacer entre deux limites extrêmes
comme le montre la figure.
t
Plan Général Plan du chapître
La jonction PN idéale en régime dynamique:modèle au 1er ordre
a) – Résistance dynamique.
On peut donc en conclure que, pour des petites variations autour d’un point de V0
fonctionnement, on peut linéariser la caractéristique de la diode et, par
conséquent, considérer qu’elle est assimilable à un élément dont la
caractéristique , dans le plan I(V), est une droite.
Un tel élément est assimilable à une résistance. On parlera donc de « résistance dynamique ».
La résistance dynamique d’une diode autour d’un point de fonctionnement est donc le rapport entre la variation de tension et la variation
de courant au point considéré (c’est la valeur de la dérivée en ce point).
rd dV
dI I I 0
La dérivation de l’exponentielle revient à une division par UT ce qui donne:
dI 1 I S exp V dV soit rd dV
UT UT
UT UT dI I I 0 I S exp V IO
UT
Plan Général Plan du chapître
La jonction PN idéale en régime dynamique:modèle au 1er ordre
b) – Capacité de diffusion.
Nous avons vu, lors de l’étude de la diffusion (diapo 76) que, la polarisation entraînant un excès de densité de charges, il en résultait une
charge stockée qui pouvait se mettre sous la forme du produit d’un courant par un temps:
Q I p0 t
Le temps qui apparaît dans cette relation peut-être:
- La durée de vie dans le cas d’une diode longue,
- Le temps de transit dans le cas d’une diode courte.
Le courant étant une fonction de la tension, si celle-ci varie, il en sera de même pour I, donc pour Q. On peut donc exprimer la variation de
charge induite par une variation de tension.
dQ dI p0 t d I s exp UT
t
V
dV dV dV
W2
Dans le cas d’une diode courte, le temps qui intervient est égal au temps de transit des porteurs et vaut . On sait que la dérivation de
2D
l’exponentielle correspond à une division par UT, ce qui donne:
dQ I0 W 2
P
dV UT 2D N+ Variation de
dQ charge due à la
Le terme est homogène à une capacité. variation de
dV tension
On l’appelle « Capacité de diffusion »
1
CTVa CT0 F
2
F Va 0 Va
rd
Cd
En dynamique R
C
8
R=
CT
Les premiers composants ont été réalisés dans les années cinquante. Les
diodes, pour des faibles puissances étaient des diodes à pointe constituées
d’un contact métallique sur un matériau semi-conducteur. Il était très
difficile de réaliser des diodes courtes eu égard à l’épaisseur minimum de
la plaquette nécessaire pour la réalisation du composant. Les techniques Méplat permettant de repérer l’orientation
évoluant, nous arrivons à la diode diffusée. cristalline
La diode est obtenue par diffusion d’impuretés d’un type donné sur un
substrat de type opposé.
Pour ce, un certain nombre d’opérations préliminaires sont nécessaires. (1)
La première consiste à oxyder la plaquette afin de la protéger de la
diffusion (1). Sans cela, les impuretés diffuseraient sur les deux faces et,
au lieu d’obtenir une jonction P-N, on en aurait une sur chaque face de la
plaquette. Cette silice est obtenue par oxydation thermique du silicium. Couche de Silice (thermique)
L’opération s’effectue à des températures de l’ordre de 1000 à 1100 °C,
dans un four en présence d’Oxygène (soit sec soit humide).
(4)
La plaquette ainsi oxydée est complètement protégée vis à vis du milieu
(6)
(5) (7) (3)
extérieur. Il va falloir ouvrir des zones dans cette couche afin de permettre
aux impuretés de diffuser dans le silicium. Ceci va se faire grâce à des (2)
opérations de masquage et de photogravure (photolithographie). Cette
technique, mise au point par Noyce et Hoerni date de 1962. Elle se
décompose de la manière suivante.
Dépôt d’une résine photosensible sur la silice (2)
Interposition du masque (3)
Insolation de la résine à l’aide d’une lumière généralement bleue (4), la
résine ainsi insolée devient soluble dans son révélateur.
Gravure de la silice dans les zones non protégées (5) puis enlèvement de la (8)
résine.
Diffusion des impuretés en deux phases:prédépôt (6) suivi d’une
redistribution (7), puis enlèvement de la silice sur les deux faces (8).
ID
VD Rs
avec: Vext Rs I D et
I D I s exp VD 1
UT
Plan Général Plan du chapître
La jonction P-N réelle; effets de second ordre et limitations
Une telle valeur de résistance série est totalement aberrante. En effet, si nous prenons une caractéristique de diode idéale à laquelle nous
rajoutons en tout point la chute de tension dans la résistance série, nous allons obtenir un résultat tel que celui présenté ci dessous.
Résistance série (2,4 kW) Rs * ID (V) 0,0024 0,024 0,24 2,4 24 240
La caractéristique résultante n’est plus celle d’une diode mais celle d’une résistance avec un seuil.
ID (mA)
Diode Idéale
Diode Réelle
10
1
V (Volts)
1 5 10 15 20 25 30
Dopages (Ln)
1à 2
N+
Dopage
N++
2à5
résultant
P-
P-
~300
Distances en mm
P++
P++
Le calcul donne une résistance série égale à 13,9 W. Si on reprend le tableau précédent, on obtient:
Résistance série (13,9 W) Rs * ID (V) 13,9 mV 139 mV 1,39 mV 13,9 mV 139 mV 1,39 V
Mis à part pour un courant de 100 mA ou l’écart semble important, les autres valeurs sont cohérentes. Nous verrons par la suite que pour
une surface correspondant à la valeur prise ici (50 mm * 50 mm), le courant maximum se situera aux environs de quelques milli-Ampères.
L’écart par rapport à la théorie sera donc acceptable.
nˆ N A
Or, nˆ n exp V
UT
ni
NA
2
exp V
UT
La tension correspondant à l’apparition du fort niveau se déduit donc directement de cette relation et donne:
NA ni
NA
2
exp VFN
UT
ce qui donne :
VFN 2 UT Ln N A
ni
On peut donc remarquer que cette tension est fonction du dopage de la région correspondante.
Différentes théories du fort niveau existent. Elles sont souvent complexes et font largement appel aux calculs numériques.
On peut toutefois faire une approche relativement simple en considérant que la perturbation des majoritaires entraîne l’apparition d’un
champ électrique qui engendre un phénomène de conduction. Comme dans le cas d’un semi-conducteur inhomogène, ce champ s’exprime
par la relation:
grad(pˆ (x)) ˆ (x) = NA + nˆ(x) .
E i UT [ p(x)
] avec: p(x) = NA + p
VN UT Ln 1 nˆ
NA
qui à très fort niveau tend vers : U Ln Nnˆ T
A
Or, nˆ n exp V d’où;
n exp V
UT
NA
VN UT Ln nˆ UT Ln
N A
UT UT Ln n V
NA
On a donc: VN ~ V.
La tension extérieure étant la somme des deux,vaut donc: Vext = 2 V. ID
Résistance série
La relation courant tension à fort niveau s’écrit donc:
n exp V
I J n Aj 2 q Aj Dn UT 2 q Aj Dn n exp Vext
W W 2 UT Fort niveau
Par exemple, pour une diode N+ P ( 10 18 – 10 16) la tension de fort niveau est
voisine de:
VFN 2 UT Ln N A 0,65V Loi théorique
ni VD
Le fort niveau apparaît généralement avant l’effet de la résistance série. 0
Nous avons montré que les taux de recombinaison pouvaient se mettre sous la forme:
Rn RcnRen CnNr[n(1 fn(Er))n fn(Er)]
Rp RcpRep CpNr[ p fn(Er) p(1 fn(Er))]
Ces deux expressions font apparaître la probabilité de présence d’un électron sur le niveau recombinant.
Plaçons nous dans le cas particulier d’un niveau recombinant situé au milieu de la bande interdite (cas le plus fréquent). Les sections
efficaces de capture des électrons et des trous seront alors égales et les densités n* et p* sont alors égales à ni. Nous pouvons alors
déterminer l’expression de la probabilité de présence des électrons en considérant que, dans des conditions d’équilibre, Rn = Rp.
En posant Cn = Cp = C, on obtient:
n ni
fn(Er )
n p 2 ni
Plan Général Plan du chapître
La jonction P-N réelle; effets de second ordre et limitations
En reportant cette valeur dans Rn ou Rp, on obtient:
n p ni2 1 n p ni2
Rn C Nr
n p 2 ni t n p 2 ni
Si nous calculons ce taux de recombinaison dans la région de charge d’espace, nous pouvons écrire que:
Ig q Aj
ni 2e F V
2t q N
Ce courant est effectivement très grand devant le courant inverse théorique et on pourra considérer que, en inverse, il est prépondérant.
Les porteurs, générés par effet thermique dans la charge d’espace, vont être
E accélérés par le champ électrique important qui y règne. Ils vont de ce fait
acquérir une énergie cinétique importante. Si on augmente la tension inverse
appliquée, le champ augmente avec. Il va arriver un moment ou l’énergie
cinétique acquise par les porteurs sera suffisante pour leur permettre d’ioniser
par chocs. Le phénomène devient donc cumulatif et, pour une très faible
augmentation de la tension, on observe une augmentation très importante du
courant.
On considère généralement que, compte tenu de la valeur du champ électrique,
les porteur se déplacent entre chocs à leur vitesse limite c’est-à-dire, la vitesse
thermique.
M 1
1 V
VBR
m
{ VBR est la tension de claquage (Breakdown),
m est un coefficient qui dépend de la technologie (2<m<6)
VBR I
Le courant, dans la zone d’avalanche s’écrit: I = M Ig V
La caractéristique inverse peut être représentée par la figure ci-contre
La zone d’avalanche présente une résistance dynamique très faible et Zone d’avalanche
pourra donc être utilisée comme référence de tension à la condition de
contrôler le courant car on risque l’emballement thermique qui serait
destructif pour le composant.
I
Résistance
série
Fort niveau
d’injection
VBR
0 V
Zone d’avalanche
Elle pourront être fonction du domaine de polarisation (directe ou inverse) mais certaines seront identiques quelles que soient les
polarisations.
Trois types de limitations existent
•En courant,
•En tension,
•En puissance.
Celle en tension n’apparaîtra qu’en polarisation inverse alors que les deux autres peuvent exister aussi bien en direct qu’en inverse.
Limitation en Puissance.
Directement liée à la puissance que peut dissiper la diode, elle est fonction de l’environnement ainsi que du boîtier. Elle traduit la
capacité du composant à évacuer les calories dues à l’effet Joule. Le passage d’un courant dans le composant sous une tension donnée
induit une puissance consommée qui va élever la température interne. La température maximale de fonctionnement d’une jonction est
de 200 °C. Il est donc nécessaire d’évacuer les calories afin de rester au dessous de cette valeur. Ce sera le rôle du boîtier.
Il est caractérisé par une « Résistance Thermique » qui permettra de calculer la puissance maximum dissippable dans des conditions
données. La relation liant cette résistance thermique et la puissance maximale est:
Tjmax = Température maximale de jonction (200 °C)
Pmax
Tj max TA
Rth
avec:
{ Ta = Température ambiante
Rth = Résistance thermique du boîtier
Le lieu à Pmax = constante dans le plan I(V) est une hyperbole appelée « Hyperbole de dissippation maximum ». Le point de
fonctionnement devra se situer entre les axes et cette hyperbole.
Limitation en Tension.
Cette limitation interviendra exclusivement en inverse. Elle sera due au champ électrique dans la région de charge d’espace. Le silicium,
comme tous les matériaux cristallisés, va pouvoir supporter un champ électrique interne maximum au delà duquel les liaisons atomiques
vont être cassées. Ce champ est appelé généralement « Champ disruptif » noté ECR.
Pour le silicium, sa valeur est de 30 V/mm.
Le champ maximum dans la région de charge d’espace s’exprime en fonction de la tension inverse appliquée. On va donc pouvoir définir
une tension maximum admissible qui découlera de cette contrainte.
Le champ maximum s’écrit:
q N*
Emax d
e
Plan Général Plan du chapître
La jonction P-N réelle; effets de second ordre et limitations
Dans l’expression précédente, la dimension de la charge d’espace est fonction de la tension appliquée. On peut donc relier le champ
électrique à la tension inverse et donc calculer la tension correspondant au champ maximum admissible. Cette tension est généralement
notée VBR. Elle vaut:
q N* 2e
ECR (F VBR )
e q N*
Exercices
ce qui donne:
eE 2
VBR CR
F
2 q N*
On pourra remarquer que cette tension est inversement proportionnelle au dopage. Pour obtenir des tensions de claquage
importantes, il faudra utiliser des matériaux peu dopés.
Une autre limitation en tension peut exister dans les composants semi-conducteurs. Elle est liée à la dimension de la charge d’espace.
Ce sera, là aussi, la plus faible de ces deux tensions qui sera à P++
prendre en compte.
2
On donne:
•N+ = 10 18 cm-3
10
P-
•P- = 10 16 cm-3
•P++ = 10 19 cm-3
•Aj = 0,1 mm2
t = k/N et t = 10-6 pour N = 10 16 cm-3
290
On désire tracer la caractéristique réelle de cette jonction . Pour ce, on étudiera
consécutivement la polarisation directe puis inverse.
P++
1°)- Etude en polarisation directe.
Plan Général
Solution de l’exercice sur la jonction PN réelle
La détermination du courant inverse théorique nécessite de savoir si la diode est courte ou non. Pour ce, il est nécessaire de calculer les
dimensions électriques des régions ainsi que les longueurs de diffusion des porteurs minoritaires dans ces régions.
Caractéristiques de la zone de charge d’espace.
N A ND
Hauteur de la barrière de potentiel: F UT Ln 0,813 V
ni2
t (s) 10 -8 10 -6 10 -9
IS q AJ ni2 1,251013 A
DN
N AWP
Apparition du fort niveau d’injection:
Il est caractérisé par le moment ou la densité des minoritaires injectés devient égale à celle des majoritaires de la région correspondante.
nˆ N A
Or,
UT
nˆ n exp V ni exp V
2
NA UT
La tension correspondant à l’apparition du fort niveau se déduit donc directement de cette relation et donne:
N A ni exp VFN
2
NA UT
ce qui donne :
VFN 2 UT Ln N A
ni
1
Application numérique: VFN = 0,694 V
Résistance série (1,74 W) Rs * ID (V) 1,74 mV 17,4 mV 174 mV 1,74 mV 17,4 mV 174 mV
r C W W
2 2
La capacité de diffusion s’en déduit par: C 8,28 pF
2Dr
d d d
2D d
En polarisation inverse.
Tension théorique de percement: elle correspond à la tension pour laquelle la charge d’espace recouvre entièrement la région P- c’est à
dire la valeur de tension correspondant à d = 10 mm.
q N X p2
d Xp 2 e
q N
F Vp Vp 2e F 800 V
q N*
Le champ maximum à la jonction s’exprime par la relation: Emax d dans laquelle d est une fonction de V. Donc:
e
e ECR
2
VBR 27,31 V
VBR F avec Ecr = 30 V/mm . On obtient:
2 q N*
Le claquage apparaîtra donc par effet d’avalanche pour une tension inverse de sensiblement 27 V.
On peut donc, compte tenu de ces différentes valeurs, tracer la caractéristique réelle de la diode.
ID
0 t0 t1
R t
D VD
v(t)
-Ei
Nous allons chercher à établir les équations permettant de représenter les évolutions de la tension aux bornes de la diode et du courant
dans cette dernière en fonction du temps. Pour ce, il est nécessaire de pouvoir modéliser la diode dans les différentes phases du
processus de commutation:
•1°)- t < t0; v(t) = -Ei – la diode est bloquée.
•2°)- t0 - e < t < t0 + e; v(t) passe de -Ei à ED – la diode passe d’un état bloqué à un état conducteur.
•3°)- t0 < t < t1, v(t) = ED – la diode est conductrice.
•4°)- t1 - e < t < t1 + e; v(t) passe de ED à -Ei – la diode passe d’un état conducteur à un état bloqué.
Il faut donc modéliser notre circuit dans chacune de ces phases.
e Aj
CT
2e F EI
q N
La modélisation du circuit correspond alors à une résistance R en série avec une capacité CT. C’est donc ce modèle qui va être la
base de l’étude qui suit.
2°)- La diode se débloque.
Dans la première phase de la commutation, la tension d’entrée va passer, de manière quasi instantanée, de la valeur –Ei à la valeur ED.
La capacité de la charge d’espace va donc évoluer en fonction du temps puisque la tension aux bornes de la diode va suivre la tension
d’entrée tout au moins tant que la diode sera bloquée.
Cette évolution de la tension entraîne une évolution de la capacité qui varie donc avec le temps. Doit-on prendre en compte la capacité
au départ (pour v(t) = -Ei), à la fin de la période de blocage (v(t) = V0)…; pour pouvoir faire un calcul de manière relativement simple,
on calcule une valeur moyenne de la capacité pendant cette période de blocage. Celle ci s’exprime par une relation qui s’écrit:
-Ei
ID
I
R rd DI = (ED + Ei)/R
Modèle pour
CD VD
VD >V0 ED
I = (ED – V0)/R
ID
4°)- La diode se bloque.
Dès que la tension théorique aux bornes de la diode devient égale à V0, la diode se bloque. Le modèle redevient celui du fonctionnement en
inverse c’est à dire la capacité de transition. La fin du processus de commutation correspond à la décharge de la capacité de transition qui
va passer de V0 à –Ei. Le courant va alors tendre exponentiellement vers 0.
V
ED
rd C d
V0
0 t0 t1 t
R CT
-Ei
Temps de déblocage
0
t
ED Ei
DI
R
vr
v(t)
t
vR
v(t)
On obtient donc une amélioration notable du rendement. Ce système est utilisé dans tous les redresseurs; on lui adjoindra une capacité en
parallèle avec la résistance afin d’obtenir une valeur quasi continue ainsi qu’un ensemble de régulation permettant de compenser
instantanément des variations pouvant apparaître au niveau de l’utilisation. Ce montage est la base des alimentations stabilisées.
Les tensions e1 et e2 sont des signaux logiques dont les valeurs sont +5 V et E
–5 V.
La tension d’alimentation E est égale à 10 V et la résistance R vaut 1 kW.
Nous allons déterminer les états possibles de la sortie afin de définir quelle R
est la fonction logique ainsi réalisée. Pour ce, il faut prendre en compte D1
quatre états possibles de entrées:
•e1 = e2 = +5 V
•e1 = e2 = -5 V
e1
•e1 = +5 V, e2 = -5 V e2 D2 s
•e1 = - 5 V, e2 = +5 V
Les deux derniers cas sont identiques; nous avons donc trois cas à analyser.
1°)- e1 = e2 = +5 V; les deux diodes conduisent car la tension à leurs bornes est théoriquement supérieure à 0,6 V (+5 V sur la cathode et + 10 V
sur l’anode). La tension de sortie est donc égale à la tension d’entrée décalée de 0,6 V soit: s = 5,6 V (« 1 » logique).
2°)- e1 = e2 = -5 V; les deux diodes conduisent car la tension à leurs bornes est théoriquement supérieure à 0,6 V (-5 V sur la cathode et + 10
V sur l’anode). La tension de sortie est donc égale à la tension d’entrée décalée de 0,6 V soit: s = -4,4 V (« 0 » logique).
3°)- e1 = +5 V, e2 = -5 V où e1 = - 5 V, e2 = +5 V
Il va falloir, dans ce cas faire une hypothèse sur l’état des diodes. Trois cas sont possibles:
e1 e2 s
0 0 0
1 1 1
0 1 0
1 0 0
La fonction ainsi réalisée correspond à une fonction « et ».
s = e1 et e2 = e1 * e2
N+
DC
L Signal
Basse C0
fréquence
C
t
Plan Général Plan du chapître