Bonnin
Bonnin
Ecole doctorale :
Génie Electrique, Electronique, Télécommunications (GEET)
Unité de recherche :
Laboratoire Plasma et conversion d'Energie (LAPLACE)
Directeur(s) de Thèse :
M. HUBERT PIQUET
M. NICOLAS NAUDÉ
Rapporteurs :
M. ERIC LABOURE, SUPELEC
M. JEAN-MARIE CORMIER, UNIVERSITE D'ORLEANS
Membre(s) du jury :
2 M. ERIC LABOURE, SUPELEC, Membre
2 M. HUBERT PIQUET, INP TOULOUSE, Membre
2 M. LAURENT PECASTAING, UNIVERSITE DE PAU ET DES PAYS DE L ADOUR, Membre
2 M. NICOLAS NAUDÉ, UNIVERSITE TOULOUSE 3, Membre
2 M. PHILIPPE CUSSAC, CIRTEM LABEGE, Membre
2
Remerciements
3
4
Résumé
Mots-clés : convertisseur statique - dbd - contrôle du courant - plasma - GaN -
traitement de surface - résonance - transformateur
5
6
Table des matières
7
2.2.2.a Choix des interrupteurs de puissance . . . . . . . . . . . . 43
2.2.2.b Commande rapprochée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
2.2.2.c Gestion du courant magnétisant . . . . . . . . . . . . . . . 46
2.2.3 La source de courant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
2.2.3.a Topologie, synthèse des interrupteurs . . . . . . . . . . . . 49
2.2.3.b Critères pour choisir les paramètres . . . . . . . . . . . . . 50
2.2.3.c Pertes : étude comparative . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
2.2.4 Fabrication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
2.2.4.a Choix de la tension d’entrée . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
2.2.4.b Choix des interrupteurs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
2.2.4.c L’inductance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
2.2.4.d Refroidissement et placement des éléments . . . . . . . . . 57
2.3 Étude expérimentale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
2.3.1 Dispositif expérimental . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
2.3.1.a Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
2.3.1.b Compensation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.3.1.c Transformateurs utilisés . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
2.3.2 Relevés . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
2.3.2.a Chronogrammes : influence des effets parasites . . . . . . . 62
2.3.2.b Identification expérimentale des paramètres . . . . . . . . . 64
2.3.2.c Domaines de transition homogène-filamentaire . . . . . . . 64
2.3.2.d Gains apportés au procédé de dépôt . . . . . . . . . . . . . 66
3 Conception du transformateur 69
3.1 Modélisation électrique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69
3.1.1 Cas général . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
3.1.1.a Transformateur multi-enroulements : modèle magnétique . 71
3.1.1.b Effets électrostatiques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
3.1.1.c Admittance du système . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72
3.1.2 Transformateur à deux enroulements . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
3.1.2.a Cas général . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
3.1.2.b Réduction du modèle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
3.1.2.c Modèle à un seul paramètre capacitif . . . . . . . . . . . . 78
3.2 Estimation des paramètres électrostatiques . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
3.2.1 Paramètres de construction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
3.2.1.a Bobinage simple . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
3.2.1.b Bobinage avec secondaire fractionné . . . . . . . . . . . . . 80
3.2.1.c Partitionnement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
3.2.2 Méthode analytique approchée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
3.2.2.a Hypothèses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83
3.2.2.b Résolution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84
3.2.2.c Validation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
3.2.3 Méthode de Rayleigh-Ritz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
3.2.3.a Formulation variationnelle de l’équation de Laplace . . . . 91
8
3.2.3.b Principe de la méthode de Rayleigh-Ritz . . . . . . . . . . 91
3.2.3.c Application au transformateur . . . . . . . . . . . . . . . . 92
3.3 Minimisation des effets capacitifs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97
3.3.1 Formulation d’un cahier des charges . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
3.3.2 Paramètres d’optimisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
3.3.2.a Paramétrage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
3.3.2.b Objectif . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
3.3.2.c Contraintes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
3.3.3 Algorithmes d’optimisation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 104
3.3.3.a Choix de l’algorithme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 104
3.3.3.b Algorithme génétique avec méthode de nichage . . . . . . . 105
3.3.4 Résultats et multiplicité des solutions . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
3.3.4.a Paramétrage du problème . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
3.3.4.b Résultats . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
9
A Étude analytique des alimentations 149
A.1 Alimentation en tension sinusoïdale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
A.1.1 Puissance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
A.1.2 Durée d’allumage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
A.1.3 Valeur du maximum de courant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151
A.1.4 Courant efficace délivré par l’alimentation . . . . . . . . . . . . . . . 151
A.1.5 Facteur de dimensionnement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151
A.2 Alimentation en courant sinusoïdal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151
A.2.1 Puissance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152
A.2.2 Durée d’allumage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152
A.2.3 Tension DBD maximale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152
A.2.4 Facteur de dimensionnement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152
A.3 Alimentation en courant rectangulaire . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152
A.3.1 Puissance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152
A.3.2 Durée d’allumage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
A.3.3 Tension maximale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
A.3.4 Facteur de dimensionnement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
A.3.5 Flux magnétique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
10
Introduction
Les Décharges à Barrières Diélectriques (DBD) sont exploitées dans l’industrie depuis
plus d’un siècle. Une telle décharge se produit entre deux électrodes métalliques, séparées
par une ou plusieurs épaisseurs de matériau diélectrique et un espace gazeux où se produit
la décharge. Cette constitution permet d’opérer une limitation capacitive locale du courant
injecté ce qui évite le régime d’arc électrique et permet l’obtention d’un plasma froid hors
équilibre thermodynamique à pression atmosphérique. La première utilisation industrielle
rapportée remonte à 1857 lorsque Siemens l’ employa dans ce qui fut le premier ozoneur
où de l’air à pression atmosphérique soumis à un champ électrique suffisamment intense
est ionisé, permettant la production de molécules d’ozone. Ces dernières, dotées d’un
très grand pouvoir oxydant, étaient ensuite dissoutes dans l’eau afin de la décontaminer
efficacement, ce qui constituait une alternative prometteuse aux traitements de l’eau par
chloration. Depuis, les recherches se sont intensifiées tant sur les applications que sur
la compréhension des mécanismes mis en jeu. Les études qui suivirent, dont la plupart
ont été menées après les années 1970, qualifièrent les décharges au sein des ozoneurs de
« silencieuse ». Celles-ci produisent un plasma froid car la température moyenne du gaz
est sensiblement égale à la température ambiante et hors équilibre car la température
électronique est très élevée (de l’ordre de 104 K) devant la température du gaz (de l’ordre
de 300 K). L’énergie fournie aux électrons par le champ électrique permet le déroulement
de réactions chimiques particulières qui ne pourraient avoir lieu à température ambiante,
ainsi que de l’émission lumineuse. Les techniques de mesures se modernisant (oscilloscopes,
caméra rapide, etc. . . ) et la connaissance des phénomènes progressant, elles permirent de
différencier plusieurs types de décharge dépendant de la nature du gaz utilisé mais aussi
d’autres paramètres tels que la densité de puissance injectée, la forme d’onde et la fréquence
imposées par les générateurs électriques.
Lorsque les décharges sont réalisées dans l’azote ou dans l’air à pression atmosphérique
et dans de grands volumes (supérieurs à quelques mL), des travaux ont montré que la
décharge s’organise presque toujours en une multitude de filaments, qui sont des tubes de
courant à faible durée de vie (10–100 ns) d’une centaine de micro-mètres de diamètre où la
densité de courant atteint des valeurs élevées ; on parle alors de régime filamentaire. C’est
ce régime qui est exploité dans un grand nombre d’applications (ozoneurs, émission UV,
etc. . . ). Depuis le début des années 2000, des études ont permis de mettre en évidence dans
l’azote l’existence d’un régime de Townsend, qui est caractérisé par le fait que le champ
électrique reste égal au champ électrique géométrique, et par le fait que les porteurs de
charge majoritaires sont les ions. Ces études dans l’azote à pression atmosphérique ont
11
12 INTRODUCTION
montré que sous certaines conditions d’excitation, la décharge peut être homogène, c’est
à dire que le courant est uniformément réparti dans la section où se produit la décharge
ce qui présente un grand intérêt dans certaines applications.
Ainsi, la compréhension des mécanismes physico-chimiques a permis d’envisager de
nouvelles applications dans lesquelles les DBD peuvent être employées. Au XIXe siècle et
durant une grande partie du XXe siècle, les applications se sont principalement cantonnées
aux ozoneurs. Durant les années 80, est apparu le procédé corona qui met en œuvre une
DBD et a permis de réaliser des traitements de surface de film polymères. Depuis les
années 1990, l’utilisation des dispositifs DBD connaît un grand essor et la technologie
se répand dans de nombreuses applications. Ils sont actuellement mis en œuvre dans
plusieurs types de dispositifs industriels de traitement de surface pour affecter l’hydrophilie
de surfaces polymères. Ils sont employés pour l’émission lumineuse dans la gamme UV pour
la décontamination de l’eau et pour le traitement de certaines affections dermatologiques
telles que le psoriasis. Ils sont également à l’étude en laboratoire pour le dépôt de couches
minces à pression atmosphérique ; on peut par exemple citer le dépôt de couches anti-reflets
sur les panneaux photovoltaïques ainsi que le dépôt de couche barrières sur des surfaces
polymères. Afin d’opérer correctement un dépôt, la décharge doit demeurer en régime
homogène ce qui soulève des défis. Le principal verrou scientifique est l’atteinte d’une
vitesse de dépôt acceptable pour que le procédé puisse être adopté par des industriels.
L’une des applications grand public innovante de la fin du XXe siècle mettant en œuvre
les dispositifs DBD à grande échelle fut l’écran plasma. Des millions d’unités ont été
commercialisées depuis son invention. Néanmoins, l’engouement pour cette technologie
s’est peu à peu tari à cause de l’émergence des technologies concurrentes. Les applications
dans lesquelles sont mises en œuvre les DBD mettent également en lumière de nouveaux
challenges quant à la conception et au dimensionnement des alimentations électriques.
Les manières de solliciter un gaz sont nombreuses ; elles couvrent une très large gamme
spectrale, s’étalant de la centaine de Hertz à la gamme micro-onde. En ce qui concerne
la gamme BF (inférieur à 10 MHz), elles ont pour point commun la nécessité d’atteindre
des tensions élevées allant jusqu’à quelques dizaines de kilo-volts. Dans le domaine des
alimentations BF, des exigences quant aux formes d’onde et au contrôle sont multiples.
Dans le domaine de l’émission UV au moyen de lampes exciplexes, des études montrent
que les formes d’onde et la fréquence impactent le rendement lumineux (pour une même
puissance électrique transmise). Pour une décharge dans l’azote à pression atmosphérique,
la forme d’onde et le contrôle du courant injecté impactent la qualité du régime obtenu
(homogène ou filamentaire). En outre, certaines conditions de fonctionnement demeurent
à ce jour inconnues, aussi bien du point de vue de la physique de la décharge que du point
de vue de l’efficacité sur une application, car elles nécessitent des contraintes drastiques
sur l’alimentation électrique.
Ainsi, au cours de ce travail nous aborderons l’étude des alimentations électriques pour
dispositifs DBD et de leurs effets sur certaines applications selon quatre axes.
• Dans le premier chapitre, on s’intéressera tout d’abord a définir ce qu’est un dispo-
sitif DBD. Ensuite, on explicitera la principale problématique liée à l’alimentation
électrique dans le cadre d’une application de dépôt à pression atmosphérique où le
régime homogène est nécessaire. À la lumière des précédentes études sur le procédé,
13
on mettra en avant les bénéfices que peut apporter une alimentation en courant
rectangulaire.
• Le second chapitre s’intéresse au dimensionnement, à la fabrication d’une alimen-
tation en courant carré, et à l’étude de son impact sur une décharge dans l’azote à
pression atmosphérique, dans le but de développer un procédé de traitement de sur-
face. Parallèlement on met en avant les difficultés liées aux effets parasites capacitifs
du transformateur élévateur et à leur impact délétère sur l’obtention d’une décharge
homogène.
• Le troisième chapitre s’intéresse exclusivement à l’étude du transformateur élévateur
car ce dernier est un élément essentiel dans la conception d’une alimentation pour
dispositifs DBD. On propose une méthode permettant d’effectuer une conception
par minimisation des effets capacitifs parasites dans le but de réduire leur impact
sur les décharges. Pour ce faire, un modèle électrique est proposé, puis une méthode
d’estimation rapide des effets capacitifs est mise en œuvre. Le faible coût calculatoire
de la méthode est mis à profit dans un algorithme génétique de conception par
optimisation.
• Enfin le quatrième chapitre présente quelques pistes plus récemment empruntées
dont l’étude approfondie est en cours. On évoque dans un premier temps les mérites
exploratoires d’une alimentation quasi-résonante en régime de conduction disconti-
nue. En particulier, on montre son intérêt pour l’investigation sur les performances
de plusieurs applications dont le dépôt de couches minces. Dans un second temps,
on s’intéresse à une alimentation résonante sans transformateur. En plus d’évincer le
transformateur élévateur et ses effets capacitifs parasites, cette alimentation permet
d’atteindre des hautes fréquences (> 1 MHz) sous une haute tension (plusieurs kV).
Elle permet en outre de bénéficier d’une grande compacité ce qui revêt un intérêt
dans certaines applications. On met en avant les défis technologiques qui ont été
surmontés lors de la conception du convertisseur, et on montrera expérimentalement
la validité du concept.
14 INTRODUCTION
Chapitre 1
Introduction
Après avoir identifié les différentes zones de fonctionnement d’un gaz soumis à un
champ électrique, nous verrons pourquoi il est généralement nécessaire d’insérer des bar-
rières diélectriques entre les électrodes lorsque le gaz est soumis à pression atmosphérique,
et nous définirons le dispositif DBD, dont l’alimentation constitue l’objet de cette étude.
Nous évoquerons parallèlement comment les différents types de décharge sont exploités
dans l’industrie ou en laboratoire, et nous fournirons quelques exemples d’application.
Une fois le dispositif DBD bien défini et son modèle électrique équivalent discuté,
nous évoquerons quelques problèmes concrètement rencontrés lors de l’alimentation de
dispositifs DBD, notamment dans l’azote à pression atmosphérique dans le cadre d’une
application de dépôt de couches minces. On comparera plusieurs stratégies d’alimentation
afin de dégager celle qui paraît la mieux adaptée pour contribuer à la résolution des
problèmes rencontrés.
15
16 CHAPITRE 1. DBD : DESCRIPTION, UTILISATIONS, MODÈLES
Vth
Figure 1.1 – Allure de la caractéristique tension/courant d’un gaz en régime DC à pression réduite.
1.1.1.a Zone I
Initialement, la tension imposée par le générateur est nulle. Lorsque l’on l’augmente
progressivement, naît un champ électrique. Tant que celui-ci reste « faible », le compor-
tement du mélange gazeux se rapproche fortement de celui d’un isolant parfait car aucun
courant électrique ne peut y exister. Seuls les rares électrons et ions générés par le rayon-
nement cosmique (ou une autre source) permettent l’existence d’un courant électrique.
– Dans la zone repérée « a », l’application d’un champ électrique permet de collecter
toutes les charges créées par la source extérieure.
– Dans la zone repérée « b », on observe la saturation du courant, liée au fait que
toutes les charges sont collectées mais que le champ électrique est trop faible pour
que les électrons gagnent suffisamment d’énergie pour ioniser le gaz.
– Dans la zone repérée « c », sous l’effet du champ électrique, les électrons sont accélérés
et entraînent l’ionisation des atomes (ou molécules) par collisions inélastiques.
Au sein de cette zone, la valeur du courant reste très faible et la décharge est non-
entretenue : si la source extérieure est stoppée, la décharge s’interrompt.
1.1.1.b Zone II
Lorsque le champ électrique augmente, certains ions possèdent suffisamment d’énergie
pour permettre l’émission d’électrons secondaires à la cathode (Fig. 1.2). Grâce à cela, la
décharge devient auto-entretenue ; les électrons secondaires jouant le rôle de la « source
extérieure ». Le gaz perd alors ses propriétés isolantes. Le régime de décharge obtenu lors
de cette phase est nommé régime de Townsend. Dans ce régime, l’impact sur le champ
électrique des processus d’ionisation demeure encore négligeable car les ions sont peu nom-
breux et le champ électrique reste donc quasiment égal au champ électrique géométrique.
Ce qui caractérise le régime de Townsend, c’est la quasi-constance de la tension aux bornes
du gaz, indépendamment de la valeur du courant. Cette tension correspond à la tension de
claquage donnée par la courbe de Paschen (voir Fig. 1.3) qui donne la tension de claquage
d’un gaz en fonction du produit « pression × distance ».
1.1. DISPOSITIFS DBD 17
Cathode Anode
γ
- + - +
+
-
- + + +
Electron
- - -
germe
Figure 1.2 – Un électron germe engendre M paires d’électron/ion par collisions. À la cathode, un ion
donne naissance à γ électrons par emission secondaire cathodique (γ est en général inférieur à 1).
100
10
V (kV)
N2
Air
He
0.1
1 10 100 1000
pd (torr.cm)
Figure 1.3 – Courbe de Paschen pour différents gaz (d’après les valeurs numériques fournies en [46]).
18 CHAPITRE 1. DBD : DESCRIPTION, UTILISATIONS, MODÈLES
1.1.1.d Zone IV
L’augmentation du courant entraîne une augmentation de l’ionisation et du bombar-
dement des électrodes. Cette augmentation entraîne la thermo-émission d’électrons à la
cathode. Ainsi, la décharge transite en régime d’arc électrique.
Figure 1.5 – Photo d’une décharge filamentaire prise au travers d’une électrode transparente. Extraite
de [41].
10 10
DBD Current (x 10 mA) DBD Current (x 10 mA)
DBD Voltage (kV) DBD Voltage (kV)
5 5
0 0
-5 -5
-10 -10
0 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09 0 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 0.09
Time (ms) Time (ms)
(a) (b)
Figure 1.6 – Manifestations des régimes homogène (à gauche) et filamentaire (à droite) et impact sur les
chronogrammes (tension et courant DBD). Conditions : DBD de 9 cm2 dans l’azote à pression atmosphé-
rique, F =11 kHz.
homogène obtenu dans l’azote est caractérisé par une occupation uniforme de la section
dans laquelle s’opère la décharge et les conditions sont telles que le gaz est sollicité dans
sa zone de Townsend (voir Fig. 1.1) malgré la pression élevée.
Afin d’illustrer la nuance existant entre ces deux régimes, des images ainsi que des
formes d’onde électriques sont données Fig. 1.6 lorsque le dispositif DBD est alimenté par
une source de tension sinusoïdale dans l’azote à pression atmosphérique. En régime homo-
gène, la puissance se répartit uniformément sur la surface comme l’atteste la photo rapide
(temps de pause : 10 ns), et le courant ne présente qu’un seul pic par alternance de la
tension. En régime filamentaire, la puissance tend à se focaliser dans des tubes de courant
(Fig. 1.6d) où la densité de courant peut atteindre une valeur élevée et le chronogramme de
courant est composé d’une multitude de pics (Fig. 1.6b). La nature du gaz employé et les
paramètres physico-chimiques tels que la pression, la température et le taux d’impuretés
fixent en grande partie la nature de la décharge. Et comme le suggère l’allure de la caracté-
ristique tension/courant d’un gaz à basse pression Fig. 1.1, les paramètres d’alimentation
jouent également un rôle déterminant à cet égard. En effet, plusieurs travaux font état de
l’influence du générateur sur le comportement et les performances des décharges obtenues.
En [11], l’auteur met en avant l’importance de l’effet mémoire d’une décharge à la suivante
1.1. DISPOSITIFS DBD 21
Figure 1.7 – Générateur de plasma élémentaire utilisé par la société APIT (gauche) et résultat du
traitement sur une feuille d’aluminium (droite). D’après APIT
pour obtenir une décharge homogène. Il montre que cet effet est lié à la présence d’espèces
énergétiques non chargées à longue durée de vie. Suivant les conditions d’excitation, l’effet
mémoire peut être favorisé ou non. Ainsi, le générateur électrique, au travers de ses para-
mètres (puissance, fréquence, formes d’onde), possède une influence non négligeable sur le
comportement de la décharge. Bien que nécessitant des précautions pour être obtenu, le
régime homogène est souvent recherché dans les applications de dépôt de couches minces
car il permet d’opérer un traitement uniforme.
Figure 1.8 – Prototype de lampe excimère (100 Watts) utilisée pour la production d’UV (Laboratoire
LAPLACE, équipes LM et G-ENESYS).
(a) (b)
Figure 1.9 – (a) Résultat du dépôt de couche hydrophobe sur du bois. (b) Photo de dépôt de SiO2 sur
un wafer de silicium en régime filamentaire (gauche) et homogène (droite). Laboratoire LAPLACE, équipe
MPP.
UV est nécessaire [34]. Leurs propriétés sont également utilisées à des fins médicales en
dermatologie pour le traitement de certaines affections telles que le psoriasis [83].
Les dispositifs DBD sont également étudiés pour le contrôle d’écoulement d’air dont
la principale application se situe dans le domaine de l’aéronautique [59]. La décharge
s’effectue parallèlement à l’écoulement fluide. Le vent électrique généré par la décharge
permet de modifier les propriétés de l’écoulement afin de le faire passer du régime turbulent
au régime laminaire. Ceci permettrait de réduire les pertes aérodynamiques au niveau des
ailes d’avion.
Les dispositifs DBD s’emploient efficacement dans le domaine du dépôt de couches
minces sur substrat [56]. Il existe de nombreuses applications nécessitant la réalisation
d’une couche de faible épaisseur (micro-électronique, photovoltaïque, alimentaire, . . . ).
L’utilisation d’un plasma à pression atmosphérique ne permet pas de remplacer tous les
procédés basse pression existants, mais cela peut être une alternative prometteuse pour des
applications à faible valeur ajoutée nécessitant le traitement de grandes surfaces. Parmi
les applications visées, on peut citer par exemple :
– le dépôt de couches hydrophobes sur bois (Fig. 1.9a),
– le dépôt de couches barrières au gaz et à l’humidité sur polymères,
– le dépôt de couches anti-reflet sur des cellules photovoltaïques (Fig. 1.9b).
Dans le cadre de ce type d’application, une décharge de type homogène est nettement
1.1. DISPOSITIFS DBD 23
Source électrique
Cdiel
|Vgas|> Vth
idbd change
de signe
idis
Vdbd
Vth
Vgas
I
Cgas -Vth
ON
(a) (b)
Figure 1.10 – (a) Modèle électrique d’un dispositif DBD en régime de Townsend. (b) Diagramme séquen-
tiel des états ’ON’ et ’OFF’ de la décharge.
préférable à une décharge de type filamentaire. En effet, comme nous pouvons l’imagi-
ner en examinant Fig. 1.5, une décharge filamentaire conduit à un traitement de surface
inégalement réparti.
1
dVdbd = dQdbd .
Ceq
– Lorsque la décharge est amorcée, la tension Vgas reste égale à Vth (lors d’un claquage
positif). Ainsi, la relation reliant la variation de tension dVdbd et la variation de
charge dQdbd s’exprime par :
1
dVdbd = dQdbd .
Cdiel
Ainsi, selon l’état du gaz, la trajectoire du point de fonctionnement suit des droites de
pente différente. De plus, cette trajectoire doit être continue car la charge d’une capacité et
la tension à ses bornes ne peuvent admettre une discontinuité. On comprend donc qu’en
régime périodique établi, cette trajectoire prenne la forme d’un parallélogramme. Nous
représentons celle-ci Fig. 1.11. Les pentes à l’état non-claqué p2 et à l’état claqué p1 valent
respectivement 1/Ceq et 1/Cdiel .
1.1. DISPOSITIFS DBD 25
Vdbd
^
Vdbd
Vth
M2
^
-Q dbd Qdbd
^
Qdbd
p2
M
1
-Vth
p1 ^
P -V dbd
On peut également montrer que l’intersection de la trajectoire avec l’axe des ordonnées
donne la valeur de la tension de claquage Vth . Ainsi, cette représentation présente un intérêt
particulier lorsqu’il s’agit d’identifier les trois paramètres du modèle électrique d’une DBD
homogène.
A = [P ~M1 , P ~M2 ] ,
4 h i (1.3)
= (p2 + p1 )V̂dbd Q̂dbd − p1 p2 Q̂2dbd − V̂dbd
2
,
p2 − p1
où les grandeurs sont données Fig. 1.11. De plus, les valeurs crêtes de tension et de charge,
V̂dbd et Q̂dbd , sont liées par la relation structurelle du dispositif DBD qui dicte les condi-
tions de transition entre les états ON et OFF du gaz. Elle est donnée par
V̂dbd = Vth + p1 Q̂dbd . (1.4)
Ainsi, en combinant (1.3) et (1.4) on montre que
A = 4Vth (Q̂dbd − Cgas Vth ). (1.5)
1. Ceci peut se justifier par analogie avec le calcul des pertes sur un cycle d’hystérésis dans un matériau
magnétique. En effet, celles-ci sont données par l’aire du cycle dans le plan courant-flux multipliée par la
fréquence de fonctionnement.
26 CHAPITRE 1. DBD : DESCRIPTION, UTILISATIONS, MODÈLES
La relation (1.5) prouve que, sous réserve de travailler avec le même modèle électrique,
l’énergie injectée au cours d’une période dans un dispositif DBD ne dépend pas des formes
d’onde de l’alimentation électrique. La connaissance des seuls paramètres intrinsèques
du dispositif DBD, de la fréquence, et de la valeur maximale de la charge fournie par
l’alimentation électrique suffit à déterminer la puissance dissipée.
Remarquons que l’on aurait pu choisir de combiner (1.3) et (1.4) afin d’éliminer Q̂dbd
au lieu de V̂dbd , pour montrer que la puissance ne dépend que des paramètres intrinsèques
du dispositif DBD, de la fréquence d’alimentation, et de la tension maximale délivrée par
l’alimentation électrique. On montre ainsi de façon équivalente que
!
Vth
A = 4Cdiel Vth V̂dbd 1 − (1 + r) , (1.6)
V̂dbd
où
Cgas
r= .
Cdiel
nexion des sources connectées via une cellule de commutation dans le but d’un transfert
d’énergie 3 [66], il paraît naturel de solliciter une DBD avec une source de courant.
puissance injectée dans le dispositif DBD. En plus de posséder le meilleur facteur de di-
mensionnement, l’alimentation en courant carré est celle qui minimise la durée d’extinction
de la décharge à puissance donnée, ce qui est une qualité recherchée dans une application
de type dépôt pour favoriser l’effet mémoire entre deux décharges. Ainsi, l’alimentation en
courant carré, qui d’après les études basées sur la compréhension de phénomènes physiques
permet à la fois d’accroître la puissance et l’effet mémoire tout en maximisant le facteur
de dimensionnement.
3. Cette règle stipule que pour opérer un transfert d’énergie entre deux dipôles via une cellule de
commutation, ceux-ci doivent être de nature différente. Ainsi, si la charge comporte une caractéristique de
type « source de tension », l’alimentation doit posséder une caractéristique « source de courant ».
30 CHAPITRE 1. DBD : DESCRIPTION, UTILISATIONS, MODÈLES
0.6 1
V sinus
0.9 I sinus
0.5
Facteur de dimensionnement
0.8 I carre
0.7
0.4
0.6
toff*2F
0.3 0.5
0.4
0.2
0.3
V sinus 0.2
0.1
I sinus 0.1
I carre
0 0
0 5 10 15 20 0 5 10 15 20
p p
(a) (b)
Figure 1.13 – Comparaison des facteurs de dimensionnement (a) et des durées d’extinction de la décharge
(b) pour les trois alimentations. Condition : Cgas /Cdiel = 0.1.
Conclusion
Pour ne pas transiter en régime d’arc, il est nécessaire s’insérer une (ou plusieurs)
barrière diélectrique entre les électrodes et l’espace gazeux. Le dispositif ainsi formé est
nommé « Dispositif de Décharge à Barrières Diélectriques » (DBD). Les dispositifs DBD
que nous utilisons couramment sollicitent le gaz en régime filamentaire ce qui trouve un
grand nombre d’applications. Sous certaines conditions, une décharge DBD peut adopter
un régime homogène ce qui revêt un grand intérêt pour les applications de dépôt.
En régime homogène, il est possible de modéliser le comportement électrique global de
la décharge avec seulement trois paramètres : la capacité liée à la présence des diélectriques,
la capacité structurelle de l’espace gazeux et un seuil de claquage lié au passage du régime
isolant au régime de Townsend. La présence de la capacité des barrières diélectriques
contraint une alimentation de la décharge en régime alternatif. Ainsi, cette dernière s’éteint
nécessairement entre deux alternances successives.
Dans le cadre du dépôt de couches minces, on a évoqué l’intérêt de réduire cette
1.2. PROBLÉMATIQUES 31
durée d’extinction car cela permet de favoriser l’effet mémoire, donc la stabilité de la
décharge, ce qui doit permettre d’amoindrir les durées de dépôt, qui n’est acutellement
pas compatible avec une utilisation à échelle industrielle. À cet égard, l’alimentation en
courant rectangulaire bénéficie d’un atout car pour une puissance donnée, elle permet
d’atteindre des durées d’extinction plus faibles que celles obtenues avec une alimentation
en tension sinus. Nous avons également montré grâce à une comparaison qu’une telle
alimentation possède un meilleur facteur de dimensionnement que les autres alimentations
du comparatif.
32 CHAPITRE 1. DBD : DESCRIPTION, UTILISATIONS, MODÈLES
Chapitre 2
Alimentation Contrôlée en
Courant
Introduction
Ayant établi précédemment l’intérêt que présente l’alimentation en courant rectan-
gulaire, ce chapitre propose d’aborder la conception, le dimensionnement, le test d’une
alimentation en courant réalisée au laboratoire LAPLACE. Nous mettrons en évidence
son intérêt vis à vis des décharges dans l’azote à pression atmosphérique.
Cette étude théorique anticipe certains effets parasites qui ont été expérimentalement
observés, notamment les effets capacitifs liés à l’utilisation d’un transformateur élévateur,
et propose de les intégrer dans la procédure de dimensionnement.
Ensuite, l’étude s’intéresse au choix de la topologie du convertisseur, et aborde les
aspects technologiques de la conception. Plusieurs possibilités d’implémentation seront
abordées et comparées (choix des interrupteurs de puissance, dimensionnement de l’élé-
ment magnétique, contrôle ...). La réalisation d’un prototype sera alors décrite et des re-
levés expérimentaux présentés et comparés avec les relevés obtenus avec une alimentation
contrôlée en tension. On ne manquera pas de souligner le lien entre l’allure du courant de
décharge et l’intérêt d’une telle alimentation pour l’obtention de décharge homogène dans
l’azote à pression atmosphérique. L’étude expérimentale justifiera l’intêret que présente
une telle alimentation pour une application de dépôt à pression atmosphérique.
33
34 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
Dispositif DBD
ip idbd
K1h VK K2h
2h 1:m Cdiel
Vdiel
iK
i 2h
0
Vp Vdbd idis
Vth
Cgas
V Vgas
1 I
-Vth
K1l K2l
Figure 2.1 – Dispositif DBD alimenté par une source de courant à travers un transformateur élévateur.
Ces deux fonctions sont facilement réalisables à l’aide de structures usuelles d’électronique
de puissance. Nous pouvons ébaucher un schéma de principe du convertisseur, Fig. 2.1.
La source de courant est supposée contrôlée par l’utilisateur et régulée à la valeur i0 ;
nous verrons comment cela est réalisé dans les développements suivants. Le commutateur
de courant (l’aiguilleur) consiste en quatre interrupteurs de puissance. Ces derniers sont
commandés deux par deux :
– lorsque K1h et K2l sont amorcés et les deux autres bloqués, le courant injecté au
primaire du transformateur, ip , vaut i0 ,
– lorsque K2h et K1l sont amorcés et les deux autres bloqués, le courant injecté au
primaire du transformateur vaut −i0 .
Le transformateur élévateur permet d’adapter le niveau de tension aux bornes du dispositif
DBD à une valeur acceptable pour les composants à semiconducteur usuels.
Ainsi, l’alimentation en courant rectangulaire étudiée ici consiste en la mise en cascade
d’une source de courant continu et d’un inverseur constitué de 4 interrupteurs de puissance
permettant de changer le sens du courant injecté au primaire transformateur. Dans cette
partie, nous supposons que le transformateur ne présente pas d’éléments susceptibles de
modifier le comportement de la décharge. Cet élément est donc supposé idéal dans cette
première approche. Le courant idbd (t) prend alors les valeurs ±i1 , avec i1 = i0 /m.
2.1.1 Chronogrammes
Supposons qu’à l’instant initial, la tension soit à sa valeur minimale :
ce qui correspond au point le plus bas de la trajectoire Q-V (Fig. 1.11). Lorsque la décharge
est éteinte et le courant DBD positif, la tension Vdbd est donnée par :
-Vth time
^ 0
-V dbd time
igas
Gas extinction
idbd
i1
Current
i
K
2h
T/2 T time Amorçage
contrôlé
ton
Bloquage
-i1 spontané
ON ON
V
OFF OFF K
2h
(a) (b)
Figure 2.2 – (a) Chronogrammes pour une alimentation en courant carré. (b) Caractéristique tension/-
courant de l’interrupteur K2h .
recours à des thyristors de synthèse qui émulent des fonctions thyristor sur une gamme de
fréquence plus élevée que ce que peuvent atteindre les « vrais » thyristors [17].
L’expression analytique de ψ̂, établie en supposant que le chronogramme de Vdbd est peu
affecté par la présence de Lµ2 est proposée en (A.27). Des simulations SPICE qui tiennent
compte des effets magnétisants sont données Fig. 2.3b. La présence de Lµ2 a pour effet de
« bomber » le courant injecté dans le dispositif DBD. Lorsque Lµ2 demeure suffisamment
élevée, la tension Vdbd diffère peu du cas idéal, ce qui nous permet de considérer comme
encore valide la relation (A.27).
Afin de préciser ce domaine de validité, nous comparons les valeurs de iµ2 estimées avec
(2.1) et celles données par la simulation circuit réalisée avec un moteur SPICE sur Fig. 2.4.
D’une part, il est légitime de supposer que l’influence de l’inductance magnétisante sur les
formes d’onde demeure faible lorsque celle-ci est de valeur « suffisamment élevée ». D’autre
part, sous cette condition, l’hypothèse du couplage faible pourra être utilisée : c’est à dire
que l’on peut supposer que le courant magnétisant est une conséquence de la tension DBD
calculée dans le cas idéal, et que ce courant n’affecte que très peu la tension DBD. Ainsi,
si cette règle est respectée, les formules théoriques établies en annexe §A.3 demeurent tout
à fait pertinentes.
2.1. PRINCIPE DE FONCTIONNEMENT 37
40
+- i1
30
10 H
20 50 H
infinity
idbd (mA)
10
idbd
0
+-i1 iµ2
+-i0 Cdiel -10
-20
Lμ2 Vdbd -30
Vth
Cgas -40
N1:N2 -Vth I
15
10 H
10 50 H
infinity
5
Vdbd (kV)
0
-5
-10
-15
0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1
Time (ms)
(a) (b)
Figure 2.3 – (a) Schéma d’étude des effets magnétisants. (b) Résultats de simulation SPICE pour Cgas =
10 pF, Cdiel = 70 pF, Vth =3500 V, i1 = 20 mA, F =10 kHz et différentes valeurs de Lµ2 .
70
Simulation SPICE
Estimation
60
50
2 (mA)
40
30
^iµ
20
10
0
5 10 20 30 40 50
Valeur de Lµ2 (H)
Figure 2.4 – Courant magnétisant maximum en fonction de la valeur de l’inductance magnétisante donné
par la simulation SPICE et théoriquement sans tenir compte des effets magnétisants sur la tension DBD.
38 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
i i i
0 0 0
K1l K2l K1l K2l K1l K2l
i
iL 0
V /m
dbd
t
e
-i ~ -^
V /m
0 dbd
(d)
Figure 2.5 – (a) (b) (c) Séquence de fonctionnement du commutateur de courant lors de l’inversion du
courant injecté. (d) Allure théorique des chronogrammes lors de l’inversion du courant injecté.
40 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
20 i0/m
idbd 0 pF
+-i1 10 pF
iC 10
+-i0 p Cdiel 30 pF
100 pF
idbd (mA)
Cp 0
Vdbd Vth
Cgas -10
N1:N2 -Vth I
-20 10 µs/div
15
0 pF
10 10 pF
30 pF
5 100 pF
Vdbd (kV)
0
-5
-10
10 µs/div
-15
(a) (b)
Figure 2.6 – (a) Schéma électrique équivalent modélisant l’ensemble des phénomènes électrostatiques au
sein du transformateur. (b) Résultats de simulation SPICE pour Cgas = 10 pF, Cdiel = 70 pF, Vth =3500 V,
i1 = 20 mA, F =10 kHz et différentes valeurs de Cp .
La discussion sur les effets parasites du transformateur permet d’établir une hiérarchie
situant l’importance de l’impact de l’effet considéré vis à vis du comportement du système.
Il a été constaté que les effets capacitifs sont d’une importance majeure car les ordres
de grandeur couramment rencontrés sont défavorables. Expérimentalement, ce fait a été
observé pour des systèmes allant de la dizaine à quelques centaine de Watts (voir §2.3).
Contrairement à l’approche précédente consistant à supposer un couplage faible entre le
système et les éléments parasites, nous proposons d’aborder de façon exacte l’influence
des effets capacitifs. En revanche, les effets magnétiques s’avèrent bien moins influents, et
l’hypothèse du couplage faible demeure utilisable.
Modéliser les dispositifs DBD en tenant compte des effets capacitifs parasites
Deux approches viennent naturellement pour considérer l’influence des effets capacitifs.
La première consiste à calculer véritablement le courant idbd en tenant compte de la
présence de Cp , ce qui conduit à écrire que le courant injecté dans le dispositif DBD est
donné par
(
Ceq /(Ceq + Cp )i0 /m (décharge éteinte)
idbd = . (2.3)
Cdiel /(Cdiel + Cp )i0 /m (décharge allumée)
La trajectoire du point de fonctionnement telle que nous l’avons décrite Fig. 1.11, et les
nombreuses relations qui découlent de cette analyse restent adaptées, tandis que l’étude
théorique en annexe §A.3 concernant les grandeurs relatives à l’alimentation en courant
carré n’est plus applicable car le courant idbd n’a pas une allure rectangulaire à cause de
Cp .
La seconde approche consiste à intégrer Cp dans le modèle du dispositif DBD. En effet,
il est possible de tracer une caractéristique charge-potentiel de l’ensemble {Cp + dispositif
DBD} selon le principe de Fig. 1.11. Il est aisé de montrer que la trajectoire du point de
fonctionnement décrit également un parallélogramme dont les pentes diffèrent de Fig. 1.11,
et que donc, à des substitutions de paramètres près, toutes les relations démontrées en
annexe §A.3 restent valables car le courant injecté dans la charge fictive constitué de la mise
en parallèle de Cp avec le dispositif DBD est d’allure carrée. En effet, les pentes p1 et p2
qui valent respectivement 1/Cdiel et 1/Ceq sur Fig. 1.11 sont substituées par 1/(Cdiel + Cp )
et 1/(Ceq + Cp ). Par conséquent, Cgas doit être substituée par (1 + r0 )(1 + r0 + r0 /r)Cgas
où r0 = Cp /Cdiel et r = Cgas /Cdiel . La relation exprimant la condition de claquage (1.4)
devient :
1 1
V̂dbd = 0
Vth + Q̂dbd . (2.4)
1+r Cdiel + Cp
~
Cdiel Cdiel
Cp
~
Vth Vth
~
Cgas I Cgas ~ I
-Vth - Vth
Cgas Cp
r= et r0 = .
Cdiel Cdiel
Ainsi, lors de la réutilisation des relations établies lors de l’étude de l’alimentation en
courant carré dans le cas idéal (voir annexe §A.3), il conviendra d’effectuer la substitution
suivante :
q̃ = (1 + r0 + r0 /r)q
(2.6)
r̃ = (1 + r0 + r0 /r)r,
où q est défini par
Cgas Vth
q= .
Q̂dbd
Figure 2.8 – Thyristor de synthèse par association série d’un MOSFET et d’une diode.
Synthèse dynamique Fig. 2.2b montre que le sens de parcours de la trajectoire du point
de fonctionnement dans le plan tension-courant de l’interrupteur est tel que l’amorçage est
commandé, et que le blocage est spontané. On retrouve la même caractéristique dynamique
qu’un thyristor.
Compte-tenu de la gamme de fréquence (5–15 kHz), des thyristors ne pourront être
employés. On choisit d’utiliser un thyristor de synthèse qui sera réalisé par une associa-
tion série d’un transistor de puissance type MOSFET, qui possède structurellement deux
segments de courant pour un segment de tension, et d’une diode qui possède structurelle-
ment un segment de tension et un segment de courant, afin de disposer d’un composant
équivalent comportant deux segments de tension pour un seul de courant (Fig. 2.8).
En outre, la propriété de blocage spontané lors du changement de signe de courant dans
l’interrupteur équivalent devra être gérée dans la commande du transistor, car contraire-
ment au cas du vrai thyristor, elle ne saurait exister à l’état naturel pour cette association.
La réalisation d’un tel composant est proposée dans [17].
Un paramètre qui n’a pas encore été fixé est la tension sous laquelle le commutateur
de courant fonctionnera. En effet, pour un cahier des charges donné (une puissance en
sortie donnée), il est possible d’adapter les niveaux de tension au primaire par le biais
du rapport de transformation du transformateur. Une diminution de tension primaire
aura pour conséquence une augmentation du courant au primaire en vertu du principe
de la conservation de l’énergie. Une étude intéressante consiste à comparer les pertes
44 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
Cahier des charges Pour mener cette étude comparative, nous désirons alimenter sous
200 W et 10 kHz le dispositif DBD de 25 cm2 dont les caractéristiques sont présentées
Tab. 2.1. En outre, nous anticipons une capacité parasite Cp = 100 pF du transformateur
élévateur : bien que choisie arbitrairement, cette valeur est représentative de ce qui a pu être
mesuré sur les transformateurs dont nous avons fait l’étude. On effectue les substitutions
de paramètres (2.5) et (2.6), ce qui donne numériquement
De la relation de la puissance :
(voir démonstration en annexe §A.3) où q = Cgas Vth /Q̂dbd , on déduit i1 = 120 mA, ce qui
conduit à q̃ = 0.152 (rappelons que nous désirons Pdbd = 200 W). La relation de tension
maximale (démonstration en annexe §A.3) donne V̂dbd = 15.2 kV. Ainsi, en supposant
que le rendement du transformateur est proche de 1, le produit ’tension max-courant
efficace’, que nous notons Stransfo auquel travaille le primaire du transformateur est de
0.12 × 15200 = 1824 VA. En accord avec Fig. 2.2b, chaque interrupteur du commutateur
ne conduit que la moitié
√ du temps, et donc le courant efficace vu par chaque interrupteur est
divisé par un facteur 2. Le produit « tension max × courant efficace » d’un interrupteur,
noté Ssw est donc donné par
√
Ssw = Stransfo / 2 ≈ 1400 VA.
Modèle de perte Dans la diode, ne seront prises en compte que les pertes par conduc-
tion, calculées par
2
Pdiode = Vd Ieff + Rd Ieff , (2.8)
où Vd désigne la tension de seuil de la diode et Rd désigne sa résistance dynamique. Ces
deux paramètres sont souvent donnés dans les documentations techniques, et peuvent éga-
lement se déduire des abaques I(V) systématiquement donnés pour les diodes de puissance.
Dans les transistors, des pertes par commutation sont aussi considérées. Étant donnée
la propriété de blocage spontané à faible di/dt (à cause de l’empiètement), les pertes par
commutation sont données d’après [14] par
1 eq 2
Psw = F Coss Vsw , (2.9)
2
eq est la capacité de sortie équivalente en énergie 1 du transistor, et V
où Coss sw est la tension
aux bornes du transistor lors de son amorçage. Ceci revient à ne considérer que les pertes
ne surviennent que lors de l’amorçage du composant, où sa capacité parasite de sortie
Coss se vide alors que le thyristor ne commence à conduire qu’un très faible courant. Les
pertes au blocage sont négligées étant donné le comportement thyristor des interrupteurs
du pont (ZCS). Les pertes par conduction s’expriment classiquement par
on 2
Pcond = Rds Ieff , (2.10)
on est la résistance du transistor à l’état passant.
où Rds
Comparaison Afin d’acquérir les valeurs des paramètres, nous avons parcouru les do-
cumentations techniques de chaque composant afin d’extraire les courbes pertinentes. Les
figures ont été ensuite traitées par une procédure de fitting afin d’extraire les paramètres
intervenant dans le calcul de pertes. La démarche pour les MOSFETs est présentée Fig. 2.9.
Le résultat de la comparaison est donné Fig. 2.10. On note que la diode est responsable
de pertes élevées pour les faibles calibres en tension car elle doit conduire un courant
d’autant plus élevé que son calibre en tension est faible. Comme nous pouvions l’antici-
per, les pertes par commutation sont négligeables pour les faibles calibres en tension en
raison de la basse fréquence de commutation, de la basse tension et du blocage spontané
des thyristors de synthèse. En revanche, celles-ci s’avèrent plus importantes pour les forts
calibres en tension quoique relativement faibles. Globalement, nous constatons qu’il est
tout à fait intéressant de travailler à tension élevée au primaire du transformateur. Les
MOS SiC 1200 V de Cree offrent des caractéristiques très intéressantes en terme de pertes
pour ce cahier des charges puisque sous ces conditions de fonctionnement, les pertes sont
de l’ordre de 1 W dans le MOS et 1 W dans la diode, ce qui permettrait de s’affranchir
totalement de l’utilisation d’un dissipateur pour des boîtiers de type T0247. Il reste néan-
moins à s’assurer que le travail à haute tension est également profitable à la source de
courant et au transformateur.
1. En pratique, la capacité Coss présente une forte dépendance vis à vis de la tension drain-source du
MOSFET. La notion de « capacité équivalente en énergie » revient à ne considérer qu’une seule valeur de
2
capacité qui est telle que l’énergie stockée (0.5Coss V̂ds ) est égale à l’énergie électrostatique véritablement
stockée dans le MOSFET.
46 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
Figure 2.10 – Pertes dans les interrupteurs de puissance pour le commutateur de courant pour Pdbd =
200 W et F = 10 kHz.
48 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
i
iL 0
V /m
dbd
t
e
-i ~ -^
V /m
0 dbd
Figure 2.11 – Empiètement et chevauchement des ordres d’amorçage des transistors de chaque interrup-
teur.
Lµ2 δi2DC
δφDC = . (2.12)
N2
Pour comparer ces deux valeurs, on calcule le rapport entre la contribution de la compo-
sante DC et la contribution maximale de la composante AC donné par δφDC /φ̂, ce qui
mène à :
δφDC δi2DC
= . (2.13)
φ̂ îµ2
Cette analyse montre que la contribution d’une composante continue de courant s’avère
importante lorsque son ordre de grandeur est comparable à l’amplitude du courant magné-
tisant. Or, conformément à l’analyse des effets de l’inductance magnétisante menée §2.1.3,
ce courant magnétisant a tout intérêt à être faible devant l’amplitude AC du courant
injecté, prouvant ainsi qu’une faible composante continue de courant devant l’amplitude
AC peut déplacer significativement la trajectoire de fonctionnement du transformateur
dans le plan « courant-flux », le mener éventuellement en saturation, ou générer des pertes
supplémentaires.
Technologiquement, il est aisé de garantir un rapport cyclique de 0.5 avec une très faible
marge d’erreur pour le commutateur de courant, ce qui laisserait croire qu’un contrôle du
rapport cyclique en boucle ouverte serait amplement suffisant. Cependant, l’un des effets
que nous devons anticiper est l’irrégularité du courant délivré par la source DC. Cette der-
nière sera réalisée à partir d’un convertisseur à découpage (voir le paragraphe suivant) ; des
2.2. CONCEPTION, DIMENSIONNEMENT ET FABRICATION 49
^
Vdbd /m V1
0
T/2 T
ondulation du courant de sortie sont donc à prévoir. Si le nombre d’ondulations n’est pas
rigoureusement identique sur les alternances positives et négatives du courant, une com-
posante basse fréquence peut apparaître alors que le rapport cyclique est rigoureusement
fixé à 0.5.
Deux alternatives peuvent être envisagées afin d’éviter qu’une composante basse fré-
quence n’apparaisse au primaire du transformateur :
– la fréquence de la source de courant est contrôlée par le commutateur de courant
afin qu’elle demeure toujours à un multiple pair de la fréquence de ce dernier,
– le rapport cyclique du commutateur est autorisé à fluctuer légèrement autour de 0.5
afin d’éliminer toute composante basse fréquence, ce qui implique un contrôle en
boucle fermée du commutateur de courant avec une mesure de courant.
i
0
L
i
0
L
V1(t)
V V
in in
V1(t)
(a) (b)
Figure 2.13 – (a) Topologie Buck simple. (b) Topologie Buck en pont complet.
Avec une telle topologie, la tension aux bornes de la diode de la cellule est soit nulle
lorsque la diode est passante, soit égale à la tension d’entrée Vin lorsque cette dernière
est bloquée. Nous avons établi que la tension en entrée du commutateur de courant, V1 ,
prend alternativement des valeurs positives et négatives (Fig. 2.12). Durant la phase où
V1 est positive, le courant de self est croissant lorsque la diode est bloquée, et décroissant
lorsque la diode est passante ce qui montre qu’il est toujours possible, à condition que
Vin > V̂dbd /m, de contrôler le courant de self durant cette phase. En revanche, durant la
phase où V1 est négative, le courant dans l’inductance ne peut que croître car alors, quel
que soit l’état de la diode, la tension aux bornes de l’inductance est positive. Ceci montre
que durant cette phase, il n’est pas possible de contrôler le courant de self car ce dernier ne
peut qu’augmenter. Cette analyse nous incite donc à évincer la topologie Buck Fig. 2.13a.
Une alternative possible consiste à travailler avec une structure en pont complet consti-
tué de deux cellules dévoltrices montées en parallèle (Fig. 2.13b). La différence avec la
structure précédente est que la tension appliquée entre les 2 points milieux des cellules de
commutation peut prendre une valeur positive, négative ou nulle en fonction de l’état des
interrupteurs, ce qui élude la potentielle perte de contrôle du courant i0 lors des alternances
négatives de V1 .
Inductance de lissage L’inductance doit être choisie de façon à supporter une tension
au moins égale au double de la tension d’entrée, et un courant efficace proche de hi0 i. Le
matériau magnétique doit être choisi pour tolérer un régime continu auquel se superposent
des ondulations à la fréquence de découpage. Sa valeur doit être suffisante pour que les
ondulations maximales de courant, ∆max i0 , données par la relation classique
Vin
∆max i0 = , (2.14)
2LFsw
dans le cas d’une commande PWM à deux niveaux, aient un niveau suffisamment faible
relativement à la valeur moyenne du courant de sortie, hi0 i.
Dans les interrupteurs L’objectif de ce paragraphe est de quantifier d’un point de vue
pertes l’influence des paramètres précédemment évoqués. De manière analogue à l’étude
menée sur les pertes dans le commutateur de courant, l’étude que nous menons consiste à
évaluer les pertes dans les interrupteurs et dans l’inductance de lissage pour un système
répondant au cahier des charges présenté Tab. 2.1. Les degrés de liberté que nous considé-
rons sont la fréquence de découpage et le niveau de tension en entrée. Les autres valeurs
sont imposées au travers des hypothèses suivantes :
– bien que ce ne soit pas la meilleure façon de procéder en terme d’ondulation de
courant et de pertes, le pont dévolteur est commandé par une MLI 2 niveaux pour
sa simplicité de mise en œuvre, c’est à dire que les deux transistors (Fig. 2.13b) sont
amorcés et bloqués simultanément,
– l’ondulation de courant dans l’inductance de lissage est supposée égale à 5% de la
valeur moyenne du courant,
– la tension d’entrée Vin correspond à la valeur maximale de V1 ,
– comme pour l’étude des pertes dans le commutateur, le produit Vmax × ieff des in-
terrupteurs est supposé égal à 1400 VA,
– les pertes par commutation dans les diodes sont ignorées, et l’effet du recouvrement
inverse est également ignoré,
– l’amorçage des transistors se fait à rapidité constante : di/dt = 200 A/µs qui corres-
pond à l’ordre de grandeur mesuré expérimentalement,
– le blocage des transistors se fait en deux temps : tout d’abord, la capacité parasite
Coss est chargée sous un courant i0 , puis le courant décroît avec une pente constante,
ne dépendant que des paramètres de driver et du transistor lui-même on supposera
que la pente de décroissance du courant est donnée par : di/dt = 200 A/µs,
– les effets des inductances parasites de maille ne sont pas considérés,
– les pertes sont modélisées selon [27], dont les principaux résultats sont résumés ci-
dessous.
52 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
Table 2.3 – Cahier des charges relatif à l’inductance de lissage de la source de courant DC.
Le modèle utilisé pour calculer les pertes par commutation dans un transistor pour cette
comparaison [27] est donné par
v
4 u 2i20
u
1
Psw = i0 Vin F (tmi + tdi ) + Coss Vin2 F 1 + t di
, (2.15)
2 3 Coss Vin dt
où tmi et tdi sont les temps de montée et descente intrinsèques du courant dans le transistor
lors de la commutation à di/dt imposé par le driver (choisi à 200 A/µs) ainsi que par les
éléments parasites de la maille de commutation.
Notons que bien que la relation (2.15) soit issue d’un calcul avec peu d’approximation,
elle nécessite la connaissance de paramètres très difficile à déterminer autrement que par
la mesure (notamment les termes tmi , tmi et di/dt). En effet, ces valeurs dépendent du
driver, des capacités d’entrée du MOSFET mais aussi de la qualité du layout de la maille
de commutation . . . Il est donc important de garder à l’esprit que dans notre cas, les
résultats doivent être appréciés à leur juste valeur : ils sont un ordre de grandeur des
pertes par commutation.
La comparaison des pertes dans une cellule est donnée Fig. 2.14 pour plusieurs choix
technologiques. On note que l’impact des pertes par commutation est plus important que
dans le commutateur de courant car les commutations sont dures. La présence de diode
dans chaque cellule de commutation augmente le niveau de perte par conduction pour les
calibres basse tension. Il apparaît que le travail à haute tension avec des interrupteurs SiC
1200 V semble conduire à une forte réduction des pertes totales dans les interrupteurs.
Figure 2.14 – Pertes dans chaque cellule d’interrupteurs de puissance de la source de courant DC pour
Pdbd = 200 W et F = 40 kHz.
54 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
5.25Vin hi0 i
Ap > . (2.20)
kbob JFsw B̂
De manière analogue au raisonnement précédent à propos des pertes dans les interrupteurs
du commutateur de courant, le produit Vin hi0 i est fixé par la puissance à transmettre
dans le dispositif DBD (voir Tab. 2.3) ; on pourrait montrer qu’il est de 1820 VA lorsque
Pdbd = 200 W. La contrainte sur le produit des aires du noyau est donc indépendante de
la tension d’entrée ou du courant conduit, seul le produit de ces grandeurs importe. Par
conséquent, une fois le noyau magnétique choisi, étant donné que, pour une température
donnée, les pertes fer ne dépendent que du volume de ce dernier, de l’induction maximale,
B̂, de la fréquence de découpage Fsw et des formes d’onde du flux magnétique, elles sont
entièrement déterminées par le produit Vin hi0 i. Une fois la puissance à transmettre fixée,
le noyau magnétique choisi et les contraintes Tab. 2.3 respectées, on constate que les pertes
fer ne dépendent pas du choix des grandeurs Vin et hi0 i pourvu que leur produit reste le
même. Les pertes cuivre se calculent par PCu = ρN (M LT )/Sfil hi0 i2 où Sfil désigne la
section cuivre du fil de bobinage, M LT désigne la longueur moyenne d’une spire, et ρ
désigne la résistivité du matériau conducteur constituant le fil de bobinage. Travaillant à
densité de courant constante J, on établit que Sfil = hi0 i /J et que donc,
Or, la loi de Hopkinson appliquée au circuit magnétique formé des N spires parcourues
par un courant hi0 i + ∆max i0 = 1.05 hi0 i et de la perméance A` du circuit magnétique de
la self conduit à
B̂Ae
N × 1.05 hi0 i = , (2.22)
A`
En combinant (2.21) et (2.22), on montre que
ρ(M LT )J B̂Ae
PCu = (2.23)
1.05A`
qui est une constante du dimensionnement. Ainsi, les degrés de liberté offerts dans le
dimensionnement de l’inductance sont : le choix du matériau magnétique, la géométrie du
noyau (avec présence ou non d’entrefer) et la nature du fil de bobinage. Afin de guider
notre choix, nous procéderons à un dimensionnement par optimisation. On s’intéressera à
satisfaire deux objectifs qui, pour ce genre de problématique, sont antagonistes : les pertes
totales et la masse. Pour cela on applique un algorithme de minimisation des pertes en
2.2. CONCEPTION, DIMENSIONNEMENT ET FABRICATION 55
balayant plusieurs valeurs de masse (contrainte d’égalité), ce qui permettra de localiser les
solutions optimales dans le plan ”masse-pertes”.
Le principe du dimensionnement est résumé Fig. 2.15. Une fois le matériau magnétique
fixé, le noyau est défini par un seul paramètre : la grandeur L0 qui sert à définir toute sa
géométrie. L’enroulement, supposé à base de fil de cuivre, est défini par deux paramètres :
la section totale SCu qui doit tenir dans la fenêtre de bobinage du noyau, et le nombre de
spires N . Nous obtenons ainsi trois paramètres d’optimisation indépendants : L0 , SCu et
N.
Si nous imposons à la self d’avoir une certaine masse, les paramètres L0 et SCu ne sont
plus indépendants et, dans le contexte que nous nous sommes imposés, la self est alors
déterminée de façon univoque par ses paramètres L0 et N car il s’avère que la contrainte
d’égalité relative à la masse totale permet d’éliminer manuellement le paramètre SCu .
Le calcul de la fonction objectif tient compte des pertes par conduction dans l’enrou-
lement – les effets de peau et de proximité étant négligés – et des pertes fer dans le noyau.
Ces dernières sont modélisées par une loi du type Steinmetz de la forme Pfer = KVB af +b f c
(Fig. 2.15), V étant le volume fer, où les coefficients K, a, b et c sont déterminés par ré-
gression au sens des moindres carrés des courbes expérimentales donnant les densités de
pertes en fonction de la fréquence et de l’induction magnétique, en général fournies par
les fabricants. Ces relevés expérimentaux sont en général donnés pour une excitation sinu-
soïdale alors que dans notre cas, celle-ci est de type triangulaire. Bien que rigoureusement
inexact, nous supposerons que le modèle de pertes peut s’étendre aux excitations de type
triangulaires en gardant les mêmes coefficients. De plus, les effets de la température ont
été ignorés dans cette étude ; on a supposé qu’elle était constante, égale à 25˚C puisque
les courbes de pertes fournies par les fabricants sont souvent précisées (entre autres) pour
cette valeur de température.
Les résultats de la procédure de dimensionnement sont donnés Fig. 2.16. Chaque courbe
représente un front de Pareto, et chaque point de cette courbe représente les pertes de la
solution optimale, pour une masse totale fixée.
L’allure des courbes confirme le fait que les deux critères « masse » et « pertes » sont ef-
fectivement antagonistes. Nous avons constaté que pour les masses faibles (donc niveau de
perte élevé), les pertes cuivre sont majoritaires pour tous les matériaux testés. La grande
différence des niveaux de pertes entre les divers matériaux magnétiques tient principale-
56 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
30
25
20
Losses (W)
MPP 14 µ
15 MPP 26 µ
MPP 200/300 µ
MPP 60 µ
10 3C85 Philips
EPCOS K1
3F3 Philips
3C90
5
3F45
N87
N97
0
0 0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5 4
Mass (kg)
Figure 2.16 – Compromis pertes/masse guidant le choix de l’inductance de lissage pour Fsw = 50 kHz
pour divers types de noyaux magnétiques.
Dispositif DBD
idbd
K1h VK K2h
2h 1:m Cdiel
Vdiel
Vdc i
0 V
L/2 1 Vp Vdbd idis
Vth
L/2 Cgas
Vgas
-Vth I
K1l K2l
2.2.4 Fabrication
La structure globale de la partie puissance est présentée Fig. 2.17
nous avons opté pour l’utilisation d’une source de 310 V réalisée à partir d’un redresseur
connecté au réseau. En outre, le transformateur dont nous disposons possède un rapport de
transformation de 155 ce qui, pour atteindre une tension de 10 kV au secondaire, nécessite
une tension d’environ 65 V au primaire.
Dans le commutateur Le calibre en tension des interrupteurs est choisi à 300 V car
les commutations sont douces ce qui permet de les rendre relativement lentes. Ainsi, le
risque de surtension est faible. Nous avons opté pour le STW75NF30 de ST. La diode est
une DPG-60-I-400-HA de IXYS.
Les caractéristiques principales des interrupteurs choisis sont résumées Tab. 2.4
2.2.4.c L’inductance
La valeur de l’inductance a été fixée à 8 mH, réalisée sous forme de deux inductances
de 4 mH. Elle ont été réalisées par la société Boige et Vignal selon notre cahier des charges.
(a) (b)
(c)
Figure 2.18 – Photos de l’alimentation en courant rectangulaire. (a) Face avant. (b) Montage des semi-
conduteurs sur le dissipateur. (c) Vue d’ensemble.
2.3. ÉTUDE EXPÉRIMENTALE 59
(a) (b)
Figure 2.19 – Les deux dispositifs expérimentaux utilisés au cours des expérimentations. Figure (b) est
extraite de [11].
Au §1.2.1, il a été évoqué le fait que la diminution du temps d’extinction entre deux dé-
charges successives permettait de favoriser l’obtention du régime homogène ce qui revêtait
un grand intérêt pour les applications de dépôt de couches minces. À cet égard, nous avons
montré que l’alimentation en courant carré présente certaines qualités.
Ici, nous proposons l’étude expérimentale réalisée avec l’alimentation en courant rec-
tangulaire conçue et fabriquée au laboratoire LAPLACE. On s’attachera d’une part à
évaluer les effets parasites qui viennent augmenter la durée d’extinction, et d’autre part à
évaluer le gain accompli avec cette alimentation sur un procédé de dépôt.
Deux dispositifs expérimentaux ont été utilisés au cours des expérimentations. Le pre-
mier, présenté Fig. 2.19a, a permis de valider des dimensionnements car sa construction
ne contraint pas la connexion d’une des électrodes vis à vis de la terre, car les parties mé-
talliques du bâti sont suffisamment éloignées de la cellule de décharge. En contre partie,
l’atmosphère gazeuse ne peut être rigoureusement contrôlée.
Le second, présenté Fig. 2.19b, a permis de mener des investigations sur l’influence
de l’alimentation sur les paramètres de décharge avec éventuellement ajout d’éléments
chimiques en quantité contrôlée, car l’environnement gazeux bénéficie d’un contrôle ri-
goureux. Cependant, étant donnée la nécessité de disposer d’un grand nombre d’éléments
métalliques (carcasse du réacteur, structures de maintien), il est nécessaire que les po-
tentiels des électrodes soient référencés à la terre en connectant l’une d’elles au bâti, lui
même relié à la terre pour d’évidentes raisons de sécurité. La puissance est amenée depuis
le convertisseur vers le transformateur élévateur, dont le secondaire alimente le dispositif
DBD.
60 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
2.3.1.a Description
imeas idbd
Dispositif DBD
i1T
Cdiel
V =k.V
1T meas
C1T
iT
Vmeas idis
V
Vth
C2T Cgas
V =-(1-k)Vmeas I
2T -Vth
i2T
2.3.1.b Compensation
Le schéma équivalent vu des bornes de l’enroulement secondaire tenant compte des
appareils de mesure est donné Fig. 2.21 ce qui illustre le fait que le courant mesuré, imeas ,
n’est pas le courant dans le dispositif DBD car une partie de ce dernier est déviée à travers
les capacités parasites couplées à la terre. Notons l’ordre dans lequel sont placées les sondes
de courant et de tension : il est nécessaire de procéder ainsi car l’impédance de la sonde
de tension ne peut pas être supposée infinie dans le cadre de ces mesures. En effet, celle-ci
possède un terme capacitif d’environ 3 pF (d’après la documentation), ce qui ne peut être
négligé devant Cgas qui vaut environ 8 pF pour une surface DBD de 9 cm2 . Sur Fig. 2.21,
le potentiel aux bornes de l’enroulement secondaire est référencé par rapport à la terre
au travers du facteur de connexion k. Par exemple, si la sécurité impose que l’une des
électrodes soit connectée à la terre alors V2T = 0 ou V1T = 0 c’est à dire k = 1 ou k = 0.
Comme nous le verrons dans le chapitre suivant, il peut être avantageux de connecter la
terre au point milieu du transformateur et dans ce cas, on considère que k = 0.5. Grâce
à ce schéma, nous pouvons établir la méthode de compensation du courant mesuré en
fonction du référencement de la tension mesurée au secondaire du transformateur. Une
étude électrocinétique montre en effet que
dV1T dVmeas
i1T = C1T = kC1T , (2.24a)
dt dt
dV2T dVmeas
i2T = C2T = −(1 − k)C2T , (2.24b)
dt dt
ce qui conduit à
dVmeas
idbd = imeas − i1T = imeas − kC1T , (2.25)
dt
Notons que si la mesure est prise sur le « retour du courant » (branche inférieure sur
Fig. 2.21), le terme à retrancher est (1 − k)C2T dVmeas /dt. Ceci quantifie le terme de com-
pensation de la mesure de courant. On note que lorsque k = 0 ou k = 1, il est naturellement
plus judicieux d’effectuer la mesure sur la branche portée au même potentiel que le bâti.
62 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
T1 T2
Paramètres Valeur Valeur Unité
Fab. . ATESYS-
MONTOUX
S 600 600 VA
Gamme frequentielle 8–40 1–10 kHz
Rapport transfo (m) 64 155
Ind. magnétisante (sec) (Lµ ) 45 20.8 H
Ind. de fuite (sec) (L` ) 204 265 mH
Capacité C1 37.8 84.9 pF
Capacité C2 -2.57 -3.253 nF
Capacité C3 2.65 3.347 nF
Figure 2.22 – Caractéristiques des transformateurs utilisés pour les relevés expérimentaux.
Lorsque k = 0.5, il est a priori préférable d’opérer la mesure sur la branche qui présente
la capacité au bâti la plus faible car le terme de compensation est alors moins important.
2.3.2 Relevés
2.3.2.a Chronogrammes : influence des effets parasites
Des relevés réalisés avec le dispositif Fig. 2.19a sur une surface de 25 cm2 à la fréquence
de 10 kHz sont présentés Fig. 2.23. Le courant idbd correspond au courant imeas compensé.
idbd (x10mA)
10
Vdbd (kV)
5 Effets capacitifs
Effets de l'inductance
de fuite
−5
−10
−15
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1
Time (s) −4
x 10
idbd (x10mA)
5 Vdbd (kV)
Effets capacitifs
−5
−10
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1
Time (s) −4
x 10
(b) Avec T2
4
x 10
1.5
Vth
0.5
Vdbd (V)
−0.5 -Vth
p2
−1
p1
−1.5
−6 −4 −2 0 2 4 6
Qdbd (C) −7
x 10
Figure 2.23 – Formes d’onde relevées avec l’alimentation en courant carré, F = 10 kHz.
64 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
est de 128 (seulement la moitié du primaire est utilisée). La valeur du courant dévié au
travers des capacités parasites du transformateur est relativement faible.
Effets inductifs Comme l’évoque l’étude §2.1.3, le courant injecté au primaire du trans-
formateur n’est pas d’allure rigoureusement carrée, mais trapézoïdale. Que ce soit avec l’un
ou l’autre des transformateurs, le temps de transition entre les deux valeurs extrêmes du
courant s’opère en une durée comparable. Ceci est cohérent avec le fait que les valeurs de
l’inductance de fuite vue au secondaire sont du même ordre de grandeur dans les deux
transformateurs. Les effets de l’inductance magnétisante sont difficilement observables sur
ces relevés, car la fréquence choisie est relativement élevée.
15 15
t =40 µs t =26 µs
off off
10 10
5 5
0 0
-5 -5
-10 -10
DBD voltage (kV) DBD voltage (kV)
DBD current (mA) DBD current (mA)
-15 -15
0 0.05 0.1 0.15 0.2 0 0.05 0.1 0.15 0.2
Time (ms) Time (ms)
(a) (b)
Figure 2.24 – Formes d’onde expérimentales à 5 kHz pour une surface traitée de 9 cm2 . Alimentation
en tension sinus (a) et alimentation en courant rectangulaire (b). Relevés effectués sur le dispositif expéri-
mental Fig. 2.19b. La puissance Pdbd se situe aux alentours de 17 W pour l’alimentation en tension et de
28 W pour l’alimentation en courant.
(a) (b)
Figure 2.25 – (a) Domaine expérimental de transition entre les régimes homogène et filamentaire. (b)
Valeur mesurée de toff en limite de transition filamentaire. Mesures effectuées dans l’azote pur à pression
atmosphérique sur le dispositif expérimental Fig. 2.19b ; S = 9 cm2 .
66 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
limites tracées sur Fig. 2.25a sont identiques pour les deux alimentations jusqu’à 8 kHz.
Pour les fréquences supérieures à 8 kHz, on note une différence significative entre les deux
alimentations. L’alimentation en courant carré permet une augmentation de 79% de la
puissance par rapport à l’alimentation en tension sinus, en régime homogène.
– l’oxygène ne se dépose pas et donc l’échantillon garde les mêmes propriétés ; ceci est
nécessaire pour établir des comparaisons sous plusieurs régimes de fonctionnement,
– la mise en place d’une injection de HMDSO requiert beaucoup plus de soins.
Les expérimentations ont été effectuées sur le dispositif présenté Fig. 2.19b afin d’opérer
un contrôle précis de la quantité d’espèces gazeuses injectées.
Les mesures ont été prises sur un dispositif de 9 cm2 . Les résultats sont présentés
Fig. 2.26. L’emploi de l’alimentation en courant carré permet de travailler à une forte
densité de puissance (presque 10 W/cm2 ) jusqu’à un taux de 1000 ppm, et de mainte-
nir une décharge homogène jusqu’à un taux de 1400 ppm. Au contraire, dans le cas de
l’alimentation en tension sinus, la limite de transition filamentaire augmente jusqu’à l’at-
teinte d’un taux d’environ 200 ppm (cette observation qui semble contredire le fait que
la présence de dioxygène amoindrit l’effet mémoire est discuté en [32]), puis s’effondre
rapidement. Ainsi, grâce à la réduction de la durée d’extinction, l’alimentation en courant
rectangulaire présente une moindre sensibilité à la composition du gaz.
Au final, cela laisse présager une nette augmentation de la vitesse de dépôt car elle
permet de gagner sur deux aspects :
Conclusion
Ce chapitre s’est focalisé sur l’intérêt du contrôle du courant de décharge dans une
DBD, et a abordé le dimensionnement et la fabrication d’une source de courant rectangu-
laire. En terme de composants d’électronique de puissance elle est un moyen acceptable
d’augmenter la durée d’allumage d’une décharge pour une puissance donnée. L’étude du
dimensionnement a montré en particulier l’intérêt de travailler à haute tension d’entrée
vis à vis du rendement énergétique du convertisseur.
L’étude expérimentale menée sur une décharge de Townsend à pression atmosphérique
dans l’azote a montré qu’il était possible de repousser la limite de la transition homogè-
ne/filamentaire dans le plan fréquence / densité de puissance. Ceci revêt un intérêt pour
les applications de dépôt puisque l’augmentation de puissance permet l’augmentation de
la vitesse du dépôt. En outre, les études expérimentales menées avec ce convertisseur ont
montré qu’il était possible d’augmenter la concentration d’espèces réactives injectées dans
le gaz tout en maintenant le régime de décharge homogène.
Par ailleurs, les études théorique et expérimentale ont aussi révélé que, pour un ni-
veau de puissance donnée, les effets capacitifs du transformateur augmentaient la durée
d’extinction entre deux décharges ce qui défavorise l’effet mémoire.
68 CHAPITRE 2. ALIMENTATION CONTRÔLÉE EN COURANT
Chapitre 3
Conception du transformateur
Introduction
Ce chapitre traite de la conception du transformateur élévateur utilisé pour les ali-
mentations de dispositifs DBD. Comme évoqué lors des chapitres précédents, les effets
électrostatiques de celui-ci jouent un rôle important.
Dans un premier temps, on s’attache à élaborer le modèle électrique équivalent d’un
transformateur à deux enroulements, en considérant ce dernier comme la mise en parallèle
de deux matrices admittances : l’une inductive et l’autre capacitive [80]. Cette modélisation
électrocinétique permettra par la suite de justifier des protocoles de mesures utilisés, ainsi
que de décrire les éléments nécessaires à un bon dimensionnement.
Dans un second temps, on proposera deux méthodes d’estimation des effets électro-
statiques dans un transformateur en fonction de paramètres de construction. La première
méthode est purement analytique, de mise en œuvre aisée, et repose sur beaucoup d’hy-
pothèses, ce qui la rend moyennement précise. La seconde, semi-numérique, reposant sur
la méthode de Rayleigh-Ritz tient compte de plus d’éléments et permet d’accéder à un
plus grand degré de précision tout en conservant un faible coût calculatoire. Pour les deux
méthodes, on verra comment procéder afin d’estimer les trois paramètres électrostatiques.
Ensuite, une méthode de conception de transformateur par optimisation est mise en
œuvre. Celle-ci exploite avantageusement le faible coût calculatoire des méthodes d’esti-
mation qui a permis de réaliser le dimensionnement de transformateurs par le biais de
leurs effets capacitifs. Elle met en œuvre un algorithme évolutionniste, nécessitant beau-
coup d’évaluations, mais permettant une grande exploration de l’espace des paramètres.
Un exemple de dimensionnement est finalement explicité, et la capacité de la méthode à
fournir une grande diversité de « bonnes solutions » est soulignée.
69
70 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
I3 I3
V4 V4
V3 V3
I4 I4
I2 I2
V V
V2 5 V2 5
Z
Z
Système I5 I5
I1 Électrique I1
Z
V6 V6
V1 V1
I6 I6
I8 I8
V8 I7 V7 V8 I7 V7
(a) (b)
Figure 3.1 – (a) Représentation d’un système électrique multiports. (b) Cas du transformateur multi-
enroulements.
une distinction de la contribution « cuivre », décrite simplement par une résistance série
Rs , et de la contribution fer, décrite par une résistance parallèle Rf . Or, comme nous
l’avons observé dans l’étude précédente, les effets capacitifs du transformateur jouent un
rôle important dans l’alimentation de dispositifs DBD. Ils sont responsables d’un surdi-
mensionnement du convertisseur de puissance en amont du transformateur, et ils limitent
l’obtention d’un temps d’allumage élevé de la décharge. L’approche envisagée au §2.1.3
décrit les effets capacitifs avec une seule capacité parasite Cp directement connectée aux
bornes de l’enroulement secondaire (Fig. 2.6a). Cette approche, ayant le mérite d’exposer
clairement la problématique des effets capacitifs en faisant apparaître l’effet « diviseur de
courant », s’avère insuffisante pour expliquer toutes les observations.
On constate en effet que la définition du potentiel d’un enroulement par rapport à
l’autre modifie la valeur de Cp . Expérimentalement, ce fait est observé lorsque les potentiels
des enroulements sont fixés individuellement par rapport à la terre : on mesure différentes
valeurs Cp selon le contexte d’utilisation (définition des potentiels primaire et secondaire
l’un par rapport à l’autre). Aussi est-il impropre de parler de « la capacité parasite du
transformateur » comme s’il s’agissait d’un paramètre intrinsèque de ce dernier, car elle
dépend du contexte dans lequel est placé le composant.
La présente étude se base en partie sur les travaux [81, 80, 52] et propose de décrire les
effets capacitifs d’un transformateur par un jeu de paramètres uniquement lié à ce dernier
et non à son environnement.
entre elles ces grandeurs. Dans le cadre de cette modélisation, il est nécessaire de fixer N
paramètres d’entrée (tension ou courant) pour déterminer les N autres paramètres (qui
seront alors les paramètres de sortie) grâce à la relation structurelle. Si ce système est
linéaire, alors il existe une relation linéaire reliant les paramètres de sortie aux paramètres
d’entrée.
Lorsque le système électrique (Fig. 3.1a) est un transformateur régi par des lois li-
néaires, et possédant K = N/2 enroulements (N est pair car chaque enroulement possède
2 bornes), dont chacun est connecté entre des bornes adjacentes (Fig. 3.1b) on a une
relation du type [V ] = [L̃][I], que nous détaillons en notation de Laplace :
Le terme Z désigne une impédance inter-enroulement ajoutée de façon artificielle, qui est
censée être infinie dans le cadre de la modélisation magnétique. Afin de mener des calculs
rigoureux, nous conservons ce terme et nous procéderons à un passage à la limite lorsque
cela s’avérera utile. Les tensions et courants ont été classés en fonction de leur parité car la
matrice inductance ne fournit que des relations liant les tensions et courants impairs. En
effet, un modèle magnétique n’intègre pas les couplages inter-enroulements. Pour éviter
la redondance, la tension et le courant de rang 2K ne sont pas représentés car les lois de
Kirchoff imposent que Vk = 0 : ainsi sur l’exemple Fig. 3.1b, la tension V8 n’est pas un
P
Afin de compléter le modèle magnétique les auteurs de [3] et [80] proposent de modéliser
un transformateur sans pertes par la mise en parallèle d’une matrice impédance inductive
[L̃] représentant le comportement magnétique précédemment évoqué, et d’une matrice
admittance électrostatique [C] (Fig. 3.2). Cette dernière permet d’établir une relation
72 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
[I] [V]
~
+
-
[L ]
[C]
Figure 3.2 – Modélisation d’un transformateur avec deux matrices admittance en parallèle.
i1 V1
.. ..
.
[C11 ] [C12 ]
.
i2K−1 = p V2K−1 . (3.2)
i2 V2
.. ..
. [C21 ] [C22 ] .
i2K−2 V2K−2
La matrice électrostatique [C] est décomposée en 4 sous matrices [Cij ] afin de simplifier
l’écriture des calculs en utilisant les propriétés du calcul matriciel par bloc. La matrice [C]
est symétrique – elle possède donc K(2K − 1) coefficients indépendants – et généralement
inversible.
[V ] = [L̃]([II2K−1 ] − [C][V ])
⇒ [L̃][I] = ([II2K−1 ] + [L̃][C])[V ] (3.3)
⇒ [I] = ([L̃]−1 + [C])[V ],
I1 I2 I1 I2
V V2 Magnétique V2
1 V1
Électrostatique
I3
V3
I3
V3
où, rappelons-le, [L]−1 est l’inverse de la matrice inductance de taille K × K (le premier
bloc de (3.1)).
1. Le mineur de rang i, j d’une matrice M est défini comme le déterminant de la matrice formée par
M privée de sa ligne i et de sa colonne j
74 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
diagonaux de la matrice impédance, nous calculons les termes de celle-ci. On montre que
C33 α22 + m11 p2
Z11 = , (3.8a)
det[Y ]
C33 α12 + m12 p2
Z12 =− , (3.8b)
det[Y ]
C23 α12 − C13 α22 + m13 p2
Z13 = , (3.8c)
det[Y ]
C33 α11 + m22 p2
Z22 = , (3.8d)
det[Y ]
C23 α11 − C13 α12 + m23 p2
Z23 =− , (3.8e)
det[Y ]
det([L]−1 ) + (α11 C22 − 2α12 C12 + α22 C11 )p2 + m33 p4
Z33 = . (3.8f)
p2 det[Y ]
Les termes Z11 et Z22 possèdent chacun un zéro et le terme Z33 en possède 2.
où βij désigne le terme ij de la matrice [C]−1 . Pour simplifier les écritures, les notations
A et B ont été introduites. Du fait du caractère défini positif des matrices [L] et [C], on
3.1. MODÉLISATION ÉLECTRIQUE 75
peut montrer que A et B sont strictement positifs tant que ces dernières sont inversibles.
La factorisation de det[Y ] sous l’hypothèse σ 1 conduit à :
det(C)
2 B
2 A
det[Y ] ≈ p + p + . (3.11)
p A
|{z}
σ
|{z}
ω12 ω22
C33
p2 +
m11 σL11
Z11 ≈ β11 p , (3.12a)
!
B 2 A
p2 + p +
A σ
C33
p2 +
m22 σL22
Z22 ≈ β22 p , (3.12b)
!
B 2 A
p2 + p +
A σ
B0 A0
!
p2 +
2
p +
A0 σ
β33
Z33 ≈ . (3.12c)
p
!
B 2 A
p2 + p +
A σ
où √ !
0 C22 2 1 − σC12 C11 1
A = + √ + et B 0 = .
m33 L22 m33 L11 L22 m33 L11 L11 L22 β33
Nous notons que pour un transformateur parfaitement couplé,
p à l’exception du terme Z33
0 0
qui comporte un mode résonant série à basse fréquence B /A , tous les modes résonants
série sont rejetés vers les hautes fréquences lorsque σ → 0 (voir les termes entourés en
76 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
Z Z
11 or 22
Z
33
dB
|Z|
Figure 3.4 – Allures plausibles des diagrammes asymptotiques de Bode pour les impédances Z11 , Z22 et
Z33
rouge dans (3.12)). Ces observations mettent ainsi en évidence le principe que, dans un
transformateur à deux enroulements fortement couplés et à faible pertes, on observe une
très nette séparation entre les deux modes résonants parallèles et que pour toute mesure
d’impédance réalisée aux bornes d’un enroulement, on observe une très nette séparation
entre le premier mode résonant parallèle et le mode résonant série.
Pour illustrer le propos, des allures plausibles des diagrammes de Bode asymptotiques
pour les impédances Z11 , Z22 et Z33 sont fournies Fig. 3.4. On observe que les 2 modes de
gauche sont situés à plusieurs décades sous les modes de droite. Cette séparation nous incite
à identifier séparément les modes basse fréquence avec l’hypothèse du couplage parfait,
puis d’identifier les modes haute fréquence dans un second temps, en tenant compte du
fait que σ 6= 0, mais en supposant que les résultats de la première identification demeurent
valides.
Ainsi, pour identifier les modes basse fréquence on se basera sur un modèle de transfor-
mateur équivalent à 3 bornes et à un seul enroulement (ie un seul paramètre magnétique).
Lorsque σ = 0, on définit le gain en tension du transformateur η par le rapport entre
la tension secondaire, V2 , et la tension primaire V1 . Dans ce cas, η correspond également
au rapport entre le nombre de spires secondaires et primaires. Ainsi, en notant L̃ le seul
terme de la matrice inductance du transformateur équivalent à un enroulement on a
L22
L̃ = L11 , L22 = η 2 L̃ et L12 = η L̃ = . (3.13)
η
D’après (3.4), les matrices admittance et impédance d’un transformateur à trois bornes et
à un seul enroulement (voir Fig. 3.5a) se mettent sous la forme
" # " #
−pβ̃12
1
1 L̃
+ p2 C̃11 p2 C̃12 1 pβ̃11
[Ỹ ] = , et [Z̃] = β̃22 1
, (3.14)
p 2
p C̃12 2
p C̃22 p2 + β̃L̃11 −pβ̃12 p p2 + L̃C̃22
i1
V1
i3
V3
Figure 3.5 – Modèles électriques équivalents d’un transformateur à deux enroulements parfaitement
couplés. Enroulement secondaire représenté (a) ; enroulement secondaire non représenté (b) ; enroulement
secondaire représenté dans le cas où V3 est connu en fonction de V1 grâce à une mise à la terre (c).
Table 3.1 – Expression des modes résonants avec le modèle à deux enroulements (K = 2) à couplage
parfait (σ = 0) et à un enroulement (K = 1).
méthode doit, dans le cas général, fournir les valeurs des six paramètres électrostatiques
de la matrice [C] ou, de façon équivalente, fournir les valeurs des six capacités composant
le schéma Fig. 3.3 en fonction de paramètres de construction du transformateur. Grâce
au développement précédent, on a montré qu’il existait une séparation des modes lorsque
le transformateur était fortement couplé. Ainsi, lorsque seul le comportement basse fré-
quence est recherché, c’est à dire une gamme de fréquence inférieure aux 3 fréquences de
résonance de droite Fig. 3.4, il est possible de réduire cette recherche à trois paramètres
électrostatiques, en l’occurence les coefficients de [C̃] ou, de façon équivalente, les valeurs
des γ̃i de Fig. 3.5b, à condition que le transformateur soit fortement couplé (σ 1). C’est
cette dernière approche qui est adoptée dans la suite, car les transformateurs employés
dans nos expérimentations sont en général fortement couplés. De plus, la modélisation du
comportement haute fréquence n’est pas nécessaire pour déterminer les effets qui nous
intéressent, à savoir estimer l’effet de diviseur capacitif précédemment évoqué.
démontrant que le comportement électrostatique est paramétré par une seule capacité aux
bornes de l’enroulement primaire, égale à C11 + η 2 C22 k 2 + 2C12 ηk. On peut mener une
analyse similaire dans le cas où le potentiel V3 est laissé libre, c’est à dire que le courant
i3 (Fig. 3.5b) est nul. On montre qu’alors V3 est également déterminé en fonction de V1
par la relation
V3 = −(C̃12 /C̃22 )V1 .
On utilisera souvent l’abus de langage qui consiste à évoquer la capacité parasite,
mais ce sera toujours dans un contexte où le potentiel inter-enroulement V3 est connu en
fonction de V1 , soit par une connexion volontaire, soit parce que V3 est laissé flottant et
que par conséquent sa valeur est déterminée par les paramètres C̃ij , ce qui revient à se
placer dans le cas particulier k = −C̃12 /(η C̃22 ).
3.2. ESTIMATION DES PARAMÈTRES ÉLECTROSTATIQUES 79
C̃11 C̃12
Cp = 2
+2 k + C̃22 k 2 . (3.17)
η η
La détermination des trois coefficients peut s’effectuer en évaluant trois fois Cp : Cp1 , Cp2 ,
Cp3 pour trois valeurs distinctes de k, notées k1 , k2 , k3 qui d’un point de vue mathématique
peuvent être fixées arbitrairement. Les coefficients C̃ij sont ensuite déterminés par :
1 2k1
k12 C̃11
2 η Cp1
η1 2k2 2
2
η η k2 C̃12 = Cp2 .
(3.18)
1 2k3
η2 η k32 C̃22 Cp3
Afin de mener chaque calcul de capacité parasite, nous procédons au calcul de l’éner-
gie électrostatique stockée dans le volume du transformateur que nous identifions à une
expression du type 0.5Cpi (ηV1 )2 , avec i ∈ {1, 2, 3}.
On trouve dans la littérature des méthodes entièrement analytiques permettant d’es-
timer des capacités parasites dans un transformateur [18] ou dans une inductance [53].
Celles-ci s’attachent à exprimer l’influence électrostatique entre les spires jointives des en-
roulements, les couches adjacentes et le couplage au noyau magnétique. Le fait de considé-
rer la cylindricité des conducteurs dans les calculs électrostatiques apporte de la précision
à l’estimation, mais conduit à des développements théoriques conséquents. De façon ana-
logue à [18, 53] le principe des méthodes d’estimation étudiées ici repose sur un découpage
adapté du transformateur. Cependant, cette étude s’appuie sur des méthodes énergétiques,
et non sur des calculs directs de capacités géométriques.
Figure 3.6 – Construction d’un transformateur à enroulements concentriques et à secondaire non frac-
tionné (Ns = 1).
primaire est placé le long d’une carcasse de bobinage Fig. 3.6b, puis une large couche
d’isolant est enroulée autour de ce bobinage Fig. 3.6c. Ensuite, vient la première couche
secondaire, Fig. 3.6d, où les spires sont disposées depuis le bas vers le haut. Une couche
d’isolant est enroulée autour de cette dernière couche, Fig. 3.6e, et une seconde couche
secondaire est disposée elle aussi depuis le bas vers le haut, Fig. 3.6f. Puis un isolant est
placé par dessus la totalité des enroulements, Fig. 3.6g, et l’ensemble est inséré autour
d’un noyau magnétique, Fig. 3.6h.
3.2.1.c Partitionnement
Différentes zones : Afin d’employer des méthodes d’estimation simples, on identifie
quatre types de zone dans lesquelles est stockée de l’énergie électrostatique, elles sont
3.2. ESTIMATION DES PARAMÈTRES ÉLECTROSTATIQUES 81
(a) (b)
représentées Fig. 3.8. La zone 1 correspond à l’espace isolant situé entre l’enroulement pri-
maire et l’enroulement secondaire. Les zones de type 2 correspondent aux espaces isolants
situés entre les couches de l’enroulement secondaire. Les zones de type 3 correspondent
aux espaces isolants situés entre le noyau magnétique et les couches externes de l’enroule-
ment secondaire. Les zones de type 4 sont les espaces isolants situés entre les sections de
l’enroulement secondaire.
Répartition du potentiel Chacune des zones évoquées est délimitée soit par deux
couches concentriques (zones 1, 2, 3), soit par deux disques parallèles (zones 4) où l’évolu-
tion spatiale du potentiel est facilement exprimable sur ces surfaces de séparation.
Les notations sont présentées Fig. 3.9. Le potentiel V3 , précédemment défini sur Fig. 3.3
et Fig. 3.5b correspond à la différence de potentiel entre le début de la première spire du
primaire et le début de la première spire secondaire de la section inférieure.
L’enroulement secondaire est fractionné en Ns sections, et chacune d’entre elles est
fractionnée en Nl couches. L’incrément de potentiel entre deux couches successives, noté
δV sur Fig. 3.9 est alors donné par
δV = ηV1 /(Ns Nl ),
1 2 3
1 2 3
1 2 3
(a) (b)
Figure 3.8 – Repérage des différentes zones dans un transformateur à secondaire fractionné. (a) Vue de
la fenêtre de bobinage. (b) Vue de dessus d’une section.
nous supposons equipotentiel 2 . Bien entendu, on peut exprimer les valeurs de tous les
potentiels représentés sur Fig. 3.9 en fonction des deux tensions indépendantes : V1 et V3 .
En effet, en considérant que, le long d’une couche secondaire, le potentiel évolue linéaire-
ment et parallèlement à l’axe de bobinage, on montre que (en accord avec les notations
de Fig. 3.9) :
V1 ηV1 ηV1
φ1ns = V3 + (ns − 1) − − (ns − 1) , (3.19a)
Ns 2Ns Nl Ns
(2Nl − 1)ηV1 ηV1
φ3ns = V3 − − (ns − 1) , (3.19b)
2Ns Nl Ns
ηV1
δV = . (3.19c)
Ns Nl
2. En fonction du noyau choisi, cette hypothèse peut ne pas être vérifiée, notamment pour des matériaux
haute fréquence car la conductivité de ceux-ci est faible, afin de limiter les pertes par courant de Foucault.
Il est donc parfois plus pertinent de considérer le noyau comme un isolant, mais ce cas n’a pas été étudié
ici.
3.2. ESTIMATION DES PARAMÈTRES ÉLECTROSTATIQUES 83
Enroulement
secondaire :
Enroulement
1ère section
secondaire :
2ème section
Enroulement Enroulement
primaire primaire
analytique pour les valeurs des termes de la matrice électrostatique [C̃]. Cette étude repose
sur le principe du partitionnement du transformateur. L’idée est de calculer l’énergie
électrostatique stockée dans chaque volume du transformateur en fonction de V1 et V3 ,
d’additionner les contributions de chaque zone, afin d’obtenir une expression analytique
sous la forme 0.5(aV12 +bV32 +2cV1 V3 ), dans le but d’identifier les coefficients de cette forme
quadratique avec ceux de (3.16). On aboutit immédiatement à C̃11 = a, C̃22 = b, C̃12 = c.
Les coefficients a, b, c dépendent bien entendu des paramètres physiques et géométriques
du transformateur.
3.2.2.a Hypothèses
Les zones de type 1 et 2 sont délimitées par des cylindres concentriques, le long desquels
le potentiel évolue axialement de façon linéaire. La résolution analytique de l’équation
de Laplace — ∆V (r, z) = 0 où V (r, z) est le potentiel dans la région délimitée par les
deux enveloppes cylindriques concentriques — dans une telle situation n’est pas simple,
et conduit le plus souvent à exprimer la solution comme la limite d’une série [39].
L’approche que nous utilisons dans ce paragraphe propose de simplifier le problème
des deux cylindres concentriques en un problème plan/plan. Cette hypothèse demeure
acceptable, tant que la distance entre les enveloppes cylindriques est faible devant le rayon
de l’enveloppe cylindrique intérieure. L’intérêt d’une telle hypothèse est que la résolution
de l’équation de Laplace est grandement simplifiée, et conduit à une expression courte vis à
vis des variables spatiales. Les problèmes relatifs aux zones de type 1 sont représentés par
Fig. 3.10a car, modélisant des transformateurs à haut rapport de transformation (η 1),
on suppose que la variation de potentiel le long d’une couche primaire est négligeable
devant la variation de potentiel au sein d’une couche secondaire. Les problèmes relatifs
aux zones de type 2 se modélisent par Fig. 3.10b car le potentiel le long des couches évolue
linéairement avec z. On modélisera le problème relatif aux zones de type 3 par Fig. 3.10a,
84 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
e e l
l
H δV H δ δ
Φ1ns
z
y
δ x
(a) (b)
car on suppose que le noyau est equipotentiel. Les problèmes relatifs aux zones de type 4
seront ignorés dans cette étude.
3.2.2.b Résolution
Problème Fig. 3.10a La formulation mathématique du problème est la suivante : il
s’agit de résoudre l’équation de Laplace en coordonnées cartésiennes, à savoir ∂x2 V +∂z2 V =
0 avec les conditions aux limites :
V (0, z) = 0
z . (3.20)
V (e, z) = −(φ1ns + 0.5δV ) + δV.
H
On recherche une éventuelle solution sous la forme
V (x, z) = E0 x + E1 z + Axz.
conduisant à : " #
−E0 − Az
E(x, z) = . (3.22)
−Ax
3.2. ESTIMATION DES PARAMÈTRES ÉLECTROSTATIQUES 85
Problème Fig. 3.10b Une méthode similaire à la précédente est utilisée afin de résoudre
ce problème : on montre que, avec les mêmes notations, l’énergie électrostatique, We2 est
donnée par : " 2 #
1 e
We2 = 1+ C0 δV 2 . (3.25)
2 H
où
γ10 = 1 π(2R1 + e12 )Hs /e12 ,
Nl 0 2 !
γ2,n ell
X
tot
We2 = Ns l
1+ δV 2
nl =1
2 Hs
2 !
Ns Nl γ20 ell
= 1+ δV 2 (3.27)
2 Hs
Ns Nl γ20
2
ell
≈ δV 2 si 1,
2 Hs
où
– ell et 2 sont respectivement l’épaisseur d’isolant entre deux couches successives du
secondaire et sa permittivité diélectrique,
–
0
γ2,n l
= 2 2π R̄nlayer
l
Hs /ell ,
R̄nlayer
l
étant le rayon du cylindre moyen passant dans la nl e région inter-couche,
–
γ20 = 2 2π R̄layer Hs /ell ,
Zones de type 3 Le raisonnement est analogue aux précédents (voir Fig. 3.8a). On
montre que :
Ns
" 2 ! 2 #
1 X 1 e2c ηV1
tot
We3 = γ30 1+4 + φ23ns
2 n =1 12 Hs Nl Ns
s
2 ! Ns
γ30
2
N e2c ηV1
s
X
= 1+4 + φ23ns (3.28)
2 12 Hs Nl Ns ns =1
Ns
γ 0 Ns
2 2
ηV1 e2c
≈ 3
X
+ φ23ns si 4 1,
2 12 Nl Ns ns =1
Hs
où
– e2c désigne l’espacement entre la dernière couche secondaire et le noyau magnétique,
3.2. ESTIMATION DES PARAMÈTRES ÉLECTROSTATIQUES 87
–
γ30 = 3 θ(2R3 − e2c )Hs /e2c ,
Hs étant la hauteur d’une section, où θ désigne l’angle sous lequel est vu le noyau
magnétique (Fig. 3.8b),
– et où R3 est le rayon du cylindre moyen passant entre la dernière couche secondaire
et le noyau magnétique.
Wetot = We1
tot tot
+ We2 tot
+ We3
1 (3.29)
= {[aγ1 + bγ2 + cγ3 ]V12 + d[γ1 + γ3 ]V32 + [eγ1 + f γ3 ]V1 V3 },
2
où les paramètres a, b, c, d, e et f sont donnés par :
2 + Nl (Ns − 1)(3 + Nl (2Ns − 1))
a = η2
6Nl2 Ns2
Nl − 1
b = η2 2 2
Nl Ns
c = η 2 2 + 6Nl Ns (Nl − 1) + Nl (Ns − 1)(3 + Nl (2Ns − 1))
l 6N 2 N 2
s (3.30)
d = 1
Nl (Ns − 1) + 1
e = −η
Nl Ns
l − 1) + Nl (Ns − 1)
1 + 2(N
f = −η ,
Nl Ns
et où :
γ1 = Ns γ10 , γ2 = Ns γ20 et γ3 = Ns γ30 . (3.31)
En identifiant les coefficients de (3.29) avec (3.16) on montre que :
3.2.2.c Validation
Le domaine de validité de la méthode présentée ci-dessus est précisé en comparant ses
résultats à ceux donnés par une méthode éléments finis 2D pour diverses configurations,
ainsi qu’aux mesures effectuées sur quatre transformateurs réalisés.
88 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
L’inconvénient d’un tel critère apparaît lorsque les différences d’ordre de grandeur dans
les coefficients sont importantes, car alors il apparaît qu’une grande erreur dans un terme
peut ne pas se répercuter fortement sur la valeur de l’erreur. En pratique cette situation
s’observe dans le cas où le transformateur est à fort rapport de transformation (η 1), à
cause des différences de grandeurs dans les coefficients de (3.30). Afin de pondérer équi-
tablement l’importance de l’erreur dans chaque coefficient, on s’intéressera à proposer un
critère en lien avec l’énergie électrostatique stockée, dans le contexte qui nous intéresse.
En l’occurence, notre étude porte sur les cas où le potentiel V3 est défini comme kηV1
avec k ∈ [0, 1]. En outre, la valeur qui influence directement les formes d’onde du courant
injecté dans le dispositif DBD est la valeur de la capacité parasite Cp , dont une expression
est fournie en (3.17). Aussi est-il pertinent d’adopter un critère fournissant l’erreur qua-
dratique relative à la courbe « Cp versus k ». Soient deux matrices électrostatiques [C̃] et
[C̃¯ ] (de référence), on définit la distance de [C̃] par rapport à la référence [C̃¯ ] par :
v
u (C˜p (k) − C¯
u R1
˜p (k))2 dk
ε[C̃] t 0
¯ ([C̃]) = R1 ¯ . (3.33)
˜ 2
Cp (k) dk
0
Il est possible par calcul direct, de proposer une formule analytique en fonction des C̃ij
et C̃¯ij grâce à (3.17), mais nous en resterons là. Ce critère servira dans les comparaisons
pour évaluer l’erreur commise par les méthodes d’estimation des effets électrostatiques.
Transformateurs comparés : Les trois premiers transformateurs ont été réalisés pour
alimenter des lampes DBD excimères 3 , sous une puissance avoisinant la centaine de Watts.
Les caractéristiques sont résumées Tab. 3.2.
– Le premier transformateur que nous nommons T11 comporte exactement une couche
primaire et une couche secondaire (Ns , Nl ) = (1, 1).
– Le second, que nous nommons T12 (voir Fig. 3.11a), comporte deux couches au
primaire et deux couches au secondaire, lequel est bobiné sur une seule section
(Ns , Nl ) = (1, 2).
– Le troisième, que nous nommons T22 (voir Fig. 3.11b) comporte deux couches et
deux sections (Ns , Nl ) = (2, 2).
3. Projet ECOS : étude déroulée lors d’un séjour de deux mois à l’université Javeriana de Bogotá
3.2. ESTIMATION DES PARAMÈTRES ÉLECTROSTATIQUES 89
Paramètres Valeurs
Application Alimentation HT-HF pour lampes excimères
Tension Max. 5 kV
Courant efficace primaire 1A
Gamme de fréquence 80-200 kHz
Type de noyau E80/38/20-3F3 (Ferroxcube)
Nb de spires (primaire) 26 (Nl = 1) et 52 (Nl = 2)
Nb de spires (secondaire) ≈ 260 (Nl = 1) ou 520 (Nl = 2)
η ≈ 10
Ns 1 ou 2
Nl 1 ou 2
e12 (zone 1) Acrylique 4.5 mm (r = 2.7)
ell (zone 2) Acrylique 2 mm
e2c (zone 3) Air > 5 mm (effet négligeable)
Table 3.2 – Caractéristiques des trois transformateurs pour l’alimentation d’une lampe excimère.
(a) (b)
Figure 3.11 – Photos de T12 (a) et T22 (b). Noyaux magnétiques retirés.
Des calculs de capacité ont été menés selon la méthode présentée. Afin de proposer une
évaluation de la précision de la méthode, les énergies électrostatiques ont été également
estimées à l’aide d’un logiciel éléments finis 2D (FEMM4.2) sous l’hypothèse de symétrie
axiale. Il est à noter que pour le modèle EF2D, l’énergie stockée dans les zones de type
3 n’a pas été considérée car elle n’est pas facilement modélisable en 2D. Les estimations
des effets électrostatiques sur ces trois transformateurs sont données Fig. 3.12. L’erreur
relative commise sur le transformateur T11 atteint 25% alors qu’elle avoisine 10% pour les
transformateurs T12 et T22 .
Nous mettons ainsi en avant le caractère approximatif de cette méthode ; elle ne sau-
rait fournir un résultat satisfaisant si le besoin était de prédire une valeur de capacité
avec précision. Par sa simplicité de mise en œvre, elle demeure cependant adaptée pour
une phase de prédimensionnement car elle fournit de bons ordres de grandeur, offre gé-
néralement une assez bonne vue sur l’influence de certains paramètres de construction, et
permet notamment de localiser assez fidèlement le minimum de la courbe Cp (k) ce qui
permet d’avoir une idée de la connexion optimale du secondaire vis à vis du primaire.
Elle serait également utilisable dans une première phase de conception par optimisation
car les appels à cette méthode sont très peu coûteux en temps de calcul. Néanmoins,
une telle procédure de conception n’exclurait probablement pas la possibilité d’utiliser
90 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
40 0.35
Ns1Nl1 Error
Ns1Nl1 EF
35 Ns1Nl2 0.3
Ns1Nl2 EF Experiments
Ns2Nl2
30 Ns2Nl2 EF 0.25
25
0.2
C (pF)
20
p
0.15
15
0.1
10
5 0.05
0 0
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1 Ns1 Nl1 Ns1 Nl2 Ns2 Nl2
k T11 T12 T22
Figure 3.12 – Résultats de la méthode analytique, de la simulation EF-2D, et des relevés expérimentaux.
L’erreur relative est donnée en comparant la méthode analytique à la méthode EF (référence) selon le
critère (3.33).
une méthode plus coûteuse mais plus précise (MEF2D/MEF3D) lorsqu’un raffinement du
modèle s’avérait nécessaire, en particulier à proximité d’un minimum local.
La comparaison entre les effets électrostatiques de T12 et T22 rend bien compte du fait
que, à encombrement égal, le fractionnement de l’enroulement secondaire permet de les
réduire significativement. Les principaux défauts identifiés sont les suivants : les énergies
stockées entre les sections et entre le bobinage et les parties horizontales du noyau sont
ignorées alors que, dans certains cas, leur contribution à l’énergie totale peut être signifi-
cative. De plus l’approximation plan/plan, bien qu’elle permette une formulation simple,
réduit encore la précision, notamment pour les couches épaisses d’isolant.
On montre [39, 75] que résoudre (3.35) équivaut à trouver l’unique fonction φ qui minimise
la fonctionnelle : Z Z
I[φ] = (∇φ)2 dΩ + 2 ∇φ · ∇V0 dΩ. (3.36)
Ω Ω
fonction φ̃ dans l’espace vectoriel engendré par B, c’est à dire que φ̃ admet une écriture
de la forme :
n
X
φ̃ = ai φ̃i . (3.37)
i=1
Minimiser I[φ̃] implique d’annuler les quantités ∂I[φ̃]/∂ai pour i ∈ [1 . . . n], ce qui s’écrit :
n
X Z Z
∀k ∈ [1 . . . n], aj ∇φk · ∇φj dΩ + ∇φk · ∇V0 dΩ = 0. (3.39)
j=1 Ω Ω
A11 · · · A1n a1 B1
.. .. .. .. = ..
. . . . . (3.40)
An1 · · · Ann an Bn
Si la base de fonctions tests est petite et que les coefficients Aij et Bi sont facilement
calculables analytiquement, nous constatons que le coût calculatoire de la méthode est
très faible.
est alors donné par (3.41c) et le long du bord droit, il est donné par (3.41d).
r − R0
Vi (r) = Vi0 + (Nl − 1)δV (3.41a)
Nl (d2 + ell )
r − R0
Vs (r) = Vi0 + (Nl − 1)δV + (Nl − 1)δV (3.41b)
Nl (d2 + ell )
z − z0
Vg (z) = Vi0 + (Nl − 1)δV (3.41c)
ess
z − z0
Vd (z) = Vi0 + (Nl − 1)δV + (Nl − 1)δV (3.41d)
ess
Ainsi, les zones de type 4 sont délimitées par des disques parallèles où le potentiel varie
linéairement suivant la coordonnée radiale.
z
b
s
a r s
Figure 3.14 – Résolution d’un problème plan où le potentiel évolue linéairement sur les arêtes.
Choix de la base de fonctions tests L’expression générale d’une solution d’un pro-
blème à symétrie de révolution exprimée en coordonnées cylindriques prend la forme d’une
série infinie impliquant des fonctions de Bessel de première ou seconde espèce [24], car à
l’instar des fonctions trigonométriques dans les problèmes à symétrie cartésiennes, elles
permettent de constituer une base complète et orthogonale pour la décrire. L’inconvénient
de l’usage de telles fonctions est qu’il est difficile de mener des calculs analytiques per-
mettant de trouver les coefficients à associer à chaque fonction pour exprimer la solution
exacte. Aucune méthode ne permet d’orienter le choix des fonctions tests. Pour les pro-
blèmes issus de l’étude du transformateur, on s’orientera vers une base de fonctions tests
polynomiales car elles permettent d’atteindre aisément des expressions analytiques pour
les coefficient Aij et Bi . Il aurait été probablement pertinent de considérer des fonctions
trigonométriques car elles offrent ce même avantage en plus de pouvoir former une base
complète pour décrire une fonction quelconque sur un intervalle borné. Pour un problème
délimité entre les cylindres de rayon R1 et R2 et entre les altitudes zm et zM , on s’intéresse
à la base de fonctions dont les éléments sont donnés par :
m p
r − R1 r − R2 z − zm z − zM
φ̃m,p = , (3.44)
R2 − R1 R2 − R1 zM − z m zM − zm
où m et p sont des entiers non nuls. Conformément à notre exigence, ces fonctions vérifient
les conditions de Dirichlet homogènes.
3.2. ESTIMATION DES PARAMÈTRES ÉLECTROSTATIQUES 95
Z
We = (∇Ṽ )2 dΩ (3.45)
2 Ω
où
X
Ṽ = V0 + ai φ̃i ,
Z
We = [B]t ([II] + 2[A]−1 )[B] + (∇V0 )2 dΩ , (3.46)
2 Ω
(a) (b)
Figure 3.16 – Potentiel électrostatique dans l’approximation plan/plan (a) et avec quatre fonctions tests
((m, p) ∈ {1, 2}2 ) (b).
respectivement :
Figure 3.17 – Répartition du potentiel électrostatique : géométries 2-D axisymétriques (FEMM4.2), dans
le cas k = 0.5.
courbes Cp (k) pour l’estimation avec la méthode de Ritz, le modèle 2D FEMM et les re-
levés expérimentaux sont données pour deux réalisations (m = 64 et m = 50) Fig. 3.18
et Fig. 3.19. Notons que la permittivité de la résine Tab. 3.3 est inconnue mais que son
effet s’est avéré faible ; dans le modèle, on a pu opter pour des valeurs allant de 1 à 5 sans
observer de changement significatif dans les résultats d’estimation. L’erreur entre deux
méthodes est calculée selon le critère (3.33), en prenant respectivement pour référence la
méthode EF2D et la mesure expérimentale. Les erreurs commises pour les deux réalisations
demeurent de l’ordre de quelques % ce qui illustre la précision de cette méthode d’évalua-
tion des effets électrostatiques dans un transformateur élévateur adapté à l’alimentation
de dispositifs DBD.
−11
x 10
4.5 0.07
FEMM 2D
Ritz
0.06
4 Measurements
0.05
3.5
0.04
Cp (F)
Error
3
0.03
2.5
0.02
2
0.01
1.5 0
0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 Ritz versus Ritz versus
k FEMM 2D Measurements
−11
x 10
4.5 0.045
FEMM 2D
Ritz 0.04
4 Measurements
0.035
3.5 0.03
0.025
Cp (F)
Error
3
0.02
2.5 0.015
0.01
2
0.005
1.5 0
0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 Ritz versus Ritz versus
k FEMM 2D Measurements
Paramètres Valeurs
Application Expérimentations traitement de surface
Surface 25-100 cm2 (selon l’appli)
Gap de diazote 1 mm
Tension de claquage (Vth ) 3500 V
Capacité diel (Cdiel ) > 50 pF
Capacité gaz (Cgas ) >10 pF
Tension Max. 16 kV
Courant efficace primaire 5A
Gamme de fréquence 5-50 kHz
Type de noyau E80/38/20-3F3 (Ferroxcube)
Nb de spires (primaire) 48 (Nl = 2)
η ≈ 64
Nb de sections (Ns ) 4
Nb de couches au secondaire (Nl ) 12
ess (zone 4) Isolant 2 mm (r = 3)
e12 (zone 1) Isolant 5 mm (r = 3)
ell (zone 2) Isolant 0.2 mm
e2c (zone 3) Résine > 5 mm (r = ?)
Figure 3.20 – Courant DBD et courant gaz pour une alimentation en courant carré. Cas idéal (rouge),
en tenant compte des effets capacitifs uniquement (vert) et en tenant compte de tous les effets cumulés
(bleu).
courant gaz icgas reste néanmoins constante par morceaux, et le courant maximum reste
contrôlé. Lorsque tous les effets sont cumulés, on constate que l’inductance de fuite, ra-
lentissant les variations de courant, augmente encore le temps d’extinction de la décharge
toff et l’inductance magnétisante rend le courant gaz non constant durant la phase d’al-
lumage (présence de δidbd ). Des travaux récents menés sur les applications de traitement
de surface à la pression atmosphérique suggèrent que le niveau de courant maximum ainsi
que le retard de l’amorçage de la décharge constituent deux éléments capitaux quant à
l’obtention d’une décharge homogène favorisant la qualité du traitement [11]. En effet, il
est montré que dans le contexte où se situe l’étude, réduire le temps d’extinction et limiter
la valeur crête du courant injecté sont bénéfiques. Aussi, dans le cahier des charges, en plus
des éléments usuels (puissance, fréquence, . . . ) figureront deux paramètres respectivement
liés à la valeur maximale du courant injecté (îcdbd + δidbd ), et au temps d’extinction toff
entre deux décharges successives, ce qui du point de vue de notre étude se traduit par des
contraintes sur les valeurs des éléments parasites du transformateur.
valeurs typiques tenant compte du cahier des charges sont alors assignées à ces paramètres
avant le processus d’optimisation. Toutefois, le processus d’optimisation peut être itéré en
assignant à ces paramètres un jeu de valeurs issu de bases de données constructeur.
Il est possible d’exprimer quelques contraintes permettant de réduire le nombre de
paramètres : on exige que les couches de bobinage soient entièrement remplies ce qui
permet par exemple d’éliminer le nombre de spires N2 car ce dernier est alors défini par
le nombre de couches au secondaire, le diamètre du brin secondaire et les géométries de la
fenêtre de bobinage et de la carcasse.
3.3.2.b Objectif
Compte-tenu de l’importance des effets électrostatiques sur le convertisseur et de leur
impact sur le temps d’extinction de la décharge, le principal objectif du dimensionnement
consiste à les minimiser.
L’étude §3.2 montre qu’il existe au moins deux moyens pour arriver à cette fin : agir
sur les paramètres géométriques et physiques exposés Tab. 3.4 et agir sur la connexion du
transformateur en définissant de manière optimale le facteur k, qui définit le potentiel V3
par rapport au potentiel V1 . L’étude précédente montre que, quelle que soit la structure
du transformateur, il est possible de trouver un paramètre de connexion optimum, et que
ce dernier s’exprime simplement dès lors que les coefficients électrostatiques sont connus.
Ainsi, en notant u un vecteur de paramètres contenant des éléments présentés Tab. 3.4,
on exprime la fonction objectif par :
fobj (u) = min Cp (k, u). (3.47)
k∈[0,1]
Il arrivera dans certaines situations que le facteur k ne pourra être choisi librement, pour
102 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
des raisons de sécurité notamment. Lorsque côté primaire, le convertisseur n’est pas isolé
de la terre et que côté secondaire, les règles de sécurité électrique imposent que l’une des
deux électrodes, conçue pour être proche du bâti (présence de partie mobiles notamment),
soit connectée à la terre ; l’optimisation portera alors sur la seule valeur de k, par exemple,
k = 0. Dans ce contexte, la fonction objectif est exprimée par :
3.3.2.c Contraintes
Faisabilité mécanique : Le respect de cette contrainte est capital pour pouvoir évaluer
la fonction objectif. Elle consiste à s’assurer que le transformateur, tel qu’il est décrit
est réalisable mécaniquement. On identifie deux inégalités que doit satisfaire le jeu de
paramètres : chacune exprime le fait que le bobinage doit tenir dans la fenêtre radialement
et axialement. Ces fonctions de contrainte sont exprimées par :
fc1 = ec1 + Nl1 (d1 + ell1 ) − ell1 + e12 + Nl2 (d2 + ell2 ) − ell2 − Lbob , (3.49)
fc2 = (Ns − 1)ess + 2ehw − Hbob , (3.50)
où la définition des paramètres est donnée Tab. 3.4. Telles qu’elles sont formulées, ces
fonctions de contraintes doivent demeurer négatives.
Non saturation Cette contrainte consiste à exprimer le fait que le noyau magnétique ne
doit pas saturer. Contrairement au cas précédent, la violation de cette contrainte n’entraîne
pas de difficulté pour l’évaluation de la fonction objectif. L’étude théorique §A.3 permet
de calculer d’après (A.27) l’induction magnétique maximale atteinte dans le noyau du
transformateur. La fonction contrainte s’exprime alors par :
4ψ̂
fc3 = − Bsat , (3.51)
N2 πD2
où ψ̂ est la valeur maximale de l’intégrale de la tension Vdbd dont une expression analytique
figure en annexe (A.27).
Leff étant la longueur magnétique effective s’exprimant uniquement en fonction des para-
mètres géométriques du noyau. On désire que cet incrément de courant demeure inférieur à
3.3. MINIMISATION DES EFFETS CAPACITIFS 103
quelques % du courant injecté. En accord avec les notations Fig. 3.20, la fonction contrainte
s’exprime par :
fc4 = ψ̂/Lµ2 − aîcdbd , (3.52)
où par exemple a = 0.05 si l’on souhaite que δidbd reste inférieur à 5% du courant injecté.
µ0 (M LT )N22 (e12 + 13 (Nl1 (d1 + ell1 ) − ell1 + Nl2 (d2 + ell2 ) − ell2 ))
L`2 = , (3.53)
Hbob
où (M LT ) est la longueur de la spire moyenne du transformateur. Ainsi, en accord avec
(2.2), la fonction de contrainte relative à ce paramètre s’exprime par :
2L`2 îdbd b
fc5 = − , (3.54)
V̂dbd F
possible de procéder par analogie avec le monde du vivant : pour survivre les individus de
chaque espèce vont occuper une niche écologique où ils trouveront plusieurs ressources na-
turelles. On identifie donc l’écosystème à l’espace de recherche (la niche et son optimum),
l’abondance des ressources naturelles à la qualité de l’optimum et un groupe d’individus
similaires à une espèce [77]. Le principe consiste ainsi à éliminer des individus lorsqu’ils
sont similaires et trop nombreux autour d’un même optimum. La conséquence pratique
est que chaque optimum sera occupé par quelques individus et non par l’ensemble de la
population, favorisant l’exploration de l’espace des paramètres.
(etc ...)
Sélection par tournoi et croisement
des élites puis mutations des enfants
pour créer des non-élites: de nouveaux
Élites individus sont crées à partir
des élites ...
Clearing
k=1
- Regroupement par niche
- Classement par performance
décroissante au sein
de chaque niche
Élites - Pénalisation maximale des
"doublons"
Clearing
k=1
- Regroupement par niche
- Classement par performance
décroissante au sein
Élites de chaque niche
- Pénalisation maximale des
"doublons"
population correspond aux élites. Les élites sont sélectionnées deux par deux par tournoi
afin d’engendrer par un mécanisme de croisement des descendants, qui seront placés parmi
la population non-élite (la deuxième moitié de la population). Chaque enfant subit ensuite
une mutation, avec une certaine probabilité. Ensuite l’étape d’éclaircissement consiste à
regrouper les élites par niche, et à éliminer les doublons (lorsque par exemple la capacité de
la niche, k, est fixée à 1) en les pénalisant. Les individus sont alors classés par performances.
Les doublons ayant été très fortement pénalisés quittent les élites et arrivent parmi les
élites de nouveaux individus occupant éventuellement de nouvelles niches. Le mécanisme de
sélection/croisement/mutation est alors appliqué et la population non-élite est transformée
en une nouvelle population, ce qui élimine définitivement tous les doublons pénalisés en
les remplaçant par de nouveaux individus. Le procédé est alors réitéré . . .
équitable, l’induction magnétique maximale est imposée à 0.3 T, ce qui permet de déduire
de façon unique le diamètre de la jambe de bobinage en fonction des autres paramètres.
De plus, afin de garantir la faisabilité mécanique (cf (3.50)) horizontalement, la largeur de
la fenêtre de bobinage est imposée exactement égale à la somme des largeurs des couches
primaires, secondaires et des isolants. Pour la garantir verticalement, les bornes de l’opti-
miseur sont choisies de telle manière qu’il soit impossible d’avoir une situation où la somme
des épaisseurs d’isolants horizontaux dépasse la valeur de Hbob . Puisque le paramètre Ns ,
le nombre de sections, ne peut prendre qu’un nombre réduit de valeurs (ici on choisit
{1, 2, 4, 6}), l’optimisation est opérée pour chaque valeur de Ns . La fonction objectif (le
f itness) est donnée par (3.48), qui consiste à connecter l’une des bornes du primaire et
du secondaire à la terre. La population est fixée à 1000 individus.
3.3.4.b Résultats
Echelle :
10 cm
Nl2= 2 Nl2= 4
N1 = 4 N1 = 7
N2 = 178 N2 = 356
Cp = 18.2 pF Cp = 17.7 pF
Lµ2 = 2 H Lµ2 = 2.9 H
L = 8.3 mH L = 13.6 mH
l2 l2
Nl2= 20 Nl2= 14
N1 = 26 N1 = 12
N2 = 1360 N2 = 616
Cp = 13 pF Cp = 13 pF
Lµ2 = 17.8 H Lµ2 = 6.46 H
L = 99 mH L = 20 mH
l2 l2
Nl2= 15 Nl2= 20
N1 = 13 N1 = 38
N2 = 660 N2 = 2000
Cp = 11.2 pF Cp = 12.2 pF
Lµ2 = 7.2 H Lµ2 = 29 H
L = 17 mH L = 118 mH
l2 l2
Nl2= 9 Nl2= 19
N1 = 12 N1 = 65
N2 = 594 N2 = 3420
Cp = 11.6 pF Cp = 11.8 pF
Lµ2 = 6.5 H Lµ2 = 49 H
L = 9.5 mH L = 181 mH
l2 l2
Figure 3.23 – Schéma à l’échelle de deux solutions par valeur de Ns trouvées par l’algorithme d’optimi-
sation.
110 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
Conclusion
Au sein de ce chapitre, le dimensionnement du transformateur utilisé pour l’alimenta-
tion des dispositifs DBD a été abordé au travers de ces effets électrostatiques. Dans un
premier temps, une étude électrocinétique a permis de construire une modélisation circuit
de ce dernier, et a montré que sous certaines hypothèses, il était possible de la réduire à
6 constantes localisées dont trois modélisent les effets magnétiques et trois modélisent les
effets électrostatiques.
Ensuite, deux méthodes d’estimation des coefficients électrostatiques en fonction des
paramètres de construction ont été abordées. La première qui repose sur beaucoup d’hypo-
thèses simplificatrices jouit d’une grande simplicité de mise en œuvre, mais souffre d’une
précision moyenne. La seconde, basée sur le partitionnement du transformateur et sur
l’utilisation de la méthode de Rayleigh-Ritz pallie le manque de précision de la première
méthode au prix d’une complexité légèrement accrue.
Enfin, grâce à ces méthodes d’estimation une procédure de dimensionnement du trans-
formateur par minimisation des effets électrostatiques a été implémentée. Cette méthode
est basée sur l’emploi d’un algorithme évolutionniste utilisant la méthode de nichage par
éclaircissement (clearing method). Cet algorithme d’optimisation présente l’avantage de
faire émerger les compromis auxquels doit se conformer le concepteur, en proposant un
ensemble diversifié de bonnes solutions. Il a permis de fournir plusieurs possibilités de
réalisations ayant des éléments parasites magnétiques et des encombrements très variés,
s’étalant sur près d’un ordre de grandeur. Notons qu’aucun modèle de pertes n’a été consi-
déré au sein de cet algorithme. On a supposé que, par expérience, le choix d’une densité de
pertes fer égale à 100 mW/mL et qu’une densité de courant égale à 5 A/mm2 permettaient
d’obtenir un transformateur dont le comportement thermique serait satisfaisant. En toute
rigueur, un modèle de pertes devrait être intégré et associé à un modèle thermique. Ce
critère constituerait un moyen supplémentaire de discriminer les transformateurs.
3.3. MINIMISATION DES EFFETS CAPACITIFS 111
Table 3.5 – Répartition de la dernière génération de la population avec la fonction objectif (3.48).
112 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
3.50e-11
k=0, Ns=1
k=0, Ns=2
k=0, Ns=4
3.00e-11 k=0, Ns=6
k=opt, Ns=1
k=opt, Ns=2
k=opt, Ns=4
2.50e-11 k=opt, Ns=6
Cp (F)
2.00e-11
1.50e-11
1.00e-11
0 10 20 30 40 50 60
Lµ2 (H)
(a)
3.50e-11
k=0, Ns=1
k=0, Ns=2
k=0, Ns=4
3.00e-11 k=0, Ns=6
k=opt, Ns=1
k=opt, Ns=2
k=opt, Ns=4
2.50e-11 k=opt, Ns=6
Cp (F)
2.00e-11
1.50e-11
1.00e-11
0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1 0.12 0.14 0.16 0.18 0.2
Ll2 (H)
(b)
3.50e-11
k=0, Ns=1
k=0, Ns=2
k=0, Ns=4
3.00e-11 k=0, Ns=6
k=opt, Ns=1
k=opt, Ns=2
k=opt, Ns=4
2.50e-11 k=opt, Ns=6
Cp (F)
2.00e-11
1.50e-11
1.00e-11
0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 1.2 1.4 1.6 1.8
Volume Fer (L)
(c)
Figure 3.24 – Répartition des populations optimales pour les diverses configurations envisagées.
3.3. MINIMISATION DES EFFETS CAPACITIFS 113
Ns = 6 x 10
−11
0.2 1.2
0.18
1.18
0.16
1.16
0.14
1.14
0.12
0.1 1.12
Ll
0.08 1.1
0.06
1.08
0.04
1.06
0.02
1.04
0
5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55
Lµ
Figure 3.25 – Répartition de la population selon les trois paramètres Lµ2 , Lł2 et Cp2 (l’échelle de couleur
correspond à la valeur de Cp2 ) dans le cas k = kopt et Ns = 6.
114 CHAPITRE 3. CONCEPTION DU TRANSFORMATEUR
Chapitre 4
Ouvertures et perspectives
Introduction
Ce dernier chapitre présente l’étude de deux convertisseurs conçus dans le but d’ali-
menter des dispositifs DBD dans diverses conditions. L’intérêt de leur réalisation demeure
à ce jour essentiellement exploratoire car actuellement, ces derniers n’ont pas fait l’objet
d’étude poussée en terme de gain sur des procédés mettant en œuvre une décharge DBD.
Dans un premier temps, on aborde l’étude d’une alimentation quasi-résonante fonction-
nant en régime discontinu. Cette dernière a déjà été étudiée dans la littérature scientifique
pour l’alimentation de lampes exciplexes. Nous montrerons que, par rapport aux autres
convertisseurs, ses principaux atouts sont :
– la présence d’un degré de liberté supplémentaire permettant de découpler le réglage
de la puissance, de la fréquence et de la durée d’allumage de la décharge,
– la possibilité d’atteindre un régime de commutation favorable à la diminution des
pertes dans les interrupteurs de puissance (ZCS).
Enfin, des relevés expérimentaux réalisés sur différents types de dispositifs DBD seront
présentés.
Dans un second temps, on aborde l’étude d’une alimentation résonante haute fréquence
et haute tension n’utilisant pas de transformateur élévateur. L’idée est d’évincer ce trans-
formateur qui, comme nous l’avons évoqué au second chapitre, engendre des fuites de
courant. Nous montrerons également que grâce à l’exploitation de la résonance et à l’at-
teinte d’un haut rendement énergétique, il est possible d’aller vers la miniaturisation de ce
convertisseur. Nous mettrons ainsi en avant les défis technologiques qui ont dû être relevés
au cours de cette réalisation. Quelques relevés expérimentaux sont alors présentés afin de
montrer la validité du concept et montrent le potentiel d’un tel convertisseur.
115
116 CHAPITRE 4. OUVERTURES ET PERSPECTIVES
Dispositif DBD
idbd
K1h VK K2h
iL L 2h 1:m Cdiel
Vdiel
iK
2h
Vp Vdbd idis
E
Vth
Cgas
Vgas
-Vth I
K1l K2l
On montrera que cette alimentation autorise l’existence de phases de pause entre deux
décharges successives, où le courant injecté est nul. Ceci sera mis à profit lors des phases
expérimentales car nous montrerons que ce degré de liberté permet d’étudier de façon
découplée des autres paramètres électriques (puissance, fréquence) l’influence de la durée
d’extinction de la décharge.
Elle présente un grand intérêt quant au dimensionnement des composants d’électro-
nique de puissance. Cette qualité permet également à ce convertisseur d’élargir la gamme
fréquentielle explorée par rapport à l’alimentation en courant carré car rappelons que les
pertes par commutation dans les interrupteurs sont proportionnelles à la fréquence de
fonctionnement du convertisseur.
Cette structure d’alimentation a déjà été employée pour des convertisseurs alimentant
des lampes excimères utilisées pour leur émission lumineuse dans la gamme UV [62, 31, 30].
mi
dbd
iL
V
dbd
Vth Vgas
-Vth
Figure 4.2 – Formes d’onde théoriques et identification des phases de fonctionnement du convertisseur.
Phase 3 Cette phase est semblable à la phase 1. Une commande extérieure vient
amorcer K1l et K2h . Durant cette phase, le courant iL est positif et le courant idbd est
négatif. La tension DBD diminue jusqu’à valoir −V̂dbd , qui est négative. Le courant iL
finit par s’annuler et les interrupteurs K1l et K2h sont spontanément bloqués car ils sont
unidirectionnels en courant.
complète dans le cas sans pertes a été proposée en [28, 62]. Elle repose sur l’utilisation de
la méthode du plan de phase [16, 63] afin de calculer la puissance transmise et la tension
maximale atteinte aux bornes du dispositif DBD sous l’hypothèse de pertes négligeables.
Dans notre étude, on montre que ces deux relations peuvent être facilement établies en
tirant parti de l’étude concernant la trajectoire du point de fonctionnement dans le plan
charge-potentiel. Cette approche va s’avérer très féconde, notamment pour inclure dans la
modélisation des phénomènes dissipatifs permettant d’apporter quelques corrections aux
relations établies dans le cas idéal.
Dans le cas sans pertes Un bilan énergétique sur une période de fonctionnement per-
met d’égaler l’énergie fournie par le générateur et l’énergie dissipée par le dispositif DBD.
Rappelons que d’après (1.1), l’énergie dissipée en une période est égale à l’aire englobée par
la trajectoire du point de fonctionnement dans le plan charge-potentiel. L’énergie fournie
durant une période par la source de tension se calcule de façon classique (intégrale produit
tension×courant). Ainsi on a :
Z T /2 I
2 EiL dτ = Cdbd (Vdbd )Vdbd dVdbd
0 cycle
(4.1)
Pdbd
⇒ 4mE Q̂dbd = A = ,
W fourni W utile F
où Cdbd (Vdbd ) est la capacité équivalente du dispositif, valant alternativement Ceq lorsque
le gaz est éteint, et Cdiel lorsqu’il a claqué ; A est l’aire englobée par la trajectoire du point
de fonctionnement dans le plan charge-potentiel (Fig. 1.11). En combinant (4.1) et (1.5)
afin d’éliminer Qdbd , on montre que la puissance est donnée par :
2
4F Cgas Vth
Pdbd = , (4.2)
u−1
où u = Vth /(mE), le rapport entre la tension de claquage et la tension d’entrée vue au
secondaire. L’évolution de Pdbd est présentée Fig. 4.3. Un fait remarquable avec cette
alimentation est que la puissance ne dépend aucunement de la valeur de l’inductance
résonante, alors que, comme nous le verrons, celle-ci joue un rôle dans la forme (durée
et amplitude) des impulsions de courant injectées dans le dispositif DBD. Cette qualité
confère un intérêt tout particulier à ce type d’alimentation car, lors de campagnes expéri-
mentales, elle peut permettre d’étudier facilement l’influence de l’allure de l’impulsion sur
la décharge à puissance constante dès lors que la valeur de l’inductance est réglable.
On constate également la présence d’un terme au dénominateur qui, d’un point de
vue mathématique, peut s’annuler et devenir négatif lorsque la tension d’entrée vue au
secondaire mE est supérieure ou égale à la valeur de la tension de claquage de Vth . En
réalité, dans ce contexte, la relation issue du bilan énergétique n’est plus applicable car
l’existence d’un régime permanent qui nous a permis d’écrire le bilan n’est pas permise (le
système diverge). Si une telle étude devait être menée, il serait indispensable de composer
avec les éléments dissipatifs du système (pertes dans le transformateur, dans l’inductance
résonante, dans les semiconducteurs . . . ) car ce sont eux qui limiteraient véritablement la
valeur de la puissance transmise.
4.1. ALIMENTATION QUASI-RÉSONANTE EN RÉGIME DISCONTINU 119
10
6
Pdbd
2
4F Cgas Vth
4
Vth
0 u=
1 2 3 4 5 mE
Les autres grandeurs Le calcul des autres grandeurs s’appuie toujours sur la même
méthode. Nous pouvons ainsi calculer la tension maximale, et les durées des différentes
phases (voir Fig. 4.2). La connaissance de ces grandeurs présente un intérêt lors d’une
phase de dimensionnement car elles permettent de définir la valeur de l’inductance réso-
nante, le calibre en tension des interrupteurs et le rapport de transformation nécessaire.
Le déroulement des calculs est présenté en annexe §C.1.
La prise en compte des effets dissipatifs du système permet de corriger les expressions
(C.3) et de la puissance (4.2) ainsi que de la tension maximale (voir en annexe (C.3)).
Cette correction est pertinente lorsque le point de fonctionnement est tel que les impul-
sions de courant sont de courte durée, car alors la valeur efficace du courant traversant
l’inductance résonante peut atteindre des valeurs importantes, ce qui engendre des pertes
non-négligeables, faussant ainsi le bilan énergétique (4.1).
Pour cette étude, on se limitera à la prise en compte d’une résistance équivalente
connectée en série avec l’inductance résonante. Elle doit englober les effets de la résistance
série équivalente de l’inductance résonante, les résistances à l’état passant des semiconduc-
teurs de puissance, la résistance cuivre vue au primaire du transformateur, mais aussi la
résistance fer de ce dernier connectée en parallèle du dispositif DBD, qu’il est possible de
modéliser par une résistance série dépendante de la fréquence. Par conséquent, il s’agira
de sommer les valeurs de ces 3 résistances pour avoir la valeur de la résistance Rstot , la
résistance série équivalente englobant les pertes du système.
En pratique, on qualifie les pertes d’une inductance résonante par son facteur de qualité
car ce dernier donne directement une idée du gain en tension atteignable d’une part et
des pertes engendrées d’autre part. Une bonne inductance résonante doit disposer d’un
facteur de qualité élevé, et l’expérience montre que celui-ci ne dépasse rarement quelques
centaines.
120 CHAPITRE 4. OUVERTURES ET PERSPECTIVES
Description Notation
Rapport transformateur m
Résistance série Rstot
équivalente
Durée phase 1 p tphase1
Facteur d’amortissement ξ = 0.5Rstot m2 Ceq /L
La difficulté consiste à évaluer le second terme du membre de droite, car il n’est pas facile-
ment exprimable en fonction de Q̂dbd ou de V̂dbd . Ce terme peut toutefois être approximé
en fonction des données connues. Nous montrons en annexes §C.2 qu’il est possible d’éta-
blir deux bilans énergétiques : le premier sous-estimant le terme de pertes et le second le
sur-estimant. On obtient ainsi :
Q̂2dbd
4mE Q̂dbd = A + 8Rs (sous-estimation) (4.4a)
tphase1
4 mE − Rs îdbd Q̂dbd = A (surestimation) (4.4b)
On peut ainsi obtenir deux expressions de la puissance (Pdbd sous , P sur ) et deux expressions
dbd
sous , V̂ sur ). En annexe §C.2.2 et §C.2.3, figure le déve-
de la tension maximale atteinte (V̂dbd dbd
loppement détaillé qui conduit aux expressions de ces puissances et tensions maximales.
Ces expressions ne sont pas rapportées ici car elles n’appellent pas de commentaires par-
ticuliers.
1
10
Errth : ξ = 0.1
0
10 Errth : ξ = 0.031623
Errth : ξ = 0.01
Errcorr : ξ = 0.0031623
−1
10 Errcorr : ξ = 0.01
Errcorr : ξ = 0.1
Error
Errcorr : ξ = 0.031623
−2
10 Errth : ξ = 0.0031623
−3
10
−4
10
1.2 1.4 1.6 1.8 2 2.2 2.4 2.6 2.8 3
u
Figure 4.4 – Erreur relative commise par rapport aux résultats de simulation PSIM en fonction du
paramètre réduit u = Vth /(mE). Calcul mené pour plusieurs valeurs du facteur d’amortissement ξ.
où dans notre cas, l’indice « ref » fait référence à la simulation, et l’indice x fait référence à
la formule théorique sans pertes (indice « th » sur le comparatif) (4.2) ou bien à la formule
corrigée (indice « corr » sur le comparatif).
La valeur de la résistance série équivalente a été intégrée à ce comparatif au travers du
facteur d’amortissement du circuit, ξ défini Tab. 4.1.
D’après Fig. 4.4, le gain en précision avec la formule corrigée augmente d’autant plus
que la valeur de ξ croît ou que la valeur de u s’approche 1.
La lecture des deux courbes vertes sur Fig. 4.4 montre en effet que, pour ξ ≈ 0.03,
la formule corrigée commet par rapport à la simulation circuit, une erreur relative allant
de 40% (u grand) à 200% (u = 1.1). Au contraire, la formule corrigée commet une erreur
relative allant de 0.3% (u = 1.1) à 5% (u grand). Dans le cadre de cette étude, l’erreur
relative avec l’emploi des formules corrigées n’excède pas 7% (pire configuration) alors
qu’elle atteint environ 500% dans le cas le plus défavorable de l’étude pour la formule sans
pertes, ce qui la rend presque inutilisable dès que ξ excède le pourcent.
La formule sans perte s’avère toutefois précise lorsque le facteur d’amortissement du
système est inférieur à quelques millièmes, et que le paramètre u demeure « suffisamment
éloigné » de 1. Mais ce genre de configuration n’est pas toujours réaliste.
122 CHAPITRE 4. OUVERTURES ET PERSPECTIVES
Facteur de qualité Un critère relatif aux pertes montre naturellement que maximiser
le facteur de qualité Q de la self résonante (réduire ξ) est souhaitable. La maximisation de
Q doit passer par une étape de conception optimale, où sont considérées à la fois des pertes
4.1. ALIMENTATION QUASI-RÉSONANTE EN RÉGIME DISCONTINU 123
4 600
L (mH) - air gap = 0
Q - air gap = 0
3.5 525
L (mH) - air gap = 0.6mm
Q - air gap = 0.6mm
3 L (mH) - air gap = max 450
Inductance (mH) Q - air gap = max
2.5 375
2 300
Q
1.5 225
1 150
0.5 75
0 0
10 100 1000
Frequency (kHz)
Figure 4.6 – Valeur de l’inductance et du facteur de qualité en fonction de la fréquence et pour plusieurs
valeurs d’entrefer.
liées au noyau magnétique et aux fils de bobinage. Cet aspect n’a pas été approfondi durant
ce travail car il se situe dans une phase exploratoire, et aucun a priori n’a été formulé sur la
géométrie de l’impulsion de courant. Sur Fig. 4.6 sont présentées les évolutions de la valeur
et du facteur de qualité de l’inductance en fonction de la fréquence, pour plusieurs valeurs
d’entrefer (entrefer nul, entrefer de 0.6mm et entrefer maximal). La valeur de Q peut
atteindre des valeurs très élevées (de l’ordre de 500) lorsque l’entrefer est de 0.6 mm pour
une fréquence allant jusqu’à 40 kHz. Cette valeur s’effondre toutefois rapidement lorsque
la fréquence augmente : on constate en effet que les performances sont assez mauvaises au
delà de 100 kHz. En fonction de la largeur de l’impulsion que l’on désire faire passer dans le
dispositif DBD, on sollicitera la self dans la gamme fréquentielle où elle est performante ou
non : si l’impulsion est étroite et haute, le spectre du courant peut alors contenir beaucoup
de raies dans le domaine HF (très au delà de la fréquence de découpage du commutateur).
Dans une telle situation, la self n’est utilisée que là où elle est de piètre qualité. L’allure du
facteur de qualité en fonction de la fréquence montre qu’il existe un domaine fréquentiel
optimum qu’il convient de faire correspondre à la zone fréquentielle qui contient le plus
de raies du courant DBD afin d’exploiter au mieux le système et d’atteindre le rendement
le plus élevé possible.
Pour cette étude, un dispositif DBD plan/plan de 25 cm2 a été employé et la décharge
a été opérée dans l’azote à pression atmosphérique, comme pour l’alimentation en courant
carré. La puissance DBD est imposée égale à 16 W, et plusieurs valeurs d’inductance ré-
sonante ont été employées. Les résultats sont résumés Tab. 4.2 et les formes d’onde sont
données Fig. 4.7. Rappelons que le transformateur utilisé pour ces mesures comporte une
inductance de fuite qui s’élève à 48 µH au primaire, et qu’il convient de l’ajouter aux
valeurs de self fournies dans Tab. 4.2. Pour cette raison, la durée de décharge ne peut être
124 CHAPITRE 4. OUVERTURES ET PERSPECTIVES
5 5
DBD Voltage (kV) DBD Voltage (kV)
4 DBD Current (x10 mA) 4 DBD Current (x10 mA)
Primary current (A) Primary current (A)
3 3
2 2
toff toff
1 1
0 0
-1 -1
-2 -2
-3 -3
-4 -4
-5 -5
0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1 0.12 0.14 0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1 0.12 0.14
Time (ms) Time (ms)
5 5
DBD Voltage (kV) DBD Voltage (kV)
4 DBD Current (x10 mA) 4 DBD Current (x10 mA)
Primary current (A) Primary current (A)
3 3
toff
2 2
toff
1 1
0 0
-1 -1
-2 -2
-3 -3
-4 -4
-5 -5
0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1 0.12 0.14 0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1 0.12 0.14
Time (ms) Time (ms)
8 15
DBD Voltage (kV) DBD Voltage (kV)
DBD Current (x10 mA) DBD Current (x10 mA)
6 Primary current (A) Primary current (A)
10
4
toff toff
5
2
0
0
-2
-5
-4
-6 -10
0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1 0.12 0.14 0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1 0.12 0.14
Time (ms) Time (ms)
Figure 4.7 – Relevés expérimentaux à 7 kHz et à iso-puissance (16 W) pour diverses valeurs de la self
résonante.
4.1. ALIMENTATION QUASI-RÉSONANTE EN RÉGIME DISCONTINU 125
Fréquence (kHz) 7 7 7 7 7 7
Puissance DBD (W) 16 16 16 16 16 16
L (mH) 1 0.9 0.73 0.5 0.3 0.15
Tps d’extinction (µs) 28.4 29.6 33.2 41.6 46 52.4
Tps d’extinction (% de T /2) 39.8 41.4 46.5 58.2 64.4 73.3
Régime H H H F F F
Source AC
Electrode Plasma
libre
Diélectrique
Isolant
Electrode
isolée
10
Vdbd (kV) (Toff = 40 µs)
60 idbd (mA) (Toff = 40 µs)
Vdbd (kV) (Toff = 19 µs)
idbd (mA) (Toff = 19 µs)
40
5
20
Vdbd (kV)
0 0
-20
-5
-40
(a) (b)
Figure 4.10 – Formes d’onde relevées superposées (a). Trajectoires superposées dans le plan Q-V (b).
Conditions : F = 10 kHz, Pdbd = 19 W.
ne sont pas en contact avec l’enceinte (présence de deux alésages larges sur le couvercle).
Avant de procéder à des mesures, une longue durée de pause est observée afin que les fils
aient atteint leur position d’équilibre.
45
40
35
Poussée (mg)
30
25
20 F = 4 kHz
F = 5 kHz
15 F = 6 kHz
F = 7 kHz
10
2 4 6 8 10 12
Puissance (W)
Figure 4.11 – Relevé de la poussée en fonction de la puissance électrique pour plusieurs valeurs de la
fréquence.
conforme à l’intuition. On observe également que, pour une puissance électrique donnée,
le fonctionnement en basse fréquence semble offrir la meilleure poussée.
Par ailleurs, on a noté que, dans la gamme de fréquence et de durée d’extinction que
nous permet d’explorer ce convertisseur, il n’existe pas de dépendance significative de la
poussée vis à vis de la durée d’extinction.
sonantes plus ou moins complexes. En [1], les auteurs alimentent un prototype de dispositif
DBD destiné à la production d’ozone en exploitant une double cellule résonante de type
LCL, et compte-tenu des valeurs des capacités du dispositif DBD et des composants de
la cellule, ils parviennent à alimenter ce dernier à une fréquence de 33 kHz sous plusieurs
watts. En [58], grâce à l’emploi d’une inductance résonante et de composants au carbure
de silicium (SiC) montés dans une structure en pont complet, les auteurs parviennent à
atteindre une fréquence de 500 kHz pour alimenter une lampe excimère sous une puissance
de 70 W.
Ainsi, l’augmentation de la fréquence de fonctionnement constitue un objectif inté-
ressant sur deux aspects principalement. Il permet d’injecter des courants impulsionnels
avec un fort taux de répétition, et en terme de dimensionnement du convertisseur, il au-
torise la miniaturisation des composants. Néanmoins, associée à la nécessité d’atteindre
une tension élevée (plusieurs kV), elle soulève beaucoup de problèmes quant aux méthodes
de dimensionnement des composants. La cellule résonante doit fournir un gain en tension
relativement élevé pour autoriser l’amorçage de la décharge mais aussi pour limiter les
pertes, faisant du dimensionnement de la cellule résonante un réel challenge. De plus, les
interrupteurs de puissance doivent prendre en charge la haute fréquence de commutation,
et parallèlement, du fait de leur faible volume nécessaire à la réduction des effets para-
sites, ne doivent engendrer que de très faibles pertes, car ces dernières sont alors difficiles
à évacuer.
Le travail s’intéresse donc à l’étude d’une alimentation résonante série en pont complet
pour dispositifs DBD. La particularité de cette dernière est qu’elle permet d’atteindre
une fréquence de fonctionnement supérieure au méga-hertz pour une tension de sortie
supérieure à 5 kV. Dans un premier temps une étude générale de la structure employée
est proposée, et par le biais des relations théoriques établies dans le premier chapitre,
le cahier des charges est formulé. Ensuite, le dimensionnement de l’inductance résonante
est abordé et divers compromis technologiques sont proposés. Dans un troisième temps,
le dimensionnement du commutateur est traité : nous verrons que, grâce à leur haute
performance en fréquence, des interrupteurs de technologie GaN ont été retenus et utilisés
pour la réalisation expérimentale. Une attention particulière sera portée sur le routage de la
carte de puissance car son rôle est capital à haute fréquence [71]. Des relevés expérimentaux
sont finalement proposées afin de valider la faisabilité d’un tel convertisseur.
50 ns/div
isw
50 ns/div
(a) (b)
Figure 4.12 – Topologie du convertisseur résonant (a). Simulation SPICE (b) avec Vin = 100 V, Cgas =
21 pF, Cdiel = 75 pF, Vth = 1200 V, L = 205 µH, Rs = 0 Ω F = 2.708 MHz.
convertisseur et le dispositif DBD est nécessaire. Dans cette étude, cet étage consiste en
une inductance résonante qui, couplée aux capacités structurelles du dispositif DBD forme
une cellule résonante série et fournit un gain en tension. Un schéma de la topologie est
présenté Fig. 4.12a. Une simulation SPICE est donnée Fig. 4.12b pour illustrer le fonction-
nement attendu de ce convertisseur dans le cas d’un modèle sans pertes. L’un des aspects
sur lequel il est bon d’insister car nous l’utiliserons en tant qu’hypothèse dans les prochains
développements, est que malgré la non-linéarité structurelle de la cellule résonante propo-
sée, le courant DBD demeure très proche d’un signal purement sinusoïdal. Cette structure
est classique parmi les structures d’alimentation à résonance et le principal attrait de son
étude demeure dans des considérations d’ordre technologique. Par conséquent, la suite du
travail se focalisera principalement sur ce dernier point.
Application Émission UV
Géométrie Cylindrique
Puissance 50–100 W
Cgas 21 pF
Cdiel 75 pF
Vth 1200 V
La puissance moyenne transmise par l’alimentation au dispositif DBD s’exprime alors par :
Z T ∞
1 X (n)
Pdbd = îdbd sin(2πF t) × V̂inv sin(2πnF t + φn ) dt,
T 0 n=1
1 (1) (4.6)
= V̂inv îdbd cos(φ1 ),
2
(1)
= πF V̂inv Q̂dbd cos(φ1 ),
où
– îdbd et Q̂dbd sont respectivement les amplitudes de idbd et de Qdbd ,
(n)
– V̂inv est l’amplitude de de la raie d’ordre n de Vinv ,
(1)
– et φ1 est le déphasage entre idbd et Vinv .
Par ailleurs, l’élimination du paramètre Q̂dbd grâce à la relation (1.5) conduit à :
2
4F Cgas Vth
Pdbd = , (4.7)
u−1
où l’on a noté :
(1)
u = 4Vth /(π V̂inv cos(φ1 )),
un paramètre normalisé par rapport à la tension d’entrée. Notons que l’on obtient la
même formulation que pour l’alimentation résonante en régime discontinu (4.2), à une
substitution du paramètre u près. Ceci n’a rien de surprenant car les mécanismes mis en
jeu sont très similaires.
Ainsi, à 3 MHz, compte tenu de Tab. 4.3, pour atteindre une puissance de 30 W dans le
dispositif DBD, le paramètre u doit valoir environ 7, ce qui conduit à une tension d’entrée
de 85 V. En vertu de l’analogie de fonctionnement, la tension DBD maximale s’exprime
par :
ur
V̂dbd = 1 + Vth , (4.8)
u−1
où :
Cgas
r= .
Cdiel
4.2. ALIMENTATION HT/HF SANS TRANSFORMATEUR 131
101
100
Tpulse(µs)
10-1 Pdbd=20W
Pdbd=50W
-2 Pdbd=100W
10
Pdbd=150W
10-3 -1
10 100 101
Frequency (MHz)
Signalons que le principe de conduction discontinue est difficilement applicable pour une
alimentation sans transformateur, car durant les temps de pause, la tension DBD est
ramenée aux bornes des interrupteurs de puissance, et à moins que ceux-ci soient calibrés
pour supporter plusieurs kV, elle conduit immédiatement à leur destruction par surtension.
Durée d’allumage En écrivant que l’énergie n’est réellement dissipée que durant les
phases d’allumage du gaz, on obtient :
Z
Pdbd = 2F Vth idbd (t) dt. (4.9)
ton
où ton est la durée d’allumage, ce qui, en éliminant le paramètre Q̂dbd avec (1.5) conduit
à: v u (1)
π V̂ cos(φ1 )
u Pdbd 1 − inv4Vth
u
1
ton = arcsin ,
t
πF 2
4F Cgas Vth (4.11)
r
1 1
= arcsin .
πF u
La valeur de ton est fournie en fonction de la fréquence sur Fig. 4.13 pour plusieurs puis-
sances en sortie. On constate que l’augmentation en fréquence permet d’atteindre de très
courtes durées d’allumage. Ainsi, le dimensionnement du convertisseur doit s’établir autour
d’une fréquence supérieure au MHz.
132 CHAPITRE 4. OUVERTURES ET PERSPECTIVES
Figure 4.14 – Facteur de qualité en fonction de la fréquence pour plusieurs configurations de bobinage
(extrait de MicroMetals : http://www.micrometals.com). Noyau torique de matériau 2, fil 28 AWG.
(a) (b)
Pertes Pour une fréquence donnée, les pertes dans l’inductance sont modélisables par
une résistance série équivalente Rs . Sa valeur englobe à la fois les contributions des en-
roulements, qui génèrent des pertes dites « pertes cuivre » ainsi que les contributions du
noyau magnétique dites « pertes fer ».
Pertes dans le noyau magnétique Les pertes dans le noyau peuvent être estimées
grâce à des formules de type Steinmetz donnant la densité volumique de pertes pfer en
fonction de l’induction magnétique B et de la fréquence F pour une excitation sinusoïdale
par une relation de la forme
pfer = KF α B βF +γ . (4.13)
Les coefficients K, α, β et γ sont en général directement fournis par le constructeur ou
alors ils sont calculables au moyen d’une régression au sens des moindres carrés grâce aux
courbes « pfer versus B » données pour différentes valeurs de F . La température joue en
principe un rôle dans le modèle de pertes, mais nous avons ignoré son effet dans cette
étude.
Au contraire, certains distributeurs et notamment les distributeurs de matériaux haute
fréquence (> 1 MHz) préfèrent fournir le facteur de pertes du matériau en fonction de
la fréquence pour divers niveaux d’induction, que l’on nomme également « le tan(δ) ».
134 CHAPITRE 4. OUVERTURES ET PERSPECTIVES
πF B̂ 2 tan(δ)
pfer = = πF |µ| Ĥ 2 tan(δ). (4.14)
|µ| (B=µH)
Équivalence entre les deux formulations Il est ainsi possible de définir le facteur
de pertes en fonction de B̂ et F lorsque les coefficients de Steinmetz sont connus ce
qui permet d’homogénéiser le traitement des données fournies par les constructeurs. En
identifiant les expressions (4.13) et (4.14), on obtient :
I2
Pfer = 2πF L tan(δ) , (4.16)
2
où L est la valeur de l’inductance résonante, ce qui montre que la résistance série équiva-
lente se déduit du tangente δ par Rs = 2πF L tan(δ).
Pertes dans le bobinage Les pertes dans le bobinage sont principalement dues
– aux effets résistifs du matériau,
– à l’effet de peau et de proximité au sein même du fil de bobinage (dans le cas d’un
fil multibrin),
– et éventuellement de proximité inter-spire et inter-couche.
Pour cette étude, seules des inductances mono-couches sont envisagées car comme le
montre Fig. 4.14, il est apparu expérimentalement que les couplages capacitifs parasites
entre couches jouaient un rôle délétère sur le facteur de qualité de la bobine et une étude
approfondie mériterait d’être menée à cet égard.
De plus, le fait de devoir tenir une tension élevée nous a conduit à éloigner les spires
de bobinage (d’environ une fois le diamètre extérieur du fil) et à placer une couche d’iso-
lation entre le noyau magnétique et le fil de bobinage. Ceci conduit à négliger les effets
de proximité inter-spire et les couplages avec le noyau. Les pertes se traduisent par l’ex-
pression d’une résistance série équivalente dépendante de la fréquence. Les fournisseurs de
4.2. ALIMENTATION HT/HF SANS TRANSFORMATEUR 135
2
10
N=9
N = 27
N = 100
N = 1000
Rac/Rdc ratio
1
10
0
10
5 6 7
10 10 10
Frequency (Hz)
Figure 4.16 – Évolution du ratio Rac /Rdc avec la fréquence et le nombre de brins pour une surface cuivre
totale de 0.1 mm2 .
fil de bobinage fournissent parfois dans leur documentation technique quelques relations
permettant de la calculer.
Sur Fig. 4.16, on a évalué cette résistance équivalente d’après les relations fournies
par le fabricant LGM 1 que l’on retrouve en [36]. Celle-ci est donnée à titre indicatif
car elle ne tient pas compte de la disposition des spires (le fil est supposé rectiligne et
sans interaction avec d’autres fils). Nous avons cependant relevé expérimentalement une
bonne adéquation entre le modèle « fil rectiligne » et fil bobiné en monocouche sur tore.
Afin de couvrir une gamme de fréquences allant jusqu’à 10 MHz, on constate qu’un très
grand nombre de brins de bobinage est préférable (>1000). Malheureusement, pour une
section cuivre totale d’environ 0.1 mm2 , un tel nombre de brins ne semble disponible chez
aucun distributeur (le maximum semble être de 160 brins). Néanmoins un fil de Litz à
100 brins offre des performances intéressantes jusqu’à environ 4 MHz où sa résistance est
multipliée par 2 par rapport au régime continu. Soulignons toutefois que l’emploi du fil
de Litz n’est pas la seule option pour un bobinage haute fréquence : en effet, les feuillards
métalliques se présentent souvent comme une alternative efficace dans la réduction des
pertes liées à la fréquence mais la grande surface du conducteur conduirait naturellement
à des couplages électrostatiques supérieurs si aucune précaution n’est observée ; en effet,
un bobinage multicouche semble alors difficilement évitable.
Lien avec les performances Pour que la décharge puisse être amorcée, il est né-
cessaire que la tension Vgas atteigne la valeur de Vth ce qui ne saurait arriver si les pertes
dans l’inductance résonante étaient trop importantes. En effet, le gain en tension de la
cellule résonante est le facteur de qualité Q de la bobine, défini par :
2πF L
Q= ,
Rstot
(4.17)
1
=
tan(δtot )
1. http ://leguipagemoderne.fr/
136 CHAPITRE 4. OUVERTURES ET PERSPECTIVES
1000 6
Inductance tan(δ)
900 4
tan(δ) (%)
L (µH)
800 2
700 0
0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1 1.1
Freq (MHz)
où Rstot est la résistance série équivalente regroupant toutes les pertes de l’inductance
résonante. La condition d’allumage de la décharge permet d’écrire :
(1 + r)Vth
Q> (1)
, (4.18)
V̂inv
où :
Cgas
r=
Cdiel
ce qui montre l’existence d’une borne supérieure aux pertes. En outre, les dispositifs DBD
tels que les lampes exciplexes nécessitent l’atteinte d’une tension très supérieure à Vth afin
d’atteindre le premier amorçage de la décharge. Expérimentalement, on a observé sur une
excilampe dont le seuil est de 1200 V, que le premier amorçage ne survenait que lorsque la
tension gaz atteignait une tension d’environ 4 kV (à une fréquence de 1 MHz). Ainsi par
exemple, d’après (4.18), pour une tension symétrique de ±60 V 2 délivrée par le pont, le
facteur de qualité minimum requis est d’environ 67 pour la lampe dont les caractéristiques
sont données Tab. 4.3. Cette étude permet ainsi de guider le concepteur dans le choix du
matériau magnétique et du fil de bobinage en fournissant une borne supérieure au facteur
de pertes.
L’inductance employée dans ce travail est basée sur un noyau magnétique nano-cristallin
KJ030020Y200 de matériau kµ200 fourni par APERAM 3 et de géométrie torique. Il com-
porte 60 spires d’un fil de Litz dont la section cuivre est de 0.78 mm2 comportant 100
brins. La self réalisée a été caractérisé à l’impédance-mètre en petit signal afin d’évaluer
ses performances : celles-ci sont résumées Fig. 4.17. À 1 MHz, la valeur de l’inductance
est d’environ 830 µH, et le facteur de qualité est d’environ 22. Celui-ci n’apportera pas le
gain en tension nécessaire à l’atteinte du premier allumage de la décharge car un facteur
de qualité de 67 est requis si la tension d’entrée est de 60 V. Comme nous le verrons, un
transformateur de rapport 4 a été inséré avant l’inductance résonante afin d’augmenter
la tension délivrée à la cellule résonante. En outre, on a mesuré que cette dernière pos-
sédait des effets électrostatiques que nous modélisons par une capacité parasite de 6 pF
2. Dans la partie expérimentale, on utilisera des composants de calibre 100 V et nous limiterons la
tension d’entrée à 60 V
3. http ://www.aperam.com/en/alloys-amilly/products/magnetic-cores/
4.2. ALIMENTATION HT/HF SANS TRANSFORMATEUR 137
à ses bornes. Elle complique l’utilisation de la self à haute fréquence, car sa fréquence de
résonance propre est d’environ 2.2 MHz.
Figure 4.18 – Résistance spécifique à l’état passant en fonction du calibre en tension de différents com-
posants Si et GaN actuels (extrait de [85]).
Modèle de pertes Les pertes par conduction sont classiquement modélisées par :
on 2
Pcond = Rds ieff ,
fonctionnement que nous avons choisi (commutation à zéro de courant), nous supposons
dans cette étude que les pertes par commutation sont uniquement dues à la décharge de la
capacité parasite du composant lorsque celui-ci est amorcé. De plus, nous supposons que,
lors de l’amorçage, la capacité est chargée à la tension d’entrée (Vin sur Fig. 4.12a) ce qui
suppose que nous travaillons à φ1 = 0 (commutation à courant nul), ce qui n’est pas la
solution minimisant les pertes [14]. Ainsi, les pertes par commutation sont données par :
Z Vin
Psw = F Coss Vds dVds , (4.19)
0
Figure 4.19 – Comparaison des pertes de plusieurs composants en fonction de la fréquence pour une
puissance en sortie égale à 66 Watts.
où C0 , K, et γ sont des paramètres d’ajustement que nous obtenons grâce à une régression
sur les courbes données par les fabricants. Pour les composants GaN, un modèle linéaire
par morceaux est parfois employé. Finalement, dans le cadre de notre étude, on calculera
les pertes dans un interrupteur par :
Z Vin
Ptot = Pcond + Psw = Rds i2rms + F Coss Vds dVds , (4.20)
0
en étant conscient que le second terme pourrait être réduit en autorisant une légère avance
du courant sur la tension, et en choisissant bien le temps de retard à l’amorçage du
composant.
Figure 4.20 – Photo des deux cellules de commutation, et zoom sur la boucle de puissance.
Placement routage La conception de la carte doit être soignée dans le but de réduire
les effets parasites provoqués par les pistes. L’étude menée en [71] sur les convertisseurs
DC/DC haute fréquence montrent en effet l’importance de cette partie de la conception.
La maille de puissance de chaque cellule doit avoir la surface la plus faible possible, tout
comme la maille de commande des interrupteurs. La carte utilisée, dont le rôle originel
se situe au sein d’un convertisseur DC/DC à 5 phases entrelacées et dont l’étude et la
réalisation détaillées figurent en [86], a fait l’objet d’une conception minutieuse à ces
égards. On rapporte Fig. 4.20 la façon avec laquelle une maille de commutation est conçue
ainsi qu’une photographie afin de fournir une idée de la taille du convertisseur (le driver
(noir) est de dimension 4 mm×4 mm).
L’un des problèmes rencontrés dans la conception de telles alimentations est la pour-
suite de la fréquence résonante. En effet, lors du fonctionnement, l’inductance résonante
monte en température et sa valeur dérive. Il en va de même pour le dispositif DBD. Ce type
de problème est bien connu car il survient dans presque toutes les alimentations exploitant
une cellule résonante. Néanmoins, dans le cadre de cette application, une différence de fré-
quence notable peut exister entre le mode de fonctionnement allumé et éteint, et il est
nécessaire que l’alimentation adapte très rapidement sa fréquence afin de « poursuivre »
la variation rapide de paramètres lorsque le premier claquage survient. Une telle problé-
matique est étudiée en [50] et la loi de commande proposée comporte un faible temps de
réaction afin de répondre à la variation brutale de la fréquence propre du système.
Le principe est de toujours garantir un déphasage nul, éventuellement ajustable par
l’opérateur, entre le courant mesuré, a priori quasi sinus, et le premier harmonique de
la tension appliquée. La loi de commande que nous avons mise en œuvre est présentée
Fig. 4.21. Le courant idbd est mesuré, déphasé de π/2, puis mis en entrée d’un comparateur
afin de disposer d’un signal logique (1 lorsque le courant est positif, 0 lorsqu’il est négatif).
Les deux signaux sont envoyés dans un comparateur de phase à OU EXCLUSIF. Le filtre
passe-bas employé en sortie du comparateur consiste en réalité en deux compteurs cpt1
et cpt2 synchronisés sur l’horloge d’un FPGA clk. Lors des fronts montants de la sortie
du comparateur, les valeurs des deux compteurs sont mémorisées et ils sont réinitialisés
(voir Fig. 4.22). Le premier compteur compte le nombre de coups d’horloge du FPGA et le
second compte le nombre de coups d’horloge durant l’état haut de la sortie du comparateur
4.2. ALIMENTATION HT/HF SANS TRANSFORMATEUR 141
Vinv Φ1 measurement
To switches gates
Φ1ref
ʃ
N0
1
ε -εmax +
K + Carrier generator
Φ1meas +εmax freq
-1
clk
t
Comp
t
Reset
t
Cpt 1 Cpt1 = 6
t
Cpt2 = 9
Cpt 2
Figure 4.22 – Schéma explicatif de la méthode du calcul du rapport cyclique. La fréquence d’horloge clk
est volontairement réduite sur le schéma pour permettre une meilleure lisibilité.
142 CHAPITRE 4. OUVERTURES ET PERSPECTIVES
6 pF
11 Ω
Without transformer Without snubber With snubber
820 µH, i -60
dbd
42 µH 240 Ω
-70
75 pF
(dBA/V)
22 pF
-80
V = 0 ... 60 V
iinv i
1:4 dis
-90
V Vtrans Vdbd
(1)
idbd/ Vinv
inv -100
V
in
4.4 µF th
1 kΩ 21 pF -110
-V
th
Vsw -120
-130 -1 0 1 2
10 10 10 10
Actual transformer HF Snubber circuit Actual resonant inductor Frequency (MHz)
(a) (b)
de phase. Ainsi par exemple, lorsque le premier compteur compte 6 et que le second compte
9, le rapport cyclique se déduit par division (6/9). Ce rapport cyclique, conformément au
principe de fonctionnement du comparateur de phase à OU EXCLUSIF, est proportionnel
au déphasage entre Vinv et idbd . Ensuite, la valeur du rapport cyclique agit sur la période
de la porteuse du modulateur MLI.
L’action d’une erreur de phase sur la fréquence de la porteuse est très rapide car,
contrairement à un filtre passe-bas standard, le rapport cyclique du signal de sortie du
comparateur de phase est acquis en une demi-période de découpage car la sortie du com-
parateur en OU EXCLUSIF fournit un signal à 2F . Ainsi, cette loi de commande permet
d’adapter rapidement la fréquence de l’alimentation lors du premier amorçage de la dé-
charge.
simplifie sa conception.
Cependant, l’insertion de cet élément apporte quelques changements dans le compor-
tement fréquentiel du système. En effet, on montre Fig. 4.23b un calcul de la transcon-
ductance incluant le transformateur, l’inductance résonante avec sa capacité parasite et sa
résistance série équivalente, et le dispositif DBD non claqué. Il montre l’existence de deux
pics résonants, le premier à gauche est celui que l’alimentation doit favoriser et le second
est un pic parasite lié à une résonance entre l’inductance de fuite du transformateur et la
mise en série de la capacité parasite de l’inductance résonante et des capacités structu-
relles du dispositif DBD. Il peut être excité par la tension du pont surtout s’il se situe à
un multiple impair du premier pic. La figure Fig. 4.23b montre également que l’insertion
d’un circuit snubber bien calibré permet d’atténuer ce second pic résonant, sans que le
premier ne soit fortement affecté. Il est composé de la mise en série d’un condensateur de
22 pF et d’une résistance de 1 kΩ.
Un schéma de principe du dispositif expérimental en fonctionnement est proposé
Fig. 4.24. On retrouve les liaisons de puissance en rouge : la sortie du convertisseur (GaN
board) est connectée à une carte comportant le transformateur de rapport 4 et de l’in-
ductance résonante qui alimente la lampe DBD. La partie mesure (en bleu) consiste en la
mesure de la tension Vinv et du courant primaire du transformateur (proportionnel à idbd )
et en la génération d’un signal dont le rapport cyclique est proportionnel au déphasage
entre ces deux grandeurs (phase measurement). La fonction « poursuite de la fréquence
de résonance » est assurée par la carte FPGA qui adapte la fréquence de la porteuse du
modulateur PWM en fonction de la valeur du rapport cyclique. Les ordres de commutation
sont délivrés à la carte de puissance où se situent également les drivers.
144 CHAPITRE 4. OUVERTURES ET PERSPECTIVES
0 0
Figure 4.25 – Formes d’onde obtenues avec (a) et sans (b) sonde de tension, pour une tension d’entrée
de 55 V.
4.2.3.b Relevés
Les dispositifs de mesure utilisés affectent les formes d’onde : le fait de placer une
sonde de tension aux bornes du dispositif DBD ajoute une capacité en parallèle de celui-
ci et décale vers la gauche le pic de résonance. Nous présentons Fig. 4.25a un relevé où
une sonde haute tension a été employée, et Fig. 4.25b, un relevé où aucune mesure de la
tension DBD n’est effectuée. La fréquence de résonance mesurée est de 781 kHz dans le
premier cas tandis qu’elle est aux alentours de 1 MHz dans le second. Un agrandissement
du blocage de l’un des interrupteurs du pont est également fourni. Il montre que le temps
de blocage de l’interrupteur est de 7 ns et que ce dernier se bloque à courant quasi nul. De
plus, aucune surtension ni résonance parasite n’est mesurable aux bornes de l’interrupteur.
La durée d’amorçage a quant à elle été mesurée à environ 3 ns. En outre, en dehors du
travail des concepteurs des interrupteurs sur le packaging, et de celui du concepteur du
PCB (voir [85]), aucun management thermique n’a été nécessaire : il n’a été fait usage
ni de ventilateur, ni de dissipateur thermique. La température des interrupteurs a été
néanmoins surveillée à l’aide d’une caméra thermique infrarouge, et n’a pas excédé 60°C.
Toutefois, un échauffement important de l’inductance résonante a été mesuré. Il s’est
avéré ultérieurement que le comportement du matériau nanocristallin kµ200, a priori per-
formant en haute fréquence (d’après le fournisseur) mais non spécifié au delà de 300 kHz
dans la documentation, n’a pas été à la hauteur au delà du mega-hertz. Des investigations
ultérieures montrent en effet que des poudres HF telles que celles fournies par Microme-
tals (matériaux codés 2 ou 6) offrent des performances supérieures en terme de pertes et
permettent une augmentation significative du facteur de qualité au prix d’une réduction
assez conséquente de la perméabilité relative (µr ≈ 10 au lieu de 200).
Conclusion
Dans cette partie, deux alimentations ont été étudiées et mises en œuvre :
4.2. ALIMENTATION HT/HF SANS TRANSFORMATEUR 145
147
148 CONCLUSION
nichage par éclaircissement. Ceci a permis sur un exemple concret de montrer la grande
diversité des possibilités offertes si aucune contrainte sur les pertes, le volume ou la masse
n’est formulée.
Les solutions apportées aux problématiques liées au dimensionnement et traitées dans
le second chapitre ont permis d’envisager d’autres stratégies d’alimentation des dispositifs
DBD.
– L’alimentation quasi-résonante en régime de conduction discontinue se présente comme
un outil d’investigation intéressant, car contrairement aux autres alimentations qui dis-
posent de deux degrés de liberté (tension ou courant et fréquence), elle en offre trois
(tension d’entrée, fréquence et largeur d’impulsion). Elle permet notamment de définir
expérimentalement les frontières entre les domaines homogène/filamentaire selon trois
paramètres (puissance, fréquence, durée d’extinction) au lieu de deux (puissance, fré-
quence), offrant ainsi une plus grande capacité d’exploration et permettrait par exemple
d’acquérir une meilleure connaissance sur l’effet mémoire.
– L’alimentation résonante sans transformateur se présente quant à elle comme une so-
lution intéressante pour des applications nécessitant à la fois une grande compacité et
un contrôle précis de la puissance injectée. On a étudié la réalisation d’un convertisseur
utilisant des composants GaN à faible calibre en tension avec une structure résonante
série et exempte de transformateur élévateur et donc de problèmes liés à ses effets
parasites. Cette alimentation permet le fonctionnement à haute fréquence (> 1 MHz)
ce qui autorise la réalisation d’une alimentation d’une grande compacité. La montée
en fréquence en fait un outil d’investigation intéressant car le comportement des DBD
alimentés sous ces conditions reste à ce jour peu connu.
Annexe A
A.1.1 Puissance
Les relations établies au chapitre 1 sont rappelées ici : on a montré en (1.6) que l’aire
du parallélogramme décrit par la trajectoire du point de fonctionnement dans le plan
Cdiel
Vin Vdbd
Vth
Cgas
I ton
-Vth
50 µs/div
(a) (b)
Figure A.1 – (a) Alimentation contrôlée en tension pour DBD. (b) Simulation SPICE avec une alimen-
tation en tension sinusoidale ; Cgas = 10 pF, Cdiel =70 pF, Vth =3500 V, V̂dbd =5 kV, F =5 kHz
149
150 ANNEXE A. ÉTUDE ANALYTIQUE DES ALIMENTATIONS
et que la puissance transmise au dispositif DBD était directement liée à cette aire et à la
fréquence de fonctionnement :
Pdbd = F × A. (A.2)
En combinant (A.1) et (A.2), et en tenant compte de la présence du transformateur de
ˆ = mVin ), la puissance moyenne délivrée par l’amplificateur au dispositif
rapport m (Vdbd
DBD s’exprime par :
!
Vth
Pdbd = 4F Cdiel Vth mV̂in 1 − (1 + r) , (A.3)
mV̂in
Durant l’état ’ON’ du gaz, le courant idbd est donné par idbd = Cdiel dVdbd /dt ce qui
conduit à :
Pdbd = 2F Cdiel Vth V̂dbd (1 − cos(2πF ton )),
(A.5)
= 4F Cdiel Vth V̂dbd 1 − cos2 (πF ton ) .
En combinant (A.3) et (A.5) on montre que :
s
1 (1 + r)Vth
ton = arccos ,
πF V̂dbd (A.6)
1 √
= arccos u,
πF
avec r = Cgas /Cdiel et u = (1 + r)Vth /V̂dbd , une variable réduite liée à la tension d’alimen-
tation.
A.2. ALIMENTATION EN COURANT SINUSOÏDAL 151
Ainsi, on montre que dans le cas d’une alimentation en courant sinus d’amplitude îdbd , on
a:
îdbd = 2πF Q̂dbd . (A.11)
152 ANNEXE A. ÉTUDE ANALYTIQUE DES ALIMENTATIONS
A.2.1 Puissance
D’après (1.5) et (1.2), indépendemment de la forme d’onde, la puissance moyenne
transmise au dispositif DBD s’exprime par :
1
2
Pdbd = 4F Vth (Q̂dbd − Cgas Vth ) = 4F Cgas Vth −1 . (A.12)
q
où :
q = Cgas Vth /Q̂dbd , (A.13)
un paramètre adimensionné relatif à la charge maximale injectée dans le dispositif DBD.
A.3.1 Puissance
La relation (A.12) reste valide à condition de substituer le paramètre Q̂dbd par (A.17).
On peut ainsi montrer :
Pdbd = Vth îdbd (1 − q) (A.18)
où q est défini en (A.13)
A.3. ALIMENTATION EN COURANT RECTANGULAIRE 153
Vdbd
^
Vdbd
d2
d3 d4
d1
^
Ψ= -Ψ
d6 d5 Qdbd
-Q0 Q0 ^
Qdbd
^
Ψ=Ψ
et (Q0 , 0). En calculant les intersections de la trajectoire avec l’axe des charges on montre
que : !
V̂dbd V̂dbd
Q0 = min Q̂dbd − , − Q̂dbd . (A.24)
p2 p1
où A est l’aire englobée par la trajectoire dans le plan Q-V (Fig. 1.11), et T est l’aire
délimitée par le triangle vert sur Fig. A.2. La valeur de A est donnée par (1.3) et une
étude géométrique permet de montrer que T = 0.5V̂dbd (Q̂dbd − Q0 ). Ainsi, en combinant
les relations (A.26), (1.5), (A.24) et (A.20) et en notant r = Cgas /Cdiel et q = 4Cgas Vth F/i1 ,
on aboutit à :
Vth 1 r 1−q q
ψ̂ = 1−q+ 1+ 1 − min ; . (A.27)
4F 2 q 1+r r
156 ANNEXE A. ÉTUDE ANALYTIQUE DES ALIMENTATIONS
Annexe B
Résultats de l’optimisation :
répartition de la population
157
158 ANNEXE B. RÉSULTATS DE L’OPTIMISATION
700 220
A 200 B
600
180
500 160
400 140
120
300 100
200 80
60
100
40
0 20
2.93e-02 3.19e-02 3.45e-02 3.71e-02 3.97e-02 4.23e-02 4.50e-02 4.76e-02 5.02e-02 5.28e-02 1.32e-02 1.38e-02 1.43e-02 1.49e-02 1.55e-02 1.60e-02 1.66e-02 1.72e-02 1.77e-02 1.83e-02
1000 800
900 C E12
700
800
600
700
600 500
500 400
400 300
300
200
200
100 100
0 0
2.00e-02 2.09e-02 2.18e-02 2.28e-02 2.37e-02 2.46e-02 2.55e-02 2.65e-02 2.74e-02 2.83e-02 1.00e-03 1.25e-03 1.50e-03 1.76e-03 2.01e-03 2.26e-03 2.51e-03 2.76e-03 3.02e-03 3.27e-03
600 800
Ell Nl2
700
500
600
400
500
300 400
300
200
200
100
100
0 0
3.84e-04 5.42e-04 7.01e-04 8.60e-04 1.02e-03 1.18e-03 1.34e-03 1.49e-03 1.65e-03 1.81e-03 4.00e+00 5.00e+00 6.00e+00 7.00e+00 8.00e+00 9.00e+00 1.00e+01 1.10e+01 1.20e+01 1.30e+01
700 700
N2 Lmu2
600 600
500 500
400 400
300 300
200 200
100 100
0 0
3.52e+02 4.43e+02 5.34e+02 6.24e+02 7.15e+02 8.06e+02 8.97e+02 9.88e+02 1.08e+03 1.17e+03 2.99e+00 4.38e+00 5.76e+00 7.15e+00 8.54e+00 9.92e+00 1.13e+01 1.27e+01 1.41e+01 1.55e+01
800 140
Ll2 130 Cp2
700
120
600
110
500 100
400 90
300 80
70
200
60
100 50
0 40
5.71e-03 1.29e-02 2.00e-02 2.72e-02 3.43e-02 4.15e-02 4.86e-02 5.58e-02 6.29e-02 7.01e-02 2.92e-11 2.94e-11 2.96e-11 2.98e-11 3.00e-11 3.02e-11 3.05e-11 3.07e-11 3.09e-11 3.11e-11
700
Vol_Fe
600
500
400
300
200
100
0
1.07e-04 1.57e-04 2.07e-04 2.57e-04 3.07e-04 3.57e-04 4.06e-04 4.56e-04 5.06e-04 5.56e-04
250 250
A B
200 200
150 150
100 100
50 50
0 0
2.47e-02 2.72e-02 2.97e-02 3.23e-02 3.48e-02 3.73e-02 3.98e-02 4.23e-02 4.49e-02 4.74e-02 1.18e-02 1.27e-02 1.37e-02 1.46e-02 1.55e-02 1.65e-02 1.74e-02 1.83e-02 1.93e-02 2.02e-02
800 300
C E12
700
250
600
200
500
400 150
300
100
200
50
100
0 0
2.00e-02 2.16e-02 2.31e-02 2.47e-02 2.62e-02 2.78e-02 2.93e-02 3.09e-02 3.24e-02 3.40e-02 1.11e-03 1.76e-03 2.41e-03 3.07e-03 3.72e-03 4.38e-03 5.03e-03 5.69e-03 6.34e-03 6.99e-03
300 250
Ell Ess
250
200
200
150
150
100
100
50
50
0 0
1.00e-04 1.51e-04 2.02e-04 2.53e-04 3.04e-04 3.56e-04 4.07e-04 4.58e-04 5.09e-04 5.60e-04 1.09e-03 1.78e-03 2.47e-03 3.16e-03 3.85e-03 4.54e-03 5.24e-03 5.93e-03 6.62e-03 7.31e-03
350 400
Nl2 N2
300 350
300
250
250
200
200
150
150
100
100
50 50
0 0
7.00e+00 7.80e+00 8.60e+00 9.40e+00 1.02e+01 1.10e+01 1.18e+01 1.26e+01 1.34e+01 1.42e+01 4.34e+02 5.68e+02 7.01e+02 8.35e+02 9.68e+02 1.10e+03 1.24e+03 1.37e+03 1.50e+03 1.64e+03
400 300
Lmu2 Ll2
350
250
300
200
250
200 150
150
100
100
50
50
0 0
4.13e+00 6.23e+00 8.32e+00 1.04e+01 1.25e+01 1.46e+01 1.67e+01 1.88e+01 2.09e+01 2.30e+01 6.70e-03 1.42e-02 2.17e-02 2.92e-02 3.67e-02 4.41e-02 5.16e-02 5.91e-02 6.66e-02 7.41e-02
160 300
Cp2 Vol_Fe
140
250
120
200
100
80 150
60
100
40
50
20
0 0
2.53e-112.56e-11 2.60e-112.63e-11 2.67e-112.70e-112.73e-11 2.77e-112.80e-11 2.84e-11 7.22e-05 1.09e-04 1.45e-04 1.82e-04 2.19e-04 2.55e-04 2.92e-04 3.28e-04 3.65e-04 4.02e-04
300 200
A 180 B
250
160
140
200
120
150 100
80
100
60
40
50
20
0 0
2.02e-02 2.33e-02 2.64e-02 2.95e-02 3.25e-02 3.56e-02 3.87e-02 4.17e-02 4.48e-02 4.79e-02 1.13e-02 1.22e-02 1.31e-02 1.41e-02 1.50e-02 1.59e-02 1.68e-02 1.78e-02 1.87e-02 1.96e-02
300 250
C E12
250
200
200
150
150
100
100
50
50
0 0
2.00e-02 2.33e-02 2.65e-02 2.98e-02 3.30e-02 3.63e-02 3.95e-02 4.28e-02 4.60e-02 4.93e-02 1.83e-03 2.45e-03 3.07e-03 3.68e-03 4.30e-03 4.92e-03 5.53e-03 6.15e-03 6.77e-03 7.38e-03
500 250
450 Ell Ess
400 200
350
300 150
250
200 100
150
100 50
50
0 0
1.00e-04 1.31e-04 1.61e-04 1.92e-04 2.22e-04 2.53e-04 2.83e-04 3.14e-04 3.45e-04 3.75e-04 1.00e-03 1.43e-03 1.86e-03 2.28e-03 2.71e-03 3.14e-03 3.57e-03 3.99e-03 4.42e-03 4.85e-03
300 350
Nl2 N2
250 300
250
200
200
150
150
100
100
50 50
0 0
7.00e+00 7.80e+00 8.60e+00 9.40e+00 1.02e+01 1.10e+01 1.18e+01 1.26e+01 1.34e+01 1.42e+01 4.16e+02 6.38e+02 8.61e+02 1.08e+03 1.31e+03 1.53e+03 1.75e+03 1.97e+03 2.20e+03 2.42e+03
450 450
Lmu2 Ll2
400 400
350 350
300 300
250 250
200 200
150 150
100 100
50 50
0 0
3.83e+00 7.27e+00 1.07e+01 1.41e+01 1.76e+01 2.10e+01 2.45e+01 2.79e+01 3.13e+01 3.48e+01 6.35e-03 1.69e-02 2.74e-02 3.79e-02 4.84e-02 5.89e-02 6.95e-02 8.00e-02 9.05e-02 1.01e-01
160 300
Cp2 Vol_Fe
140
250
120
200
100
80 150
60
100
40
50
20
0 0
2.38e-112.41e-11 2.45e-11 2.49e-11 2.53e-112.56e-11 2.60e-11 2.64e-112.67e-11 2.71e-11 4.74e-05 8.99e-05 1.32e-04 1.75e-04 2.17e-04 2.60e-04 3.02e-04 3.45e-04 3.87e-04 4.30e-04
350 250
A B
300
200
250
200 150
150 100
100
50
50
0 0
1.94e-02 2.28e-02 2.62e-02 2.96e-02 3.30e-02 3.64e-02 3.98e-02 4.32e-02 4.67e-02 5.01e-02 1.16e-02 1.25e-02 1.34e-02 1.43e-02 1.52e-02 1.61e-02 1.70e-02 1.79e-02 1.88e-02 1.97e-02
350 300
C E12
300 250
250
200
200
150
150
100
100
50 50
0 0
2.00e-02 2.40e-02 2.79e-02 3.19e-02 3.58e-02 3.98e-02 4.37e-02 4.77e-02 5.17e-02 5.56e-02 2.00e-03 2.60e-03 3.20e-03 3.80e-03 4.40e-03 5.00e-03 5.60e-03 6.20e-03 6.80e-03 7.40e-03
800 700
Ell Ess
700 600
600
500
500
400
400
300
300
200
200
100 100
0 0
1.00e-04 1.27e-04 1.54e-04 1.80e-04 2.07e-04 2.34e-04 2.61e-04 2.87e-04 3.14e-04 3.41e-04 1.00e-03 1.14e-03 1.29e-03 1.43e-03 1.57e-03 1.71e-03 1.86e-03 2.00e-03 2.14e-03 2.29e-03
500 400
450 Nl2 N2
350
400
300
350
300 250
250 200
200 150
150
100
100
50 50
0 0
7.00e+00 7.80e+00 8.60e+00 9.40e+00 1.02e+01 1.10e+01 1.18e+01 1.26e+01 1.34e+01 1.42e+01 3.78e+02 6.28e+02 8.78e+02 1.13e+03 1.38e+03 1.63e+03 1.88e+03 2.13e+03 2.38e+03 2.63e+03
500 600
450 Lmu2 Ll2
500
400
350
400
300
250 300
200
200
150
100
100
50
0 0
3.36e+00 7.26e+00 1.12e+01 1.51e+01 1.89e+01 2.28e+01 2.67e+01 3.06e+01 3.45e+01 3.84e+01 5.36e-03 1.68e-02 2.82e-02 3.96e-02 5.10e-02 6.24e-02 7.38e-02 8.52e-02 9.66e-02 1.08e-01
200 400
Cp2 Vol_Fe
180 350
160 300
140
250
120
200
100
150
80
60 100
40 50
20 0
2.32e-11 2.36e-11 2.40e-11 2.44e-112.47e-11 2.51e-11 2.55e-11 2.59e-11 2.63e-11 2.67e-11 4.28e-05 9.24e-05 1.42e-04 1.92e-04 2.41e-04 2.91e-04 3.40e-04 3.90e-04 4.40e-04 4.89e-04
600 600
A B
500 500
400 400
300 300
200 200
100 100
0 0
4.928e-02 5.219e-02 5.510e-02 5.801e-02 6.091e-02 6.382e-02 6.673e-02 6.964e-02 7.255e-02 7.545e-02 1.583e-02 1.693e-02 1.803e-02 1.913e-02 2.023e-02 2.133e-02 2.243e-02 2.353e-02 2.463e-02 2.573e-02
1000 450
C E12
900 400
800 350
700
300
600
250
500
200
400
150
300
200 100
100 50
0 0
2.000e-02 2.031e-02 2.062e-02 2.092e-02 2.123e-02 2.154e-02 2.185e-02 2.215e-02 2.246e-02 2.277e-02 2.956e-03 3.361e-03 3.767e-03 4.173e-03 4.578e-03 4.984e-03 5.390e-03 5.795e-03 6.201e-03 6.607e-03
900 1000
Ell Nl2
800 900
700 800
700
600
600
500
500
400
400
300
300
200 200
100 100
0 0
2.650e-03 2.785e-03 2.920e-03 3.055e-03 3.190e-03 3.325e-03 3.460e-03 3.595e-03 3.730e-03 3.865e-03 2.000e+00 2.300e+00 2.600e+00 2.900e+00 3.200e+00 3.500e+00 3.800e+00 4.100e+00 4.400e+00 4.700e+00
900 500
N2 Lmu2
800 450
700 400
350
600
300
500
250
400
200
300
150
200 100
100 50
0 0
1.760e+02 2.029e+02 2.298e+02 2.567e+02 2.836e+02 3.105e+02 3.374e+02 3.643e+02 3.912e+02 4.181e+02 1.124e+00 1.402e+00 1.680e+00 1.959e+00 2.237e+00 2.515e+00 2.794e+00 3.072e+00 3.350e+00 3.629e+00
700 350
Ll2 Cp2
600 300
500 250
400 200
300 150
200 100
100 50
0 0
3.753e-03 5.213e-03 6.673e-03 8.133e-03 9.593e-03 1.105e-02 1.251e-02 1.397e-02 1.543e-02 1.689e-02 1.750e-11 1.757e-11 1.764e-11 1.771e-11 1.778e-11 1.784e-11 1.791e-11 1.798e-11 1.805e-11 1.812e-11
450
Vol_Fe
400
350
300
250
200
150
100
50
0
4.635e-04 5.783e-04 6.931e-04 8.079e-04 9.228e-04 1.038e-03 1.152e-03 1.267e-03 1.382e-03 1.497e-03
400 300
A B
350
250
300
200
250
200 150
150
100
100
50
50
0 0
2.569e-02 2.736e-02 2.904e-02 3.071e-02 3.239e-02 3.406e-02 3.574e-02 3.741e-02 3.909e-02 4.077e-02 1.660e-02 1.739e-02 1.817e-02 1.896e-02 1.974e-02 2.053e-02 2.131e-02 2.210e-02 2.288e-02 2.367e-02
1000 450
C E12
900 400
800 350
700
300
600
250
500
200
400
150
300
200 100
100 50
0 0
2.000e-02 2.052e-02 2.104e-02 2.155e-02 2.207e-02 2.259e-02 2.311e-02 2.362e-02 2.414e-02 2.466e-02 1.818e-03 2.259e-03 2.699e-03 3.140e-03 3.581e-03 4.021e-03 4.462e-03 4.902e-03 5.343e-03 5.783e-03
500 250
Ell Ess
450
400 200
350
300 150
250
200 100
150
100 50
50
0 0
1.384e-04 1.760e-04 2.136e-04 2.512e-04 2.888e-04 3.264e-04 3.640e-04 4.016e-04 4.392e-04 4.768e-04 3.860e-03 4.274e-03 4.688e-03 5.102e-03 5.516e-03 5.930e-03 6.344e-03 6.758e-03 7.172e-03 7.586e-03
900 350
Nl2 N2
800
300
700
250
600
500 200
400 150
300
100
200
50
100
0 0
1.100e+01 1.200e+01 1.300e+01 1.400e+01 1.500e+01 1.600e+01 1.700e+01 1.800e+01 1.900e+01 2.000e+01 6.000e+02 7.038e+02 8.076e+02 9.114e+02 1.015e+03 1.119e+03 1.223e+03 1.327e+03 1.430e+03 1.534e+03
350 300
Lmu2 Ll2
300 250
250
200
200
150
150
100
100
50 50
0 0
6.285e+00 7.920e+00 9.554e+00 1.119e+01 1.282e+01 1.446e+01 1.609e+01 1.773e+01 1.936e+01 2.100e+01 1.793e-02 2.789e-02 3.784e-02 4.780e-02 5.775e-02 6.771e-02 7.766e-02 8.762e-02 9.757e-02 1.075e-01
250 450
Cp2 Vol_Fe
400
200 350
300
150
250
200
100
150
50 100
50
0 0
1.239e-11 1.249e-11 1.260e-11 1.270e-11 1.281e-11 1.291e-11 1.302e-11 1.312e-11 1.323e-11 1.333e-11 8.002e-05 1.008e-04 1.216e-04 1.424e-04 1.633e-04 1.841e-04 2.049e-04 2.257e-04 2.465e-04 2.673e-04
300 220
A B
200
250 180
160
200
140
120
150
100
80
100
60
50 40
20
0 0
2.055e-02 2.312e-02 2.570e-02 2.827e-02 3.085e-02 3.343e-02 3.600e-02 3.858e-02 4.116e-02 4.373e-02 1.272e-02 1.354e-02 1.437e-02 1.520e-02 1.602e-02 1.685e-02 1.767e-02 1.850e-02 1.933e-02 2.015e-02
300 250
C E12
250
200
200
150
150
100
100
50
50
0 0
2.000e-02 2.277e-02 2.554e-02 2.831e-02 3.108e-02 3.386e-02 3.663e-02 3.940e-02 4.217e-02 4.494e-02 1.685e-03 2.243e-03 2.802e-03 3.361e-03 3.920e-03 4.479e-03 5.037e-03 5.596e-03 6.155e-03 6.714e-03
500 200
Ell Ess
450 180
400 160
350
140
300
120
250
100
200
80
150
100 60
50 40
0 20
1.000e-04 1.232e-04 1.464e-04 1.696e-04 1.928e-04 2.160e-04 2.392e-04 2.624e-04 2.855e-04 3.087e-04 1.748e-03 2.374e-03 2.999e-03 3.624e-03 4.249e-03 4.874e-03 5.499e-03 6.125e-03 6.750e-03 7.375e-03
250 300
Nl2 N2
250
200
200
150
150
100
100
50
50
0 0
8.000e+00 9.300e+00 1.060e+01 1.190e+01 1.320e+01 1.450e+01 1.580e+01 1.710e+01 1.840e+01 1.970e+01 5.040e+02 7.096e+02 9.152e+02 1.121e+03 1.326e+03 1.532e+03 1.738e+03 1.943e+03 2.149e+03 2.354e+03
350 450
Lmu2 Ll2
400
300
350
250
300
200 250
150 200
150
100
100
50
50
0 0
5.088e+00 8.354e+00 1.162e+01 1.489e+01 1.815e+01 2.142e+01 2.468e+01 2.795e+01 3.121e+01 3.448e+01 8.578e-03 2.134e-02 3.411e-02 4.687e-02 5.964e-02 7.240e-02 8.517e-02 9.793e-02 1.107e-01 1.235e-01
250 350
Cp2 Vol_Fe
300
200
250
150
200
150
100
100
50
50
0 0
1.088e-11 1.104e-11 1.119e-11 1.134e-11 1.149e-11 1.164e-11 1.179e-11 1.194e-11 1.209e-11 1.225e-11 4.797e-05 7.876e-05 1.096e-04 1.403e-04 1.711e-04 2.019e-04 2.327e-04 2.635e-04 2.943e-04 3.251e-04
300 200
A B
180
250
160
140
200
120
150 100
80
100
60
40
50
20
0 0
1.692e-02 1.975e-02 2.259e-02 2.542e-02 2.825e-02 3.108e-02 3.391e-02 3.675e-02 3.958e-02 4.241e-02 1.151e-02 1.248e-02 1.345e-02 1.442e-02 1.540e-02 1.637e-02 1.734e-02 1.831e-02 1.929e-02 2.026e-02
300 250
C E12
250
200
200
150
150
100
100
50
50
0 0
2.091e-02 2.524e-02 2.958e-02 3.392e-02 3.826e-02 4.260e-02 4.693e-02 5.127e-02 5.561e-02 5.995e-02 2.101e-03 2.691e-03 3.281e-03 3.871e-03 4.461e-03 5.051e-03 5.640e-03 6.230e-03 6.820e-03 7.410e-03
800 250
Ell Ess
700
200
600
500 150
400
300 100
200
50
100
0 0
1.000e-04 1.231e-04 1.461e-04 1.692e-04 1.922e-04 2.153e-04 2.384e-04 2.614e-04 2.845e-04 3.075e-04 1.000e-03 1.650e-03 2.299e-03 2.949e-03 3.599e-03 4.249e-03 4.898e-03 5.548e-03 6.198e-03 6.848e-03
250 400
Nl2 N2
350
200
300
150 250
200
100 150
100
50
50
0 0
7.000e+00 8.400e+00 9.800e+00 1.120e+01 1.260e+01 1.400e+01 1.540e+01 1.680e+01 1.820e+01 1.960e+01 5.280e+02 8.526e+02 1.177e+03 1.502e+03 1.826e+03 2.151e+03 2.476e+03 2.800e+03 3.125e+03 3.449e+03
400 450
Lmu2 Ll2
350 400
350
300
300
250
250
200
200
150
150
100
100
50 50
0 0
5.313e+00 1.022e+01 1.513e+01 2.003e+01 2.494e+01 2.985e+01 3.475e+01 3.966e+01 4.457e+01 4.947e+01 7.690e-03 2.511e-02 4.253e-02 5.995e-02 7.737e-02 9.480e-02 1.122e-01 1.296e-01 1.471e-01 1.645e-01
200 450
Cp2 Vol_Fe
180 400
160 350
140
300
120
250
100
200
80
150
60
40 100
20 50
0 0
1.034e-11 1.051e-11 1.068e-11 1.085e-11 1.101e-11 1.118e-11 1.135e-11 1.152e-11 1.169e-11 1.185e-11 3.330e-05 6.405e-05 9.481e-05 1.256e-04 1.563e-04 1.871e-04 2.178e-04 2.486e-04 2.793e-04 3.101e-04
Pdbd
4mE Q̂dbd = A = , (C.1)
W fourni W utile F
P ur
V̂dbd = Vth + = 1+ Vth , (C.3)
4mF ECdiel u−1
167
168 ANNEXE C. ALIMENTATION RÉSONANTE DCM : CALCULS
La décharge s’amorce lorsque la variation de charge injectée vaut 2Cgas Vth et donc l’instant
de claquage se déduit de :
Notons que vue son expression, B sin(ψ) est positif tandis que le signe de cos(ψ) est a priori
inconnu car le signe de Q̃dbd (ta ) est inconnu. Ainsi, la valeur de ψ est dans l’intervalle
[0, π], et elle est donc déterminée de façon univoque par :
√ (1+r)(u−1)
r Q̃dbd (ta ) + ru
ψ = arccotan p . (C.11)
(1 + r)ĩdbd (ta )
La phase 1 prend fin lorsque le courant idbd s’annule. Sa durée est donc donnée par :
ψ
tphase1 = ta + , (C.12)
ω2
La valeur idbd étant supposée positive sur [0, tphase1 ], on montre que :
Z tphase1 Z tphase1 Z tphase1
idbd hidbd itphase1 dt ≤ i2dbd dt ≤ max(idbd )idbd dt. (C.16)
0 0 0
170 ANNEXE C. ALIMENTATION RÉSONANTE DCM : CALCULS
L’inégalité
R tphase1 2
de droite est assez évidente et l’inégalité de gauche se déduit en montrant que
R tphase1
0 idbd dt − 0 idbd hidbd itphase1 dt ≥ 0. En effet, le calcul donne :
Z tphase1 Z tphase1
i2dbd dt − idbd hidbd itphase1 dt
0 0
Z tphase1
= idbd (idbd − hidbd itphase1 ) dt
0
Z tphase1 Z tphase1 (C.17)
= (idbd − hidbd itphase1 )2 dt + hidbd itphase1 (idbd − hidbd itphase1 ) dt
0 | {z } |0 {z }
≥0 =0
≥ 0.
En menant le calcul, les inégalités (C.16) donnent :
4Q̂2dbd
Z tphase1
≤ i2dbd dt ≤ 2 max(idbd )Q̂dbd (C.18)
tphase1 0
Cela conduit à deux bilans énergétiques, le premier surestimant les pertes, et l’autre les
sous-estimant. On a :
Q̂2dbd
4mE Q̂dbd = A + 8Rs (sous-estimation) (C.19a)
tphase1
4(mE − Rs max(idbd ))Q̂dbd = A (surestimation) (C.19b)
où :
v = 1/u,
s
Ceq (C.24)
ξ = 0.5Rstot .
m2 L
La résolution de (C.23) conduit à :
s !
1 − v − 2ξ(1 + v) 8ξ(r + (1 − v 2 ))
β= − sign(X) + 1+ . (C.25)
| 2
{z } (1 − v − 2ξ(1 + v))2
X
paramètre réduit relatif à l’énergie fournie au dispositif DBD durant une période, on
montre que a vérifie :
θ(u − 1) θ(1 + r)
a2 + a− =0 (C.27)
4ξu 4ξ
où :
s !
(1 + r)u(u − 1)
θ = 2 arcsin
(1 + r)u2 − 1
√
r Q̃dbd (ta ) + (1+r)(u−1)
r
1+r ru
. (C.28)
+ arccotan p
r (1 + r)ĩdbd (ta )
La résolution fait appel à des techniques classiques, et on montre finalement que la puis-
sance corrigée par sous-estimation des pertes s’exprime par :
sous 2
Pdbd = 4F Cgas Vth (a − (1 + r))
s ! !
2 θ |u − 1| 16ξu2 (1 + r) (C.29)
= 4F Cgas Vth 1+ − sign(u − 1) − (1 + r) .
8ξu θ(u − 1)2
La tension maximale atteinte se déduit immédiatement de la combinaison de (C.29), (1.5)
et (1.4). On montre que :
" s !#
sous θ |u − 1|
2 16ξu2 (1 + r)
V̂dbd = 1−r + 1+ − sign(u − 1) Vth (C.30)
8ξu θ(u − 1)2
172 ANNEXE C. ALIMENTATION RÉSONANTE DCM : CALCULS
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