Capteurs chimiques et biochimiques

par Nicole JAFFREZIC-RENAULT

Claude MARTELET
et Paul CLECHET
Club Microcapteurs Chimiques (CMC2)
Laboratoire de Physicochimie des Interfaces (URA CNRS 404) de l’École Centrale de Lyon

1. Capteurs chimiques................................................................... R 420 ; P 360 - 3

1.1 Capteurs d’espèces ioniques et moléculaires en solution ......... — 3
1.1.1 Capteurs potentiométriques ................................................ — 3
1.1.2 Capteurs ampérométriques ................................................. — 5
1.1.3 Capteurs conductimétriques................................................ — 6
1.2 Capteurs de composition gazeuse ............................................... — 6
1.2.1 Capteurs à variation de résistance ...................................... — 6
1.2.2 Capteurs capacitifs ............................................................... — 8
1.2.3 Capteurs potentiométriques ................................................ — 8
1.2.4 Capteurs ampérométriques ................................................. — 10
2. Microcapteurs chimiques ........................................................ — 10
2.1 Microtechnologies ......................................................................... — 10
2.2 Capteurs miniaturisés ................................................................... — 11
2.3 Microcapteurs extrinsèques ......................................................... — 11
2.3.1 Capteurs intégrés de type ChemFET (ISFET, GasFET,
ENFET) .................................................................................. — 11
2.3.2 Transducteurs piézoélectriques ........................................... — 13
2.3.3 Transducteurs optiques........................................................ — 14
3. Biocapteurs.................................................................................. — 14
3.1 Définition et contraintes................................................................ — 14
3.2 Biosélectivité .................................................................................. — 15
3.3 Transduction et biofonctionnalisation ......................................... — 16
3.4 Quelques réalisations commerciales ........................................... — 16
3.5 Conclusion...................................................................................... — 19
Pour en savoir plus............................................................................. Doc. R 420 ; P 360
10 - 1994

a détection d’une espèce chimique ou biochimique ainsi que l’évaluation

L de sa quantité – ou de sa concentration – peuvent être faites soit à l’aide
d’instruments d’analyse tels que les chromatographes ou les divers spectro-
mètres, soit à l’aide de capteurs. Le capteur chimique ou biochimique est un
dispositif simple qui est en général constitué d’une partie chimiosélective ou
biosélective, permettant la reconnaissance chimique ou biochimique, et d’un
R 420 ; P 360

système transducteur transformant l’interaction chimique ou biochimique en

signal électrique.
Il est de ce fait nécessaire de faire une distinction aussi claire que possible
entre ces deux moyens d’analyse sachant que celle-ci sera inévitablement un
peu caricaturale.
■ On peut dire des instruments d’analyse qu’ils sont généralement complexes,
coûteux et souvent difficiles à mettre en œuvre. Ils sont aussi le plus souvent
volumineux et tributaires de sources d’énergie relativement importantes, donc

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CAPTEURS CHIMIQUES ET BIOCHIMIQUES __________________________________________________________________________________________________

peu adaptés à l’analyse sur site. Ils sont enfin affligés de temps de réponse
souvent très longs (préparation des échantillons, étalonnage, durée de l’analyse
proprement dite, sortie des données...). En revanche, avantage capital : la
conception de ces instruments d’analyse permet d’obtenir une analyse complète
du milieu.
■ On peut dire des capteurs chimiques ou biochimiques – auxquels de nom-
breux ouvrages ont été consacrés récemment [1] à [14] – que l’on recherche
pour eux la compacité, les conceptions technologiques simples et un faible coût.
Leur petite taille et leur faible consommation d’énergie permettent leur utilisa-
tion sur site, même quand celui-ci est difficile d’accès. Ils disposent de temps de
réponse aussi brefs que possible, qui les rendent aptes à une utilisation en
temps réel (surveillance, régulation). En revanche, il est clair que pour l’analyse
des mélanges l’utilisation d’un système multicapteur est nécessaire, chacun
d’eux étant le plus sélectif possible à une espèce.
Il est certain que tout cela ne constitue que des considérations très générales
sur ces deux types de systèmes de détection et que certains d’entre eux sont
parfois difficiles à classer dans l’une de ces deux catégories. Les capteurs
chimiques commercialisés sont présentés dans la première partie de ce chapitre,
les capteurs biochimiques commercialisés sont présentés dans la troisième
partie.
Ces dernières années, le domaine des capteurs a connu un renouveau tout à
fait remarquable. Celui-ci est le résultat de trois facteurs principaux qui ont à
la fois vivement animé la recherche dans ce secteur et fortement incité le déve-
loppement de capteurs de type nouveau. Le premier de ces facteurs est le
besoin très vif en capteurs fiables qu’entraîne la croissante sévérité des normes
dans tous les domaines touchant à la chimie et à la biochimie (environnement,
alimentation, pharmacie, sécurité domestique et industrielle, monitoring médi-
cal...). Le second est lié à la généralisation de l’automatisation dans le génie
des procédés qui elle aussi requiert, à l’origine de la chaîne, des sondes de
qualité. Le troisième est l’intrusion récente et en force des méthodes de micro-
fabrication de l’électronique [15] dans la technologie de réalisation des
capteurs [16] [17] [18] . Ce dernier point est sans doute le plus notable car il
donne accès au domaine des fabrications collectives avec les avantages qui lui
sont liés de bas coût (les capteurs jetables deviennent envisageables ), de gain
en fiabilité et d’adaptation aux microcircuits, pour l’instant hybrides mais cer-
tainement bientôt monolithiques. De nombreux procédés de microfabrication
tridimensionnelle (par exemple la technologie LIGA [19] ) sont venus ensuite
compléter les méthodes planaires [20] . Tout cela a naturellement orienté la
conception des capteurs vers la miniaturisation à l’échelle micro / millimétrique
en suivant pour cela deux voies différentes qui sont présentées dans la
seconde partie de ce chapitre :
— celle de la simple diminution en taille de capteurs macroscopiques,
c’est-à-dire de taille centimétrique, ayant déjà fait leur preuve. C’est par
exemple le cas du microcapteur d’humidité développé par la société Coreci ou
celui du microcapteur SnO2 mis au point par la société Microsens. Cette école
est aussi parfaitement illustrée par les travaux de l’Institut de Microtechnologie
de Neuchâtel [21] ;
— celui de la fonctionnalisation de microdispositifs capables de traduire les
modifications chimiques subies par l’élément de reconnaissance, le récepteur,
en un signal qui en dernier ressort est toujours électrique [22] . Les dispositifs
utilisés s’appellent des transducteurs, ce peut être un transistor à effet de
champ (Field Effect Transistor FET), un dispositif piézoélectrique, une fibre
optique....
De tels microcapteurs, associés à des microprocesseurs, deviennent capables
de réagir à une sollicitation chimique en commandant des actionneurs, donc de
devenir « intelligents ».
Deux points particuliers sont encore à relever dans ce panorama sur les
microcapteurs.

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■ Le premier concerne leur utilisation en réseaux [23] afin de pallier leur

manque fréquent de sélectivité. En effet, les espèces moléculaires et ioniques
chimiques ne diffèrent pas suffisamment les unes des autres pour que l’on
puisse espérer généraliser facilement la réalisation de capteurs sélectifs. Ce
n’est pas le cas pour les espèces biochimiques pour lesquelles les interactions
sont parfaitement sélectives. Afin de combler cette déficience, il a été proposé
d’utiliser des réseaux constitués de capteurs qui diffèrent dans leur réponse indi-
viduelle aux composants des mélanges à examiner. L’analyse matricielle des
signaux émis par ces capteurs permet alors de remonter à l’information exacte.
C’est le domaine de la chimiométrie.
■ Le deuxième est celui de la miniaturisation des instruments d’analyse pour
les amener dans le domaine centimétrique ou décimétrique. Cette nouvelle voie
a été initiée, vers la fin des années 70, par la réalisation à Stanford, d’un micro-
chromatographe comportant une colonne capillaire de 1,50 m gravée dans une
tranche de silicium de 5 cm de diamètre [24] . Ce genre de réalisation permet de
concilier avantageusement les impératifs de petite taille, faible consommation
de réactifs, gain de temps et sélectivité. C’est une direction riche de promesses
et technologiquement viable qui fait l’objet de recherches actives [25] [26] [27] .

E 0 (V) potentiel normal du couple Ox / Red,

1. Capteurs chimiques avec
R (8,314 J · K–1 · mol–1) constante molaire des gaz,
T (K) température absolue,
1.1 Capteurs d’espèces ioniques F (9,648 456 × 104 C · mol–1) constante de Faraday.
et moléculaires en solution a Ox et a Red sont les activités de l’oxydant et du réducteur. La défi-
nition de l’activité et sa relation avec la concentration des espèces
sont détaillées en [28].
Ces capteurs permettent la détection en continu des espèces
ioniques en milieu liquide. Ils sont tous basés sur des méthodes de La valeur du coefficient 2,3 RT /F est de 59,16 mV à 25 oC, elle
détection électrochimique et seront classés en trois catégories varie de 56,18 mV à 60,15 mV lorsque la température varie de
suivant le mode de détection : potentiométrique, ampérométrique, 10 oC à 30 oC.
conductimétrique. Lors de notre présentation, l’accent sera mis sur Cette expression est vérifiée si la concentration de l’oxydant
le principe de reconnaissance ionique qui permet d’assurer la (et / ou du réducteur) est supérieure à 10 –5 M ; au-dessous de cette
sélectivité de ces capteurs. concentration le potentiel d’équilibre est perturbé par l’électrolyse
d’impuretés (dont l’oxygène résiduel).
Ce potentiel rédox permet de caractériser la composition de la
1.1.1 Capteurs potentiométriques solution contenant oxydant et réducteur conjugués dissous, en par-
ticulier il permet de suivre l’évolution de la composition de la solu-
Le potentiel du capteur ou électrode (qui n’est parcourue par tion au cours d’un titrage. Un schéma de ce capteur rédox est
aucun courant) est mesuré par rapport à un potentiel de référence. présenté sur la figure 1. Il est à remarquer que ce capteur rédox ne
Ce dernier est obtenu par une électrode de référence (cf. suite de comporte pas de caractère de reconnaissance ionique. Pour plus de
ce paragraphe). Cette condition de courant nul est d’autant mieux détails sur sa mise en œuvre, il est recommandé de se référer à [28].
respectée que la résistance aux bornes de laquelle sont branchées
les électrodes est plus grande. En pratique, les voltmètres aux
entrées desquels sont reliées les électrodes ont des impédances
d’entrée très grandes (> 1012 Ω).
■ Électrodes rédox
Ces électrodes sont constituées de matériaux conducteurs élec-
troniques permettant des échanges d’électrons avec tous les
couples rédox contenus dans la solution. L’électrode, supposée
inattaquable dans les conditions de la mesure (platine, or, etc.),
plongée dans une solution contenant un réducteur et un oxydant
du même couple électrochimique tel que :
Ox + ne – ↔ Red (1)
adopte, dans le cas d’un système réversible et à courant nul, un
potentiel d’équilibre qui résulte des courants d’échange d’électrons
entre l’oxydant et le réducteur par l’intermédiaire du conducteur
électronique. L’expression de ce potentiel d’équilibre E est donnée
par la relation de Nernst :

0 RT a Ox
E = E + 2,3 -------- lg ------------- (2) Figure 1 – Schéma d’un capteur rédox
nF a Red

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Lorsque l’électrode est remplie avec une solution saturée de

chlorure de potassium, le potentiel de l’électrode est de 244 mV à
25 oC, par rapport à une électrode normale à hydrogène.
L’électrode de référence à l’argent-chlorure d’argent est constituée
par un fil d’argent recouvert de chlorure d’argent plongeant dans
une solution d’ions chlorures. Le système électrochimique réversible
correspondant est le suivant :

AgCl + e – ↔ Ag + Cl – (6)
auquel correspond la loi de Nernst :
0 RT 1
E = E + 2,3 -------- lg ----------- (7)
F a –
Cl

avec E 0 potentiel normal du couple AgCl /Ag.

Cette électrode est facile à miniaturiser, son potentiel est de
199 mV à 25 oC, par rapport à une électrode normale à hydrogène,
lorsque le fil d’argent chloruré est plongé dans une solution de
chlorure de potassium saturé.
Les principales électrodes de référence utilisées dans l’eau et
dans les solvants moléculaires sont présentées dans [28]. Les
conditions de conservation et d’entretient des électrodes de réfé-
rence sont décrites dans [9].
■ Électrodes spécifiques
Figure 2 – Équilibre électrochimiques des ions A Les électrodes spécifiques existantes mettent en jeu des équilibres
à travers les interfaces membrane / solution électrochimiques aux interfaces entre des électrolytes liquides et des
membranes constituées de matériaux conducteurs ioniques (élec-
trolytes solides, polymères conducteurs ioniques, membranes
■ Électrodes de référence liquides). La nature de l’ion échangé est déterminée par la
composition du matériau constituant la membrane.
Bien qu’elles ne constituent pas à elles seules un capteur, elles
sont utilisées à chaque fois que l’on mesure ou que l’on impose un Comme seuls les transferts d’ions sont possibles à ces inter-
potentiel en solution. faces, l’interférence d’équilibres rédox (en particulier résultant de
l’oxygène dissous) est exclue.
Ce sont des électrodes rédox correspondant à un système rédox
réversible et rapide, dont le potentiel reste invariable quelle que Dans l’électrode spécifique, la membrane ionique est en équi-
soit la composition ionique de la solution dans laquelle elles sont libre avec des solutions électrolytiques de compositions différentes
plongées. dont l’une est inconnue (solution 1) et l’autre connue (solution 2).
Supposons que seuls les ions A puissent être échangés à travers
Par convention, dans l’eau, l’échelle des potentiels est rapportée les interfaces membrane / solution représentées sur la figure 2, il
à l’électrode normale à hydrogène prise comme origine. Celle-ci est
en résulte qu’à l’équilibre les potentiels électrochimiques µ˜ A de
constituée d’une électrode inattaquable (platine, palladium, etc.) en
équilibre thermodynamique avec le système électrochimique : ces ions ont la même valeur des deux côtés de la membrane ( µ̃ A1

H + + e – ↔ 1/2 H2 (3) et µ̃ A 2 ) et dans la membrane ( µ˜ Am ), d’où la relation :

En pratique, on opère en milieu acide fort concentré (1 M) et µ˜ A1 = µ˜ Am = µ˜ A 2 (8)

sous pression constante d’hydrogène réalisée par un barbotage
constant de ce gaz autour d’une lame de platine platiné. Le dispo- Le potentiel électrochimique peut être décomposé en trois par-
sitif le plus simple a été décrit par Hildebrand et représenté sur la 0
ties, le potentiel chimique standard des ions µ A1 , un second terme
figure 2 [28]. dépendant du logarithme de l’activité de l’ion et un terme électros-
La mise en œuvre d’une telle électrode présentant quelques tatique zFφ 1 , z étant la charge de l’ion A :
difficultés, d’autres électrodes dites de référence sont utilisées
0
couramment. µ̃ A1 = µ A1 + RT ln a A1 + zF φ 1 (9)
L’électrode au calomel est l’électrode de référence de potentiel la
plus couramment utilisée. Elle est constituée du mélange intime À partir des potentiels électrochimiques, il est possible de cal-
mercure-chlorure mercureux (calomel) baigné par une solution de culer la différence de potentiel électrique entre l’électrolyte liquide
concentration connue et constante (saturée). Le système électro- et la membrane à l’une des deux interfaces. Cela est appelée diffé-
chimique réversible est : rence de potentiel de Donnan :

Hg2Cl2 + 2e – ↔ 2Hg + 2 Cl – 1 0 0m RT m
(4) φ m1 – φ 1 = ------- ( µ A 1 – µ A ) + -------- ln ( a A 1 / a A 1 ) (10)
zF zF
auquel correspond la relation de Nernst :
La différence de potentiel électrique totale φ 2 – φ 1 entre les deux
0 RT 1 solutions électrolytiques séparées par la membrane est donnée
E = E + 2,3 ------- lg ----------- (5)
2F a 2 – par :
Cl
RT
avec E0 potentiel normal du couple Hg2Cl2 /Hg, φ 2 – φ 1 = -------- ln ( a A1 /a A2 ) + ∆ φ as (11)
zF
a – activité de l’ion Cl –.
Cl

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Le premier terme de l’équation précédente dépend du rapport

des activités de l’ion dans les deux solutions électrolytiques ; le
second terme ∆ φ as décrit une asymétrie possible à l’intérieur de la
membrane due à la différence des compositions chimiques.
Le schéma de la chaîne électrochimique pour la mesure de l’acti-
vité des ions est le suivant :

La différence de potentiel globale E mesurée entre les deux

extrémités de la chaîne a comme expression :
E = E réf1 + E j1 + (φ2 – φ1) – E j2 – E réf 2 (12)
soit :

RT a A1
E = E réf 1 + E j1 – E j2 – E réf 2 + ∆ φ as + -------- ln ----------- (13)
zF a A2

avec E j1 , E j2 potentiels de jonction. Figure 3 – Principe du montage pour la mise en œuvre des mesures
En définitive, on peut écrire : avec une électrode spécifique et l’électrode de référence
qui lui est associée
RT
E = E 01 + -------- lna A1 (14)
zF
La figure 3 représente la structure générale d’une électrode
spécifique ainsi que celle de l’électrode de référence qui lui est
associée pour la mise en œuvre des mesures. La réponse des élec-
trodes spécifiques est donc linéaire en fonction du logarithme de
l’activité [28] de l’ion spécifique A (potentiel déterminant), la pente
de réponse est de 59,16 mV à 25 oC dans une gamme de
concentration dépendant du type d’électrode. La sélectivité de la
membrane vis-à-vis d’un ion interférant B (pouvant interagir avec
la membrane) est quantifiée par un coefficient de sélectivité K AB .
Les coefficients de sélectivité sont définis par l’équation de
Nicolsky :
RT
E = E 02 + --------- ln ( a A1 + K AB a B1 ) (15) Figure 4 – Exemple de courbe intensité-potentiel de réduction
zF
d’une espèce réductible dissoute (surtension entre une électrode
Cette équation a été simplifiée au cas où les ions A et B ont la indicatrice et une électrode de référence)
même charge z et où seul l’ion B est interférent. Les meilleures
sélectivités correspondent aux très faibles valeurs de K AB . La
meilleure électrode spécifique est l’électrode à membrane de verre 1.1.2 Capteurs ampérométriques
pour la détermination du pH (ion H +) qui présente un coefficient de
sélectivité de 10–12 par rapport à la plupart des cations. ■ Principe
La seconde meilleure électrode est l’électrode sélective aux ions L’allure d’une courbe intensité-potentiel de réduction d’une
fluorures à membrane LaF3 monocristalline, elle présente un coef- espèce réductible dissoute, obtenue en appliquant une surtension
ficient de sélectivité de l’ordre de 10 –7 pour la plupart des ions entre une électrode indicatrice (conducteur électronique) et une
excepté OH –. En général, la valeur maximale tolérée du coefficient électrode de référence (§ 1.1.1) est représentée sur la figure 4. Pour
de sélectivité est de 10 – 4, cela signifie qu’un excès de 10 4 de l’ion une surtension suffisamment importante (≈ E A ), on atteint un palier
interférent B entraîne une erreur de 100 % sur la mesure directe de limite de diffusion pour lequel l’intensité est proportionnelle à la
la concentration de l’ion A. La méthode de détermination du coef- concentration de l’espèce réductible [29]. Les techniques d’ampé-
ficient de sélectivité est présentée dans [28]. rométrie, de voltammétrie et de polarographie sont basées sur
Les différents types de membranes pour les électrodes spéci- lamesure de courants limites de diffusion d’espèces électroactives.
fiques sont les suivants : Dans un capteur ampérométrique, on procède à une électrolyse
— membranes cristallines (monocristallines ou polycristallines) ; d’une espèce électroactive entre une électrode indicatrice et une
— membranes non cristallines : électrode de référence, en fixant une surtension E A correspondant
• à matrice rigide : membranes de verre, au palier limite de diffusion pour cette espèce. On détermine la
• à porteur mobile : membranes échangeuses d’ions, liquides hauteur du palier de diffusion, qui est proportionnelle à la
ou solides à l’exclusion des membranes de verre. concentration de l’espèce réduite ou oxydée à l’électrode indica-
trice. Un étalonnage préalable en un point est effectué, dans les
Les caractéristiques de sensibilité, de sélectivité, de domaine mêmes conditions. Les valeurs de courant mesurées sont extrême-
d’utilisation de ces électrodes réalisées à partir de ces différents ment variables : elles dépendent notamment de la quantité
types de membranes sont rassemblées dans [28]. d’espèces électroactives, de la surface de l’électrode indicatrice...
Elles sont généralement comprises entre quelques picoampères et
quelques dizaines de milliampères.

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■ Types de capteurs
Ces capteurs permettent de mesurer des espèces oxydables ou
réductibles en solution, la sélectivité n’est liée qu’à la valeur de E A .
Les principales électrodes indicatrices utilisées sont : l’électrode à
goutte de mercure, les électrodes métalliques inattaquables
(platine, or...), les électrodes en carbone vitreux ou en graphite.
L’électrode à goutte de mercure est constituée d’un capillaire relié
à un réservoir de mercure. La structure des électrodes de platine,
or, carbone vitreux est généralement semblable à celle des élec-
trodes rédox (cf. figure 1).
Certains capteurs ampérométriques permettent de détecter la
teneur en oxygène dans un liquide ou dans un gaz (cf § 1.2.4). Les
électrodes enzymatiques présentées dans le paragraphe 3 sont
également basées sur la détection ampérométrique.

Figure 5 – Cellule de conductimétrie de laboratoire

1.1.3 Capteurs conductimétriques

■ Principe Les cellules de conductimétrie industrielles sont de formes et de

La conductance électrique G d’un corps, inverse de sa résistance, dimensions variées : cellules à électrodes annulaires concen-
est proportionnelle à la surface S de la section perpendiculaire à la triques, à électrodes colinéaires, à électrodes planes parallèles.
direction du courant et inversement proportionnelle à sa Elles sont généralement en acier inoxydable ou en carbone. Dans
longueur  : les milieux très agressifs, on est amené à utiliser des cellules ayant
γS des électrodes en or, platine ou palladium. Selon le type d’utilisa-
G = --------- (16) tion, on emploie des cellules à circulation, des cellules vissables

sur canalisation, des cellules plongeantes pour mesures sur cuves.
avec G conductance (S), Les principaux fabricants d’électrodes sont présentés sur le
γ conductance spécifique ou conductivité, caractéristique tableau 1. (0)
du corps ; elle est exprimée en siemens par centimètre
lorsque la surface est donnée en cm2 et la longueur en
cm. Tableau 1 – Principaux fabricants de capteurs
La mesure de la conductance d’une solution électrolytique d’espèces ioniques
s’effectue en immergeant dans la solution une cellule de mesure
Fabricant Types d’électrodes
comportant deux électrodes dont la surface S et la distance  sont
déterminées par étalonnage dans une solution de conductivité Orion Référence
connue. En première approximation, pour des solutions de Verre
concentration faible, la conductivité est proportionnelle à la À membrane
concentration de l’électrolyte. Ces capteurs conductimétriques
détectent toutes les espèces ioniques présentées dans la solution, Solea-Tacussel Référence
leur utilisation demande de bien connaître la composition ionique (Radiometer Analytical) Verre
des solutions puisqu’ils n’ont aucune sélectivité intrinsèque. À membrane
La mesure de conductance ne peut être effectuée en courant Métalliques (redox)
continu, car il se produirait alors une polarisation des électrodes et Ingold Référence
une électrolyse entraînant une variation de résistance. Il est donc Verre
indispensable de réaliser la mesure en courant alternatif de Métalliques (redox)
fréquence suffisamment élevée pour éliminer ces effets perturba-
teurs. Pour les solutions faiblement conductrices, dont la Schott Référence
conductivité est inférieure à quelques microsiemens, on emploie de Verre
préférence des fréquences de mesure faibles : 50 Hz par exemple. Métalliques (redox)
Pour les solutions fortement conductrices, dont la conductivité est Prolabo Référence
supérieure à quelques millisiemens, des fréquences plus élevées Verre
sont employées : 10 kHz. Pour les solutions de conductivité Métalliques (redox)
moyenne, on utilise des fréquences comprises entre 102 et 103 Hz.
La conductivité d’un électrolyte dépend de sa température ;
lorsqu’on désire comparer, par mesure directe, les valeurs de
conductivité de différentes solutions, en vue de déterminer leurs 1.2 Capteurs de composition gazeuse
concentrations, il faut effectuer toutes les mesures à la même
température.
■ Différents types de capteurs 1.2.1 Capteurs à variation de résistance
Les cellules de conductimétrie de laboratoire sont constituées
d’un corps en verre portant deux plaques ou deux anneaux de pla- ■ Capteurs catalytiques (pellistors)
tine platiné (figure 5). L’emploi de platine « platiné » (c’est-à-dire Ces capteurs sont destinés à la détection des gaz combustibles
de platine lisse sur lequel a été effectué par électrolyse un dépôt en faible quantité dans l’air, ces gaz étant oxydés au contact d’un
de dendrites de platine formant une surface développée poreuse) catalyseur de combustion chauffé. Ils sont donc essentiellement
a pour but d’éviter les phénomènes de polarisation électrolytique utilisés pour des opérations de surveillance, d’alerte.
qui se produiraient sur une surface régulière. On les utilise en labo- Le principe de ces capteurs est présenté sur la figure 6. Un fil de
ratoire pour le suivi de réactions chimiques (neutralisations, préci- platine est noyé dans une pastille d’oxyde fritté (ThO2 – Al2O3)
pitations...).

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nombre d’applications étant donné sa grande sensibilité de détec-

tion et le grand nombre de gaz détectables (solvants, H2S, SO2 ,
alcanes, CO...). Le temps de réponse du capteur est compris entre
quelques secondes et quelques minutes. Le principal inconvénient
concerne la nécessité de réétalonnage fréquent du capteur. C’est un
capteur peu coûteux. Les principaux fabricants sont présentés dans
le tableau 2.

Figure 6 – Schéma d’un capteur catalytique de type pellistor

(taille : 1 mm) recouverte d’un catalyseur poreux de combustion,

généralement à base de platine ou de palladium. Le fil de platine
sert à la fois à maintenir, par effet Joule, le capteur à une tempé-
rature convenable (600 oC) et à mesurer (par son augmentation de
résistance ∆R ) l’élévation de température qui accompagne la
combustion. Figure 7 – Schéma d’un capteur à oxyde métallique semiconducteur
Ce capteur est simple dans sa conception, de petite taille, de (oxyde d’étain fritté)
faible coût ; la mesure est réalisée au pont de Wheatstone. Il
manque de sélectivité, sa sensibilité est relativement faible,
quelques pour-cent. La durée de vie de ce capteur est limitée par
l’empoisonnement du catalyseur. Les principaux fabricants euro-
péens de capteurs catalytiques sont présentés dans le tableau 2.
■ Capteurs à oxydes métalliques semiconducteurs (SnO2 , ZnO)
Dans un semiconducteur de type N, la conduction est assurée
par les électrons libres situés dans la bande de conduction. Leur
concentration est faible (1015 à 1018 cm – 3) et peut donc être facile-
ment modifiée par une influence électrique créant un champ de
drainage [7]. Si, pour de tels matériaux, des espèces chimiques
dotées de propriétés de donneur ou d’accepteur d’électrons sont
adsorbées en surface (H ou O 2– par exemple), cela induit, de façon
électrostatique, une modification de la distribution des électrons
sous la surface et donc de leur conductivité superficielle. Pour un
matériau de type N, une adsorption de donneur d’électrons (H par
exemple) augmente la conductivité superficielle.
Les matériaux utilisés, SnO2 et ZnO, sont des réfractaires chimi-
quement stables, semiconducteurs de type N. Ces matériaux sont
faits de grains frittés. La conduction est donc pelliculaire et inter-
granulaire, seule la surface des grains ayant sa conductivité modi-
fiée par l’adsorption des gaz. Dans ZnO, les lacunes d’oxygène
(sub-stœchiométrie) sont des donneurs d’électrons, de même que
dans SnO2 .
La chimie des gaz réducteurs au contact de la surface chauffée
est d’une grande complexité. À la surface de SnO2 , les réactions
avec le méthane sont les suivantes :
à faible concentration CH4 (gaz) → CH3 (adsorbé) + H (adsorbé) (17)
Le principe de ce capteur à base de SnO2 (type « Figaro ») est pré-
senté sur la figure 7. La réponse de ce capteur en conductance G
β
est proportionnelle à P r , Pr étant la pression partielle du gaz
réducteur ; elle dépend de la température de fonctionnement et de
la nature de l’espèce gazeuse. La réponse de ce type de capteur en
présence de quelques ppm de vapeur de benzène et d’alcool éthy-
lique est présentée sur la figure 8. Le choix judicieux de la tempé-
rature de fonctionnement du capteur permettra donc de privilégier
la sensibilité vis-à-vis d’un gaz. La zone de réponse du capteur
Figure 8 – Courbes de réponse d’un capteur à oxyde métallique
dépend de certains prétraitements de la surface du matériau
semiconducteur (SnO2 ) (Doc. Coreci)
semiconducteur [7]. Il en résulte qu’une détection sélective est obte-
nue dans certains cas. Ce capteur peut être utilisé dans un grand (0)

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Tableau 2 – Principaux fabricants de capteurs de composition gazeuse

Type de capteur de gaz Applications Fabricants
Capteurs catalytiques Surveillance, alerte EEV, Oldham, Icare, Draeger
Capteurs zircone Dosage de l’oxygène en milieu difficile City Technology, MST, Compur Oldham, Neotronics,
Draeger
Capteurs à semiconducteur Dosage de nombreux gaz (solvants, H2S, SO2 , Figaro, New cosmos, Coreci, Microsens
alcanes, CO...)
Électrodes à CO2 , à NH3 Analyse des eaux, gaz dans le sang Orion
Électrodes de Clark (O2 ) Analyse des eaux, du sang Orion

■ Capteurs à couches minces semiconductrices 1.2.3 Capteurs potentiométriques

Les propriétés semiconductrices de couches minces de phtalo-
cyanine ont été utilisées pour la détection de gaz tels que NOx , ■ Capteur zircone (ZrO2 )
SO2 , O3 et les halogènes. Ces couches minces fonctionnent à Cette céramique, conducteur ionique par les ions O 2–, est large-
basse température (150 oC), sont insensibles aux hydrocarbures, ment utilisée comme capteur d’oxygène en milieu difficile. La
peuvent être préparées avec une bonne pureté par des techniques zircone est additionnée de 5 à 15 % d’oxyde alcalino-terreux (CaO :
de dépôt sous vide. Des capteurs à base de phtalocyanine de Calcium Oxide Stabilized Zirconia (CSZ)) ou de terres rares (Y2O3 :
cuivre sont développés par la société ETR GmbH. Yttrium Oxide Stabilized Zirconia (YSZ)). Dans les solutions solides
ainsi obtenues, les cations plurivalents créent des lacunes néga-
tives tout en préservant la neutralité électrique. Cela favorise la
1.2.2 Capteurs capacitifs mobilité des ions O2– à température élevée (> 500 oC).
■ Hygromètre capacitif à diélectrique polymère Dans un capteur zircone, une membrane de ce matériau est uti-
lisée pour séparer le milieu de mesure d’un milieu de référence
Une couche polymère diélectrique, d’une épaisseur de quelques (généralement l’air ou un mélange métal-oxyde métallique). Les
micromètres, absorbe sélectivement des molécules d’eau de l’air deux faces de cette membrane sont recouvertes d’une couche de
ambiant, de façon à se mettre en équilibre avec cet air. Cela pro- métal noble poreux (Pt) qui constitue une électrode potentio-
voque une modification de la constante diélectrique de cette métrique. Le principe de capteur est le suivant :
couche, d’où une variation de la capacité du condensateur utilisant
ce diélectrique.
O 2 , Pt ZrO 2 (stabilité) Pt, O 2
L’expérience montre que, dans ce cas, la variation de capacité en
fonction de l’humidité relative est assez bien représentée par une mesure membrane référence
2–
loi linéaire, et que le coefficient de proportionnalité dépend peu de Pression pmes O p ref
la température. La structure présentée sur la figure 9 est celle d’un
capteur industrialisé par la société Coreci. Une couche mince de Les potentiels électrochimiques des électrons µ ˜ e à l’interface
polymère est déposée sur une première électrode en tantale. Une électrode / zircone sont déterminés par l’équilibre entre les élec-
seconde électrode en chrome, de structure poreuse, est déposée trons du platine, des ions oxyde de l’électrolyte et de l’oxygène
en couche mince sur le polymère diélectrique. dans la phase gazeuse :
L’étendue de mesure de ces capteurs en humidité va de 0 à 1/2 O2 (gaz) + 2 e – → O 2 – (dans ZrO2) (18)
100 % pour une gamme de température de – 40 à + 100 oC. La pré-
cision de ces capteurs est de l’ordre de ± 2 à ± 3 % suivant la zone ce qui relie µ˜ e (Pt) au potentiel chimique µ O2 de l’oxygène dans
de fonctionnement et suivant les appareils. Le temps de réponse la phase gazeuse selon la relation :
pour atteindre 90 % de la valeur finale de l’humidité lorsque
l’humidité relative varie de 50 à 90 % (ou inversement) se situe aux 1 1
µ̃ e ( Pt ) = – --- µ O2 + --- µ˜ O2 – (dans ZrO2 ) (19)
alentours de 1 à 2 s. 4 2
Le potentiel électrochimique des ions oxygène, µ̃ O2 – (dans ZrO2 ),
est constant à travers l’électrolyte pour un courant nul et, par
conséquent, il a la même valeur aux deux électrodes.
Reprenant l’expression de µ O2 :
p ref
µ O2 = µ 0O 2 + RT ln --------- (20)
p0

on obtient la fem E correspondant à la différence des potentiels

électrochimiques des électrons aux deux électrodes :

1 RT p mes
E = – ---- ( µ˜ ″e – µ˜ e′ ) = -------- ln ------------- (21)
F 4F p ref

Si p ref à l’électrode de référence est maintenu constant, la fem à

température constante est directement reliée à p mes .
Cette sonde est utilisée pour les mesures d’oxygène dans le
Figure 9 – Hygromètre capacitif à diélectrique polymère (Doc. Coreci) contrôle de la combustion des chaudières industrielles, des atmos-

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phères de traitement thermique en métallurgie, des atmosphères uti-

lisées en conservation et maturation des fruits et légumes... Une
autre application très importante est la régulation des conditions de
combustion des moteurs automobiles (sonde λ) pour diminuer les
émanations de gaz toxiques tels que les hydrocarbures, NOx ,
CO [30].
Le capteur à oxygène le plus couramment utilisé (figure 10) est
constitué d’une membrane à fond plat de zircone stabilisée. L’air est
en contact avec l’électrode externe, obtenue par dépôt d’une laque
de platine et le gaz analysé est amené au voisinage de l’électrode
de mesure à l’aide d’un capillaire d’alumine. La température de
l’électrode de mesure est déterminée à l’aide d’un couple thermo-
électrique Pt-10 % Rh / Pt à 1 oC près. La fem du capteur est mesurée Figure 11 – Électrode à zircone miniature avec référence Pd-PdO,
à l’aide des fils de platine, à savoir le fil de platine du couple thermo- pour la détection de l’oxygène (d’après [9])
électrique et le fil de platine, connecté à l’électrode de référence.
Dans un autre modèle (figure 11 ), la cellule comporte un
compartiment de référence étanche. La pression de référence y est
fixée par un mélange métal-oxyde métallique (Pd-PdO ou Co-CoO).
Ce type de capteur présente de nombreux avantages :
— miniaturisation possible ;
— bien meilleure résistance aux chocs thermiques ;
— chauffage à l’aide d’un four de faible consommation ;
— bonne résistance aux fortes pressions ;
— uniformité de la température de cellule ;
— mesures in situ possibles ;
— le système de référence Pd-PdO constitue un des meilleurs
compromis pour les capteurs mesurant des pressions partielles
d’oxygène entre 106 et 0,1 Pa et fonctionnant entre 500 et 800 oC.
Dans le capteur utilisé pour le contrôle des moteurs à explosion,
l’air est utilisé comme référence. Le capteur est porté à la tempé-
rature de fonctionnement par les gaz d’échappement. L’électrode
de mesure est protégée par un dépôt de type spinelle et par un
cache métallique. Le temps de réponse du capteur est inférieur à Figure 12 – Schéma du principe de l’électrode à CO2
200 ms. Sa durée de vie est supérieure à 80 000 km. (électrode de Séveringhaus)

Les principaux fabricants de capteurs zircone sont présentés

dans le tableau 2. Différents capteurs potentiométriques à électro-
lyte solide ont été étudiés pour le dosage d’autres gaz mais ils sont
encore à l’état de développement [9].

Figure 13 – Capteur ampérométrique de type électrode de Clark

pour la détection de l’oxygène

■ Capteurs à gaz dissous utilisant les électrodes sélectives

Ces capteurs sont basés sur le principe suivant : le gaz diffuse à
travers une membrane dans le compartiment contenant une solu-
tion saline dont l’ionicité est modifiée par ce gaz.
Le principe de l’électrode à CO2 (électrode de Séveringhaus) est
présenté sur la figure 12. Elle est construite autour de l’électrode
Figure 10 – Schéma d’une électrode à zircone avec référence air, à membrane de verre pour la détection du pH. Entre la membrane
pour la détection de l’oxygène (d’après [9]) de verre et la membrane de diffusion gazeuse en Téflon est empri-
sonné un gel renfermant une solution de carbonate acide de
sodium dont le pH est modifié en présence de CO2 . On peut
détecter jusqu’à 10–5 M de CO2 dissous. Cette électrode est utilisée
pour l’analyse des eaux et la mesure des gaz dans le sang.

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Une électrode à ammoniac a été conçue sur le même principe : ■ La gravure est réalisée soit par un procédé chimique humide, soit
le gel renferme alors une solution de chlorure d’ammonium dont par un procédé plasma. Des procédés d’attaque isotropique et
le pH varie en présence d’ammoniac. On peut détecter jusqu’à anisotropique sont connus.
10–6 M d’ammoniac dissous. Ces deux types d’électrodes sont
fabriquées en particulier par la société Orion. ■ La connectique est l’assemblage d’une pièce de silicium avec du
silicium, du verre et des métaux pour la prise de contact électrique.
D’autres électrodes à gaz dissous ont été conçues utilisant soit
l’électrode de verre (SO2 , NOx ), soit une électrode à sulfure (H2S), Un procédé simple pour obtenir un canal en silicium est pré-
soit une électrode à fluorure (HF). senté sur la figure 14. Il est évident que la forme à deux dimen-
sions du tracé du canal est obtenue par le photomasquage, mais
elle n’affecte pas la complexité du procédé. Dès qu’une variation
en profondeur (troisième dimension) ou de matériau (par exemple
1.2.4 Capteurs ampérométriques dépôt d’une couche de métal) est nécessaire, des procédés supplé-
mentaires doivent être ajoutés à la séquence.
Parmi les capteurs ampérométriques permettant la mesure d’un
gaz dissous dans un liquide, l’électrode la plus utilisée est l’élec-
trode à oxygène (électrode de Clark) (figure 13). Elle est constituée
de deux électrodes polarisables : une cathode de platine et une
anode d’argent, recouverte de chlorure d’argent, plongée dans un
gel contenant une solution électrolytique de chlorure de
potassium ; ce système est séparé du milieu à étudier par une fine
membrane perméable à l’oxygène. Un potentiel de 650 mV est
appliqué aux électrodes. L’oxygène diffusant à travers la mem-
brane est réduit à la cathode selon la réaction :

O 2 + 2H + + 2e – → H2O2 (22)
Comme il a été décrit au paragraphe 1.1.2, dans les conditions
de mesure, le courant dû à la réaction électrochimique est direc-
tement proportionnel à la quantité d’oxygène réduit et, par
conséquent, à la teneur en oxygène du milieu étudié. Le courant
mesuré peut être soit affiché directement, soit exprimé en parties
par million d’oxygène gazeux ou millimètres de pression partielle
d’oxygène.
Les principaux fabricants de capteurs de gaz sont rassemblés
dans le tableau 2.

2. Microcapteurs chimiques

2.1 Microtechnologies

Avec ses origines dans l’industrie microélectronique, la fabrica-

tion de réseaux de motifs en couches par photolithographie, sur la
surface de tranches de silicium, est devenue un procédé standard
de haute technologie bien connu. En plus de ses qualités de semi-
conducteur, le silicium monocristallin est abondant et peu cher, il
peut être produit et transformé dans des conditions contrôlées, a
d’excellentes propriétés mécaniques et chimiques (limite d’élasti-
cité meilleure que celle de l’acier, module d’Young à peu près iden-
tique, dureté de Knoop comparable à celle du quartz, inertie
chimique comparable au verre) et il est hautement adapté à la
miniaturisation (en-dessous du micromètre).
Le traitement de surface, pour obtenir des structures méca-
niques, est appelé le micro-usinage et les différentes étapes de
fabrication sont définies ci-après.
■ Les procédés de dépôt de films minces qui comprennent le spin-
coating, l’oxydation thermique, le dépôt physique (PVD) et chimique
(CVD) en phase vapeur, le CVD basse pression, le CVD assisté par
plasma, la pulvérisation (sputtering ), etc. Une grande variété de
métaux, d’oxydes inorganiques, de polymères et d’autres
composés peuvent être déposés. Figure 14 – Étapes d’un procédé standard de micro-usinage
utilisant un masque (d’après [26])
■ La photolithographie peut être réalisée en utilisant de la lumière
visible pour définir des structures de taille supérieure au micro-
mètre. Pour des applications spéciales telles que la définition de
motifs submicroniques, des photolithographies par UV, rayons X et
faisceaux d’électrons sont utilisées.

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Comparé à l’usinage conventionnel, les procédés de photolitho-

graphie permettent d’obtenir des productions de masse à bon mar-
ché de microstructures compliquées. Des centaines voire des
milliers de structures sont fabriquées dans le même lot. La préci-
sion et la reproductibilité des éléments de la structure sont excel-
lentes. Bien que le silicium permette une intégration monolithique
de l’électronique, des capteurs et des actionneurs, le micro-usinage
doit être fait en conditions de salle blanche et nécessite une instru-
mentation de haute technologie, l’ensemble représentant un inves-
tissement financier important.
Pour fabriquer des microcapteurs chimiques grâce à la technolo-
gie silicium, deux voies sont actuellement choisies :
— celle de la simple diminution de taille des capteurs existants
[36] ;
— celle de la fonctionnalisation de microdispositifs [37] permet-
tant de traduire les modifications chimiques subies par l’élément
de reconnaissance, le récepteur, en un effet physique qui est tou-
jours en dernier ressort un signal électrique. Le dispositif utilisé
s’appelle un transducteur. On obtient alors des microcapteurs dits
extrinsèques. Figure 16 – Microcapteur ampérométrique pour le dosage
Nota : il est rare que le mode d’utilisation des microcapteurs exige un niveau de minia- du chlore libre (doc. Lyonnaise des Eaux-Sagep-Microsens)
turisation comparable à celui des composants des circuits intégrés actuels. Les tech-
niques de miniaturisation ne sont pas ici poussées à l’extrême.

2.3 Microcapteurs extrinsèques

2.2 Capteurs miniaturisés
Les différents types de transducteurs sont soit des transistors à
Un premier exemple est le microcapteur à semiconducteur SnO2 effet de champ qui sont la base de toute la gamme de capteurs
(figure 15) pour la détection de gaz redox tels que CO. On utilise, intégrés de type ChemFET (ISFET, GasFET, ENFET), soit des trans-
pour le fabriquer, la gravure anisotropique du silicium et le dépôt ducteurs piezoélectriques ou à onde acoustique de surface, soit
successif de couches (résistance de chauffage, isolant, couche sen- des transducteurs optiques.
sible SnO2 ). La miniaturisation conduit en particulier à une dimi-
nution de la consommation d’énergie pour le chauffage de la
couche sensible. 2.3.1 Capteurs intégrés de type ChemFET
Un deuxième exemple est le capteur ampérométrique de type (ISFET, GasFET, ENFET)
électrode de Clark. La figure 16 présente un microcapteur ampéro-
métrique permettant le dosage du chlore en continu dans le circuit Le capteur ISFET (Ion Sensitive Field Effect Transistor ) est issu
de distribution d’eau. L’électrode de mesure et l’électrode de réfé- du MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effet Transistor ) qui
rence sont constituées de dépôts minces sur le silicium oxydé. est l’élément le plus important des circuits intégrés. C’est Bergveld
L’électrode de travail est recouverte d’une membrane polymérique qui, en 1970, a montré la sensibilité d’un MOSFET sans grille
réalisée par photolithographie. Le microcapteur est muni d’une métallique aux ions H +, lorsque l’isolant silice est directement en
électrode de référence intégrée Ag / AgCl et d’une contre-électrode contact avec la solution.
en Pt. La sensibilité de détection de HClO est de 0,1 nA / 0,1 mg / L.
La limite de détection est 1 ppb, le temps de réponse est inférieur ■ Principes de fonctionnement
à 1 min et la durée de vie supérieure à 3 mois en usage continu. ● MOSFET

On rappelle ici la structure, le principe de fonctionnement du tran-

sistor MOSFET (figure 17). Dans un substrat silicium de dopage P
(cas d’un MOSFET canal N) sont implantées deux zones de
dopage N formant le drain et la source et auxquelles sont appli-
quées des électrodes métalliques. La zone centrale située entre
drain et source est le canal ; une fine couche isolante (SiO2) sur-
monte le canal et la métallisation qu’elle porte constitue l’électrode
grille (gate ) qui est l’électrode de contrôle de la conductivité du
canal.
Cette structure est normalement bloquée : aucun courant ne
peut traverser le canal entre source et drain car, quelle que soit la
différence potentiel appliquée à ces deux zones, au moins l’une
des jonctions P-N est polarisée en inverse. L’application entre grille
et source d’une tension V G positive tend à repousser les trous
majoritaires et à attirer, dans la zone située sous la grille, des élec-
trons porteurs minoritaires du substrat P. Lorsque V G > V T , (V T
tension de seuil), la densité d’électrons devient supérieure à la den-
sité des trous et un canal de type N se forme, assurant la continuité
Figure 15 – Schéma d’un microcapteur à semiconducteur SnO2 entre drain et source : la circulation d’un courant I D entre source et
microusiné sur substrat silicium (doc. Microsens) drain devient possible. Le courant I D est fonction des tensions V G
et V D (entre drain et source) : pour V D < V G – V T , on est en régime
linéaire et pour V D > V G – V T , on est en régime de saturation.

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Figure 18 – Vue schématique d’un ISFET

Figure 17 – Coupe schématique du transistor type MOSFET

● GasFET
L’expression de la tension de seuil V T en fonction des différentes
caractéristiques des matériaux constituant le composant est la
suivante :
V T = (W S )m – (W S )sc + Q f /C i + Q S /C i – 2ψ b (23)
avec (W S )m énergie de sortie du métal,
(W S )sc énergie de sortie du semiconducteur,
Qf charges fixes dans l’isolant,
Ci capacité de l’isolant,
QS charges en surface du semiconducteur,
ψb différence entre le niveau de Fermi du silicium dopé
et son niveau intrinsèque.
Le capteur de gaz de type GasFET est basé sur la variation du
travail de sortie du métal de grille en contact avec un gaz. C’est le
principe de fonctionnement du capteur d’hydrogène mis au point
par Lundström [7] dont le métal de grille est le palladium. Ce cap-
teur est commercialisé par la société suédoise Sensistor AB en tant
que détecteur de fuites d’hydrogène sur des installations
industrielles.
● ISFET [6]
La figure 18 représente la structure d’un ISFET. La métallisation
du MOSFET est remplacée par une membrane chimiquement sen- Figure 19 – Variation du courant entre source et drain I D
sible, en contact avec la solution à étudier. La tension de seuil V T en fonction de la tension de grille V G pour un ISFET pH
devient dans ce cas une fonction des caractéristiques chimiques de à membrane alumine
la solution :
V T = V T0 + ψ0 (24)
où V T0 ne dépend que des caractéristiques du composant ISFET et La seconde partie du procédé de fabrication concerne les étapes
ψ0 est la différence de potentiel entre la membrane sensible et la situées après que la tranche de silicium ait été découpée en
solution électrolytique. composants individuels ; il s’agit du dépôt de la membrane sensible,
du montage de l’ISFET sur le support, des connexions électriques,
Étant donné l’équilibre qui existe entre l’ion à doser en solution de l’encapsulation du capteur.
et sa forme chimique dans la membrane sensible, ψ 0 est fonction
● Circuit de mesure de l’ISFET
de l’activité de l’ion à doser. La figure 19 présente la variation de
ID dans le cas d’un ISFET pH à membrane alumine. Dans la méthode de mesure la plus utilisée, le courant de drain
est maintenu constant et la tension V G est asservie ; la variation de
■ Techniques mises en œuvre la tension V G est directement égale à celle du potentiel interfacial
● Fabrication de l’ISFET ψ0 . La miniaturisation de l’électrode de référence a fait l’objet de
Le procédé de fabrication des ISFET peut être divisé en deux par- travaux particuliers ; plusieurs solutions ont été proposées : fil
ties. La première concerne la fabrication des composants dans la d’argent-chlorure d’argent, électrode de référence intégrée, mesures
tranche de silicium (typiquement 50 à 75 mm de diamètre) par la différentielles avec un ISFET de référence et une pseudo-référence
technologie microélectronique. Les principales étapes de fabrica- métallique.
tion sont les suivantes : réalisation du caisson d’isolement, implan-
tation des zones de source et de drain, formation de l’oxyde de
grille, prises de contact drain, source, substrat.

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■ Exemples de réalisation f q étant la fréquence propre de résonance de la lame de quartz, ρ q

● Détection des ions H
+ sa masse volumique, v q la vitesse de cisaillement de l’onde méca-
nique et f c la fréquence de résonance en présence du dépôt. Cette
Les membranes sensibles au pH sont des couches minces formule peut être présentée sous la forme :
d’oxydes SiO2 , Al2O3 , Ta2O5 ou de nitrures tels que Si3N4 . SiO2
est la première membrane sensible au pH, mais elle a été abandon- df = – Cf mf (26)
née pour sa réponse subnernstienne et sa faible durée de vie. Les
autres membranes ont toutes des réponses nernstiennes et des df étant la variation de fréquence de résonance induite par la pré-
durées de vie supérieures à l’année (pHmètre Bioblock muni d’un sence du dépôt et C f la constante d’étalonnage qui peut être déter-
ISFET pH à membrane nitrure de silicium). minée par un étalonnage préalable.
● Détection des autres ions Pour un quartz α taillé, la masse volumique est de 2 650 kg · m–3 et la
vitesse de l’onde mécanique de 3 340 m · s–1. La fréquence de réso-
Les membranes sont de natures variées :
nance étant de 5 MHz, la constante d’étalonnage est C f = 5,
— verres spéciaux (K+, Na+) ; 65 MHz · m 2 · kg –1 . Une variation de fréquence de 1 Hz permet de
— composés polycristallins (Ag+, F –, Br –, I –) ; détecter la présence d’un dépôt de masse m f = 17,7 ng · cm–2. La dyna-
— membranes polymériques avec groupements ionophores mique de mesure permet de détecter jusqu’à 20 µg · cm–2.
–
inclus (K+, Ca2+, NO 3 ) ;
— membranes monomoléculaires greffées (Ag +, Ca 2+, NO 3 ).
– La grande application de cette microbalance à quartz (QCM
Quartz Crystal Microbalance ) est la détermination des épaisseurs
Pour les trois premiers types de membranes, la réponse est de dépôt dans les techniques de dépôt sous vide. L’application
nernstienne, pour le dernier type, la réponse est subnerstienne, il microcapteur chimique et liée au dépôt d’un matériau, sur une ou
n’existe pas d’ISFET commercialisé pour ces types d’ions. les deux électrodes, ayant des propriétés de reconnaissance spéci-
● Détection d’espèces moléculaires [9] fique et dans lequel l’espèce chimique vient s’absorber. Les maté-
Des réactions enzymatiques catalysées par des enzymes de type riaux spécifiques pour la reconnaissance des gaz sont en général
hydrolase ou oxydase consomment ou produisent des protons. Il ceux qui sont utilisés en chromatographie en phase gazeuse [4].
est donc possible de détecter les substances (substrats) ainsi Les gaz détectés et les matériaux spécifiques correspondants sont
décomposées par la variation de pH induite à la surface de l’ISFET présentés dans le tableau 3. (0)
sur laquelle est fixée l’enzyme spécifique. L’ISFET est alors appelé
ENFET (Enzymatic Field Effect Transistor ). Plusieurs espèces
Tableau 3 – Correspondance entre le gaz détecté
moléculaires peuvent être détectées par ce type de capteur : urée,
glucose, pesticides organophosphorés, mais aucun produit n’est et le matériau spécifique déposé en couche mince
commercialisé. sur la microbalance à quartz
Gaz Matériau spécifique
2.3.2 Transducteurs piézoélectriques H2 O Gélatine

Le phénomène de piézoélectricité se manifeste par l’apparition H2 S WO3 , Pb, Ag, Cu(CH3COO)2

d’une polarisation électrique dans certains matériaux diélectriques Hg Au
anisotropes (absence de centre de symétrie dans la maille cristalline)
lorsqu’ils sont déformés sous l’effet d’une force de direction Halothane (F3C – C CIBrH) Huile silicone
convenable. Si l’on constitue un condensateur en déposant une
paire d’armatures sur les faces opposées d’une lame piézo-
électrique, il apparaît, sous l’influence d’une force, des charges de Ces systèmes présentent une bonne sensibilité de détection (de
signes contraires sur les armatures opposées et donc une différence l’ordre de quelques ppm avec les hydrocarbures halogénés), leurs
de potentiel, proportionnelle à la force appliquée. Un tel dispositif réponses sont linéaires, leur mise en œuvre est simple et ils sont peu
permet la mesure des forces et de toute grandeur physique sus- chers. Ils ont cependant une sélectivité imparfaite et une dynamique
ceptible de s’y ramener : pression, accélération, vibrations. L’effet de mesure un peu limitée. Ils sont sensibles à la température ; des
piézoélectrique est réversible : soumis à un champ électrique, de systèmes différentiels sont utilisés pour s’affranchir de cet effet.
direction convenable, un matériau piézoélectrique se déforme ; il
peut en particulier être excité à sa résonance mécanique, qui est La fréquence de résonance de ces systèmes est influencée par
aiguë. Cette propriété trouve application dans des capteurs- l’effet de la viscosité à l’interface quartz-liquide, ce qui les rend dif-
piézoélectriques utilisant le quartz dont la résonance se produit à ficilement applicables pour les détections en milieu liquide. Des
une fréquence sensible à différentes grandeurs physiques (tempé- études sont en cours pour étendre ce domaine d’application.
rature, pression) qui peuvent être mesurées avec le capteur ainsi ■ Transducteurs à onde acoustique de surface
constitué.
Ces transducteurs sont basés sur la propagation des ondes
■ Microbalance à quartz acoustiques de surface (SAW Surface Acoustic Wave ) de type
La microbalance à quartz est constituée d’une lame de quartz ondes de Rayleigh. Ces ondes sont produites et détectées sur un
taillée sous l’angle cristallographique approprié (taille AT) ; sur les matériau piézoélectrique. L’absorption sélective d’un gaz dans un
deux faces de cette lame sont déposées des électrodes circulaires matériau spécifique déposé sur la surface du cristal modifie
en or entre lesquelles est appliquée une tension alternative. La fré- la masse et la conductivité superficielle de cette couche et, par
quence de résonance du quartz va être modifiée par le dépôt d’une là-même, les caractéristiques de propagation des ondes
espèce chimique sur une des électrodes, le décalage relatif de la acoustiques superficielles.
résonance en fréquence dépend de la masse de ce dépôt suivant Un exemple de dispositif est représenté sur la figure 20. Il
la loi de Sauerbrey ; la masse du film par unité de surface, mf , comprend un émetteur et un récepteur d’ondes acoustiques de
s’écrit : surface situés de part et d’autre d’une couche de matériau spécifi-
( f c – f q ) ρq vq que. La fréquence d’oscillation est de plusieurs centaines de MHz.
m f = – ------------------------------------
2
- (25) Pour une résolution en fréquence de 1 Hz, la masse limite détectée
2f q est de 80 pg · cm–2.
Dans les systèmes de détection, on utilise des structures de type
différentiel permettant d’éliminer certains effets interférents dont la

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Une fibre optique a un cœur en silice de diamètre pouvant aller

de 5 µm à quelques dizaines de µm, d’indice n 1 , entouré d’une
gaine d’indice n 2 inférieur à n 1 , le milieu ambiant ayant un
indice n 0 . Les conditions de guidage de la lumière dans la fibre
sont définies ainsi :
2
n 02 sin θ 0 = n 12 – n 2 2 (27)

où θ 0 est l’ouverture numérique de la fibre ou angle d’injection

limite du rayon incident. À l’interface cœur-gaine, une faible partie
de la puissance lumineuse est perdue dans la gaine, c’est l’onde
évanescente. Cette puissance perdue dépend en particulier de
l’indice de la gaine.
La figure 21 présente les deux principaux schémas de capteurs
chimiques ou biochimiques à fibre optique.
Sur la figure 21a, le matériau spécifique se trouve au bout des
fibres, c’est en général une substance dont l’absorption varie en
présence de l’espèce à détecter ou qui présente des propriétés de
fluorescence ou de phosphorescence qui sont modifiées en pré-
sence de l’espèce à détecter. Une fibre amène la lumière excita-
Figure 20 – Schéma de principe d’un capteur à ondes acoustiques trice, une seconde fibre transporte le signal émis par le matériau
de surface avec transmetteur T, récepteur R et la couche spécifique à une longueur d’onde qui peut être celle de la lumière
de matériau spécifique déposée sur la ligne à retard (d’après [4]) excitatrice (absorption) ou qui peut être différente (fluorescence,
phosphorescence). Ce type de capteur est appelé opt(r)ode.
L’optrode pour la détection de pH est constituée ainsi : un indi-
cateur de pH est immobilisé au bout des fibres, il entre dans l’équi-
libre acido-basique suivant :

HA ↔ H + + A – (28)
dans lequel soit l’espèce HA, soit l’espèce A – peuvent être détec-
tées optiquement (exemple : l’anion p-nitrophénolate absorbe à
404 nm). Ce type de capteur a en général une dynamique de deux
unités de pH, ce qui limite son application. Il est sensible à
certaines interférences (force ionique) mais a l’avantage de ne pas
nécessiter d’optrode de référence comme pour une détection élec-
trochimique. Un capteur optique de type Severinghaus a été déve-
loppé pour le dosage du CO2 dissous et de nombreux capteurs
enzymatiques utilisant des phénomènes de fluorescence ont été
développés mais ne sont pas encore commercialisés.
Sur la figure 21b, le matériau spécifique constitue la gaine de la
fibre ; il s’agit en général d’un polymère ayant des propriétés
d’absorption spécifique pour le gaz à détecter. Le gaz absorbé modi-
fie l’indice optique du matériau spécifique et la puissance lumineuse
Figure 21 – Principe de deux types de capteurs chimiques transmise par la fibre. Cette configuration se prête bien à l’intégra-
ou biochimiques à fibre optique tion dans un système interférentiel soit par un montage avec fibres,
soit par intégration sur verre ou silicium (interféromètre de
Mach-Zehnder). Ce système différentiel permet de s’affranchir de
température. La sélectivité de détection dépend de la nature des nombreuses interférences dont la température. Le matériau spéci-
matériaux spécifiques, on utilise les mêmes dépôts que pour les fique servant de gaine optique doit être choisi avec certaines pro-
microbalances à quartz. Pour pallier le manque de sélectivité abso- priétés optiques (transparence, indice optique dans une certaine
lue de ce type de capteur, on réalise des réseaux comprenant un gamme) et des propriétés de reconnaissance moléculaire (maté-
grand nombre de ces capteurs, chacun d’eux étant recouvert d’un riaux pour la chromatographie en phase gazeuse). De nombreux
dépôt de matériau différent. Après une détermination des caracté- systèmes sont en cours d’étude en particulier pour la détection des
ristiques de réponse de chaque capteur dans des gaz purs, on peut hydrocarbures, des hydrocarbures halogénés et pour la détection
réaliser l’analyse complète de mélanges de gaz [23]. Aucun capteur de biomolécules de type antigènes.
fondé sur ce principe n’est pour l’instant commercialisé.

2.3.3 Transducteurs optiques 3. Biocapteurs

Ils utilisent des fibres optiques conçues initialement pour les 3.1 Définition et contraintes
réseaux de télécommunications ou des guides optiques intégrés [8].
Dans ce type de capteur, seuls la source et le détecteur sont Le développement des biocapteurs contrairement à celui des cap-
alimentés électriquement, c’est la lumière qui est modifiée par teurs chimiques est un phénomène récent et qui, durant ces quinze
l’espèce chimique de reconnaissance. On fonde de grands espoirs dernières années, a suscité de très nombreux espoirs d’application
dans ce type de capteur pour la détection déportée dans des en particulier pour les biotechnologies et le biomédical. Récem-
endroits dangereux (explosifs, radioactifs...), ainsi que dans des ment, une revue « Biosensors & Bioelectronics » a vu le jour et a
endroits avec de fortes perturbations électromagnétiques. été suivie par les congrès réguliers Biosensors. Si l’intense activité
de recherche n’induit que peu de réalisations commerciales, c’est

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que les contraintes de la fonctionnalisation d’un transducteur par Si un tel couple est choisi pour la conception d’un biocapteur, ce
une biomolécule spécifique sont sévères : sont les caractéristiques de l’interaction ligand-substance reconnue
— adaptation à la biomolécule de reconnaissance ; qui vont conditionner sa réversibilité, sa sélectivité et sa sensibilité.
— adaptation au transducteur ; Suivant la nature de la substance à doser, un ligand sera immobi-
— adaptation au milieu à tester ; lisé sur un transducteur approprié.
— adaptation à un procédé industriel de fabrication.
■ Dans le cas des biocapteurs d’affinité, cette interaction conduit à
Dans ce qui suit, nous ne traiterons que des dispositifs incluant l’équilibre :
une biomolécule de reconnaissance, bien que certains capteurs k1
chimiques dont le principe a été décrit précédemment tels que cap- L+S ↔ LS (29)
teurs pH, O2 , CO2 et quelques électrodes sélectives (Ca 2+, Na +, K +) k–1
puissent être utilisés in vivo et, à ce titre, mériter l’appellation de
[ LS ] k1
biocapteurs. où : K = ------------------- = -------- (30)
Sur ce sujet (électrodes intravasculaires ou tissulaires), voir par [L] [S] k –1
exemple [31]. Des appareils spécifiques adaptés à l’application
avec L ligand, anticorps par exemple, fixé à la surface
clinique sont d’ailleurs commercialisés, ainsi le système GEM-6,
du transducteur,
Mallinckrodt Sensor Systems, permet l’analyse dans un flux san-
guin à partir d’échantillons régulièrement prélevés par des cathé- S substance reconnue, antigène par exemple,
ters placés sur le patient. k 1 et k –1 constantes de vitesse respectives des réactions
directe et inverse.
K représente la constante d’affinité caractéristique de cet équilibre
3.2 Biosélectivité entre la surface fonctionnalisée et l’analyte. Les valeurs de K s’éta-
gent de 10 3 L · mol –1 pour les lectines à 1015 L · mol –1 pour des sys-
Dans la nature, il existe un grand nombre de biomolécules douées tèmes avidinebiotine. Pour un nombre de sites ligands L donné, le
de fonction de reconnaissance ; ce sont d’ailleurs elles qui per- nombre de sites LS et, de ce fait, le signal fourni par le transducteur
mettent la survie d’une espèce en assurant les fonctions vitales d’un devraient être proportionnels à la concentration de l’analyte donc
organisme telles que métaboliser (grâce aux enzymes par exemple), la sensibilité sera d’autant plus grande que la valeur de K sera
se reproduire (grâce aux informations génétiques contenues dans grande. Une difficulté importante vient du fait que dans de nom-
l’ADN), traiter l’information et communiquer (grâce aux neurotrans- breux biocapteurs d’affinité (immunocapteurs par exemple), la dis-
metteurs, hormones et récepteurs), se protéger (grâce aux méca- sociation du complexe est très lente et nécessite une régénération
nismes de défense immunitaires, dans le système végétal ce sont de la surface. Dans le cas d’immunocapteurs, ce renouvellement de
sans doute les lectines qui jouent ce rôle en neutralisant bactéries la surface active effectué par des lavages acides successifs, dans des
et champignons). Ces mécanismes impliquent la présence de deux tampons glycine, induit une baisse progressive de l’activité impli-
molécules complémentaires, le tableau 4 donne quelques exemples quant des réétalonnages et en limite l’usage à long terme.
de ligands et de substances liées correspondantes, la reconnais-
sance ou, plutôt, le regroupement des parties complémentaires, qui ■ À l’opposé, les biocapteurs métaboliques présentent l’avantage
implique parfois une modification de conformation, est assuré par d’une autorégénération de leur structure de reconnaissance. Dans
des interactions de type électrostatique (Van der Walls ou liaisons ce cas, la substance reconnue, le substrat S est transformé en un
hydrogène). produit P détectable sur le transducteur (ici L représente l’enzyme
fixée à la surface du transducteur). Le cas le plus courant est celui de
Malgré la spécificité des interactions biologiques, il peut arriver
la formation d’un complexe intermédiaire LS qui se décompose
que la biomolécule reconnaisse une espèce différente de celle de
avec une vitesse correspondant à une constante cinétique k 2 ; à
l’analyte, c’est par exemple le cas de l’inhibition de la biocatalyse
l’équilibre, il se décompose aussi vite qu’il se forme suivant la théo-
par des « toxiques » à très faible dose, cela peut être mis à profit
rie de Michaelis-Menten.
pour une détection même à des niveaux traces, mais le suivi en
continu n’est pas possible, l’activité du capteur devant être restau-
rée avant chaque incubation. (0) k1 k2
L+S ↔ LS → P + L (31)
k–1
Tableau 4 – Principales catégories de biomolécules
douées de propriétés de reconnaissance avec : K M = (k –1 + k 2 ) /k 1 = (Vmax /V – 1) · [S ] (32)
Ligand Substances liées V représentant la vitesse de réaction V = k 2 · [LS ].
Immunoglobulines Grande variété de molécules de La réponse du biocapteur correspondant va dépendre de cette
toutes tailles (antigènes, toxines, cinétique et, dans ce cas, la constante d’affinité K M (constante de
haptènes...) Michaelis) représente la concentration du substrat pour laquelle on
Enzymes Substrats, gamme très large, inhi- atteint la moitié de la vitesse de réaction maximale V max . En pra-
biteurs tique, cette valeur correspond à la demi-saturation de l’enzyme et
seules les concentrations inférieures à cette valeur vont être exploi-
Lectines, ou autres protéines Oligosaccharides tables dans une optique biocapteur. En effet, à saturation, la pro-
spécifiques duction de P et, de ce fait, l’intensité du signal fourni par le capteur
Récepteurs Hormones, toxines, neurotrans- deviennent indépendantes de la concentration en substrat (ici
metteurs, drogues l’analyte).
Avidine Biotine Ces considérations s’appliquent aux biocapteurs métaboliques
pour lesquels l’enzyme est directement accessible par le substrat
ADN ADN, ARN (enzymes fixées en monocouche ou évidemment en milieu homo-
Protéine A IgG, IgM, IgA gène), le produit de la réaction étant instantanément détecté sur le
transducteur. Mais, dans la plupart des cas, l’enzyme est incluse
Protéines de transport Ions, substances diverses dans une membrane et la réponse est conditionnée par les proces-
ADN acide desoxyribonucléique lg Immunoglobulines sus de diffusion du substrat S jusqu’à l’enzyme L et de diffusion
ARN acide ribonucléique de P jusqu’à la surface du transducteur ou vers la solution analy-

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sée. En fait, dans la pratique, le contrôle de ces processus

complexes permet d’élargir le domaine d’utilisation des électrodes
enzymatiques (voir en particulier [11]).

3.3 Transduction et biofonctionnalisation

Pour que les mécanismes que nous venons de décrire puissent

s’appliquer à un biocapteur, il faut que l’interaction conduise à une
modification détectable sur un transducteur. Dans la pratique, deux
classes de biomolécules ont surtout été utilisées, les immuno-
espèces pour les biocapteurs d’affinité et les systèmes enzymatiques
pour les biocapteurs métaboliques. Figure 22 – Système YSI pour la réalisation d’une membrane
Le tableau 5 montre le lien entre reconnaissance biologique et enzymatique pour électrode à glucose
possibilité de transduction.
Parfois, la rencontre des biomolécules « partenaires »
s’accompagne d’une modification de la conformation pouvant polymérisées formées directement à la surface de l’électrode ou
induire de véritables processus de transduction biologique ; par mélange dans une pâte de carbone. Ce dernier procédé per-
l’exemple le plus direct est celui de l’ouverture-fermeture des met, outre une fabrication aisée, de s’affranchir de solutions
canaux ioniques responsable de la perméation ionique membra- internes ; de plus, un renouvellement de la surface de l’électrode
naire induite par l’interaction entre effecteur et protéine réceptrice. est possible par simple polissage ; il a été retenu pour la fabrica-
Les techniques d’immobilisation du biorécepteur sur le trans- tion des électrodes enzymatiques Orion récemment introduites sur
ducteur sont rassemblées sur le tableau 6. La plupart d’entre elles le marché.
ont été développées pour l’immobilisation d’enzymes sur électrodes
ampérométriques ou potentiométriques mais elles sont applicables
à d’autres protéines, telles que les immunoglobulines pour la mise 3.4 Quelques réalisations commerciales
au point d’immunocapteurs. Elles sont également applicables à
n’importe quel type de transducteur, sauf dans le cas d’un procédé
de fixation covalent qui implique la présence de sites superficiels Les électrodes enzymatiques ampérométriques commerciales
réactifs. Une revue de ces divers procédés d’immobilisation peut utilisent pratiquement toujours des oxydases qui catalysent une
être consultée dans [32]. réaction d’oxydation suivant :
Dans certains cas, la molécule active peut être, elle-même,
incluse dans un organisme vivant entier [33]. Cette solution pré- substrat + oxygène → produit + peroxyde d’hydrogène (33)
sente de nombreux avantages, en particulier une cellule intacte ou Ainsi la glucose oxydase en présence d’oxygène catalyse la
un morceau de tissu vivant ne nécessitent ni purification ni extrac- décomposition du glucose en gluconolactone et peroxyde d’hydro-
tion coûteuses, de plus la stabilité et l’activité de ces enzymes gène. La détection s’opère en mesurant la variation de concen-
« internes » sont plus grandes que celles des homologues purifiés tration soit de l’oxygène, coréactant naturel consommé, soit du
ce qui conduira à une électrode enzymatique plus sensible, de peroxyde d’hydrogène produit au cours de la biocatalyse.
grande durée de vie ; enfin, la présence intrinsèque de cofacteurs
Ainsi, la détection du peroxyde d’hydrogène peut s’effectuer en
ou de systèmes multi-enzymatiques peut simplifier la conception
mesurant le courant d’oxydation sur une électrode de platine pola-
de l’électrode et éviter l’emploi de multicouches.
risée à 0,7 V par rapport à une référence Ag / AgCl :
Certains fournisseurs de réactifs ou produits chimiques pro-
posent des membranes préactivées (membranes Pal), dans ce cas, Pt
(34)
le couplage s’effectue seulement au moment de l’utilisation ou H2 O2 → O 2 + 2H + + 2e –
même des protocoles de fixation d’immunoespèces (Pierce).
tandis que la détection d’oxygène s’opère en mesurant le courant
La fonctionnalisation du transducteur constitue l’étape clé dans
cathodique sur des électrodes, le plus souvent dérivées des élec-
la mise au point d’un biocapteur et doit être considérée en fonction
trodes de Clark, en platine ou or et polarisées à – 0,7 V par rapport
de l’application envisagée et surtout de la nature du milieu testé
à une référence Ag /AgCl. (0)
(viscosité, agressivité vis-à-vis de la biomolécule de reconnais-
sance, possibilité d’inhibition, possibilité de dépôts (globules De plus en plus, l’utilisation de médiateurs permet de s’affran-
rouges, fibrine dans le cas du sang), exigences de stérilité, possi- chir des interférences dues aux réactions d’oxydoréduction pos-
bilité d’interférences...). Un exemple optimisé de membrane enzy- sibles aux potentiels où se produisent les réactions précédentes.
matique, adopté par Yellow Springs Instruments Co. est donné Ces espèces, comme le ferrocène et ses dérivés, peuvent rempla-
dans la figure 22. Ici l’enzyme, préalablement immobilisée selon le cer l’oxygène de la réaction [34] et permettent de travailler à un
procédé de réticulation, est prise en sandwich entre deux potentiel plus bas que celui nécessaire à la détection du peroxyde
membranes ; celle de polycarbonate, tout en étant perméable au d’hydrogène (souvent inférieur à 200 mV par rapport à l’électrode
glucose, empêche la diffusion des espèces de grande masse molé- au calomel saturé).
culaire comme les protéines, tandis que celle d’acétate de cellulose On peut s’étonner, compte tenu du dynamisme de la recherche,
constitue une barrière vis-à-vis de possibles interférents. Cette der- du très faible nombre de biocapteurs effectivement commercialisés.
nière, perméable aux molécules de taille de celle du peroxyde Cela est dû, d’une part, à la difficulté de satisfaire aux exigences de
d’hydrogène, permettra à H2O2 d’atteindre l’électrode sensible de la fonctionnalisation, à l’aide de biomolécules, des transducteurs
platine. Ici la présence de catalase permet d’éviter une existants et, d’autre part, aux contraintes d’utilisation. Le premier
concentration trop importante de peroxyde d’hydrogène domma- point a conduit à ne retenir que les électrodes enzymatiques basées
geable pour la glucose oxydase. sur les oxydases. Le deuxième point est lié à la diversité des
D’autres techniques d’incorporation de l’espèce active ont été domaines d’application et des gammes de concentration
proposées, en particulier pour les électrodes enzymatiques, par rencontrés ; ainsi, pour ne prendre qu’un seul exemple, les électro-
exemple par inclusion dans des membranes conductrices électro- des enzymatiques permettant le dosage du glucose et du lactate

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Tableau 5 – Relation entre reconnaissance biologique et mode de transduction

Mode(s) de transduction possible(s)
Espèce de reconnaissance Effet(s) de la reconnaissance
et biocapteur(s) en dérivant
Modification de la concentration du produit Ampérométrie, électrodes ampérométriques
Modification du potentiel rédox Potentiométrie, électrodes potentiométriques, ENFET
Système enzymatique
Modification de la conductivité Conductimétrie
Chaleur de réaction Thermistor
Effets de géométrie : modification de la conformation Modification des propriétés optiques ; optrodes
et de la taille intrisèques
Immunoespèces Modification de la masse Biocapteurs piézoélectriques
Modification des propriétés électriques Immunocapteurs capacitifs et impédimétriques

Tableau 6 – Techniques d’immobilisation du biorécepteur sur le transducteur

Technique d’immobilisation Avantages Inconvénients
Adsorption physique Extrême simplicité Désorption de la biomolécule sous l’effet de variations
de pH ou de force ionique
Inclusion dans un gel Applicable à des cellules entières Biorécepteur non directement en contact avec
ou des organelles le transducteur
Confinement Le biorécepteur restant libre en solution à l’intérieur Technique complexe
d’un compartiment fermé par une membrane sélective
conserve une activité maximale
Réticulation Peut être utilisée pour augmenter la stabilité des édi- Difficulté de contrôler le degré de réticulation
fices obtenues par les techniques d’adsorption phy-
sique et d’inclusion dans un gel
Co-réticulation L’utilisation d’une protéine inerte serum albumine ou Difficulté de contrôler le degré de réticulation
gélatine, permet de minimiser l’inactivation de
l’enzyme par les réactifs bifonctionnels (glutaraldé-
hyde...)
Couplage covalent Grande stabilité, peut conserver l’accessibilité des sites Nécessite une surface de transducteur ou de mem-
induisant des temps de réponse très courts brane fonctionnalisable
Grande variété de réactions possibles
Langmuir-Blogett Technique « douce » Stabilité de l’édifice moléculaire médiocre en solution
Obtention d’édifices supramoléculaires bien contrôlés Réservé aux transducteurs plans

sont bien adaptées au dosage de ces espèces dans le plasma, les d’intégrer cette nouvelle génération de capteurs, de coûts encore
milieux de culture cellulaire ou de fermentation synthétiques, mais, élevé vu leur diffusion récente et restreinte, et qui nécessitent un
en revanche, il est pratiquement impossible d’envisager leur emploi personnel spécialement formé pour la mise en œuvre et l’interpré-
dans des mélasses, liqueur corn-steep etc. De même, s’il est pos- tation des données fournies par ces instruments. Une analyse de
sible de doser le lactate dans le sang total, la détermination du glu- ces problèmes ainsi que quelques exemples d’applications dans
cose dans ce milieu s’avère impossible. des bioprocess industriels sont donnés dans [34]. Actuellement le
En fait, contrairement aux capteurs chimiques où le même cap- nombre de biocapteurs disponibles sur le marché est extrêmement
teur (électrode pour la mesure du pH par exemple) peut satisfaire réduit ; hormis quelques réalisations japonaises permettant la
à une grande diversité d’applications, hormis certaines exigences détermination de la DBO (demande biochimique en oxygène),
spécifiques, telles que robustesse, ou certaines contraintes, telles toutes les électrodes enzymatiques opérationnelles sont destinées
que nettoyage périodique, le biocapteur devrait être conçu pour au dosage du D-glucose ou du L-lactate. Dans le monde, on
une application et un cahier des charges spécifiques. Ainsi, le compte moins d’une vingtaine de sociétés fabriquant ou distri-
contrôle des eaux peut se satisfaire, pour la détection des pesti- buant des biocapteurs, concentrées au Japon et aux États-Unis. En
cides, d’un simple système d’alerte alors que le suivi hospitalier Allemagne, en Grande-Bretagne et en France, l’activité dans ce
d’un diabétique exige la connaissance précise, au cours du temps, domaine est encore faible. Certains constructeurs n’ont d’ailleurs
de la concentration en glucose dans le sang du patient. De plus, les gardé dans cette activité que la maintenance et la fourniture de
biocapteurs subissent la concurrence de systèmes d’analyse, par- membranes pour des appareils commercialisés par le passé ; c’est
fois classés à tort, par les fabricants eux-mêmes, dans la même le cas, par exemple, de Solea-Tacussel (Gluco-processeur), de
catégorie, et adaptés à une situation parfois très pointue comme, Seres (Enzymat). Pour un marché aussi mouvant, nous donnerons,
par exemple, la quantification de la pourriture grise des raisins à titre d’exemple représentatif, les caractéristiques des électrodes
(appareil Raisytis de Seres permettant la mesure de l’activité de la biosélectives de la société américaine Orion commercialisées par
laccase). Enfin l’utilisateur n’est pas toujours prêt à accepter les Prolabo (tableau 7) et celles du biocapteur ampérométrique
limitations inhérentes à la stabilité, la durée de vie et la Microzym-L commercialisé par la société Setric Génie Industriel
conservation de l’élément incorporant les bioespèces actives. (0) (tableau 8). (0)
Le développement commercial des biocapteurs est étroitement
lié à celui des biotechnologies qui n’ont pas encore envisagé

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Tableau 7 – Caractéristiques principales des électrodes Orion biosélectives

Espèce dosée D-glucose Saccharose Lactose
Gamme de travail 0,3 à 3,0 g · L–1 0,6 à 6,0 g · L–1 0,6 à 6,0 g · L–1
Durée de la mesure 20 s 20 s après 10 min d’incubation 20 s après 10 min d’incubation
Reproductibilité sur 10 mesures 2% 2% 2%
Contraintes d’analyse Mesure directe après dilution ou Mesure après incubation de Mesure après incubation de
extraction de l’échantillon dans 10 min à l’ambiante avec une 10 min à l’ambiante avec une
un tampon enzyme de conversion du sac- enzyme de conversion de lactose
charose
Exemples types de milieux analysés Poudre de cacao, miel Jus de fruits Yaourts

Tableau 8 – Caractéristiques principales du biocapteur Microzym-L et principaux domaines d’applications

Espèce dosée L-Lactate D-glucose Saccharose Lactose
Seuil de détection 5× 10 – 5 M 2,5 × 10 – 4 M en développement en développement
Linéarité 0,05 à 1,5 mM 0,25 à 25 mM
Reproductibilité type ± 0,02 mM ± 0,1 mM (pour 0,25 à 2,5 mM)
± 0,5 mM (pour 2,5 à 25 mM)
Durée de vie d’une recharge 200 mesures ou 15 jours à 4 oC 400 mesures ou 20 à 30 jours
d’enzyme à 4 oC
Sang total oui non
Plasma possible possible
Œufs oui possible possible
Produits laitiers oui possible possible possible
Vin oui oui oui
Fermentation milieux synthétiques oui oui oui oui
Culture cellulaire oui oui possible
cellules insectes

■ Capteurs à glucose, saccharose, lactose, lactate et éthanol NoJISK 3602). Il est basé sur l’altération, par une pollution orga-
Il s’agit d’électrodes ampérométriques dans lesquelles le nique, du niveau respiratoire des cellules mesuré sur une électrode
conducteur électronique – une pâte de graphite –, l’enzyme et un à oxygène dissous. La compétence de l’équipe inventrice en
médiateur sont combinés en un mélange homogène. La surface du matière de bactéries thermophiles lui a permis récemment d’envi-
capteur est renouvelable par polissage et le capteur ne nécessite sager l’extension de la gamme d’utilisation en température jusqu’à
pas de membrane semi-perméable. Cinq substrats peuvent être 50 oC, ce qui présente un intérêt particulier pour les eaux usées
dosés, suivant la nature de l’enzyme, avec les plages de linéarité industrielles.
suivantes : ■ Capteur à glucose dans le sang
— glucose : 0,2 à 3,5 g · L–1 ; Le dernier exemple que nous citerons est celui des nombreux
— saccharose : 0,5 à 6 g · L–1 ; prototypes proposés pour la détection du glucose dans le sang,
— lactose : 0,5 à 6 g · L–1 ; l’activité intense dans ce secteur est motivée par un marché poten-
— lactate : 0,05 à 2 g · L–1 ; tiel considérable (celui du suivi des diabétiques) et une grande sta-
— éthanol : 0,015 à 2,4 g · L–1. bilité de l’enzyme concernée (la glucose oxydase). Ainsi, des
La mesure est rapide et les effets de matrice et d’interférence sont systèmes miniaturisés sous un format stylo ou carte de crédit,
pratiquement éliminés grâce à la double sélectivité de l’enzyme ; basés sur des électrodes ampérométriques enzymatiques avec
de plus, la surface d’électrode régénérable garantit une très bonne médiateurs chimiques, tel le ferrocène, ont été commercialisés. Le
reproductibilité. Elles constituent sans doute les premières capteur portable de poche à glucose Exatech, développé à
électrodes enzymatiques adaptées à un usage industriel pour le Cranfield, utilise des électrodes jetables sur substrat carbone. L’uti-
contrôle d’aliments, de boissons, de produits pharmaceutiques et lisateur diabétique obtient directement l’affichage, sur un écran à
de procédés biotechnologiques. cristaux liquides, de la teneur en glucose d’une goutte de sang
déposée 30 s plus tôt (figure 23).
■ Biocapteur à DBO
Récemment un nouveau dispositif commercial format carte de
Comme nous l’avons déjà signalé, à l’étranger, les Japonais sont crédit présente les avantages d’une linéarité sur une large gamme
parmi les plus inventifs. Leur savoir-faire dans le domaine des cap-
et ne nécessite qu’un volume d’échantillon de 5 µL [35].
teurs bactériens a conduit l’équipe du Professeur Karube à la mise
au point d’un biocapteur à DBO, commercialisé par la firme Nissin Dans le domaine agroalimentaire, des sondes couteau permet-
Electric Co., et dont la fiabilité a été reconnue puisqu’il fait l’objet tant de qualifier la viande congelée, utilisent des réseaux de cap-
d’une norme (Japanese Industrial Standard : Apparatus for the teurs glucose. Un schéma d’un tel prototype est donné sur la
estimation of biochemical oxygen demand with microbial sensor, figure 24.

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3.5 Conclusion

Pour un tel domaine et devant un marché aussi diversifié, il

serait hasardeux de prévoir une évolution à long terme ; cepen-
dant, les soucis en matière de contrôle de l’environnement, les
besoins de diagnostic en temps quasi réel, liés au développement
des microtechniques et aux progrès de la biologie moléculaire
peuvent susciter l’émergence de nouveaux microbiocapteurs de
faible coût unitaire. Ainsi, les techniques de transfert de l’informa-
tion génétique, par utilisation d’ADN recombinant par exemple,
peuvent permettre d’envisager l’obtention de biomolécules ultra-
sélectives et parfaitement adaptées aux contraintes de l’analyse
sur des milieux réels. Parmi ces protéines « artificielles », on peut
citer les anticorps à fonction enzymatique, ceux-ci permettraient
d’associer la sélectivité de la reconnaissance à l’amplification liée
à la catalyse enzymatique. Dans une autre optique qui déborde du
Figure 23 – Électrode de poche Exatech pour le dosage du glucose
cadre des biocapteurs, pris au sens strict, l’association des
microtechniques aux microtransducteurs par l’utilisation de pom-
pes micro-usinées et incluant des possibilités d’autocalibration
devrait permettre l’apparition de nouveaux systèmes d’analyse
ultra-miniaturisés. Un exemple de cette tendance récente est
donné par la société de génie biomédical I-Stat qui vient d’intro-
duire sur le marché un dispositif potentiométrique jetable, sur puce
de silicium, pour la mesure des ions Ca2+, Na+, K+ et de l’urée dans
le sang total. Enfin, les progrès dans le domaine de l’imagerie à
l’échelle moléculaire (microscopie à force atomique en milieu
liquide) peuvent déboucher sur la visualisation directe de la bio-
reconnaissance permettant ainsi d’accéder à une détection avec
des nanoquantités de réactifs.

Figure 24 – Testeur de qualité de viande (d’après [38])

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 P
O
U
Capteurs chimiques et biochimiques R

E
par Nicole JAFFREZIC-RENAULT N
Claude MARTELET
et Paul CLECHET
Club Microcapteurs Chimiques (CMC2)
Laboratoire de Physicochimie des Interfaces (URA CNRS 404) de l’École Centrale de Lyon
S
A
Références bibliographiques V
[1] GOPEL (W.), HESSE (J.) et ZEMEL (J.N.). – [16] PETERSEN (K.E.). – Silicon as Mechanical HARRISON (D.J.). – Micromachining of
Sensors, a Comprehensive Survey. Éd.,
V.C.H., Vol. 1-6 (1991).
Devices. Proc. IEEE, Vol. 70, p. 420-457
(1982).
monocrystalline Silicon and Glass for Che-
mical Analysis Systems. A Look into the
O
Next Century’s Technology or Just a
[2] Chemical Sensor Technology. Vol. 1,
SEIYAMA (T.). — Éd. (1988) ; Vol. 2,
SEIYAMA (T.). — Éd. (1989) ; Vol. 3,
[17] KO (W.H.) et SUMITO (J.T.). – Semiconduc-
tor Integrated Circuit Technology and
Micromachining. In ref. [1], vol. 1, p. 107-
Fashionable Craze ?, Trends in Anal.
Chem. 10, p. 144-149 (1991).
I
YAMAZOE (N.). — Éd. (1991) ; Vol. 4,
YAMAUCHI (S.), Kodansha LTD, Elsevier
(1992).
[18]
160.
ANGELL (J.), TERRY (S.) et BARTH (O.). –
Les dispositifs micromécaniques en sili-
[27] VAN DER SCHOOT (B.H.), JEANNERET (S.),
VAN DEN BERG (A.) et de ROOIJ (N.F.). – A
Silicon Integrated Miniature Chemical Ana-
R
[3] MURRAY (R.), DESSY (R.E.), HEINEMAN cium. Pour la science, p. 78-90, juin 1983. lysis System. Sensors and Actuators B6
(W.H.), JANATA (J.) et SEITZ (W.R.). – Che- p. 57-6 (1992).
[19] HARMENING (M.), BACHER (N.), BLEY (P.),
mical Sensors and Microinstrumentation. ELKOLI (A.), KALB (H.), KOWANZ (B.), [28] DURAND (G.). – Potentiométrie. P 2115,

[4]
ACS Symp., Series no 403., Am. Chem.
Soc. Washington (1989).
JANATA (J.). – Principles of Chemical Sen-
MENZ (W.), MICHEL (A.) et MOHR (J.). –
Molding of Threedimensional Microstruc-
tures by the LIGA process. Proc. Micro [29]
traité Analyse et Caractérisation, Tech-
niques de l’Ingénieur, avril 1983.
WIEMHÖFER (H.D.) et CAMMAN (K.). –
P
[5]
sors. Plenum Press (1989).
JONES (B.). – Current Advances in Sen-
Electro Mechanical Systems’ 92, Trave-
munde, 4-7 feb. 1992.
Spécific Features of Electrochemical Sen-
sors in ref. [1], vol. 2, p. 160-189. L
sors. Éd., Adam Hilger (1987). [20] PERMUY (A.). – Capteurs à semiconduc- [30] LOGOTHETIS (F.H.). – Automotive oxygen
[6] BERGVELD (P.) et SIBBALD (A.). – Analyti-
cal and Biomedical Applications of Ion-
teurs. E 2310, traité Électronique, Tech-
niques de l’Ingénieur, déc. 1990. [31]
sensors dans ref. [2], vol. 3, p. 89-104.
VADGAMA (P.) et DESAI (M.A.). – In-vivo
U
[7]
Selective Field-Effect Transistors, (1988).
MADOU (M.J.) et MORISSON (S.R.). – Che-
mical Sensing with Solid State Devices.
[21] GERNET (S.), KOUDELKA (M.) et de ROOIJ
(N.F.). – Fabrication and Characterization of
a Planar Electrochemical Cell and its Appli-
[32]
biosensors. Chap. 13, p. 303-329 dans [10].
BARKER (S.A.). – Immobilisation of the bio-
logical component. Chap. 6, p. 85-99 dans
S
Acad. Press (1989). cation as a Glucose Sensor. Sensors and [10].
Actuators, 18, p. 59-70 (1989).
[8] WOLFBEIS (O.S.). – Fiber Optic Chemical [33] KUBO (I.), SODE (K.) et KARUBE (I.). –
sensors and Biosensors. Éd., Vol. 1 et 2, [22] CLECHET (P.) et JAFFREZIC-RENAULT (N.). Whole-organism-based biosensors and
CRC Press (1991). – Silica, Surface Sensitization and Chemi- microbiosensors p. 1-30 dans [10] Vol. 1.
cal Sensors. Adv. Mat. 2, p. 293-298 (1990).
[9] ASCH (G.) et coll. – Les capteurs en instru- [34] SCHEPER (T.H.) et REARDON (K.F.). – Sen-
mentation industrielle. Dunod (1991). [23] GARDNER (J.W.) et BARTLETT (P.N.). – sors, A comprehensive survey, Éd. GÖPEL
10 - 1994

Sensors and Sensory Systems for an Elec- (W.), HESSE (J.), ZEMEL (J.N.), Vol. 3, Che-
[10] TURNER (A.P.F.). – Advances in Biosensors.
tronic Nose. Éd., Nato ASI Series, Series E, mical and Biochemical Sensors, Part II,
Éd., Vol. 1 (1991) ; Vol. 2, JAI Press LTD
vol. 212, Kluwer Acad, Pub. (1992). Sensors in Biotechnology, Chap. 22, 1025-
(1992).
[24] TERRY (S.C.), HERMAN (J.H.) et ANGELL 1042.
[11] BLUM (L.) et COULET (P.R.). – Biosensors,
(J.B.). – A Gas Chromatographic Air Analy- [35] LEWIS (B.). – Clin. Chem., 38, 2093 (1992).
Principles and Applications. Éd., M. Dekker
ser Fabrication on a Silicon Wafer. IEEE
(1991). [36] PERMUY (A.). – Capteurs à semiconduc-
Trans. Electron. Devices, Vol. ED-26, 12,
[12] BUERK (D.G.). – Biosensors, Theory and teurs. E 2310, traité Électronique, Tech-
Doc. R 420 ; P 360

p. 1880-1886 (1979).
Applications. Technomic Pub. Co. (1993). niques de l’Ingénieur., déc. 1990.
[25] MANZ (A.), HARRISON (J.J.), VERPOORTE
[13] TRAN MINH CANH. – Les biocapteurs, prin- [37] PERMUY (A.). – Capteurs microélectro-
(E.M.J.), FETTINGER (J.C.), PAULUS (A.),
cipes, construction et applications. Masson niques. E 2315, traité Électronique, Tech-
LUDI (H.) et WIDMER (H.M.). – Planar Chip
(1991). niques de l’Ingénieur, mars 1993.
Technology for miniaturization and Investi-
[14] TURNER (A.P.F.), KARUBE (I.) et WILSON gation of Separation techniques into Moni- [38] KRESS-ROGERS (E.). – Instrumentation
(G.S.). – Biosensors. Fundamental and toring Systems. Capillary Electrophoresis and sensors for the food Industry. Chemo-
Applications. Oxford Science Pub. (1987). on a Chip. J. Chromatog. 593, p. 253-258 sensors, Biosensors and Immunosensors.
(1992). Chap. 17, p. 581-669 (1993).
[15] SZE (S.M.). – Semiconductor Devices, Phy-
sics and Technology. J. Wiley (1985). [26] MANZ (A.), PETTINGER (J.C.), VERPOORTE
(E.), LUDI (H.), WIDMER (H.M.) et

Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie

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