P

O
U
Techniques du vide R
Introduction
E
par Jean LECLERC N
Ingénieur de l’École supérieure de chimie industrielle de Lyon
Docteur 3e cycle Chimie minérale et structurale
Consultant
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Application à la spectrométrie à décharge lumines-
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risation P 2 615. Traitement de surface : lexique.
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SEN (E.V.). – The physical basis of ultra high Spectroscopie des électrons Auger. Traité Analyse Soudage par faisceaux à haute énergie : faisceaux
vacuum. A.I.P. 1993. et Caractérisation P 2 620. d’électrons et laser. Traité Génie mécanique B 7 740.

Normalisation

International Organization for Standardization (ISO) DIS 1609-3 Technologie du Vide : dimensions des brides.
ISO 1000 1981 Système d’unités SI et recommandations pour l’utilisa- ISO 3669 1986 Technologie du Vide : brides étuvables. Dimensions.
tion des multiples et de certaines autres unités.
ISO 554 1976 Atmosphère standard. ISO 3530 1979 Technologie du Vide : calibrage des détecteurs de fuite
type spectromètre de masse.
ISO 3529/I 1981 Technologie du Vide : vocabulaire partie 1.
DIS 3570/1 Jauges (capteurs) à vide : méthodes normalisées pour le
ISO 3529/II 1981 Technologie du Vide : vocabulaire partie 2. calibrage. Partie 1 : diminution de pression par flux con-
ISO 3529/III 1981 Technologie du Vide : vocabulaire partie 3. tinu dans le domaine 10-1 à 10-5 Pa.

ISO 2861/I 1974 Technologie du Vide : raccords rapides. Dimensions. Par- DIS 3567 Jauges (capteurs) à vide : calibrage par comparaison
tie 1 : raccords à collier. directe avec un capteur de référence.

ISO 2861/II 1980 Technologie du Vide : assemblage rapide. Dimensions. DIS 3568 Jauges (capteurs) à vide à ionisation : calibrage par com-
Partie 2 : raccords de type fileté. paraison directe avec un capteur de référence.

Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie

est strictement interdite. - © Techniques de l’Ingénieur, traité Génie mécanique BM 4 000 - 1
P TECHNIQUES DU VIDE ___________________________________________________________________________________________________________________
O
U DIS 5300 Jauges (capteurs) à vide du type à conductivité ther- Deutsches Institut für Normung

R mique : calibrage par comparaison directe avec un capteur

de référence.
1301 12.1985 Unités. Partie 1. Noms. Symboles.
4.82 Partie 1. Supplément. Noms et symboles.
ISO 1607/1 1980 Pompes à vide volumétriques : mesure des performances.
Partie 1 : mesure du débit-volume (vitesse de pompage). 2.78 * Partie 2. Sous-multiples.
ISO 1607/2 1978 Pompes à vide volumétriques : mesure des performances. 10.79 * Partie 3. Facteurs de conversion.
E ISO 1608/1 1980
Partie 2 : mesure de la pression limite.
Pompes à fluide moteur : mesure des performances.
1304 2.78 Symboles généraux à utiliser dans les formules.
Partie 1 : mesure du débit-volume (vitesse de pompage). 1306 6.84 Densité. Table de données.
N ISO 1608/2 1978 Pompes à fluide moteur : mesure des performances.
Partie 2 : mesurage de la pression critique au refoulement.
1313 4.78 Équations physiques.
1314 2.77 * Pression : définition. Unités.
DIS 3556/1 Mesurage des caractéristiques. Partie 1 : pompes ioniques.
1343 8.86 Références d’environnement.
DIS 5304 Classification en technique du vide.
S Association française de normalisation (AFNOR)
28400
7.79
Technologie du Vide. Vocabulaire et Définitions.
Partie 1 : Termes généraux.

A NF X 10-500
NF X 10-501
nov. 1975 Vocabulaire. Termes généraux.
mai 1976 Vocabulaire. Pompes à vide.
10.80
10.80
Partie 2 : Pompes à vide.
Partie 3 : Capteurs et jauges à vide.

V X 10-502 mai 1980 Termes et définitions. Manomètres à vide. Lexique

multilingue. 3.76 Partie 4 : Revêtement sous vide.
NF X 10-507 nov. 1975 Pompes ioniques à pulvérisation. Mesurage des 3.81 Partie 5 : Séchage par le vide et le froid.
O NF X 10-511
caractéristiques de fonctionnement.
nov. 1971 Pompes primaires volumétriques à vide. Mesure du
10.80 Partie 6 : Techniques d’analyse de surface.

I NF X 10-512
débit-volume.
nov. 1975 Pompes primaires volumétriques. Mesurage de la
7.78
10.80
Partie 7 : Métallurgie sous vide.
Partie 8 : Système sous vide : composants et accessoires.
pression limite.
R NF X 10-515 nov. 1971 Pompes à vide et jet de vapeur. Mesure de débit-
volume.
28401
28402
11.76
12.76
Technologie du Vide : symboles graphiques.
Technologie du Vide : quantités, symboles, unités.

NF X 10-516 nov. 1975 Pompes à jet de vapeur. Mesurage de la pression cri- 28403 9.86 Technologie du Vide : raccords rapides et assemblages
tique de refoulement. (brides).

P NF X 10-519 nov. 1975 Pompes turbo-moléculaires. Mesurage des caracté-

ristiques de fonctionnement.
28404
28410
10.86
11.68
Technologie du Vide : brides. Dimensions.
* Mesures des pressions partielles par spectromètre de

L X 10-520 nov. 1974 Mesure de la pression dans les systèmes à vide indus-
triels.
masse : termes techniques, quantités spécifiques, condi-
tions opératoires.
NF X 10-521 août 1976 Manomètres. Étalonnage. Méthode par comparaison 28411 3.76 Technologie du Vide : spécifications d’acceptation des
U NF X 10-522
directe.
août 1976 Manomètre à ionisation. Étalonnage. Méthode par 28416 3.76
détecteurs de fuite type spectromètre de masse.
Technologie du Vide : calibrage des capteurs entre

S X 10-523
comparaison directe.
nov. 1972 Méthodes générales d’étalonnage des manomètres
10-3 mbar et 10-7 mbar. Méthode par diminution de la
pression en flux continu.
pour les basses pressions. 28417 3.76 Technologie du Vide : mesure des débits par la méthode
NF X 10-524 août 1976 Manomètres. Étalonnage. Méthode dynamique. volumétrique à pression constante.

X 10-525 nov. 1979 Manomètres à vide du type à conductibilité thermi- 28418 5.76 Technologie du Vide : méthode de calibrage par comparai-
que. Étalonnage par comparaison directe avec un son directe avec un capteur de référence. Partie 1 : Princi-
manomètre de référence. pes de base.

NF X 10-530 nov. 1975 Spectromètres de masse détecteurs de fuites. Étalon- 9.78 Partie 2 : Capteurs à ionisation.
nage. 8.80 Partie 3 : Capteur à conductivité thermique.
NF X 10-531 juil. 1981 Fuite calibrée d’hélium pour détecteur de fuite. Éta-
28426 8.83 Technologie du Vide : spécifications de recette des pompes
lonnage.
rotatives. Partie 1 : Pompes à piston rotatif et à palettes
NF X 10-541 avr. 1976 Technique du vide. Essais de réception des éjecteurs dans le domaine du vide grossier et moyen.
à jet de vapeur d’eau.
3.76 Partie 2 : Pompes Roots dans le domaine du vide moyen.
NF E 04-201 avr. 1978 Symboles graphiques à utiliser en technique du vide.
28427 2.83 Technologie du Vide : spécifications de recette des pompes
E 29-720 nov. 1974 Éléments de raccordement pour le vide poussé. Prin- à diffusion et à jet de vapeur.
cipes de base.
28428 11.78 Technologie du Vide : spécifications de recette des pompes
NF E 29-721 nov. 1974 Brides à vide poussé. Dimensions. turbomoléculaires.
NF E 29-722 nov. 1974 Brides tournantes pour collets à vide poussé. Joncs 28429 8.85 * Technologie du Vide : spécification de recette des pom-
d’assemblage. Dimensions. pes ioniques à getter.
NF E 29-723 nov. 1974 Collets à vide poussé. Dimensions. 28430 11.84 * Technologie du Vide : méthodes de mesure des pompes
NF E 29-724 nov. 1974 Raccords rapides à collier pour le vide poussé. et compresseurs à jet de vapeur.
Dimensions. 28431 1.87 Technologie du Vide : spécifications de recette des pompes
E 29-726 nov. 1974 Tubes en acier pour canalisation de vide. Dimensions. à anneau liquide.
E 29-728 août 1971 Brides plates pour ultra-vide. Dimensions. 66038 4.71 Tables de conversion mbar-Torr.
E 29-729 nov. 1979 Brides étuvables. Dimensions. Les normes marquées * sont aussi disponibles en anglais.

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Doc. BM 4 000 - 2 est strictement interdite. - © Techniques de l’Ingénieur, traité Génie mécanique
__________________________________________________________________________________________________________________ TECHNIQUES DU VIDE
P
O
PNEUROP British Standards Institute
U
6602 1979 Conditions de réception des pompes à vide. Partie 1 : Pom-
pes rotatives à joints d’huile et pompes Roots.
1780
3423
1985
1986
Spécification des capteurs de pression.
Recommandations pour le dimensionnement des appa-
R
5607 1972 Conditions de réception des pompes à vide. Partie 2 : Pom- reils sous vide en verre.
pes à vapeur.
3436 1963 Méthodes d’épreuve pour l’étanchéité au gaz des installa-
5608 1973 Conditions de réception des pompes à vide. Partie 3 : Pom- tions sous vide.

5615 1976
pes turbomoléculaires.
Conditions de réception des pompes à vide. Partie 4 : Pom-
5543
5555
1978
1981
Technologie du Vide. Symboles graphiques.
Unités SI et recommandations pour l’utilisation de leurs
E
pes à ionisation.
6601 1978 Application des normes nationales pour la réception et les
mesures des pompes à vide à jets de vapeur et des com- 5914 1980
multiples et de certaines autres unités.
Méthodes de calibrage des détecteurs de fuites type spec-
N
presseurs. tromètre de masse utilisé en technologie du vide.
6608 1981 Brides et jonctions. Dimensions. 6134 1981 Spécification des interrupteurs sous vide et sous pression.

S
A
V
O
I
R

P
L
U
S

Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie

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