Capteurs

Principes de constitution

par Yves PARMANTIER

Ingénieur de recherche
Animateur du pôle Capteurs – Automatismes, université d’Orléans
et Frédéric KRATZ
Professeur des universités
Institut Prisme, ENSIB (École nationale supérieure d’ingénieurs de Bourges)
Responsable de l’équipe - projet MCDS (modélisation, commande et diagnostic
des systèmes)

1. Capteurs de force et de poids .............................................................. R 401 - 2

2. Capteurs de pression............................................................................... — 2
3. Capteurs de couple .................................................................................. — 2
4. Capteurs de vibration et d’accélération ............................................ — 2
5. Capteurs de déplacement ...................................................................... — 2
6. Capteurs et détecteurs de proximité .................................................. — 2
7. Capteurs et détecteurs de niveau de liquide.................................... — 2
8. Capteurs et mesureurs de débit de fluides ....................................... — 10
9. Capteurs d’humidité ................................................................................ — 11
10. Capteurs de température ....................................................................... — 12
11. Capteurs de gaz ........................................................................................ — 13
12. Choix du capteur ...................................................................................... — 15
13. Évolution et tendance ............................................................................. — 15
Pour en savoir plus ........................................................................................... Doc. R 401

ans cet article, qui fait suite à [R 400], sont répertoriés les principes de
D constitution des capteurs de grandeurs physiques ou mécaniques. Cet
article est la nouvelle édition de l’article Capteurs rédigé par Jacques Toux,
auquel sont empruntés certains extraits.
Dans tous les paragraphes qui suivent, les schémas ne sont pas limitatifs, ils
représentent seulement les dispositifs les plus couramment utilisés.

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CAPTEURS ________________________________________________________________________________________________________________________

1. Capteurs de force Les principaux types d’accéléromètres sont :

– accéléromètres piézoélectriques (figure 12a, 12b, 12c, 12d) ;
et de poids – accéléromètres piézorésistifs (figure 12e, 12f, 12g) : sur ces
figures, la double flèche indique la direction de l’accélération.
Les différents principes mis en œuvre sont les suivants : Les MEMS (micro-electromechanical systems) sont en dévelop-
pement. La figure 13 illustre, à titre d’exemple, un accéléromètre
– capteur extensométrique à jauges de contrainte (figure 1), ce
triaxial commercialisé : l’accélération peut être détectée simultané-
sont les plus courants (dans ces schémas, J désigne les jauges de
ment sur les trois axes X, Y, Z.
contrainte) ;
– détection capacitive (figure 2a) ;
– capteur de force à mutuelle inductance (figure 2b). Dans ce
cas, la déformation de la membrane M est mesurée au moyen
d’un transformateur symétrique double ; une armature mobile soli-
5. Capteurs de déplacement
daire de l’organe dynamométrique est utilisée pour faire varier
symétriquement les entrefers annulaires e d’un circuit magnétique Les principaux types de capteurs de déplacement sont les
portant deux bobines primaires et deux bobines secondaires B ; suivants :
– capteur de force piézoélectrique (figure 2c) : la force F est – capteurs potentiométriques (figure 14) ;
transmise par l’intermédiaire d’une bille de centrage et d’un piston
à deux rondelles de quartz Q montées en opposition (addition des – capteurs optiques (figure 15) ;
charges). Le piston est guidé par une membrane M, découpée au – capteurs magnétiques (figure 16) ;
centre, qui assure en même temps la tension initiale ; – capteurs à jauges de contrainte (figure 17) ;
– capteur de force potentiométrique (figure 2d) : l’organe – capteurs capacitifs (figure 18) ;
élastique est constitué par un ressort hélicoïdal R taillé dans un – capteurs à transformateur différentiel (figure 19).
tube ; la déformation du ressort est transformée en variation de
résistance au moyen d’un potentiomètre P dont le curseur, rappelé
à l’aide du ressort R, est solidaire d’une des plaques d’attaque. La
poussée axiale F est obtenue généralement en interposant une
bille placée au centre de la plaque.
6. Capteurs et détecteurs
de proximité
2. Capteurs de pression La figure 20 répertorie les principes les plus courants de détec-
tion de proximité :
– ultrasons (figure 20a) : le transducteur (émetteur – récepteur)
Les principaux types de capteurs sont : émet un paquet d’impulsions ultrasoniques et convertit l’écho en
– capteurs à jauges extensométriques (jauges de contrainte) signal tension ;
(figure 3) ; – capteurs inductifs à réluctance variable (figure 20b) ;
– capteurs capacitifs (figure 4) ; – capteurs capacitifs (figure 20c) ;
– capteurs piézoélectrique (figure 5a), piézorésistif (figure 5b) et – capteurs inductifs à courants de Foucault (figure 20d) ;
à ondes de surface (SAW Surface acoustic wave, figure 6) ; – capteurs à effet Hall (figure 20e) : le principe est la variation de
– capteurs à variation d’induction (figure 7). la tension de Hall en fonction de la position relative du circuit
magnétique ;
– capteurs magnétorésistifs (figure 20f) : le principe est la modi-
fication du courant qui traverse la pièce magnétique en fonction de
3. Capteurs de couple l’entrée du capteur dans la zone d’induction.

Les principaux types de capteurs de couple (couplemètres) sont

les suivants : 7. Capteurs et détecteurs
– couplemètres à lecture directe (figure 8) ;
– couplemètres optiques (figure 9) ;
de niveau de liquide
– couplemètres à jauges de contrainte (figure 10) ;
– couplemètres magnétiques (figure 11). Les principes de détection les plus utilisés sont les suivants :
Nota : se reporter aux articles Mesure de force et de couple [R 1 820] et [R 1 821] dans – capteurs à flotteur ou plongeur (figure 21) ;
la base documentaire Mesures mécaniques et dimensionnelles des Techniques de – capteurs par conductimétrie (figure 22) ; pour cette méthode
l’Ingénieur.
de mesure, le liquide doit être conducteur ;
– mesure par pesage (figure 23) ;
– capteurs à ultrasons (figure 24) : une onde ultrasonique venant
4. Capteurs de vibration d’un émetteur – récepteur à ultrasons se réfléchit sur la surface du
liquide ; l’onde est, après réflexion, à nouveau reçue par la sonde
et d’accélération qui mesure le temps entre l’émission et la réception d’une impul-
sion, d’où le niveau ;
– capteurs de pression (figure 25) : un capteur A de pression diffé-
Le principe est de mesurer la force à laquelle est soumise une rentielle mesure la différence entre la pression p0 en haut du réser-
masse M, dite « masse sismique », sous l’action de l’accélération. voir et la pression pB en bas du réservoir (figure 25a). Le schéma de
L’étendue de mesure est généralement exprimée en nombre de g la cellule céramique (figure 25b) illustre un principe de mesure de
(accélération de la pesanteur). pression différentielle par variation de capacité électrique.

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_________________________________________________________________________________________________________________________ CAPTEURS

F F
J1
J2
J1
J2
J1 J2 J3
J4
F

a lame rectangulaire en flexion b lame rectangulaire en traction c lame triangulaire en flexion (isoflexion)

F
F
J1 J2

F
J1 J2 J1 J2

J3 J4

d dynamomètre en C, en flexion e parallélogramme de force en double flexion f barreau cylindrique en flexion

J1 J2 F

J1 J2
F
F F J1 J2 F

Appui
J3 J4
g barreau rectangulaire ou carré h barreau cylindrique
en traction-compression en traction-compression i capteur de force en double flexion

F F F
J3 J2
J4 J1

Les jauges collées

J1 J2 J3 J4 sur les parties amincies
J2 J1
indiquent le cisaillement

F
j capteur de force en k dynamomètre en S, en flexion l anneau dynamométrique
double cisaillement en traction-compression

F
F
F

J1
J2 J1
J1 J2 J3 J4 J3 J4
J2

F F
F
m anneau dynamométrique n demi-anneau dynamométrique o barreau rectangulaire
en traction en compression ou cylindrique foré

F F

M membrane sur la fibre

F
J1 neutre, percée de quatre
J1 J2 trous. Les jauges J1 à J4
J1 J2 J3 J4 travaillent en cisaillement
J2 M J3 J4 M

F
F
p dynamomètre en double C q dynamomètre en S r dynamomètre de traction-compression en
en double flexion en double flexion cisaillement, avec ajustage de sensibilité par perçage

Figure 1 – Capteurs de force et de pesage à jauges de contrainte

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CAPTEURS ________________________________________________________________________________________________________________________

F F
F F
e M M

C
Q R
Q
B
Câble de
liaison P
r
Circuit magnétique fixe F
a anneau dynamométrique b capteur de force à c capteur de force d capteur de force
avec détecteur capacitif C mutuelle inductance piézoélectrique potentiométrique

Figure 2 – Autres types de capteurs de force et de pesage

P
Diaphragme
P J1
J J2 60°
Tige Jauges à fils
J4 J3
Anneau JT J J
de montage
Bâtonnets
de saphir J Jauges
Lame ressort JT Jauge transversale
P1 P2
P
a capteur de pression à fils tendus b capteur de pression à membrane c capteur de pression différentielle :
circulaire encastrée dynamomètre en H associé à deux soufflets
P
Encastrements Lame
de la lame rigide Prise de
pression
J2
J3 Poutre flexible
J Jauges P (avec jauges) P
J J S J4 J1
Socle
Tube de
Bourdon
Enregistrements
Utilisable pour la mesure sur le socle
des hautes pressions
d capteur de pression relative : f capteur de pression lame triangulaire
dynamomètre en C associé à e capteur de pression à tube borgne associée à un tube de Bourdon
un soufflet S

Figure 3 – Capteurs de pression à jauges extensométriques

Cellule céramiquePMD70 et FMD76

Corps de base

Membrane

P1 P2

Capacité Électrodes
variable
Verre fritté fixant
la membrane sur
le corps de base
Sonde de
P température

a capteur de pression capacitif à capacité cylindrique b principe du transmetteur de pression différentielle

(document Endress Hauser)

Figure 4 – Capteurs de pression capacitifs

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Jauge piézorésistive diffusée

Métallisation Membrane

Silicium (substrat)
Disque de céramique
Membrane en Ressorts
acier inoxydable Support Support
Électrode en quartz en verre en verre
métallisé face à la
membrane
P P
a capteur piézoélectrique b capteur piézorésistif

Figure 5 – Capteurs de pression piézoélectrique et piézorésistif

Manchon
Diaphragme de quartz
P
Résonateur à ondes
de surface

La pression déforme la membrane de quartz et entraîne par conséquent

une variation de fréquence du résonateur à ondes de surface

Figure 6 – Capteur de pression à ondes de surface

Pression 1
A Bobine Membrane Bobine
Noyau plongeur
Noyau plongeur
Bobine A

P Armatures
Pression 2
P
a capteur de pression à transformateur b capteur de pression à transformateur c capteur de pression
différentiel à tube de Bourdon A différentiel à capsule déformable A à réluctance variable

Figure 7 – Capteurs de pression à variation d’induction

Disque portant Disque portant

Arbre de
Disque de mesure Disque de la fente la graduation
torsion
porteur du vernier repérage
Vernier
Arbre menant Arbre mené

Source
Lampe Graduation lumineuse
Objectif
Écrans
a couplemètre à lecture directe avec lecture b couplemètre à lecture directe avec lecture
sur un vernier avec effet stroboscopique sur un vernier avec effet stroboscopique

Figure 8 – Couplemètres à lecture directe

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Diode électro-luminescente
Cellule photoélectrique

Source
lumineuse
Chacune des sections de l’arbre porte un disque percé d’ouvertures
régulières, portion de couronnes circulaires séparées par autant de
parties pleines de même angle au centre θ. Ces disques sont calés
de telle sorte qu’une section pleine d’un disque soit en regard d’une
ouverture de l’autre disque lorsque la torsion est nulle. Un faisceau Lentilles de focalisation
lumineux de section constante est envoyé parallèlement à l’axe de Cellules photoélectriques
rotation, au niveau des ouvertures et est reçu par une cellule
photoélectrique. Le principe est identique au système décrit ci-dessus
a détection de couple par disques optiques à fenêtres b couplemètre optique : mesure de déphasage entre deux disques

Figure 9 – Couplemètres optiques

J1 M J2
x
D D
J1 J2
J3 J4
L1 J1 J2

45° J1 J2 J1
J2
A B
πD πD J3
90° J4 J3
J3 J4 J4 L2
J4 J
45° 3
a couplemètre à jauges : b couplemètre à jauges : c couplemètre à jauges avec d couplemètre à jauges :
arbre de torsion (long) arbre de torsion (court) lames triangulaires L1 et L2 arbre de torsion (court)

M Moment de torsion
A Arbre menant
B Arbre mené, solidaire du carter extérieur
J1 ... J4 Jauges de contrainte

Figure 10 – Couplemètres à jauges de contrainte

T1 T2 T

B A

B1 B2
A Partie non magnétique
B Bande magnétique V1 V2
T Tête magnétique
a couplemètre magnétique : mesure de déphasage entre T1 et T2 b détection de couple par système à roues phoniques

Figure 11 – Couplemètres magnétiques

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A M M A A
M
B C B C B A
M
B
C
C
A Céramique piézoélectrique A Céramique piézoélectrique A Écrou A Céramique piézoélectrique
B Plot central B Anneau de précontrainte B Céramique piézoélectrique B Ressort
C Couches d’adhésif conducteur C Plot central C Base C Base
a accéléromètre piézoélectrique b accéléromètre piézoélectrique c accéléromètre piézoélectrique d accéléromètre piézoélectrique
à cisaillement à cisaillement à contrainte axiale à contrainte axiale
à compression par écrou à compression par ressort
J2 J3
B
M1 M2 A

J1 J4
A

J
M
F M
J
A Encastrement
J1 ... J4 Jauges de contrainte A Encastrement B Trous de découplage
J Jauges de contrainte J Jauges de contrainte
e accéléromètre piézorésistif de choc f accéléromètre piézorésistif g accéléromètre piézorésistif basse fréquence
(Étendue de mesure : 25 000 g) (0 à 1 000 Hz – Étendue de mesure : 500 g)

Figure 12 – Capteurs de vibration et d’accélération

Éléments piézorésistifs
(valeur de la résistance R)
Z
Contre-force créée
en réponse à la
piézorésistance
R oc σ

Y X Partie fixe Partie fixe

a structure b coupe suivant un axe

Figure 13 – Accéléromètre triaxial en technologie MEMS (document Hitachi Metals America)

1
2
αM
2
α
RT
R1
R1 3
0 RT
3
R1 Résistance variable, R1 Résistance variable,
proportionnelle au proportionnelle à la
déplacement variation de l'angle α
RT Résistance totale RT Résistance totale
αM Angle maximale
a capteur de déplacement b capteur de déplacement
potentiométrique rectiligne potentiométrique rectiligne

Figure 14 – Capteurs de déplacement potentiométriques

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Angle
variable α Lames de
D condensateur
a capteur de déplacement
capacitif à surface
variable rotatif
B Bande photoconductrice
D Diode électroluminescente
P Prisme déflecteur

Figure 15 – Capteur de déplacement à curseur optique Condensateur

sur zone photoconductrice cylindrique

2
A
b capteur de déplacement
capacitif à surface variable
rectiligne simple
R1

R2
Condensateur
cylindrique

1 3

A Aimant
R1 , R2 Magnétorésistances

c capteur de déplacement
Figure 16 – Capteur magnétique de déplacement angulaire capacitif à surface variable
rectiligne differentiel

Figure 18 – Capteurs de déplacement capacitifs

Jauge

a capteur de déplacement à jauges de contrainte

(faible déplacement)

Jauge A

Jauge
P
S2
b capteur de déplacement à jauges de contrainte
à cône écartant deux lames en isoflexion

S1
Jauge
Ruban B
A Bobine primaire P Bobine primaire
B Bobines secondaires S1 , S2 Bobines secondaires
Jauge
a LVDT b capteur de déplacement
angulaire à tranformateur
différentiel

c capteur de déplacement à jauges de contrainte à ruban

Figure 19 – Capteurs de déplacement à transformateur différentiel

Figure 17 – Capteurs de déplacement à jauges de contrainte (figure 19a : LVDT, Linear Variable Differential Transformer)

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Zone Domaine de détection La cuve est mise La cuve est mise

aveugle Sd à la masse à la masse

Objet
Émetteur
récepteur hmin hmax h h
Angle total
du faisceau
a mesure de niveau b mesure de niveau c mesure de niveau
par conductimétrie par conductimétrie par conductimétrie
avec deux électrodes entre la cuve entre deux
sur cuve conductrice : conductrice et une électrodes
détection des niveaux électrode sur cuve non
maximal et minimal conductrice
Domaine de la DP actuelle Domaine de la
portée minimale Fenêtre portée maximale
A1 A2 Figure 22 – Capteurs et détecteurs de niveau par conductimétrie
a détecteur de proximité à ultrasons

Cible Cible
Secondaire C1 B
Cuve
A
C(x)
Plate-forme de pesage

Primaire Cp(x)
b capteur inductif à Figure 23 – Capteur de niveau par pesage
réluctance variable A, B Sorties mesure capacitive
C(x) Capacité variable liée à la
Cible distance x
Bobine Cp(x) Capacité parasite
C1 Capacité fixe Sonde
c capteur capacitif
DB 100 %
1 2 3 Transmetteur
S S S
N N N D
La cible doit être en
matériau conducteur
d capteur inductif
(courants de Foucault) E F
1, 2, 3 Positions différentes du
circuit en face de l’aimant
Zone d’induction mobile V
L
e capteur à effet Hall
x
0%

f capteur magnétorésistif
Figure 24 – Capteur de niveau à ultrasons
Figure 20 – Capteurs et détecteurs de proximité (document Endress et Hauser)
(d’après un document Pepper + Fuchs)

Capteur Capteur Corps de base

de position de force
p0
Membrane
p1 p2
A h
h pB Électrodes
h
A Verre fritté fixant
la membrane sur
le corps de base
a mesure de niveau b mesure de niveau c mesure de niveau a mesure de pression Sonde de température
par flotteur et par plongeur : par flotteur A et différentielle
capteur de position capteur de force aimant avec
et mesure de la dispositif suiveur b mesure de pression différentielle
poussée d’Archimède par variation de capacité électrique

Figure 21 – Capteurs et détecteurs de niveau de liquide à flotteur Figure 25 – Mesure de niveau par capteur de pression différentielle
ou plongeur (document Endress et Hauser)

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8. Capteurs et mesureurs
de débit de fluides Déplacement

Ressort
Les principes de mesure sont les suivants :
– débitmètres à pression différentielle ou à organe déprimogène U Palette
(figure 26) : ces systèmes sont normalisés ;
– mesure de débit par sonde de Pitot (figure 27) ;
– débitmètre à turbine (figure 28) ;
– débitmètre à palette (figure 29), avec mesure extérieure par Figure 29 – Débitmètre à palettes
mesure de déplacement ;
– débitmètre à tourbillons (figure 30) : mesure de débit par
mesure de fréquence dans un tourbillon (vortex) axial ;
– débitmètre à ultrasons (figure 31) ;
– débitmètre massique (figure 32) ;
– débitmètre à section variable ou rotamètre (figure 33) : la
variation de section D est obtenue par le mouvement du flotteur
dans un tube conique.
U

P1 P2
P1
P2
Figure 30 – Débitmètre à vortex
U U

a mesure de débit par b mesure de débit

par la mesure de A
la mesure de pression
différentielle entre P1 pression différentielle
et P2 créée par venturi entre P1 et P2 créée
par un diaphragme 2
U L
P1 P2 1
α

U A Éléments piézoélectriques émetteurs-récepteurs

Mesure de la vitesse du fluide par la mesure de la
différence de temps de parcours des ultrasons entre 1 et 2.

Figure 31 – Débitmètre à ultrasons

c mesure de débit
par la mesure de
pression différentielle
entre P1 et P2 créée
par une tuyère
0'
Figure 26 – Débitmètres à organe déprimogène U fc

U
1 Ω
P1 U 0 fc
2
P2 Le fluide, soumis à une rotation Ω suivant l’axe 00’,
subit une force de Coriolis fc qui déforme le tube en U.
P1 Pression d’arrêt ou pression totale
P2 Pression statique local
Figure 32 – Débitmètre massique à force de Coriolis
Figure 27 – Sonde de pression

Câble
Corps du mesureur Bobine
D0
Flotteur

U
Hélice Aimant Déflecteur

Figure 28 – Débitmètre à turbine Figure 33 – Débitmètre à section variable

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9. Capteurs d’humidité Bloc optique

Les différents principes sont :
Thermistance
– sondes à jauges de contrainte (figure 34) où l’élément sensible
agit en traction ;
– sondes à variation d’impédance (figure 35) ; Cellule
photorésistante
– hygromètres à diélectrique (figure 36) : mesure de la variation Hublot
de permittivité ; Miroir
– hygromètres à point de rosée (figure 37) ; Gaz
– psychromètres (figure 38). Ils sont composés de deux Mesure de
Sonde Isolant Électrode température
thermomètres : le thermomètre sec et le thermomètre dit platine thermique Refroidissement
« humide » ; la différence des températures est liée à la tension de
vapeur d’eau existant dans l’air ;
Équilibre entre la pression de On refroidit la surface du miroir
– hygromètres électrolytiques (figure 39) : l’eau contenue dans vapeur d’eau de l’air ambiant jusqu’au moment où un dépôt
le gaz à analyser est absorbée par le film de P2O5 , puis électroly- et la puissance de chauffage de buée se forme sur celui-ci.
sée en continu ; le courant d’électrolyse donne une indication de la solution saturée de LiCl On mesure alors sa température
directe de la quantité d’eau ;
– hygromètres de précision capacitifs à polymère (figure 40). a sonde d’humidité à b hygromètre à
L’hygromètre est constitué d’un condensateur dont le diélectrique chlorure de lithium condensation
(polymère) a la propriété d’absorber une quantité d’eau fonction du
degré hygrométrique de l’air. La constante diélectrique de l’eau étant Figure 37 – Hygromètres à point de rosée
élevée (εr = 80), ce phénomène donne lieu à une variation de
capacité proportionnelle à la quantité d’eau absorbée. Le
condensateur est réalisé en couches minces, avec une première élec-
trode en tantale anodisée pour éviter les courts-circuits, une
deuxième couche de polymère et enfin une couche de chrome dont A
l’épaisseur est de 10 à 30 nm. Le chrome en couche mince évaporée, I
très contraint en tension, génère un très grand nombre de craquelu-
res et se transforme en une mosaïque de petits îlots de 1 à 2 µm de A B C G H
côté, protégés par une couche suffisamment épaisse de chrome. Les
craquelures favorisent la diffusion de l’eau dans le polymère et entraî-
nent une amélioration importante du temps de réponse du capteur. Air B F
E
D
G
E D
F C
Élément sensible
A Thermomètre humide A Paroi de la cheminée
B Thermomètre sec B Boîtier de raccordement
Lame en isolation C Moteur C Porte-fourreau amovible
Jauges de contrainte D Ventilateur D Déflecteurs
E Mèche E Parois anti-rayonnement
Figure 34 – Sonde d’humidité à jauges de contrainte F Réservoir d’eau F Corps poreux
G Tube d’aspiration G Sonde de température humide
H Sonde sèche
I Injecteurs d’eau
S1
a psychromètre à aspiration b psychromètre pour mesure
électrique d’humidité haute température
(130 à 150 °C)
S2
Figure 38 – Psychromètres

Mesure de la variation
d'impédance entre S1 et S2
a sonde d’humidité à variation b sonde d’humidité à variation
d’impédance (boucle noyée d’impédance (peigne
dans un verre fritté poreux) A B C
interdignité)

Figure 35 – Sondes d’humidité à variation d’impédance

Gaz à
analyser

E D

A Gaine en Téflon D Film de P2O5

B Tube de passage d'air E Bornes de
C Enroulement de raccordement
deux électrodes

Figure 36 – Hydromètre à diélectrique Figure 39 – Hygromètre électrolytique

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Électrode poreuse
M N A B
A (T ) (T )
(TM) (TN)
Tantale anodisé
I I
Polymère TM , TN Températures des
CrNiAu points M et N
a effet Thomson b effet Peltier

Connexion Substrat
A
Figure 40 – Hygromètre capacitif à polymère (T2)
(réalisation LETI, document Gefran-Coreci) A
B
(T )
10. Capteurs de température B
(T1)
B

Les principes de capteurs de température les plus utilisés C

sont les suivants. T Température du circuit T T
2 1
EA/B f.é.m. engendrée dans
Mesure de la f.é.m. d’un couple le circuit
■ Effet thermoélectrique (figure 41) à l’aide de conducteurs différents
T T T
Les couples thermoélectriques (thermocouples) les plus cou- de ceux du couple : EA/B =EA/C –EB/C
rants sont : c effet des conducteurs d effet Seebeck
– le type T (cuivre/constantan) ; intermédiaires
– le type J (fer/constantan) ;
– le type K (chromel/alumel) ;
– le type E (chromel/constantan) ; Figure 41 – Effet thermoélectrique
– le type S (platine-rhodium 10 %/platine) ;
– le type R (platine-rhodium 13 %/platine).
Ces désignations sont normalisées (cf. article Couples thermoé-
lectriques. Caractéristiques et mesure de température [R 2 590]
dans la base documentaire Mesures physiques). Les couples ther-
moélectriques permettent des mesures de température de – 200 à
+ 2 400 oC. Les principes physiques mis en jeu dans les thermo- D
couples sont :
– l’effet Thomson (figure 41a) : c’est un dégagement de chaleur,
autre que l’effet Joule, provoqué par le passage du courant
électrique I à travers un conducteur A dont la température n’est
pas homogène ;
– l’effet Peltier (figure 41b) : le dégagement de chaleur est pro-
C
voqué par le passage du courant I à travers la jonction de deux
métaux A et B ;
– la loi des conducteurs intermédiaires (figure 41c) indique que
la force électromotrice (f.é.m) développée par le couple (A,C) est
égale à la différence entre la f.é.m développée par le couple (A,B) E
et celle développée par le couple (C,B) ;
– l’effet Seebeck (figure 41d) est la somme de l’effet Peltier et F
de l’effet Thomson, donnant la f.é.m totale, dite « de Seebeck ». B
Les couples thermoélectriques peuvent être montés en canne A
pyrométrique (figure 42) pour assurer la protection de l’élément
sensible.
■ Sondes à résistance métallique Isolant Gaine Isolant Gaine

– Sondes à résistance de métal non précieux (cuivre, nickel,

Balco...) ; le domaine de température va de – 50 à + 180 oC
(figure 43a) ;
– Sondes industrielles à résistance de platine ; la valeur typique Soudure isolée Soudure non isolée
de la résistance est de 100 Ω à 0 oC (sonde appelée « Pt 100 »). Ce
type de sonde est normalisé ; le domaine de température est de – A Capteur D Tête de raccordement
50 à + 550 oC (figure 43b) ; B Conducteurs internes avec connecteur
– Sondes à résistance de platine étalons (figure 43c). avec leur isolation E Enveloppe
C Gaine de protection F Sonde
■ Thermistances
Ce sont des détecteurs dont la résistivité varie en fonction de la
température. On distingue les thermistances CTN (coefficient de
température négatif), dont la résistance électrique diminue avec la Figure 42 – Canne pyrométrique

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B A
A B
A

1,52 mm
C C
B Gaz
Pt
C
D D
A Tube de platine Air Pt E F
B Fils de connexion
C Céramique A Four à résistance A Élément d’une bougie de 18 mm
B Zircone stabilisé B Tube de zircone
a sonde à résistance b sonde à résistance (électrolyte) C Écran de protection
de platine industrielle C Tête étanche D Revêtement protecteur
D Couple + électrode de Pt
thermoélectrique E Électrode de référence (air)
F Joint
a capteur à oxygène, b capteur à oxygène, référence air :
A référence air moteur courant utilisé pour les
moteurs à explosion
C

Catalyseur Plaque Ag SrCl2-KCl

de platine Ag Al2O3 AgCl
B
Pt Ag RuO2
A Enroulement de fil de platine entre deux couches isolantes SO2 , Air
B Supports extérieur et inférieur en platine Al2O3
C Connexions
Al2O3 K2SO4
c sonde à résistance de platine étalon +1% Ag2SO4 Couple thermoélectrique
c capteur pour mesure d capteur pour mesure
Figure 43 – Sondes de température à résistance métallique du chlore d’anhydride sulfureux

Figure 44 – Sondes de gaz à électrolyte solide

température, et les CTP. Les thermistances sont constituées de semi-
conducteurs à base d’oxydes métalliques dopés, ou d’autres semi-
conducteurs (carbone, germanium, silicium). Une thermistance CTP
peut servir de limiteur de courant pour la protection de circuits (à la 1
place de fusibles) et comme éléments chauffants dans des fours de
taille réduite à température régulée. En revanche, les thermistances
CTN sont principalement utilisées pour la mesure de température, et 2 2
sont largement répandues dans les thermostats numériques et dans
les automobiles pour surveiller la température des moteurs. Le
domaine de température concerné est de – 200 à + 600 oC. 4

3 3
■ Pyromètres optiques ∆P

Les mesures utilisent le rayonnement d’un corps émetteur ; il 5

s’agit d’une mesure sans contact. Le domaine de température 6
varie de la température ambiante à 2 000 oC.
D’autres principes de mesure de température existent : thermo-
7 8
graphie infrarouge, bilames, capteurs à fibres optiques, etc. O2
O2
O2
O2

11. Capteurs de gaz O2

Les différents types de capteurs sont les suivants.

9
■ Sondes à électrolyte solide (figure 44)
– capteur à oxygène, référence air (figure 44a) : le gaz circule 1 Entrée du gaz de référence
dans un tube d’électrolyte ; deux électrodes mesurent la f.é.m 2 Étranglements
entre le fil de platine du couple thermoélectrique et le fil de platine 3 Canaux du gaz de référence
connecté à l’électrode de référence. La figure 44b montre le 4 Microdétecteur de débit pour signal de mesure
modèle utilisé pour les moteurs à explosion ; 5 Entrée du gaz de mesure
– capteur pour la mesure du chlore (figure 44c) ; 6 Cellule de mesure
– capteur pour la mesure d’anhydride sulfureux (figure 44d ). 7 Effet de mesure paramagnétique
8 Électroaimant à flux alternatif
■ Capteurs basés sur les propriétés magnétiques 9 Sortie commune gaz de mesure et de référence

Un exemple de capteur d’oxygène paramagnétique est donné Figure 45 – Analyseur de gaz à effet paramagnétique
figure 45. Cet analyseur utilise la propriété paramagnétique de pour la détermination de l’oxygène (document Siemens,
l’oxygène : dans un champ magnétique inhomogène, les molécules capteur Oxymat)

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d’oxygène sont attirées, du fait de leur paramagnétisme, vers la

zone de champ la plus élevée. Si deux gaz de concentrations diffé- A
rentes en oxygène se rencontrent dans un champ magnétique, il se
produit entre eux une différence de pression. Le gaz de référence B
(figure 45) est amené à la cellule de mesure par deux canaux. L’un
des deux flux de gaz de référence rencontre le gaz de mesure dans C
B
le champ magnétique (7) ; la pression, proportionnelle à la teneur
en oxygène du gaz de mesure, provoque un écoulement forcé du
gaz de référence par le canal de jonction, à travers un microdétec- E
teur de débit (4) qui convertit ce débit en signal électrique. D

A Amenées de courant
■ Capteurs de gaz à semiconducteurs organiques ou métalliques, B Électrodes
en couche épaisse ou mince C Résistance chauffante
D Tube support en céramique
La figure 46 donne l’exemple d’un capteur à oxyde d’étain fritté E SnO2 fritté
semiconducteur SnO2 utilisé pour la détection de gaz combus-
tibles. L’adsorption du gaz à la surface de l’oxyde semiconducteur Figure 46 – Capteur de gaz à semiconducteur
provoque une variation de conductivité superficielle du capteur,
qui est mesurée. Les formes les plus récentes de ces capteurs
sont miniaturisées et fabriquées par des techniques de dépôt
sous vide.
2 mm

■ Capteurs catalytiques Couche de Couche

1 mm référence active
Le principe (figure 47a) est la mesure de l’augmentation de la
résistance et de la température en présence d’un gaz inflammable
A B
par combustion .On mesure la chaleur dégagée par la combustion
du gaz à détecter. La fabrication de ces capteurs utilise les techno- A Catalyseur de palladium
logies de la microélectronique. Ils comportent deux éléments sur perle de Al2O3
B Fil de platine
chauffants identiques, en couches de platine, déposés sur une
membrane de nitrure de silicium qui constitue un bon compromis a principe b capteur Microsens (Suisse)
adhérence/isolation thermique et électrique avec le substrat de sili-
cium. Sur l’une des résistances de platine est déposé un catalyseur
Figure 47 – Capteur catalytique de gaz
(métal précieux tel le palladium le plus souvent), l’autre sert de
référence. La figure 47b montre un microcapteur catalytique (cap-
teur MCGS de Microsens SA, Neuchâtel, Suisse).

Interféromètre de Michelson
■ Spectromètres infrarouges
Miroir fixe
La spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIR : C
Fourier transformed Infrared Spectroscopy) est basée sur l’absorp- Miroir mobile

(BC)
tion d’un rayonnement infrarouge par le matériau analysé. Le fais-
ceau infrarouge (figure 48) provenant de la source A est dirigé D-3 D-2 D-1
B A
vers l’interféromètre de Michelson qui va moduler chaque lon-
gueur d’onde du faisceau à une fréquence différente. Le faisceau (BD)
lumineux arrive sur la lame séparatrice ; une moitié du faisceau est Séparatrice Source
dirigée sur le miroir fixe, le reste passe à travers la séparatrice et 1/2π 1/4π ZPD
est dirigé vers le miroir mobile. Quand les deux faisceaux se
recombinent, des interférences destructives ou constructives appa- Intensité
raissent en fonction de la position du miroir mobile. Le faisceau en sortie
modulé est réfléchi vers l’échantillon, où interviennent les Signal détecté Échantillon
absorptions, puis le faisceau arrive sur le détecteur pour être trans- Position du miroir mobile Détecteur
formé en signal électrique.

Figure 48 – Spectromètre infrarouge à transformée de Fourier

■ Gas-FET (figure 49) (document biophy Research)

Le principe consiste à intégrer sur la grille du transistor FET

(field effect transistor, transistor à effet de champ) une membrane
sensible à l’espèce à détecter. Lors de l’absorption d’un gaz accep-
Polymère Membrane
teur ou donneur d’électrons, il va se produire une modification du
potentiel de surface, et par suite de la concentration de porteurs au SiO2 déposé Gaz
niveau du canal et donc de sa conductance. De nombreux disposi- Source Drain
tifs ont été développés, tous basés sur le principe schématisé, Connexion Al
mais différant essentiellement par le choix du matériau sélectif SiN4
SiO2 thermique
constituant la grille du FET. En utilisant une grille de palladium, on
peut réaliser des dispositifs sensibles à un éventail de gaz
Substrat SiN Canal implanté P
contenant de l’hydrogène tels certains COV, mais aussi NH3
(l’ammoniac) et H2S (l’hydrogène sulfuré) (exemple de fabricant :
AppliedSensor Sweden AB). Figure 49 – Gaz-FET

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12. Choix du capteur 13. Évolution et tendance

■ Expression du besoin ■ Capteurs intelligents
L’implémentation toujours plus grande de réseaux industriels
• Définir avant de choisir : le créateur d’une machine a besoin
s’accompagne du développement de « capteurs intelligents » (et
de résultats voulus dans la discipline qui est la sienne. Cependant,
maintenant de systèmes intelligents) pour lesquels l’interopérabi-
c’est à partir de capteurs bien adaptés qu’il pourra prévenir une
lité et la maintenabilité sont poussées.
défaillance, vérifier la conformité des performances ou améliorer
les réglages. Il y a donc lieu de choisir le plus tôt possible le cap- Le capteur intelligent correspond principalement à l’intégration
teur qui sera le mieux placé dans l’application sur sa machine. dans le corps du capteur d’un organe de calcul interne (micropro-
cesseur, microcontrôleur, ASIC Application Specific Integrated
• Informations générales : il est évident que le maximum Circuit ), d’un système de conditionnement du signal (program-
d’informations générales doivent être données au fournisseur de mable ou contrôlé) et d’une interface de communication... Plus lar-
capteurs pour faciliter les contacts entre utilisateur et concepteur, gement, le concept de capteur intelligent se décompose ainsi (Selon
les conditions de réception, de garantie et d’environnement. L’utili- le livre « Capteurs intelligents et méthodologie d'évaluation » [9]) :
sateur établira si possible une fiche technique de demande telle – d’un ou de plusieurs transducteur(s) ;
que celle jointe à titre d’exemple (cf. encadré 1). – de conditionneurs spécifiques ;
– d’une mémoire ;
– d’une alimentation ;
Encadré 1 – FICHE D’APPEL D’OFFRES – d’un organe intelligent interne permettant un traitement local
et l’élaboration d’un signal numérique ;
– d’une interface de communication.
FICHE MODÈLE
Enfin, la tendance à coupler dans un même microsystème
APPEL D’OFFRES
exploitant les nanotechnologies à la fois l’aspect microélectroni-
DEMANDEUR MR : SOCIÉTÉ : que et l’aspect micromécanique, voire micro-optique, a donné
TÉLÉPHONE : POSTE No : naissance à une nouvelle discipline celle des « MEMS » (Micro
Electro Mechanical Systems) et MOEMS (Micro-Opto-Electro-
ADRESSE : Mechanical Systems), c’est-à-dire de nanosystèmes 3D, dont le
Nombre de capteurs envisagé : développement ouvre des perspectives nouvelles.
Nature du paramètre à mesurer : ■ Capteurs MEMS
Objectif souhaité : Issues de la microélectronique silicium, les MEMS constituent des
Discipline intéressée : techniques de miniaturisation à l’échelle du micron. Elles visent à
Essais de l’équipement : réduire la taille et à augmenter les performances des équipements
électroniques, dont les capteurs. Les principaux domaines
Caractéristiques métrologiques : concernés aujourd’hui sont l’automobile, l’aéronautique et le spatial
Étendue de mesure : avec les différents types de capteurs, le multimédia, les télécommu-
Sensibilité : nications, sans oublier le domaine médical avec le développement
de systèmes miniaturisés. Les produits deviennent de plus en plus
Écart de linéarité : complexes, tout en gardant un objectif de coût abordable.
Écart dû à la température : Ces technologies de pointe impliquent la mise en place de
sur le zéro (% EM par oC) : moyens industriels complexes et fortement coûteux, nécessitant
des fabrications grandes séries afin de rester compétitives d’un
sur la sensibilité (% par oC) :
point de vue économique.
Erreur due aux vibrations :
Dans un futur plus ou moins lointain, les MEMS se heurteront à
Finesse : des limites technologiques qui ne pourront être dépassées que par
Rapidité : l’utilisation des nanotechnologies.
Surcharge (% de EM) : ■ Capteurs chimiques
Température (oC) : Que ce soit au titre du contrôle environnemental ou au titre de la
Renseignements complémentaires : lutte contre le terrorisme, la détection de substances chimiques
devient un élément incontournable de la vie quotidienne. Si on dis-
(à joindre à votre proposition) pose aujourd’hui d’appareils de mesure suffisamment fiables et précis
Alimentation du capteur comme des analyseurs infrarouge ou bien encore des spectromètres à
Caractéristiques de sortie : mobilité ionique, leur coût associé à un encombrement important
constitue un frein à la multiplication des points de contrôle. C’est une
Raccordement électrique : des raisons pour lesquelles divers groupes de recherche axent leurs
Raccordement avec la grandeur à mesurer : travaux sur la mise au point de capteurs chimiques. Ils sont aisément
Encombrement : miniaturisables et bénéficient de coûts de fabrication réduits. Le fonc-
tionnement de ces détecteurs est basé sur une interaction entre un
Masse : matériau sensible solide et une phase gazeuse ou liquide qui conduit à
Fixation : une modification des propriétés physico-chimiques du matériau.
Si les capteurs chimiques se révèlent suffisamment sensibles, ils
pèchent bien souvent par une trop faible sélectivité. C’est grâce à la
mise en place de méthodes de traitement du signal adaptées que les
■ Conclusion
performances des capteurs vont être optimisées. Les exemples de
Ce modèle d’appel d’offres permet à l’utilisateur de trouver un réalisation sont multiples et on peut citer des développements origi-
canevas des principaux éléments nécessaires au choix d’un cap- naux qui concernent un détecteur miniature d’explosif basé sur une
teur et de mieux réfléchir aux besoins réels à imposer, n’oubliant microbalance à quartz ou un détecteur de composés organiques
jamais les conséquences de la précision sur les prix. volatils qui repose sur un réseau de huit microbalances à quartz.

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