Microscopie thermique à balayage

par Georges LE PALEC

Professeur à l’Institut de mécanique de Marseille, université de la Méditerrannée
et Daniel RONDOT
Professeur à l’Institut universitaire de technologie de Belfort

1. Présentation et intérêt de la méthode............................................... R 2 770-2

2. Réalisation technique et acquisition des données......................... — 2
2.1 Obtention d’un profil, d’une cartographie
et d’une tomographie thermiques ............................................................. — 2
2.2 Acquisition des données............................................................................. — 2
3. Visualisation et analyse quantitative des données ........................ — 3
3.1 Visualisation : analyse qualitative des données ....................................... — 3
3.2 Analyse quantitative.................................................................................... — 3
4. Contrôle et optimisation des fonctions
du microscope thermique...................................................................... — 4
5. Quelques exemples d’application ....................................................... — 4
5.1 Convection naturelle au-dessus d’une plaque plane verticale ................ — 4
5.2 Diagnostic des déperditions thermiques d’un moteur électrique
à courant continu......................................................................................... — 5
5.3 Diagnostic des déperditions thermiques d’un moteur électrique
de puissance ................................................................................................ — 6
5.4 Détermination du coefficient de transfert en présence d’évaporation ... — 6
6. Conclusion ................................................................................................. — 7
Références bibliographiques ......................................................................... — 8

et article présente un dispositif qui permet l’analyse expérimentale d’une

C distribution de température dans un volume qui peut être très réduit (par
exemple, analyse d’une couche limite). Cette technique d’investigation peut être
utilisée à des fins de profilométrie, cartographie ou tomographie thermiques,
les résultats acquis étant complémentaires de ceux qui peuvent être obtenus par
thermographie infrarouge. En effet, lors de l’étude du transfert de chaleur par
convection entre une surface et un fluide, le couplage des deux techniques peut
conduire à une mesure précise des coefficients de transfert de chaleur locaux.
12 - 1996
R 2 770

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1. Présentation et intérêt
de la méthode
Le dispositif de mesure par microscopie thermique à balayage bi
ou tridimensionnel a été développé en vue de résoudre le problème
posé par la détermination expérimentale des coefficients de trans-
fert de chaleur locaux au voisinage de surfaces quelconques, en pré-
sence d’écoulements complexes, comme, par exemple, les
écoulements engendrés par une convection naturelle.
Il a aussi été conçu dans le but de caractériser les transferts ther-
miques au voisinage d’une surface rugueuse afin, notamment, d’étu-
dier l’influence locale de macrorugosités sur la répartition des
températures de surface et sur l’intensité des transferts locaux de
chaleur. Sur des installations industrielles telles que les échangeurs
ou tout autre système dans lequel l’isolation thermique ou, au
contraire, l’évacuation des calories, présente un intérêt, cette tech-
nique, complémentaire de la thermographie infrarouge, permet non
seulement de déceler des anomalies thermiques à partir de la car-
tographie des températures de surface, mais aussi d’analyser leurs
causes grâce à l’analyse expérimentale détaillée de l’écoulement
dans la zone proche du « défaut » (tomographie et profilométrie).
Le dispositif, schématisé sur la figure 1, comprend trois éléments :
— un microthermocouple dont le diamètre définit la résolution
latérale ; il doit évidemment être le plus petit possible ;
— un système de déplacement tridimensionnel (normal, latéral
et angulaire) de la sonde, à l’échelle du micromètre ; les dépla-
cements doivent se faire avec une précision et une reproductibilité
meilleures que la résolution à atteindre ; pour cela on utilise trois
moteurs pas à pas à déplacement rectiligne disposés sur un pla-
teau tournant et pilotés par un micro-ordinateur [deux pour le
balayage latéral (X, Y ), un pour le balayage normal (Z )] et un
moteur pour le balayage angulaire (θ ) ;
— un système d’acquisition, de visualisation et de traitement des
données : à chaque hauteur Z correspond une fonction de surface
f (X,Y ) représentée par un enregistrement tridimensionnel des
niveaux de gris ou des fausses couleurs qui correspondent aux tem-
pératures locales mesurées. Une fonction « zoom »permet un gros- Figure 1 – Dispositif expérimental
sissement d’image de l’ordre de 103 à 104. Le système d’acquisition de la microscopie thermique à balayage
et de traitement des données est assuré par le micro-ordinateur ser-
vant au pilotage des moteurs.
un quatrième moteur, permet, lors d’une investigation effectuée
dans une région proche d’une surface, de choisir et de faire varier
la direction de déplacement du thermocouple par rapport à la géo-
métrie de la paroi d’échange : cette fonction offre notamment la pos-
2. Réalisation technique sibilité d’étudier une surface macro-rugueuse.
et acquisition des données Les moteurs sont pilotés par un système comportant une unité
centrale à microprocesseur qui assure la gestion de la commu-
nication avec un ordinateur et la commande de quatre modules
2.1 Obtention d’un profil, d’une cartographie internes reliés aux quatre moteurs. Ce système est muni d’une
et d’une tomographie thermiques liaison normalisée connectée à une interface compatible. Chaque
moteur peut recevoir les commandes suivantes : sens de rotation,
avance par pas, couple de maintien. La précision du déplacement
D’un point de vue fonctionnel, un profil thermique est obtenu par
linéaire (1 µm) et celle du déplacement angulaire (0,005 degré) sont
déplacement du microthermocouple dans une direction à l’aide d’un
largement supérieures à la précision nécessaire qui est, au mieux,
des moteurs pas à pas. Pratiquement, on utilise un déplacement
donnée par le diamètre du microthermocouple.
minimal de l’ordre de grandeur du diamètre du thermocouple utilisé
(10, 25, 50 ou 100 mm). L’analyse d’un plan (cartographie) sera obte-
nue en utilisant un deuxième moteur afin de réaliser une succession
de profils équidistants, avec la même résolution minimale que pré- 2.2 Acquisition des données
cédemment entre chaque profil : la connaissance simultanée de la
température locale et des coordonnées X et Y permet de construire Outre le capteur, la chaîne d’acquisition des données comporte
la loi T = f (X,Y ). Chaque plan est stocké dans un fichier comprenant une conversion analogique/numérique afin de numériser le signal
256 × 256 points et 256 niveaux de gris. Un profil thermique isolé du thermocouple et un adaptateur qui assure la liaison directe avec
comprend un nombre maximal de 4 000 points. le micro-ordinateur. Ce dernier, à l’aide d’un logiciel adapté, inter-
La présence du troisième moteur qui assure un déplacement roge le système de mesure, reçoit la réponse et stocke les données
vertical (normal à la surface) permet d’exécuter une tomographie sur un fichier destiné au traitement. Un affichage simultané et en
thermique et donc l’analyse d’un volume par exécution successive temps réel des températures permet de vérifier le bon fonctionne-
de plans. Enfin, l’utilisation du plateau tournant, mû lui aussi par ment des opérations.

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L’ensemble nécessite la réalisation de plusieurs logiciels : 3.2 Analyse quantitative

— un programme de pilotage du thermocouple via les moteurs
pas à pas : ce programme comprend les séquences d’initialisation Les informations d’ordre quantitatif sont obtenues à partir d’un
des interfaces, un menu général (destiné au choix de la confi- logiciel d’acquisition automatique des données et de mesures dont
guration du déplacement de chaque moteur, du nom du fichier et l’organisation est illustrée sur la figure 2 : il existe trois modes opé-
de l’exécution ou de l’arrêt du programme) et, enfin, la séquence ratoires (point, ligne ou fenêtre) qui ont chacun trois possibilités dif-
itérative de pilotage des moteurs, de lecture des données et de férentes d’analyse locale de l’image, l’ensemble des points étudiés
leurs mises en fichier ; le capteur peut balayer un axe, un plan ou appartenant à une famille de type « ligne » ou de type « surface »
une surface gauche ; l’acquisition d’une mesure doit toujours être selon le cas.
effectuée après immobilisation et mise en équilibre thermique du
couple thermoélectrique ; le temps d’immobilisation préalable à La première famille comprend tout ensemble ou réunion
d’ensembles de points ordonnés dont deux éléments constitutifs
une mesure est naturellement fonction du temps de réponse du
microthermocouple et une attention particulière doit être accordée sont voisins immédiats. Une famille de type ligne peut comprendre
à son positionnement afin de minimiser les risques d’erreurs liés, 256, 512 ou 1 024 points et peut être constituée ou non de
sous-ensembles disjoints séparés par des espaces. La seconde
notamment, à la conduction thermique dans la sonde (voir § 4) ; la
durée d’exécution du programme peut varier de quelques minutes famille comprend tout ensemble ou réunion d’ensembles de points
à plusieurs heures selon le type d’analyse : profil, cartographie ou définissant une surface dans l’image, le cas limite étant l’image
tomographie ; entière.
— un programme de représentation graphique et de copie
d’écran ; les données du fichier d’acquisition sont utilisées pour un
tracé en temps réel des températures en fonction de la distance ou
de l’espace balayé ; le programme de copie graphique est résidant
et activé par l’opérateur.

3. Visualisation et analyse
quantitative des données
L’exploitation des données numériques fournies par la mesure
est assurée par un logiciel qui comporte deux fonctions principales
(la visualisation et l’analyse locale d’un plan-image) doté de plu-
sieurs modules de traitement.

3.1 Visualisation : analyse qualitative

des données
La visualisation facilite l’analyse qualitative du phénomène étudié.
Les représentations les plus courantes sont les suivantes :
— les niveaux de gris : la température de chaque point d’un plan
est remplacée par un niveau de gris obtenu à partir d’une matrice
de points répartis de façon à donner l’impression d’une nuance de
gris. Le nombre de points affichés à l’écran est fonction des carac-
téristiques de la carte graphique ;
— les pseudo-couleurs : elles servent à dissocier deux niveaux
de gris très voisins ;
— la représentation tridimensionnelle de la fonction T = f (X, Y ) ;
— les isothermes ;
— les « nappes isothermes » : il s’agit de surfaces isothermes
tridimensionnelles que l’on peut construire à partir d’une
tomographie ;
— le gradient de l’image thermique : on peut le calculer sur une
zone plus ou moins grande de l’image discrétisée, ce qui permet
de mettre en évidence des variations locales de température.
Il s’agit de la dérivée première du relief thermique par rapport
aux coordonnées X, Y, et T et il est défini par la relation :

∂T 2 ∂T 2
T′ = 1 +  ---------  +  -------- 
 ∂X   ∂Y 

— le filtrage tridimensionnel de l’image thermique : il permet de

traiter l’image en atténuant ou en éliminant les composantes
basses fréquences (formes générales) ou hautes fréquences
(détails). On peut ainsi obtenir des masques de type passe-haut,
passe-bas, enveloppe supérieure ou enveloppe inférieure. Figure 2 – Organisation du logiciel d’acquisition automatique
des données

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L’extraction d’un point ou la sélection d’une ligne horizontale ou

verticale est effectuée par une procédure qui permet l’affichage
d’une fenêtre image et la sélection d’une ligne dont le profil est
construit à partir de ses niveaux de température et affiché dans
une fenêtre spécifique, de même largeur que la fenêtre image. À
chaque opération de sélection, trois requêtes sont possibles :
— sélection d’un point ;
— discontinuité de la ligne pour introduire des points fictifs
séparateurs ;
— effacement du point.
Dans l’analyse d’une image thermique, il existe naturellement
des zones non significatives vis-à-vis du phénomène que l’on
cherche à étudier et il est donc intéressant d’ajouter dans le logiciel
une option qui permette de choisir la forme (quelconque) de la
fenêtre image : l’opérateur peut alors délimiter une zone précise et
procéder à son analyse fine.

4. Contrôle et optimisation
des fonctions du microscope
thermique
Comme pour tout dispositif expérimental, un certain nombre de
précautions sont à prendre afin d’obtenir des mesures qualitatives
et quantitatives correctes. Il faut, en particulier :
— assurer un positionnement précis du thermocouple car ce posi-
tionnement servira de référence à tout déplacement ultérieur : on Figure 3 – Exemple de vérification de la perturbation induite
peut l’effectuer par approches successives et contrôle visuel à l’aide par le capteur
d’un microscope stéréographique. Pour des surfaces non planes, ce
positionnement peut être obtenu à partir de plusieurs points de réfé-
rence qui sont localisés par rugosimétrie tridimensionnelle de la aussi, dans le cas de forts gradients de température, estimer
paroi [2]. Ces points peuvent être, par exemple, les sommets du relief l’influence du rayonnement entre la sonde et la paroi. Toute solution
de la zone étudiée ; technique visant à réduire ou éliminer cet échange radiatif contri-
— vérifier l’établissement du régime permanent des échanges buera à améliorer la précision de la mesure. Notons que souvent
thermiques : on peut l’obtenir par thermographie infrarouge numé- une analyse simplifiée du comportement thermique de la sonde en
rique et dynamique [3] qui permet d’observer, à partir d’un logiciel fonction de sa sollicitation permet d’obtenir les estimations
spécifique, l’évolution et donc la stabilisation spatiale et temporelle recherchées [4].
des températures de surface pour une région déterminée de la paroi
(par exemple une ligne) : il est naturellement judicieux de choisir
une zone où la variation temporelle des températures en fonction
d’une sollicitation thermique donnée est importante. Ce choix
dépend du phénomène étudié ;
5. Quelques exemples
— évaluer le rôle perturbateur du microcapteur, notamment pour
les mesures qui ont lieu dans des zones très proches de la surface :
d’application
un exemple de vérification est donné sur la figure 3 qui représente
le thermogramme d’une portion de surface (2 mm sur 2 mm) d’une Nous donnons, ci-après, des exemples de problèmes auxquels
sphère chauffée en rotation à proximité de laquelle un thermocouple nous avons appliqué la technique de microscopie thermique à
a été placé. La distance thermocouple-paroi est inférieure à 10 µm balayage. Pour ces exemples, plusieurs relevés profilométriques
et on ne constate, en aval du thermocouple, aucune perturbation ou tridimensionnels illustrent les performances et l’intérêt de cette
observable sur les diverses lignes sélectionnées ; technique.
— déterminer soigneusement le temps de réponse du micro-
thermocouple afin d’obtenir une mesure précise et d’optimiser le
pas de temps du pilotage des moteurs. En effet, ce temps de 5.1 Convection naturelle au-dessus
réponse est fonction de la sollicitation thermique. Des essais préa-
lables seront donc toujours nécessaires afin de s’affranchir de ce d’une plaque plane verticale
problème.
Par ailleurs, comme pour toute mesure expérimentale, et en Les figures 4 et 5 concernent les profils de température obtenus
connexion avec le problème précédent, il faut avoir une estimation par microscopie thermique à balayage dans la couche limite qui se
de l’erreur commise. Il convient notamment de prendre garde aux développe au-dessus d’une plaque plane soumise à un flux de
erreurs pouvant être induites par conduction dans la sonde lorsque densité constante : les profils tridimensionnels obtenus pour quatre
celle-ci est placée dans un milieu où existent de forts gradients de hauteurs différentes (à 10, 20, 30 et 40 cm du point d’arrêt) montrent
température. C’est le cas, par exemple, dans la couche limite qui se une répartition des températures homogène suivant la direction Y,
développe sur une paroi dont la température diffère fortement de ce qui prouve que les effets de bord n’influent pas (ceci illustre
celle du fluide ambiant : afin d’éviter ce problème, on placera si pos- l’aspect qualitatif de la méthode). Par ailleurs, du point de vue quan-
sible le thermocouple dans le même plan isotherme que le point titatif, les profils de température obtenus dans la direction X, nor-
mesuré, c’est-à-dire approximativement parallèle à la surface. Il faut male à la paroi, pour l’abscisse Y correspondant au milieu de la

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Figure 4 – Convection naturelle au-dessus d’une plaque plane

verticale soumise à un flux de densité constante

Figure 5 – Convection naturelle au voisinage d’une plaque plane :

plaque, sont en bon accord avec les corrélations trouvées dans la
profils thermiques
littérature, abondante sur ce sujet [5] [6]. On constate notamment
l’épaississement de la couche limite thermique en fonction de la
hauteur. Les relevés effectués près de la paroi permettent la
détermination du coefficient local de transfert de chaleur par éva- 5.2 Diagnostic des déperditions
luation du gradient pariétal : pour cela, on mesure parallèlement la thermiques d’un moteur électrique
température de surface par thermographie infrarouge. L’association
des deux techniques conduit à une erreur maximale de l’ordre de à courant continu
10 % sur les nombres de Nusselt locaux, tant que les températures
de paroi restent modérées. Le lecteur pourra se reporter en bibliographie à la référence [7].
D’autres exemples concernant des études académiques d’écou- La méthode a été appliquée à quelques cas industriels : ainsi,
lements forcés (sphère et cylindre en rotation) figurent dans la l’étude du comportement thermique d’un moteur électrique exige
référence [1]. la connaissance des températures de surface du carter et celle des
coefficients locaux de transfert thermique afin d’en optimiser le
refroidissement sur un moteur électrique.

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L’échauffement du moteur est mesuré par thermographie infra-

rouge. Les thermogrammes successifs sont d’abord enregistrés sur
bande magnétique. Une numérisation séquentielle automatique
permet ensuite leur exploitation. Le choix de cette procédure est
imposé par la durée nécessaire à l’obtention du régime permanent
(2 heures), ce qui conduit généralement à un nombre de données
trop élevé pour la capacité du disque dur. Il s’agit donc ici d’une ana-
lyse différée dans le temps. Le processus de reconstruction de
l’image permet de sélectionner des thermogrammes précis et signi-
ficatifs. Un pyromètre électronique relié au micro-ordinateur enre-
gistre les variations de température d’un point particulier du carter,
ce qui permet de vérifier le calibrage de la caméra infrarouge.
Une fois le régime permanent atteint, la microscopie thermo-
optique permet de mesurer précisément et simultanément les
températures et les distances séparant le microthermocouple de la
paroi, ce qui conduit à une estimation du coefficient local de transfert
de chaleur. Le schéma de principe du montage apparaît sur la
figure 1. Les données du fichier créé par le programme d’acquisition
sont utilisées pour un tracé des températures en fonction de la
distance à la paroi et lissées. Les températures mesurées peuvent
être corrigées à l’aide d’un bilan thermique établi au niveau du
thermocouple afin de tenir compte des effets radiatifs éventuels. Une
intégration des coefficients locaux (par la méthode de Simpson, par
exemple) conduit à la connaissance du coefficient global.
Quelques exemples de profils thermiques apparaissent sur la
figure 6, avec indication de leur localisation sur le pourtour du
moteur. Une cartographie des coefficients d’échange thermique
locaux est donnée sur la figure 7. Ces derniers sont naturellement
sensibles aux protubérances (augmentation du coefficient de trans-
fert) ou aux cavités (diminution du coefficient de transfert) affectant
la surface du carter. On constate que ce type de résultats est à même
de guider le choix et la conception d’un système de refroidissement.

5.3 Diagnostic des déperditions thermiques

d’un moteur électrique de puissance
Le lecteur pourra se reporter en bibliographie à la référence [8].
La méthode a également été appliquée à un moteur de puissance :
la figure 8 illustre une représentation tridimensionnelle de la répar-
tition de température sur le carter du moteur, la figure 9 montrant
la géométrie du carter suivant la même orientation. On voit que la
forme et la profondeur des ailettes sont des paramètres qui influent
sur les températures et donc sur la valeur des coefficients de trans-
fert. On remarque aussi qu’au voisinage de l’axe, les transferts sont
plus importants, induits par le mouvement de convection forcée
engendrée par la rotation de l’axe.

5.4 Détermination du coefficient

de transfert en présence d’évaporation
Le lecteur pourra se reporter en bibliographie à la référence [9].
Sous réserve que le transfert de masse soit bien contrôlé, la
méthode peut aussi être appliquée à un problème de transfert couplé
masse-chaleur : c’est le cas lors du séchage de produits, au cours
de la première phase de séchage durant laquelle le flux d’évaporation
demeure constant tant que les propriétés de l’air asséchant
demeurent inchangées.
La figure 10 représente le principe de l’expérience faite pour
mesurer dans ces conditions le transfert de chaleur au-dessus d’un
tissu saturé d’eau : les mesures ont été effectuées suivant les direc-
tions X1 X3 et X1 X2 sur des tissus de nature différente soumis à des
conditions de séchage fixées en température et hygrométrie. La
Figure 6 – Profilométrie thermique d’un moteur électrique
figure 11 montre l’évolution moyenne, suivant la direction X1X2,
des coefficients de transfert locaux en fonction de la distance X1X3,
pour des cotons de rugosités moyennes différentes mais cependant
très proches. Cet exemple illustre la précision de la méthode.

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Figure 10 – Mesure du coefficient de transfert sur un textile :

principe de l’expérience
Figure 7 – Cartographie des coefficients de transfert de chaleur
locaux autour d’un carter de moteur électrique

Figure 8 – Représentation tridimensionnelle de la température

dans le carter du moteur

Figure 11 – Influence de la rugosité moyenne sur le coefficient

de transfert de chaleur au-dessus d’un textile saturé (coton)

nécessaires à prendre, notamment vis-à-vis du positionnement et

des sollicitations thermiques du microthermocouple (conduction,
rayonnement). Le couplage de cette méthode avec la thermographie
infrarouge permet par ailleurs d’obtenir les coefficients d’échange
locaux avec une bonne précision, même dans le cas d’écoulements
tridimensionnels comme, par exemple, ceux qui peuvent être engen-
drés par convection mixte. L’exploration des couches limites de
convection forcée est évidemment plus délicate car l’épaisseur du
Figure 9 – Moteur testé sur la figure 7 domaine concerné est très faible.
La technique a aussi été validée sur divers problèmes industriels
(moteurs, évaporation...). Une extension de la méthode à des pro-
6. Conclusion blèmes de transferts couplés masse-chaleur peut être envisagée
dans la mesure où les transferts de masse sont connus (première
phase de séchage, par exemple). Une extension plus générale (autres
Pour conclure cet exposé concernant la microscopie thermique à phases de séchage) est plus hasardeuse car, d’une part, les flux mas-
balayage bi ou tridimensionnel, nous pensons qu’il est nécessaire siques pariétaux nuisent grandement à la validité de la mesure près
de rappeler que cette technique, qui existe actuellement à l’état de de la surface d’échange, à cause de la présence perturbatrice de jets
« prototype », en tant qu’expérience de laboratoire, a été testée et de vapeur localisés et aléatoires, d’autre part, de tels problèmes ont
validée sur des cas classiques (plaque plane, sphère et cylindre en des cinétiques souvent mal connues car dépendantes de l’état de
rotation) ou industriels (moteur électrique). Ces essais ont démontré surface, de la nature du produit, et de bien d’autres paramètres dif-
son efficacité dans l’exploration des couches limites de convection ficilement mesurables ; dans ces conditions, on conçoit que l’inter-
naturelle. Cependant, il n’est pas inutile de rappeler les précautions prétation des mesures devienne délicate.

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Références bibliographiques

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