Mécanique du contact aux échelles mésoscopiques

Julien Scheibert

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Julien Scheibert. Mécanique du contact aux échelles mésoscopiques. Analyse de données, Statistiques
et Probabilités [[Link]-an]. Université Pierre et Marie Curie - Paris VI, 2007. Français. �NNT :
�. �tel-00172935�

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Submitted on 18 Sep 2007

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 THESE DE DOCTORAT DE
L’UNIVERSITE PARIS 6 - PIERRE ET MARIE CURIE

Ecole Doctorale
Chimie Physique et Chimie Analytique de Paris-Centre (ED 388)

Spécialité : Matière Condensée

Présentée par
Julien SCHEIBERT

Pour obtenir le grade de

DOCTEUR de l’UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE

Sujet de la thèse :

Mécanique du contact
aux échelles mésoscopiques

Soutenue le 28 Juin 2007

devant le jury composé de :

Mme Françoise Brochard-Wyart Présidente du Jury

M. Didier Chatenay Directeur de thèse
M. Georges Debrégeas Co-directeur de thèse
M. Jean-Marc DiMeglio Rapporteur
M. Christian Frétigny Examinateur
M. Chaouqi Misbah Rapporteur
M. Alexis Prevost Invité
M. Olivier Ronsin Examinateur
Remerciements

Georges Debrégeas, par son enthousiasme, son engagement, et son intuition physique
exceptionnelle, et Alexis Prevost, par sa disponibilité, sa patience infinie et son exigence
du travail bien fait dans les moindres détails, ont fait de cette thèse une période humai-
nement et scientifiquement très intense. Ma gratitude à leur égard est immense.

Je remercie ensuite, dans le désordre :

Elie Raphaël au Laboratoire des Fluides Organisés puis Jacques Meunier au Laboratoire
de Physique Statistique pour m’avoir accueilli dans leurs unités respectives ; Elie Raphaël
puis Didier Chatenay pour avoir accepté d’être mes directeurs de thèse officiels ; tous les
étudiants, ITA et chercheurs que j’ai pu côtoyer au LFO puis au LPS, en particulier tout le
monde en D22 ; les membres du jury, en particulier Jean-Marc Di Meglio et Chaouqi Mis-
bah pour leurs rapports ; Pascal Silberzan et Axel Buguin à l’Institut Curie pour m’avoir
initié à la microfabrication ; Joël Frelat au LMM pour m’avoir appris à utiliser Castem ;
Liliane Léger au LFO pour m’avoir initié à la silanisation ; Hervé Willaime au MMN
pour l’utilisation de son profilomètre ; Mokthar Adda-Bedia et Eytan Katzav au LPS pour
leur calculs et nos fructueuses discussions ; Christian Frétigny et Antoine Chateauminois
au PPMD pour nos intéressantes discussions et les comparaisons avec leurs modèles mé-
caniques ; Hélène Montès au PPMD pour sa disponibilité et son aide pour les mesures de
G′ et G′′ ; Alain Ponton et Benoı̂t Ladoux à MSC pour leur aide pour les mesures de E ;
Patrice Rey et Rodrigue Rousier au CEA-LETI pour les capteurs MEMS ; Jean-Marc Di
Meglio pour son soutien lors de mon recrutement ATER ; les étudiants du Laboratoire de
Géologie de l’ENS pour les pauses midi.
Je remercie sincèrement les nombreuses personnes que je n’ai pas cité explicitement ici,
mais qui ont contribué, chacune à sa manière, à la réussite de cette thèse.

Merci à ma famille et à mes amis pour leur soutien.

Merci à Sara, pour tout...

...et à Lorenzo pour la suite.

à mes grands-parents

i
ii
Table des matières

Introduction 1

1 Profil des contraintes sous charge normale 9

1.1 Dispositif expérimental . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
1.1.1 Le microcapteur de forces . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
1.1.2 Le film élastomère . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
1.1.3 Parties mécaniques du dispositif . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.1.4 Préparation des substrats . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
1.1.5 Observation du contact . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
1.2 Contact normal sphère-plan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
1.2.1 Résultats expérimentaux . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
1.2.2 Calcul des contraintes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
1.2.3 Comparaison directe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
1.3 Détermination des fonctions d’appareil du capteur MEMS . . . . . . . . . 26
1.3.1 Fonction d’appareil en pression . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
1.3.2 Fonction d’appareil en cisaillement . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
1.3.3 Modification des contraintes par lubrification de l’interface . . . . . 39
1.4 Contact normal cylindre-plan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
1.4.1 Réalisation expérimentale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
1.4.2 Calculs en éléments finis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
1.4.3 Comparaison quantitative . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
1.4.4 Commentaires sur la procédure de mise en charge . . . . . . . . . . 47

2 Profil des contraintes sous charge tangentielle 51

2.1 Profils lors de la transition vers le glissement . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
2.1.1 Dispositif expérimental . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
2.1.2 Principe de la mesure de la dynamique du champ de contraintes . . 53
2.2 Glissement stationnaire en contact sphère-plan . . . . . . . . . . . . . . . . 59
2.2.1 Principe de la mesure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
2.2.2 Résultats expérimentaux . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
2.3 Glissement stationnaire en contact cylindre-plan . . . . . . . . . . . . . . . 63
2.3.1 Résultats expérimentaux . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
2.3.2 Modèle semi-analytique bidimensionnel quasi-statique . . . . . . . . 68
2.3.3 Comparaison quantitative . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
2.4 Régime de stick-slip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

iii
Table des matières

2.5 Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75

3 Analyse fréquentielle des contraintes lors du frottement d’un substrat

de rugosité périodique 77
3.1 Dispositif expérimental . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77
3.1.1 Réalisation d’une calotte sphérique d’élastomère rugueuse . . . . . . 77
3.1.2 Réalisation des substrats de rugosité périodique par microphotoli-
thographie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
3.2 Expériences réalisées . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
3.2.1 Observation de la zone de contact . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
3.2.2 Mesures mécaniques macroscopiques . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
3.3 Analyse spectrale des contraintes globales et locales . . . . . . . . . . . . . 83
3.4 Modélisation des modulations de contrainte . . . . . . . . . . . . . . . . . 86

4 Mesures optiques à une interface rugueuse 93

4.1 Mesure du champ de pression dans un contact sphère-plan rugueux sous
charge normale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
4.1.1 Mesure optique de l’aire de contact réel . . . . . . . . . . . . . . . . 94
4.1.2 Modèle de Greenwood-Williamson (GW) . . . . . . . . . . . . . . . 97
4.1.3 Profils de pression . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
4.1.4 Modèle de Greenwood-Tripp . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
4.1.5 Comparaison avec les résultats expérimentaux . . . . . . . . . . . . 103
4.2 Mesure du champ de déplacement à l’interface . . . . . . . . . . . . . . . . 106
4.2.1 Expérience réalisée . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
4.2.2 Méthode de mesure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107
4.2.3 Modèle de Cattaneo-Mindlin . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108
4.2.4 Comparaison avec les résultats expérimentaux . . . . . . . . . . . . 112
4.2.5 Elasticité en cisaillement de la couche rugueuse . . . . . . . . . . . 117

Conclusion 121

A Annexes au chapitre 1 125

A.1 Résumé de la théorie du contact de Hertz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125
A.2 Réponse visco-élastique du PDMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127

B Annexes au chapitre 2 129

B.1 Modèle KA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129
B.1.1 Formulation of the boundary value problem . . . . . . . . . . . . . 129
B.1.2 Resolution of the boundary value problem . . . . . . . . . . . . . . 130

C Annexes au chapitre 4 137

C.1 Correction au module de Young en épaisseur finie . . . . . . . . . . . . . . 137

iv
Introduction

Notion d’échelles spatiales en mécanique du contact

Lorsque l’on presse deux solides sous charge normale FN , l’aire A0 de la zone de
contact apparent dépend à la fois des propriétés mécaniques des deux solides et de leur
forme au voisinage du contact. Dans de nombreuses situations pratiques, du fait de la
rugosité des surfaces en regard, le contact réel (pour lequel la distance entre les deux
objets est d’ordre moléculaire) est constitué d’une assemblée diluée de micro-contacts de
taille micrométrique. Son aire A est alors très inférieure à celle du contact apparent A0
(voir Figure 1) et contrôle pour une large part les phénomènes de frottement [1, 2] et
d’adhésion [3, 4].

Fig. 1 – Aire A0 du contact apparent en pointillés et aire A de contact réel en noir pour
une interface lisse et une interface rugueuse. Dans la plupart des situations pratiques,
A << A0

Une description statistique de ces micro-contacts a permis à Bowden et Tabor [1]

puis Greenwood et Williamson [5] de montrer que l’aire A est, pour une large gamme de
systèmes, proportionnelle à la charge FN et indépendante de l’aire apparente A0 . Cette
propriété suffit à comprendre les lois empiriques de frottement d’Amontons-Coulomb [6],
qui énoncent que (i) la force tangentielle FT s nécessaire pour mettre les deux solides en
mouvement relatif est proportionnelle à FN et indépendante de A0 , (ii) la force FT d né-
cessaire pour maintenir les deux solides en mouvement relatif à la vitesse V est également
proportionnelle à FN , indépendante de A0 et faiblement dépendante de V . La dynamique
de frottement est alors essentiellement contrôlée par deux coefficients de frottement sta-

1
Introduction

tique µs = FT s /FN et dynamique µd = FT d /FN . L’évolution lente de µs avec l’âge du

contact et la faible dépendence en vitesse de µd au cours du temps peuvent également
être interprétées comme résultant d’une dynamique lente de croissance de A associée à
différents mécanismes microscopiques [7, 8, 9].

De façon générale, l’étude des propriétés mécaniques du contact implique une double
approche associée à deux échelles spatiales distinctes.

A l’échelle macroscopique, il s’agit de décrire l’équilibre mécanique des objets en

contact. Cette approche nécessite d’introduire une équation constitutive empirique pour
la réponse mécanique du contact (en pression et en cisaillement) qui traduit en moyenne
le comportement microscopique de la jonction.
Ainsi par exemple, le calcul classique de Hertz [10, 11, 12] qui prédit les champs de
contrainte et de déplacement de deux ellipsoı̈des élastiques au contact sous charge normale,
se situe dans l’hypothèse d’une interface incompressible, sans adhésion et parfaitement
glissante [11, 12]. Ce calcul a été raffiné en remplaçant cette dernière hypothèse par une
relation de type Coulomb (ou rigide-plastique), dans le cas d’une charge purement normale
[13, 12] et d’une charge normale et tangentielle (modèle de Cattaneo-Mindlin [14, 15]). A
l’inverse, Greenwood et Tripp [16] ont considéré le cas d’une interface glissante mais pré-
sentant une compressibilité non-linéaire dont les caractéristiques sont extraites du modèle
statistique de Greenwood-Williamson pour une couche plane rugueuse. Enfin, le modèle
Johnson-Kendall-Roberts (JKR) [17] fait l’hypothèse d’une force adhésive de contact qui
modifie les champs de contrainte et de déplacement prédits par Hertz.
La dynamique microscopique du contact peut également être traduite en moyenne par
une équation constitutive dépendante du temps. C’est l’approche adoptée par le modèle
”state and rate” [18] qui postule une équation rhéologique ad-hoc afin de rendre compte de
la dépendance logarithmique du coefficient de frottement dynamique en vitesse et en âge
du contact. Ce modèle permet de prédire les principales caractéristiques de la transition
entre glissement stationnaire et régime de ”stick-slip”.

A l’échelle microscopique, de nombreux modèles théoriques se sont attachés à dé-

crire les processus à l’origine du comportement rhéologique moyen de la jonction. L’échelle
pertinente de description dépend du type de matériau considéré ainsi que des détails de
la géométrie et de la physico-chimie de l’interface.
Dans les modèles de Tabor et Greenwood précédemment évoqués, celle-ci est fixée
par la taille des aspérités. Les propriétés de compressibilité de la couche résultent de la
réponse élastique de chaque aspérité supposée sphérique et de la répartition statistique
des hauteurs des sommets. Dans le même ordre d’idée, mais pour un contact sous charge
tangentielle, Caroli et Nozières [19] associent la réponse mécanique d’une interface frot-
tante aux forces de piégeage et de déformation élastique d’un grand nombre d’aspérités
décrites comme des oscillateurs multistables.
Pour des matériaux durs, les phénomènes dissipatifs sont confinés dans une couche
d’épaisseur moléculaire [20] où se localise le cisaillement lors du glissement : la réponse
mécanique du contact reflète alors directement les propriétés rhéologiques de cette couche
vitreuse quasi-bidimensionnelle. Pour des contacts impliquant des matériaux élastomères

2
 Introduction

en contact lisse, la dissipation résulte des processus d’adsorption et de désorption de

chaı̂nes polymère sur le substrat au cours du mouvement [21, 22, 23, 24]. L’échelle perti-
nente est alors fixée par la distance entre points de réticulation du réseau polymère.
Dans le cas de matériaux visco-élastiques, des processus dissipatifs peuvent égale-
ment se produire dans le volume du fait des fluctuations de contraintes induites lors du
frottement. Le coefficient de frottement dynamique est alors fonction des propriétés visco-
élastiques du matériau massif aux fréquences de sollicitation auquel il est soumis ; ces
dernières dépendent de la vitesse de glissement et des caractéristiques géométrique du
contact et/ou de la rugosité des interfaces en regard [21, 9].

Du point de vue expérimental, ces modèles ont été testés selon deux approches princi-
pales. La première vise, à l’aide de machines à force de surface (SFA) [25, 26], à mesurer
la réponse mécanique d’un contact unique de taille micrométrique. De telles expériences
ne permettent pas de prendre en compte les phénomènes de couplages mécaniques entre
micro-contacts pouvant exister au sein d’un contact étendu.
La seconde approche consiste à mesurer la réponse force/déplacement globale pour un
contact étendu [27, 21]. L’interprétation de ces mesures impose de faire une hypothèse
d’homogénéité des contraintes ou de postuler une forme particulière de leur répartition
spatiale au sein du contact. Ces mesures très indirectes ne peuvent donc pas rendre compte
de phénomènes impliquant des variations rapides des champs mécaniques. Cette limitation
pose problème pour plusieurs raisons :
– la géométrie de fracture des contacts conduit naturellement à des singularités des
champs de contraintes en leur bord.
– les lois de type Coulomb sont discontinues et sont donc elles-mêmes à l’origine de
champs mécaniques non réguliers [14, 15]
– plusieurs modes de frottement mettent en jeu des échelles de déformations de petite
taille par rapport au contact (ondes de Schallamach [28, 29], ondes de glissement
[30, 31], fractures interfaciales [32])
– certaines instabilités de frottement, de type ”stick-slip”, pourraient être déclenchées
par nucléation et croissance de zones glissantes ou adhésives [33].
Afin de faire le lien entre échelles macroscopique et microscopique, il semble donc es-
sentiel de réaliser des mesures mécaniques résolues spatialement à l’échelle d’un contact
étendu et suffisamment précises pour rendre compte de modifications des propriétés mi-
croscopiques de la jonction. Ce type de mesures, que nous qualifierons de mésoscopiques,
a été jusqu’à présent peu développé. Récemment, Rubinstein, Cohen et Fineberg [32] ont
développé une méthode d’imagerie originale pour observer à des échelles de la fraction du
contact la dynamique interfaciale d’un contact rugueux formé par la jonction de deux blocs
de PMMA (Poly-Methylméthacrylate). Leur approche a permis d’observer l’existence de
modes propagatifs lents, de type fracture, proche du seuil de glissement. Verneuil, Buguin
et Silberzan [34] ont étudié le comportement mécanique d’un contact formé entre une
bille de PDMS de taille millimétrique et un substrat du même matériau constitué d’un
réseau de plots cylindriques de rayon de l’ordre du micron et espacés d’une dizaine de
microns, obtenus par des techniques de micro-fabrication issues de la microfluidique [35].
Par interférométrie, ils ont pu reconstituer le profil de la distance bille/substrat qu’ils ont
comparé au profil des contraintes prédit par la théorie de Hertz. Ce type de substrats

3
Introduction

structurés a été initialement mis au point pour permettre la mesure des contraintes lo-
cales tangentielles exercées par des cellules épithéliales en contact avec le substrat [36],
via la déflexion du sommet de chaque plot. L’utilisation de matériaux photo-élastiques,
dont la biréfringence est induite par le champ de contrainte, a également permis d’imager
les surfaces iso-contrainte de la contrainte principale de cisaillement [37, 38].

Cas de la perception tactile humaine

Dans un tout autre cadre, cette approche mésoscopique du frottement apparaı̂t per-
tinente pour la compréhension des phénomènes physiques associés à la perception tactile
dynamique qui constitue l’une des motivations de cette thèse. Celle-ci implique un mouve-
ment relatif de l’organe sensoriel, le doigt par exemple, et du substrat exploré qui permet
d’obtenir des informations extrêmement fines inaccessibles lors d’un contact statique.

Surface du doigt

Epiderme Corpuscules
de Meissner

Disques
de Merkel

Derme Organes
de Ruffini

Corpuscules
de Pacini

Fig. 2 – Coupe de la peau de l’extrémité d’un doigt humain (vue d’artiste d’après [39]).
La peau est constituée d’une superposition de plusieurs couches de cellules qui ont des
propriétés mécaniques différentes. Dans l’épaisseur de la peau se trouvent quatre types
de terminaisons nerveuses mécano-sensibles répondant essentiellement à la déformation
de la peau à l’endroit où elles se trouvent. A chaque type de terminaison correspond une
profondeur moyenne d’implantation, un type de stimulation à laquelle elle est sensible,
une gamme de sensibilité en amplitude et en fréquence et un codage de l’amplitude de
stimulation (lorsqu’un seuil a été franchi) en terme de fréquence de potentiels d’action
produits. Le trait noir en bas à droite représente environ 200 µm.

Lorsqu’on effleure la surface d’un objet texturé avec l’extrémité du doigt, la peau

4
 Introduction

(épiderme+derme) est soumise à un champ de contraintes fluctuant qui dépend de façon

encore mal comprise des propriétés mécaniques du doigt, des conditions d’exploration
(essentiellement la force appliquée et la vitesse de glissement) et du détail de la texture du
substrat (rugosité, coefficient d’adhésion, coefficient de frottement dynamique, rigidité du
matériau et toutes leurs variations spatiales). Ces modulations de contrainte sont traduites
au niveau des terminaisons mécano-sensibles, situées immédiatement sous l’épiderme, en
signaux nerveux dont l’analyse conduit à la représentation tactile de l’objet (voir Figure 2
et le tableau de la Figure 3 qui décrit les principales caractéristiques de ces terminaisons
nerveuses).

Type de Profondeur Densité de Type de Déformation Réponse à un

terminaison de terminaisons stimulus de la peau stimulus :
nerveuse localisation nerveuses auquel la détectable gamme de
sous la (/cm²) terminaison (µm) fréquences
surface de la nerveuse (optimale, Hz)
peau (mm) répond

Disque de 0.5 70 Pression 7 0.4-100

Merkel (7)
Corpuscule 0.5 140 Vibration 4 2-200
de (20-40)
Meissner
Organe de 1 9 Pression 40 7
Ruffini
Corpuscule 2 21 Vibration 1 40-800
de Pacini (200-300)

Fig. 3 – Tableau regroupant les caractéristiques physiques respectives des quatre types
de terminaisons nerveuses impliquées dans la reconnaissance tactile, leur profondeur sous
la surface de la peau, leur densité de répartition typique, le type de stimulus auquel elles
sont sensibles, et la gamme fréquentielle typique à laquelle elles répondent (d’après [39]).

Ce mode de perception permet de réaliser des fonctions complexes telles que la détec-
tion de précurseurs de glissement impliquée dans la préhension d’objets fragiles, la recon-
naissance et le classement de textures ou la détection d’aspérités individuelles de taille
micrométrique. Comprendre le lien entre les propriétés de surface des objets et la repré-
sentation tactile associée suppose de pouvoir décrire l’ensemble des processus mécaniques
aux échelles des terminaisons nerveuses. Cette approche pourrait permettre notamment
de clarifier le rôle des empreintes digitales et la dépendance des performances du système
tactile avec les conditions d’exploration.

5
Introduction

Travail de thèse
Afin de répondre à ces problématiques, j’ai développé durant ma thèse différentes
méthodes expérimentales permettant des mesures résolues aux échelles mésoscopiques lors
de la mise en contact et le frottement d’un matériau élastomère sur une surface rigide.
Une première approche a consisté à réaliser un système ”biomimétique” du doigt hu-
main en noyant, dans une membrane élastomère, un microcapteur de force dont la réa-
lisation a été assurée par le CEA-LETI. Ce dispositif de type MEMS (Micro Electro
Mechanical System [40]), permet de mesurer simultanément les forces s’exerçant dans
trois directions orthogonales, sur une aire typique du mm2 avec une grande dynamique
et une très bonne linéarité. Le LETI devait réaliser au cours de cette thèse des matrices
linéaires de 10 à 30 microcapteurs similaires, permettant d’accéder à chaque instant au
champ complet des contraintes dans la direction du mouvement. Malheureusement, des
difficultés techniques rencontrées par le LETI n’ont pas permis la réalisation de ces ma-
trices avant le terme de ma thèse et l’ensemble des expériences a été mené avec un capteur
unique.

Dans le premier chapitre, ce dispositif est utilisé pour reconstituer point par point
le champ des contraintes complet sous un contact statique en géométrie sphère-plan et
cylindre-plan. Ces géométries simples permettent la comparaison directe des résultats de
mesures avec des calculs analytiques ou en éléments finis. Elles ont permis de déterminer
la fonction d’appareil du MEMS intégré à la membrane, qui est utilisée dans la suite du
manuscrit.
Dans le deuxième chapitre, je montre comment, avec le même dispositif, sous hypo-
thèse d’homogénéité des propriétés de surface de l’élastomère, il est possible de mesurer
le champ des contraintes sous un contact en régime de charge transitoire et de glissement
stationnaire. Dans le cas d’un contact quasi-bidimensionnel en géométrie cylindre-plan,
ces mesures peuvent être comparées quantitativement aux résultats d’un modèle semi-
analytique simple. Cette procédure est également adaptée à des régimes de ”stick-slip
réguliers”, afin d’établir le champ moyen de relaxation associée à un événement individuel
de glissement.

Dans le troisième chapitre j’étudie avec le même dispositif la dynamique temporelle

de l’état de contrainte en un point de mesure, pour des situations de frottement non-
stationnaires. Des substrats de rugosité périodique sont utilisés afin d’établir le lien entre
le spectre spatial de la zone de contact réel et le spectre temporel du champ de contrainte
induit au niveau du capteur lors du frottement.

Dans le quatrième chapitre, un dispositif optique original me permet, dans le cas d’un
contact rugueux à une échelle suffisamment petite, de mesurer simultanément (i) le champ
de pression par analyse de l’intensité lumineuse transmise à travers le contact (ii) le champ
de déplacement dans le plan de l’interface, par une méthode de corrélation d’images. Ces
résultats sont comparés quantitativement au modèle de Greenwood-Tripp pour le champ
de pression sous charge normale, et au calcul de Cattaneo-Mindlin pour le champ de
déplacement de surface lors de la transition charge-glissement.

6
 Introduction

7
Introduction

8
Chapitre 1

Profil des contraintes sous charge

normale

Introduction
Depuis une dizaine d’années, plusieurs dispositifs ont été proposés pour réaliser des
mesures de champ de pression à une interface. Ils sont le plus souvent basés sur des MEMS
dont la déformation est évaluée par mesure capacitive ou piézo-résistive [40]. D’autres pro-
positions se basent sur un microcircuit associé à un matériau sensible à la déformation :
céramique magnéto-résistive [41], polymère piézo-électrique [42, 43], élastomère dont la
conductivité dépend de sa déformation [44, 45] ou matériau électroluminescent sous pres-
sion [46]. Plusieurs objectifs ont motivé ces travaux, notamment la mesure biomimétique
du toucher pour la robotique.
Parmi ces dispositifs, les MEMS présentent un certain nombre d’atouts. Issus de la
micro-électronique, ils se prêtent facilement à la miniaturisation et la production de ma-
trices. D’autre part, le caractère monocristallin du Silicium à partir desquels ils sont
construits leur confère des propriétés de linéarité exceptionnelles.
Nous avons utilisé un dispositif réalisé par le LETI, qui offre, outre ces atouts, une
mesure simultanée selon les 3 directions de l’espace. Le projet initial devait conduire à
l’utilisation de matrices linéaires de ces capteurs, dont les dimensions auraient été par
ailleurs réduites. Des difficultés techniques rencontrées par le LETI nous ont contraint à
réaliser l’ensemble des expériences avec un capteur unique de dimension millimétrique.
Notre objectif est d’obtenir des mesures locales des contraintes pour un contact entre
un film élastomère et un solide. Le dispositif MEMS est noyé dans un film élastomère
dont l’épaisseur contrôle la taille de la zone de sensibilité en surface de la mesure. Cette
taille est également limitée par la dimension latérale du MEMS. Nous avons donc cherché
à étendre la dimension du contact frottant, tout en garantissant un bon contrôle de la
zone de contact. Nous nous sommes ainsi placés préférentiellement dans une géométrie
sphère-plan, ou parfois cylindre-plan pour permettre des comparaisons avec des modèles
bidimensionnels. L’étendue des contacts réalisables est limitée par la planéité du film
élastomère, son épaisseur et la pression de charge maximale avant rupture du MEMS.
L’ensemble de ces contraintes nous a conduit à trouver un compromis fixant l’épaisseur
de la couche élastomère à 2 mm et un rayon de courbure du substrat de ∼ 130 mm. Le

9
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

contact réalisé est alors au maximum de 8 mm de diamètre.

Pour des contacts de cette dimension, les contraintes de cisaillement induites lors du
frottement peuvent devenir importantes du fait des propriétés adhésives de l’élastomère.
Nous avons donc également rendu la surface de ce dernier rugueux, ce qui a pour effet
de réduire de façon importante les forces d’adhésion. Cette rugosité est de dimension
suffisamment faible pour qu’à l’échelle de la zone du sensibilité du capteur, la surface
puisse être considérée comme lisse.
Dans la partie 1.1, nous décrivons le dispositif expérimental. La partie 1.2 présente les
profils de contrainte mesurés en géométrie sphère-plan ainsi que le champ de contrainte à
la base du film calculé dans les mêmes conditions mécaniques par éléments finis. La partie
1.3 décrit la méthode de détermination des fonctions d’appareil du MEMS. Ces fonctions
sont testées dans la partie 1.4 dans le cas de contacts cylindre-plan. La dernière partie
évalue les possibilités offertes par ce dispositif de mesure pour discriminer des conditions
de frottement et de mise en charge variés.

1.1 Dispositif expérimental

FN
V Sphère de verre
z

x y
Film élastomère MEMS

Cantilevers de charge Capteurs

kT kN de position

Fig. 1.1 – Schéma de principe du dispositif expérimental.

Nous avons développé un dispositif expérimental permettant de mettre au contact et

de frotter contre un substrat rigide sphérique ou cylindrique un film élastomère plan,
sous lequel nous avons noyé un microcapteur de force (voir Figure 1.1). De cette manière
il est possible de mesurer, localement, les forces exercées sur le microcapteur. Ce mon-
tage permet en outre, comme dans les montages de tribologie plus classiques, de mesurer
simultanément les forces macroscopiques normale et tangentielle sur le contact.
Nous détaillons dans ce qui suit les différents éléments constitutifs de ce dispositif :
le système de mesure locale qui inclue le microcapteur de force et le film élastomère ;
les éléments mécaniques du montage qui permettent de positionner le microcapteur par

10
 1.1. Dispositif expérimental

rapport au substrat et de mesurer les forces macroscopiques ; la géométrie et l’état de

surface des substrats. Nous précisons enfin la méthode qui nous a permis d’imager le
contact.

1.1.1 Le microcapteur de forces

Le microcapteur de force est de type MEMS (Micro Electro Mechanical Systems),
fabriqué par des techniques de micro-fabrication dérivées de celles utilisées en micro-
électronique, au LETI1 .

x
z y
Jauges piézorésistives
(a) Photo de la partie sensible (b) Schéma de principe

Fig. 1.2 – (a) Photo de la partie sensible du microcapteur de force. (b) Schéma de principe
du microcapteur indiquant la position des jauges de déformation.

Il est constitué d’une membrane de silicium circulaire suspendue de rayon 1 mm,

d’épaisseur 100 µm, encastrée sur tout son périmètre. Elle est liée en son centre à une
tige rigide cylindrique de silicium, qu’on appelera par la suite ”clou”, de rayon 275 µm et
de longueur 475 µm (voir Figure 1.2). Quatre couples de jauges piézo-résistives, incluses
dans la membrane et orientées selon deux axes orthogonaux x et y, permettent de mesurer,
via un double pont de Wheatstone, les déformations de la membrane. Le LETI fournit une
calibration en pression, réalisée dans une enceinte sous pression contrôlée variable, et une
calibration en force tangentielle, celle-ci étant appliquée par contact sur l’extrémité haute
du clou selon les deux directions x et y. Ces calibrations sont proportionnelles à la tension
d’alimentation du pont de Wheatstone, que l’on prend égale à 5 V , et sont donc expri-
mées en mV par V d’alimentation, en bar pour la pression et en N en cisaillement. Elles
valent 3.9 mV /V /bar en pression et 17 mV /V /N en cisaillement. La réponse du capteur
est linéaire jusqu’à des contraintes de plusieurs atmosphères, et présente une hystérèse
négligeable.
La mesure se fait via quatre tensions de sortie du MEMS. La première sortie (resp. la
deuxième) est proportionnelle à la force tangentielle exercée sur le clou selon l’axe x (resp.
l’axe y) ; la somme des deux autres sorties est proportionnelle à la pression exercée sur la
membrane. Aux contraintes que nous avons utilisées, ces tensions sont de quelques mV au
1
Laboratoire d’Electronique et des Techniques de l’Information, CEA, Pôle Minatec, Grenoble

11
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

maximum et sont donc amplifiées à l’aide d’un amplificateur bas-bruit, de gain en tension
500, fabriqué au laboratoire2 . Un montage sommateur à amplificateur opérationnel permet
de sommer les 2 tensions et d’obtenir ainsi une mesure de la pression. La visualisation et
l’acquisition des deux signaux de force tangentielle et du signal de pression se fait sur un
oscilloscope numérique 4 voies (Lecroy, WaveRunner 6050).
La surface d’un bloc métallique est creusée d’un trou de la forme du microcapteur,
et dans lequel on l’ajuste. Une fois fixé dans ce trou, l’extrémité du clou se situe dans le
même plan que la surface métallique, sur laquelle on viendra mouler un film élastomère.
Pour faciliter l’observation du contact, la plaque métallique a été préalablement peinte en
noir mat.

1.1.2 Le film élastomère

Le matériau élastomère utilisé est un polymère réticulé. Il s’agit du PDMS réticulé (Po-
lyDiMéthySiloxane, Sylgard 184, Dow Corning, formule générale : − [(CH3 )2 Si − O−]n ),
très utilisé en photolithographie douce et en microfluidique.

Préparation
Il se présente sous la forme de deux composants : un fondu de polymère transparent
et un agent réticulant. Le protocole adopté pour la préparation des échantillons de PDMS
réticulés est le suivant :
– mélange du fondu et de l’agent réticulant, en proportion respective 10/1 (agitation
manuelle à l’aide d’une spatule). Cette étape induit la formation de bulles d’air,
qu’il faut éliminer.
– expulsion des plus grosses bulles d’air formées par centrifugation pendant 5 min à
3000 tr/min.
– dégazage sous vide partiel jusqu’à ce que l’on n’observe plus de bulles formées. Un
agitateur magnétique facilite la nucléation des bulles.
– réticulation à température ambiante pendant 10 jours. Cette méthode est plus longue
que la réticulation à chaud, mais réduit au maximum les contraintes résiduelles dans
le matériau, liées à la diminution du volume lorsque l’on passe de la température de
réticulation à la température ambiante.

Propriétés mécaniques
Nous avons caractérisé les propriétés mécaniques de nos échantillons en mesurant le
module de Young E et les modules élastique G′ (ω) et de perte G′′ (ω) en fonction de la
pulsation de sollicitation ω (voir Annexe A).
Le module de Young a été mesuré directement par un test de compression3 d’un
cylindre de PDMS de diamètre 25 mm et de hauteur 43 mm. Deux mesures successives
sur le même échantillon ont donné une valeur E = 2.218 ± 0.003 M P a.
G′ (ω) et G′′ (ω) ont été mesurés dans un rhéomètre4 adapté aux échantillons solides.
2
Atelier d’électronique du LPS, Christophe Herrmann et Laurent Bonnet
3
Avec l’aide d’Alexandre Saez, Benoı̂t Ladoux et Alain Ponton, Laboratoire MSC, Université Paris 7
4
Avec l’aide d’Hélène Montès, Laboratoire PPMD, ESPCI

12
 1.1. Dispositif expérimental

L’extrapolation de G′ (ω) lorsque ω → 0, pour 4 échantillons, donne une valeur de E =

2.10 ± 0.15 M P a, compatible avec la mesure en compression. Par la suite, nous avons
choisi la valeur E = 2.2 ± 0.1 M P a. Dans la gamme de fréquences 0-100 Hz, le rapport
G′ (ω)/G′′ (ω) reste supérieur à 10, ce qui nous permet d’affirmer que le PDMS possède un
comportement rhéologique presque purement élastique.
Le coefficient de Poisson ν n’a pas été mesuré. Nous avons considéré, suivant la litté-
rature [47], que ν est très proche de 0.5, c’est-à-dire que le PDMS est pratiquement un
matériau incompressible.

Moulage
Le moule est un parallélépipède de dimension 50×50×2 mm dont la base est constituée
du support métallique dans lequel le capteur est enchâssé, et dont le couvercle est une
plaque de PMMA dont la face interne a été rendue rugueuse par abrasion avec un mélange
eau+poudre de Carbure de Silicium (le diamètre moyen des particules étant égal à 37 µm).
Le mélange encore liquide PDMS-agent réticulant est versé dans le moule placé à la
verticale pour permettre aux éventuelles bulles d’air formées de s’échapper du côté de la
surface libre (Figure 1.3).

PDMS liquide

MEMS Film
PMMA
rugueux

Fig. 1.3 – Schéma de principe de l’étape de moulage.

Caractérisation de la topographie du film

Une fois réticulé et démoulé, on obtient un film rugueux en surface dont les dimen-
sions latérales, choisies égales à 50 mm, sont grandes devant la taille maximale des contacts
étudiés (∼ 8mm) afin de s’affranchir d’éventuels effets de bord. Nous avons caracterisé la
rugosité de ce film par profilométrie optique interférentielle (Profilomètre optique interfé-
rentiel M3D, Fogale Nanotech). La Figure 1.4 montre la topographie de surface type du
film ainsi qu’un profil de hauteur selon une coupe horizontale de cette même topographie.

13
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

Hauteur (µm)
0

-2

-4
0 40 80 120 160 200 240 280 320
Distance latérale (µm)

(a) Topographie (b) Profil de hauteur

Fig. 1.4 – (a) Topographie de surface du PDMS, sur un rectangle de 356.1 µm×268.7 µm,
obtenue par profilométrie optique interférentielle. (b) Profil de hauteur selon une coupe
horizontale de cette topographie.

A partir de 25 images de topographie contiguës de ce type, représentant une surface

totale de 2.4 mm2 , nous avons déterminé la distribution des hauteurs du film élastomère
(Figure 1.5).

5 h = 1.82µm
10 rms

4
10
Histogramme

1000

100

10

1
-10 -5 0 5 10
Hauteur (µm)

Fig. 1.5 – Représentation semi-logarithmique de la distribution des hauteurs à la surface

du film de PDMS mesurée par profilométrie optique interférentielle, sur 25 zones, chacune
de taille 356.1 µm × 268.7 µm.

La hauteur rms est de 1.82 ± 0.10 µm, et la distribution de hauteurs des sommets
des aspérités, correspondant à la partie droite de la distribution, est approximativement

14
 1.1. Dispositif expérimental

exponentielle. A ce stade, l’effet principal de cette rugosité de surface permet de réduire

fortement les forces d’adhésion, puisque la force de séparation macroscopique n’est en
pratique plus mesurable [48].

1.1.3 Parties mécaniques du dispositif

Le système MEMS + PDMS est monté sur un système de deux cantilevers orthogo-
naux5 , eux mêmes montés sur deux platines de positionnement micrométrique.
Le cantilever de charge normale, monté en série avec l’élastomère, permet d’imposer
une force normale FN constante entre 0 N et 3 N . Sa raideur a été mesurée comme l’in-
verse de la pente de la dépendance linéaire de 1/(4π 2 f 2 ) avec l’accroissement de masses
accrochées à l’extrémité du cantilever, où f est la fréquence de résonance du système.
Nous l’avons mesurée égale à kN = 641 ± 5 N.m−1 . Cette valeur est suffisamment faible
pour que des défauts de parallélisme de l’ordre de 10 µm sur 2 cm induisent des variations
relatives de FN toujours inférieures à 2%. On déduit la mesure de la charge normale FN
en suivant les déflexions du cantilever grâce à un capteur de position capacitif Fogale
Nanotech MCC30 dont la réponse a été calibrée à 536 ± 1 µm.V −1 . Cette valeur est lue
sur un multimètre numérique.
Le cantilever de charge tangentielle, monté en série avec l’élastomère, permet de me-
surer la force tangentielle FT appliquée sur le contact. Sa raideur, mesurée de la même
façon que pour kN , est égale à kT = 51100 ± 700 N.m−1 . Cette valeur a été choisie grande
par rapport à la raideur interfaciale6 kI afin de pouvoir imposer un déplacement et non
pas une force. On mesure FT de la même manière grâce à un capteur de position capacitif
Fogale Nanotech MCC5 dont la réponse a été calibrée à 25.55 ± 0.40 µm.V −1 . Cette valeur
est lue et enregistrée sur la dernière voie disponible de l’oscilloscope numérique.
Le montage inclut enfin un moteur linéaire (Newport, LTA-HS, contrôleur SMC100)
qui permet d’imposer le déplacement relatif de l’élastomère par rapport au substrat à
vitesse constante jusqu’à 5 [Link]−1 .

1.1.4 Préparation des substrats

Les substrats utilisés sont des lentilles sphériques ou cylindriques en verre optique
BK7. L’énergie de surface du verre nu étant très élevée, toute pollution de sa surface,
notamment par des chaı̂nes libres du PDMS, est susceptible d’induire de fortes variations
de l’énergie d’adhésion avec l’élastomère. Pour minimiser ces effets et obtenir des résultats
en frottement le plus reproductibles possibles, nous avons utilisé une méthode couramment
utilisée qui consiste à passiver le verre par greffage de molécules de silanes. Le résultat
est une surface ayant une énergie d’adhésion dont la moyenne est abaissée, et dont les
fluctuations spatiales sont fortement réduites.
Au terme de la réaction de greffage, à la surface du verre, les atomes d’hydrogène des
silanols sont remplacés par des groupements −Si−(CH3 )3 , formant une couche d’épaisseur
5
Atelier de mécanique du LPS, José Da Silva Quintas et Olivier Hombert
6
Pour un contact de Hertz √ entre une sphère rigide de rayon R et un plan élastique semi-infini de
module de Young E, kI = 16 9 E Rδ 1/2 , où δ est le déplacement relatif des deux solides. Avec les valeurs
numériques de notre expérience, pour δ inférieur à 50 µm, kI reste inférieur à 10000 N.m−1 .

15
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

de l’ordre de quelques angstroms qui ne modifient pas la rugosité initiale du substrat. Les
substrats silanisés sont hydrophobes : on passe d’un angle de contact inférieur à 10◦ sur du
verre nettoyé à un angle de l’ordre de 90◦ sur du verre silanisé selon le protocole suivant
que nous avons adopté pour nos substrats :
– dégraissage du verre par rinçage successif à l’acétone, à l’éthanol puis au méthanol
– nettoyage au plasma à oxygène pendant 30 secondes
– mise en cloche à vide à pression −0.1 M P a, en présence d’une goutte de 1H,1H,2H,2H-
perfluorodecyltrichlorosilane (PFTS), en présence de dessicant, pendant 12 h
– rinçage éventuel à l’isopropanol si un dépôt blanc est visible
La surface de PDMS peut également être silanisée [49], dans les mêmes conditions, juste
après démoulage en plaçant le système MEMS + PDMS dans la cloche de silanisation.
Cette opération offre les mêmes avantages que la silanisation du substrat.

1.1.5 Observation du contact

L’observation de la zone de contact se fait en réflexion à l’aide du dispositif représenté
sur la Figure 1.6.

Source lumineuse
Contact réel
Rayons incidents

Caméra
Pas de contact

PDMS Lentille

(a) Schéma global (b) Détail de l’interface

Fig. 1.6 – (a) Schéma de principe du dispositif d’observation du contact. (b) Représen-
tation du parcours des rayons lumineux à l’interface. Ils subissent une réfraction dans les
zones de contact intime. Ailleurs ils sont diffusés.

La zone de contact est éclairée à travers la lentille avec un angle d’incidence de l’ordre
de 10◦ . Dans les zones de contact intime, les rayons lumineux traversent l’interface verre-
PDMS par simple réfraction puis sont absorbés par le fond noir. Ailleurs, les rayons
lumineux sont diffusés par l’interface air-PDMS, rugueuse à l’échelle du micron. Une
caméra CCD 8 bit Cohu 4910 Series munie d’un objectif télécentrique 6X Navitar, est
placée au maximum de l’intensité rétro-diffusée. L’image obtenue correspond à un fond
clair rétro-diffusé, sur lequel les zones de contact réel apparaissent sombres. En pratique,
cette observation est difficile à la verticale du capteur, car la lumière réfléchie par sa
surface sature le capteur CCD.

16
 1.2. Contact normal sphère-plan

La Figure 1.7 montre un exemple des images obtenues par ce dispositif (a) hors contact
et (b) pour un contact sphère-plan. La différence entre ces deux images (c) met en évidence
la zone de contact apparent.

(a) FN = 0 N (b) FN = 2.4 N

(c) Différence des images

Fig. 1.7 – Images de l’interface (a) hors contact (b) en contact sous FN = 2.49 N (c)
Différence pixel à pixel entre ces deux images, mettant en évidence la zone de contact
apparent.

1.2 Contact normal sphère-plan

1.2.1 Résultats expérimentaux
Nous avons réalisé, pour une force normale FN appliquée entre 0 N et 2.75 N , un
contact sous charge purement normale (FT = 0) entre une lentille sphérique de rayon de
courbure 129.2 mm et le film de PDMS décrit dans le chapitre 1.1.

17
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

Observation du contact

Nous avons enregistré l’image de la zone de contact pour une série de valeurs de FN .
Chaque image résulte de la moyenne de 20 images successives dans les mêmes conditions,
afin de s’affranchir du bruit d’acquisition de la caméra. La Figure 1.8 montre ces images,
desquelles est soustraite l’image correspondant à la situation hors contact, pour huit va-
leurs de FN . La zone de contact apparent est quasi-circulaire, comme attendu en géométrie
sphère-plan, et d’aire croissante avec FN .

(a) FN = 0.34 N (b) FN = 0.69 N (c) FN = 1.03 N (d) FN = 1.37 N

(e) FN = 1.72 N (f) FN = 2.06 N (g) FN = 2.40 N (h) FN = 2.75 N

Fig. 1.8 – Différence entre les images en contact et hors contact, pour toutes les valeurs
de FN utilisées.

Une analyse quantitative de ce type d’images, obtenues en transmission, est proposé

au Chapitre 4. A ce stade cette mesure ne vise qu’à offrir une simple estimation du
rayon de contact apparent pour chaque valeur de FN . Par un seuillage en intensité, on
sélectionne les points les plus lumineux, qui se trouvent dans la zone de contact apparent.
On détermine alors le contour à l’intérieur duquel se trouvent tous ces points, puis l’aire
A0 correspondante. A0 varie essentiellement en fonction du seuil d’intensité choisi à la
première étape. Le seuil utilisé en pratique (valeur égale à 5 sur 256 niveaux de gris) a
été choisi assez élevé pour que le contour trouvé pour chaque FN soit raisonnablement
circulaire et assez faible pour que même aux plus faibles valeurs de FN utilisées, des points
de contact soient détectés. Pour chaque mesure, l’incertitude absolue est prise comme
l’écart quadratique moyen sur les 3 valeurs correspondant aux p seuils de valeur 3, 4 et 6.
La Figure 1.9 représente le rayon de contact mesuré a = A0 /π en fonction de FN . La
1/3
courbe en trait plein montre la dépendance en FN attendue pour un contact de Hertz,
pour une épaisseur de couche infinie (voir Annexe A). Les deux courbes en pointillés
correspondent aux résultats obtenus en épaisseur finie par Shull [50, 51], par un calcul en
éléments finis pour deux conditions extrêmes de frottement : un coefficient de frottement
nul ou infini. L’insert montre les mêmes courbes en coordonnées logarithmiques. Le bon

18
 1.2. Contact normal sphère-plan

Mesure
4 Hertz
Shull (f=0)
Shull (f=inf)
3

a (mm)
4

2 3

1 0,1 1
0
0 0,5 1 1,5 2 2,5 3
F (N)
N

Fig. 1.9 – Rayon de contact en fonction de la charge normale appliquée. Les points cor-
respondent aux valeurs mesurées par analyse d’image. Ces points s’écartent sensiblement
du rayon de Hertz (trait plein) valable en milieu semi-infini. Ils se comparent correctement
aux résultats d’un calcul en éléments finis pour un film d’épaisseur finie (pointillés) pour
deux conditions de frottement à l’interface (h = 2 mm et E = 2.2 M P a).

accord avec nos mesures montre la validité de cette estimation de la taille de la zone de
contact.

Mesures directe des contraintes

Pour une force normale donnée, nous avons réalisé une série de mises en contact pour
différentes positions relatives de la zone de contact par rapport à celle du MEMS. En
supposant que les propriétés de surface du film de PDMS sont homogènes, on peut alors
reconstituer point par point le champ des tensions de sortie du MEMS lors de ce contact
sphère-plan. Le fonctionnement des cantilevers ne permet pas d’imposer une charge pure-
ment normale, car toute déflexion du cantilever est accompagnée d’un faible déplacement
tangentiel, qui doit être ensuite compensé par translation inverse pour garantir une force
tangentielle globale nulle. Les profils de contrainte finaux peuvent néanmoins dépendre du
détail de l’histoire des contraintes, du fait des microglissements induits. Une quantification
de ces effets est présentée en fin de ce Chapitre pour deux procédures de mise en charge.
Nous avons choisi celle qui minimise la contrainte tangentielle maximum atteinte :
1. Hors contact, on enregistre à l’oscilloscope numérique les signaux correspondant à
FT = 0, et à des contraintes nulles sur le MEMS pendant 5 sec. On note également
la tension, mesurée au voltmètre, correspondant à FN = 0.
2. La mise en contact se fait progressivement en approchant le film élastique de la
lentille à l’aide d’une platine de translation manuelle. On ajuste, par lecture au

19
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

voltmètre, la force normale FN appliquée, avec une incertitude relative inférieure à

2%.
3. L’extrémité du cantilever de charge normale subit un déplacement de quelques mm
selon l’axe z, mais aussi un déplacement selon l’axe y de l’ordre de 100 µm au
maximum. En termes de force, cela se traduit quand même par une force tangentielle
FT d’amplitude comparable à celle FN au cours de la mise en charge progressive.
Pour minimiser FT , on renouvelle le contact en écartant manuellement le film du
substrat puis on le laisse revenir au contact lentement. La force tangentielle est
significativement diminuée, mais reste de l’ordre d’une fraction de FN .
4. On translate alors le film élastique selon l’axe y à l’aide d’une vis micrométrique jus-
qu’à ce que FT s’annule. Ce déplacement, de quelques µm, reste largement inférieur
à celui qui serait nécessaire pour induire un glissement macroscopique.
5. On enregistre les signaux correspondant à FT et aux contraintes exercées sur le
MEMS dans cette situation, pendant 5 sec. Les contraintes sont calculées par diffé-
rence entre les valeurs moyennes de ces signaux et de ceux enregistrés à l’étape 1.
L’incertitude associée sera la somme des deux écarts type correspondant.

8
0 Pa
6
16000 Pa
4

2
x (mm)

0 Pa
0 75000 Pa

-2

5000 Pa
-4
35000 Pa -18000 Pa
-6 -18000 Pa 18000 Pa

-8
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
y (mm) y (mm) y (mm)

(a) Szz (b) Sxz (c) Syz

Fig. 1.10 – Champ de contraintes sous le film mesuré par le MEMS (FN = 1.72 N ).

La Figure 1.10 montre les champs mesurés, exprimés en Pascals, pour une force nor-
male appliquée de 1.72 N . Les coefficients de calibration choisis pour passer des tensions
mesurées aux contraintes exercées sont les suivantes. En pression, nous utilisons directe-
ment la valeur de 3.9 mV /V /bar donnée par le LETI. En cisaillement, le LETI ne donnant
pas de correspondance en termes de contraintes mais en terme de force, nous utilisons pour
l’instant une valeur ad hoc de 1.9 mV /V /bar, valeur proche de celle de chacune des deux
voies correspondant à la pression. Une valeur exacte de ces calibrations sera déterminée
aux Chapitres 1.3.1 et 1.3.2. Les valeurs de contrainte ainsi déterminées seront notées Szz ,
Sxz et Syz , pour bien les différencier des valeurs du vrai champ de contrainte exercé sur le
MEMS. Les lignes isocontrainte sont interpolées à partir 17 ∗ 17 = 289 points de mesure
répartis selon un réseau carré régulier de pas 1 mm.

20
 1.2. Contact normal sphère-plan

Qualitativement, le champ Szz (x, y) correspondant à la pression est axisymétrique.

Les champs Sxz (x, y) et Syz (x, y) correspondant au cisaillement projeté sur x et y sont
eux antisymétriques par rapport aux axes y et x respectivement. Ces propriétés sont
compatibles avec la géométrie sphère-plan du contact formé. Dans ces conditions, les
mesures peuvent être limitées au seul profil selon l’axe y. Cela permet également de
diminuer considérablement le nombre de mesures à réaliser pour chaque FN , et donc de
réaliser des mesures moins espacées, tous les 500 µm. La Figure 1.11 montre les profils
mesurés pour huit valeurs de FN .
Qualitativement toujours, on retrouve pour les profils les symétries observées pour
la mesure du champ complet. Le signal correspondant au cisaillement dans la direction
orthogonale au profil est quasi-nul, ce qui prouve que le profil réalisé passe bien par le
centre du contact. Notons que les signaux de pression et de cisaillement dans la direction
du profil ont des valeurs non nulles même en dehors du contact apparent (représenté
par un trait noir sous chaque courbe). Cet élargissement est en partie lié au fait que
la mesure se fait sous le PDMS, c’est-à-dire que l’on ne mesure pas un signal associé
directement aux contraintes à l’interface, mais aux contraintes transmises à travers 2 mm
de matériau élastique. C’est également pour cela que des valeurs non-nulles des contraintes
de cisaillement sont observées, même pour une force tangentielle totale FT nulle : c’est
l’intégrale spatiale de la contrainte de cisaillement sur tout le plan inférieur du film qui
devra s’annuler pour assurer l’équilibre mécanique.

1.2.2 Calcul des contraintes

Nous avons réalisé des calculs élastiques en éléments finis (logiciel Castem 2000), en
prenant en compte la géométrie particulière de nos expériences. Ce type de calcul est
couramment utilisé pour modéliser la répartition des contraintes de contact, en statique
linéaire, dans des géométries où un calcul analytique n’est pas réalisable. Joël Frelat7 nous
a initié à ce type de calculs numériques et nous a aidé à tester la qualité des résultats.

Calculs en éléments finis

La méthode des éléments finis permet de trouver des solutions approchées pour un
système régi par des équations aux dérivées partielles, telles que les équations de l’élasticité
linéaire, et soumis à des conditions aux limites connues. Elle repose sur la définition d’un
maillage subdivisant le système étudié en sous-systèmes. Chaque sous-système, associé à
une famille de fonctions, typiquement polynômiales, servant à interpoler le résultat est
appelé élément. Le système, formulé sous forme intégrale, est discrétisé pour permettre
une résolution par inversion matricielle.
Les calculs ont été menés en mode axisymétrique, pour un film élastique d’épaisseur
constante h = 2 mm, de rayon 20 mm, de module de Young E = 2.2 M P a et de coefficient
de Poisson ν = 0.499, et pour une sphère de verre de rayon R = 129.2 mm, de module
de Young Everre = 106 M P a, et de coefficient de Poisson νverre = 0.22. ν est choisi le
plus proche possible de 0.5, pour prendre en compte l’incompressibilité du PDMS, sans
7
Laboratoire de Modélisation en Mécanique, Université Paris 6, Paris

21
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

F = 0.34N S F = 0.69N
5 N zz N
1 10
S
xz

Contraintes S mesurées (Pa)

S
yz

4
5 10

F = 1.03N F = 1.37N
5 N N
1 10
Contraintes S mesurées (Pa)

4
5 10

F = 1.72N F = 2.06N
5 N N
1 10
Contraintes S mesurées (Pa)

4
5 10

F = 2.40N F = 2.75N
5 N N
1 10
Contraintes S mesurées (Pa)

4
5 10

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8

Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 1.11 – Champs de contrainte Szz (•), Sxz () et Syz ( ) mesurés sous le film par le
MEMS. Le trait noir sur l’axe des abscisses représente le diamètre de la zone de contact
apparent.

22
 1.2. Contact normal sphère-plan

toutefois l’atteindre car sinon le calcul divergerait. Le rapport des modules de Young
assure que la sphère est infiniment rigide par rapport au film élastique.
Les conditions aux limites sont : un déplacement nul à la base du film, traduisant
l’adhésion parfaite de l’élastomère à son support rigide ; un contact unilatéral entre les
deux solides, traduisant leur non-interpénétrabilité. Dans la zone de contact, deux condi-
tions aux limites extrêmes ont été implémentées : un contact parfaitement glissant (coef-
ficient de frottement f = 0) et un contact parfaitement adhésif (coefficient de frottement
f = ∞) pour lequel tout déplacement latéral des points du film en contact avec la sphère
est prohibé.
Les entrées du calcul sont la géométrie, les propriétés mécaniques des matériaux et
le déplacement relatif vertical des deux solides. Les résultats sont le rayon de contact, la
force exercée et les profils de contraintes sous le film.
Notons que comparer les mesures aux résultats des calculs en éléments finis revient à
considérer que notre situation expérimentale est bien traduite par cette géométrie avec
un film élastique à faces planes. Cela revient en fait à faire trois hypothèses (i) le PDMS
est considéré comme un matériau purement élastique, hypothèse raisonnable au vu du
rapport G′ /G′′ (voir Annexe A) (ii) la rugosité de surface du PDMS modifie peu les
contraintes exercées en surface par rapport au cas lisse, hypothèse raisonnable dès que
le déplacement relatif vertical δz entre le PDMS et le substrat (δz > 15 µm pour nos
conditions expérimentales) est très grand devant la rugosité rms [12] (iii) la topologie de
la partie sensible du MEMS modifie peu les champs de contraintes sous le film PDMS par
rapport à la situation où le support serait complètement plan, hypothèse raisonnable si
l’on compare la taille verticale de la structure du MEMS (moins de 500 µm) à l’épaisseur
du film (h = 2 mm).
La Figure 1.12 montre la relation entre le rayon de contact et la force normale calculés
pour les deux conditions de frottement : les points blancs correspondent à f = 0, les
carrés blancs correspondent à f = ∞. Les points noirs correspondent aux résultats des
mesures optiques de la Figure 1.9. On constate que, pour une même valeur de FN , le
rayon de contact est toujours plus faible pour f = ∞ que pour f = 0. En effet, dans ce
dernier cas, les points du film élastique sont autorisés à glisser pour relaxer les contraintes
tangentielles à l’interface, ce qui élargit le contact.
c c
La Figure 1.13 montre, pour FN = 1.72 N , les profils de contraintes σzz et σyz cal-
culés à la base du film élastique, pour les deux conditions limites, glissante et adhésive.
Qualitativement, les courbes mesurées et les courbes calculées pour la même valeur de
FN sont similaires. On constate que les courbes varient sensiblement selon la condition de
frottement adoptée. Les courbes pour f = ∞ ont une largeur plus faible que celles pour
f = 0, reflétant la largeur du contact en surface. Cependant, les intégrales de ces champs
sur toute la surface inférieure du film sont les mêmes dans les deux cas, égales aux forces
totales FN = 1.72 N et FT = 0 N imposées.

Modèle semi-analytique
Frétigny et Chateauminois [52] ont récemment développé un modèle semi-analytique
(appelé par la suite modèle FC) permettant de calculer les champs de contrainte et de
déformation pour un milieu élastique isotrope stratifié soumis à un chargement axisymé-

23
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

4
Mesure
Castem (f=0)
Castem (f=inf)
3

a (mm) 2 3

a (mm)
1

1 0,1 F (N) 1
N

0
0 0,5 1 1,5 2 2,5 3
F (N)
N

Fig. 1.12 – Rayon de contact calculé en fonction de la force normale calculée pour les
deux conditions de frottement. Comparaison avec les points expérimentaux.

5
1 10
σ
c
(f=0)
zz

σ
4 c
8 10 (f=inf)
zz

σ
c
4 (f=0)
6 10 yz
(Pa)

σ
c
(f=inf)
yz
c
yz

4
4 10
(Pa), σ

4
2 10
c
zz
σ

4
-2 10

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm)

c c
Fig. 1.13 – Profils de contraintes de pression σzz et de cisaillement σyz (◦) calculés pour
un contact sphère-plan, sous charge normale FN = 1.7 2N , pour f = 0 (trait plein) et
f = ∞ (pointillés).

trique par un indenteur rigide, en l’absence de frottement. Nous avons pu comparer les
résultats de leur modèle à nos résultats obtenus par éléments finis, dans le cas f = 0, au
Chapitre 1.2.2, pour les mêmes paramètres mécaniques et géométriques.
La Figure 1.14 représente la dépendance du rayon de contact a avec la force normale

24
 1.2. Contact normal sphère-plan

Castem
3,5 Modèle F-C
3

2,5

a (mm) 2
3

1,5

1 2

0,5
0,2 0,4 0,6 0,8 1
0
0 0,4 0,8 1,2 1,6 2 2,4 2,8
F (N)
N

Fig. 1.14 – Dépendance du rayon de contact a en fonction de la force normale appliquée

FN , pour un coefficient de frottement nul. Les points correspondent aux résultats des
calculs en éléments finis. La courbe correspond au résultat issus du modèle FC, pour
les mêmes paramètres géométriques et mécaniques. L’insert montre la même courbe en
échelle log-log.

appliquée. Elle montre que les résultats obtenus par ces deux méthodes sont compatibles.
5
2,5 10
4 1 10
σ σ
castem castem
(Pa) (Pa)
zz zz

σ σ
castem castem
(Pa) 4 (Pa)
2 10
4 yz 8 10 yz

σ σ
FC FC
(Pa) (Pa)
Contrainte (Pa)

Contrainte (Pa)

zz zz
4
σ σ
4 FC FC
1,5 10 (Pa) 6 10 (Pa)
rz rz

4 4
1 10 4 10

4
5000 2 10

0 0
0 1 2 3 4 5 6 0 1 2 3 4 5 6
Position latérale (mm) Position latérale (mm)
(a) FN = 0.34 N (b) FN = 2.75 N

Fig. 1.15 – Champs de contrainte de pression (◦) et de cisaillement ( ) sous le film

élastique, calculés par éléments finis pour f = 0 (trait plein), à partir du modèle FC
(pointillés), pour 2 valeurs de FN .

25
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

La Figure 1.15 représente, pour les deux valeurs extrêmes de FN utilisées, les profils
de contraintes sous la couche élastique calculés par les 2 méthodes. Ils diffèrent de moins
de 2% en pression, et de moins de 7% en cisaillement, les résultats en éléments finis étant
systématiquement supérieurs à ceux obtenus pour le modèle FC. Ce bon accord confirme
la qualité des résultats obtenus en éléments finis pour f = 0.

1.2.3 Comparaison directe

Nous avons cherché à comparer directement les profils mesurés Szz (x, y) et Syz (x, y)
obtenus pour les calibrations ad hoc définies précédemment au Chapitre 1.2.1 et ceux
calculés par la méthode des éléments finis pour f = 0 et f = ∞. Ceux-ci ont été déterminés
pour une charge normale FN croissante de 0.34 N à 2.75 N et sont représentés sur la Figure
1.16.

1.3 Détermination des fonctions d’appareil du cap-

teur MEMS
La Figure 1.16 montre un bon accord qualitatif entre les données brutes issues du
capteur MEMS et le champ des contraintes à la base du film calculé numériquement. On
constate cependant que les profils mesurés en pression comme en cisaillement sont plus
larges que les profils calculés. La différence observée est liée à la taille finie de la zone de
sensibilité du MEMS. L’utilisation de ce capteur pour mesurer le champ de contraintes
impose de déterminer la fonction d’appareil qui lui est associée. Nous décrivons par la
suite la procédure de détermination de cette fonction pour les composantes de pression
puis de cisaillement.

1.3.1 Fonction d’appareil en pression

Principe de la méthode
Nous faisons l’hypothèse qu’il existe une fonction d’appareil F Azz telle que le champ
des tensions mesurées par le MEMS pour la composante de pression Uzz puisse s’écrire en
fonction du champ de contrainte normale à la base du film σzz (x, y) sous la forme :

Uzz (x, y) = F Azz (x, y) ⊗ σzz (x, y) (1.1)

où ⊗ représente un produit de convolution.

Par transformée de Fourier spatiale (notée F), l’équation (1.1) s’écrit :

F {Uzz } (fx , fy ) = (F {F Azz } · F {σzz })(fx , fy ) (1.2)

où fx et fy sont les fréquences spatiales associées aux directions x et y respectivement.

F Azz peut donc être exprimée sous la forme :
 
−1 F {Uzz } (fx , fy )
F Azz (x, y) = F (x, y) (1.3)
F {σzz } (fx , fy )

26
 1.3. Détermination des fonctions d’appareil du capteur MEMS

5
F = 0.34N S F = 0.69N
1,2 10 N zz N
σ
c
(f=0)
zz
4
σ
c
(Pa) 9 10 (f=inf)
zz
S
c
yz

4 yz
S ,σ ,S ,σ

6 10
σ
c
(f=0)
yz

yz

σ
4 c
c

(f=inf)
zz

3 10 yz
zz

4
-3 10

5
F = 1.03N F = 1.37N
1,2 10 N N

4
(Pa)

9 10
c
yz

4
S ,σ ,S ,σ

6 10
yz

4
c
zz

3 10
zz

4
-3 10

5
F = 1.72N F = 2.06N
1,2 10 N N

4
(Pa)

9 10
c
yz

4
S ,σ ,S ,σ

6 10
yz

4
c
zz

3 10
zz

4
-3 10

5
F = 2.40N F = 2.75N
1,2 10 N N

4
(Pa)

9 10
c
yz

4
S ,σ ,S ,σ

6 10
yz

4
c
zz

3 10
zz

4
-3 10
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

c
Fig. 1.16 – Comparaison entre les mesures Szz (•) et Syz ( ) et les contraintes σzz (◦) et
c
σyz ( ) calculées avec Castem pour f = 0 (trait plein) et f = ∞ (pointillés).

27
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

c
Nous utiliserons la valeur σzz calculée par Castem à la base du film pour déterminer
expérimentalement F Azz . Le choix du type de sollicitation de la surface servant à extraire
cette fonction est guidé par les deux contraintes suivantes :
– Les résultats du calcul doivent être peu dépendants de la valeur particulière du
coefficient de frottement, que l’on ne contrôle pas expérimentalement.
– La reconstruction complète de F Azz (x, y) par cette procédure de déconvolution nu-
mérique nécessite de prendre en compte la réponse du MEMS sur la plus large
gamme de fréquences spatiales possibles. Pour cela, il faut choisir une situation de
référence pour laquelle le champ σzz (x, y) présente des variations spatiales rapides.
La situation de référence choisie est l’indentation ponctuelle normale, qui est facilement
réalisable numériquement comme expérimentalement. La surface en contact étant très
faible, le détail des conditions de frottement influe peu sur les contraintes dans le film.
D’autre part, il s’agit de la stimulation qui présente les variations spatiales les plus rapides.

Indentation quasi-ponctuelle du film de PDMS

Expérimentalement, l’indenteur choisi est l’extrémité d’un fil métallique, de section
circulaire de diamètre d = 500 µm, petit devant h = 2 mm, coupé perpendiculairement à
son axe. Le fil est collé sur sa longueur entre deux lames de verre, l’extrémité ne dépassant
que de quelques centaines de µm, ce qui permet de négliger sa flexion éventuelle. Il est
fixé sur le même bâti à la place de la lentille sphérique (voir Chapitre 1.1).
La Figure 1.17 montre les variations de la tension Uzz en fonction de la force normale
FN appliquée lors d’un cycle de charge-décharge du contact au voisinage de la verticale du
MEMS. La dépendance observée est linéaire, traduisant à la fois le caractère linéaire du

2
Ajustement linéaire:
U = -0,0214 + 4,628F
zz N

1,5
U (mV/V)

1
zz

0,5

0
0 0,1 0,2 0,3 0,4
F (N)
N

Fig. 1.17 – Tension de sortie Uzz du MEMS en fonction de FN pour un cycle charge-
décharge en indentation ponctuelle. Aucune hytérèse n’est observée : les points corres-
pondant à la charge et à la décharge sont superposés.

28
 1.3. Détermination des fonctions d’appareil du capteur MEMS

champ de contraintes dans un film élastique sous sollicitation quasi-ponctuelle et la réponse

linéaire du capteur. Afin d’améliorer la précision de la mesure, la réponse du MEMS est
caractérisée pour chaque position particulière par la pente extraite de l’ajustement linéaire
de la courbe, exprimée en mV /V /N .
La Figure 1.18 montre le profil Uzz (0, y) correspondant à une FN appliquée de 1N . Un
ajustement gaussien permet d’extraire une demi-largeur caractéristique de 1.06 mm.

4
U (mV/V)

3
zz

0
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm)

Fig. 1.18 – Profil Uzz (0, y) expérimental (•) pour une indentation ponctuelle sous charge
ramenée à 1 N , et un ajustement gaussien de largeur 1.06 mm (pointillés).

Calcul pour un poinçon circulaire

Le calcul des contraintes dans le cas de l’indentation d’un film élastique par un poinçon
est aisé sous Castem, car on connaı̂t a priori la zone de contact. Le calcul a été mené en
mode axisymétrique, pour un film élastique de même géométrie et de mêmes propriétés
mécaniques que pour le cas sphère-plan. Le poinçon, de diamètre 500 µm, est supposé
rigide. La Figure 1.19 montre le profil de pression calculé pour une force normale totale
de 1 N , pour les deux valeurs extrêmes du coefficient de frottement.
Les deux conditions envisagées donnent des profils calculés très voisins, ce qui confirme
la validité de notre choix de situation de référence. Un ajustement gaussien pour le cas
f = 0 donnerait une demi-largeur valant 0.91 mm.

Déconvolution numérique
Le rapport des transformées de Fourier (Equation 1.3) est effectué numériquement par
FFT (Fast Fourier Transform). Une difficulté apparaı̂t à haute fréquence du fait de la
c
décroissance rapide de F {σzz }. Pour s’en affranchir, un bruit blanc d’amplitude environ
10 fois inférieure à celle de la plus faible composante pertinente est ajouté aux deux

29
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

5 f=0
1,6 10
f=inf

5
1,2 10

(Pa)
4
c
8 10
zz
σ

4
4 10

0
-8 -4 0 4 8
Position latérale (mm)

c
Fig. 1.19 – Profil de contrainte de pression calculé σzz pour une indentation par un poinçon
circulaire de diamètre 500 µm, sous force normale de 1 N , pour les deux conditions de
frottement f = 0 (trait plein) et f = ∞ (pointillés).

signaux avant d’effectuer les transformées de Fourier. La valeur particulière de ce bruit

blanc est sans effet significatif sur le résultat obtenu.

-6
2 10

-6
1,5 10
FA (mV/V/Bar)

-6
1 10
zz

-7
5 10

0
-4 -2 0 2 4
Position latérale (mm)

Fig. 1.20 – Profil F Azz (0, y) de la fonction d’appareil en pression calculée à partir d’une
situation d’indentation ponctuelle (•), et ajustement gaussien de demi-largeur 561 ± 5 µm
(pointillés).

30
 1.3. Détermination des fonctions d’appareil du capteur MEMS

La fonction F Azz (voir Figure 1.20) est axisymétrique et son intégrale vaut 3.78 mV /V /bar.
Cette valeur est cohérente avec les 3.9 mV /V /bar donnés par le LETI pour le capteur ca-
libré à nu8 .
L’ajustement de F Azz (0, y) par une gaussienne donne une demi-largeur de 561 ± 5µm
définissant le rayon de la zone de sensibilité du MEMS. Des résultats très similaires sont
obtenus pour des profils réalisés le long de l’axe x (valeur intégrale 3.82 mV /V /bar et demi-
largeur 565 ± 5 µm). Pour la suite, on considèrera que la fonction d’appareil en pression
F Azz correspond à une gaussienne intermédiaire, de demi-largeur 563 µm et d’intégrale
valant 3.80 mV /V /bar.
La Figure 1.21 montre la comparaison, pour l’indentation ponctuelle, de la mesure
cF A
expérimentale Szz et des profils calculés convolués par F Azz , notés σzz , pour les deux
conditions limites (glissante et adhésive). L’accord observé confirme la validité de la mé-
thode de déconvolution. En particulier l’approximation gaussienne n’entraı̂ne pas de perte
d’information significative.
5
5
S
10
1,2 10 zz

σ
cFA
5 (f=0)
1 10 zz

σ
cFA
(f=inf)
S , σ oFA (Pa)

S , σ oFA (Pa)

4 zz 4
8 10 10
zz

zz

4
6 10
c

c
zz

zz

4
4 10
zz

zz

1000
4
2 10

0
100
-8 -4 0 4 8 -8 -4 0 4 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)
(a) Coordonnées linéaires (b) Coordonnées semi-logarithmiques

Fig. 1.21 – Profil mesuré Szz (0, y) sous une force normale de 1 N et comparé aux profils
cF A
σzz calculés par Castem puis convolués par F Azz , en représentation (a) linéaire, et (b)
semi-logarithmique.

Comparaison quantitative en géométrie sphère-plan

Connaissant la fonction d’appareil F Azz pour la pression, nous pouvons désormais
cF A
comparer profils calculés puis convolués σzz et mesurés Szz (0, y) pour le contact sphère-
plan (Fig. 1.22).
On constate que pour toutes les valeurs de FN sauf la plus faible, les profils expérimen-
taux se situent, aux incertitudes près, entre les deux profils calculés correspondant aux
8
Cette accord est confirmé par une expérience de mesure de la pression dans une cloche à vide par le
capteur PDMS + MEMS, qui conduit à une valeur de 3.914 ± 0.007 mV /V /bar.

31
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

5 S
10 zz

σ
cFA
(f=0)
zz

σ
cFA
(f=inf)
zz
4
(Pa)
cFA 10
zz
S ,σ
zz

1000

F = 0.34N F = 0.67N
100 N N

5
10

4
(Pa)

10
cFA
zz
S ,σ
zz

1000

F = 1.03N F = 1.37N
100 N N

5
10

4
(Pa)

10
cFA
zz
S ,σ
zz

1000

F = 1.72N F = 2.06N
100 N N

5
10

4
(Pa)

10
cFA
zz
S ,σ
zz

1000

F = 2.40N F = 2.75N
100 N N

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

cF A
Fig. 1.22 – Comparaison entre les mesures Szz (•) et les contraintes σzz calculées puis
convoluées par F Azz , pour un contact sphère-plan, pour les huit valeurs de FN , pour les
deux valeurs extrêmes du coefficient de frottement en représentation semi-log. f = 0 (trait
plein) et f = ∞ (pointillés)

32
 1.3. Détermination des fonctions d’appareil du capteur MEMS

valeurs extrêmes de f . Quantitativement, cet encadrement est le seul que l’on puisse at-
tendre, car expérimentalement, on ne connaı̂t pas exactement les conditions de frottement
à l’interface. En particulier, on ne sait pas quelles zones ont éventuellement glissé au cours
de la mise en charge. Notons d’ailleurs
R∞ que si l’on calcule à partir des profils Szz l’équi-
valent de l’intégrale surfacique 0 Szz (r)2πrdr, on retrouve les valeurs de FN imposées
à l’échelle macroscopique, comme on peut le voir dans le Tableau 1.1. L’accord quanti-
R
FN (N ) Szz (N )
0.34 ± 0.01 0.33 ± 0.05
0.69 ± 0.01 0.67 ± 0.05
1.03 ± 0.01 1.02 ± 0.05
1.37 ± 0.01 1.37 ± 0.05
1.72 ± 0.01 1.72 ± 0.05
2.06 ± 0.01 2.06 ± 0.05
2.40 ± 0.01 2.42 ± 0.05
2.75 ± 0.01 2.78 ± 0.06

Tab. 1.1 – Valeurs de FN mesurées macroscopiquement comme la force exercée par le

cantilever de charge normale, comparées aux intégrales des profils de pression mesurés Szz
par le MEMS.

tatif est donc considéré comme bon9 , ce qui valide la fonction d’appareil F Azz pour une
large gamme de situations expérimentales, allant de l’indentation ponctuelle au contact
sphère-plan pour différentes valeurs de FN .

1.3.2 Fonction d’appareil en cisaillement

Le même principe de détermination de la fonction d’appareil en cisaillement est mis
en oeuvre en utilisant la composante tangentielle associée à l’indentation ponctuelle. La
Figure 1.23 montre que la réponse du MEMS est là encore linéaire. Le profil reconstitué
point par point de Uyz (0, y) est représenté sur la Figure 1.24 pour une force normale
FN = 1 N . Les calculs en élément finis donnent pour les contraintes de cisaillement les
résultats de la Figure 1.25. On constate, comme pour la pression, que les deux profils
correspondant aux deux valeurs extrêmes du coefficient de frottement sont quasiment
identiques.
L’intégrale du champ de cisaillement sur le plan inférieur du film élastique étant nulle,
c
les valeurs des transformées de Fourier de σyz et de Uyz en (fx = 0, fy = 0) sont elles-mêmes
nulles si bien que la fonction d’appareil F Ayz ne peut être définie qu’à une constante
additive près. Celle-ci est fixée en prenant en compte une condition d’annulation quand
x et y tendent vers l’infini. La Figure 1.26 montre la fonction d’appareil en cisaillement
ainsi évaluée. L’intégrale de F Ayz donne une calibration en cisaillement selon l’axe y
9
Les écarts observables sont vraisemblablement liés à l’effet de la rugosité de surface, qui modifie
légèrement le champ de pression par rapport au cas lisse calculé. Cet effet est d’autant plus important
que la charge normale est faible (voir Chapitre 4 et [16]).

33
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

0,2
Ajustement linéaire:
U = -0,00165 + 0,4251F
yz N

0,15

U (mV/V) 0,1
yz

0,05

0
0 0,1 0,2 0,3 0,4
F (N)
N

Fig. 1.23 – Tension de sortie Uyz du MEMS en fonction de FN pour un cycle charge-
décharge en indentation ponctuelle.

0,5

0,25
U (mV/V)

0
yz

-0,25

-0,5
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm)

Fig. 1.24 – Profil Uyz (0, y) expérimental (•) pour une indentation ponctuelle sous charge
ramenée à 1N .

valant 1.48 mV /V /bar. L’ajustement gaussien de F Ayz (0, y) fournit une demi-largeur de
688 ± 4 µm proche du rayon de la membrane du MEMS (voir Figure 1.26(a)). Il faut noter
que la fonction F Ayz ainsi déterminée présente un pied rectangulaire qui ne peut être
négligé : un simple ajustement gaussien conduit en effet à un écart significatif. A l’inverse,
en prenant en compte ce pied rectangulaire (Figure 1.26(b)), le profil expérimental associé

34
 1.3. Détermination des fonctions d’appareil du capteur MEMS

4
6 10
f=0
4 f=inf
4 10

4
2 10

(Pa)
0
c
yz
σ

4
-2 10

4
-4 10

4
-6 10
-8 -4 0 4 8
Position latérale (mm)

c
Fig. 1.25 – Profil de contraintes de cisaillement calculé σyz pour une indentation par un
poinçon circulaire de diamètre 500 µm, sous force normale de 1 N , pour les deux conditions
de frottement f = 0 (trait plein) et f = ∞ (pointillés). Les deux profils se recouvrent
pratiquement.

-7 (a) -7 (b)
4 10 4 10

-7 -7
3 10 3 10
FA (mV/V/Bar)

FA (mV/V/Bar)

-7 -7
2 10 2 10
yz

yz

-7 -7
1 10 1 10

0 0

-4 -2 0 2 4 -4 -2 0 2 4
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 1.26 – Profil F Ayz (0, y) de la fonction d’appareil en cisaillement calculée à partir
d’une situation d’indentation ponctuelle (•). (a) la courbe en pointillés correspond à un
ajustement gaussien de demi-largeur 688 ± 4 µm. (b) la courbe pointillé correspond à une
reconstitution plus fidèle de F Ayz (0, y) par une gaussienne et un pied rectangulaire.

cF A
à l’indentation ponctuelle est très similaire au profil σyz , issu du calcul en éléments finis
puis convolué par F Ayz (Figure 1.27).

35
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

4
3 10
S
yz
4
2 10 σ
cFA
(f=0)
yz

σ
cFA
4 (f=inf)
yz
1 10

(Pa)
cFA 0
yz
S ,σ
yz

4
-1 10

4
-2 10

4
-3 10
-8 -4 0 4 8
Position latérale (mm)

cF A
Fig. 1.27 – Profil mesuré Syz (0, y) (•) comparé aux profils σyz calculés par Castem puis
convolués par F Ayz , pour l’indentation ponctuelle.

Comparaison quantitative en géométrie sphère-plan

Lorsque la fonction d’appareil F Ayz ainsi déterminée est appliquée aux situations de
contact sphère-plan, les profils résultant de la convolution présentent une allure similaire
aux résultats expérimentaux, mais surestiment de façon systématique, d’environ 20% la
valeur des contraintes. Cet écart peut être interprété en considérant la taille finie du
MEMS. Les gradients de pression à l’échelle de sa membrane produisent un couple dont
les effets sont analogues à un cisaillement de signe opposé (voir Figure 1.28).

σ
Film
élastique
-σ
Support rigide
P1
P2

Fig. 1.28 – Schéma représentant les contraintes exercées sur un élément de film élastique
à l’équilibre mécanique. Lorsqu’une contrainte tangentielle σ est exercée en surface du
film, une contrainte −σ est exercée par le support rigide à la base du film. Le couple
correspondant est compensé par un gradient de pression exercée par le support : P2 > P1 .

Cet effet peut être estimé en évaluant le couple exercé sur la membrane dans le cas de
l’indentation ponctuelle, à partir des résultats en éléments finis. La Figure 1.29 montre

36
 1.3. Détermination des fonctions d’appareil du capteur MEMS

en indentation ponctuelle, le profil de cisaillement, le profil de différence de pression entre

deux points séparés de 1.9 mm et la différence entre ces deux profils. L’effet de gradient

4
6 10

σ
c
4 yz
4 10
dσ
zz

σ
4 c
2 10 - dσ
σ , dσ (Pa)

yz zz
zz

0
yz
c

4
-2 10

4
-4 10

4
-6 10
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm)

Fig. 1.29 – Indentation ponctuelle : profil de cisaillement (trait continu), profil de diffé-
rence de pression entre deux points espacés de 1.9 mm (trait pointillés) et différence entre
ces deux profils (trait discontinu).

de pression conduit à une diminution de l’amplitude effective du profil de contrainte me-

suré sans pour autant modifier significativement sa forme. Cet effet contredit l’hypothèse
d’existence d’une fonction d’appareil en cisaillement. Mais il est possible, pour chaque
classe de situations au sein de laquelle les gradients de pression varient peu, de détermi-
ner de façon ad hoc une valeur de l’amplitude de la fonction d’appareil représentée à la
Figure 1.26(b) qui permette de reproduire correctement l’ensemble des profils. Ainsi la
cF A
Figure 1.30 montre, en contact sphère-plan, les profils σyz calculés puis convolués, et les
profils expérimentaux, obtenus pour une calibration ajustée à 1.82 mV /V /bar.
Cette nouvelle valeur est environ 1.23 fois plus grande que celle correspondant à l’in-
dentation ponctuelle, ce qui est compatible avec l’ordre de grandeur estimé des effets de
gradient de pression.
Notons que l’importance de ces problèmes de couplage entre gradient de pression et
contrainte de cisaillement dépend de la dimension du capteur. Ils tendent à disparaı̂tre
pour des capteurs de faible dimension. Une nouvelle génération de capteurs uniques, dont
le diamètre de la membrane est de 700 µm, est actuellement en cours de réalisation au
LETI et permettra d’améliorer significativement la détermination d’une véritable fonction
d’appareil et la robustesse des mesures en cisaillement.

37
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

4 S
2,4 10 yz

σ
cFA
4 (f=0)
1,6 10 yz

σ
cFA
(f=inf)
yz

(Pa)
8000
cFA
yz
S ,σ
yz 0

-8000
4
-1,6 10
4 F = 0.34N F = 0.69N
-2,4 10 N N

4
2,4 10
4
1,6 10
(Pa)

8000
cFA

0
yz
S ,σ
yz

-8000
4
-1,6 10
4 F = 1.03N F = 1.37N
-2,4 10 N N

4
2,4 10
4
1,6 10
(Pa)

8000
cFA

0
yz
S ,σ
yz

-8000
4
-1,6 10
4 F = 1.72N F = 2.06N
-2,4 10 N N

4
2,4 10
4
1,6 10
(Pa)

8000
cFA

0
yz
S ,σ
yz

-8000
4
-1,6 10
4 F = 2.40N F = 2.75N
-2,4 10 N N

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

cF A
Fig. 1.30 – Comparaison entre les mesures Syz (•) et les contraintes σyz calculées puis
convoluées, pour un contact sphère-plan, pour les huit valeurs de FN , pour les deux valeurs
extrêmes du coefficient de frottement. f = 0 (trait plein) et f = ∞ (pointillés)

38
 1.4. Contact normal cylindre-plan

1.3.3 Modification des contraintes par lubrification de l’inter-

face
Dans cette partie, nous évaluons les variations du champ des contraintes induites
par la modification des conditions limites au niveau du contact. Une goutte de glycérol
intercalée agit comme un lubrifiant en réduisant, lors de la mise en contact, le coefficient de
frottement. Ces nouvelles conditions ne modifient pas les forces macroscopiques globales
mais doivent perturber la répartition des contraintes au sein du contact.
La Figure 1.31 montre les profils Szz et Syz mesurés dans les deux cas d’un contact
sphère-plan sous FN = 2.75 N , soit sec soit lubrifié par du glycérol.

S (sec)
zz 4
1,2 10
5
S (gly) 2,4 10 S (sec)
yz
zz
S (gly)
σ
cFA 4 yz
5 (f=0) 1,6 10
1 10 zz
σ
cFA
(f=0)
σ
cFA yz
(f=inf)
(Pa)
4 zz 8000
σ
8 10 cFA
(Pa)

(f=inf)
yz
cFA
cFA

4 0
yz

6 10
zz

S ,σ
S ,σ

yz

-8000
zz

4
4 10
4
4
-1,6 10
2 10
4
F = 2.75N -2,4 10
N
0
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 1.31 – Profils Szz (à gauche) et Syz (à droite) mesurés en sphère-plan, sous charge
normale FN = 2.75 N , pour un contact sec (•) et pour un contact lubrifié par du glycérol
cF A cF A
( ). Les profils calculés puis convolués σzz et σyz sont présentés pour f = 0 (trait plein)
et pour f = ∞ (pointillés).

Ces profils sont comparés aux profils calculés et convolués par les fonctions d’appareil
correspondant au sphère-plan pour les deux conditions extrêmes de frottement. Comme
attendu, on constate que les profils lubrifiés sont élargis par rapport aux profils secs et que
corrélativement les amplitudes sont plus faibles. Le profil de pression lubrifié se superpose
cF A
très bien au profil σzz correspondant à f = 0, ce qui confirme que la lubrification permet
de simuler un contact parfaitement glissant.

1.4 Contact normal cylindre-plan

Les fonctions d’appareil sont ici utilisées dans le cadre d’une nouvelle géométrie de
contact, cylindre-plan. Celle-ci nous offre un test pour les fonctions d’appareil calculées.
Par ailleurs, cette géométrie nous permettra au Chapitre 2 une comparaison directe des
champs de contrainte mesurés en régime de glissement stationnaire et calculés par un
modèle semi-analytique.

39
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

1.4.1 Réalisation expérimentale

Un contact cylindre-plan est plus difficile à réaliser qu’un contact sphère-plan. Idéale-
ment, on souhaite utiliser un cylindre très long, au risque d’être sensible aux imperfections
de planéité du film élastique à grande échelle, et aux hétérogénéités des propriétés de sur-
faces. Nous avons donc choisi d’utiliser une lamelle de verre d’épaisseur 150 µm et de
largeur 8 mm. Elle est collée sur une lentille de verre cylindrique plano-convexe de rayon
de courbure 129.2 mm, perpendiculairement à son axe (voir Figure 1.32).

FN
Lamelle

Lentille cylindrique
z

y Film élastomère
x

Fig. 1.32 – Schéma de principe de la mise en contact en géométrie cylindre-plan. La

lamelle de verre est collée sur la lentille cylindrique. Le contact se fait contre le cylindre
élastique au niveau de la lamelle.

Lorsque l’on presse cet ensemble sur le même film élastomère qu’au chapitre précédent,
seule la lamelle entre en contact ce qui limite la longueur du contact à L = 8 mm. Le
champ de pression associé à cette géométrie, dans la limite d’un contact de largeur très
inférieure à 8 mm correspond au profil d’indentation par un poinçon rectangulaire de
largeur L = 8 mm [12]. Il varie au centre du contact comme 1/((L/2)2 −x2 )1/2 . Le profil de
pression transverse, dans la zone sensible du capteur de taille typique 1 mm, varie alors de
moins de 4%. L’hypothèse d’invariance dans la direction transverse est donc raisonnable.
Cependant, à plus forte pression, lorsque l’extension du contact dans la direction y devient
comparable à L, les effets de bord aux quatre coins de la zone de contact deviennent non
négligeables.
Après avoir réglé le parallélisme du film et de l’axe du cylindre, nous avons pu réaliser
une série de contact, sous force purement normale, pour différentes valeurs de FN appli-
quée entre 0 N et 2.75 N . Les images différentielles (voir Chapitre 1.1.5) correspondantes
sont présentées sur la Figure 1.33. Pour toutes les valeurs de FN , la zone de contact est
raisonnablement rectangulaire, les inhomogénéités apparentes étant liées à des défauts de
la lamelle collée.
La demi-largeur a du contact augmente lorsque FN augmente. Par une analyse d’image
identique à celle réalisée au Chapitre 1.2.1 pour le contact sphère-plan, nous avons pu
estimer pour chaque situation A0 et la largeur moyenne du contact a = A0 /2L en fonction
de FN (voir Figure 1.34). Ces mesures sont à comparer aux valeurs attendues pour un
contact de Hertz linéaire en épaisseur infinie.

40
 1.4. Contact normal cylindre-plan

(a) FN = 0.34 N (b) FN = 0.69 N (c) FN = 1.03 N (d) FN = 1.37 N

(e) FN = 1.72 N (f) FN = 2.06 N (g) FN = 2.40 N (h) FN = 2.75 N

Fig. 1.33 – Images (différentielles) de la zone de contact apparente, pour toutes les valeurs
de FN utilisées, en contact cylindre-plan.

Mesures
4 Hertz

3
a (mm)

2
a (mm)

F (N)
N

0
0 0,5 1 1,5 2 2,5 3
F (N)
N

Fig. 1.34 – Demi-largeur mesurée du contact cylindre-plan en fonction de la charge nor-

male FN appliquée (•). Dépendance attendue pour un contact de Hertz (trait plein).

La Figure 1.35 montre les profils de contraintes Szz , Sxz et Syz mesurés sous le film par
le MEMS. Les profils Szz et Syz sont analogues à ceux obtenus en géométrie sphère-plan.
Les valeurs très faibles des contraintes de cisaillement Sxz dans la direction transverse
confirment que le parallélisme a été bien réglé.

41
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

F = 0.34N S F = 0.69N
4 N zz N
6 10
S
xz
S
yz
4
S , S , S (Pa) 4 10
yz

4
xz

2 10
zz

4
-2 10

F = 1.03N F = 1.37N
N N
4
6 10

4
S , S , S (Pa)

4 10
yz

4
xz

2 10
zz

4
-2 10

F = 1.72N F = 2.06N
N N
4
6 10

4
S , S , S (Pa)

4 10
yz

4
xz

2 10
zz

4
-2 10

F = 2.40N F = 2.75N
N N
4
6 10

4
S , S , S (Pa)

4 10
yz

4
xz

2 10
zz

4
-2 10
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 1.35 – Champ des contraintes Szz (•), Sxz () et Syz ( ) mesuré à la base du film par
le MEMS. Le trait noir sur l’axe des abscisses représente la taille de la zone de contact en
surface.

42
 1.4. Contact normal cylindre-plan

En cylindre-plan, c’est la force normale par unité de longueur du contact qui est per-
tinente et non plus la force normale totale. La Figure 1.36 montre, pour chaque situation
expérimentale le rapport FN /L et l’intégrale des profils Szz en fonction de FN .

350 F /L
N

F / L, integrale de S (Pa/m) 300 integrale de S

zz

250
zz

200

150

100
N

50

0
0 0.5 1 1.5 2 2.5
F (N)
N

Fig. 1.36 – Valeurs de charge normale en contact cylindre-plan. FN est la charge normale
totale appliquée, FN /L(•) est la charge linéique attendue sous l’hypothèse d’un contact
invariant selon l’axe x et l’intégrale de Szz (◦) est la charge linéique effective dans la zone
sur laquelle le MEMS fait ses mesures.

L’écart systématique entre ces deux grandeurs traduit le fait que la pression mesurée
par le capteur au centre de la lamelle correspond au minimum du profil de pression trans-
verse. Les valeurs de FN /L correspondent à une situation où le contact serait invariant
sur toute sa longueur L = 8 mm. Les valeurs de l’intégrale des profils de pression sont
systématiquement plus faibles, ce qui traduit l’hétérogénéité de la contrainte de pression
le long de l’axe du cylindre. Pour la suite, nous supposerons que les contraintes sont inva-
riantes par translation selon l’axe x dans toute la zone de sensibilité du MEMS. La charge
linéique utilisée pour effectuer les comparaisons avec les calculs numériques est prise égale
à la valeur de l’intégrale des profils mesurés.

1.4.2 Calculs en éléments finis

Comme pour la géométrie sphère-plan, les calculs en éléments finis sont possibles en
géométrie cylindre-plan. Les calculs ont été menés en mode de déformation plane, pour
imposer une invariance selon l’axe transverse au cylindre. Le film élastique est d’épaisseur
constante h = 2 mm, de demi-largeur 20 mm, de module de Young E = 2.2 M P a et
de coefficient de Poisson ν = 0.499. Le cylindre de verre a un rayon de courbure R =
129.2 mm, un module de Young Everre = 106 M P a, et un coefficient de Poisson νverre =
0.22. Les enfoncements δ pour lesquels le contact est soumis à une charge normale linéique
correspondant aux expériences ont été obtenues par essais et erreurs.

43
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

3
Mesures
Castem (f=0)
2,5 Castem (f=inf)

a (mm) 1,5

a (mm)
0,5
F (N)
N

0
0 0,5 1 1,5 2 2,5 3
F (N)
N

Fig. 1.37 – Demi-largeur calculée du contact cylindre-plan en fonction de la charge nor-

male FN appliquée, pour f = 0 (trait plein) et pour f = ∞ (pointillés). Demi-largeur
mesurée (•).

La Figure 1.37 montre les valeurs de la demi-largeur a calculées pour toutes les valeurs
de FN exercées, pour les deux conditions extrêmes de frottement à l’interface. Ces valeurs
sont en bon accord avec les valeurs mesurées par analyse d’image, sauf pour les charges les
plus basses. Cet écart est interprété, comme en sphère-plan, par l’influence non-négligeable
de la rugosité du film élastique pour les faibles enfoncements.

1.4.3 Comparaison quantitative

La Figure 1.38 montre les profils de pression mesurés Szz et les profils calculés avec
Castem puis convolués par la fonction d’appareil F Azz obtenue au Chapitre 1.3.1, pour les
deux conditions extrêmes de frottement. Pour toutes les valeurs de FN exercées, l’accord
est bon, ce qui signifie que F Azz permet de reproduire le mode de mesure du MEMS
également en géométrie cylindre-plan.
La Figure 1.39 représente les profils de cisaillement Syz et les profils calculés avec
Castem puis convolués par la fonction d’appareil F Ayz obtenue au Chapitre 1.3.2, pour
une valeur de la calibration ajustée à 1.59 mV /V /bar. Pour toutes les valeurs de FN
exercées, l’accord est bon. Nous utiliserons par la suite cette calibration à 1.59 mV /V /bar
pour le cisaillement en géométrie cylindre-plan.

44
 1.4. Contact normal cylindre-plan

S
zz

σ
cFA
(f=0)
zz
4
σ
cFA
10 (f=inf)
zz
(Pa)
cFA
zz
S ,σ

1000
zz

F = 0.34N F = 0.69N
100 N N

4
10
(Pa)
cFA
zz
S ,σ

1000
zz

F = 1.03N F = 1.37N
100 N N

4
10
(Pa)
cFA
zz
S ,σ

1000
zz

F = 1.72N F = 2.06N
100 N N

4
10
(Pa)
cFA
zz
S ,σ

1000
zz

F = 2.40N F = 2.75N
100 N N

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

cF A
Fig. 1.38 – Comparaison entre les mesures Szz (•) et les contraintes σzz calculées puis
convoluées, pour un contact cylindre-plan, pour les huit valeurs de FN , pour les deux
valeurs extrêmes du coefficient de frottement en représentation semi-log. f = 0 (trait
plein) et f = ∞ (pointillés)

45
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

4
2,4 10 S
yz

σ
cFA
1,6 10
4 (f=0)
yz

σ
cFA
(f=inf)
(Pa) 8000 yz
cFA

0
yz
S ,σ
yz

-8000

4
-1,6 10

4 F = 0.34N F = 0.69N
-2,4 10 N N

4
2,4 10

4
1,6 10
(Pa)

8000
cFA

0
yz
S ,σ
yz

-8000

4
-1,6 10

4
F = 1.03N F = 1.37N
N
-2,4 10 N

4
2,4 10

4
1,6 10
(Pa)

8000
cFA

0
yz
S ,σ
yz

-8000

4
-1,6 10

4 F = 1.72N F = 2.06N
-2,4 10 N N

4
2,4 10

4
1,6 10
(Pa)

8000
cFA

0
yz
S ,σ
yz

-8000

4
-1,6 10

4 F = 2.40N F = 2.75N
-2,4 10 N N

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale
A (mm)

cF A
Fig. 1.39 – Comparaison entre les mesures Syz (•) et les contraintes σyz calculées puis
convoluées, pour un contact cylindre-plan, pour les huit valeurs de FN , pour les deux
valeurs extrêmes du coefficient de frottement. f = 0 (trait plein) et f = ∞ (pointillés)

46
 1.4. Contact normal cylindre-plan

1.4.4 Commentaires sur la procédure de mise en charge

Deux procédures de mise en charge ont été testées (voir Figure 1.4.4).

FN
Fig. 1.40 – Représentation des deux pro-
C.R. cédures de mise en charge en termes
des forces totales mises en jeu. La
C.C.T. C.R.T. charge continue (C.C.) permet d’at-
teindre FN mais induit une force tan-
gentielle FT (CC) . Dans la première pro-
C.C. cédure, la compensation par transla-
tion (C.C.T.) annule FT . Dans la se-
conde procédure, le renouvellement du
FT contact induit une force tangentielle ré-
siduelle FT (CR) faible qui est compensée
FT(CC) FT(CR) par translation (étape C.R.T.).

La première procédure consiste à presser continûment (étape C.C.) la lentille cylin-

drique contre le film élastomère jusqu’à atteindre la charge de consigne. Cette mise en
charge induit un faible déplacement relatif des deux objets, qui se traduit par une force
tangentielle non nulle et négative. Celle-ci est compensée manuellement (étape C.C.T) jus-
qu’à ramener la force tangentielle à zéro. La Figure 1.41 montre les profils de contrainte
avant et après compensation.

4 C. C.
5 10 4 C. C.
2 10 C. C. T.
C. C. T.
4
4 10
4
1 10
4
3 10
S (Pa)

S (Pa)

0
yz
zz

4
2 10
4
-1 10
4
1 10
4
-2 10
0

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)
(a) Szz (b) Syz

Fig. 1.41 – Mesures Szz à gauche et Syz à droite après une charge continue entre 0 N
et 1.72 N (•), et après une translation supplémentaire selon y pour annuler FT ( ), en
contact cylindre-plan.

47
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

La deuxième procédure consiste, après la charge initiale, à renouveler le contact en

écartant manuellement le film de la lentille (étape C.R.). Cette action ne modifie pas la
force normale finale mais réduit de façon importante la force tangentielle résiduelle. Celle-
ci est de signe opposé par rapport à la première procédure. Elle est compensée de façon
identique (étape C.R.T.). La Figure 1.42 montre les profils de contrainte avant et après
compensation.

4 C. R. C. R.
5 10 4
C. R. T. 2 10 C. R. T.
4
4 10
4
1 10
4
3 10

S (Pa)
S (Pa)

yz
zz

4
2 10
4
-1 10
4
1 10
4
-2 10
0

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)
(a) Szz (b) Syz

Fig. 1.42 – Mesures Szz à gauche et Syz à droite après un contact renouvelé à FN = 1.72 N
(•), et après une translation supplémentaire selon y pour annuler FT ( ), en contact
cylindre-plan.

Au vu de ces résultats, la deuxième procédure a été privilégiée, car elle garantit que
la force tangentielle maximale atteinte durant la séquence de mise en charge reste faible.
Ces contraintes transitoires peuvent en effet induire des microglissements irréversibles et
ainsi modifier les champs de contrainte finaux (voir Chapitre 4). Cette hystérèse peut
être illustrée en évaluant la différence entre les deux profils de contrainte finaux issus de
ces deux procédures (voir Figure 1.43). Bien que très faibles, des différences mesurables
apparaissent aux frontières du contact.

48
 1.4. Contact normal cylindre-plan

1000
1000

500
0
0

S (Pa)
S (Pa)

yz
zz

-1000 -500

-1000
-2000
-1500

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)
(a) Szz (b) Syz

Fig. 1.43 – Différence des profils de contraintes entre la situation finale de la procédure
CCT et celle de la procédure CRT. L’écart entre ces deux situations est faible mais
clairement mesurable.

Conclusion
Le système que nous avons décrit est un outil de mesure de contraintes sous un film
élastique à l’échelle millimétrique. Par indentation ponctuelle de la surface du film, nous
avons pu déterminer de façon précise la fonction d’appareil du MEMS en contrainte nor-
male permettant de relier le champ de pression à la base du film à la mesure par le capteur.
Plusieurs expériences de contact en charge purement normale, pour diverses géométries,
ont permis de montrer la validité de ce résultat.
La situation est plus complexe en cisaillement, car la mesure ne dépend pas uniquement
du champ de contrainte tangentiel mais vraisemblablement aussi des gradients du champ
de pression. Il n’existe donc pas de fonction d’appareil associée aux seules contraintes
tangentielles. Néanmoins, il est possible, pour une géométrie donnée et pour chaque classe
de profils suffisamment voisins, de déterminer empiriquement une fonction d’appareil ef-
fective dont la forme a été obtenue pour l’indentation ponctuelle et dont l’amplitude est
ajustée de façon ad hoc. Cette composante de la mesure ne nous permet donc pas d’évaluer
directement un champ de contrainte quelconque, mais elle permet d’évaluer par exemple
des modifications de ces champs pour deux situations voisines.
Nous avons pu montrer en particulier la capacité de ce dispositif à distinguer deux
situations associées à des conditions de frottement différentes (contact sec ou lubrifié)
mais indiscernables au niveau macroscopique. De façon plus sensible encore, nous avons
mis en évidence l’existence de différences dans les profils de contrainte pour des contacts
secs ayant subi des séquences de mise en charge différentes.
Dans les deux prochains chapitres, ce dispositif sera mis en oeuvre dans le cadre d’ex-
périences de frottement dynamique. Les résultats seront interprétés à l’aide des fonctions
d’appareil que nous venons de déterminer.

49
Chapitre 1. Profil des contraintes sous charge normale

50
Chapitre 2

Profil des contraintes sous charge

tangentielle

Introduction

Dans le Chapitre 1, nous avons décrit un dispositif de mesure des champs de contrainte
associés à des contacts sous charge purement normale. Cette mesure est réalisée point par
point, sous hypothèse d’invariance par translation des propriétés du film élastique à la
base duquel sont évaluées les contraintes.
Pour mettre en oeuvre cette mesure sous charge tangentielle, nous nous plaçons tout
d’abord en géométrie cylindres croisés. La charge tangentielle est imposée par la rotation
autour de son axe du cylindre faisant office de substrat. Cette expérience, réalisée en
différentes positions relatives au capteur permet d’obtenir l’évolution des profils jusqu’au
régime de glissement stationnaire (Chapitre 2.1).
Afin d’étudier ce dernier régime de façon plus détaillée, nous avons développé une
autre procédure, moins coûteuse en temps. Il s’agit d’enregistrer la séquence temporelle
des contraintes lors du passage du substrat au dessus du capteur. La reconstruction du
profil spatial est alors fondée sur l’équivalence temps-espace via la vitesse stationnaire de
glissement. Nous décrivons tout d’abord la situation du glissement stationnaire en géomé-
trie sphère-plan. La géométrie cylindre-plan est ensuite adoptée car elle offre la possibilité
d’une comparaison directe avec des calculs semi-analytiques réalisés au laboratoire par
l’équipe de Mokhtar Adda-Bedia. Ce calcul est fondé sur l’hypothèse standard dans le
domaine de la mécanique du frottement qui postule la validité locale de la relation de
Coulomb établissant la proportionnalité entre les contraintes normale et tangentielle à
l’interface frottante.
A la fin de ce chapitre, nous montrons brièvement comment une procédure similaire
permet de déterminer les modifications des champs de contrainte associées à un événement
unique de glissement en régime de ”stick-slip”.

51
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

2.1 Profils lors de la transition vers le glissement

Le dispositif de mesure point par point utilisé dans le Chapitre 1 ne permet pas d’im-
poser une contrainte tangentielle car le contact se déplace alors par rapport au capteur.

2.1.1 Dispositif expérimental

Pour s’affranchir de ce problème, l’entraı̂nement est assuré ici par un cylindre tournant,
dont la position de l’axe peut être maintenue à une position déterminée y par rapport au
capteur (voir Figure 2.1). Nous nous plaçons en géométrie cylindres croisés en recouvrant le
micro-capteur de forces d’un film PDMS qui a la forme d’une calotte cylindrique, obtenue
par moulage à l’aide d’une lentille plano-concave de rayon de courbure R = 130 mm. Un
film de PMMA rugueux (voir Chapitre 1.1) est préalablement plaqué sur la lentille. On

R
y
Roue motorisée
z
ω
PDMS
x y
MEMS

Cantilevers de charge Capteurs

kT kN de position

Fig. 2.1 – Schéma de principe de l’expérience de mesure de la dynamique des champs

de contrainte. La géométrie est de type cylindre croisés entre une calotte cylindrique de
PDMS et une roue motorisée sur la périphérie de laquelle le substrat est collé. La position
y du centre du contact peut être choisie.

obtient ainsi un film élastomère plano convexe rugueux, d’épaisseur maximale 2 mm de

surface carrée 50 mm × 50 mm et de rayon de courbure R = 130 mm. Le MEMS se situe
à la verticale de l’apex.
Le substrat est une lamelle de verre silanisée puis collée sur la périphérie d’une roue
rigide de rayon 117 mm, entrainée en rotation autour de son axe (vertical) par un moteur
pas à pas (Micro-contrôle, SFMI, contrôleur TL17). Le pas du moteur correspond à un
angle de 0.001◦ , c’est-à-dire à un déplacement de 2.04 µm en périphérie de la roue. La
fréquence des pas peut être imposée entre 20 Hz et 1760 Hz, ce qui correspond à une
vitesse d’entraı̂nement du substrat comprise entre 41 µ[Link]−1 et 3.6 [Link]−1 .
Le reste du montage mécanique est inchangé par rapport au Chapitre 1.1.3.

52
 2.1. Profils lors de la transition vers le glissement

2.1.2 Principe de la mesure de la dynamique du champ de contraintes

Nous avons réalisé une série d’expériences de mise en charge du contact puis de mise
en mouvement à vitesse angulaire constante de la roue. Le protocole adopté est le suivant :
– mise en contact du film élastique et du substrat sous force normale FN .
– renouvellement du contact, pour minimiser les contraintes de cisaillement créées lors
de la mise en charge normale progressive. Le centre du contact créé se situe à une
distance y de la verticale du MEMS.
– rotation de la roue à vitesse angulaire ω constante, durant laquelle la force tangen-
tielle totale FT et les signaux de sortie du MEMS sont enregistrés.
– translation le long de son axe du cylindre recouvrant le MEMS par pas de 0.5 mm
selon l’axe y sur une distance totale de 15 mm.

1,6 1,6

1,4 1,4

1,2 1,2

1 1
F (N)

F (N)

0,8 0,8
T

0,6 0,6

0,4 0,4

0,2 0,2

0 0
0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 1,2 0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 1,2
Distance parcourue (mm) Distance parcourue (mm)
(a) Deux réalisations identiques (b) Réalisations moyennes pour deux positions
différentes

Fig. 2.2 – Evolutions de FT en fonction de la distance parcourue par le substrat, illustrant

la reproductibilité typique des expériences. (a) Reproductibilité dans les mêmes conditions
expérimentales. (b) Reproductibilité pour deux positions différentes du contact par rap-
port au MEMS. Pour la représentation, les traces ont été lissées par une moyenne glissante
de taille correspondant à un pas du moteur.

La Figure 2.2(a) représente l’évolution de FT en fonction de la distance parcourue par

le substrat, pour deux réalisations dans les mêmes conditions expérimentales. La Figure
2.2(b) représente l’évolution de FT pour deux positions différentes du contact par rapport
au MEMS. La force normale est FN = 1.92 N et la vitesse d’entraı̂nement de la périphérie
de la roue est V = 0.255 [Link]−1 .
La bonne reproductibilité des mesures de FT (t) pour différentes positions du contact
nous autorise, pour toute valeur de FT , à reconstruire à partir des différentes mesures les
profils de contrainte instantanés. Cette procédure est illustrée à partir de la Figure 2.3,
qui montre les évolutions des signaux Szz et Syz mesurés par le MEMS pour différentes

53
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

4
5 10 4
2,5 10
4 4
4 10 2 10

4 4
3 10 1,5 10

S (Pa)
S (Pa)

y=15.5mm 4
4 1 10
2 10 y=17.0mm

yz
zz

y=18.5mm
y=20.0mm 5000
1 10
4 y=15.5mm
y=21.5mm y=17.0mm
0
y=18.5mm
0 y=20.0mm
-5000 y=21.5mm

0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 1,2 0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 1,2
Distance parcourue (mm) Distance parcourue (mm)
(a) Szz (b) Syz

Fig. 2.3 – Evolutions de (a) Szz et (b) Syz (moyennée sur deux réalisations identiques)
en fonction de la distance parcourue par le substrat, pour cinq positions différentes du
contact y par rapport au MEMS. Pour la représentation, les traces ont été lissées par une
moyenne glissante de taille correspondant à un pas du moteur.

positions y du contact. A chaque instant (associé à une valeur de FT ) un profil spatial

peut être obtenu en traçant, en fonction de y, la valeur de la contrainte instantanée.
La Figure 2.4 représente les points de l’évolution de FT auxquels seront tracés les profils
de contraintes par la suite. Lors de la charge tangentielle les contraintes se réorganisent,
différemment pour chaque position y, avant d’atteindre des valeurs stationnaires. Outre
les situations correspondant à la charge normale (point 1) et au glissement stationnaire
(point 8), on considère 6 situations intermédiaires durant la charge tangentielle du contact
(points 2 à 7). Les profils correspondants sont représentés sur la Figure 2.5.
L’évolution des contraintes induites par la charge tangentielle est mise en évidence sur
la Figure 2.6, qui représente les mêmes profils que ceux présentés à la Figure 2.5 desquels
a été soustrait le profil sous charge purement normale (point 1).
Au départ, les contraintes sont nulles car il s’agit de la situation de référence. Dès
le point 2 apparaı̂t un champ de contrainte additionnel dont l’allure est analogue à celle
caractéristique d’un cisaillement en surface. L’allure du profil des variations reste quali-
tativement inchangée durant la charge : l’amplitude s’accroı̂t au fur et à mesure que le
cisaillement à l’interface augmente, puis se stabilise lorsque toute la zone de contact a
atteint le glissement. Cette seule analyse ne permet pas de mettre clairement en évidence
les détails de la transition charge-glissement.
La Figure 2.7 représente les profils de différence des contraintes entre deux points entre
lesquels le substrat a parcouru 20 µm, autour des 8 points choisis au cours de l’évolution.
Ces champs différentiels sont quasiment invariants pour les 4 premiers points. A partir
du point 5, à la fois l’allure et l’amplitude des champs différentiels varient fortement,

54
 2.1. Profils lors de la transition vers le glissement

1,4
(d=1.25mm) 8
1,2 7 (d=301µm)
6 (d=214µm)
1 5 (d=170µm)

F (N) 0,8 4 (d=127µm)

T

0,6 3 (d=83µm)

0,4
2 (d=39µm)
0,2

0 1 (d=0µm)
0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 1,2
Distance parcourue (mm)

Fig. 2.4 – Evolution de FT au cours du mouvement, en fonction de la distance d parcourue

par le substrat, et les 8 points pour lesquels on représentera les profils de contraintes.

tendant vers un champ nul. On constate d’autre part sur la Figure 2.4 que l’évolution de
FT s’écarte sensiblement de la linéarité à partir du point 4.
L’interprétation de cette évolution nécessiterait de pouvoir décrire l’évolution du champ
des contraintes transitoire. En milieu semi-infini le calcul de Cattaneo-Mindlin, décrit en
détail au Chapitre 4 offre une solution exacte. Il montre que, dans le cas de deux cy-
lindre de même rayon, le contact est constitué d’une zone circulaire non-glissante de
rayon c entourée d’un anneau glissant. Le rayon c diminue au cours de la charge et est fixé
 1/3
FT
par l’expression c = a 1 − µF N
où µ est le coefficient de frottement. Dans ce cadre
l’évolution des profils, associée à la non linéarité de FT , traduirait la mise en glissement
progressive des bords du contact associée à la redistribution du champ des contraintes.
Nous ne disposons pas d’un modèle équivalent pour un film d’épaisseur finie, qui
permettrait d’évaluer le champ des contraintes à la base du film. Dans la suite, nous
nous limitons au cas plus simple du glissement stationnaire (correspondant au point 8
de la Figure 2.5), pour lequel une solution a pu être calculée et qui autorise donc une
comparaison théorique. Ce régime est étudié dans la suite en géométrie sphère-plan puis
cylindre-plan, par une méthode de reconstruction qui permet d’obtenir un profil complet
en une seule expérience.

55
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

4
5 10
S
zz
4 S
4 10 yz

4
S , S (Pa) 3 10

4
yz

2 10
zz

4
1 10

0
Point 1 Point 2
4
-1 10
4
5 10

4
4 10

4
3 10
S , S (Pa)

4
yz

2 10
zz

4
1 10

0
Point 3 Point 4
4
-1 10
4
5 10

4
4 10

4
3 10
S , S (Pa)

4
yz

2 10
zz

4
1 10

0
Point 5 Point 6
4
-1 10
4
5 10

4
4 10

4
3 10
S , S (Pa)

4
yz

2 10
zz

4
1 10

0
Point 7 Point 8
4
-1 10
-6 -4 -2 0 2 4 6 -6 -4 -2 0 2 4 6
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 2.5 – Profils de contraintes Szz et Syz mesurés par le MEMS pour 8 valeurs successives
de la distance parcourue, lors de la charge tangentielle du contact. Avant la mise en
mouvement, Szz et Syz prennent des valeurs non nulles qui correspondent au champ de
contraintes exercées à la base du film sous charge purement normale.

56
 2.1. Profils lors de la transition vers le glissement

4
3 10
S
zz
4 S
2 10 yz

4
1 10
S , S (Pa)
yz

0
zz

4
-1 10

4
-2 10
Point 1 Point 2
4
-3 10
4
3 10

4
2 10

4
1 10
S , S (Pa)
yz

0
zz

4
-1 10

4
-2 10
Point 3 Point 4
4
-3 10
4
3 10

4
2 10

4
1 10
S , S (Pa)
yz

0
zz

4
-1 10

4
-2 10
Point 5 Point 6
4
-3 10
4
3 10

4
2 10

4
1 10
S , S (Pa)
yz

0
zz

4
-1 10

4
-2 10
Point 7 Point 8
4
-3 10
-6 -4 -2 0 2 4 6 -6 -4 -2 0 2 4 6
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 2.6 – Profils des variations de contraintes Szz et Syz par rapport au profil sous charge
purement normale.

57
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

3000 S
zz
S
yz
2000

1000
S , S (Pa)

0
yz
zz

-1000

-2000

-3000
Point 1 Point 2

3000

2000

1000
S , S (Pa)

0
yz
zz

-1000

-2000

-3000
Point 3 Point 4

3000

2000

1000
S , S (Pa)

0
yz
zz

-1000

-2000

-3000
Point 5 Point 6

3000

2000

1000
S , S (Pa)

0
yz
zz

-1000

-2000

-3000
Point 7 Point 8

-6 -4 -2 0 2 4 6 -6 -4 -2 0 2 4 6
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 2.7 – Profils des différentiels de contraintes Szz et Syz entre deux points espacés de
20 µm, pour les 8 points le long de l’évolution.

58
 2.2. Glissement stationnaire en contact sphère-plan

2.2 Glissement stationnaire en contact sphère-plan

2.2.1 Principe de la mesure
Un contact sphère-plan est établi sous charge normale FN comme décrit au Chapitre
1.2. La lentille est mise en mouvement via le moteur linéaire le long de l’axe y. Le réglage
du parallélisme entre l’axe du moteur et la surface du film permet d’assurer qu’au cours
du mouvement, la force normale FN reste constante à moins de 4% près, pour toutes les
expériences réalisées. La Figure 2.8 montre l’évolution de la force tangentielle FT au cours
du mouvement en fonction de la distance parcourue par le moteur, pour FN = 1.72 N et
V = 0.2 [Link]−1 . Après une phase de charge transitoire que nous ne discuterons pas

2,5
3

2 2,5
F (N)

2
1,5
T

1,5

1 1

0,5
0,5
0
0 0,2 0,4 0,6 0,8
0
0 5 10 15 20
Distance parcourue (mm)

Fig. 2.8 – Evolution de FT au cours du mouvement, en fonction de la distance parcourue

par le moteur, pour un contact sphère-plan, sous charge normale FN = 1.72 N constante
et vitesse V = 0.2 [Link]−1 constante.

pour l’instant (voir l’insert de la Figure 2.8), un régime de glissement est atteint. La force
tangentielle FT mesurée est quasiment constante dans ce régime : la déviation standard
relative représente moins de 4% de la valeur moyenne valant FT = 2.71 N 1 .
La Figure 2.9 montre, pour la même expérience, les signaux de sortie du MEMS Szz ,
Sxz et Syz en fonction du déplacement relatif des deux solides. Le glissement étant station-
naire, cette expérience où le contact se déplace selon une trajectoire rectiligne au dessus
du MEMS est équivalente à celle où, à un instant donné, on viendrait mesurer avec le
MEMS les contraintes en tout point le long d’une ligne. Les profils de la Figure 2.9 sont
1
Notons que les fluctuations de FT au cours du mouvement sont décorrélées des fluctuations de FN .
Cela signifie que ces fluctuations sont dues à de faibles inhomogénéités des conditions de frottement
à l’interface au cours du mouvement, et non pas à des défauts de parallélisme ou de planéité du film
élastique.

59
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

4
6 10
S
4 zz
5 10
4
4 10
S , S , S (Pa)

4
3 10
yz

S
yz
xz

4
2 10
zz

4
1 10
S
0 xz

4
-1 10
0 4 8 12 16
Distance parcourue (mm)

Fig. 2.9 – Evolution de Szz , Sxz et Syz au cours du mouvement, en fonction de la distance
parcourue par le moteur, pour un contact sphère-plan, sous charge normale FN = 1.72 N
constante et vitesse V = 0.2 [Link]−1 constante.

donc également les profils de contrainte stationnaires existant à tout instant sous le film
élastique, en régime de glissement. Il est dès lors possible de reconstruire ligne par ligne
le champ de contraintes complet sous le film élastique en réalisant une série d’expériences
de glissement stationnaire au dessus du MEMS suivant des trajectoires parallèles. Cette
reconstruction n’étant justifiée que si tous les profils correspondent aux mêmes conditions
mécaniques, nous devons faire l’hypothèse que les propriétés de frottement sont homogènes
sur toute la surface du film élastomère explorée.

La Figure 2.10 montre les champs de contraintes reconstitués à partir de 33 lignes

espacées de 500 µm, en régime de glissement stationnaire, pour FN = 1.72 N et V =
0.2 [Link]−1 , en géométrie sphère-plan.

Si on considère la valeur moyenne de FT sur chaque ligne, l’écart quadratique moyen

de cette quantité sur toutes les lignes explorées représente moins de 6% de sa moyenne.
La méthode de reconstitution des champs de contraintes en glissement stationnaire sur
tout le plan à partir d’un seul capteur est donc valide dans cette limite.

Qualitativement, l’origine des axes ayant été choisie à la verticale du centre du contact
avant mise en mouvement, on constate que les champs ont une amplitude maximale à
l’avant du contact (y > 0). Par rapport au contact sous charge normale, les champs Szz ,
Sxz et Syz en glissement stationnaire ont perdu leur symétrie par rapport à l’axe x, la
symétrie par rapport à l’axe y étant conservée. Par la suite, nous nous limiterons en
géométrie sphère-plan, à mesurer les profils de contraintes selon l’axe x = 0.

60
 2.2. Glissement stationnaire en contact sphère-plan

8
0 Pa -6000 Pa 26000 Pa
65000 Pa
6

4 -15000 Pa

2
x (mm)

-2

-4
80000 Pa
-6
5000 Pa
6000 Pa -24000 Pa
-8
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
y (mm) y (mm) y (mm)

(a) Szz (b) Sxz (c) Syz

Fig. 2.10 – Champ de contraintes sous le film tel que mesuré par le MEMS en glissement
stationnaire (FN = 1.72 N , V = 0.2 [Link]−1 ).

2.2.2 Résultats expérimentaux

Nous avons réalisé des expériences de glissement stationnaire pour les mêmes 8 valeurs
de FN qu’au Chapitre 1 et pour 4 valeurs de V : 0.1, 0.2, 0.4 et 1 [Link]−1 . Pour cha-
cune, nous avons mesuré les forces totales normale et tangentielle ainsi que les profils de
contraintes Szz , Sxz et Syz .

Mesures macroscopiques

1,5
d
µ

1
-1
V = 0.1 [Link]
-1
V = 0.2 [Link]
0,5 -1
V = 0.4 [Link]
-1
V = 1 [Link]
0
0 0,5 1 1,5 2 2,5
F (N)
N

Fig. 2.11 – Valeurs du coefficient de frottement dynamique µd calculé à partir des mesures
de forces macroscopiques FT et FN , en fonction de FN , pour toutes les vitesses imposées,
en géométrie sphère-plan.

61
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

La Figure 2.11 représente les valeurs mesurées du coefficient de frottement dynamique

µd = FT /FN en fonction de la charge normale FN exercée, pour les 4 vitesses d’entraı̂ne-
ment.
Nous constatons que µd augmente très faiblement avec la vitesse V . A l’inverse, pour
une même valeur de V , µd décroı̂t significativement avec FN . Pour un élastomère en
frottement, la dissipation énergétique peut avoir deux origines : (i) une dissipation volu-
mique visco-élastique associée aux variations temporelles de la déformation du matériau
(ii) une dissipation interfaciale dépendante de l’énergie d’adhésion des deux substrats.
L’absence d’hytérèse observable au cours d’un cycle de charge-décharge normale indique
que la contribution d’origine adhésive ne peut expliquer les dépendances observées. Dans
le cas d’un élastomère rugueux en frottement contre un substrat lisse, la fréquence carac-
téristique de modulation des contraintes est de l’ordre de V /a où a est le rayon de contact.
Pour nos expériences, cette grandeur se situe dans la gamme 0.03 − 0.3 Hz, un domaine
fréquentiel où le module de perte G′′ (f ) du PDMS varie en f 1/4 . Ce faible exposant est
compatible avec la faible dépendance de µd en vitesse observée.
Pour une vitesse donnée, la dépendance de µd en fonction de a traduit avant tout
sa dépendance en fonction de la charge normale FN . Celle-ci est difficile à prédire : la
dissipation est principalement confinée dans la couche rugueuse pour laquelle le nombre
d’aspérités sollicitées et l’amplitude de leur déformation individuelles dépendent de façon
complexe de la charge moyenne appliquée à l’ensemble du contact.

Mesures mésoscopiques

La Figure 2.12 montre les profils de contraintes mesurés à force normale donnée (FN =
1.72 N ) pour 4 vitesses d’entraı̂nement du moteur différentes, variant sur une décade de
0.1 à 1 [Link]−1 .
Pour V > 0.2 [Link]−1 , les contraintes mesurées apparaissent indépendantes de V .
En revanche, pour V < 0.2 [Link]−1 , les courbes sont sensiblement différentes : le profil
de pression est moins décalé vers les y > 0 et son intégrale est plus faible. De même,
le profil de contrainte de cisaillement présente une amplitude maximum et une intégrale
plus faible. Ces modifications des profils, en forme et en intégrale peuvent être comprises
à partir de la variation du coefficient de frottement. Pour la suite, nous ne montrerons
plus que les profils correspondant à la vitesse V = 1.0 [Link]−1 .
La Figure 2.13 montre les profils de contraintes mesurés pour V = 1.0 [Link]−1 , pour
toutes les 8 valeurs de FN . Qualitativement, on peut interpréter l’allure de ces résultats
en évaluant la différence entre les profils en glissement et ceux avant mise en mouvement
(voir Figure 2.14). Ces profils différentiels illustrent l’effet principal de la mise en charge du
contact, qui se traduit par une contrainte tangentielle sur l’ensemble du contact. L’équi-
libre mécanique du film nécessite l’existence d’un champ de pression antisymétrique à la
base du film, pour compenser le couple créé par la contrainte tangentielle en surface.

62
 2.3. Glissement stationnaire en contact cylindre-plan

-1 -1
4 V=0,[Link] V=0,[Link]
8 10 4
V=0,[Link]
-1 6 10 V=0,[Link]
-1

-1 -1
V=0,[Link] 4 V=0,[Link]
6 10
4
-1
5 10
-1
V=1,[Link] V=1,[Link]
4
4 10

S (Pa)
S (Pa)

4
4 10
4
3 10

yz
zz

4
2 10 2 10
4

4
1 10
0
0

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)
(a) Szz (b) Syz

Fig. 2.12 – Champ des contraintes mesurées (a) Szz et (b) Syz sous le film en glissement
stationnaire pour FN = 1.72 N et pour 4 vitesses d’entraı̂nement du moteur : 0.1, 0.2, 0.4
et 1 [Link]−1 . Pour la représentation, les traces ont été lissées par une moyenne flottante
sur une taille 2 µm. Pour les 3 plus grandes vitesses, les profils se placent quasiment sur
la même courbe. En revanche, pour V = 0.1 [Link]−1 (◦) les profils s’écartent de ce
comportement.

2.3 Glissement stationnaire en contact cylindre-plan

Afin de pouvoir comprendre quantitativement les résultats obtenus en glissement sta-
tionnaire, nous avons réalisé une série d’expériences analogues en géométrie cylindre-plan,
pour laquelle nous disposons de résultats semi-analytiques obtenus par Eytan Katzav et
Mokhtar Adda-Bedia2 et qui seront décrits au Chapitre 2.3.2.

2.3.1 Résultats expérimentaux

La géométrie utilisée a été précédemment décrite au Chapitre 1.4. Les expériences de
mise en glissement sont réalisées pour des vitesses comprises entre 0.2 et 2.0 [Link]−1 , et
pour des charges normales comprises entre 0.34 N et 2.75 N .

Résultats macroscopiques

Le coefficient de frottement dynamique µd = FT /FN est présenté pour l’ensemble

des expériences sur la Figure 2.15. Il montre une dépendance en vitesse et force normale
identique à celle obtenue en géométrie sphère-plan.
2
Laboratoire de Physique Statistique de l’Ecole Normale Supérieure.

63
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

5 S
1 10 zz
S
yz
4
8 10
4
6 10
S , S (Pa)
yz

4
4 10
zz

4
2 10

0
4 F = 0.34N F = 0.69N
-2 10 N N

5
1 10
4
8 10
4
6 10
S , S (Pa)
yz

4
4 10
zz

4
2 10

0
4 F = 1.03N F = 1.37N
-2 10 N N

5
1 10
4
8 10
4
6 10
S , S (Pa)
yz

4
4 10
zz

4
2 10

0
4 F = 1.72N F = 2.06N
-2 10 N N

5
1 10
4
8 10
4
6 10
S , S (Pa)
yz

4
4 10
zz

4
2 10

0
4 F = 2.40N F = 2.75N
-2 10 N N

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 2.13 – Champ des contraintes (a) Szz et (b) Syz sous le film élastique, en régime de
glissement stationnaire à vitesse V = 1.0 [Link]−1 , pour différentes valeurs de FN . Pour
la représentation, les traces ont été lissées par une moyenne flottante sur une taille 8 µm.

64
 2.3. Glissement stationnaire en contact cylindre-plan

4
8 10 6 10
4

4
6 10
4
4 10
4
4 10
4
2 10
4 2 10

S (Pa)
S (Pa)

yz
zz

0 0
4 stat stat
-2 10 S S
zz 4 yz
dyn -2 10 dyn
-4 10
4 S S
zz yz
dyn stat 4 dyn stat
4 S -S -4 10 S -S
-6 10 zz zz yz yz

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)
(a) Szz (b) Syz

Fig. 2.14 – Profils des contraintes mesurées (a) Szz et (b) Syz (pour un contact sphère-
plan sous charge normale FN = 1.72 N ) avant mouvement (•), en glissement stationnaire
à V = 1.0 [Link]−1 ( ), et la différence entre ces deux profils (trait plein).

1,5

1
d
µ

-1
V = 0.2 [Link]
-1
0,5 V = 0.4 [Link]
-1
V = 1 [Link]
-1
V = 2 [Link]

0
0 0,5 1 1,5 2 2,5
F (N)
N

Fig. 2.15 – Valeurs du coefficient de frottement dynamique µd calculé à partir des mesures
de forces macroscopiques FT et FN , en fonction de FN , pour toutes les vitesses imposées,
en géométrie cylindre-plan.

65
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

Profils de contrainte

4
5 10 V=0,[Link]
-1 4
V=0,[Link]
-1
4 10
-1 -1
4 V=0,[Link] V=0,[Link]
4 10 -1
-1
V=1,[Link] 4 V=1,[Link]
3 10 -1
4 -1
3 10 V=2,[Link] V=2,[Link]

S (Pa)
S (Pa)

4 4
2 10 2 10

yz
zz

4
1 10
4
1 10
0

4 0
-1 10

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)
(a) Szz (b) Syz

Fig. 2.16 – Champ des contraintes mesurées Szz et Syz sous le film en glissement station-
naire sous FN = 1.72 N , pour 4 vitesses de glissement : 0.2, 0.4, 1.0 et 2.0 [Link]−1 . Les
traces ont été lissées par une moyenne flottante sur une taille 8 µm. Pour les 3 premières
vitesses, les profils sont quasiment superposés. Pour V = 2.0 [Link]−1 (◦) les profils sont
légèrement différents.

La Figure 2.16 représente les profils de contraintes Syz et Syzz mesurés, pour FN =
1.72 N en géométrie cylindre-plan, pour 4 vitesses de glissement. Comme en géométrie
sphère-plan, les profils de contraintes sont identiques dans la gamme 0.2 − 1 [Link]−1 .
Pour V = 2.0 [Link]−1 , le profil de pression est moins décalé vers les y > 0, et le profil
de cisaillement a une intégrale plus faible, et un épaulement plus marqué à l’arrière du
contact.
Sur la Figure 2.17 sont représentés les profils de contraintes mesurés pour V =
1.0 [Link]−1 , pour toutes les valeurs de FN explorées.
Nous avons pu estimer à partir de ces profils un coefficient de frottement dynamique
effectif sous la forme :
R∞
Syz dy
µef
d
f
= R−∞
∞ (2.1)
S dy
−∞ zz

Les valeurs de µef f

d , représentées sur la Figure 2.18, sont systématiquement supérieures
à celles de µd . Cette différence traduit l’hétérogénéité des contraintes le long de l’axe x.
Nous considérerons néanmoins, comme au Chapitre 1, que les contraintes varient peu sur
la zone de sensibilité du capteur, afin d’autoriser l’hypothèse d’invariance par translation
pour le calcul des champs de contraintes.

66
 2.3. Glissement stationnaire en contact cylindre-plan

4
7 10 S
zz
4
6 10 S
yz
4
5 10
4
S , S (Pa)
4 10
4
yz

3 10
4
zz

2 10
4
1 10
0
-1 10
4 F = 0.34N F = 0.69N
N N

4
7 10
4
6 10
4
5 10
4
S , S (Pa)

4 10
4
yz

3 10
4
zz

2 10
4
1 10
0
-1 10
4 F = 1.03N F = 1.37N
N N

4
7 10
4
6 10
4
5 10
4
S , S (Pa)

4 10
4
yz

3 10
4
zz

2 10
4
1 10
0
-1 10
4 F = 1.72N F = 2.06N
N N

4
7 10
4
6 10
4
5 10
4
S , S (Pa)

4 10
4
yz

3 10
4
zz

2 10
4
1 10
0
-1 10
4 F = 2.40N F = 2.75N
N N

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 2.17 – Champs de contraintes (a) Szz et (b) Syz sous le film élastique, en régime de
glissement stationnaire à vitesse V = 1.0 [Link]−1 , pour différentes valeurs de FN , en
géométrie cylindre-plan. Les traces ont été lissées par une moyenne flottante sur une taille
8 µm.

67
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

2,5

eff
1,5
d
µ
-1
1 V = 0.2 [Link]
-1
V = 0.4 [Link]
-1
0,5 V = 1 [Link]
-1
V = 2 [Link]
0
0 0,5 1 1,5 2 2,5
F (N)
N

Fig. 2.18 – Valeurs du coefficient de frottement dynamique µef d

f
calculé à partir des
intégrales des profils mesurés, en fonction de FN , pour toutes les vitesses imposées, en
géométrie cylindre-plan.

2.3.2 Modèle semi-analytique bidimensionnel quasi-statique

Ce modèle a été développé au LPS par Eytan Katzav et Mokhtar Adda-Bedia (modèle
KA) pour interpréter nos mesures. Il s’agit d’un modèle semi-analytique, dont le détail
des calculs est présenté en Annexe B. La géométrie est celle de notre expérience : un
cylindre rigide de rayon R en glissement stationnaire sur un film d’élastomère d’épaisseur
h, de module de Young E, solidaire du fond rigide sur lequel il repose. Les hypothèses
physiques sont les suivantes :
– le film élastique est purement élastique et incompressible (coefficient de Poisson
ν = 0.5),
– le régime de glissement est quasi-statique,
– la loi de frottement est de type Coulomb, avec une proportionnalité en tout point
entre la contrainte de cisaillement σ et la contraintes de pression p.
Les valeurs de h, E et R sont fixées aux valeurs expérimentales. Pour toutes valeurs du
coefficient de frottement et de la force normale linéique, le modèle permet d’obtenir le
champ de contraintes associé dans tout le volume du film élastique, le rayon de contact a
et le décalage x0 du centre du contact par rapport à l’axe de symétrie du cylindre (voir
Annexe B).
La Figure 2.19 illustre, pour une valeur donnée de la force normale linéique, les mo-
difications des profils de contrainte sous le film lorsque le coefficient de frottement varie.

La Figure 2.20 illustre, pour une valeur donnée du coefficient de frottement, les mo-
difications des profils de contrainte sous le film lorsque la force normale linéique varie.

68
 2.3. Glissement stationnaire en contact cylindre-plan

4
8 10 f=0 7 10
4 f=0
f=3.0 4 f=3.0
4 6 10
6 10 4
f croissant 5 10
f croissant
4 4
4 10 4 10

(Pa)
(Pa)

4
3 10

KA
KA

4
2 10

yz
zz

4
2 10
σ

σ
4
0 1 10
0
4
-2 10 4
-1 10

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)
KA KA
(a) σzz (b) σyz

KA KA
Fig. 2.19 – Champ de contraintes (a) σzz et (b) σyz calculés dans le cadre du modèle
KA. Les profils correspondent à une même valeur de la charge normale linéique (CL =
200 P a.m), pour différentes valeurs de f allant de 0 (◦) à 3 ( ), par pas de 0.3. E =
2.2 M P a, R = 130 mm, h = 2 mm.

CL=20 Pa.m CL=20 Pa.m

5
1 10 CL=380 Pa.m
8 10
4 CL=380 Pa.m
4 CL croissante
8 10
4 6 10
4 CL croissante
6 10
(Pa)
(Pa)

4
KA
KA

4 10 4
yz
zz

4 10
σ

4
2 10
4
0 2 10

4
-2 10
0
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)
KA KA
(a) σzz (b) σyz

KA KA
Fig. 2.20 – Champ de contraintes (a) σzz et (ab)σyz calculés dans le cadre du modèle
KA. Les profils correspondent à une même valeur f = 2.0 du coefficient de frottement,
pour différentes valeurs de la charge normale linéique CL allant de 20 P a.m (◦) à 380 P a.m
( ), par pas de 40 P a.m. E = 2.2 M P a, R = 130 mm, h = 2 mm.

69
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

2.3.3 Comparaison quantitative

Chaque réalisation expérimentale permet d’extraire une charge linéique par intégra-
tion du profil de pression et un coefficient de frottement effectif défini par l’équation 2.1.
Ces deux paramètres déterminent une solution unique pour le modèle KA. Les profils
de contrainte calculés à la base du film sont ensuite convolués par les fonctions d’appa-
reil déterminées au Chapitre précédent (en cylindre-plan pour la fonction d’appareil en
cisaillement F Ayz ).
Les Figures 2.21 et 2.22 montrent les résultats ainsi obtenus, comparés aux résultats
des mesures pour une vitesse V = 1 [Link]−1 .
L’accord quantitatif est bon pour les deux composantes, sans aucun paramètre ajus-
table, pour l’ensemble des forces normales appliquées. Certaines différences existent toute-
fois : le minimum local de la contrainte tangentielle au centre du contact est en particulier
moins marqué expérimentalement. Elles paraissent cependant minimes au regard de la
simplicité des hypothèses utilisées dans le modèle. Si l’hypothèse de quasi-staticité semble
réaliste dans cette gamme de vitesse, les conditions aux limites sont a priori trop naı̈ves.
D’une part, l’existence d’une rugosité de taille finie peut perturber sensiblement le champ
de pression notamment aux plus faibles forces normales (voir Chapitre 4). Plus encore,
l’observation d’une dépendence importante du coefficient de frottement mesuré macro-
scopiquement avec la charge appliquée rend sujette à caution la validité d’une loi de
Coulomb applicable localement. Le modèle KA ne permet cependant pas de tester l’effet
d’un coefficient de frottement hétérogène au sein du contact.

70
 2.3. Glissement stationnaire en contact cylindre-plan

4 S
2 10 zz

σ
KAFA
4 zz
1,5 10

(Pa) 1 10
4
KAFA
zz

5000
S ,σ
zz

-5000 F = 0.34N F = 0.69N

N N

4
4 10

4
3 10
(Pa)

4
2 10
KAFA
zz

4
1 10
S ,σ
zz

-1 10
4 F = 1.03N F = 1.37N
N N

4
6 10
4
5 10
4
4 10
(Pa)

4
3 10
KAFA

4
2 10
zz
S ,σ

4
zz

1 10

-1 10
4 F = 1.72N F = 2.06N
N N

4
7 10
4
6 10
4
5 10
(Pa)

4
4 10
KAFA

4
3 10
zz

4
S ,σ

2 10
zz

4
1 10
0
-1 10
4 F = 2.40N F = 2.75N
N N

-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 2.21 – Champs de contraintes Szz (trait plein) mesurés pour V = 1 [Link]−1 com-
KAF A
paré aux champs σzz calculés à partir du modèle KA puis convolués par la fonction
d’appareil F Azz (pointillés), pour toutes les valeurs de FN explorées, en géométrie cylindre-
plan. Les traces expérimentales ont été lissées par une moyenne flottante sur une taille
8 µm.

71
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

4
1,8 10
S
yz
4
σ
KAFA
1,5 10
yz

(Pa)
1,2 10
KAFA
yz 9000
S ,σ
yz

6000

3000
F = 0.34N F = 0.69N
N
0 N

4
3,5 10
4
3 10
4
2,5 10
(Pa)

4
KAFA

2 10
yz

4
1,5 10
S ,σ
yz

4
1 10

5000
F = 1.03N F = 1.37N
N N
0
4
5 10

4
4 10
(Pa)

4
3 10
KAFA
yz

4
S ,σ

2 10
yz

4
1 10
F = 1.72N F = 2.06N
N N
0

4
6 10

4
5 10
(Pa)

4
4 10
KAFA

4
3 10
yz
S ,σ
yz

4
2 10

4
1 10
F = 2.40N F = 2.75N
N N
0
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8
Position latérale (mm) Position latérale (mm)

Fig. 2.22 – Champs de contraintes Syz (trait plein) mesurés pour V = 1 [Link]−1 com-
KAF A
paré aux champs σyz calculés à partir du modèle KA puis convolués par la fonc-
tion d’appareil F Ayz (pointillés), pour toutes les valeurs de FN explorées, en géométrie
cylindre-plan. Les traces expérimentales ont été lissées par une moyenne flottante sur une
taille 8 µm.

72
 2.4. Régime de stick-slip

2.4 Régime de stick-slip

Nous illustrons dans ce paragraphe la possibilité de mesurer des variations non sta-
tionnaires mais périodiques des champs de contraintes par une méthode similaire à celle
présentée dans ce chapitre. Lorsque l’on réalise des expériences de frottement avec un sub-
strat de verre non silanisé, pour certaines conditions de charge normale et de vitesse, la
dynamique présente une instabilité de ”stick-slip”. La force tangentielle présente une alter-
nance de phases de charge durant laquelle le contact est collé, et de phases de relaxation
rapide associées au glissement relatif des deux objets (voir Figure 2.23).
2,5

1,5 2,2
F (N)
T

2
1

1,8

0,5
1,6
10 10,02 10,04 10,06 10,08 10,1

0
0 5 10 15 20
Distance parcourue (mm)

Fig. 2.23 – Evolution de FT au cours du mouvement, en fonction de la distance parcourue

par le moteur, pour un contact cylindre-plan, le substrat n’étant pas silanisé, sous charge
normale FN = 1.72 N constante et vitesse d’entraı̂nement V = 0.1 [Link]−1 constante.
L’insert montre le détail de deux événements de glissement successifs. Les cercles cor-
respondent aux situations juste avant glissement, les carrés aux situations juste après
glissement. Pour la représentation, les traces sont lissées par une moyenne glissante de
largeur 0.8 µm.

En identifiant au sein de cette séquence les instants précédant immédiatement le glisse-

ment il est possible de reconstituer le champ de contraintes qui caractérise l’état du contact
juste avant l’instabilité. Cette reconstruction utilise la même correspondance temps-espace
que celle décrite au début de ce chapitre. De façon similaire, il est possible de reconstruire
les profils des contraintes pour un contact qui vient de se recoller. La Figure 2.24 montre
la différence entre des profils de contraintes associés à ces deux états particuliers.
Cette analyse suppose la régularité à la fois des temps de charge et de l’amplitude
des relaxations de force tangentielle. Cette condition n’est que partiellement satisfaite en
raison des inhomogénéités de l’interface : l’amplitude des variations de FT est stable à
±22% près, et la période du stick-slip est stable à ±14% près. Afin de prendre en compte

73
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

8000 0

6000
-1000
4000
-2000
2000

S (Pa)
S (Pa)

0 -3000

yz
zz

-2000
-4000
-4000
-5000
-6000
-8000 -6000

2 4 6 8 10 12 14 16 18 2 4 6 8 10 12 14 16 18
Position latérale (mm) (origine arbitraire) Position latérale (mm) (origine arbitraire)
(a) Szz (b) Syz

Fig. 2.24 – Profils de variations des contraintes (a) Szz et (b) Syz mesurées au cours
d’un événement de glissement, en régime de stick-slip, en géométrie cylindre-plan, pour
un substrat non silanisé, sous charge normale FN = 1.72 N constante et vitesse d’entraı̂-
nement V = 0.1 [Link]−1 constante. Pour la représentation, les traces sont lissées par
une moyenne glissante correspondant à 3 événements de glissement successifs.

8000 0

6000
-1000
4000
-2000
2000
S (Pa)
S (Pa)

0 -3000
yz
zz

-2000
-4000
-4000
-5000
-6000
-8000 -6000

2 4 6 8 10 12 14 16 18 2 4 6 8 10 12 14 16 18
Position latérale (mm) (origine arbitraire) Position latérale (mm) (origine arbitraire)
(a) Szz (b) Syz

Fig. 2.25 – Profils de variations des contraintes Szz et Syz (pointillés), et profils normalisés
par l’énergie dissipée à chaque événement de glissement (trait plein), pour la même expé-
rience qu’à la Figure 2.24. Pour la représentation, les traces sont lissées par une moyenne
glissante correspondant à 3 événements de glissement successifs.

74
 2.5. Conclusion

ces variations, chaque point des profils de la Figure 2.24 a été pondéré par l’amplitude de
la relaxation de FT . Cette normalisation a pour effet de rendre plus symétrique les profils
différentiels (voir Figure 2.25).
Notons que l’ensemble des états intermédiaires de contraintes associés à chaque valeur
de la ”phase” au cours du cycle de ”stick-slip”, peut être reconstitué de façon similaire.

2.5 Conclusion
Dans ce chapitre, nous avons pu étendre la méthode de mesure des contraintes présenté
au Chapitre 1 au régime de glissement stationnaire. Les profils ne sont plus obtenus point
par point, mais à partir de l’équivalence entre le temps écoulé et la distance parcourue à
vitesse constante. Nous avons pour cela dû faire l’hypothèse d’homogénéité des propriétés
de surface du film élastomère le long de la trajectoire. Les profils obtenus peuvent être
qualitativement décrits comme la superposition des profils associés à une charge pure-
ment normale et ceux correspondant à un cisaillement pur à l’interface (voir Figure 2.14).
Quantitativement, nous avons pu confronter les résultats en géométrie cylindre-plan à
ceux d’un modèle semi-analytique simple. Le bon accord observé montre qu’en première
approche l’hypothèse d’une loi de Coulomb locale est valide. Ce résultat peut apparaı̂tre
surprenant notamment compte tenu des fortes dépendances observées du coefficient de
frottement dynamique avec la charge normale exercée.
Nous avons montré qu’en régime de stick-slip quasi-périodique, il est possible d’ob-
tenir l’évolution du champ de contraintes au cours d’un cycle. Néanmoins, ce dispositif
utilisant un unique capteur ne permet pas de manière générique des mesures de champ
en régime non-stationnaire. Cette possibilité sera offerte avec l’utilisation des matrices de
microcapteurs.

75
Chapitre 2. Profil des contraintes sous charge tangentielle

76
Chapitre 3

Analyse fréquentielle des contraintes

lors du frottement d’un substrat de
rugosité périodique

Introduction
Les mesures des Chapitres 1 et 2 ont permis une analyse de la répartition spatiale
des contraintes sous un contact, dans des situations invariantes dans le temps. En régime
statique, il suffit de prendre des mesures point par point. En régime de glissement sta-
tionnaire, l’équivalence temps-espace permet de connaı̂tre le champ à partir d’une seule
mesure temporelle. Nous nous intéressons à des régimes de frottement pour lesquels le
champ de contraintes varie dans le temps. Nous analysons, pour un point donné dans la
zone de contact, les évolutions des contraintes locales au cours du temps.
Dans ce chapitre, nous abordons le cas du frottement d’un substrat de rugosité pé-
riodique sous charge normale constante et à vitesse constante. Pour des échelles spatiales
de rugosité de l’ordre de la dizaine de microns (taille très inférieure à celle du contact),
un régime quasi-stationnaire est atteint macroscopiquement, c’est-à-dire une force tan-
gentielle totale pratiquement constante. A l’échelle de la zone de sensibilité du MEMS,
les contraintes sont en revanche fortement variables car le contact réel est constamment
modifié lors du passage de la rugosité. Nous cherchons à établir le lien entre la structure
spatiale de la rugosité et l’évolution temporelle des contraintes.

3.1 Dispositif expérimental

3.1.1 Réalisation d’une calotte sphérique d’élastomère rugueuse
Le dispositif expérimental utilisé est identique à celui décrit dans le Chapitre 2 mais
la géométrie du contact utilisée est cette fois celle d’un contact sphère molle-plan rigide.
Le film de PDMS a la forme d’une calotte sphérique, tandis que le substrat est une lame
de verre plane sur laquelle on dépose une couche de résine photolithographique lisse ou
texturée en rugosité.

77
Chapitre 3. Analyse fréquentielle des contraintes lors du frottement d’un
substrat de rugosité périodique
La calotte sphérique est obtenue par moulage et réticulation du PDMS dans une lentille
plano-concave en verre dont la surface concave a été abrasée avec la même technique que
celle décrite précédemment. Une fois démoulée, la calotte est rendue solidaire du support
métallique du MEMS par réticulation d’un film très fin de PDMS intercalé. Au final, le
MEMS se situe sous un film sphérique rugueux en surface, de 2 mm d’épaisseur maximale,
au voisinage de la verticale de ce maximum1 .

3.1.2 Réalisation des substrats de rugosité périodique par mi-

crophotolithographie
Les substrats sont constitués de lames de verre de microscope (Menzel-Gläser, 0179D,
76 mm × 26 mm × 1 mm), dont la surface est texturée par microphotolithographie. La
procédure adoptée pour créer une couche de résine texturée d’épaisseur 1.5 µm (respecti-
vement 25 µm), réalisée sous hotte à flux laminaire, est la suivante :
1. Nettoyage de la lame au plasma à oxygène pendant 2 min. La lame propre est laissée
sur une plaque chauffante à 95o C jusqu’à l’étape suivante, pour éviter la formation
d’un film d’eau à sa surface.
2. Dépôt de résine SU8-2002 MicroChem (resp. SU8-2035 MicroChem) puis passage à
la tournette à 3000 tr/min pendant 40 sec.
3. 1 min (resp. 6 min) sur la plaque chauffante à 95o C (opération dite de ”soft bake”).
4. Réticulation de la résine par exposition à un rayonnement UV pendant 6 min (resp.
12 min) à travers un masque obtenu par impression du motif désiré sur un film
transparent (fabriqué par Laser Technologie). La dose totale d’UV reçue par les
parties non masquées est de l’ordre de 120 mJ/cm2 (resp. 240 mJ/cm2 ). Les zones
qui n’ont pas été exposées ne réticulent pas.
5. 2 min (resp. 6 min) sur la plaque chauffante à 95o C (opération dite de ”post exposure
bake”).
Pour les substrats épais (25 µm) une seule couche a été obtenue. Pour les substrats
fins (1.5 µm) une première couche homogène a été préalablement déposée sur la lame,
en l’exposant aux U.V. en l’absence de masque. Le développement des substrats se fait
ensuite de la façon suivante :
6. Trempage pendant 1 min (resp. 5 min) dans la solution de développement. La résine
non réticulée part en solution.
7. Rinçage abondant à l’isopropanol.
8. Séchage sous flux d’air sec.
9. Cuisson pendant 15 min (resp. 30 min) sur la plaque chauffante à 200o C (opération
dite de ”hard bake”).
1
En pratique, le MEMS se situe à environ 2 mm de la verticale du sommet de la calotte sphérique,
du côté de l’avant du contact. Cela permet, en régime dynamique, de ne pas se trouver au niveau d’un
minimum du champ des contraintes.

78
 3.1. Dispositif expérimental

Nous avons ainsi réalisé une série de substrats de rugosité périodique : il s’agit de
bandes rectangulaires parallèles d’épaisseur h, de largeur d, et de période spatiale Λ. Pour
la suite, nous présenterons les résultats obtenus pour 4 substrats : 2 profonds (h ∼ 25 µm)
et 2 fins (h ∼ 1.5 µm). Les valeurs moyennes des trois échelles spatiales qui caractérisent
chacun des 4 substrats sont rassemblées dans le Tableau 3.1.

Substrat 1 Substrat 2 Substrat 3 Substrat 4

h (µm) 24.3 23.5 1.6 1.5
Λ (µm) 100 150 100 340
d (µm) 60 72 59 163

Tab. 3.1 – Caractéristiques des 4 substrats de rugosité périodique considérés.

La Figure 3.1 montre la topographie de surface du substrat 2 profond, ainsi qu’une

coupe transverse selon une ligne orthogonale au motif périodique.

20
h=23.5 µm
Cote verticale (µm)

15

10

λ=150 µm
5
d=72 µm
0
0 50 100 150 200 250 300 350
Position latérale (µm)
(a) Topographie de la surface (b) Profil selon une ligne

Fig. 3.1 – (a) Topographie de la surface du substrat 2, obtenue par profilométrie inter-
férentielle, d’une zone de taille 356.1 × 268.7µm2 . Les zones blanches correspondent aux
surépaisseurs de résine, les zones noires au support en verre mis à nu. (b) Profil de hauteur
selon une coupe horizontale.

La surface d’altitude nulle correspond à la lame de verre qui a été mise à nu au

cours du développement sur toute l’épaisseur de la couche de résine, ce qui explique sa
très faible rugosité. L’aspect bombé du sommet des bandes est vraisemblablement lié à
l’attaque isotrope du développeur. Le pic apparent sur le bord gauche de la bande de
gauche visible sur la coupe transverse est un artefact de mesure, associé à la difficulté
de mesurer l’altitude lorsque le gradient de hauteur est important à l’échelle de quelques
pixels.

79
Chapitre 3. Analyse fréquentielle des contraintes lors du frottement d’un
substrat de rugosité périodique

La Figure 3.2 montre la topographie de surface du substrat 3, et une coupe transverse

selon une ligne orthogonale au motif périodique. La surface d’altitude nulle est cette fois

1,6

h=1.56 µm
1,2

Cote verticale (µm)

0,8
λ=100 µm

0,4
d=59 µm

0
0 50 100 150 200 250 300 350
Position latérale (µm)
(a) Topographie de la surface (b) Profil selon une ligne

Fig. 3.2 – (a) Topographie de la surface du substrat 3, obtenue par profilométrie inter-
férentielle, d’une zone de taille 356.1 × 268.7 µm2 . Les zones blanches correspondent aux
surépaisseurs de résine, les zones noires au premier film de résine déposé et mis à nu. (b)
Profil de hauteur selon une coupe horizontale.

aussi rugueuse que le sommet des bandes, car dans les deux cas il s’agit de résine réticulée
ayant trempé dans le développeur. Les pics négatifs ou positifs au voisinage des forts
gradients de hauteur sont des artefacts de mesure. Les bandes ont une largeur supérieure
à la moitié de la période spatiale Λ pour deux raisons : le masque est lui-même légèrement
asymétrique (lignes noires de largeur 55 µm pour une période de 100 µm ; le faisceau
UV n’étant pas parfaitement parallèle, le voisinage immédiat des zones transparentes est
également éclairé, ce qui élargit la taille des motifs réticulés de quelques microns.
Le film de PDMS et les substrats texturés ont été silanisés selon la procédure décrite
au Chapitre 1.1, dans le but de rendre plus homogènes les propriétés adhésives des surfaces
en contact.

3.2 Expériences réalisées

3.2.1 Observation de la zone de contact
La résine SU8-2002 se présente comme un matériau transparent à la lumière visible,
ce qui permet l’observation du contact. L’ensemble de la zone de contact ne peut être
analysée en raison des fortes réflexions sur la surface du MEMS. En revanche, nous avons
pu obtenir des images agrandies du bord du contact.

80
 3.2. Expériences réalisées

(a) FN = 0.34 N (b) FN = 0.69 N (c) FN = 1.03 N (d) FN = 1.37 N

(e) FN = 1.72 N (f) FN = 2.06 N (g) FN = 2.40 N (h) FN = 2.75 N

Fig. 3.3 – Différence entre les images en contact et hors contact, pour le substrat 2, sous
charge normale, pour toutes les valeurs de FN utilisées. Les zones blanches sont les zones
de contact réel, les zones noires sont les zones hors contact.

La Figure 3.3 montre les images de la zone de contact entre le film élastique sphérique
et le substrat 2 (h ∼ 25 µm, Λ = 150 µm), sous charge normale, avant mise en mouvement
relatif du substrat et de l’élastomère, pour 8 valeurs de FN . On constate que pour toutes
les valeurs de FN , l’élastomère ne touche le substrat qu’au sommet des bandes en relief,
car les sillons sont trop profonds. C’est également le cas pour le substrat 1, car les bandes
sont encore plus rapprochées. Ceci reste vrai lors de la mise en mouvement relatif de
l’élastomère et du substrat.
La Figure 3.4 montre les images de la zone de contact entre le film élastique sphérique
et le substrat 3 (h ∼ 1.5 µm, Λ = 100 µm), sous charge purement normale pour les
mêmes valeurs de FN . Dans ce cas, les sillons sont suffisamment peu profonds pour que
l’élastomère vienne toucher le fond, même à la plus faible valeur de FN . C’est également le
cas pour le substrat 4. Ceci reste vrai lors de la mise en mouvement relatif de l’élastomère
et du substrat.

3.2.2 Mesures mécaniques macroscopiques

Nous avons réalisé une série d’expériences de frottement entre le film élastomère et
les 4 substrats, à vitesse V = 0.4 [Link]−1 constante, et sous charge normale constante
pour 8 valeurs de FN . Nous avons enregistré au cours du temps la force tangentielle totale
FT (t) et les contraintes Szz (t) et Syz (t) mesurées par le MEMS. Chaque expérience a été
renouvelée 5 fois pour des conditions expérimentales identiques.
La Figure 3.5 montre une évolution typique de FT au cours d’une telle expérience, en
fonction de la distance V t parcourue par le moteur.
Après une période de charge initiale, la force totale FT atteint une valeur quasi-
stationnaire. Dans ce régime, des fluctuations périodiques de faible amplitude de FT sont

81
Chapitre 3. Analyse fréquentielle des contraintes lors du frottement d’un
substrat de rugosité périodique

(a) FN = 0.34 N (b) FN = 0.69 N (c) FN = 1.03 N (d) FN = 1.37 N

(e) FN = 1.72 N (f) FN = 2.06 N (g) FN = 2.40 N (h) FN = 2.75 N

Fig. 3.4 – Différence entre les images en contact et hors contact, pour le substrat 3, sous
charge normale, pour toutes les valeurs de FN utilisées. Les zones blanches sont les zones
de contact réel, les zones noires sont les zones hors contact.

3,5

2,5 3,74
F (N)

2 3,73
T

1,5 3,72

1 3,71

0,5
3,7
9,2 9,4 9,6 9,8 10
0
2 4 6 8 10 12 14 16 18
Distance parcourue (mm)

Fig. 3.5 – Evolution de FT au cours du mouvement, en fonction de la distance V t par-

courue par le moteur, pour FN = 1.92 N et V = 0.4 [Link]−1 . L’insert montre que FT
présente des fluctuations périodiques. Pour la représentation, les traces sont lissées par
une moyenne glissante de largeur 1.6 µm.

détectables. L’écart relatif entre deux courbes FT (V t) réalisées dans les mêmes conditions
expérimentales est inférieure à 1%.

82
 3.3. Analyse spectrale des contraintes globales et locales

La Figure 3.6 représente les coefficients de frottement moyen µd = F¯T /FN , où F¯T est
la valeur moyenne de FT au cours du frottement, mesurés pour toutes les conditions ex-
périmentales. Comme au Chapitre 2, nous constatons pour l’ensemble des substrats, une
décroissance de µd avec la charge normale FN . Ce coefficient de frottement est significa-
tivement plus élevé pour les substrat dont la rugosité est d’amplitude faible.

5
Substrat 1
Substrat 2
Substrat 3
4
Substrat 4

3
d
µ

0
0 0,5 1 1,5 2 2,5
Fn (N)

Fig. 3.6 – Coefficient de frottement dynamique µd = F¯T /FN , pour les 4 substrats, pour
toutes les valeurs de FN .

3.3 Analyse spectrale des contraintes globales et lo-

cales
L’analyse spectrale des signaux permet de révéler la présence d’une rugosité pério-
dique. Pour chaque réalisation, nous considérons la moyenne des spectres calculés par
FFT des signaux enregistrés. La Figure 3.7 montre le spectre moyen de FT (V t) en ré-
gime stationnaire sous charge normale FN = 0.69 N pour le substrat 1. Ce spectre a été
réalisé avec un fenêtrage de type FlatTop, qui assure la meilleure mesure de l’amplitude
des composantes spectrales [53]. Il présente un pic marqué au voisinage de la fréquence
spatiale correspondant à la longueur d’onde Λ = 100 µm de la rugosité du substrat 1. La
contribution à basse fréquence traduit la forme de l’enveloppe du signal FT (V t). Le bruit
de fond est associé au bruit numérique de l’acquisition sur l’oscilloscope2 , et possède une
amplitude égale à celle mesurée pour un substrat couvert de résine lisse. Ces observations
sont valables pour toutes les expériences réalisées.

2
La valeur moyenne et l’écart quadratique moyen de ce bruit varient linéairement avec la valeur du
calibre utilisé. Notons que la bande passante globale du MEMS et de l’amplificateur étant de l’ordre de
100 kHz, celle des capteurs de position de l’ordre de 10 kHz, les mesures sont résolues temporellement à
la fréquence d’acquisition, qui est de 500 Hz.

83
Chapitre 3. Analyse fréquentielle des contraintes lors du frottement d’un
substrat de rugosité périodique

0,002

0,0015

Amplitude (N)
0,001

0,0005

0
0 20 40 60 80 100
-1
Fréquence spatiale (mm )

Fig. 3.7 – Module du spectre moyen de FT (V t) au cours de 5 expériences de frottement

contre le substrat 1, sous FN = 0.69 N et pour V = 0.4 [Link]−1 . Le fenêtrage a été
choisi de type FlatTop.

70 0,35
80
0,3
70 60 0,3
Spectre de la rugosité (u.a.)

Spectre de la rugosité (u.a.)

0,25
60 50 0,25
Spectre de S (Pa)

Spectre de S (Pa)

50 0,2
zz

zz

40 0,2
40
0,15 30 0,15
30
0,1 20 0,1
20
0,05 10 0,05
10

0 0 0 0
0 10 20 30 40 50 60 70 0 10 20 30 40 50 60 70
-1 -1
Fréquence spatiale (mm ) Fréquence spatiale (mm )
(a) Substrat 1 (b) Substrat 2

Fig. 3.8 – Superposition du spectre moyen de Szz (V t) et du spectre spatial de la rugosité

du substrat correspondant, sous charge normale FN = 0.69 N , à vitesse V = 0.4 [Link]−1 .
(a) Substrat 1 (b) Substrat 2. Le fenêtrage est de type FlatTop.

Nous nous intéressons à présent aux spectres des signaux mesurés à l’aide du capteur
MEMS. Ces derniers exhibent, outre le pic fondamental à la fréquence spatiale de la ru-
gosité, un certain nombre de ses harmoniques. Leurs amplitudes présentent une évolution
avec l’indice de l’harmonique qui est qualitativement identique à celle du spectre spatial
de la rugosité du substrat (voir la Figure 3.8 sur l’exemple du signal de pression). Ce

84
 3.3. Analyse spectrale des contraintes globales et locales

dernier spectre est calculé analytiquement en assimilant la rugosité à un signal créneau

de période Λ et de rapport d/Λ.
Ces mesures montrent que l’analyse spectrale des signaux de contrainte locale permet
de discriminer de façon fine différents substrats de rugosité périodique distincte. En par-
ticulier, une faible différence du rapport d/Λ entre les substrats 1 et 2 se traduit par des
amplitudes des harmoniques sensiblement différentes. De façon plus quantitative, nous
cherchons à présent à caractériser l’amplitude des différents harmoniques en fonction de
leur fréquence et de la charge moyenne appliquée. Il s’agira à terme de proposer une fonc-
tion permettant de prédire le spectre temporel mesuré en fonction des caractéristiques de
la rugosité spatiale et des conditions macroscopiques du frottement.

4 4
8 10 7 10
5
4
7 10 6 10
4

4 6 10
4
4
5 10
Amplitude (Pa)

Amplitude (Pa)
Amplitude (N)

4
5 10 4
3 4 10
4
4 10
4
4 3 10
2 3 10
4
4 2 10
2 10
1 4
4 1 10
1 10

0 0 0
0 0,5 1 1,5 2 2,5 0 0,5 1 1,5 2 2,5 0 0,5 1 1,5 2 2,5
F (N) F (N) F (N)
N N N

(a) FT (b) Szz (c) Syz

Fig. 3.9 – Amplitude du spectre à fréquence nulle en fonction de FN , pour (a) FT , (b)
Szz et (c) Syz , pour le substrat 1, pour des expériences à V = 0.4 [Link]−1 .

La Figure 3.9 montre, pour le substrat 1, la dépendance de la force tangentielle totale

ainsi que de la valeur moyenne des signaux Szz et Syz avec la charge FN . L’allure de
ces évolutions est identique pour les 4 substrats. La croissance non-linéaire de FT avec
FN traduit la dépendance du coefficient de frottement représentée à la Figure 3.6. La
dépendance de la valeur moyenne des composantes Szz et Syz est non triviale. En effet,
toute modification de FN modifie à la fois la largeur du contact et la valeur du coefficient
de frottement, et conduit à une modification globale des profils de contrainte tangentielle
et normale (voir Chapitre 2). Les mesures traduisent ces évolutions en un point particulier
du profil, et sont donc fortement dépendantes de la position exacte du capteur par rapport
à la zone de contact.
L’amplitude du pic fondamental présente une dépendance avec la charge normale en-
core plus complexe, comme illustré à la Figure 3.10 pour le substrat 1. Ces évolutions
présentent des caractéristiques non monotones et aucune corrélation claire ne peut être
mise en évidence entre les composantes. Il en va de même pour tous les harmoniques me-
surables et pour tous les substrats. Nous avons choisi de normaliser chaque spectre par son
amplitude à fréquence nulle. La Figure 3.11 présente, pour chaque substrat, les spectres
ainsi normalisés, moyennés sur l’ensemble des charges normales appliquées. Les barres
d’erreur traduisent la dispersion des amplitudes pour les différentes charges normales.

85
Chapitre 3. Analyse fréquentielle des contraintes lors du frottement d’un
substrat de rugosité périodique

0,005 240
50
200
0,004
40

Amplitude (Pa)

Amplitude (Pa)
160
Amplitude (N)

0,003
30
120
0,002 20
80

0,001 10
40

0 0 0
0 0,5 1 1,5 2 2,5 0 0,5 1 1,5 2 2,5 0 0,5 1 1,5 2 2,5
F (N) F (N) F (N)
N N N

(a) FT (b) Szz (c) Syz

Fig. 3.10 – Amplitude du pic additionnel fondamental en fonction de FN , pour (a) FT ,

(b) Szz et (c) Syz , pour le substrat 1, pour des expériences à V = 0.4 [Link]−1 .

3.4 Modélisation des modulations de contrainte

Nous proposons dans cette partie un modèle simple permettant de relier le spectre
spatial de la rugosité d’un substrat et le spectre temporel des contraintes mesurées sous
un film élastique en frottement contre lui.
Considérons un milieu élastique convexe en frottement stationnaire à vitesse donnée
V sous charge normale constante contre un substrat rigide nominalement plan. Pour
un substrat lisse, le champ de pression en surface est noté P L (voir Figure 3.12). On
considère une mesure de pression au sein du milieu élastique, effectuée à une position
donnée par rapport à la zone de contact. Le capteur fournit un signal S correspondant à
la convolution du champ de pression de surface par une fonction de réponse F R 3 . Pour
un substrat rugueux, le champ de pression P en surface est égal au champ P L modulé
par une fonction T dépendant de la rugosité :

P (x, u) = P L (x).T (u − x) (3.1)

où l’origine des coordonnées x = (x, y) est choisie à la position du capteur et u = (ux , uy )
caractérise la position du substrat. Notons qu’en régime de glissement stationnaire u = Vt.
Le signal mesuré s’écrit :
Z ∞
′ ′ ′
S(u) = P (x , u).F R(x )dx (3.2)
−∞
Z ∞
′ ′ ′ ′
S(u) = P L (x ).T (u − x ).F R(x )dx (3.3)
−∞
Z ∞
′ ′ ′
S(u) = K(x ).T (u − x )dx (3.4)
−∞

avec K = P L .F R
3
Expérimentalement F R correspond à la fonction de réponse spatiale à une indentation ponctuelle à
la surface du substrat.

86
 3.4. Modélisation des modulations de contrainte

S S
zz yz

Substrat 1 Substrat 1

0,001
Amplitude (u.a.)

0,0001

-5
10

Substrat 2 Substrat 2

0,001
Amplitude (u.a.)

0,0001

-5
10

Substrat 3 Substrat 3

0,001
Amplitude (u.a.)

0,0001

-5
10

Substrat 4 Substrat 4

0,001
Amplitude (u.a.)

0,0001

-5
10
0 1 2 3 4 5 6 0 1 2 3 4 5 6
Indice du pic additionnel Indice du pic additionnel

Fig. 3.11 – Amplitudes des harmoniques des spectres de Szz et Syz normalisés par l’am-
plitude à fréquence nulle. La barre d’erreur correspond, pour chaque harmonique, à l’écart
quadratique moyen sur les 8 valeurs de FN .

87
Chapitre 3. Analyse fréquentielle des contraintes lors du frottement d’un
substrat de rugosité périodique

Substrat lisse

PDMS
PL
yo
y
Capteur
Substrat texturé u = V.t

P L * T(y-u)

Fig. 3.12 – Schéma de la situation envisagée par le modèle. Le champ de pression de

surface est P L contre un substrat lisse. Un capteur mesure un signal associé aux contraintes
sous le contact. Sa position définit l’origine des abscisses y. Le centre du contact se situe à
l’abscisse y0 . Pour un substrat rugueux, le champ de pression est modulé par une fonction
T . u traduit le déplacement du substrat.

Finalement le signal mesuré est :

S(u) = K ⊗ T (u) (3.5)

et sa transformée de Fourier est :

S̃(q) = K̃.T̃ (q) (3.6)

avec q = (qx , qy ).

Cette formule générale exprime le fait que le spectre S̃ du signal de pression mesuré
sera égal au spectre T̃ dépendant de la rugosité du substrat, multiplié par une ”fonction
de visibilité spectrale” K̃. K̃ dépend à la fois de la fonction de réponse du capteur à une
indentation ponctuelle, de la position du capteur par rapport à la zone de contact et du
champ de pression nominal. Ce dernier dépend de la géométrie du bloc élastique, de la
charge normale appliquée et du coefficient de frottement moyen.

88
 3.4. Modélisation des modulations de contrainte

Nous avons testé cette relation pour des conditions voisines de celles de nos expériences,
pour les substrats 1 et 2. Pour ces derniers, nous avons vu que l’élastomère ne vient jamais
en contact entre les aspérités. La pression s’annule donc entre deux marches. Dans ce cas,
nous faisons l’hypothèse que T peut être approximée par une fonction créneau s’annulant
à la verticale des parties basses du substrat4 et de moyenne unité5 . La transformée de
Fourier de T selon l’axe y du mouvement s’écrit alors :
∞
X n
T̃ (0, qy ) = sinc(πqy d)δ(qy − ) (3.7)
n=−∞
Λ

F R est assimilée à une gaussienne normée de largeur typique σ = 1 mm, tel que mesuré
en indentation ponctuelle au Chapitre 1 (voir Figure 1.18) :
1 x2
F R(x) = √ e− 2σ2 (3.8)
2πσ 2
F˜R(q) = e−2π σ q
2 2 2
(3.9)
Nous faisons également l’hypothèse que le champ de pression P L est celui de Hertz,
centré en x0 = (0, y0 ), défini pour toute charge normale FN . On a donc :
r
(x − x0 )2
P L (x) = p0 1 − (3.10)
a2
où
1/3
3(1 − ν 2 )FN R

a= (3.11)
4E
1/3
6FN E 2

p0 = (3.12)
π 3 R2 (1 − ν 2 )2
Sa transformée de Fourier s’écrit :
 
˜L
sinc(2π |q| a) − cos(2π |q| a) −2πiq.x0
P (q) = 2p0 e (3.13)
q2
La transformée de Fourier de K peut donc s’écrire comme suit :
K̃(q) = F˜R ⊗ P˜L (3.14)
L’évaluation de K̃(0, qy ) a été réalisée numériquement, pour différentes valeurs de FN 6
et de y0 . La Figure 3.13 montre les variations d’amplitude du pic fondamental et des 5
premiers harmoniques, pour une force normale donnée correspondant à a = 2 mm, et pour
y0 croissant de 0 à 3.5 mm par pas de 0.5 mm.
4
Le cas a priori plus réaliste où les bandes de résine sont considérées comme des poinçons linéaires de
largeur d, aux arêtes desquels la pression diverge [12] a été testé. Les résultats diffèrent significativement
par rapport aux mesures, vraisemblablement en raison de la courbure non nulle de la topographie de
surface au sommet des aspérités.
5
pour maintenir la valeur de la charge normale totale.
6
dont on tire les valeurs de a et p0 , connaissant le module de Young E et le rayon de courbure R de
la surface élastique.

89
Chapitre 3. Analyse fréquentielle des contraintes lors du frottement d’un
substrat de rugosité périodique

1
Amplitude des pics additionnels (u.a.)

0,0001
0,8
-5
10
0,6

K (u.a.)
-6
10
0,4
y croissant
Fondamental 0

-7 Harmonique 1
10 0,2
Harmonique 2
Harmonique 3
Harmonique 5
10
-8 0
0 0,5 1 1,5 2 2,5 3 3,5 -4 -2 0 2 4
y (mm) Position latérale (mm)
0

(a) (b)

Fig. 3.13 – (a) Amplitude calculée des 6 premiers pics additionnels, pour le substrat 1,
en fonction de y0 . Le rayon de contact est fixé à a = 2 mm, y0 augmente de 0 à 3.5 mm
par pas de 0.5 mm. Le quatrième harmonique n’est pas représenté car il est extrêmement
faible par rapport aux autres. (b) Allure de la fonction K pour les différentes valeurs de
y0 .

La Figure 3.13(b) représente l’évolution de K pour différentes positions relatives y0

du capteur et du centre du contact. L’amplitude maximale est atteinte lorsque le capteur
se trouve à la verticale du bord du contact. L’existence de bords francs pour la fonction
K est à l’origine de sa grande largeur spectrale. Dans le cas d’une pression uniforme en
surface, la fonction K s’identifie à la fonction de réponse gaussienne qui présente une
coupure spectrale rapide.
Nous avons confronté les résultats numériques ainsi obtenus aux résultats expérimen-
taux pour les substrats profonds 1 et 2. La Figure 3.14 superpose, pour chaque substrat (i)
le spectre du créneau représentant la topographie de surface (ii) les spectres expérimen-
taux normalisés et moyennés comme décrit au paragraphe 3.3 (iii) les spectres calculés
pour y0 = 1.5 mm, normalisés de façon analogue aux spectres expérimentaux, moyennés
sur 9 rayons de contact dans l’intervalle a = 2.00 ± 0.04 mm.
Malgré les nombreuses hypothèses effectuées, ce modèle permet d’estimer l’ordre de
grandeur des variations relatives des amplitudes des différents harmoniques. Les résultats
expérimentaux sont toutefois d’amplitude systématiquement plus élevée que les résultats
du modèle.
Dans le cas des substrats 3 et 4, les aspérités sont suffisamment peu profondes pour
que l’élastomère touche le fond des sillons entre bandes de résine. La modulation T du
champ de pression correspondante est plus complexe que pour les substrats profonds car
elle dépendra fortement de la valeur de FN . En effet, la valeur de la pression et l’aire de
contact au fond des sillons correspondront en première analyse à un contact de type Hertz

90
 3.4. Modélisation des modulations de contrainte

Substrat Substrat
Mesures Mesures
Modèle Modèle
1 1

0,1 0,1
Amplitude normalisée (u.a.)

Amplitude normalisée (u.a.)

0,01 0,01

0,001 0,001

0,0001 0,0001

-5 -5
10 10

-6 -6
10 10

-7 -7
10 10
0 1 2 3 4 5 6 0 1 2 3 4 5 6
Indice du pic spectral Indice du pic spectral
(a) Substrat 1 (b) Substrat 2

Fig. 3.14 – Spectres normalisés par l’amplitude du spectre à fréquence nulle. (a) Substrat
1 et (b) Substrat 2. Les carrés blancs correspondent à la rugosité du substrat. les points
noirs correspondent au spectre expérimental moyenné. Les cercles blancs correspondent
aux résultats du modèle pour y0 = 1.5 mm et pour 9 rayons de contact dans l’intervalle
a = 2.00 ± 0.04 mm.

linéaire à l’échelle du sillon. Nous ne donnerons pas ici de proposition pour T dans ce cas.
Dans l’hypothèse d’une loi de frottement de Coulomb locale, la contrainte de cisaille-
ment à la surface est partout proportionnelle à la pression. Le même raisonnement conduit
à un résultat similaire en substituant au champ de pression P L le champ de contrainte
µd P L , et en considérant la fonction de réponse à un cisaillement de surface ponctuel.
Dans ce cadre, le spectre de la force tangentielle totale peut être interprété en prenant
une fonction de réponse de largeur infinie et la transformée de Fourier du champ de pres-
sion nominal P˜L joue seul le rôle de filtre spectral.

91
Chapitre 3. Analyse fréquentielle des contraintes lors du frottement d’un
substrat de rugosité périodique

Conclusion
Nous avons étudié par analyse spectrale les signaux de contrainte locale associés au
frottement de substrats de rugosité périodique de longueur d’onde de l’ordre de 100 µm.
Chaque spectre mesuré présente la signature caractéristique des propriétés spectrales spa-
tiales du substrat correspondant. La correspondance entre fréquence spatiale q de la ru-
gosité et fréquence temporelle f des signaux de contrainte est contrôlée par la vitesse de
glissement V par q = f /V . Les amplitudes des différents harmoniques dépendent de façon
complexe de la charge normale, celle-ci modifiant à la fois la largeur du contact et la valeur
du coefficient de frottement. Un modèle a été développé permettant de rendre compte des
principaux ingrédients physiques nécessaires pour prédire quantitativement les amplitudes
des harmoniques. Il fait apparaı̂tre une fonction K̃ agissant comme un filtre spectral, dont
les propriétés dépendent à la fois de la fonction de réponse du capteur à une indentation
ponctuelle de la surface et du champ de contrainte nominal correspondant au frottement
sur un substrat lisse sous mêmes charges normale et tangentielle.
Cette vision simple peut être pertinente dans la compréhension de la perception tactile
dynamique. Elle permet notamment de comprendre comment les conditions d’exploration
d’un substrat (pression appliquée par le doigt, coefficient de frottement) peuvent modi-
fier la sensibilité tactile à des rugosités fines du substrat. Nous pouvons alors proposer
que l’ajustement dynamique de ces conditions au cours d’une exploration tactile permet
d’optimiser la détection de la texture particulière en présence. Cette approche permet
également de mettre en évidence une sensibilité variable au sein de la zone de contact,
avec un maximum de sensibilité à sa frontière.
D’autre part, ce modèle offre une interprétation du rôle des empreintes digitales pour
la perception tactile dynamique. Elles sont présentes dans certaines des zones les plus
sensibles de l’organe tactile. En modulant le champ de pression nominal sur des lon-
gueurs d’onde de l’ordre de L = 500 µm, elles produisent une amplification autour des
fréquences f = V /L par rapport à une peau lisse. Pour une vitesse typique d’exploration
de 10 [Link]−1 , cette fréquence est de l’ordre de 200 Hz, proche de la fréquence de sensi-
bilité maximale des terminaisons nerveuses de type Pacini. Dans ce cadre, les empreintes
digitales pourraient permettre à la fois de réduire le seuil de détection et d’impliquer
l’ensemble des terminaisons sensibles présentes sous le contact.
Pour tester plus avant ces hypothèses, il serait utile de pouvoir mesurer simultanément
à la fois le profil des contraintes moyennes et les caractéristiques spectrales en tout point
à travers le contact.

92
Chapitre 4

Mesures optiques à une interface

rugueuse

Introduction
Nous développons dans cette partie deux méthodes optiques permettant successive-
ment de mesurer les champs de pression et de déplacement à une interface rugueuse sous
charge normale et tangentielle. La mesure de la pression est fondée sur une mesure de
l’aire de contact réel qui, dans la limite d’un grand nombre de micro-contacts, est pro-
portionnelle à la charge normale exercée [5]. Les premières mesures directes de l’aire de
contact ont été réalisées par Dieterich et Kilgore [54] par microscopie optique en trans-
mission en géométrie plan-plan. Ils ont mis en évidence un accroissement linéaire de l’aire
réelle de contact avec la charge normale appliquée pour un contact entre différents ma-
tériaux rigides (quartz, calcite, verre et plastique acrylique). Ils ont également mesuré la
dynamique de croissance logarithmique de l’aire de contact réel résultant du fluage des
aspérités sous contrainte [55].
En régime de frottement, Rubinstein, Cohen et Fineberg [32] ont récemment observé
la propagation de fronts de détachement à l’interface entre deux blocs de PMMA rugueux
soumis à un déplacement relatif proche du seuil de glissement. Leur méthode a consisté à
éclairer à l’aide d’une nappe laser l’interface PMMA-air en rélexion totale et à enregistrer
l’intensité transmise au niveau des micro-jonctions formées entre les deux blocs à l’aide
d’une caméra rapide. Ils ont ainsi pu visualiser directement la propagation de 3 types de
fronts de fracture essentiels pour la description de la rupture de l’interface.
Ces différentes expériences ont porté sur des systèmes relativement rigides. Il en résulte
que la densité des micro-contacts reste faible, même à charge importante. Par ailleurs,
les faibles déformations induites lors du cisaillement ne permettent pas une mesure du
champ de déplacement à l’échelle de ces micro-contacts. Nous montrons dans cette partie
comment l’utilisation d’un élastomère, de module environ 1000 fois inférieur à celui du
PMMA permet d’obtenir des densités de contact suffisantes pour extraire une mesure
statistique, résolue spatialement, de l’aire de contact réel. D’autre part, cette faible valeur
du module élastique du PDMS conduit à des déplacements à l’interface, sous charge
tangentielle, de l’ordre du micron, qui peuvent être mesurés par une méthode dite de DIC
(Digital Image Correlation).

93
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

4.1 Mesure du champ de pression dans un contact

sphère-plan rugueux sous charge normale
4.1.1 Mesure optique de l’aire de contact réel

Intensité transmise I

8
Lentille

PDMS A
A0

Source
d'intensité Ii

Fig. 4.1 – Schéma de principe de l’imagerie d’une interface multi-contact en vue de

mesurer l’aire de contact réel. Au niveau des contact intimes, les rayons sont réfractés à
l’interface PDMS-verre. Hors contact, ils sont diffusés par l’interface rugueuse.

La Figure 4.1 montre le schéma de principe de l’expérience réalisée pour la mesure de

l’aire de contact réel. Une interface multi-contact, réalisée en pressant un bloc élastique
rugueux contre un substrat rigide transparent, est éclairée en transmission par une source
d’intensité Ii . Deux coefficients de transmission en intensité αc et αh sont associés respec-
tivement aux zones de contact réel et aux zones hors contact. L’intensité transmise I∞
correspondant à une aire de contact apparent A0 et à une aire de contact réel A s’écrit :

I∞ = αc AIi + αh (A0 − A)Ii (4.1)

On en déduit :
I∞ − I 0 αc − αh A
= (4.2)
I0 αh A0
où I0 = αh A0 Ii correspond à l’intensité transmise lorsqu’aucun contact n’est réalisé.
Ce principe de mesure optique de l’aire de contact réel est appliqué à un contact étendu
entre une lentille de verre sphérique plano-convexe de rayon de courbure R = 128.8 mm et
un bloc épais de PDMS rugueux de module de Young 2.2 ± 0.1 M P a, d’épaisseur 10 mm
et de surface 5 × 5 cm. Ni la lentille ni la surface des blocs de PDMS n’ont été silanisées.
Le dispositif expérimental complet est représenté sur la Figure 4.2. Un bloc de PDMS est
fixé horizontalement sur un montage mécanique formé de deux cantilevers orthogonaux.

94
 4.1. Mesure du champ de pression dans un contact sphère-plan rugueux
sous charge normale

Caméra

Objectif de la
loupe binoculaire

PDMS
lame de verre

diffuseur
moteur
diode

Fig. 4.2 – Schéma de principe du dispositif expérimental complet.

Le premier, de raideur1 kN = 689 ± 5 N.m−1 , permet d’imposer la charge normale FN ,

mesurée à l’aide d’un capteur de position2 calibré à 405 ± 3 µm.V −1 . Le second cantilever,
de raideur1 kT = 9579 ± 25 N.m−1 , permet de mesurer la force tangentielle FT au cours
des expériences, à l’aide d’un capteur de position3 calibré à 27.29 ± 0.05 µm.V −1 . Le
support de cet ensemble peut être mis en translation rectiligne horizontale par un moteur
à courant continu (Newport, LTA-HL, contrôleur SMC100). Le bloc de PDMS est éclairé
par le bas, à travers son volume transparent, par une diode blanche, alimentée par une
tension stabilisée réglable, munie d’un diffuseur. L’interface est imagée à l’aide d’une loupe
binoculaire (Olympus, SZ11CTV). Les images sont enregistrées par une caméra numérique
CCD 12bit (Hamamatsu C8484-05G) dont le capteur est constitué de 1344×1024 pixels
carrés, de côté correspondant à 7.3 µm au grandissement utilisé.
La rugosité du film élastique a été caractérisée par profilométrie optique interféren-
tielle. La distribution des hauteurs obtenue, Φ(z), est représentée sur la Figure 4.3(a). La
déviation standard est de 1.54 ± 0.05 µm ; la distribution présente une queue exponentielle
pour les aspérités les plus élevées et une queue de type gaussienne pour la partie profonde
de la couche rugueuse. La densité spectrale de puissance C(q) de la rugosité4 [56] est
représentée sur la Figure 4.3(b) . La rugosité est de type auto-affine (C(q) ∼ q −2(H+1) )
avec un exposant de Hurst H valant 0.55 et une longueur de coupure à basse fréquence
d’environ 40 µm, qui correspond au diamètre des billes de SiC utilisées pour abraser le
moule [2].
1
mesuré comme décrit au Chapitre 1.1.3
2
Fogale, MCC20
3
Fogale, MCC10
4 1
R 2
C(q) = (2π) 2 d x hh(x)h(0)i e−iq.x , où h(x) est l’altitude de la surface à la position x. La surface
nominale correspond à h = 0. h...i représente une moyenne d’ensemble sur différentes surfaces de propriétés
statistiques identiques

95
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

5 h = 1.54µm 10
10 rms

10
4 1
Histogramme

C(q) (µm )
4
1000 0.1
-3.1
~q
100 0.01

10 0.001

1 0.01 0.1 1
-10 -5 0 5 10
-1
Hauteur (µm) q (µm )
(a) Distribution des hauteurs (b) Densité spectrale de puissance de la rugosité

Fig. 4.3 – (a) Distribution des hauteurs à la surface du bloc de PDMS, mesurée par
profilométrie optique, sur 27 zones, chacune de taille 356.1µm × 268.7 µm. (b) Densité
spectrale de puissance de la rugosité. La rugosité est de type auto-affine, avec une longueur
de coupure à basse fréquence d’environ 40 µm.

(a) Hors contact (b) FN = 0.99 N (Image brute) (c) FN = 0.99 N (Différence)

Fig. 4.4 – Exemple d’images réalisées à l’aide du dispositif expérimental décrit. (a) Hors
contact (b) En contact sphère-plan sous charge normale FN = 0.99 N (c) Différence entre
ces deux images. Le trait blanc correspond à une longueur de 1 mm.

La Figure 4.4 présente deux images ainsi réalisées, hors contact, puis pour un contact
sous charge purement normale FN = 0.99 N . La troisième image correspond à la différence
entre ces deux images, et met en évidence les zones de contact réel. L’image 1 servant
à définir I0 présente des fluctuations spatiales de petite longueur d’onde dont la taille
caractéristique est fixée par l’échelle de rugosité de la surface du bloc élastique. A ces in-
homogénéités s’ajoutent celles de la source, ce qui se traduit par une enveloppe présentant

96
 4.1. Mesure du champ de pression dans un contact sphère-plan rugueux
sous charge normale

un maximum à la verticale de la diode. Pour prendre en compte ces hétérogénéités, nous

choisissons une zone carrée de côté 150 µm sur laquelle l’intensité de l’image de référence
est moyennée. Ce lissage permet de réduire fortement les fluctuations d’intensité liées à
la rugosité ; à l’échelle de cette zone de lissage, l’intensité incidente est considérée comme
constante.
Nous définissons en chaque pixel I0 (x, y) comme l’intensité de l’image hors contact
ainsi lissée. Pour chaque image en situation de contact, l’intensité normalisée IT (x, y) est
définie en chaque pixel par : IT (x, y) = I(x,y)−I 0 (x,y)
I0 (x,y)
.

5
3.5 10

5
3 10

5
2.5 10
I (u.a.)

5
2 10
T

5
1.5 10

5
1 10 Exp. 1
Exp. 2
5 10
4 Exp. 3
Exp. 4
0
0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 1.2 1.4
F (N)
N

Fig. 4.5 – Evolution de la somme sur tous les pixels de l’intensité normalisée IT en fonction
de la charge normale FN appliquée, pour 4 positions différentes de la zone de contact à la
surface du bloc élastique.

La Figure 4.5 montre l’évolution de la somme sur tous les pixels de l’intensité nor-
malisée IT en fonction de la charge normale FN appliquée, pour 4 positions différentes
de la zone de contact à la surface du bloc élastique. La relation entre IT et FN apparaı̂t
linéaire sur l’ensemble de la gamme de forces appliquées. Ce résultat est compatible à la
fois avec l’équation 4.2, qui stipule que l’intensité normalisée est proportionnelle à l’aire
de contact réel, et avec le résultat classique pour des interfaces multi-contact qui énonce la
proportionnalité entre l’aire de contact réel et la charge normale appliquée. Le modèle de
Greenwood-Williamson [5], développé au paragraphe suivant, propose une interprétation
de cette propriété fondée sur une description statistique de la couche rugueuse élastique.

4.1.2 Modèle de Greenwood-Williamson (GW)

On considère une surface rugueuse caractérisée par un module de Young réduit E ∗ =
E/(1 − ν 2 ) et dont la hauteur des aspérités est distribuée selon une loi φ(z) autour d’un
plan de référence définissant z = 0. Les aspérités sont des calottes sphériques de rayon

97
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

de courbure β et de densité surfacique η. Une surface rigide lisse est mise en regard de la
surface rugueuse à une distance u du plan de référence (voir Figure 4.6).

δ=z-u

Φ(z)
u
z β

Fig. 4.6 – Modèle de rugosité de Greenwood-Williamson. Les aspérités sont toutes de

même rayon de courbure β. Leurs sommets sont distribués selon la loi Φ(z) où z = 0
correspond à la surface nominale. On approche un plan rigide à la distance u. Les aspérités
de hauteur z > u voient leur sommet se déplacer de δ = z − u.

Considérons
R∞ une surface élémentaire dS. Le nombre de contacts créés s’écrit : dN =
ηdS u φ(z)dz. Le résultat de l’analyse de Hertz pour le contact entre une sphère élastique
et un plan indéformable est appliqué pour chaque aspérité dont le sommet est d’altitude
z > u en prenant comme déplacement du sommet δ = z − u. L’augmentation de l’aire
de contact réel est alors πβδ et la charge normale s’écrit 4/3E ∗ β 1/2 δ 3/2 . Il en résulte que
l’aire réelle dA et la charge dF pour la surface élémentaire dS s’écrivent :
Z ∞
dA = πηdS (z − u)φ(z)dz (4.3)
u
Z ∞
∗ 1/2
dF = 4/3ηE β dS (z − u)3/2 φ(z)dz (4.4)
u

Φ∗ est définie comme la distribution standard des hauteurs d’aspérités, c’est-à-dire la

distribution Φ normalisée de telle sorte que sa déviation
R∞ standard soit égale à 1. Mn est
par ailleurs défini pour tout n comme : Mn (h) = h (s − h)n φ∗ (s)ds. Les expressions de
dA et dF peuvent alors être réécrites sous la forme :

dA = πηβσdSM1 (u/σ) (4.5)

dF = 4/3ηE ∗ β 1/2 σ 3/2 dSM3/2 (u/σ) (4.6)

où σ est la déviation standard de la distribution Φ.

La proportionnalité observée entre aire de contact réel et charge normale résulte d’une
propriété des distributions de hauteur typiquement réalisées (gaussienne, exponentielle),
pour lesquelles le rapport M1 /M3/2 (x) varie très faiblement avec x. Cette relation de
proportionnalité est exacte dans le cas particulier d’une distribution de hauteurs expo-
nentielle, qui correspond à notre situation expérimentale pour les aspérités les plus hautes
de la couche rugueuse (voir Figure 4.3(a)). Ce modèle permet donc d’expliquer la linéarité
obtenue entre la charge normale et l’aire de contact réel mesurée (voir Figure 4.5).

98
 4.1. Mesure du champ de pression dans un contact sphère-plan rugueux
sous charge normale

4.1.3 Profils de pression

Notre dispositif expérimental permet, à partir de la relation établie entre IT et FN ,
de mesurer la pression locale en tout point de l’image. Cette mesure implique néanmoins
de considérer des éléments de surface d’aire dS pour lesquels le nombre d’aspérités est
suffisamment grand pour rendre pertinente l’approche statistique de GW.
En situation de contact sphère-plan sous charge purement normale, le champ de pres-
sion possède une symétrie de révolution. Pour chaque image normalisée IT , le centre de
symétrie du contact est extrait par analyse d’image5 . Ce centre de symétrie définit l’origine
des coordonnées cylindriques (r, θ) utilisées par la suite.
On réalise la moyenne de l’intensité sur des couronnes concentriques de rayon moyen
croissant et de surface constante égale à 3000 pixels6 . La Figure 4.7 montre les profils
radiaux ainsi extraits pour 2 valeurs de FN .

Mesure 4
Mesure
1,2 10
4 6 10
Hertz Hertz
4 4
1 10 5 10

8000 F = 0.013N 4 10
4
N
P (Pa)
P (Pa)

6000 4
3 10

4000 ξ 4 F = 1.35N
2 10 N ξ
2000 4
1 10
0
0
0 0,5 1 1,5 0 0,5 1 1,5 2 2,5 3 3,5 4
r (mm) r (mm)
(a) FN = 0.013 N (b) FN = 1.35 N

Fig. 4.7 – Profils radiaux de pression mesurés pour un contact sphère lisse-plan rugueux,
pour 2 valeurs de FN . Les courbes en pointillés correspondent au profil attendu pour un
contact de Hertz dans la même géométrie, sous même charge normale, pour un module
élastique corrigé pour tenir compte de l’épaisseur finie du bloc élastique.

Les profils en pointillés correspondent aux profils de Hertz dans le cas d’une interface
lisse pour la même charge normale, et pour :
p
p(r) = p0 1 − r2 /a2 (4.7)
5
La position horizontale de ce centre de symétrie est déterminée en recherchant le maximum de la
fonction de corrélation de IT avec son image par un miroir vertical translatée verticalement. Une procédure
similaire est utilisée pour déterminer la position verticale du centre de symétrie.
6
Ce nombre fixe l’incertitude de mesure en pression. Ce choix résulte d’un compromis entre la valeur
de cette incertitude et la résolution spatiale du profil.

99
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

où
 1/3
6FN Ec∗2
p0 = (4.8)
π 3 R2
1/3
9FN2

a= (4.9)
16REc∗2

et où

Ec = E(1 + 1.133χ + 1.283χ2 + 0.769χ3 + 0.0975χ4 ) (4.10)

√
avec χ = hRδ , h l’épaisseur du bloc élastique et δ l’indentation. Ec est le module de
Young corrigé pour tenir compte de l’épaisseur finie du bloc élastique (voir Annexe C).

Nous constatons qu’à faible charge, l’écart entre les mesures et la prédiction de Hertz
est importante. A l’inverse, pour des charges importantes, l’essentiel du profil est proche
de celui de Hertz, à l’exception d’un pied en périphérie du contact. Cette zone de raccord
vers la pression nulle présente la même allure pour toutes les charges. Son √ extension ξ
peut être estimée, à partir de considérations géométriques simples, à ξ ∼ Rσ (où σ est
l’épaisseur caractéristique de la couche rugueuse et R est le rayon de la lentille sphérique),
qui est ici de l’ordre de 500 µm (voir Figure 4.7). L’écart aux profils de Hertz tend à
devenir faible quand cette longueur p devient petite devant le rayon a du contact de Hertz
équivalent. En notant que a/ξ ∼ d/σ, il apparaı̂t que cette limite correspond également
à un enfoncement du sommet de la sphère de l’ordre de l’épaisseur σ de la couche rugueuse.
Notons que le bruit observé sur les profils traduit le caractère statistique de l’aire de la
surface de contact réel pour une pression donnée. Il n’est donc pas lié à une incertitude de
la mesure optique. La relation établie par GW entre pression et aire de contact réel n’est
valide que dans la limite d’une surface d’observation grande devant l’inverse de la densité
surfacique des aspérités. Afin d’obtenir des profils de pression les plus réguliers possibles,
nous avons réalisé plusieurs mises en contact sous même charge normale en différentes
positions du bloc rugueux (voir Figure 4.8). Les profils présentés par la suite sont les
résultats moyens pour 4 réalisations. Les barres d’erreur en pression correspondent à la
dispersion des résultats issus de ces 4 expériences. Les barres d’erreur radiales traduisent
la largeur des couronnes sur lesquelles les mesures sont effectuées.
L’écart aux profils de Hertz équivalents peut être estimé en comparant (voir Figure
4.9) p0 et a calculés par les équations 4.8 et 4.9 à la pression maximale pmax au centre des
profils (déterminée par un ajustement quadratique de la partie centrale du profil) et au
rayon de contact effectif défini comme :
R∞
rP (r)dr
a∗ = 3π/4 R0 ∞ (4.11)
0
P (r)dr

On constate qu’à faible charge, pmax est inférieur à p0 et a∗ est légèrement supérieur
à a. A forte charge, les valeurs expérimentales tendent vers leur équivalent en contact de
Hertz.

100
 4.1. Mesure du champ de pression dans un contact sphère-plan rugueux
sous charge normale

4 Position 1
3 10 Position 2
Position 3
4
2,5 10 Position 4

4
2 10
P (Pa)
4
1,5 10
F = 0.155N
N
4
1 10

5000

0
0 0,5 1 1,5 2 2,5 3 3,5 4
r (mm)

Fig. 4.8 – Profils radiaux de pression mesurée, pour FN = 0.155N , pour les 4 positions
différentes du contact sur la surface du bloc 1.

p (mesure) 3 a* (mesure)
4 max
6 10 a
p (Hertz) Hertz
0
4 2,5
5 10
(mm)
, p (Pa)

4 10
4 2
4
5 10 3
0

Hertz

3 10
4 3 10
4
1,5
max

a*, a

2
p

4 1
2 10
4
10
4 8000
1 10 0,5 1
6000
0,9
0,01 0,1 1 0,1 1

0 0
0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 1,2 1,4 0 0,2 0,4 0,6 0,8 1 1,2 1,4
F (N) F (N)
N N

Fig. 4.9 – Comparaison des mesures expérimentales et des résultats de Hertz (corrigés de
l’épaisseur finie) correspondant à la même charge normale exercée. (a) La valeur maximale
pmax de la pression mesurée est inférieure à la pression p0 au centre du contact de Hertz.
(b) Le rayon de contact a∗ estimé à partir du champ de pression mesuré est supérieur au
rayon de contact de Hertz aHertz .

4.1.4 Modèle de Greenwood-Tripp

En 1967, Greenwood et Tripp [16] ont adapté le modèle de rugosité de Greenwood et
Williamson [5] au cas du contact élastique d’une sphère lisse sur un plan rugueux, pour

101
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

R
Sphère rigide

z=0
r Surface nominale
hors-contact
z Milieu élastique

w d u
Surface nominale
déformée
Fig. 4.10 – Schéma représentatif du système considéré rappelant la définition de quelques
grandeurs. 1 : Hors contact. 2 : Sous indentation d

des objets semi-infinis (voir Figure 4.10). On considère une sphère rigide de rayon R. On
note u(r) la distance entre la surface de la sphère et la surface nominale du bloc élastique,
à la distance radiale r. On note w(r) le déplacement de la surface nominale du bloc par
r2
rapport à la situation hors contact, défini par la relation u(r) = w(r) − d + 2R où d
représente l’altitude du sommet de la sphère par rapport à la surface nominale du bloc
hors contact.
Pour un champ de pression p donnée, la déformation de la surface nominale résulte
des équations de l’élasticité et s’écrit :
6r ∞
Z
w(r) = p(ξr)L(ξ)dξ (4.12)
4E 0
où
2
L(ξ) = ξK(ξ), ξ < 1 (4.13)
π
2
L(ξ) = K(1/ξ), ξ > 1 (4.14)
π
et K(ξ) est l’intégrale elliptique de première espèce.

102
 4.1. Mesure du champ de pression dans un contact sphère-plan rugueux
sous charge normale

A l’inverse, le modèle de Greenwood-Williamson permet de relier, via l’équation 4.6,

le champ de pression à la déformation de la couche rugueuse :
r2
  
p(r) = λM3/2 w(r) − d + /σ (4.15)
2R

où λ = 16 9
ηE ∗ β 1/2 σ 3/2 . La résolution de ce système d’équations fonctionnelles se fait
itérativement. Les résultats peuvent être exprimés sous forme adimensionnée :

w∗ = w/σ (4.16)
u∗ = u/σ (4.17)
d∗ = d/σ (4.18)
√
ρ = r/ 2Rσ (4.19)
4E p
p∗ = p/( σ/8R) (4.20)
3
Les équations à résoudre deviennent alors :

p∗ (ρ) = µM3/2 (w∗ − d∗ + ρ2 ) (4.21)

Z ∞
∗
w (ρ) = ρp∗ (ρξ)L(ξ)dξ, ρ > 0 (4.22)
0
(4.23)
√
où µ = 38 ησ 2Rβ.

4.1.5 Comparaison avec les résultats expérimentaux

Nous avons utilisé le logiciel Mathematica pour effectuer ce calcul, en utilisant la
distribution expérimentale Φ représentée à la Figure 4.3(a), pour différentes valeurs de µ.
Le calcul ne permet pas d’imposer a priori la valeur de la charge normale. Nous avons
donc calculé en premier lieu les champs de pression associés à des valeurs de d entre -1 et
50. Pour chacun de ces résultats, la valeur de FN est calculée par intégration du profil de
pression numérique. Le profil correspondant à une charge normale donnée peut alors être
obtenu de façon approchée par interpolation de la relation entre d et FN .
La valeur de µ peut être estimée directement en considérant que la distance caractéris-
tique entre aspérités est donnée par la valeur de coupure l0 = 40 µm de la densité spectrale
de puissance de la rugosité (voir Figure 4.3(b)). La densité surfacique d’aspérités et leur
2 2
rayon de courbure √ s’écrivent alors η ∼ 1/l0 et β ∼ l0 /σ, ce qui conduit à une valeur de µ
8
de l’ordre de 3 ησ 2Rβ ∼ 40. Dans la gamme des charges exercées, les valeurs de µ entre 5
et 100 produisent des profils numériques quasi-indiscernables. Nos résultats ne permettent
donc pas de sélectionner la valeur du paramètre assurant le meilleur ajustement7 .
La Figure 4.11 montre la comparaison, pour 8 valeurs de la charge normale correspon-
dant à l’ensemble de la gamme explorée, des profils expérimentaux et numériques, pour
7
Une valeur de µ inférieure à 5 conduit à des enfoncements de la couche rugueuse tels que l’ensemble
des aspérités est sollicité. Cet effet semble incompatible avec les observations du contact. A l’inverse, pour
les valeurs de µ supérieures à 100, la fraction d’aspérités sollicitées devient infime.

103
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

4
7 10

4
6 10

4
5 10

4
4 10
p (Pa)

4
3 10

4
2 10

4
1 10

0
0 1 2 3 4
r (mm)
Fig. 4.11 – Profils de pression mesurés, comparés aux profils calculés à partir du modèle
de Greenwood-Tripp, en utilisant la distribution de hauteur mesurée par profilométrie
optique interférentielle, pour µ = 40.

µ = 40. Compte tenu de la discussion précédente, ces ajustements peuvent être considérés
comme étant effectués sans aucun paramètre ajustable. L’accord est satisfaisant sur l’en-
semble de la gamme des charges exercées. Notons toutefois que le raccord vers la pression
nulle paraı̂t systématiquement plus raide sur les profils numériques8 , ce qui indique que
la valeur de σ est vraisemblablement sous-évaluée.
La distribution expérimentale a été implémentée car elle permettait un test direct du
modèle de Greenwood-Tripp. Il est clair cependant que les hypothèses très simples du
modèle, en particulier l’uniformité des rayons de courbure des aspérités, rendent difficiles
les comparaisons directes sur un système réel. Par ailleurs, les mesures en profilométrie
ne permettent pas de déterminer la distribution des seuls sommets des aspérités.

8
Notons que cette tendance ne peut être corrigée par un ajustement de µ.

104
 4.1. Mesure du champ de pression dans un contact sphère-plan rugueux
sous charge normale

Pour illustrer la dépendance des profils avec la distribution Φ, nous avons effectué ce
même calcul numérique pour les distributions exponentielle et gaussienne, de déviation
standard identique à celle mesurée, pour µ = 40 (voir Figure 4.12). Il apparaı̂t que la
distribution exponentielle rend compte de façon très correcte de nos mesures, alors que
la distribution gaussienne produit un ajustement de mauvaise qualité. Ces observations
montrent que les profils de pression sont très sensibles à la forme exacte de la distribu-
tion, offrant donc la possibilité de tester de façon fine le lien entre les caractéristiques
statistiques d’une couche rugueuse et sa réponse mécanique au sein d’un contact.

Exponentielle
4
Gaussienne
7 10 1

4 0,1
6 10
*
Φ
0,01
4
5 10 Exponentielle
Gaussienne
0,001

h/σ
-6 -4 -2 0 2 4 6
4
4 10
p (Pa)

4
3 10

4
2 10

4
1 10

0
0 1 2 3 4
r (mm)
Fig. 4.12 – Profils de pression mesurés, comparés aux profils calculés à partir du modèle
de Greenwood-Tripp, en utilisant soit une distribution exponentielle (trait) soit une dis-
tribution gaussienne (trait pointillé), pour µ = 40. L’insert représente les distributions
exponentielle et gaussienne utilisées.

105
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

4.2 Mesure du champ de déplacement à l’interface

La rugosité de l’interface induit sur les images brutes des fluctuations d’intensité.
Lorsque l’on met en mouvement le bloc de PDMS par rapport à la lentille sphérique, ces
fluctuations peuvent être utilisées comme traceurs du déplacement afin de déterminer le
champ de déplacement de la surface rugueuse. Dans cette partie, cette approche est mise
en oeuvre pour évaluer le champ de déplacement lors de la transition charge-glissement en
contact sphère-plan. La méthode et les principaux résultats expérimentaux sont exposés
dans la partie 4.2.2, puis comparés pour les mêmes conditions aux résultats du modèle de
Cattaneo-Mindlin qui prédit l’évolution des champs mécaniques pour un contact sphère-
plan sous charge normale et tangentielle (partie 4.2.3).

4.2.1 Expérience réalisée

Le montage expérimental est identique à celui décrit dans la première partie de ce
chapitre. L’épaisseur du bloc de PDMS est cette fois de 15 mm. Nous avons réalisé une
expérience de mise en charge tangentielle en imposant, sous charge normale constante
FN = 0.33 N , un déplacement du bloc d’entraı̂nement à vitesse constante V = 4 µ[Link]−1 .
La force tangentielle FT , enregistrée à une fréquence de 1000Hz au cours du mouvement,
est représentée sur la Figure 4.13. Cette évolution est qualitativement identique à celle

0,2

0,15
F (N)
T

0,1

0,05

0
0 4 8 12 16 20 24 28
Temps (sec)

Fig. 4.13 – Evolution de la force tangentielle exercée sur le contact au cours de l’ex-
périence de mise en mouvement, en fonction du temps écoulé. Les points noirs sont les
points auxquels nous tracerons les résultats expérimentaux. Sont cerclés les points où nous
représenterons le champ de déplacement complet.

mesurée au Chapitre 2.1 lors de l’étude de la transition charge-glissement à l’aide du

microcapteur de force. On observe néanmoins un maximum de FT supérieur à sa valeur

106
 4.2. Mesure du champ de déplacement à l’interface

stationnaire, et une valeur des coefficients de frottement statique et dynamique significa-

tivement plus faibles.
Au cours du mouvement, les images sont enregistrées en moyenne toutes les 150 ms9 ,
durant les 30 sec nécessaires pour atteindre un régime de glissement stationnaire.

4.2.2 Méthode de mesure

La méthode permettant de mesurer le champ de déplacement à la surface du bloc est
inspirée de la méthode DIC (Digital Image Correlation) [57]. Le principe est de considérer
une zone d’intérêt ZIref (x), centrée en x = (x, y), d’une image de référence. On cherche
alors dans l’image finale la sous-image ZIf (x − s), décalée de s = (sx , sy ), qui présente
avec ZIref la meilleure corrélation :
P
ZIref (x).ZIf (x − s)
C(s) = P P (4.24)
ZIref (x). ZIf (x)

où la somme est effectuée sur tous les pixels des zones d’intérêt. Le déplacement est alors
calculé comme la valeur de s0 correspondant à ce maximum, déterminée à partir d’un
ajustement gaussien de la fonction C(s). Dans nos expériences, le calcul de la fonction
de corrélation est réalisé sur la seule direction x du mouvement, ce qui permet d’alléger
les calculs. Un champ de déplacement bidimensionnel a été évalué sur un exemple et ont
montré que les déplacements transverses étaient au moins un ordre de grandeur inférieurs
aux déplacements suivant la direction d’entraı̂nement. Cette simplification ne pose pas de
problème tant que le déplacement transverse reste faible devant la taille du pixel.
Le choix de la taille de la zone d’intérêt résulte d’un compromis entre la résolution
spatiale du champ mesuré et la précision sur la valeur mesurée du déplacement. Cette
zone est un carré de n = 20 pixels de côté, soit 146 µm. Cette longueur est supérieure à
la taille caractéristique des fluctuations d’intensité au sein des images (quelques pixels).
L’évaluation de l’incertitude de mesure peut se faire en évaluant le champ de dépla-
cement mesuré pour deux situations identiques, prises à différents instants, de façon à
prendre en compte d’éventuelles fluctuations de la source lumineuse ou du capteur CCD.
La distribution des déplacements obtenus est représentée sur la Figure 4.14. Cet histo-
gramme présente un écart quadratique moyen de 250 nm qui définit donc l’incertitude
sur le déplacement en chaque point de mesure. Notons cependant que cette valeur tend
à s’accroı̂tre pour des déplacements importants, du fait des hétérogénéités spatiales de
l’intensité de la source ou de l’augmentation de l’amplitude de la composante transverse
du déplacement, qui tend à abaisser le maximum de la fonction de corrélation.
La Figure 4.15 montre, au cours de l’expérience, l’évolution du champ de déplacement
mesuré par DIC, pour 8 instants successifs au cours de la charge tangentielle. Ces différents
champs sont obtenus par comparaison avec la première image (FT = 0). La déformation
des lignes verticales permet de visualiser les déplacements. Ceux-ci restant très faibles par
rapport à la taille du contact, inférieurs à 30 µm, ils ont été multipliés par 30 pour la
représentation. Notons que durant la charge, le champ de pression mesuré par la méthode
9
La caméra utilisée n’ayant pas pu être déclenchée par un trigger externe, l’intervalle temporel entre
deux images successives peut fluctuer d’environ 25% autour de sa valeur moyenne.

107
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

7000
1000

6000
100

5000 10

Histogramme 4000 -1,6 -1,2 -0,8 -0,4 0 0,4 0,8 1,2 1,6

3000

2000

1000

0
-1,6 -1,2 -0,8 -0,4 0 0,4 0,8 1,2 1,6
Déplacement mesuré (µm)

Fig. 4.14 – Histogramme des déplacements mesurés par DIC entre une image et elle-même,
pour une situation hors-contact. L’insert montre la même distribution en coordonnées
semi-log.

décrite au Chapitre 4.1, et donc la zone de contact apparent, reste pratiquement invariante.
Cette dernière est indiquée par un cercle pointillé sur la première image de la série.
Ces tracés montrent l’existence d’une zone centrale non glissante circulaire, dont le
rayon décroı̂t continûment au cours de la phase de charge tangentielle. Au delà de la
force maximale, le champ de déformation reste inchangé et l’ensemble des lignes subit
une translation homogène à la vitesse d’entraı̂nement du moteur. Nous reviendrons plus
précisément sur ces phénomènes lors de la comparaison de ces résultats avec le modèle de
Cattaneo-Mindlin, développé dans la partie suivante.
La Figure 4.16 représente le champ de déplacement pour une situation en charge,
et le régime stationnaire, sous forme de courbes iso-déplacement. Ces cartes mettent en
évidence le caractère anisotrope du champ de déplacement, qui présente néanmoins une
symétrie centrale par rapport au centre du contact. Le déplacement est minimal sur l’axe
central dans la direction du mouvement, et maximum sur l’axe transverse.

4.2.3 Modèle de Cattaneo-Mindlin

Le modèle de Cattaneo-Mindlin (CM) [14, 15] décrit les champs mécaniques pour un
contact de Hertz lisse lors de la transition charge-glissement. Une sphère de rayon R est
mise en contact sous charge normale FN contre la surface plane d’un demi-espace élastique
de module de Young réduit E ∗ = E/(1 − ν 2 ). La sphère rigide est maintenue fixe et une
force tangentielle FT est alors appliquée au bloc élastique. La distribution de pression
au sein du contact est supposée indépendante de la force appliquée, et est donnée par
l’expression de Hertz :
p
p(r) = p0 1 − r2 /a2 (4.25)

108
 4.2. Mesure du champ de déplacement à l’interface

1 2

3 4

5 6

7 8

Fig. 4.15 – Champ de déplacement mesuré, pour les 8 points cerclés représentés sur la
Figure 4.13 au cours de l’évolution. On suit une série de lignes verticales de pixels au
cours de l’évolution. Pour la représentation, l’amplitude des déplacements est multipliée
par un facteur 30. Les coordonnées spatiales sont en mm. Le cercle représente la zone de
contact apparent.

109
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

(a) FT < FT max (b) Régime stationnaire

Fig. 4.16 – Champ de déplacement mesuré pour (a) une situation en charge et (b) en
régime de glissement stationnaire, représenté par des lignes iso-déplacement. Les déplace-
ments sont en microns. Les coordonnées spatiales sont en mm.

où
 1/3
6FN E ∗2
p0 = (4.26)
π 3 R2
 1/3
3RFN
a= (4.27)
4E ∗
On note δ∞ le déplacement uniforme des points du bloc élastique distants du contact
et ux le champ de déplacement en surface suivant l’axe x, par rapport à la sphère (voir
Figure 4.17). Le champ sx = ux − δ∞ représente donc le champ de déplacement en surface
par rapport aux points distants. Le modèle fait l’hypothèse d’une loi de Coulomb locale :
dans les régions sans glissement (ux = 0) la contrainte tangentielle qx ne doit pas excéder
µp, où µ est le coefficient de frottement ; dans les régions glissantes qx = µp.
Si l’on considère un contact de Hertz sans glissement, toute force tangentielle produit
un champ de contrainte tangentielle qui diverge quand r tend vers a [12]. Même sous faible
force tangentielle (FT < µFN ), la condition de Coulomb conduit donc à un glissement à
la périphérie du contact. L’approche de Cattaneo-Mindlin consiste à faire l’hypothèse
d’une zone non-glissante circulaire entourée d’un anneau glissant dont l’extension croı̂t
continûment avec la charge. Pour évaluer le champ de contraintes associé à cette situation,
nous considérons tout d’abord la situation où la zone collante est réduite au point central
du contact. La loi de Coulomb impose alors un champ de contrainte tangentielle (compte
tenu du choix de l’orientation des axes et de la force FT ) sous la forme :
q ′ (r) = −µp0 (1 − r2 /a2 )1/2 (4.28)
Une telle distribution des contraintes est associée à un champ de déplacement à l’intérieur
du contact (r ≤ a) qui s’écrit :
πµp0
sx,a (r, θ) = − [4(2 − ν)a2 − (4 − 3ν)r2 cos2 θ − (4 − ν)r2 sin2 θ] (4.29)
32Ga

110
 4.2. Mesure du champ de déplacement à l’interface

FN

ux
sx

x
FT
δ
8

Fig. 4.17 – Schéma représentant la situation considérée dans le modèle de Cattaneo-

Mindlin et reprenant les principales notations.

où G = E/(2(1 + ν)) est le module de cisaillement, et où θ est la coordonnée angulaire
(θ = 0 correspond à la direction de la force associée). Au centre du contact, ux (r = 0) = 0
et la longueur −sx (r = 0) correspond au déplacement des points distants du contact.
En dehors du contact (r > a), le champ de déplacement a été calculé par Illingworth
(voir [58]) :
µp0 
(2 − ν) (2a2 − r2 ) sin−1 (a/r) + ar(1 − a2 /r2 )1/2

sx,a (r, θ) = −
8Ga
1  2 −1
 (4.30)
2 2 2 2 1/2
+ ν r sin (a/r) + (2a − r )(1 − a /r ) (a/r) cos(2θ)
2
Si l’on considère à présent un champ de contrainte tangentielle additionnel q ′′ sous la
forme :
c
q ′′ (r) = µp0 (1 − r2 /c2 )1/2 (4.31)
a
le champ de déplacement associé à la containte q ′ + q ′′ s’écrit, pour r < c :
c πµp0
sx (r, θ) = sx,a (r, θ) − sx,c (r, θ) = − (2 − ν)(a2 − c2 ) (4.32)
a 8Ga
Pour r > c, le déplacement est obtenu de la même manière en utilisant pour sx,a et sx,c
l’expression donnée par l’équation 4.30.
Le champ de glissement ux est donc uniformément nul pour r < c et strictement positif
pour r > c. Compte tenu des valeurs de q = q ′ + q ′′ , la condition de Coulomb est bien
respectée sur l’ensemble du contact (voir Figure 4.18) Le rayon c de la zone non-glisante
est déterminé en identifiant la force tangentielle à l’intégrale de la contrainte q(r). Cette
condition conduit à la relation :
 1/3
c FT
= 1− (4.33)
a µFN

111
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

µp/q
max
q/q u /a
max x

1 2,5
zone collée
0,8 c/a 2
a
max

0,6 1,5
, q/q

u /a
x
max

0,4 1
µp/q

0,2 0,5 zone glissante

0 0

0 0,5 1 1,5 2
r/a
(a) (b)

Fig. 4.18 – (a) Profils radiaux de µp/qmax , q/qmax et ux /a calculés, pour une valeur
particulière de c. Pour c/a < 1, ux /a = 0 et q/qmax < µp/qmax . Pour c/a > 1, ux /a 6= 0
et q/qmax = µp/qmax . (b) Schéma de la zone de contact mettant en évidence les zones
glissante et ”collée”.

4.2.4 Comparaison avec les résultats expérimentaux

Le modèle de Cattaneo-mindlin est effectué dans le cadre d’un contact lisse. Nous
avons vu dans la première partie de ce chapitre que l’existence d’une rugosité de taille finie
modifie le champ de pression de Hertz. Afin de permettre néanmoins une comparaison,
nous utilisons pour le calcul le rayon de contact effectif a∗ défini par l’équation 4.11
dont la valeur a∗ = 2.19 ± 0.01 mm est constante tout au long de l’expérience10 ; a∗ sera
simplement noté a par la suite.
La comparaison entre les mesures de champ et les résultats du modèle CM est faite
successivement sur les profils radiaux moyennés angulairement, puis sur les profils angu-
laires pour r = a. L’origine des coordonnées est choisie comme le centre de symétrie du
champ des déplacements, évalué par une méthode analogue à celle décrite pour le champ
de pression dans la partie précédente. Au cours de l’expérience, ce centre de symétrie
varie de moins de 15 µm et diffère de moins de 50 µm du centre de symétrie du champ de
pression.
Les profils radiaux pour le modèle CM sont obtenus en moyennant les équations 4.29 et

10
Notons pour comparaison que le rayon de contact de Hertz aH obtenu à partir de l’équation 4.27
vaut aH = 2.09 mm.

112
 4.2. Mesure du champ de déplacement à l’interface

4.30 par rapport à θ, ce qui conduit aux expressions suivantes des champs de déplacement :
"  1/2 #
µp0  a   a  2
ux,a (r) = − (2 − ν) (2a2 − r2 )arcsin + ar 1 − , r > a (4.34)
8Ga r r
µp0 π 
2(2 − ν)(2a2 − r2 ) , r < a (4.35)

ux,a (r) = −
8Ga 4
Le préfacteur peut être exprimé en fonction de R, µ et ν uniquement, en notant
l’identité (obtenue à partir des équations 4.27) :

p0 2
= (4.36)
Ga πR(1 − ν)

Le paramètre µ est défini en régime de glissement stationnaire comme le rapport

FT /FN . L’ajustement se fait donc sans paramètre ajustable, et sans autre paramètre
mécanique que le coefficient de Poisson ν et le rayon R de la sphère11 . La Figure 4.19
représente les profils radiaux obtenus en régime de glissement stationnaire, exprimés en
unités de a, ramenés à 0 au centre du contact pour compenser le mouvement d’ensemble
du bloc au cours du temps. Les profils calculés ont été lissés sur une taille égale à celle
de la boı̂te de corrélation utilisée lors de la DIC pour prendre en compte cet effet de
moyennage dans la comparaison.
La courbe calculée présente une allure très semblable à celle obtenue expérimentale-
ment. Il n’est pas possible de réduire le décalage en amplitude observé au voisinage de a
par un ajustement de la force FT qui résulterait d’une incertitude de mesure. La courbe
en trait pointillé montre par exemple le résultat correspondant à une valeur de FT réduite
de 5%. De manière analogue, un ajustement de a autour de la valeur extraite du profil de
pression ne permet pas de faire coı̈ncider les deux profils.
En régime de charge transitoire, la même comparaison est mise en oeuvre en consi-
dérant cette fois l’équation 4.32 (Figure 4.20). La valeur de c est mesurée en chaque
point à partir de la valeur de FT correspondante via la relation 4.33. Le coefficient µ est
maintenant défini comme le coefficient de frottement statique FT max /FN .
Pour les profils expérimentaux, la valeur du déplacement en r = 0 est ramenée à 0 afin
de s’affranchir de la déformation élastique de la couche rugueuse (cet effet sera discuté
plus loin). Les profils ont par ailleurs été décalés verticalement pour faciliter la lisibilité de
la figure. A nouveau, les profils de déplacement sont bien reproduits par les résultats du
modèle sans paramètre ajustable. En particulier la taille de la zone non glissante mesurée
est très voisine de celle prédite par le modèle. Notons cependant que les profils calculés sont
de façon systématique supérieurs à ceux mesurés dans la zone périphérique du contact.
Cet écart peut être interprété comme résultant de l’existence d’une zone de pression non
nulle pour r légèrement supérieur à a. Cette caractéristique du champ de pression, qui a
été mise en évidence à la partie 4.1 (voir Figure 4.7), est associée à la rugosité du substrat
et n’est donc pas prise en compte dans le modèle CM. Notons également que le raccord
entre les zones glissante et non glissante est plus doux sur les profils expérimentaux. Cette
11
En particulier l’identité 4.36 permet d’éliminer le module de Young E pour lequel l’incertitude de
mesure est importante.

113
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

0,012
DIC
Cattaneo-Mindlin
0,01 Cattaneo-Mindlin 0.95

0,008
u /a

0,006
x

0,004

0,002

0
0 0,5 1 1,5
r/a
Fig. 4.19 – Profil radial du champ de déplacement en régime de glissement stationnaire :
mesuré par DIC en trait plein, calculé à partir du modèle C-M en pointillés fin, calculé à
partir du modèle C-M en supposant une erreur de 5% sur la valeur de FT stat en pointillés
épais. La position latérale et le déplacement sont exprimés en unités de a.

différence ne peut être attribuée au lissage intrinsèque à la méthode de DIC puisqu’un

lissage identique a été appliqué sur les profils calculés.
Avant de décrire les profils angulaires, il est utile de commenter la résolution qu’au-
torise la mesure radiale. Au paragraphe 4.2.2, nous avons indiqué que la résolution de
mesure sur chaque boı̂te de corrélation était de 250 nm. Chaque point des profils radiaux
correspond à la moyenne du déplacement sur un nombre de boı̂tes indépendantes égal
à N = 2πr/λ où r est la distance
√ radiale et λ = 150 µm. L’incertitude de mesure sur
u(r) est alors égal à 250 nm/ N . Pour r = a et N = 86, l’incertitude est de ±27 nm.
La Figure 4.21 montre le profil radial de déplacement pour une force FT = 0.07FN et
démontre que cette résolution est effectivement atteinte. La méthode décrite permet donc

114
 4.2. Mesure du champ de déplacement à l’interface

Fig. 4.20 – Profils radiaux du champ de déplacement mesurés par DIC en trait plein, et
calculé à partir du modèle C-M en pointillés, pour les points de la charge représentés sur
la Figure 4.13. La position latérale et le déplacement sont exprimés en unités de a. Les
profils successifs sont décalés verticalement d’une valeur croissante pour la clarté de la
représentation.

d’atteindre des résolutions autorisant la mesure d’effets extrêmement fins sur le champ de
déplacement à l’interface.
La dépendance angulaire des champs de déplacement peut également être comparée
pour r = a à partir de l’expression 4.29 prise en r = a :
µp0 a
sx,a (r = a, θ) = − [2(2 − ν) + νcos2θ] (4.37)
32G

115
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

Fig. 4.21 – Profils radiaux de pression mesurés pour FT = 0 N et FT = 0.016 N . Le

déplacement est donné en µm, pour illustrer la sensibilité de la mesure.

La Figure 4.22 montre les profils angulaires, dont la valeur moyenne est ramenée à 0,
pour les mêmes valeurs de FT qu’à la Figure 4.20, et pour une normalisation identique. De
façon cohérente avec les observations faites sur les profils radiaux d’une surestimation par
CM du déplacement moyen en r = a, les amplitudes de variations angulaires calculées sont
supérieures à celles mesurées. La dépendance globale en cos2θ est correctement reproduite,
mais l’on notera cependant que le déplacement à l’avant du contact (θ = 0) est plus élevé
qu’à l’arrière (θ = π). Nous n’avons pas à ce stade d’interprétation de cette asymétrie.

116
 4.2. Mesure du champ de déplacement à l’interface

Fig. 4.22 – Profils angulaires du champ de déplacement mesurés par DIC en trait plein,
et calculé à partir du modèle C-M en pointillés, pour les points de la charge représentés
sur la Figure 4.13. L’angle est exprimé en rad/π et le déplacement est exprimé en unités
de a. L’angle 0 correspond à la direction du mouvement. Pour chaque profil la valeur
moyenne a été soustraite. Les profils expérimentaux correspondent à une moyenne sur
0.87a < r < 1.13a. L’incertitude angulaire est de 0.1 rad.

4.2.5 Elasticité en cisaillement de la couche rugueuse

La méthode de mesure présentée revient à évaluer en chaque point le déplacement
moyen de la couche rugueuse, d’épaisseur typique σ = 1.28 µm. En effet les centres dif-
fuseurs qui servent de traceurs pour la DIC sont répartis sur l’ensemble de l’épaisseur de

117
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

cette couche. Il en résulte que même en l’absence de glissement du sommet des aspéri-
tés en contact réel, un déplacement non nul peut être mesuré qui traduit le cisaillement
élastique de la couche. Celui-ci peut être estimé de l’ordre de ux /σ. La Figure 4.23(a)
montre le déplacement moyen au centre du contact12 (r < 0.15a), en fonction de la force
tangentielle appliquée. Au delà de FT max , en régime de glissement stationnaire, la vitesse

4
1,6 10
0,6
40
4
0,5 1,4 10
u(r=0) (µm)

0,4
4
30 1,2 10
0,3

q(r = 0) (Pa)
4
u(r=0) (µm)

0,2 1 10
0,1
20 8000 4
0 2 10
0 0,05 0,1 0,15
F (N)
T 6000 1,5 10
4

10 1 10
4

4000
5000
2000
0 0
0 5 10 15 20 25
0
0 5 10 15 20 25 0 0,2 0,4 0,6 0,8 1

Temps (sec) ε = u/σ (r=0)

c

(a) (b)

Fig. 4.23 – (a) Déplacement moyen au centre du contact au cours du temps. Après
t = 19 sec, on observe un déplacement macroscopique à vitesse V = 4 µ[Link]−1 imposée
par le moteur. L’insert représente le déplacement moyen au centre du contact en fonction
de la force tangentielle appliquée au cours de la phase de charge. (b) Déformation moyenne
ǫc au centre du contact en fonction de la contrainte q(r = 0). La relation est de type élasto-
plastique : linéaire de pente 23.6 kP a à faible déformation ; le seuil en contrainte se situe
à 22 kP a.

du centre du contact correspond exactement à la vitesse d’entraı̂nement imposée. Durant

la charge transitoire, lorsque la zone centrale est non glissante, la déformation élastique
se traduit par un accroissement du déplacement avec la force tangentielle.
Il est tentant d’utiliser cette mesure de déplacement dans la zone non-glissante du
contact pour évaluer les propriétés rhéologiques de cette couche. Nous faisons pour cela
l’hypothèse que la contrainte au centre du contact est en première approximation donnée
par CM et peut alors être évaluée à q(r = 0) = µp0 (1 − c/a) où µp0 = 3µFN /(2πa2 ) =
22 kP a. La Figure 4.23(b) montre l’évolution de cette contrainte au centre en fonction de
la déformation estimée de la couche ǫc = u(r = 0)/σ.
Ce graphe caractérise un comportement de type élasto-plastique de la couche rugueuse,
avec un module de cisaillement effectif kc = q(r = 0)/2ǫc = 11.8 kP a et un seuil en
contrainte égal à 22kP a (correspondant à une déformation de l’ordre de 1). Cette valeur est
à comparer au module de cisaillement du matériau massif G = E/(2(1 + ν)) = 0.73 M P a.
12
Cette grandeur a été soustraite des profils radiaux précédemment discutés.

118
 4.2. Mesure du champ de déplacement à l’interface

Elle dépend a priori de la pression à laquelle est soumise la couche. Cette dépendance
pourra être obtenue en analysant ces mesures pour différentes positions dans le contact
(correspondants à différents points dans le profil de pression), et pour différentes charges
normales.
Nous pouvons à présent identifier deux origines distinctes pour le désaccord observé
entre nos mesures et les résultats du calcul du modèle CM, qui résultent toutes deux de la
rugosité de la surface élastique. La première tient à la forme du champ de pression au sein
du contact qui diffère du profil de Hertz supposé par CM, comme nous l’avons montré à
la partie 4.1. La seconde est liée à la rhéologie en cisaillement de l’interface frottante ; CM
fait l’hypothèse d’une réponse purement plastique dont le seuil est fixé en chaque point à
µp ; la couche rugueuse présente au contraire un comportement élasto-plastique dont on
peut supposer que le seuil est similaire mais dont le module de cisaillement est fini et a
priori dépendant de la pression locale (comme observé par Berthoud et Baumberger pour
une interface PMMA-PMMA [59]).

Conclusion
Nous avons mis au point deux méthodes optiques permettant d’accéder simultanément
aux champs de pression et de déplacement à l’interface d’un bloc élastomère rugueux. La
donnée de ces deux champs suffit à caractériser de manière univoque l’état mécanique
du bloc élastique. Ces mesures offrent des résolutions spatiales suffisantes pour mettre en
évidence des modulations des champs de contrainte et de déplacement sur des échelles de
l’ordre de 100 µm.
La mesure du champ de pression a permis le premier test direct du modèle de Greenwood-
Tripp pour un contact rugueux sphère-plan. L’ajustement de nos résultats à partir de ce
modèle, effectué sans paramètre ajustable, conduit à un accord satisfaisant sur l’ensemble
de la gamme des charges normales exercées. Un écart significatif est néanmoins observé,
qui traduit les limites de ce modèle statistique pour décrire le comportement de couches
rugueuses réelles. A cet égard, cette expérience offre un test simple pour des modèles
raffinés de compressibilité d’une couche rugueuse.
La DIC se révèle être une technique puissante de mesure du champ de déplacement.
La résolution sub-micronique atteinte nous a permis une comparaison quantitative avec
le modèle de Cattaneo-Mindlin qui décrit la transition charge-glissement en géométrie
sphère-plan. Là encore, l’accord est globalement satisfaisant ; les écarts constatés sont
essentiellement liés à la rugosité de l’élastomère, qui modifie le champ de pression de
Hertz et la loi de comportement de Coulomb au fondement du modèle. L’écart à Hertz
est directement identifiable par la méthode de la première partie. La loi de comportement
de la couche rugueuse, de type élasto-plastique, a quant à elle été mise en évidence en
comparant le déplacement moyen de la couche et la contrainte tangentielle dans la zone
centrale du contact, tout au long de la charge.
Plusieurs caractérisations rhéologiques d’une interface frottante PMMA-PMMA ru-
gueuse ont été précédemment réalisées par application d’une force tangentielle continû-
ment croissante [59] ou oscillante [60] sur le contact. La déformation de la couche est
obtenue par une mesure quasi-nanométrique du déplacement en masse du patin frottant.

119
Chapitre 4. Mesures optiques à une interface rugueuse

Cette méthode ne peut être mise en oeuvre que pour des systèmes rigides, pour lesquels la
déformation macroscopique peut être considérée comme négligeable devant celle de l’in-
terface frottante. Par ailleurs, elle implique de considérer un comportement homogène de
l’ensemble du contact. Par contraste, la méthode mise en oeuvre ici permet d’identifier
à la fois la déformation de la couche dans les zones collantes, et le champ de glissement
dans le reste du contact (ainsi que le champ de déplacement en dehors du contact). Cette
mesure est résolue spatialement et permet donc de mesurer des déformations inhomogènes
au sein du contact.
Du point de vue théorique, il devrait être possible d’adapter l’approche de Cattaneo-
Mindlin pour prendre en compte un champ de pression différent de celui de Hertz, et une
loi de comportement de la couche déterminée empiriquement. La méthode de résolution
s’apparenterait à celle développée par Greenwood-Tripp sous charge normale. Il s’agirait
de déterminer itérativement le champ de contrainte de cisaillement et le champ de dépla-
cement de la surface nominale qui garantisse à la fois l’équilibre mécanique macroscopique
du bloc élastomère et la loi de comportement locale en cisaillement de la couche.
Cette technique de mesure optique du champ de déplacement peut être appliquée sans
aucune modification à des situations dynamiques complexes (transition de stick-slip, force
tangentielle oscillante,etc...), la fréquence accessible étant uniquement limitée par celle de
l’acquisition des images par la caméra. Elle permettrait également de mesurer les champs
de déplacement résiduels associés à un cycle en contrainte, par simple comparaison de
deux images prises à la même contrainte tangentielle avant et après la séquence de charge.

120
Conclusion

Au cours de cette thèse, nous avons développé deux dispositifs expérimentaux per-
mettant des mesures locales de contrainte et de déplacement pour un contact étendu
élastomère-verre.

Le premier dispositif est fondé sur un principe de fonctionnement biomimétique de

l’extrémité du doigt humain : il est constitué d’un microcapteur de forces MEMS noyé
sous un film de PDMS réticulé d’épaisseur millimétrique. Ce micro-capteur permet une
mesure locale des trois composantes de la force moyennée sur une surface d’ordre milli-
métrique.

• Dans la première partie, nous avons déterminé les fonctions d’appareil qui per-
mettent de relier les mesures effectuées à l’aide de ce capteur aux champs des
contraintes à la base du film élastique. Ces fonctions ont été déterminées à par-
tir des champs mesurés en réponse à une indentation quasi-ponctuelle de la sur-
face du film élastique. Ces fonctions ont été ensuite testées dans le cas de contacts
sphère-plan sous charge normale, en comparant les mesures aux résultats d’un calcul
par éléments finis. La mesure du champ de pression apparaı̂t robuste : elle permet
notamment de différencier des conditions aux limites différentes (glissante et frot-
tante). La mesure en contrainte tangentielle est elle perturbée par les gradients de
pression qui peuvent s’exercer sur la membrane sensible du capteur et produisent
un couple équivalent à une contrainte tangentielle. Cette mesure permet néanmoins
de comparer les profils de contraintes tangentielles au sein d’une classe de contacts
pour lesquels de tels gradients restent suffisamment faibles. Cet artefact devrait être
réduit dans la prochaine génération de capteurs car il est directement lié à la taille
finie de la membrane sensible dont le rayon sera réduit d’un facteur 3. Cette minia-
turisation devrait permettre également, moyennant une réduction de l’épaisseur du
film élastomère, d’améliorer la résolution spatiale de la mesure.

• Dans la deuxième partie, nous avons pu mesurer point par point l’évolution du
champ des contraintes à la base du film lors d’une expérience de transition charge-
glissement. Le régime stationnaire a été étudié de façon extensive en reconstruisant
les profils de contraintes spatiaux à partir des séquences temporelles mesurées lors
du passage du contact au dessus du capteur. En géométrie cylindre-plan, les profils
obtenus ont pu être confrontés à un modèle semi-analytique développé au labora-
toire par E. Katzav et M. Adda Bedia. Ce modèle, fondé sur une hypothèse de loi
de comportement de Coulomb locale, permet de rendre compte correctement des

121
Conclusion

champs mesurés, sans paramètre d’ajustement.

• Dans la troisième partie, nous nous sommes intéressés aux fluctuations de contraintes
mesurées en un point du contact lors du frottement d’une surface de rugosité pé-
riodique de l’ordre de 100 µm de période. Le spectre temporel des signaux mesurés
montre une signature caractéristique du spectre spatial de la surface frottée. Nous
avons proposé un modèle simple permettant, sous certaines conditions, de prédire le
spectre temporel du signal des contraintes locales à partir des caractéristiques spec-
trales de la rugosité du substrat. La fonction de filtrage spectral qui définit cette
relation dépend de la fonction de réponse du capteur à une indentation ponctuelle de
l’interface, mais également des caractéristiques de l’enveloppe du champ de pression
en surface. En particulier, l’amplitude du spectre à fréquence élevée est maximale
lorsque le capteur se trouve à la vertical du bord du contact.
Dans le cadre de la perception tactile, ce résultat suggère que les conditions d’ex-
ploration tactile (notamment la force normale exercée par le doigt sur le substrat)
pourrait servir à moduler cette fonction de filtrage spectrale afin d’optimiser la dé-
tection des textures. En outre, cette approche suggère un rôle possible pour les
empreintes digitales qui, en modulant l’enveloppe du champ de pression nominal,
permettraient d’amplifier les fluctuations de contraintes autour des fréquences de
résonance des terminaisons nerveuses sensibles aux vibrations.

• Dans la dernière partie, nous avons décrit une expérience d’imagerie optique par
transmission au travers d’un contact élastomère-rugueux/sphère-lisse qui permet de
mesurer simultanément les champs de pression (via la mesure de la distribution des
aires de contact réel) et de déplacement à la surface du contact avec une résolu-
tion spatiale de l’ordre de 100 µm. Les profils de pression obtenus reproduisent très
correctement les résultats du modèle de Greenwood-Tripp qui prédit le champ de
pression à une interface rugueuse en géométrie de Hertz. La mesure du champ de
déplacement permet d’atteindre une résolution de 250 nm : celle-ci a permis une
comparaison extrêmement fine des profils de déplacement obtenus avec le modèle
de Cattaneo-Mindlin qui décrit l’évolution des champs mécaniques dans un contact
de Hertz lisse en régime de transition charge-glissement. Cette résolution a permis
également de mettre en évidence et de caractériser la déformation élastique locale
de la couche rugueuse dans la zone du contact n’ayant pas encore glissée.

Perspectives

Les possibilités de mesures offertes par le capteur MEMS sont aujourd’hui limitées par
ses dimensions latérales et surtout par le fait que nous ne disposons que d’un seul point de
mesure. Mais les résultats déjà obtenus permettent d’envisager les perspectives qu’offrira
l’utilisation de barettes de 1×10 ou 3×10 de ces capteurs sur des dimensions réduites d’un
facteur 3, qui devraient être disponibles sous peu. D’une part, il deviendra possible d’étu-
dier des phénomènes de glissement transitoires en suivant dynamiquement le champ des
contraintes, ce que les méthodes de reconstruction des profils proposées ici ne permettent
pas. Des analyses de corrélations temporelles et spatiales entre capteurs voisins pourraient

122
 Conclusion

également permettre d’identifier le passage de défauts individuels sur le substrat. Dans le

contexte de l’analyse spectrale des signaux de contraintes lors du frottement de surfaces
rugueuses, un tel disposif permettrait de tester directement les modèles de filtre spectral
dont une version simple a été proposée au chapitre 3. En effet, nous aurions alors accès
à la fois à l’enveloppe du champ de contraintes et aux modulations temporelles à toutes
fréquences en différents points de mesures. Il serait également possible de tester l’effet
d’une texturation régulière de la membrane polymère, simulant les empreintes digitales,
sur l’amplitude du spectre temporel des contraintes en frottement.
Les méthodes de mesures optiques développées à la fin de ce document ne peuvent
pas à ce stade être couplées aux mesures de contraintes par les capteurs MEMS, car elles
supposent que les deux substrats en regard soient transparents. Il est cependant envisa-
geable, au moins pour la mesure du champ des déplacements qui nécessite essentiellement
l’existence de fluctuations d’intensité à l’interface au contact, de réaliser cette mesure à
partir des images obtenues en réflexion.
A elles-seules, ces deux techniques optiques offrent cependant des possibilités impor-
tantes pour tester les modèles microscopiques de couche élastique. En particulier, il devrait
être possible d’extraire des expériences de mise en charge, pour différentes charges nor-
males, un comportement empirique du module élastique de la couche sous toute pression.
Cette loi de comportement, qui permet de régulariser la loi de Coulomb, pourrait être
implémentée dans un modèle de Cattaneo-Mindlin modifé à partir du champ de pres-
sion mesuré. Bien d’autres configurations peuvent également être étudiées avec peu de
modification du montage actuel : les champs de glissement résiduels associés à un cycle
de charge de faible amplitude, les processus de fluage sous contraintes stationnaires, la
perte de symétrie du champ de glissement associé à une épaisseur de couche finie, et ses
conséquences en terme de coefficient de friction.
Ces deux méthodes permettent également d’envisager une étude systématique de la
réponse mécanique d’une couche rugueuse, en enfoncement et en cisaillement, en fonction
de ses caractéristiques géométriques (les dimensions spatiales des aspérités) et statistiques
(la distribution des hauteurs de la couche). Au delà des couches rugueuses aléatoires, il est
également envisageable d’étudier la réponse d’une couche patternée permettant d’imposer
la géométrie des défauts, sous forme de plots aléatoires de même taille par exemple [34].
L’imagerie de contact permettrait alors non plus de mesurer une déformation moyenne
de la couche, mais de suivre le comportement individuel de défauts, afin de mettre en
évidence d’éventuels comportements collectifs.

123
Conclusion

124
Annexe A

Annexes au chapitre 1

A.1 Résumé de la théorie du contact de Hertz

En 1896, Hertz a calculé le champ des contraintes associées à un contact élastique sans
frottement entre deux objets lisses, dont on connaı̂t la forme et les propriétés mécaniques
[10]. Ce problème peut se ramener à l’étude du contact entre un plan rigide et un ellipsoı̈de
élastique. Pour simplifier, nous présenterons les résultats dans le cas particulier d’une
sphère élastique de module de Young E, de coefficient de Poisson ν et de rayon de courbure
R au contact avec un plan rigide (voir Figure A.1). Lorsque la sphère est pressée contre

FN

R ~L

2a
δ

Fig. A.1 – Les grandeurs globales dans le problème du contact de Hertz entre une sphère
élastique et un plan rigide.

le plan rigide sous charge normale FN , elle s’enfonce d’une distance δ pour former une
zone de contact circulaire de rayon a. Lorsque a << R, pour des solides de taille L >> a,

125
Annexes au chapitre 1

Hertz a démontré les relations suivantes :

1/3
3(1 − ν 2 )FN R

a= (A.1)
4E
1/3
a2 9(1 − ν 2 )2 FN2

δ= = (A.2)
R 16RE 2

Le champ de pression à l’interface s’écrit alors en fonction de la distance r au centre

du contact :

p(r) = p0 (1 − (r/a)2 )1/2 (A.3)

où
1/3
6FN E 2

p0 = (A.4)
π 3 R2 (1 − ν 2 )2

126
 Annexes au chapitre 1

A.2 Réponse visco-élastique du PDMS

Le module élastique G′ et le module de pertes G′′ du PDMS ont été mesurés dans un
rhéomètre à plans parallèles, adapté à la mesure sur des échantillons solides (Dynamic
Analyzer RDA II, Rheometrics) chez Hélène Montès, au Laboratoire de Physico-chimie
des Polymères et des Milieux Dispersés de l’ESPCI. Les échantillons sont des pastilles
cylindriques de rayon 8mm et d’épaisseur 2mm obtenues en poinçonnant un film plan
de PDMS. Chaque échantillon est collé entre les deux plans du rhéomètre par une colle
cyano-acrylate Loctite 406 et son promoteur d’adhésion Loctite Primer 770.
Les expériences consistent à réaliser une déformation sinusoidale d’amplitude imposée
0.007, pour des pulsations ω = 2πf avec f variant entre 0.01Hz et 10Hz. Chaque ex-
périence a été réalisée à une température donnée T entre −50o C et 30o C par pas de
10o C. Nous avons utilisé l’équivalence temps-température vérifiée pour les matériaux
visco-élastiques [61] pour construire une courbe maı̂tresse (G′ (ω), G′′ (ω)). Le principe
consiste à se donner une température de référence To , choisie comme la température d’uti-
lisation de l’échantillon, et à translater en fréquence chaque couple (G′ /T, G′′ /T ) jusqu’à
le raccorder avec (G′ /To , G′′ /To ) [62]1
En choisissant To = 20o C, nous avons obtenu la courbe maı̂tresse de la Figure A.2.

1
Lorsque To est choisie égale à la température de transition vitreuse du matériau, cette transformation
porte le nom de WLF.

127
Annexes au chapitre 1

PDMS Sylgard 184

7
Courbe maîtresse à T = 20°C
o
10

6
10
G', G" (Pa)

5
10

4
10 4 6
0.01 1 100 10 10
ω ([Link] )
-1

Fig. A.2 – Dépendance de G′ et G′′ avec la pulsation de stimulation ω, pour une tempé-
rature de 20o C.

128
Annexe B

Annexes au chapitre 2

B.1 Modèle KA
We perform an elastostatic analysis of

Fig. B.1 – The problem

B.1.1 Formulation of the boundary value problem

From a mathematical point of view, we model the system as a linear incompressible
elastic solid (the thin layer whose thickness is h) loaded by a circular rigid body (the
indenter) moving at constant velocity v on its upper surface. An important assumption
in our modelling is of quasi-static motion. This assumption is valid since the time it takes
for waves to travel across the film is proportional to h/c which is much smaller than the
characteristic time related to the motion of the indentor ah/v, where 2 × a × h is the
length of the contact zone. In reality a and actually also δ, the maximum indentation, are
selected by the total force applied by the indenter to the thin film.

129
 Annexes au chapitre 2

To make the problem dimensionless, we rescale the coordinates x and y using h, we

also rescale the displacements in the elastomeric film ui using µh2 /2R (µ is the shear
modulus), and , since we assume that our system is a linear incompressible elastic solid.
And last, we rescale the stresses by µh/2R. Now, we can write the constitutive equation
for the adhesive elastic layer as
∂ui ∂uj
σij = −P δij + + , (B.1)
∂xj ∂xi

The equilibrium equations in the film and the condition of incompressibility are

∇P = △~u , (B.2)
∇ · ~u = 0 . (B.3)

which when combined leads to a Laplace equation for the pressure in the layer,

△P = 0 . (B.4)

To complete the formulation of the problem, we specify the boundary conditions

ux (x, 0) = uy (x, 0) = 0, (B.5)

σxy (x, 1) + f σyy (x, 1) = 0, (B.6)
σyy (x, 1) = 0 f or |x| > a , (B.7)
uy (x, 1) = −u(x) f or |x| < a , (B.8)

where the conditions (B.5) reflects the attachment of the elastic layer to the substrate
y = 0. The rest of the conditions are a consequence of the continuity of displacement and
traction at the interface y = 1. In particular, condition (B.6) follows from the assumption
of a Coulomb-like friction law. Since the traction are free outside the area of contact
the combination of (B.6) and (B.7) insures the shear free condition for |x| > a. Finally,
Eq. (B.8) is the definition of u(x) which is just the displacement induced by the indentor.
For a smooth indentor one expects a parabolic profile u(x) = 1 − α(x − x0 )2 , where α
and x0 are selected by the system and therefore related to the total force applied by the
indenter. When the indentor is not in motion, there is a frictionless contact zone which is
equivalent to f = 0, and thus in this case one has x0 = 0. The only control parameter of
the problem is thus α, which can be related to the physical parameters by

h2
α=
2Rδ
where R is the radius of the indentor.

B.1.2 Resolution of the boundary value problem

We begin by a sketch of the solution. In principle, in order to solve the problem, given
a value of the friction coefficient f , one would have to prescribe the parameters a, x0
and α which are determined by the total force exerted by the indenter. However, from a

130
 Annexes au chapitre 2

technical point of view it is more natural to pick a value of a (and f ), the contact size,
and to solve the boundary value problem for α, x0 and the total force F . The next step
would be to invert this result in order to get a, x0 and α as functions of F and f . The final
step would be that of determining the physical observables σyy (x, 0) and σxy (x, 0) (at the
bottom of the layer) for relevant values of the friction coefficient f and the applied total
force F . Therefore, in the following, we will assume that f and a are given and we will
determine everything in terms of them.
The strip geometry and the boundary conditions suggest the use of Fourier sine and
cosine transforms [63]. Each function A(x, y) may be decomposed into
Z ∞ Z ∞
(c)
A(x, y) = A (k, y) cos kx dk + A(s) (k, y) sin kx dk. (B.9)
0 0

Given the equilibrium equation (B.4) and the boundary conditions at y = 0 (Eq. (B.5))
we can write the Fourier components of the pressure P (c) , P (s) and the displacement fields
(c) (s) (c) (s)
ux , ux , uy , and uy in terms of just the four unknown functions ac (k), as (k), bc (k) and
bs (k)
P (c) (k, y) = ac (k) cosh(ky) + bc (k) sinh(ky) , (B.10)
1
u(c)
x (k, y) = [kbs (k)y cosh(ky) + (bs (k) + kas (k)y) sinh(ky)] , (B.11)
2k
1
u(c)
y (k, y) = [kac (k)y cosh(ky) − (ac (k) − kbc (k)y) sinh(ky)] , (B.12)
2k
and
P (s) (k, y) = as (k) cosh(ky) + bs (k) sinh(ky) , (B.13)
1
u(s)
x (k, y) = − [kbc (k)y cosh(ky) + (bc (k) + kac (k)y) sinh(ky)] , (B.14)
2k
1
u(s)
y (k, y) = [kas (k)y cosh(ky) − (as (k) − kbs (k)y) sinh(ky)] . (B.15)
2k
Furthermore, applying the boundary condition (B.6) at y = 1 allows us to fix two other
constants of integration, i.e. we can express ac (k), as (k), bc (k) and bs (k) (and therefore
(c) (s)
every quantity of interest) in terms of just σc (k) ≡ σyy (k, 1) and σs (k) ≡ σyy (k, 1). For
example, by expressing σyy (x, 1) and uy (x, 1) in terms of σs (k) and σc (k), and plugging
into the boundary conditions (B.7)–(B.8) we can get, by exploiting the parity properties
of the sine and cosine functions, the following boundary conditions
Z ∞
σc (k) cos kx dk = 0 f or |x| > a , (B.16)
Z0 ∞
σs (k) sin kx dk = 0 f or |x| > a , (B.17)
0
Z ∞
cos kx 1
[(1 + F (k))σc (k) + f G(k)σs (k)] dk = − [u(x) + u(−x)]
0 2k 2
f or |x| < a , (B.18)
Z ∞
sin kx 1
[−f G(k)σc (k) + (1 + F (k))σs (k)] dk = − [u(x) − u(−x)]
0 2k 2
f or |x| < a , (B.19)

131
 Annexes au chapitre 2

where F (k) and G(k) are given by

sinh(2k) − 2k
F (k) = −1 + , (B.20)
cosh(2k) + 1 + 2k 2
2k 2
G(k) = . (B.21)
cosh(2k) + 1 + 2k 2

This problem can be solved [63]. The two first conditions are identically satisfied by
representing
1 a
Z
σc (k) = φ(t)J0 (kt)dt , (B.22)
α 0
1 a
Z
σs (k) = tψ(t)J1 (kt)dt , (B.23)
α 0

where J0 (x) and J1 (x) are the Bessel function of the first kind. By differentiating the last
two boundary conditions with respect to x and plugging in the representation (B.23)–
(B.23) we get the following set of integral equations that fix the functions φ(t) and ψ(t)
Z x Z a Z a
φ(t)
√ dt + K1 (x, t)φ(t) dt + f K2 (x, t)ψ(t) dt = u′ (x) − u′ (−x)
2
x −t 2
0 0 0
f or |x| < a , (B.24)
Z x Z a Z a
xψ(t)
√ dt + f L1 (x, t)φ(t) dt − (1 + L2 (x, t))ψ(t) dt = u′ (x) + u′ (−x)
2
x −t 2
0 0 0
f or |x| < a , (B.25)

where
Z ∞
K1 (x, t) = F (k)J0 (kt) sin kx dk (B.26)
0
Z ∞
K2 (x, t) = t G(k)J1 (kt) sin kx dk (B.27)
0
Z ∞
L1 (x, t) = G(k)J0 (kt) cos kx dk (B.28)
0
Z ∞
L2 (x, t) = t F (k)J1 (kt) cos kx dk (B.29)
0

These are integral equations of Abel type that we can invert. As shown in [64] [65] the
inversion of the equation
Z ζ0
σ(ζ)
√ dζ = τ (ζ0 ) ζ0 > 0 (B.30)
0 ζ0 − ζ
is given by
Z ζ   Z ζ ′ 
d τ (ζ0 ) dζ0 1 τ (0) τ (ζ0 )
σ(ζ) = √ = √ + √ dζ0 (B.31)
dζ 0 ζ − ζ0 π π ζ 0 ζ − ζ0

132
 Annexes au chapitre 2

Applying this transformation gives,

Z a Z a
φ(x) + M1 (x, t)φ(t) dt + f M2 (x, t)ψ(t) dt = φ0 (x) , (B.32)
0 0
Z a Z a
ψ(x) + f N1 (x, t)φ(t) dt − N2 (x, t)ψ(t) dt = ψ0 (x) , (B.33)
0 0

where
Z ∞
M1 (x, t) = x kF (k)J0 (kt)J0 (kx) dk (B.34)
0
Z ∞
M2 (x, t) = xt kG(k)J1 (kt)J0 (kx) dk (B.35)
Z 0∞
N1 (x, t) = − kG(k)J0 (kt)J1 (kx) dk (B.36)
0
Z ∞
N2 (x, t) = −t kF (k)J1 (kt)J1 (kx) dk (B.37)
0

and
2x x u′′ (t) + u′′ (−t)
Z
φ0 (x) = √ dt = −4αx (B.38)
π 0 x2 − t2
Z x ′ 
2 d u (t) + u′ (−t)
ψ0 (x) = √ dt = 0 (B.39)
π dx 0 x2 − t2
Note here that by rescaling the functions φ(x) and ψ(x) by a factor of α, namely
φ(x) = αφ1 (x) and ψ(x) = αψ1 (x) we can eliminate α from the integral equations, and
so at the end x0 and α could be determined directly from φ1 (x) and ψ1 (x), which would
be solved without any dependence on α. The equations we have to solve are
Z a Z a
φ1 (x) + M1 (x, t)φ1 (t) dt + f M2 (x, t)ψ1 (t) dt = −4x , (B.40)
0 0
Z a Z a
ψ1 (x) + f N1 (x, t)φ1 (t) dt − N2 (x, t)ψ1 (t) dt = 0 . (B.41)
0 0

In order to determine the two remaining parameters we have to go back to Eq. (B.25)
and balance it directly at x = 0. This implies
Za
 a
Za
  
Z∞ Z Z∞
4x0 = f dt φ1 (t) G (k) J0 (kt) dk − ψ1 (t) dt− dt tψ1 (t) F (k) J1 (kt) dk 
0 0 0 0 0
(B.42)
which will determine x0 . Then, we plug in x = 0 to the derivative of Eq. (B.18), and we
get
Za Za
   
Z∞ Z∞
1 1 + F (k) G (k)
= x20 − dt φ1 (t) J0 (kt) dk  − f dt tψ1 (t) J1 (kt) dk 
α 2k 2k
0 0 0 0
(B.43)

133
 Annexes au chapitre 2

At this point the problem is basically solved, and any physical quantity can be expres-
sed as a function of φ1 (x), ψ1 (x), x0 and α. A quantity of great interest is the total force
applied to the upper layer

Z a Za
F =− σyy (x, 1) dx = −π φ1 (t)dt. (B.44)
−a
0

Also, the pressure σyy (x, 0) and the shear σxy (x, 0) at the lower layer can be expressed (af-
ter proper dimensionalization by µ (the shear modulus), by h (the width of the elastomer)
and by R (the curvature of the indenter))

 a
Za

µh 
Z
σyy (x, 0) = [Z1 (x, t) + f Z3 (x, t)] φ1 (t)dt + [−f Z2 (x, t) + Z4 (x, t)] tψ1 (t)dt
2R
0 0
(B.45)

Za Za
 
µh 
σxy (x, 0) = − [f Z5 (x, t) + Z3 (x, t)] φ1 (t)dt + [Z2 (x, t) − f Z6 (x, t)] tψ1 (t)dt
2R
0 0
(B.46)
where the Zi (x, t) are the following kernels (which do not depend on the resolution of
the unknown quantities)

Z∞
Z1 (x, t) = A (k) cos (kx) J0 (kt) dk (B.47)
0
Z∞
Z2 (x, t) = B (k) cos (kx) J1 (kt) dk (B.48)
0
Z∞
Z3 (x, t) = B (k) sin (kx) J0 (kt) dk (B.49)
0
Z∞
Z4 (x, t) = A (k) sin (kx) J1 (kt) dk (B.50)
0
Z∞
Z5 (x, t) = C (k) cos (kx) J0 (kt) dk (B.51)
0
Z∞
Z6 (x, t) = C (k) sin (kx) J1 (kt) dk (B.52)
0

134
 Annexes au chapitre 2

where A(k), B(k) and C(k) are given by

2(cosh(k) + k sinh(k))
A(k) = , (B.53)
cosh(2k) + 1 + 2k 2
2k cosh(k)
B(k) = , (B.54)
cosh(2k) + 1 + 2k 2
2(cosh(k) − k sinh(k))
C(k) = . (B.55)
cosh(2k) + 1 + 2k 2

135
Annexes au chapitre 2

136
Annexe C

Annexes au chapitre 4

C.1 Correction au module de Young en épaisseur fi-

nie
L’épaisseur finie du bloc élastique modifie le champ de pression interfacial par rapport
à un contact de Hertz, d’autant plus que la charge normale exercée est importante. D’après
Dimitriadis et al. [66], la correction à apporter à la relation force-déplacement FN (δ) pour
un contact entre une sphère de rayon R et un film d’épaisseur h lié à sa base, indenté de
la distance δ, a pour expression :
16E 1/2 3/2 
1 + 1.133χ + 1.283χ2 + 0.769χ3 + 0.0975χ4

FN = R δ (C.1)
9
√
où χ = hRδ . Au cours des expériences réalisées au Chapitre 4.1, δ < 150µm, soit χ < 0.45,
ce qui nous place dans le domaine de validité (χ < 1) de cette correction. Au Chapitre
4.1, elle a été utilisée sous la forme suivante :
16Ec 1/2 3/2
FN = R δ (C.2)
9
où
Ec = E(1 + 1.133χ + 1.283χ2 + 0.769χ3 + 0.0975χ4 ) (C.3)
est un module de Young effectif du bloc élastique.

Nous faisons alors l’hypothèse que le champ de pression conserve une forme Hertzienne
malgré l’épaisseur finie du bloc de PDMS. Pour tester cette hypothèse, le modèle de
Frétigny et Chateauminois (voir Chapitre 1.2.2) a été appliqué à la géométrie particulière
de notre expérience. La relation FN (δ) obtenue dans le cadre du modèle FC s’écarte au
maximum de 3% par rapport à celle proposée par Dimitriadis, dans la gamme de charge
normale exercée au cours des expériences du Chapitre 4.1.
La 
Figure C.1 représente, pour la charge normale maximale appliquée, la dépendance
2
2
p
de p0 avec ar . La quasi-parfaite linéarité de cette courbe montre que, même pour
les conditions expérimentales les plus défavorables que nous ayons réalisées, le champ de
pression conserve sa forme elliptique (Hertzienne).

137
 Annexes au chapitre 4

1
fit : y = 0,9970- 0,9981x R= 1

0,8

0,6
2
(p/p0)

0,4

0,2

0
0 0,2 0,4 0,6 0,8 1
2
(r/a)
 2
2
Fig. C.1 – Relation entre pp0 et ar pour FN = 1.4 N , calculée à partir du modèle FC.
La linéarité quasi-parfaite (voir fit) montre que le profil de pression possède une forme
elliptique.

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[64] L. Freund, Dynamic Fracture Mechanics. Cambridge University Press, 1990.
[65] I. N. Sneddon and R. P. Srivastav, “The stress field in the vicinity of a griffith
crack in a strip of finite width,” International Journal of Engineering Science,
vol. 9, pp. 479–488, May 1971. Available from : [Link]
0020-7225(71)90049-8.
[66] E. K. Dimitriadis, F. Horkay, J. Maresca, B. Kachar, and R. S. Chadwick, “De-
termination of elastic moduli of thin layers of soft material using the atomic force
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[Link]/cgi/content/abstract/82/5/2798.

143
Mécanique du contact aux échelles mésoscopiques

Deux méthodes expérimentales ont été développées pour mesurer, pour une interface
multi-contacts élastomère / verre, les champs mécaniques en volume (micro-capteur
de force MEMS noyé sous le film élastique) et à l’interface (imagerie de contact par
transmission), résolus spatialement à une échelle intermédiaire entre celle du contact
apparent et celle des micro-contacts.
La mesure MEMS a permis d’obtenir les champs de contrainte sous charge normale et en
glissement stationnaire, en très bon accord avec des modèles mécaniques simples. Pour
des substrats de rugosité périodique le lien entre spectre des contraintes et topographie
de surface a pu être interprété en termes de filtrage spectral, pertinent pour comprendre
la perception tactile.
La mesure optique a permis, en analysant la répartition spatiale de l’intensité, d’obtenir
le champ de pression de surface. Sa dépendance avec les propriétés de la couche rugueuse
a été confrontée au modèle de Greenwood-Tripp. Par suivi des aspérités, le champ de
déplacement a été mesuré avec une résolution sub-micronique et a mis en évidence la
coexistence de zones glissantes et adhérentes prédite par Cattaneo et Mindlin.

Mots-clés :
Frottement élastomère / verre, Interface multi-contacts, Capteur MEMS, Imagerie de
contact, Photolithographie douce, Perception tactile

Contact mechanics at mesoscopic length scales

Two experimental methods have been developed to measure, for an elastomer / glass
multi-contact interface, the mechanical fields inside the volume (MEMS force micro-sensor
embedded under the elastic film) and at the interface (transmitted light contact imaging),
at length scales intermediate between the apparent contact one and the micro-contacts
one.
The MEMS measurement has allowed us to obtain the stress fields under normal load and
in steady sliding regime, with a very good agreement with simple mechanical models. For
periodically rough substrates the relation between the stress spectrum and the surface
topography has been interpreted in terms of spectral filtering, relevant to understanding
tactile perception.
The optical measurement has allowed us, by analysing the spatial distribution of the
intensity, to obtain the interfacial pressure field. Its dependence with the rough layer
properties has been confronted to the Greenwood-Tripp model. By tracking the asperities,
the displacement field has been measured with a sub-micronic resolution and has shown
the coexistence of slipping and sticking zones predicted by Cattaneo and Mindlin.

Keywords :
Elastomer / glass friction, Multi-contact interface, MEMS sensor, Contact imaging, Soft
photolithography, Tactile perception