Microscopie Electronique à Balayage
et analyse EDS (MEB EDS)
Filiale de
SPECIFICATIONS
Images en électrons secondaires ou rétrodiffusés (informations topographiques + contraste de
composition) avec une résolution latérale de l’ordre du nm environ (grandissement jusqu'à 200 000)
Analyse chimique par EDX (Energy Dispersive X-ray analysis) :
Analyse élémentaire qualitative : tous les éléments sont détectables, sauf H et He, Li et Be
Seuil de détection de 0,5% atomique en moyenne, dépend de l’élément et de la matrice
Analyse quantitative : 10 à 20 % maximum d'erreur relative
Profondeur d'analyse de l'ordre du µm
Taille minimale analysable : de l'ordre du µm
Pas d'information sur la forme chimique des éléments détectés
Analyse sous vide secondaire pour analyse de solides
Analyse non destructive, sur tout type d’échantillons (nécessité de métallisation des échantillons
isolants sur appareil non environnemental).
PRINCIPE DU MEB
La surface de l'échantillon est balayée par un faisceau focalisé d'électrons monocinétiques (accélérés à
une tension de 1 à 30 kV). Ces électrons vont interagir avec la matière :
o Rétrodiffusion des électrons incidents (diffusion sans perte d'énergie),
o Emission d'électrons secondaires (électrons ayant perdu une grande partie de leur énergie
initiale, suite à une succession de chocs. Ces électrons ont une énergie cinétique faible (<
50eV),
o Emission de photons X et d'électrons Auger, ....
Les électrons secondaires et/ou rétrodiffusés sont recueillis, en synchronisant la détection (mesure
d'une intensité) au balayage du faisceau incident. On obtient ainsi une image de la surface. Le contraste
dépend du type d'électrons sélectionnés, de la tension d'accélération choisie, de la nature des atomes
présents...
On distingue les contrastes suivants :
• Contraste topographique (lié au taux d'électrons secondaires ou rétrodiffusés et à leur accès
au détecteur, en fonction de la topographie. On parle de contraste d'angle, d'ombrage, de
pointe....) : par exemple, les bords d'une sphère ou les pointes apparaissent plus brillants, les
trous apparaissent sombres,
• Contraste chimique (lié au facteur de diffusion de l'atome donc au numéro atomique). Plus
l'atome est lourd (i.e. plus le numéro atomique croît), plus le nombre d'électrons rétrodiffusés
augmente, plus la zone correspondante sera brillante.
PRINCIPE DE L EDS
Suite à l'excitation des atomes présents dans le matériau par interaction avec les électrons incidents, des
photons X sont émis (processus de désexcitation). L'analyse chimique par EDX consiste en une détection
de ces photons en utilisant un détecteur spécifique.
L'énergie de ces photons X est caractéristique des atomes dont ils sont issus, d'où la possibilité de
réaliser une analyse élémentaire (spectre = succession de pics correspondant à des photons X d'énergie
donnée donc à un élément donné). Le signal sous chaque pic de l'élément A étant proportionnel au
nombre d'atomes de type A, cette analyse peut être quantitative.
