Méthodes d'analyse de surfaces

1 Généralités
1.1 Définition du rayonnement

D’une manière générale, on peut définir un rayonnement ou radiation comme un mode de

propagation de l’énergie dans l’espace, sous forme d’ondes électromagnétiques ou de
particules. Les rayonnements ne peuvent être détectés et caractérisés que grâce à leurs
interactions avec la matière dans laquelle ils se propagent. Ils peuvent céder au milieu qu’ils
traversent, la totalité ou une partie de leur énergie au cours de ces interactions.

1.2 Classification des rayonnements

Rayonnement Ionisant : énergie suffisante pour arracher un électron à un atome du milieu

traversé.

Ex: H → H+ + e

Rayonnement non ionisants : énergie insuffisante pour arracher un électron, inférieure au

potentiel d’ionisation.

Rappel sur les ondes:

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1.3 Le rayonnement électromagnétique (REM):

Le REM est composé d’un champ électrique et d’un champ magnétique oscillants avec la
même fréquence, perpendiculaires l’un à l’autre ainsi qu’à la direction de leur propagation.
L’onde qui en résulte transporte de l’énergie dans le vide ou dans un milieu matériel sans
déplacement de matière.

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1.3.1 Spectre d’un rayonnement électromagnétique

La gamme des ondes électromagnétiques est très étendue, depuis les basses fréquences des
ondes radio jusqu’au rayons cosmiques. L’ensemble de toutes ces ondes électromagnétiques
constitue le spectre électromagnétique. On peut ainsi répartir l’intensité d’un REM en fonction
de la longueur d’onde et de la fréquence.

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En partant des ondes les plus énergétiques, on distingue successivement :

 Les rayons gamma γ [10-14m−10-12m] : ils sont dus aux radiations émises par les
éléments radioactifs. Ils sont Très énergétiques, ils traversent facilement la matière et
sont très dangereux pour les cellules vivantes.
 Les rayons X [10-12m−10-8m] : rayonnements très énergétiques traversant plus ou
moins facilement les corps matériels et un peu moins nocifs que les rayons gamma, ils
sont utilisés notamment en médecine pour les radiographies, dans l'industrie (contrôle
des bagages dans le transport aérien), et dans la recherche pour l'étude de la matière.
 Les ultraviolets [10-8m−3,8*10-7m]: rayonnements qui restent assez énergétiques, ils
sont nocifs pour la peau. Heureusement pour nous, une grande part des ultraviolets est
stoppée par l'ozone atmosphérique qui sert de bouclier protecteur des cellules.
 Le domaine visible [380nm-780nm]: correspond à la partie du spectre
électromagnétique perceptible par notre œil.
 L’infrarouge [780nm-1mm] : rayonnement émis par tous les corps dont la température
est supérieure au zéro absolu (-273°C).
 Les micro-ondes ou hyperfréquences [1mm-10cm].
 Les ondes radio [10cm− ∞].
1.3.2 Caractéristiques d’un rayonnement électromagnétique

Comme toutes les ondes périodiques elle est caractérisée par:

 Sa période T (exprimée en seconde (s)) (peu utilisée)

 Sa fréquence (exprimée en hertz (Hz))
 Sa longueur d’onde (exprimée en mètre (m))
 Son amplitude (préfère utiliser la notion d’intensité lumineuse I)
 Sa célérité c (exprimée en (m.s-1))
 Son énergie notée E (exprimée en Joules (J)).

On appelle période T la durée d'une vibration entière. La fréquence mesure le nombre de

vibration par seconde.

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La longueur d’onde représente la distance parcourue par l’onde électromagnétique pendant

une période d’oscillation.

Dans le vide, la période est donnée par la relation :

1.3.3 Energie d’une onde électromagnétique

L’onde électromagnétique permet le transport de l’énergie sous forme de paquets discrets

(discontinus) appelés quanta (photons).

Chaque quantum transporte une énergie E tel que :

h : est la constante de Planck (ℎ = 6,62. 10-34 J.S).

E en Joules (J) dans le système MKSA.
A l’échelle atomique, il est d’usage d’exprimer, l’énergie en électron-volt (eV).

1.3.4 Quantité de movement

𝑝=ℎ/𝜆
Unité : dans le système MKSA : Kg.s/m
1.3.5 DUALITE ONDE CORPUSCULE

En physique, la dualité onde-corpuscule est un principe selon lequel tous les objets de notre
univers présentent simultanément des propriétés d'ondes et de particules. C’est pourquoi
chaque objet physique doit être considéré comme particule et onde en même temps ; c.-à-d. à
chaque REM on associe une particule de masse nulle appelée photon et à chaque particule on
associe une onde dont la longueur est donnée par la relation de de Broglie.
1.3.6 Emission et absorption d’une onde électromagnétique

L’émission ou l’absorption d’ondes électromagnétiques par la matière est possible lors de

transition entre « niveaux d’énergie » différents: Le passage vers un niveau d’énergie plus bas
permet de libérer de l’énergie et donc d’émettre une onde électromagnétique. Le passage vers

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un niveau d’énergie plus élevée nécessite un gain d’énergie et donc l’absorption d’une onde
électromagnétique.

2 Interactions photons-matière

2.1 Effet Compton

L'effet Compton est la diffusion d'un photon très énergétique ( rayon X dur ou rayon γ de
longueur d'onde λ < 10-10 m environ ) sur un électron. Cette diffusion se comporte comme le
choc élastique des deux particules, elle se traduit par l’échange d'une partie de l’énergie entre
le photon et l’électron.

Diffusion compton: collision d’un photon avec un electron au repos.

Le photon incident est diffusé selon une direction θ telle que :

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Longeur d’onde de Compton:

2.2 Effet photo-électrique

Le photon incident a une énergie :

Dans le cortège électronique de l’atome-cible, chaque électron est lié au noyau avec une énergie
de liaison

- Si l’énergie du photon incident est supérieure à l’énergie d’ionisation de l’électron,

l’intégralité de l’énergie du photon incident est transférée à l’électron :

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2.3 Effet de création de paires

L’énergie du photon incident (rayon gamma) est totalement absorbée pour la création
d'une paire électron-positon. Ce processus est suivi d'une annihilation dans laquelle le positon
et un électron s'annihilent mutuellement en générant un paire de photons de 511 keV émis à
180° l'un de l'autre.

En appliquant le principe de conservation de l’énergie on :

E = (T- + m0C2 + T+ + m0C2) = T- + T+ + 2m0C2

E : énergie du photon
T- : énergie cinétique de l’électron
T+ : énergie cinétique du positon

Donc pour qu’un photon gamma puisse créer une paire électron-positon il faut que :

𝐄 ≥ 𝟐𝐦𝟎 𝐜 𝟐

2.4 Domaine de prédominance de chaque phénomène

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L'importance relative entre ces trois phénomènes dépend de la nature du matériau et de l'énergie
du photon. On constate que :

L'effet photoélectrique prédomine à basse énergie et pour les matériaux lourds (Z

élevé).
L'effet Compton est prépondérant pour les énergies intermédiaires (imagerie) et pour
les matériaux légers (faible Z).
La production de paires est le processus dominant pour les rayonnements d'énergie
supérieure à quelques MeV et pour les matériaux lourds.

2.5 Atténuation des rayons électromagnétiques

Lorsqu’un faisceau de photons traverse un milieu, un certain nombre de ces photons est absorbe
suite à leurs interactions avec le milieu, alors que le reste de photons ne subira aucune
interaction et sortira du milieu avec les mêmes caractéristiques.

 Le phénomène d’absorption des photons est appelé atténuation.

 Les photons qui n’ont pas été attenue sont appelés photons transmis.

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𝒅𝑵 = 𝝁. 𝑵. 𝒅𝒙
𝒅𝑵
= 𝝁.dx
𝑵

Donc le nombre de photons transmis est égale à :

𝑵 = 𝑵𝟎 𝒆−𝝁𝒙
Cette loi peut être utilisée pour calculer l’intensité transmise du faisceau (nombre de photons
par unité du temps) :
𝑰 = 𝑰𝟎 𝒆−𝝁𝒙

𝝁 : Le coefficient d’atténuation qui représente la probabilité d’adsorption d’un photon par unité
d’épaisseur. Il dépend de la nature du milieu et de l’énergie du rayonnement.

𝝁 = 𝝁𝒑𝒉 + 𝝁𝒄 + 𝝁𝒑

Application: Voir séance de cours

3 Interactions des particules chargées avec la matière

3.1 Interaction électron – matière

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Lorsqu'un faisceau électronique d'énergie E0 pénètre dans un échantillon solide, il subit un

certain nombre d'interactions, élastiques et inélastiques1.

3.1.1 Interaction élastique

[Link] Principe

Lors d'une interaction élastique, l'électron primaire interagit avec un noyau des atomes du

matériau. Il ne perd pas, ou peu d'énergie mais il subit une diffusion élastique, c'est-à dire que

sa direction est modifiée, sans perte d'énergie.

[Link] Électrons rétrodiffusés

1
Diffusion sans perte d’énergie = diffusion élastique
Diffusion avec perte d’énergie = diffusion inélastique

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Résultent de l’interaction des électrons du faisceau avec des noyaux d’atomes de l’échantillon,

réagissant de façon quasi élastique. Ces électrons sont réémis dans une direction proche de leur

direction d’origine avec une faible perte d’énergie. Les électrons rétrodiffusés sont caractérisés

à la sortie de l'échantillon par : une énergie cinétique élevée, et une bonne sensibilité à

la composition chimique locale. Ils permettent d'observer le contraste de composition

chimique, c'est-à-dire une coupe de la surface du matériau où on voit la position des différents

éléments. Les surfaces blanches représentent les atomes les plus lourds.

[Link] Effets sur le matériau

L'interaction élastique produit tout de même certains effets sur le matériau car une toute petite

partie de l'énergie de l'électron est transférée :

 Effets thermiques (0,01 à 0,1 eV) : L'atome oscille légèrement par rapport à sa position

d'origine. Cela crée des vibrations dans le solide (phonons) qui génèrent de la chaleur.

C'est un effet parasite en microscopie, mais on se sert de cette propriété dans des fours

électroniques industriels.

 Effets chimiques (3 à 5 eV) : Une liaison faible se rompt à cause de l'apport d'énergie.

Cet effet a peu de conséquence.

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 Effet de déplacement atomique (10 à 30 eV) : L'atome reçoit une énergie suffisante

pour être déplacé ; la structure du matériau s'en trouve modifiée. C'est un problème en

microscopie.

3.2 Interaction inélastique

3.2.1 Principe

Lors d'une interaction inélastique, l'électron primaire interagit avec les électrons des atomes du

matériau. Celui-ci transfère alors une grande partie de son énergie. Plus le transfert est

important, plus l'angle de diffusion est important.

3.2.2 Effets sur le matériau

 Excitation d'un électron

L'électron acquière une énergie suffisante pour aller dans une orbitale plus haute en énergie.
Pour revenir à sa position d'origine, l'électron émet un photon, le plus souvent un photon X
(Rayonnement X). L'énergie de ce photon ne prend alors que des valeurs précises,
caractéristiques de l'élément des atomes du matériau. On peut alors faire une analyse qualitative
et semi-quantitative en détectant ces photons.

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 Éjection d'un électron secondaire

Lorsqu'un électron est peu lié, celui-ci peut acquérir une énergie cinétique suffisante pour être
éjecté. On l'appelle alors électron secondaire. Il a une énergie plus faible que les électrons
primaires. Lors d’un choc entre les électrons primaires du faisceau et les atomes de
l’échantillon, un électron primaire peut céder une partie de son énergie à un électron peu lié de
la bande de conduction de l’atome, provoquant ainsi une ionisation par éjection de ce dernier.
On appelle électron secondaire cet électron éjecté. Chaque électron primaire peut créer un ou
plusieurs électrons secondaires. Les électrons secondaires sont caractérisés à la sortie de
l'échantillon par : une zone d'émission peu supérieure à la zone d'impact primaire, une faible
énergie cinétique, et une information topographique de l'échantillon.

 Ionisation
Lorsqu'un électron est éjecté de son cortège, l'atome est sous forme ionisée. Pour revenir à son

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état normal, un électron peut récupérer sa place par émission d'un photon X. Celui-ci peut aussi
être utilisé à des fins analytiques. L'atome peut aussi récupérer son état en éjectant un électron
peu lié, appelé électron Auger. Dans certaines spectroscopies, on détecte ces électrons pour
identifier les éléments du matériau.

3.3 Interaction Ion – matière

Un des points les plus importants dans l'interaction ion/matière est de pouvoir décrire la
distribution des ions implantés, qui est, bien-sûr, reliée étroitement à la perte d'énergie des ions
au cours de leur parcours dans le solide.

3.3.1 Principe

Un ion est un atome qui a perdu des électrons. Il est caractérisé par un numéro atomique Zp
(nombre de protons du noyau), un nombre de masse Ap (nombre de protons + nombre de
neutrons) et une charge Qp (nombre d'électrons perdus). Lorsqu'ils sont accélérés à moyenne
et haute énergie1 (de 0, 5 à 400 MeV/n), les ions interagissent essentiellement avec les électrons
de la matière traversée. Les électrons concernés par cette interaction coulombienne peuvent
être élevés vers des états de plus haute énergie et même être éjectés de leurs atomes. On parle
alors de processus d'ionisation. Les ions sont donc des rayonnements dits ionisants.
Le ralentissement d’un ion dans la matière peut être décrit par deux processus quasi-
indépendants :
3.3.2 Les collisions élastiques liées aux chocs nucléaires

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Lorsque l’ion incident transmet de façon élastique de l’énergie cinétique au noyau de l’atome
cible. Au cours de cette collision nucléaire, l’interaction est de type coulombien, plus ou moins
écrantée. Ces transferts directs d’énergie conduisent à un endommagement pour tous les types
de cible (isolants, métaux…)

3.3.3 Les collisions inélastiques liées à des excitations électroniques

L’ion incident peut interagir de façon inélastique avec les atomes de la cible (excitation
électronique, ionisation des atomes au voisinage de la trajectoire des ions). Les défauts sont
alors produits par conversion indirecte de l’énergie déposée dans les cibles. Ce processus
d’endommagement est efficace essentiellement dans les isolants et dans certaines cibles
métalliques dans le cas de fortes densités d’ionisation. Bien que ces deux processus de perte
d’énergie existent toujours de façon simultanée, leur importance relative dépend de l’ion
projectile, de son énergie et pour leur efficacité, de la nature de la cible.

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