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Sensor 2

Ce document décrit les différents types de capteurs, leurs principes de fonctionnement et leurs caractéristiques. Il aborde notamment les capteurs générateurs de force électromotrice, de courant et de charge, ainsi que les capteurs résistifs.

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LES CAPTEURS

Les capteurs sont les premiers éléments d'une chaîne d'acquisition. À


chaque mesurande est associé un capteur dont le rôle est de traduire ce
mesurande de valeur m en une grandeur électrique s(m), fonction connue du
mesurande, en sorte qu'à chaque valeur s de cette grandeur électrique puisse être
liée à la valeur m du mesurande. Cette grandeur électrique s(m) est à l'origine du
signal électrique que traite le système d'acquisition.

Définitions

L’étendue de mesure (E.M) d'un capteur définit la plage de valeurs du


mesurande pour lesquelles le capteur répond aux spécifications du constructeur.
Les limites de cette plage étant mmin et mmax on pose :

E.M  mmax  mmin

La sensibilité S(m) d'un capteur, pour une valeur donnée m du mesurande, est
égale au quotient de la variation de la sortie électrique par la variation
correspondante du mesurande :

 S (m) 
S ( m)   
 m 

Un capteur est dit linéaire si, (dans l'étendue de mesure),

s(m) est fonction linéaire de m; s’écrit comme suit : s(m)=A*m (A : constante).

Sa sensibilité est alors constante dans cette plage de fonctionnement (figure.1) .

Figure 1. Sensibilité d’un capteur


Les grandeurs physiques propres à chaque type de capteur qui définissent son
interaction avec le milieu de mesure.

Il s'agit ainsi, par exemple :

 de sa masse, pour un accéléromètre, (masse dans le capteur


l’accélération).

 de sa capacité calorifique pour une sonde thermométrique.

Les grandeurs d'influence sont les grandeurs physiques autres que le mesurande
qui sont susceptibles d'affecter la sortie électrique s du capteur.

L’action d'une grandeur d'influence se traduit généralement par :

 un décalage du zéro;
 une dérive de la sensibilité.

Les grandeurs d'influence les plus générales sont :

 la température du capteur;
 les vibrations,
 la pression,
 l'humidité,
 les champs magnétiques,
Une classification sommaire des divers types de capteurs peut être établie
d'après la nature de la grandeur électrique de sortie s(m) qui les caractérise.

1. Capteurs générateurs de force électromotrice

Certains phénomènes se traduisent, dans un dispositif adéquat, par l'apparition


d'une f.e.m. sous l'influence d'une grandeur physique déterminée. Ces
phénomènes, désignés comme effets, permettent par la mesure de la f.e.m. qui
en résulte de connaître la valeur de la grandeur physique qui en est la cause.
C'est le principe de leur application à la réalisation de capteurs. Le schéma
électrique équivalent d'un tel capteur est un schéma de Thévenin ; générateur de
tension e(m) en série avec une impédance interne Zc généralement purement
résistive lorsque e(m) est continue.

 Thermocouple

Un circuit formé de deux conducteurs A et B, de nature chimique différente et


dont les jonctions sont à des températures Tx et T0, est le siège d'une f.e.m.
E A / B (Tx , T0 ) C'est l'effet Seebeck.

Figure 2. Thermocouple

Un thermocouple est constitué de deux conducteurs A et B dont généralement


l'un au moins est un alliage : il délivre la f.e.m. E A / B (Tx , T0 ) dont la mesure
permet de déterminer la température Tx inconnue lorsque la température T0 dite
de référence est connue. Les valeurs normalisées donnent la f.e.m. sont données
dans la figure suivante :
Figure 3. exemple des plages de mesure par des thermocouples

Dans la pratique industrielle, le maintien d'une jonction de référence à 0 °C est


difficile donc la valeur T0 remplacée par Ta (température ambiante). Dans ce
cas, la f.e.m mesurée est :

e  E A / B (Tx , Ta )

L'influence de la température ambiante Ta est éliminée et l'on se ramène


aux valeurs normalisées E A / B (Tx ,0C ) .
2. Capteurs générateurs de courant

Lorsque l'action d'une grandeur physique provoque dans un matériau la


génération de porteurs de charge libres, celle-ci se traduit par une modification
du courant électrique traversant ce milieu. C'est le cas lorsque le mesurande est :

 un rayonnement nucléaire provoquant l'ionisation du milieu ;


 un rayonnement optique générant des porteurs libres par effet
photoélectrique.

Cette variation de courant due au mesurande m est, pour certains dispositifs,


modélisable par une source de courant i(m). Le schéma électrique du capteur est
dans ce cas un schéma de Norton : générateur de courant i(m) en parallèle avec
l'impédance interne Zc du capteur formée d'une résistance en parallèle avec une
capacité.

• Photodiode

Une diode polarisée en inverse est parcourue par un faible courant I 0 . Un fux de
rayonnement  incident sur la jonction de la diode y crée, par effet
photoélectrique, des paires électron-trou qui forment un courant I

proportionnel à  et qui s'ajoute au courant I 0 pour donner le courant total I d de


la photodiode : e  E A / B (Tx , Ta )

I d  I 0  I  I 0  Sd .

I0 est le courant d'obscurité de la photodiode, très sensible à la


température, Sd est la sensibilité (µA / µW ) de la photodiode (figure.4).
Figure.4. Photodiode (HP 5082) :
a) réalisation; b) schéma électrique équivalent; c) courant inverse en fonction du flux; d)
sensibilité en fonction de la longueur d'onde; e} courant d'obscurité en fonction de la
température
3. Capteurs générateurs de charge

Ces capteurs exploitent l'effet piézoélectrique ou l'effet pyroélectrique,


effets entraînant une variation de la polarisation diélectrique de certains
matériaux et se traduisant par l'apparition de charges superficielles égales
et de signes contraires sur les faces opposées d'une lame soumise à :

 une force, effet piézoélectrique du quartz, de certaines céramiques


(PZT) ou certains polymères (PVDF).
 une variation de température : effet pyroélectrique du sulfate de
triglycine
Les matériaux piézo et pyroélectriques étant des isolants, les charges
superficielles sont des charges de polarisation donc des charges liées. La
métallisation des faces de la lame portant ces charges  Q permet de
constituer les armatures d'un condensateur sur lesquelles l'influence
électrostatique des charges liées attire des charges libres  Q . Le
condensateur associé à la lame porte donc une charge de même valeur que
celle développée par effet piézoélectrique ou pyroélectrique et la tension à
ses bornes, en circuit ouvert est v  Q / C0 , C0 étant la capacité du
condensateur.

Un capteur piézo ou pyroélectrique peut être modélisé par l'un ou l'autre


des deux schémas suivants :

 un schéma de Thévenin dont la f.e.m. est e  Q / C0 en série avec la


capacité C0 ;
 un schéma de Norton, adapté aux mesurandes dynamiques, dont la
source de courant a pour valeur i  dQ / dt , la capacité C0 étant en
parallèle.

 Dynamomètre et accéléromètre à quartz

L’application d'une force F normale aux faces d'une lame de quartz (coupe
X) entraîne l'apparition sur ces faces de charges de signes opposés et de
valeur :

Q  d .F

où d, module piézoélectrique a pour valeur 2.13 10 12 C / N . Ce dispositif


est utilisé pour la réalisation de dynamomètres pour forces de compression
(figure 4.a) ou, si la lame a été préalablement soumise à précontrainte, pour
forces de compression et traction. La réalisation d'un accéléromètre
piézoélectrique exige la traduction de l'accélération en force. Ceci est
obtenu au moyen d'une masse M dite sismique qui, soumise à l'accélération
 , développe une force d'inertie F  M . . C'est cette force qui, appliquée au
quartz, entraîne l'apparition d'une charge électrique proportionnelle à
l'accélération (Figure.5.b).

Figure.5. Capteurs piézoélectriques.


a.dynamomètre; b. accéléromètre.
4. Capteurs résistifs

Un capteur résistif est, du point de vue électrique, une résistance pure R


dont la valeur est liée aux paramètres qui la déterminent par une expression
de la forme :

R  F (a, b, c) / 

Où F(a, b, c) est une fonction de la géométrie et des dimensions a, b, c et


 est la conductivité du matériau constitutif :

  q.(µP P  µn n)
où q est la charge élémentaire, µP et µn sont les mobilités respectives des
trous de densité p et des électrons de densité n.

Tout mesurande agissant sur :

 la mobilité des porteurs (température, contrainte, champ magnétique)


 la densité des charges libres (température, flux lumineux)
 les dimensions géométriques (contrainte, position d'un curseur)
est susceptible d'être traduit électriquement par la variation de résistance
qu'il impose à un capteur résistif.

 Résistances thermométriques

La valeur d'une résistance dépend généralement de la température par le


biais de la variation thermique de sa conductivité Œ, beaucoup plus
importante que la variation thermique de ses dimensions. Il en résulte que
c'est la nature du maté riau constituant la résistance qui détermine la loi de
son évolution thermique.

 Résistances métalliques :

Ces résistances ont une valeur croissant avec la température selon une loi
d'évolution de la forme :

R  R0 .(1  A.T  B.T 2  C.T 3 )

T étant la température exprimée en °C, R0 la résistance à 0°C, les


coefficients A, B, C dépendant de la nature du métal.

Le métal le plus utilisé est le platine à qui son inertie chimique confère une
grande stabilité et dont la plage d'utilisation s'étend de 200°C à 1000°C. La
-

sonde de platine (figure.6.a) est utilisable comme étalon, les valeurs de sa


résistance en fonction de la température étant fixées par une norme. Pour
des raisons de réactivité chimique, l'utilisation du nickel est limitée à 250
°C et celle du cuivre à 1 80 °C; la résistance de cuivre est caractérisée par
une évolution quasi linéaire en fonction de la température.

Figure.6.a. Capteurs résistifs :


a) résistance thermométrique de platine
• Thermistances

Elles sont constituées à partir de mélanges agglomérés et frittés d'oxydes


métalliques (figure.6.b).

Figure.6.b - Capteurs résistifs :


b) thermistance
Leur résistance décroît très rapidement en fonction de la température
suivant une loi du type :

  1 1 
R(T )  R0 . exp  B  
  T T0 
où T est exprimée en K, R0 est la résistance à la température T0 et B est une
caractéristique de la thermistance dont la valeur est généralement comprise
entre 3000 et 4000 K.

Les thermistances sont utilisables jusqu'à des températures de l'ordre de


800°C. Par suite de la variation très rapide de sa résistance en fonction de
la température, une thermistance déterminée n'est utilisable que dans une
plage limitée de température, de l'ordre de 100°C. Du fait de leur grande
sensibilité thermique, les thermistances sont adaptées à la mesure de très
faibles variations de température (emploi en régulation).

 Jauges d'extensométrie

Ce sont des éléments résistifs, soit métalliques (fils, trames pelliculaires,


dépôts en couche mince ou épaisse), soit semi-conducteurs (lames
monocristallines ou couches diffusées dans un substrat de silicium). À
l'exception des couches diffusées, les jauges sont fixées à un support
isolant mince qui est collé à l'endroit de la structure dont on veut connaître
la déformation l / l subie sous l'effet d'une contrainte ; dans le cas des
jauges diffusées, c'est le substrat de silicium qui est la structure déformée.

Figure.6.c. Capteurs résistifs :


c) Jauge extensométrique
.
Il en résulte, pour lajauge, une déformation identique à celle de la structure
sousjacente entraînant une variation de sa résistance proportionnelle à la
déformation et donnée par l'expression :
R l
 K.
R l

où K est le facteur de jauge dont la valeur est comprise entre 2 et 4 pour les
jauges métalliques, entre  50 et  200 pour les jauges semi-conductrices
selon la nature et la concentration de leur dopant. La première application
des jauges est évidemment la détermination des déformations de structures
soumises à contraintes. Un second groupe très important d'applications des
jauges est constitué par les capteurs composites. Ces capteurs utilisent un
corps d'épreuve qui est une structure mécanique à laquelle sont fixées des
jauges et qui, sous l'effet d'un mesurande m déterminé, subit une
déformation proportionnelle à m et dont la traduction électrique est assurée
par les jauges.

Exemples :

mesurande corps d'épreuve

force colonne, anneau

pression diaphragme

accélération lame en flexion avec masse sismique

5. Capteurs inductifs

Ces capteurs comportent un ou plusieurs enroulements de mesure traversés


par un flux d'induction magnétique qui est fonction du mesurande, ce
dernier étant généralement une position ou un déplacement linéaire ou
angulaire. On distingue deux types de réalisations selon que le flux
variable sous l'effet du mesurande est un flux d'auto-induction ou de
mutuelle induction.

 Capteurs à variation du coefficient d'auto-induction

Le flux d'induction est créé par un courant alternatif qui parcourt le


bobinage de mesure et la variation d'amplitude de ce flux est due à la
modification par le mesurande du circuit magnétique associé à la bobine.

Exemples : capteur à variation d'entrefer (figure.7), capteur à noyau


plongeur (figure7.b). La mesure porte sur le coefficient d'auto-induction de
la bobine qui est généralement une fonction non linéaire de la position de
l'élément mobile.

 Capteurs à variation du coefficient de mutuelle induction

Le flux d'induction est dû au courant alternatif circulant dans un


enroulement d'excitation ou inducteur distinct des bobines de mesure qui
sont les induits. La variation d'amplitude du flux dans un bobinage induit
est la conséquence d'une modification, sous l'effet du mesurande, du
coefficient de mutuelle induction entre inducteur et induit et elle se traduit
par une variation de la force électromotrice induite dans le bobinage de
mesure. Ce type de capteur délivre une tension fonction du coefficient de
mutuelle induction déterminé par le mesurande.

 Transformateur différentiel

Ce capteur est constitué d'une bobine inductrice de part et d'autre de


laquelle sont placées deux bobines induites identiques (figure.7.c). Un
noyau ferromagnétique, fixé à une tige solidaire de la pièce mobile, établit
un couplage magnétique variable entre inducteur et induits. Le
déplacement du noyau provoque des variations de couplage qui sont
opposées pour chacune des deux bobines induites. Ces dernières sont
montées en opposition en sorte que la tension résultante est, en principe,
nulle lorsque le noyau est dans la position centrale et qu'elle varie
linéairement de part et d'autre de cette position.

Figure.7. Capteurs inductifs : a) à réluctance variable, b) à noyau plongeur, c)


transformateur différentiel.

6. Capteurs capacitifs

Ces capteurs sont des condensateurs généralement plans ou cylindriques


dont la capacité a pour expression :

Pour un condensateur plan :

C   r 0 A / d

A et d étant respectivement la surface et la distance des armatures en


regard,  r étant la permittivité relative du diélectrique et  0  8.85 1012 MKSA
pour un condensateur cylindrique :

2 r 0
C
ln( r2 / r1 )
r2 étant le rayon interne du conducteur extérieur, r1 le rayon du conducteur
intérieur et  étant la longueur des conducteurs en regard.

Le mesurande provoque une variation de capacité par modification soit de


la permittivité  r du diélectrique, soit des paramètres dimensionnels.

• Mesurandes modifiant la permittivité

La température, le degré hygrométrique ou plus généralement la


composition chimique de l'atmosphère environnante sont des mesurandes
susceptibles de modifier la permittivité de matériaux convenablement
choisis (figure 8.a). Le niveau d'un liquide isolant, dans lequel plonge un
condensateur cylindrique, détermine la capacité de ce dernier du fait de la
différence entre la permittivité du liquide et celle de l'air dont il a pris la
place (capteur capacitif de niveau).

Figure 8. Capteurs capacitifs : a) capteur de composition gazeuse; b) microphone capacitif;


-

c).capteur de pression différentielle Rosemount

7. Capteurs générateurs d'impulsions

Le signal délivré est formé de trains d'impulsions de niveaux hauts et bas


associés aux valeurs binaires 1 et 0 et dont la séquence traduit la valeur
numérique du mesurande selon un code déterminé. En présence de
parasites, l'information est totalement sauvegardée tant que l'intensité des
parasites n'empêche pas la discrimination des niveaux 0 et 1.

Exemples :

Codeur de position angulaire (figure 9.b) ; tachymètre à impulsions.

Figure 9.b. Codeur optique et dessin simplifié d'un disque en code Gray

• Transducteurs à sortie non électrique

Il s'agit de dispositifs qui assurent la traduction du mesurande en une


grandeur physique non électrique : pneumatique et plus fréquemment
optique. Un rayonnement lumineux, visible ou infrarouge, n'est absolument
pas affecté par des parasites électromagnétiques. Le transfert de
l'information du mesurande au rayonnement optique s'effectue au moyen
d'un corps d'épreuve dont les propriétés optiques sensibles au mesurande
modifient le rayonnement qu'il émet, réfléchit ou transmet. Le signal
optique, support de l'information, est alors transmis, généralement par fibre
optique, jusqu'à une zone sans perturbations où il est converti par une
photodiode en signal électrique pour être ensuite traité par la chaîne de
mesure.

Exemple :
Capteur de température à thermoluminescence (figure.9.c).

Figure.9.c. capteur de température à thermoluminescence : constitution et


courbes de réponse.

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