Cómo se forman las imágenes

• En un microscopio óptico, a
través de lentes se enfoca
sobre la muestra la luz de una
fuente.
• La imagen se forma cuando la
muestra absorbe y refleja las
diferentes longitudes de onda.
• La parte de la luz transmitida
o reflejada es detectada por
nuestros ojos, y se forma una
imagen en nuestro cerebro.
 Resolución óptica

• Es la capacidad que tiene un sistema óptico de aislar dos

puntos que se encuentran muy próximos entre sí, de
manera que se puedan ver individualizados uno del otro

Límites de Resolución aproximados de algunos sistemas

ópticos:

Ojo humano 0,2 mm d (resolution) = 1.22 • (λ/2NA)

Microscopio óptico 0,2 µm
Numerical Aperture (NA) = η • sin(α)
Microscopio electrónico 0,2 nm
Magnificación y Resolución
 Comparación de imágenes
Microscopio óptico Microscopio electrónico (SEM)
• Bajo precio • Laboratorio Central
• Alta productividad • Alto precio
• Robustez • Local dedicado
• Magnificación y profundidad de foco • Operador especializado y dedicado
limitadas • Baja productividad de muestras
• Magnificación y profundidad de foco muy
altas

Imagen óptica de diatomeas a 1000x Imagen SEM de diatomeas a 1000x

 Limitaciones del microscopio óptico
• El SEM (microscopio electrónico de barrido) fue desarrollado
debido a las 2 principales limitaciones de la microscopia óptica:

La resolución:
• el máximo poder resolutivo de un
microscopio óptico está dado por la
mitad de la longitud de onda del
iluminante,
• es decir que con luz visible no se
podrían distinguir puntos separados
menos de 0,2 μm
• La longitud de onda de los electrones
en un SEM a 20 kV es de 8.6 pm
 Limitaciones del microscopio óptico

La profundidad de campo:
• El principal parámetro que la afecta es el ángulo de apertura, muy
grande en un microscopio óptico, mucho más pequeño en el SEM.
• El ángulo de apertura se define como el
formado entre dos líneas desde el centro de la
muestra, una hasta el centro y la otra hasta el
borde de la lente.
• El problema de la microscopia óptica es que
una lente objetivo de alta potencia tiene corta
distancia focal, incrementando el ángulo de
apertura y disminuyendo la profundidad de
campo.
 Cómo funciona un SEM

• Este problema no existe en un SEM,

que tiene una larga distancia de
trabajo y un pequeño orificio de
apertura, que dan como resultado un
muy pequeño ángulo de apertura y por
lo tanto una gran profundidad de
campo.
Limitaciones del
microscopio electrónico

• No podemos ver electrones.

• Los electrones son absorbidos por las moléculas que consituyen el
aire
• TODO (fuente de electrones, lentes, detectores, muestra) debe estar al vacío.
• Dado que los electrones tienen carga eléctrica, la muestra debe
ser conductora para disipar esa carga.

Los primeros microscopios electrónicos fueron de transmisión (TEM)

Microscopio Electrónico de Transmisión (TEM)
cañón electrónico
• En el TEM los electrones de una fuente se
hacen pasar por lentes condensadoras y a lentes condensadoras
través de una lente objetivo que enfoca el haz
en un área de la muestra. lentes objetivo

• Si la muestra es suficientemente delgada para

que los electrones la puedan atravesar, la muestra
lente de proyección proyecta un patrón de
interferencia (o la imagen) sobre una pantalla lentes de proyección
de fósforo que está por debajo.
• Un TEM puede tener extremadamente alta
imagen en
resolución, permitiendo en algunos pantalla
instrumentos ver átomos. fluorescente
Microscopio Electrónico de Transmisión (TEM)
cañón electrónico

DESVENTAJAS del TEM lentes condensadoras

• Debido a que los electrones deben atravesar
la muestra, la preparación de muestra es muy lentes objetivo

complicada.
• Por otro lado, dado que el haz atraviesa la muestra

muestra, la imagen obtenida contiene

información sobre todo el volumen de la lentes de proyección
misma y no sólo de la superficie.
imagen en
pantalla
fluorescente
 Cómo se forman las imágenes SEM

• En un microscopio electrónico,
los electrones de una fuente son
enfocados sobre la muestra, que
absorbe, refleja y emite
electrones.
• Estos electrones son colectados
por uno o más detectores.
• Las señales de éstos son
procesadas para construir una
imagen que podamos ver en una
pantalla.
 Cómo se forman las imágenes SEM

• En un microscopio electrónico,
los electrones de una fuente son
enfocados sobre la muestra, que
absorbe, refleja y emite
electrones.
• Estos electrones son colectados
por uno o más detectores.
• Las señales de éstos son
procesadas para construir una
imagen que podamos ver en una
pantalla.
 Cómo se forman las imágenes SEM

• Para entender cómo se forman las imágenes en un SEM, necesitamos saber qué
pasa cuando el haz de electrones interactúa con los átomos de la muestra.
 Electrones Secundarios

• El haz incidente está formado por electrones

de alta energía. Si uno de estos electrones
(electrón primario) colisiona con un electrón
de un átomo de la muestra, lo arranca del
mismo. Este “electrón secundario” es de baja
energía (≈100eV).
• Los electrones secundarios cercanos a la
superficie de la muestra pueden ser colectados
para formar una imagen SEM.
• El electrón primario pierde poca energía en la
colisión. De hecho, un solo electrón primario
puede arrancar cientos o miles de electrones
secundarios hasta que no tiene energía
suficiente para seguir arrancando más
electrones.
Electrones retrodispersados

• Otro fenómeno es la retrodispersión

(o “rebote”) de los electrones del haz
primario contra los átomos de la
muestra.
• Estos electrones retrodispersados
tienen alta energía.
• Cuanto mayor sea la densidad de la
muestra, más fácilmente los electrones
son retrodispersados.
• Las diferentes zonas de observación de
la muestra tendrán diferentes átomos,
por lo tanto diferentes densidades, y
darán origen a imágenes de electrones
retrodispersados (BSE)
 Emisión de Rayos X

• Al arrancar un electrón de un orbital

cercano al núcleo queda un “hueco”, que
es llenado por un electrón de alguna
capa superior (de mayor energía).
• La diferencia de energía se emite en la
forma de uno o más fotones de rayos X
característicos (de energía definida) para
cada elemento o como electrones
Auger.
 Rayos X característicos

• zzz
 Espectro de Rayos X

Picos de Rayos X característicos

Rayos X continuos
Volumen de interacción
Volumen de interacción

Electrones Auger (≈ 1 nm)

Electrones Secundarios (≈ 5 a 100 nm)

Retrodispersión inelástica (≈ 1 μm)

Rayos X característicos (≈ 5 μm)

Rayos X continuos (≈ 10 μm)

Rayos X fluorescentes (≈ 10 μm)
Efecto de la topografía de la muestra

haz de
electrones
al Detector

electrones
SE y BSE

MUESTRA
¿Cómo se obtiene el contraste?

Nódulo de magnetita.
Notar que los valles son oscuros y las
partes más salientes claras
 Retrodispersión de electrones

• .
 BSE: Efecto del Número Atómico
• Los electrones son más reflejados o retrodispersados por los
elementos de mayor Z
 ¿Cómo se obtiene el contraste?
• En modo BSD, a medida que el haz incidente recorre la topografía de la
muestra, se obtienen de la superficie electrones retrodispersados. La
proporción de electrones absorbidos o retrodispersados por la muestra depende
del número atómico de los elementos presentes. A mayor Z, mas
retrodispersión.
• La topografía de la muestra también afecta la cantidad de electrones
dispersados, de modo que la imagen formada muestra una mezcla de topografía
con densidad de la muestra.
haz incidente de electrones

superficie de
C Fe Au
la muestra
imagen en pantalla
cantidad de electrones retrodispersados
 La fuente de electrones

• La mayoría de los SEM utilizan como fuente de

electrones un filamento de tungsteno. Al ser
calentado por el pasaje de una corriente, el
filamento emite no sólo luz sino que también se
forma una nube de electrones a su alrededor. filamento de W
• Si no se hace nada, en el vacío estos electrones
quedan en la nube y son reabsorbidos por el nube de electrones
filamento al cortar la corriente.
Ánodo (+)
• Si se pone una placa cargada positivamente (un
ánodo) cerca del filamento, los electrones serán
atraídos hacia la misma. El problema es que los
electrones si no son dirigidos impactarán en en
el ánodo formando arcos.
 La fuente de electrones

• Pero si se pone cerca del filamento un cátodo cañón electrónico

perforado (su carga negativa repele electrones)
y luego el ánodo perforado (su carga positiva filamento de W
atrae electrones), se obtiene un cañón
electrónico.
nube de electrones
• La nube electrónica es atraida hacia el ánodo
de modo que puede pasar por el agujero del Cátodo (-)
cátodo. Los electrones ganan suficiente Ánodo (+)
aceleración como para pasar de largo también
el ánodo.
• La velocidad de los electrones se puede
controlar variando la tensión (voltaje
acelerador) entre el cátodo y el ánodo.
 La fuente de electrones

A Denominación en SEM
• Diferencia de potencial
• Voltaje de aceleración
• Alta tensión
Filamento

ánodo Potencial aplicado generalmente en SEM :

200 V – 30000 V
(0.2 KV – 30 KV)
Haz de
electrones
 Tipos de filamentos
Existen tres tipo de filamentos usados como fuente de
electrones
• tungsteno (W)
• Hexaboruro de lantano (LaB6) o de cerio (CeB6)
• De emisión de campo (FEG)

Tungsteno LaB6/CeB6 FEG

 Enfoque de los electrones

• Los electrones salen del cañón como un “spray”, de modo que

tenemos un flujo de electrones pero no un haz.
• Se requieren lentes para colimar y enfocar los electrones.
 Lentes electromagnéticas

• Una lente electromagnética es un

dipositivo bastante simple,
básicamente una bobina de alambre
sobre un cilindro metálico.
• Al pasar una corriente eéctrica por la
bobina, se crea un campo magnético
que desvía los electrones.
• La ventaja es que, a diferencia de las
lentes ópticas, las electromagnéticas
son muy fáciles de controlar: para
variar la distancia focal sólo hace falta
variar la corriente aplicada.
 La columna SEM
• La columna SEM contiene el cañón de
electrones y las diferentes lentes, todo
montado sobre la cámara de la muestra.
• Las lentes condensadoras controlan el
tamaño del haz, o la cantidad de
electrones que viajan a través de la
columna.
• Al incrementar el tamaño del haz mejora la
relación S/R, pero disminuye la resolución.
Dependiendo de la magnificación, la mejor
calidad de imagen se obtiene por un
compromiso entre S/R y resolución.
• La lente objetivo enfoca el haz en un punto
de la muestra. Esto es necesario para
obtener imágenes con el foco apropiado.
 Barrido (scanning)
• Hasta ahora, la columna que hemos diseñado sólo sirve para enfocar el haz de
electrones sobre un punto de la muestra. Esto es suficiente si queremos pasar
el haz a través de la muestra, como en un TEM.
• Pero para el SEM necesitamos hacer un barrido con el haz.

• Poniendo pares de placas alrededor del

haz y variando el potencial entre ellas,
podemos deflectar el haz de electrones.
• Conectando las placas a un generador de
barrido, podemos hacer que el haz de
electrones haga un barrido lineal sobre
la muestra en modo similar al barrido en
tubo de rayor catódicos de TV.
 Barrido (scanning)
• Hasta ahora, la columna que hemos diseñado sólo sirve para enfocar el haz de
electrones sobre un punto de la muestra. Esto es suficiente si queremos pasar
el haz a través de la muestra, como en un TEM.
• Pero para el SEM necesitamos hacer un barrido con el haz.

• Poniendo pares de placas alrededor del

haz y variando el potencial entre ellas,
podemos deflectar el haz de electrones.
• Conectando las placas a un generador de
barrido, podemos hacer que el haz de
electrones haga un barrido lineal sobre
la muestra en modo similar al barrido en
tubo de rayor catódicos de TV.
 Detector de Electrones Secundarios

• En la cámara de muestra se coloca

un detector de electrones.
• Su superficie está a un potencial
positivo de unos 10 keV por lo que
atrae a los electrones secundarios
emitidos por la muestra.
• Una ventaja es que puede atraer
electrones emitidos desde zonas de
la muestra que están físicamente
bloqueadas de la cara del detector,
lo que reduce en gran medida el
efecto de sombreado en las
imágenes SEM.
 ¿Cómo se obtiene el contraste?

• Según la cantidad de electrones

que llegan al detector, más claro
u oscuro el punto en la imagen
procesada.
• Por este motivo, las imágenes SEM
son siempre en blanco y negro.
 ¿Cómo se cambia la magnificación?

• Reduciendo el área de muestra que se barre, se cambia la

magnificación de la imagen.

imagen en pantalla
área de muestra barrida
Resolución 200nm 0,1nm 0,5nm
Magnificación x2000 x50-x1.500.000 x10-x1.000.000
SEM convencional vs Phenom
 Sistemas Phenom de 3ª generación
ProX Pro Pure+

Magnificación 20 – 120x , color Magnificación 20 – 120x , color Magnificación óptica 20x, ByN
óptica óptica
Magnificación 80 – 130.000x Magnificación 80 – 130.000x Magnificación óptica- 70 – 65.000x
óptica-electrónica electrónica
óptica-electrónica
< 10 nm Resolución < 20 nm
Resolución Resolución < 10 nm

Espectrómetro Totalmente integrado. - Actualizable a Pro con Pro Suite

- Compatible con Pro Suite
Dispersivo en Análisis de punto, - Actualizable a ProX
Energía (EDS) mapeo, línea
Pro Suite con Software de Identificación de
Elementos incluído
El Phenom Pure es la solución
El Phenom Pro es el más poderoso
más económica y eficiente para
El Phenom ProX es el más poderoso sistema de imágenes SEM de
imágenes de alta resolución.
sistema de imágenes SEM y análisis EDS mesada con soluciones de
de mesada. aplicaciones integradas.
 Muestras
¿Qué tipos de muestras pueden ser analizadas con Phenom?
Muestras relativamente secas
o conductoras y no-conductoras

Insecto Polen Fractura en Al Filtro polimérico

Muestras húmedas o que generan o desprenden gases

o Técnica de congelamiento

Pepino Tejido de pulmón

 Preparación de muestras

Adherir un sticker de grafito a un Remover la cubierta Colocar la muestra

soporte de aluminio limpio superior del adhesivo

Colocar el soporte en el Ajustar la altura del soporte Colocar el portamuestras

portamuestras girando el portamuestras en el Phenom
 El Phenom por dentro

Electrónica

Bomba de vacío
Columna SEM

Platina motorizada
Cámara de navegación
 Sistema de vacío Phenom
Vacío para la
TMP
fuente 10-7 mBar
columna

Bombeo diferencial
mediante aperturas

Vacío para la cámara de muestra

Phenom
• Soporte estándar → 0.1 – 0.3 mBar
• Soporte p/ reducción de carga → 0.5 – 0.7 mBar

Phenom XL
Muestra • Vacío Estándar → 0.1 – 0.3 mBar
• Vacío p/ reducción de carga → 0.5 – 0.7 mBar
• Alto Vacío → 0.01 mBar
PVP
 Fuente de Electrones Phenom

Cátodo de CeB6 :
la fuente para imágenes de alta calidad

Especificación CeB6 Notas

Brillo (A/cm2 ) 1000 Muy buena relación S/R  excelente calidad de imagen
Tamaño de la fuente 5 µm El pequeño tamaño del haz implica una mejor resolución
Vida media (horas) 1500 - Menos intervención del usuario, uso libre de preocupaciones
- No se rompe, se degrada al final de su vida útil
- El reemplazo puede ser programado con anticipación
- No requiere tener filamentos de repuesto en stock
Vacío (mBar) ~ 10-7 Sistema de bombeo diferencial de la columna. El nivel de vacío en la cámara de
muestra no afecta la vida útil de la fuente.
Resolución a 10kV < 10 nm Buena resolución para una amplia variedad de muestras conductoras y no-
Resolución a 5kV < 20 nm conductoras
 Phenom – Detector BSD
Detector de retrodispersión
(Back Scatter Detector = BSD)
Tipo de estado sólido
(semiconductor)

BSE BSE
BSE

BSE

Muestra
BSD – lado de detección
 Detector Back Scatter
• El detector de BSD del Phenom puede ser usado en 2
modos:
• Modo Composicional (modo
“full”). Proporciona la máxima señal,
que resulta en información del
material por medio de diferencias
de contraste. Los diferentes
materiales pueden ser reconocidos
por el nivel de video.

• Modo Topográfico. Usando

los cuadrantes del BSD se
obtiene un sombreado diferente
que resulta en una imagen
topográfica (efecto 3D), que
hace que la estructura de la
superficie sea más claramente
visible.
 Detector Back Scatter
• Ventajas
• Información del material por contraste
• Complemento ideal para EDS
• Información topográfica
• Puede operar en niveles relativamente alto de vacío
 Portamuestras Estándar

Soportes tipo “pin stub”

Portamuestras estándar para soportes “pin stub”

Portamuestras estándar (incluído con el Phenom)

Diseñado para obtener imágenes con alta resolución
Puede acomodar muestras tipo 3D (máx. 25mm diámetro, 30mm altura).
Útil para un amplio rango de materiales.
 Imágenes de muestras no-conductoras
Con el portamuestras estándar

Semiconductor

Fractura en cerámica
Leche en polvo
Cabello
 Portamuestras de reducción de carga
Beneficios
Extiende la capacidad de obtener imágenes de muestras no-conductoras.
Imágenes libres de efectos de cargas a mayores magnificaciones, comparado con el
portamuestras estándar.
Más rápida preparación de muestras, al reducir dramáticamente la necesidad de recubrirlas
(“sputter-coating”) con oro o carbón.
Las muestras no conductoras pueden ser analizadas en su estado natural, proveyendo valiosa
información de contraste de electrones retrodispersados.

Portamuestras de reducción Portamuestras de reducción de

de carga para probetas carga para soportes de
metalúrgicas aluminio “pin-stub”
 imágenes
de un cabello

1000x 2500x 4000x

Portamuestras estándar

1000x 2500x 4000x 7500x

Portamuestras de reducción de carga

Imágenes con alta magnificación

ala de mariposa, 75.000x bacterias sobre membrana, 90.000x

Imágenes con alta magnificación

Bolas de Sn, 100.000x semiconductor, 100.000x

 Reconstrucción de rugosidad 3D

Imagen con magnificación 10.000x. Imagen 3D reconstruida, incluyendo 3 mediciones de perfil que
pueden ser observados en la imagen de la derecha.
 Análisis Elemental

• ¿De qué está compuesto?

• ¿Cuáles son las concentraciones?
• ¿Cuál es la distribución de los elementos?

• Phenom ProX
• Análisis EDS
• Mapeo de superficies
• Barrido lineal
 Detección elemental
• El microanálisis mediante haz de electrones es una técnica analítica no destructiva,
capaz de realizar análisis elemental en microvolúmenes.

• El análisis con rayos X combinado con

microscopía electrónica es una
herramienta poderosa para entender
la composición y la estructura de los
materiales
 Generación de rayos X – Familia de líneas
• Origen de las transiciones típicas observadas en el espectro de rayos X: líneas múltiples
K, L y M

Diagrama Goldstein simplificado mostrando las lineas observables en EDS

Voltaje de aceleración en SEM

Lβ
10 Lα
Haz de alta energía 0
90 Mα
Lγ

Atomic number
Líneas K, L y M especificas para cada 80

elemento 70

Haz de baja energía 60

Kα
50
Kβ
Solo son visibles líneas L y M 40

30

20

10

0 5 10 15 20 25 30
Energy (keV)

Típico mínimo factor de sobrevoltaje : 1.5

• SEM generales
• Máximo voltaje de aceleración = 30kV
• Max. línea K visible = Rh (45_Rodio)
• Phenom
• Máximo = 15kV (ProX), 20 kV (XL)
• Max. línea K visible = ProX: Ge (32_Germanio) , XL: Sr (28 Estroncio)
• Elementos > 32 (38): utiliza líneas L o M
Análisis Elemental: Mapeo

O (32x30 pixels) Al (32x30 pixels)

Ni (32x30 pixels) Fe (32x30 pixels)

 Imagen de un filamento de una lámpara

• Cuando la luz de los faros delanteros o traseros o la luz de giro está encendida, el
filamento de la lámpara estará caliente, y al momento del impacto partículas de
vidrio quedarán fundidas sobre el mismo.
 Filamento de una lámpara: análisis EDS
• El análisis EDS muestra claramente
la presencia de SiO2 (vidrio).
• Las otras 2 partículas que se ven en
la imagen tienen exactamente el
mismo nivel de gris que la partícula
analizada, por lo que pueden ser
consideradas también de vidrio sin
posterior análisis.
• Esta conclusión rápida y eficaz se
obtiene gracias al uso de un
detector BSD.

Filamento de tungsteno con partículas de vidrio

 Imagen de cabellos
• El análisis forense de cabellos puede ser usado para:
• Identificar sospechosos
• Identificar víctimas
• Asociar una víctima o un sospechoso a un lugar
• Determinar el tipo de crimen cometido
• Algunos cabellos pueden ser transferidos durante el contacto físico, y su
presencia puede ayudar a asociar una víctima a un sospechoso, o éstos a
una escena de crimen.
• Los tipos de cabello recuperados, y su número y condición, impactan en su
valor como evidencia en una investigación criminal.
• La comparación de las características microscópicas de cabellos recogidos
con muestras conocidas ayuda a determinar si ocurrió una transferencia.
 Imagen de cabellos: pelos de animales
Pelo de gato Pelo de perro
 Imagen de cabello: humanos
Origen caucásico Origen asiático
Evidencia biológica: diatomeas
 Evidencia biológica: Polen
• Los granos de polen pueden tener diversas formas y tamaños, y no se
descomponen.
• El análisis del polen puede decir mucho sobre dónde ha estado una
persona u objeto, dado que diferentes lugares tienen distintivas
distribuciones de especies de polen.
• También sirve para determinar la estación del año en que se produjo el
contacto
 Evidencia biológicas: polen

de abedul de césped de lirio

 Marcas de herramientas - imágenes

Modo Topográfico. Proporciona

Modo Composicional. Proporciona la
máxima señal, dando información un tipo diferente de sombreado,
sobre la composición a través de la resultando en una imagen
diferencia de contraste de los topográfica (efecto 3D) La
diferentes elementos de la muestra estructura superficial es más
(cuanto más claro más denso). claramente visible.
GSR – Gum Shot Residues (Pb-As-Ba)

Modo Composicional. Proporciona

la máxima señal, dando
información sobre la composición a
través de la diferencia de contraste
de los diferentes elementos de la
muestra
(cuanto más claro más denso).
 Análisis de Materiales – TiO2@Ag

TEM

SEM
 Métodos de caracterización de superficies
TEM AFM FIM
SEM STM FEM
MICROSCOPIAS
SPM

RHEED
DIFRACCION LEED

ESPECTROSCOPIAS
XPS UPS AES SIMS
ESPECTROMETRIAS
[Link]
CAONkkyal9GelJlNFU
 Transmission Electron Microscopy (TEM)

Scanning Electron Microscopy (SEM)

SPM (Scanning Probe Microscopies)

SPM (Scanning Probe Microscopy)

AFM (atomic force microscopy)

FEM (Field Emission Microscopy)

FIM (Field Ion Microscopy)

RHEED (Reflection High Energy Electron Diffraction )

AES (Auger Electron Spectroscopy)

XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)

UPS (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy )

SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry)