IMPLEMENTACIÓN DE UN MICROSCOPIO

PERFILOMÉTRICO POR INTERFEROMETRÍA

ÓPTICA

JUAN ALBERTO SÁNCHEZ DAZA

PROGRAMA DE MAESTRÍA EN FÍSICA

DEPARTAMENTO DE FÍSICA Y GEOLOGÍA
FACULTAD DE CIENCIAS BÁSICAS
UNIVERSIDAD DE PAMPLONA
PAMPLONA, 2018

1
IMPLEMENTACIÓN DE UN MICROSCOPIO PERFILOMÉTRICO POR
INTERFEROMETRÍA ÓPTICA.

Trabajo de grado presentado como requisito para optar al título de

MAGISTER EN FÍSICA

JUAN ALBERTO SÁNCHEZ DAZA

Directores:

Dr. NESTOR ALONSO ARIAS HERNANDEZ Dra. MARTHA LUCIA MOLINA PRADO

Grupo Óptica Moderna

PROGRAMA DE MAESTRÍA EN FÍSICA

DEPARTAMENTO DE FÍSICA Y GEOLOGÍA
FACULTAD DE CIENCIAS BÁSICAS
UNIVERSIDAD DE PAMPLONA
Pamplona, 2018

2
Dedicatoria.

A mis abuelos, Cecilia y Luis, por ser el pilar fundamental en todo lo que soy, por tolerarme,
guiarme y dedicar su vida a la familia, por su incondicional apoyo perfectamente mantenido
a través del tiempo.
Todo este trabajo ha sido posible gracias a ellos.

3
Agradecimientos

La universidad me dio la bienvenida al mundo como tal, las oportunidades que me ha brindado son
incomparables, y antes de todo esto ni pensaba que fuera posible que algún día si quiera me encontrara
con una de ellas. Agradezco mucho por la ayuda de mis maestros, mis compañeros, y a la universidad
de pamplona por su apoyo económico en el descuento de la matrícula y con todos los copiosos
conocimientos que me ha otorgado, la institución que me abrió sus puertas desde el pregrado, que me
dio la oportunidad de desempeñarme como profesional y seguir mi formación académica con este
postgrado. También estoy muy agradecido el cuerpo docente del departamento de física, especialmente
con el Dr. Néstor Alonso Arias Hernández y la Dra. Martha Lucia Molina Prado, quienes fue mis tutores
desde el pregrado, quienes me han apoyado siempre y han puesto su confianza en mí para sacar
adelante este trabajo. A mis compañeros, mis amigos de estudio y trabajo. Quiero agradecer también
a mi familia, mi mamá, mi papá y demás que siempre han creído en mí, de una u otra manera me han
ayudado a avanzar cuando más lo necesité. Finalmente, quiero agradecer a la persona que estuvo gran
parte del desarrollo de mi maestría, Alexandra Bohórquez, estuviste conmigo en los buenos y malos
momentos, gracias por la paciencia y por motivarme a seguir adelante, por comprenderme en los
momentos de estrés y mal humor, gracias porque estuviste conmigo.

Juan Alberto Sanchez Daza

Pamplona, 28 de septiembre de 2018

4
 Implementación de un microscopio perfilométrico por
interferometría óptica

RESUMEN

La microscopía interferométrica es una técnica muy conocida en el estudio de topografías de objetos del orden nanométrico.
En este trabajo se presenta el diseño y construcción de un microscopio perfilométrico por interferometría de luz policromática
y por interferometría de luz cuasi-monocromática, que permite el levantamiento topográfico de objetos con resolución
nanométrica. El sistema está compuesto por un objetivo interferométrico tipo Mirau de 10X, una cámara digital tipo CMOS,
un sistema de traslación piezoeléctrico con resolución de 0.1nm y un sistema de iluminación de luz blanca tipo LED y para
la adaptación del dispositivo a luz cuasi-monocromática, se usa un filtro pasa banda de 647nm. Para luz policromática, por
medio de un escaneo axial del objeto, se adquiere un conjunto de imágenes con franjas interferométricas deformadas las
cuales dan información de la rugosidad del objeto. El principio del sistema está basado en la localización del pico de
coherencia en cada posición Im(i,j) del conjunto de m imágenes adquiridas, en donde la posición z(m) del pico de coherencia
cambia de acuerdo a la topografía del objeto. Para calcular el pico de coherencia se implementan varios algoritmos como
son: el cálculo del mínimo del interferograma min{Im(i,j)}, el cálculo del máximo de la envolvente y la localización del
centro de interferograma mediante el análisis de la fase por transformada de Fourier. Cuando se adapta el filtro pasa banda,
la fuente puede ser considerada una fuente cuasi-monocromática, para este caso se implementan las técnicas de Phased
Shifting a 3 y 4 imágenes, lo que reduce considerablemente el número de imágenes a adquirir, por lo tanto, el costo
computacional. Se presenta una serie de reconstrucciones tridimensionales de varios objetos a resolución nanométrica,
obtenidas de manera automática con la ayuda de una interface gráfica elaborada en Matlab, que permite el control de los
dispositivos, procesado digital de las imágenes y el cálculo de la topografía del objeto.

Palabras clave: Interferometría de luz blanca, Mirau, Sistema interferómetro Vertical, Phase Shifting

Implementation of a profilometric microscope by optical

interferometry

ABSTRACT
Interferometric microscopy is a well-known technique in the study of topographies of objects. In this work the design and
construction of a profilometric microscope by polychromatic light interferometry and by quasi-monochromatic light
interferometry, which allows the topographic survey of objects with nanometric resolution, is presented. The system consists
of a 10X Mirau interferometric lens, a CMOS-type digital camera, a piezoelectric translation system with a resolution of
0.1nm and a white LED lighting system and for the adaptation of the device to quasi-monochromatic light, a 647nm band
pass filter is used. For polychromatic light, by means of an axial scan of the object, a set of images is acquired with a system
of distorted interferometric strips which give information about the roughness of the object. The principle of the system is
based on the location of the coherence peak in each position Im(i, j) of the set of m acquired images, where the z (m) position
of the coherence peak changes according to the topography of the object. To calculate the coherence peak, several algorithms
are implemented, such as the calculation of the minimum interferogram minimum {Im (i, j)}, the calculation of the maximum
of the envelope and the location of the interferogram center by analyzing the phase by Fourier transform. When the band
pass filter is adapted, the source can be considered a quasi-monochromatic source, for this case the techniques of Phased
Shifting to 3 and 4 images are implemented, which considerably reduces the number of images to acquire, therefore the cost
computational It presents a series of three-dimensional reconstructions of several objects at nanometric resolution, obtained
automatically with the help of a graphical interface developed in Matlab, which allows the control of the devices, digital
processing of the images and the calculation of the topography of the object .

Keys words: White light interferometry, Mirau, vertical interferometer system, Phased Shifting

5
TABLA DE CONTENIDO ............................................................................................. 5
LISTA DE FIGURAS .................................................................................................... 8
Capítulo 1
INTRODUCCIÓN ................................................................................... 10
Capítulo 2
PRINCIPIOS DE INTERFEROMETRÍA ................................................... 11
2.1 SUPERPOSICIÓN DE ONDAS ...................................................................... 12
2.2 COHERENCIA .............................................................................................. 14
2.2.1 Función de Coherencia Mutua (Hariharan, 2003). ....................................... 16
2.2.2 Grado complejo de Coherencia .................................................................. 18
2.2.3 Coherencia Espacial (Hariharan, 2003):...................................................... 18
2.2.4 Coherencia Temporal (Hariharan, 2003): .................................................... 20
Capítulo 3
INTERFEROMETRÍA CON LUZ POLICROMÁTICA .............................. 21
3.1 MICROSCOPIO PERFILOMÉTRICO POR INTERFEROMETRÍA DE LUZ
POLICROMÁTICA ................................................................................................. 21
3.2 ANÁLISIS DE FRANJAS DE INTERFERENCIA DE LUZ POLICROMÁTICA 22
3.2.1 Ventajas de usar una fuente de luz policromática ................................. 25
3.3 MÉTODOS DE RECONSTRUCCIÓN IMPLEMENTADOS ............................. 26
3.3.1 Detección de Máximos o Mínimos. ............................................................ 26
3.3.2 Máximo de la Envolvente. ........................................................................ 27
3.3.3 Localización de Valores de Fase. ............................................................... 27
Capítulo 4
INTERFEROMETRÍA CON LUZ CUASI- MONOCROMÁTICA ............... 30
4.1.1 Ventajas de usar luz cuasi- monocromática. ......................................... 30
4.1.2 Microscopio perfilométrico por interferometría de luz cuasi-
monocromática ................................................................................................... 30
4.2 INTERFEROMETRÍA POR PHASE SHIFTING .............................................. 31
4.3 MÉTODOS DE RECONSTRUCCIÓN IMPLEMENTADOS ............................. 33
4.3.1 Phased Shiffting a 4 imágenes. .................................................................. 33
4.3.2 Phased Shiffting a 5 imágenes. .................................................................. 35
4.3.3 Phased Unwrapping ................................................................................. 37
Capítulo 5
IMPLEMENTACIÓN DEL MICROSCOPIO PERFILOMÉTRICO .................. 39
5.1 DESCRIPCIÓN DEL MONTAJE .................................................................... 39
5.1.1 Objetivo Interferométrico.......................................................................... 40

6
 5.1.2 Cámara CMOS. ....................................................................................... 41
5.1.3 Transductor Piezo Eléctrico (PTZ). ............................................................ 41
5.1.4 Lampara LED. ......................................................................................... 42
5.1.5 Filtro pasa banda. ..................................................................................... 42
5.2 CONTROL DE DISPOSITIVO Y SOFTWARE ................................................ 43
5.3 CALIBRACIÓN ............................................................................................ 46
5.3.1 Calibración del espacio visual ................................................................... 46
5.3.2 Determinación de la longitud de onda experimental del patrón de interferencia
para luz cuasi-monocromática: ............................................................................... 47
Capítulo 6
RESULTADOS ....................................................................................... 50
6.1 RECONSTRUCCIONES Y COMPARACIONES ............................................. 50
6.1.1 Microscopio perfilométrico por interferometría de luz blanca. ...................... 50
6.1.2 Microscopio perfilométrico por interferometría de luz cuasi-monocromática. . 58
6.1.3 Comparación Interferometría de luz policromática vs interferometría de luz cuasi-
monocromática. .................................................................................................... 59
6.2 ANÁLISIS DEL ERROR ................................................................................ 61
6.2.1 Microscopio perfilométrico por interferometría de luz policromática. ............ 61
6.2.2 Microscopio perfilométrico por interferometría de luz cuasi-monocromática. . 61
6.3 OBSERVACIONES Y RECOMENDACIONES ............................................... 62
Capítulo 7
CONCLUSIONES ................................................................................... 63
Referencias Bibliograficas......................................................................................... 66
Apéndice A: PRODUCTOS .................................................................................. 69

7
Figura 2-1: Experimento de Young. ......................................................................................... 11
Figura 2-2: Interferómetro por división de amplitud de Michelson. ........................................ 12
Figura 2-3: Interferencia Constructiva (a) e Interferencia Destructiva (b). (Sathiamoorthy,
2011) ......................................................................................................................................... 13
Figura 2-4: Como la longitud de coherencia afecta la interferencia con diferentes cambios de
fase, las áreas que interferirán de manera confiable se resaltan en azul: (a) ambos trenes de onda
están alineados e interferirán completamente; (b) se ha introducido un desplazamiento menor
que la longitud de coherencia, solo una parte de los trenes de ondas interferirá consistentemente;
(c) se ha introducido un desplazamiento más largo que la longitud de coherencia, solo se
producirá una interferencia aleatoria. (Klempner, 2007). ....................................................... 15
Figura 2-5: Medida de La coherencia del campo de onda producido por una fuente de luz de
tamaño finito............................................................................................................................. 17
Figura 2-6: Calculo de la coherencia de los campos de ondas en dos puntos iluminados por na
fuente de luz de tamaño finito. (Hariharan, 2003) ................................................................... 19
Figura 3-1: Esquema del sistema interferométrico. .................................................................. 22
Figura 3-2: (a) Interferograma. (b) Localización de los picos de coherencia de los
inteferogramas y determinación de las medidas de alturas para tres pixeles arbitrarios. ......... 24
Figura 3-3. Descripción del procedimiento. ............................................................................. 29
Figura 4-1: Intensidades Capturadas para el método PSI a cuatro imágenes. .......................... 34
Figura 4-2: a) Fase envuelta y b) fase desenvuelta de una nanoestructura en forma de escalón
por el método PSI a cuatro imágenes. ...................................................................................... 34
Figura 4-3: Intensidades correspondientes al método PSI a cinco imágenes. .......................... 36
Figura 4-4: a) Fase envuelta y b) fase desenvuelta por el método PSI a cinco imágenes. ....... 36
Figura 4-5: (a) Función característica de fase envuelta; (b) Función de fase continúa obtenida
por el unwrapping de los datos de (a). ...................................................................................... 37
Figura 4-6: Efecto de ruido aditivo en los datos de fase envuelta: (a) ruido añadido con una
amplitud máxima de -2π, la discontinuidad de fase se encuentra correctamente (b) datos sin
envolver; (c) ruido de alta amplitud añadido a los mismos datos (d) detección falsa de un salto
de fase de 2π. (e) los datos resultantes sin envolver (f) conserva un salto de fase 2π erróneo.
(Gåsvik, 2003) .......................................................................................................................... 38
Figura 4-7: (a) Fase Calculada "WRAPPING, para una nanoestructura en forma de escalón, b)
Fase desenvuelta "UNWRAPPING" con errores de propagación (Óvalos azules). ................ 38
Figura 5-1: Montaje elaborado para la construcción del microscopio interferómetro. a) foto real
del microscopio perfilométrico. b) esquema del microscopio perfilométrico. ......................... 39
Figura 5-2: Registro del interferograma (valor de nivel de Gris) en dos puntos del objeto a
diferentes caminos ópticos, mientras el piezo realiza un barrido, la localización del pico de
coherencia permite establecer la diferencia de altura z de los puntos seleccionados. .......... 40
Figura 5-3: Objetivo interferométrico tipo Mirau. ................................................................... 41
Figura 5-4: Cámara CMOS. ..................................................................................................... 41
Figura 5-5: Transductor Piezo Eléctrico (PTZ) ........................................................................ 42
Figura 5-6: a) Lámpara LED b) Espectro de la lámpara. ......................................................... 42
Figura 5-7: Filtro pasa banda.................................................................................................... 43
Figura 5-8: Rendimiento del Filtro de interferencia de pasa banda 647nm. ............................ 43

8
Figura 5-9: Interfaz gráfica para controlar el microscopio perfilométrico por interferometría de
luz policromática. ..................................................................................................................... 44
Figura 5-10: Interfaz gráfica para controlar el microscopio perfilométrico por interferometría
de luz cuasi-monocromática. .................................................................................................... 45
Figura 5-11: Regleta de Calibración. ....................................................................................... 46
Figura 5-12: Regleta de calibración observada por la cámara del microscopio perfilométrico.
.................................................................................................................................................. 47
Figura 5-13: Calibración para determinar la longitud de onda promedio de la luz cuasi coherente
luego de interferir. .................................................................................................................... 48
Figura 5-14: Calibración para determinar a longitud de coherencia experimental de la luz
policromática ............................................................................................................................ 48
Figura 6-1: Vistas superiores de cierta región de una esfera metalizadas por los métodos de a)
Detección de mínimos, b) Máximo de la Envolvente y c) Localización por valores de fase. . 51
Figura 6-2: Vistas superiores de una nanoestructura en forma de escalón por los métodos de a)
Detección de mínimos, b) Máximo de la Envolvente y c) Localización por valores de fase. . 52
Figura 6-3: Vistas superiores de cierta región de una micro lente de Fresnel por los métodos de
a) Detección de mínimos, b) Máximo de la Envolvente y c) Localización por valores de fase.
.................................................................................................................................................. 53
Figura 6-4: Vistas 3D de cierta región de una esfera metalizada por los métodos de a) Detección
de mínimos, b) Máximo de la Envolvente y c) Localización por valores de fase. ................... 54
Figura 6-5: Comparación de los tres métodos con luz policromática para la esfera. ............... 55
Figura 6-6: Vistas 3D de una nanoestructura en forma de escalón por los métodos de a)
Detección de máximos, b) Máximo de la Envolvente y c) Localización por valores de fase. . 55
Figura 6-7: Comparación de los métodos para la nanoestructura en forma de escalón. .......... 56
Figura 6-8: Vistas 3D de cierta zona de una micro lente de Fresnel por los métodos de a)
Detección de máximos, b) Máximo de la Envolvente y c) Localización por valores de fase. . 57
Figura 6-9: Comparación de los métodos para la micro lente de Fresnel. .............................. 57
Figura 6-10: Reconstrucción de la nanoestructura en forma de escalón para los métodos de
interferometría de luz ............................................................................................................... 58
Figura 6-11: Reconstrucción de cierta región de una esfera metalizada para los métodos de
interferometría de luz ............................................................................................................... 59
Figura 6-12: Comparación entre los métodos de interferometría de luz policromática y de luz
cuasi monocromática ................................................................................................................ 60
Figura 6-13: Comparación de los perfiles reconstruidos para la nano estructura en forma de
escalón por los diferentes métodos aplicados. .......................................................................... 60
Figura 6-14: Análisis del error para los métodos de luz policromática. ................................... 61
Figura 6-15: Análisis del error para los métodos de Luz cuasi-monocromática ...................... 62
Figura 0-1: Certificado de ponencia XII CONGRESO INTERNACIONAL EN
ELECTRONICA Y TECNOLOGIAS AVANZADAS. .......................................................... 69
Figura 0-2: Certificado de ponencia XIII CONGRESO INTERNACIONAL EN
ELECTRONICA Y TECNOLOGIAS AVANZADAS. .......................................................... 70

9
La microscopia interferométrica es una técnica ampliamente utilizada para medir la topografía
de micro superficies. Los sistemas que usan estas técnicas pueden medir áreas en el rango del
campo de visión del instrumento a implementar. Los interferómetros perfilométricos son
ampliamente utilizados para estudiar la topografía de la superficie debido a la alta precisión de
medición, adquisición y análisis de datos sin contacto. Sin embargo, el costo de un microscopio
de estas características es alto. Adicional a esto las empresas ofrecen estos productos compactos
y cerrados, impidiendo esto realizar modificaciones que permitan la inclusión de otras
metodologías de microtopografía o de microscopía. En este proyecto se presenta la construcción
e implementación de un microscopio perfilométrico basado en la interferometría de luz
policromática, y con la adaptación de un filtro pasa banda, es posible implementar técnicas de
luz cuasi-monocromática.

En el Capítulo 2, se realiza una descripción teórica de los principios de interferometría óptica,

superposición de ondas y de coherencia, las cuales son conceptos fundamentales en microscopía
interferométrica. En el Capítulo 3, se formalizan los conceptos de interferometría con luz
policromática, empezando con el estado del arte, siguiendo con la descripción del prototipo
construido, luego la metodología tradicional seguida en el análisis de franjas interferométricas
de luz policromática, y por último los métodos implementados para este caso. En el Capítulo 4
se describe todo lo relacionado con la interferometría de luz cuasi-monocromática.

La implementación del microscopio perfilométrico se describe en el Capítulo 5, aquí se describe

cada una de las partes del dispositivo interferométrico y su calibración, tanto en la zona de
observación como en valores de altura asociada. En el Capítulo 6, se presentan las
reconstrucciones perfilométricas de distintas micro superficies, así como una comparación
entre los distintos métodos, el análisis del error, observaciones y recomendaciones.

Con los resultados de medición obtenidos por el interferómetro construido, en el Capítulo 7 se

discute la resolución, la precisión, ventajas y desventajas de cada uno de los métodos
implementados.

10
La interferometría óptica hace referencia al uso de la interferencia de dos o más ondas. Hay
muchas formas de producir interferencia entre dos ondas de luz, pero todas ellos siguen dos
reglas básicas: las ondas de luz solo interferirán si provienen de la misma fuente, y en el punto
de interferencia, deben ser coherentes; la coherencia es una medida de la capacidad de las ondas
para interferir. Hay dos formas fundamentales de interferencia: por división de frente de onda
y división de la amplitud.

El experimento de Young creado a principios de 1800 es la demostración más antigua de

interferencia por división de frente de onda. Se conoce comúnmente como "Experimento de
doble rendija de Young". En esta configuración, la luz pasa a través de agujeros separados y se
divide en dos frentes de onda similares que luego se expanden e interfieren. Como se muestra
en la Figura 2-1, la interferencia da como resultado un patrón de franjas en la pantalla de
observación.

Figura 3-1: Experimento de Young.

Fuente: [Link]

Los interferómetros por división de amplitud, como el interferómetro de Michelson, son los que
comúnmente se usan para medición interferométrica. Básicamente, un frente de onda
monocromático colimado se dirige a un divisor de haz (BS) que permite que pase cierto
porcentaje de la luz, y el restante de la luz se refleja. Los haces se reflejan en los espejos M1 y
M2 (Figura 2-2) y se recombinan en el BS. La clave para distinguir entre esta configuración y
la de división del frente de onda, es que en este caso no interfieren dos partes separadas de un
frente de onda, sino que la interferencia ocurre entre dos ondas parciales originadas en la misma
onda particular.

11
 Figura 3-2: Interferómetro por división de amplitud de Michelson.

Fuente: [Link]

3.1 SUPERPOSICIÓN DE ONDAS

Una consideración general de la interferencia entre dos ondas se muestra en Gåsvik (2003). La
interferencia puede ocurrir cuando dos o más ondas se superponen en el espacio. Asumiendo
que las ondas u1 y u2 están descritas por,

u1 = U1ei1 (2.1.1)

y
u2 = U 2ei2 (2.1.2)

respectivamente. Donde El campo resultante es simplemente la suma, es decir.

u = u1 + u2 (2.1.3)

Donde u1 y u2 son las amplitudes complejas de las dos ondas que van a interferir. La cantidad
apreciable es la intensidad, la cual está dada por,

I = u = u1 + u2 = U12 + U 22 + 2U1U 2 cos(1 − 2 )

2

(2.1.4)
= I1 + I 2 + 2 I1I 2 cos( )

12
donde:

 = 1 − 2 (2.1.5)

Como se puede observar, la intensidad resultante no depende únicamente de la suma de I1 + I 2 ,

al término 2 I1I 2 cos( ) se le llama término de interferencia. Se tiene que, cuando

 = (2n + 1) , para n = 0,1, 2,... (2.1.6)

cos( ) = −1 , I es mínima, las dos ondas están desfasadas lo que significa que hay
interferencia destructiva, es decir, la intensidad en dicho punto es menor que un cualquier punto
donde no exista interferencia. Cuando

 = 2n , para n = 0,1, 2,... (2.1.7)

la intensidad alcanza un valor máximo. En este caso las dos ondas están en fase, por lo tanto,
se dice que hay interferencia constructiva (Figura 2-3).

Figura 3-3: Interferencia Constructiva (a) e Interferencia Destructiva (b). (Sathiamoorthy, 2011)

Para dos ondas con intensidades iguales I1 = I 2 = I 0 La ecuación (2.1.4) queda

  
I = 2 I 0 [1 + cos( )] = 4 I 0 cos 2   (2.1.8)
 2 

donde la intensidad varía entre 0 y 4I 0 .

13
3.2 COHERENCIA
La coherencia es la capacidad de las ondas de luz para interferir. Hay dos tipos de coherencia:
espacial y temporal. Considerando la Figura 2-2 y 2-3, se podría decir que se produce
interferencia, sin embargo, no siempre es el caso. El la Figura 2-3 se supone que las dos ondas
que interfieren son de longitud infinita y de una frecuencia constante. Esto, sin embargo, es una
idealización ya que ninguna fuente de luz es así de perfecta. Incluso los láseres de modo único
que se describen como "monocromáticos" tienen un ancho de banda espectral finito.

Siguiendo el orden de ideas de Gåsvik (2003), la detección de luz (es decir, la medición de
intensidad) es un proceso promedio en el espacio y el tiempo. En la Ecuación (2.1.4) se asume
que u1 y u2 tienen la misma frecuencia. Idealmente, una onda de luz con una sola frecuencia
debe tener una longitud infinita, es decir; nunca varia su periodo. Matemáticamente, incluso
una onda sinusoidal pura de longitud infinita tendrá una distribución de frecuencia de acuerdo
con el teorema de Fourier. Por lo tanto, las fuentes que emiten luz de una sola frecuencia no
existen. Una forma de ilustrar la luz emitida por fuentes reales es imaginarla como trenes de
ondas sinusoidales de longitud finita con diferencias de fase distribuidas aleatoriamente entre
los trenes individuales. La Figura 2-4 muestra dos trenes de ondas sucesivos de las ondas
parciales, como los reflejados por los dos espejos en el interferómetro de Michelson, antes de
recombinarse en el BS. Los dos trenes de ondas tienen la misma amplitud y longitud Lc , la
longitud de cada tren de ondas es la longitud de coherencia de la fuente de luz. La Figura 2-4
(a) solo muestra dos trenes de onda para cada brazo del interferómetro, el detector registra la
información de intensidad a velocidades de video, de manera que, debe promediar un gran
número de trenes de onda (ya que viajan a la velocidad de la luz). La Figura 2-4 (a) muestra la
situación cuando las dos ondas parciales han viajado en longitudes de trayectoria iguales. Se
debe tener en cuenta, que entre los trenes de ondas hay un cambio de fase aleatorio o una
discontinuidad que simula una fuente de luz "real". En el caso de la Figura 2-4 (a), el
interferómetro se alinea perfectamente: las distancias del BS a cada espejo son idénticas. Los
cambios de fase abruptos y aleatorios ocurren en el mismo instante en el tiempo. Se observa
que, aunque la fase de la onda original fluctúa aleatoriamente, la diferencia de fase entre las
ondas parciales 1 y 2 permanece constante en el tiempo. La caja que rodea a todos los trenes de
ondas indica que se producirán interferencias con la mayor visibilidad. Debido a la alineación
perfecta, la intensidad observada por el detector sigue siendo el caso ideal, dado por la Ecuación
(2.1.4). La Figura 2-4 (c) muestra la situación cuando la onda parcial 2 ha recorrido una longitud
de trayectoria Lc más larga que la onda parcial 1. La cabeza de la onda entra en la onda parcial
2 y luego coincide con la cola de los trenes de ondas correspondientes en la onda parcial 1. En
este caso, solo se producirá interferencia aleatoria. La Ecuación (2.1.4) sigue dando la
intensidad instantánea resultante, pero ahora la diferencia de fase fluctúa aleatoriamente a
medida que pasan sucesivamente los trenes de onda.

14
Figura 3-4: Como la longitud de coherencia afecta la interferencia con diferentes cambios de fase, las áreas que interferirán
de manera confiable se resaltan en azul: (a) ambos trenes de onda están alineados e interferirán completamente; (b) se ha
introducido un desplazamiento menor que la longitud de coherencia, solo una parte de los trenes de ondas interferirá
consistentemente; (c) se ha introducido un desplazamiento más largo que la longitud de coherencia, solo se producirá una
interferencia aleatoria. (Klempner, 2007).

La Figura 2-4 (b) representa el caso en el que el interferómetro está parcialmente desalineado
al tener diferentes caminos ópticos. En este caso, sin embargo, la diferencia de longitud de
camino es menor que la longitud de coherencia de la fuente de luz. Esto permite que ocurra
alguna interferencia. Las regiones resaltadas son las únicas áreas donde los trenes de la primera
onda se alinean y los trenes de la segunda onda se alinean. Estas son las únicas áreas donde la
interferencia será constante a través del tiempo. Fuera de estas áreas todavía habrá interferencia
entre los trenes de ondas, pero como el cambio de fase entre los trenes de ondas es aleatorio, la
interferencia será aleatoria a lo largo del tiempo. Tener esta interferencia aleatoria reduce el
contraste del patrón de franjas. Para el caso ideal donde I1 = I 2 , la Ecuación (2.1.4) se convierte
en:

15
 I = I1 + I 2 + 2 I1I 2 cos( ) (2.2.1)

Donde  es un valor entre 0 y 1 y se conoce como la visibilidad de las franjas.

I max − I min (2.2.2)

=
I max + I min

Donde I max e I min son las intensidades máxima y mínima registradas en el patrón de franjas. La
Figura 2-4 (c) es un caso donde la diferencia de camino óptico en los dos brazos del
interferómetro es mayor que la longitud de coherencia de la fuente de luz. Cuando esto ocurre,
no se generan franjas. Como ninguna parte de los trenes de ondas se alinea, se está produciendo
una interferencia completamente aleatoria. El término  varía aleatoriamente de 0 a 2 y
cuando se promedia a lo largo del tiempo, el coseno de este término tiende a cero, en este caso
la Ecuación (2.2.1) queda:

I = I1 + I 2 (2.2.3)

Es decir, en donde no hay interferencia la intensidad es la suma sencilla de las intensidades. A

menudo se desea saber cuál es la longitud de coherencia de una fuente de luz cuando se
configura un interferómetro. Para este propósito, se puede decir que la coherencia temporal,  C
, es el tiempo en que la diferencia de longitud de camino lleva la visibilidad de franjas a cero;

Lc 1 (2.2.4)
C = =
c v
Donde Lc es la longitud de coherencia, c es la velocidad de la luz en el vacío y v es el ancho
de banda de la fuente de luz. La longitud de coherencia Lc también se puede considerar como
la distancia que recorre la onda en el tiempo  C . Cualquier valor por debajo de esta longitud de
coherencia o tiempo producirá interferencia.

3.2.1 Función de Coherencia Mutua (Hariharan, 2003).

Se puede evaluar el grado de correlación entre los campos de onda de dos puntos cualquiera,
iluminados por una fuente puntual cuasi monocromática. Como se muestra en la Figura 2-5,
una fuente S cuasi-monocromática ilumina una pantalla que contiene dos agujeros A1 y A2, y
la luz que sale de estos agujeros produce un patrón de interferencia en el plano de observación.
Los campos de onda producidos por la fuente S en A1 y A2 están representados por las señales
analíticas V1(t) y V2(t), respectivamente. A1 y A2 actúan como dos fuentes secundarias, de modo
que el campo de onda en un punto P es el patrón de interferencia producido por ellos y puede
ser escrito como:

Vp (t ) = K1V1 (t − t1 ) + K2V2 (t − t2 ) (2.2.5)

16
Donde t1 = r1 / c y t2 = r2 / c son los tiempos necesarios para que las ondas viajen desde A1 y
A2 hasta P, y K1 y K2 son constantes determinadas por la geometría del sistema.

Figura 3-5: Medida de La coherencia del campo de onda producido por una fuente de luz de tamaño finito.
(Hariharan, 2003).

Dado que el campo es estacionario (independiente de del tiempo inicial seleccionado), La

Ecuación 2.2.5 puede ser reescrita como,

Vp (t ) = K1V1 (t +  ) + K2V2 (t ) (2.2.6)

Donde  = t1 − t2 . La Intensidad en el punto P es, entonces:

I p = V p (t )V p* (2.2.7)

= K1 V1 (t +  )V1* (t +  ) + K 2 V2 (t +  )V2* (t +  )
2 2

+ K1 K 2* V1 (t +  )V2* (t ) + + K1* K 2 V1* (t +  )V2 (t )

= K1 I1 + K 2 I 2 + 2 K1 K 2 Re 12 ( ) ,
2 2

Donde I1 y I2 son las intensidades en A1 y A2 respectivamente, y

12 ( ) = V1 (t +  )V2* (t ) (2.2.8)

Se conoce como la función de coherencia mutua del campo de ondas en A1 y A2.

17
3.2.2 Grado complejo de Coherencia

La Ecuación 2.2.7 Se puede reescribir como

I p = I p1 + I p1 + 2 I p1I p 2 Re  12 ( ) , (2.2.9)

Donde I p1 = K1 I1 y I p 2 = K 2 I 2 son las intensidades debido a los dos huecos diminutos

2 2

actuando separadamente, y

 12 ( ) = 12 ( ) / I1I 2 (2.2.10)

 12 ( ) es llamado el grado complejo de coherencia del campo de ondas en A1 y A2.

Las variaciones espaciales en la intensidad observada a medida que P se mueve a través del
plano de observación (las franjas de interferencia) se deben a los cambios en el valor del último
término en el lado derecho de la Ecuación 2.2.9. Cuando los dos haces tienen la misma
intensidad, la visibilidad de las franjas de interferencia también puede ser reescrita como,

 = Re{ 12 ( )} (2.2.11)

El grado complejo de coherencia es la medida de la capacidad que tienen dos campos de ondas
para interferir. De la discusión previa se tiene que:

 = Re{ 12 (0)} = 1 (2.2.12a)

 = Re{ 12 ( c )} = 0 (2.2.12b)
0  Re{ 12 ( )}  1 (2.2.12c)

donde las Ecuaciones 2.2.12a y 2.2.12b representan los dos casos limitantes de coherencia
completa e incoherencia respectivamente, mientras que la desigualdad 2.2.12.c representa
coherencia parcial.

3.2.3 Coherencia Espacial (Hariharan, 2003):

Cuando la diferencia en las trayectorias ópticas es pequeña, la visibilidad de las franjas de

interferencia depende solo de la coherencia espacial de los campos. Para evaluar el grado de
coherencia entre los campos en dos puntos P1 y P2 iluminados por una fuente extendida S (ver
Figura I.2), Se procede de la siguiente manera:

• Primero se obtiene una expresión para la coherencia mutua de los campos en estos dos
puntos debido a un elemento muy pequeño en la fuente.

• Luego se integra esta expresión en toda el área de la fuente.

18
La expresión resultante es similar a la integral de difracción de Fresnel-Kirchhoff y conduce al
teorema de van Cittert-Zernike, que se puede afirmar de la siguiente manera:

• Imagine que la fuente es reemplazada por una abertura con una transmisión de amplitud
en cualquier punto proporcional a la intensidad en este punto de la fuente.

• Imagine que esta abertura está iluminada por una onda esférica que converge a un punto
fijo en el plano de observación (por ejemplo, P2), y vemos el patrón de difracción
formado por esta onda en el plano de observación.

El grado complejo de coherencia entre los campos de onda en P2 y algún otro punto P1 en el
plano de observación es proporcional a la amplitud compleja en P1 en el patrón de difracción.

Un caso especial es cuando las dimensiones de la fuente y la distancia de P1 a P2 son muy

pequeñas en comparación con las distancias de P1 y P2 de la fuente. El grado complejo de
coherencia de los campos viene dado por la transformada de Fourier bidimensional normalizada
de la distribución de intensidad sobre la fuente. La coherencia espacial describe qué tan bien
los interferómetros de división del frente de onda formarán patrones de franjas. Más
precisamente, la coherencia espacial describe la capacidad de dos puntos distintos de una onda
en el espacio para interferir cuando se promedia a lo largo del tiempo.

Figura 3-6: Calculo de la coherencia de los campos de ondas en dos puntos iluminados por na fuente de luz de tamaño finito.
(Hariharan, 2003)

19
 3.2.4 Coherencia Temporal (Hariharan, 2003):

La coherencia temporal es una descripción de cómo una onda puede correlacionarse consigo
misma en un instante de tiempo diferente. Este tipo de coherencia es una indicación de qué tan
bien un interferómetro que divide la amplitud producirá patrones de franjas. Para una fuente
puntual que irradia en un rango de longitudes de onda, el grado complejo de coherencia entre
los campos en P y P2 depende solo de τ, la diferencia en los tiempos de tránsito de la fuente a
P1 y P2. La función de coherencia mutua (Ecuación 2.2.8) se reduce entonces a la función de
autocorrelación.

11 ( ) = V (t +  )V * (t ) , (2.2.13)

y el grado de coherencia temporal de los campos es,

 12 ( ) = V (t +  )V *(t ) / V (t )V *(t ) (2.2.10)

20
La interferometría con luz policromática de barrido axial se ha utilizado ampliamente para la
perfilometría de superficie evitando el problema de ambigüedad de fase que suele presentarse
en métodos de luz cuasi-monocromática (Crane, 1969; Larkin, 1996; Lee & Strand, 1990).
Desde que Hooke observó en 1665 que los colores en el patrón de interferencia de luz blanca
son sensibles a los espesores entre las superficies reflectantes se le ha dado uso a la luz blanca
como instrumento de sensado de superficies. Aunque los principios básicos de la
interferometría de luz policromática son conceptos fundamentales de la óptica y se han
estudiado durante mucho tiempo, la medición 3-D utilizando interferometría de luz
policromática de barrido axial es relativamente reciente (de Groot & Deck, 1995; Heikkila &
Silven, 1997). Balasubramanian (1982), fue uno de los primeros en proponer un sistema
práctico de interferometría de luz policromática para la topografía de perfil de superficies 3D
automatizada. En el sistema, la altura relativa de cada punto en una superficie se obtuvo
mediante una posición de escaneo en un interferograma donde el contraste alcanzaba un
máximo. Davidson (1987) utilizó la técnica de interferometría de luz policromática para medir
el perfil de microcomponentes en los circuitos integrados, demostraron que la resolución lateral
podría mejorarse con interferometría de luz policromática o luz blanca en comparación con la
del microscopio convencional, lo que amplía la aplicación de interferometría de luz blanca.
Caber (1993) desarrollo un perfilador interferométrico para superficies rugosas. Deck y Groot
(1994) propusieron un perfilador de alta velocidad basado en la exploración vertical de la
interferometría de luz blanca. Sandoz en 1997 propuso la transformada de wavelet como
herramienta de procesamiento en la interferometría de luz policromática. R. Windecher y H. J.
Tiziani (1999) midieron la rugosidad óptica de superficies mediante el uso de interferometría
de luz blanca extendida. Olszak (2000) propuso una técnica alternativa para ampliar el campo
de visión de objetos grandes. En esta técnica, la muestra se escaneó lateralmente con un plano
de coherencia inclinado, de modo que la exploración vertical y lateral se sincronizó. En este
caso, el escaneo vertical ubica puntos en una superficie, y el escaneo lateral extiende el campo
de visión del interferómetro. En los últimos años se han publicado muchas más aplicaciones de
la interferometría de luz policromática o luz blanca (Arlante & Gómez, 2010; P Sandoz,
Zeggari, Froehly, Pretet, & Mougin, 2007).

4.1 MICROSCOPIO PERFILOMÉTRICO POR INTERFEROMETRÍA DE LUZ

POLICROMÁTICA

El funcionamiento básico de un interferómetro de luz policromática, consiste en dividir un haz

de luz de la misma fuente en dos haces separados. En la Figura 3-1 La fuente de luz
policromática incide en el Divisor de Haz, haciendo que cierto porcentaje de la luz pase se dirija
hacia el objetico interferométrico. El Divisor de haz permite que la cámara pueda registrar los
patrones de interferencia. Dentro del objetivo interferométrico tipo Mirau, el haz incide sobre
el divisor de haz y se dirige hacia el objeto que se va a medir, se refleja desde el mismo, mientras

21
que el otro haz (de referencia) sigue una trayectoria óptica conocida y constante. Ambos haces
se superponen permitiendo que haya interferencia si existen las condiciones adecuadas. El
principio básico se muestra en la Figura 3-1 que explica la configuración usada en este trabajo.

Figura 4-1: Esquema del sistema interferométrico.

4.2 ANÁLISIS DE FRANJAS DE INTERFERENCIA DE LUZ POLICROMÁTICA

Al usar un interferómetro que se describe en la sección anterior, cuya fuente de luz es

policromática, las reflexiones sobre la muestra ubicada en el portaobjeto, se combinan con las
reflexiones provenientes del espejo de referencia (Török & Kao, 2007), localizado en el
objetivo interferométrico. El campo eléctrico E (t ) que llega al detector es la superposición de
la luz que proviene de la muestra y el espejo de referencia:

E (t ) = Es (t ) + Er (t +  ) , (3.1.1)

donde Es y Er son respectivamente las amplitudes ópticas del haz señal o de la muestra y del
haz de referencia. Mientras que  , es el tiempo de retraso debido a la diferencia de longitud

22
en los caminos ópticos de los dos haces. La intensidad registrada por el detector está dada por
(ver Ecuación 2.2.9),

(3.1.2)
I d = E (t ) = I s + I r + 2 I s I r e{ ( )} ,
2

donde  ( ) es la forma normalizada del grado complejo de coherencia mutua, que se expresa
como,

ES* (t )Er (t + t ) (3.1.3)

g (t ) = .
Is + Ir

En general, el grado complejo de coherencia mutua incluye los efectos de coherencia espacial
y temporal. Para un interferómetro de amplitud como el interferómetro Mirau, la coherencia
espacial se puede despreciar considerando un punto sobre la fuente incoherente espacialmente,
así la coherencia mutua se reduce a la auto-coherencia o coherencia temporal, en este caso:

(3.1.4)
I d ( ) = E ( ) = I s + I r + 2 I s I r e{ t c ( )} ,
2

donde, e{ t c ( )} es la parte real del grado complejo de coherencia temporal de la fuente de
luz, la cual es la forma normalizada de la función de auto-coherencia  1 1 ( ) ,

G1 1 (t ) (3.1.5)
g1 1 (t ) = ,
G1 1 (0)

donde 1 1 = E (t +  ) E * ( ) y el subíndice 11, corresponde a un único punto de la fuente

incoherente. El grado complejo de coherencia normalizado de la fuente de luz es dado por la
trasformada de Fourier de la densidad espectral de energía de la fuente de luz. Si esta fuente
de luz es policromática y tiene una densidad espectral de energía gaussiana G( f ) con ancho
espectral f y frecuencia media f , el grado complejo de coherencia temporal  1 1 estará
dado por,

23
 é æ 2ù
¥
f-föú
g1 1 (t ) = G0 ò exp - ç
ê ÷ exp(-i 2pt f )df , (3.1.6)
-¥
êë è Df ø úû

donde G0 es una constante. Teniendo en cuenta que  1 1 (0) = 1, se tiene que:

 t c ( ) = exp − (f )  exp ( −i 2 f  ) ,

2
(3.1.7)
 

así la Ecuación (3.1.4), se puede escribir como:

I d ( ) = I s + I r + 2 I s I r exp −(f )2  cos(2 f  ) (3.1.8)

I d = I 0 1 + V ( ) cos ( 2 f  ) , (3.1.9)

donde I 0 es la intensidad de fondo ( I s + I r ), V es la función de contraste de las franjas,

visibilidad o envolvente del patrón de franjas observado. Esta función V está dada por:

 2 Is Ir 
V ( ) =   exp  − (f )  .
2
(3.1.10)
 Is + Ir 
 

Figura 4-2: (a) Interferograma. (b) Localización de los picos de coherencia de los inteferogramas y determinación de las medidas de
alturas para tres pixeles arbitrarios.

24
Si en el sistema de la Figura 3-2 (a) y (b) el origen de coordenadas es tomado sobre un punto
z en particular en la dirección axial, donde los dos caminos ópticos son iguales (contacto
óptico) y la superficie de prueba se mueve a lo largo del eje z en una serie de pasos de tamaño
z , entonces la intensidad sobre un punto ( x, y) en el plano de la imagen que corresponde a
un punto del objeto de altura , se puede escribir como:

 p  2  
I d ( ) = I s + I r + 2 I s I r    cos   p + 0  . (3.1.11)
c    
 p
donde I s e son las intensidades de los dos haces que actúan independientemente,    es
Ir
c
el grado complejo de coherencia, la cual corresponde a la visibilidad de la envolvente de la
franjas de interferencia, y cos   p + 0  es la modulación cosenoidal donde 
 2 
   
corresponde a la longitud de onda media de la fuente, p = 2( z − h) es la diferencia de las
longitudes de los caminos ópticos atravesados por los haces y 0 es la diferencia del
corrimiento de fase debido a las reflexiones sobre el divisor de haz, los espejos y posiblemente
el material de prueba. La Figura 3-2(b), muestra las variaciones de intensidad sobre el punto
de una imagen cuando el objeto se barre axialmente.

4.2.1 Ventajas de usar una fuente de luz policromática

Generalmente los láseres se usan como fuente de luz para los interferómetros porque es más
fácil obtener franjas de interferencia debido a su longitud de coherencia, independientemente
de la diferencia de trayectoria entre los dos haces interferentes. Sin embargo, hay ciertas
ventajas de utilizar la luz policromática (Sathiamoorthy & Ahmed, 2011). La primera ventaja
es que se evita el ruido debido a las franjas de interferencia falsas o el speckle, debido a que la
longitud de coherencia de la luz policromática es muy pequeña y solo se puede obtener
interferencia cuando la longitud de la trayectoria es de unas cuantas micras. Por lo tanto, aunque
todavía existen reflejos indeseados en el interferómetro de luz blanca, estos no producen franjas

25
que puedan aumentar el ruido. Para un dispositivo óptico cuyo propósito es encontrar la
topografía de la muestra, es muy importante que la muestra esté enfocada por la cámara de
registro, o de lo contrario, las mediciones serán incorrectas.

Es muy difícil determinar el enfoque en una superficie lisa debido a la ausencia de estructuras.
Una ventaja al usar luz blanca es la presencia de franjas de interferencia que define con
precisión el enfoque, es decir; las franjas de contraste máximo se obtienen solo cuando las
longitudes de recorrido coinciden exactamente. Por lo tanto, moviéndose a través de la muestra
buscando franjas de contraste máximo, se puede obtener el enfoque correcto.

4.3 MÉTODOS DE RECONSTRUCCIÓN IMPLEMENTADOS

En la Sección 3.1 se describe la configuración del microscopio implementado para este trabajo.
En esta sección se describe los métodos de reconstrucción implementados usando
interferometría de luz policromática. El transductor piezoeléctrico (PZT), varía la distancia
óptica del brazo muestra del interferómetro y las variaciones de altura a través de la muestra
pueden ser determinadas buscando la posición que tiene el PZT cuando se obtiene el máximo
contraste de franjas. Este modo de operación es conocido como modo de sensado del pico de
coherencia por barrido vertical (Arias-Hernández, Molina-Prado, & Meneses-Fonseca, 2015).
En este trabajo se implementan tres métodos para ubicar el pico de coherencia: Detección de
máximos o mínimos, Máximo de la evolvente y Localización por valores de fase.

4.3.1 Detección de Máximos o Mínimos.

La detección del máximo o mínimo es una técnica que aprovecha el hecho de que la
interferencia con luz policromática solo puede registrar un valor máximo o mínimo de
intensidad en todo el rango donde se produce interferencia. Según la Ecuación (3.1.9), las
franjas se encuentran moduladas por una envolvente V ( ) presentando un máximo o mínimo
de intensidad en puntos donde la diferencia de camino óptico es cero. Determinar la forma del
objeto consiste en localizar la posición del máximo o mínimo del interferograma para cada
punto del objeto, desplazando uno de los brazos del interferómetro Mirau, de tal manera, que
cada punto pasará por el plano de contacto óptico en un valor de desplazamiento del PTZ,
dependiendo de la diferencia de altura que tenga los diferentes puntos del objeto. La cámara
CMOS registrará los valores de la intensidad del interferograma de tal forma, que permite
almacenar el desplazamiento del PTZ asociado al valor de intensidad máximo o mínimo. Así
se construye una matriz con las posiciones de desplazamiento del PTZ que brinda información
de altura del objeto discretizada en un número de niveles de gris propio de la cámara utilizada.
El criterio para escoger si es el máximo o el mínimo del interferograma con el que se trabajara,
dependerá si las franjas de interferencia presenten un desfase con respecto al máximo de la
envolvente. Se procura escoger aquella cuya franja coincida o esté más cercana al máximo o
mínimo de la envolvente. En este trabajo, debido a los materiales utilizados se escogió el valor
mínimo del interferograma min{Im(i,j)}.

26
 4.3.2 Máximo de la Envolvente.

El método para detectar el pico de coherencia usando la envolvente del interferograma utiliza
la Trasformada de Fourier (Gåsvik, 2003). El método de la transformada de Fourier fue
concebido por Takeda (Takeda, Ina, & Kobayashi, 1982), quien empleó el método de la
transformada rápida de Fourier (FFT) para el análisis de franjas. Al interferograma registrado
para un pixel g ( z ) se le aplica la Transformada de Fourier obteniendo su espectro.


G( f z ) =  g ( z ) =  g ( z)e
−2 izf z
dz (3.4.1)
−

En el espacio de frecuencias se ubica el primer armónico que contiene la información de

frecuencias presente en el interferograma y se filtra con una ventana tipo hanning de la forma:

1   f − f   (3.4.2)
Hann( f z ) = 1 − cos  2  z 0
 
8   b f  
    

De manera que,

Gf ( f z ) = G( f z ) • Hann( f z ) (3.4.3)

Donde f 0 es la frecuencia portadora. Posteriormente se aplica la transformada inversa,

g f ( z ) = −1 Gf ( f z ) =  Gf ( f z ) e2 izf z df z (3.4.4)

fz

Finalmente se obtiene el módulo o envolvente del interferograma.

g f ( z ) = (Re[ g f ( z)]) 2 + (Im[ g f ( z)]) 2 (3.4.5)

 Im[ g f ( z )] 
Donde, Re[ g f ( z )] y p( z ) = arctan 
 Re[ g  ( z )] 
son la parte real e imaginara de la
 f 
transformada inversa respectivamente. Finalmente se calcula el máximo de dicha envolvente
asociándolo al punto donde la diferencia de camino óptico es cero. Los pasos que describen
este procedimiento se pueden ver en la Figura 3-3 en los pasos 1, 2, 3 y 4.

4.3.3 Localización de Valores de Fase.

Este método (Arias, Meneses, Suárez, & Gharbi, 2009; Gåsvik, 2003) sigue beneficiándose de
las propiedades de la Trasformada de Fourier, específicamente de la sensibilidad de la fase o
también conocida como la propiedad de corrimiento,

27
 g f ( z − a) = Gf ( f z ) e−2 i ( f z a ) (3.4.6)

Una vez recuperada la transformada de Fourier inversa, se calcula g f ( z ) y la fase p( z ) del

interferograma,

 Im[ g f ( z )] 
p( z ) = arctan 
 Re[ g  ( z )]  (3.4.7)
 f 

Con la ayuda del módulo de la Ecuación (3.4.5) se crea una máscara binaria para filtrar la zona
de la fase asociada al interferograma o fase de trabajo. Para localizar el pico de coherencia se
desenvuelve la fase con un algoritmo de unwrapping cuyo punto inicial de desenvolvimiento y
el máximo de la envolvente coinciden.

Se fija un valor de fase asociado al punto inicial P( z ) de desenvolvimiento para busca el valor
de z usando una función de ajuste por mínimos cuadrados sobre la fase desenvuelta.

P( z ) = az + b (3.4.8)

Los pasos que describen este procedimiento se pueden ver en la Figura 3-3, En el paso 1, se
puede ver claramente el interferograma. Para implementar el método de detección de máximos
es suficiente preguntar por el valor máximo o mínimo de intensidad registrado. De los pasos 1
a 4 se describe el proceso del método del máximo de la envolvente, en este caso solo se debe
preguntar por el máximo de la envolvente, la cual no siempre coincide con el máximo de
intensidad del interferograma. Para implementar el método de Localización de valores de fase
se hace necesario tener en cuenta los 10 pasos.

28
Figura 4-3. Descripción del procedimiento.

29
La superposición de dos o más haces de luz en cualquier punto sobre el espacio puede producir
franjas de interferencia. El análisis de estas franjas tienen gran utilidad en metrología óptica y
uno de sus principales objetivos es extraer la información de la fase. La interferometría utiliza
el principio de superposición de ondas y extrae la información de estas cuando se logran ciertas
condiciones de coherencia. Si la luz de una fuente se divide en dos para superponerse
nuevamente en cualquier punto del espacio, la intensidad en el área de superposición varía
desde máximos (cuando dos crestas de ondas alcanzan el mismo punto simultáneamente) hasta
mínimos (cuando un valle y una cresta alcanzan el mismo punto); esto se conoce como un
patrón de interferencia. La interferometría de luz cuasi-monocromática utiliza interferómetros
cuya fuente de luz es una fuente cuasi-monocromática, estos dispositivos utilizan la
interferencia de la luz para realizar mediciones precisas de superficies, espesores, rugosidad de
superficie, potencia óptica, homogeneidad del material, distancias y demás, basados en las
deformaciones de frente de onda con una alta precisión del orden de una fracción de la longitud
de onda. La interferometría de luz cuasi-monocromática también ha sido implementada
ampliamente (Meneses-Fabian & Rivera-Ortega, 2012; Suezou Nakadate & Saito, 1985; S
Nakadate, Saito, & Nakajima, 1986). En este trabajo, para el interferómetro de luz cuasi-
monocromática, se sigue utilizando la lampara LED, pero en el trayecto de la luz que va a
interferir, se coloca un filtro pasa banda que permite aumentar la longitud de coherencia.

En este capítulo, se describe las características más importantes de la interferometría con luz
cuasi-monocromática, así como una de las técnicas más usadas para extraer dicha información
de fase. A esta técnica, la cual se basa en un cambio de fase entre los haces de interferencia por
un valor conocido, mientras que sus amplitudes se mantienen constantes, se le llama
interferometría de corrimiento de fase, interferometría de muestreo de fase, interferometría de
paso de fase o Phase Shifting, y se abrevia por "PSI" (Schwider, 1990).

5.1.1 Ventajas de usar luz cuasi- monocromática.

La principal ventaja de usar luz cuasi-monocromática como la de un láser, es la facilidad con

la que se consigue interferencia. Esto es gracias a que la longitud de coherencia es mucho mayor
a la de la luz policromática o luz blanca. Otra de las ventajas que se evidencian en este trabajo,
tiene que ver con el volumen de datos necesarios para realizar las reconstrucciones
perfilométricas, la cual es drásticamente reducido. Mientras que para algunas reconstrucciones
con luz policromática fueron necesario registrar hasta 2000 fotogramas por muestra, para este
caso, dependiendo del método y con una correcta calibración, con 4 o 5 fotogramas son
suficientes.
5.1.2 Microscopio perfilométrico por interferometría de luz cuasi-monocromática

El funcionamiento básico de un interferómetro de luz cuasi monocromática, es prácticamente

igual al de luz policromática explicado en el Capítulo 3. Un haz de luz de la misma fuente se

30
divide en dos haces separados: uno de los haces pasa a través del objeto que se va a medir, o se
refleja desde el mismo, mientras que el otro haz (de referencia) sigue una trayectoria óptica
conocida y constante. A diferencia del interferómetro de luz policromática, la diferencia de
camino óptico entre los brazos del interferómetro (brazo de referencia y brazo de la muestra)
puede tener mayores distancias ya que la longitud de coherencia es mucha mayor. Para que el
microscopio perfilométrico descrito en la Sección 3.1 trabaje por interferometría de luz cuasi-
monocromática, es necesaria la adaptación del filtro pasa banda justo antes de producirse la
interferencia.

5.2 INTERFEROMETRÍA POR PHASE SHIFTING

Los primeros estudios en las técnicas de corrimiento de fase se pueden encontrar en el trabajo
de Carré (1966), que describe un comparador fotoeléctrico de interferencia, pero realmente
comenzó con Crane (1969) en su artículo “Interference Phase Measurement”. Brunning y
compañía en 1974 implementaron un interferómetro digital de medición de frente de onda para
pruebas de superficies ópticas y lentes. Estas técnicas también se han aplicado en
interferometría de patrón speckle (Creath, 1985; Suezou Nakadate & Saito, 1985; Robinson &
Williams, 1986) y también a la interferometría holográfica. (S Nakadate et al., 1986; Stetson &
Brohinsky, 1988)

La interferometría de corrimiento de fase o Phase Shifting es una técnica eficiente para analizar
los interferogramas y recuperar la información de la fase. Tradicionalmente, los interferogramas
se medían ubicando el centro de una franja y luego trazando a lo largo de la franja. La
interferometría de desplazamiento de fase evita la necesidad de rastrear la ubicación de las
franjas y permite una reconstrucción punto por punto del frente de onda. En la interferometría
de desplazamiento de fase, un frente de onda de referencia se mueve a lo largo de su dirección
de propagación respecto el frente de onda del haz de referencia cambiando con esto la diferencia
de fase entre ellos. Es posible determinar la fase midiendo los cambios de irradiancia
correspondientes a cada cambio de fase. En esta técnica, se crean un conjunto de N
interferogramas modificados en fase, que están representados por un conjunto de N ecuaciones,
donde cada ecuación tiene tres incógnitas llamadas luz de fondo, luz de modulación y la fase
del objeto (Bruning et al., 1974). Estas incógnitas espaciales se consideran constantes durante
la aplicación de la técnica PSI (Creath, 1988). Este enfoque también tiene la ventaja de que es
posible una mejor relación señal / ruido a niveles de luz bajos, ya que la señal en cada elemento
se integra durante todo el período de medición. Si las amplitudes complejas de los frentes de
onda de referencia y de la muestra se escriben como (Hariharan, 2003):

a( x, y) = a0e-ik , (4.3.1)

b( x, y) = b0e-ik ( x, y ) , (4.3.2)

31
donde ( x, y) es el perfil deformado del frente de onda de la muestra, la intensidad del patrón
de interferencia es:

I ( x, y,  ) = a02 + b02 + 2a0b0 cos  k (( x, y) −  ) . (4.3.3)

Una representación alternativa de la Ecuación (4.3.3) es:

I ( x, y,  ) = f + g1 cos(k ) + h1 sin(k ) , (4.3.4)

donde los coeficientes f , g1 y h1 son funciones de x y y . Esta es una serie de Fourier que
consiste únicamente en el término de fondo y los primeros armónicos. En consecuencia, los
coeficientes en cualquier punto se pueden encontrar midiendo la intensidad I ( x, y,  ) para
valores de  dados por:

 =  j = j / 2m, (4.3.5)
donde j = 1, 2,..., mq y m y q son enteros, y  es la longitud de onda promedio de la fuente
cuasi coherente, entonces:

mq
g1 = (2 / mq) I ( x, y,  j ) cos(k j )
j =1 (4.3.6)
= 2a0b0 cos[k ( x, y )],

mq
h1 = (2 / mq) I ( x, y,  j ) sin( j )
j =1 (4.3.7)
= 2a0b0 sin[k ( x, y )],

entonces la fase deformada con la información de la muestra se puede expresar como:

( x, y) = (1/ k ) arctan(h1 / g1 ), (4.3.8)

o

 I ( x, y,  j ) sin( j ) (4.3.9)
j

tan[( x, y)] = 1
.
 I ( x, y,  j ) cos( j )
j
1

32
5.3 MÉTODOS DE RECONSTRUCCIÓN IMPLEMENTADOS

En la Ecuación (4.3.8) se muestra forma de extraer la información de fase deformada en función

de g1 y h1 que se adquieren de forma interactiva, por ejemplo, se utilizan hasta 100 lecturas
entonces m = 25, q = 4, Uno de los métodos de corrimiento de fase más simple es el de Carré
(1966), este involucra solo cuatro mediciones de la intensidad en un punto que corresponde a
tres incrementos iguales de la fase. Entonces es posible calcular la diferencia de fase original
entre los haces, así como la magnitud de los cambios de fase (Cheng & Wyant, 1985). En este
trabajo, después de un proceso de calibración previo, en donde se obtiene de manera
experimental la distancia equivalente a la longitud de onda del patrón de franjas de
interferencia, se implementaron los métodos de Phased Shiffting a 4 imágenes y a 5 imágenes
las cuales se explican a continuación:

5.3.1 Phased Shiffting a 4 imágenes.

En este caso m=4 y q=1 (j=4), usando la Ecuación (4.3.5) y teniendo en cuenta que  equivale
a 4 en valores de fase (luego de interferir la longitud de onda es la mitad de la longitud de
onda promedio de la fuente, entonces

 j = j / 2m =  / 2,  , 3 / 2, 2 , (4.4.1)

entonces, la Ecuación (4.3.9) queda:

I ( / 2) − I (3 / 2) (4.4.2)
tan  =
I (2 ) − I ( )

En la Figura 4-1 se muestran las intensidades capturadas por la cámara CMOS para una
nanoestructura en forma de escalón en cada uno de los cuatro desfases.

33
 Figura 5-1: Intensidades Capturadas para el método PSI a cuatro imágenes.

Luego de calculada la fase con la Ecuación 4.4.2 debido a que la función tangente está
restringida a valores de -  y  , se procede a desenvolver la fase con una algoritmo de Phased
Unwrapping 2D, la Figura 4-2 muestra la fase envuelta (wrapping) y la fase desenvuelta
(unwraping) correspondientes a la nanoestructura anterior.

Figura 5-2: a) Fase envuelta y b) fase desenvuelta de una nanoestructura en forma de escalón por el método PSI a cuatro
imágenes.

En la Figura 4-2 b) la información topográfica de la muestra esta codificada en valores de fase

(radianes), además, en el proceso de desenvolvimiento de la fase la información se encuentra
de manera ascendente, de manera que se hace necesario reajustar la inclinación, esto se puede
lograr con un simple algoritmo de rotación y recolocación. Para obtener los valores de altura

34
correspondientes a cada pixel, se hace una reconversión de valores de fase a valores de altura z
usando la calibración.

5.3.2 Phased Shiffting a 5 imágenes.

Para este caso m=5 y q=1 (j=5), usando la Ecuación (4.3.5) los valores de corrimiento de fase
son:

 j = j / 2m = 2 / 5, 4 / 5, 6 / 5, 8 / 5, 2 (4.4.3)

entonces, la Ecuación (4.3.6) queda:

0.95* I (2 / 5) + 0.58* I (4 / 5) − 0.95* I (6 / 5) − 0.58* I (8 / 5) (4.4.4)

tan  =
I (2 ) + 0.30* I (2 / 5) − 0.80* I (4 / 5) − 0.80* I (6 / 5) + 0.30* I (8 / 5)

En la Figura 4-3 se muestran las intensidades capturadas por la cámara CMOS para la
nanoestructura en forma de escalón mostrada anteriormente en cada uno de los cinco desfases.

Con la Ecuación 4.4.4 se calcula la fase y al igual que en el caso anterior se procede a aplicar
un algoritmo de desenvolvimiento de fase o phase unwrapping para obtener la información de
la topografía del objeto. En la Figura 4-4 se muestran la fase envuelta y desenvuelta para este
caso.

35
 Figura 5-3: Intensidades correspondientes al método PSI a cinco imágenes.

Figura 5-4: a) Fase envuelta y b) fase desenvuelta por el método PSI a cinco imágenes.

36
 5.3.3 Phased Unwrapping

Cada uno de los algoritmos utilizados para recuperar la fase ( x, y) conduce a una expresión
que involucra la función arcotangente. La arcotangente tiene una ambigüedad inherente, ya que
se pueden agregar múltiplos de 2 a un argumento dado, y el arcotangente devolverá el mismo
resultado. La función arcotangente tiene valores principales en el rango de -  a  . Si la
función de fase excede este rango, los valores de fase se envolverán nuevamente en este rango.
Para ilustrar los efectos del envolvimiento de fase es útil el análisis en una sola dimensión.
Supongamos que la fase verdadera tiene un perfil de aberración esférica como se muestra en la
Figura 4-5.

Figura 5-5: (a) Función característica de fase envuelta; (b) Función de fase continúa obtenida por el unwrapping de los datos
de (a).

En el centro del patrón de fase, la fase original coincide con la fase envuelta. Sin embargo, una
vez que la fase alcanza un valor de  en el límite, la función arcotangente vuelve a colocar
estos valores en el rango -  a  eliminando múltiplos enteros de 2  del valor real hasta que
el valor resultante se encuentre dentro del rango. El Unwrapping se hace necesario debido a
que el paso final en el proceso de los algoritmos de PSI es desenvolver la fase a lo largo de una
de la trayectoria, contando las discontinuidades cada 2π. De manera que se añade 2  si el
cambio es de -2  y se resta 2  si el cambio es de 2  (Gåsvik, 2003). Si 𝜙 aumenta, la
pendiente de la función es positiva, y viceversa para la disminución de fase. La clave para
desarrollar algoritmos de desenvolvimiento de la fase es la capacidad para detectar con
precisión los saltos de fase 2  . En el caso de datos de fase envueltos sin ruido y donde estos
datos se muestrean adecuadamente (es decir, los gradientes de fase son significativamente
menor que 2  ), entonces será adecuado un método simple para desenvolverla y todo lo que se
requiere es un recorrido secuencial a través de los datos (línea por línea) para integrar la fase
añadiendo o restando 2  en los saltos de fase.

En muchos problemas de medición, el ruido en los datos muestreados es un factor importante

que contribuye en la falsa identificación de saltos de fase. La Figura 4-6 muestra el efecto de la
adición de ruido a los datos desenvueltos. Es evidente que a medida que la amplitud del ruido
se aproxima a 2  , los saltos de fase reales queden ocultos. En el caso de datos

37
unidimensionales, la única solución a este problema es suavizar los datos de franjas sinusoidales
sin procesar, con un filtro pasa bajo. Sin embargo, esto no siempre funciona y en la operación
de filtrado se pierde información.

Figura 5-6: Efecto de ruido aditivo en los datos de fase envuelta: (a) ruido añadido con una amplitud máxima de -2π, la
discontinuidad de fase se encuentra correctamente (b) datos sin envolver; (c) ruido de alta amplitud añadido a los mismos
datos (d) detección falsa de un salto de fase de 2π. (e) los datos resultantes sin envolver (f) conserva un salto de fase 2π erróneo.
(Gåsvik, 2003)

Para que los métodos simples de desenvolvimiento funcionen, los datos deben ser continuos en
toda la matriz de imagen (sin discontinuidades) y extenderse a los límites de la ventana de
muestra. Una discontinuidad de fase podría ser causada por un cambio rápido en el parámetro
de medición, como un paso de gran altura en un componente bajo prueba. En estas
circunstancias, los errores en el desenvolvimiento de fase se propagan desde el defecto u orificio
en los datos a través del resto de la matriz de datos. Esto es particularmente grave si los datos
se escanean línea por línea en una dirección. Los problemas presentados por defectos o agujeros
en los datos se vuelven aún más complejos cuando la forma del agujero se vuelve complicada.
En la Figura 4-7 podremos apreciar errores al momento de utilizar el método de
desenvolvimiento de fase.

Figura 5-7: (a) Fase Calculada "WRAPPING, para una nanoestructura en forma de escalón, b) Fase desenvuelta
"UNWRAPPING" con errores de propagación (Óvalos azules).

38
6.1 DESCRIPCIÓN DEL MONTAJE
En este trabajo se construye un dispositivo experimental que consta de una cámara digital tipo
CMOS de 752x480 pixeles, un objetivo interferométrico tipo Mirau 10x un sistema de
traslación piezoeléctrico con resolución de 1 nm y rango de trabajo de 100µm y un sistema de
iluminación tipo LED blanca. Un software construido permite controlar el proceso de captura
de la cámara, así como la región de interés, sincronizado con el barrido axial del piezoeléctrico.
El objetivo es establecer el punto donde se produce la interferencia máxima constructiva (Pico
de Coherencia) y relacionarlas con alturas de la muestra. Con este propósito se obtiene un
numero de imágenes determinado por el paso del piezoeléctrico y la profundidad del objeto de
interés. Esto crea un patrón de interferencia llamado interferograma para cada punto o pixel
sobre la imagen (Figura 5-2).

Figura 6-1: Montaje elaborado para la construcción del microscopio interferómetro. a) foto real del microscopio
perfilométrico. b) esquema del microscopio perfilométrico.

a) b)

El interferómetro está construido para usar la técnica de interferometría de escaneo de pico de

coherencia usando luz policromática, y también, con la adaptación de un filtro de luz
monocromática, se puede implementar técnicas para luz cuasi-monocromática. El dispositivo

39
básicamente consta de un motor piezoeléctrico en la dirección de escaneo (PTZ), una fuente de
luz LED, un beamspliter (BS) o divisor de haz ubicado en el eje óptico y una cámara CMOS
3.0. La Figura 5-1 muestra detalladamente la configuración.

Una vez realizada la configuración descrita en la Figura 5-2, es posible obtener una
reconstrucción 3D de la superficie de la muestra relacionando la posición del PTZ requerida
para producir el pixel más brillante en cada punto de la imagen. Esto normalmente se realiza
con una fuente de luz monocromática; sin embargo, si la muestra contiene diferencias de alturas
superiores a la podría haber varias posiciones diferentes en las que se produciría un máximo de
intensidad. Al utilizar luz policromática es posible configurar el sistema de modo que solo haya
un punto en el que se produzca este máximo. El único límite en la resolución de alturas se
establece en función de qué tan bien el algoritmo de medición del pico de coherencia puede
encontrar el máximo del brillo (y por lo tanto la posición de la superficie) a medida que el PTZ
escanea axialmente. Cada píxel del conjunto de la cámara CMOS actúa efectivamente como un
interferómetro individual y, por lo tanto, se crea una reconstrucción de la superficie muy
precisa. A continuación, se muestran las especificaciones de algunos de los componentes más
importantes del microscopio perfilométrico.

Figura 6-2: Registro del interferograma (valor de nivel de Gris) en dos puntos del objeto a diferentes caminos ópticos,
mientras el piezo realiza un barrido, la localización del pico de coherencia permite establecer la diferencia de altura z de los
puntos seleccionados.

6.1.1 Objetivo Interferométrico.

40
El objetivo usado tiene en su interior un interferómetro tipo Mirau con un aumento de 10X.
Este dispositivo a diferencia del interferómetro tipo Michelson, tiene la ventaja de que la
interferencia se produce a lo largo del eje óptico. La desventaja del Mirau es que existe una
obstrucción central en el sistema, pero esto no es un problema para aumentos promedios como
el de nuestro caso ya que el tamaño de la obstrucción es igual al campo de visión de la muestra.
El la Figura 5-3 a) se muestra el objetivo usando para este trabajo y en la Figura 5-3 b) se
muestra el esquema de un interferómetro tipo Mirau.

Figura 6-3: Objetivo interferométrico tipo Mirau.

a) Fuente: [Link]
b) Esquema Interferómetro tipo Mirau (Arias-Hernández et al., 2015)

6.1.2 Cámara CMOS.

Para este trabajo se cuenta con una cámara a color con sensor tipo CMOS (Figura 5-4), con una
resolución de 752x480 pixeles y salida de video USB 3.0. Con el objetivo de reducir el tamaño
de los datos que deben procesarse, se selecciona una región de interés dentro del campo de
visión de la cámara y se trabaja en niveles de grises.

Figura 6-4: Cámara CMOS.

Fuente: [Link]

6.1.3 Transductor Piezo Eléctrico (PTZ).

Este dispositivo permite realizar el desplazamiento axial del sistema interferométrico. EL PTZ
(Figura 5-5) utilizado en este trabajo tiene una resolución axial de 0.1nm y un rango total de

41
trabajo de 100  m . Para controlar este sistema se utiliza EO-Drive de Edmund Optics a la cual
se accede desde una interfaz gráfica desarrollada en Matlab.

Figura 6-5: Transductor Piezo Eléctrico (PTZ)

Fuente: [Link]

6.1.4 Lampara LED.

Las especificaciones de la lampara LED usada para este trabajo son de gran importancia porque
ofrecen información acerca del tipo de franjas que deben producirse, así la longitud de onda
media que se espera de la fuente, etc. Para este interferómetro se usa un lampara LED
MCWHL5 de Thorlabs que tiene una temperatura de color correlacionada de 6500 K, emite
más de 800 mW de potencia y está montado en el extremo de un disipador de calor de 30.5 mm
de diámetro. La lampara y su espectro se muestran en la Figura 5-6.

Figura 6-6: a) Lámpara LED b) Espectro de la lámpara.

Fuente: [Link]

6.1.5 Filtro pasa banda.

El filtro usado en este trabajo (para luz cuasi monocromática) puede eliminar el ruido de fondo
no deseado al tiempo que mejoran la relación señal/ruido en el proceso de obtención de las

42
imágenes de intensidad. Este dispositivo permite que el microscopio perfilométrico descrito en
la Sección 3.1 pueda trabajar con luz cuasi-monocromática.

Figura 6-7: Filtro pasa banda.

Fuente: [Link]

El la Figura 5-7 se muestran varios filtros pasa banda similares al implementado, estos filtros
permiten el paso de luz en un ancho de banda muy corto, el de este trabajo tiene una longitud
de onda promedio es de 647 nm, en la Figura 5-8 se muestra el rendimiento de dicho filtro, la
cual es determinante al momento de obtener las reconstrucciones por los métodos de Phase
Shiftng, ya que estos parámetros determinan el rango en el que hay que tomar las mediciones
para poder extraer la fase con la información de la muestra de una manera correcta.

Figura 6-8: Rendimiento del Filtro de interferencia de pasa banda 647nm.

Fuente: [Link]

6.2 CONTROL DE DISPOSITIVO Y SOFTWARE

Se diseño una interfaz gráfica para el control de la cámara CMOS y el PTZ y la implementación
de los métodos de interferometría de luz policromática, al iniciar la interfaz esta activa la cámara
CMOS y coloca el piezo en una posición central con respecto al rango de movimiento. Para el
microscopio perfilométrico por interferometría de luz policromática, debido al gran volumen

43
de información que debe procesarse, es adecuado primero realizar el proceso de captura
secuencial de imágenes y guardarlas para luego procesarlas con el método de interés. El
software se desarrolla en la plataforma MATLAB, y en particular se hace uso del entorno GUI,
que permite un control sencillo de las aplicaciones del software, lo cual elimina la necesidad de
aprender un lenguaje y escribir comandos a fin de ejecutar un adecuado uso del microscopio
perfilométrico. El software construido permite controlar el proceso de captura de la cámara,
así como la región de interés, sincronizado con el barrido axial del piezoeléctrico. Se obtiene
un numero de imágenes determinado por el paso del piezoeléctrico y la profundidad del objeto
de interés (Figura 5-9).

Figura 6-9: Interfaz gráfica para controlar el microscopio perfilométrico por interferometría de luz policromática.

La interfaz cuenta con 3 ventanas principales, donde se muestra la cámara en vivo, la

reconstrucción 3D, y la imagen topográfica. A continuación, se describen cada uno de los
óvalos rojos señalados en la Figura 5-9.

1. Cámara: Esta ventana muestra lo que está captando la cámara en tiempo real, además
se usa para mostrar la imagen que veía la cámara al momento de tomar los datos, y con
el recuadro rojo señala la zona reconstruida. En la parte inferior derecha se observan
dos push bottom que permiten elegir la región de interés (roi) o reestablecerla (roi reset).
2. 3D: Aquí se muestra la reconstrucción tridimensional del objeto luego de procesado los
datos.
3. Topografía: En este recuadro se muestra la reconstrucción topográfica del objeto, es
decir; los niveles de grises tienen un valor de altura asociado.
4. Mov Piezo: En este panel se controla el dispositivo piezo eléctrico (PTZ), aquí se puede
elegir el rango en que se debe desplazar el PTZ para que el patrón de interferencia
recorra toda la región de interés, y el paso en que se hará el barrido axial. Cabe resaltar
que fue necesaria la manipulación de las librerías internas del entorno grafico propio del
PTZ proporcionado por Edmund optics ya que era imposible manejar desde el GUI de
Matlab.

44
 5. Perfil Interferométrico: Aquí se muestra las intensidades para un solo pixel registradas
en el barrido axial, este recuadro puede brindar información de la calidad del registro
del patrón de interferencia de la muestra.
6. Perfil XZ y Perfil YZ: En estos paneles se muestra un perfil reconstruido de la muestra
tanto vertical como horizontalmente.
7. Métodos de localización del pico de coherencia: en este recuadro es posible elegir el
método para reconstruir la muestra luego del proceso de toma de datos.
8. Ver y Salir: El botón ver permite visualizar parámetros y características de
reconstrucciones guardadas anteriormente, y en botón salir desconecta la cámara, el
PTZ y cierra la interfaz.

Figura 6-10: Interfaz gráfica para controlar el microscopio perfilométrico por interferometría de luz cuasi-monocromática.

Paralelamente se diseña un software construido para controlar el proceso de captura del cámara
sincronizado con el desplazamiento del PTZ y aplicar los métodos de interferometría por luz
cuasi-monocromática. Para este caso, como no es necesario un gran volumen de información,
la reconstrucción se hace inmediatamente después de la captura de datos. La interfaz se muestra
en la Figura 5-10. A diferencia de la interfaz para luz blanca, aquí con el pop-up menú del panel
indicado en la Figura con el número 4. Se puede elegir los métodos de Phased Shifting a 4 o 5
imágenes y aplicarse inmediatamente después de la captura de datos. A continuación, se
describen cada uno de los óvalos rojos señalados en la Figura 5-10.

1. Cámara: Esta ventana muestra lo que está captando la cámara en tiempo real, además
se usa para mostrar la imagen que veía la cámara al momento de tomar los datos, y con
el recuadro rojo señala la zona reconstruida.
2. 3D: Aquí se muestra la reconstrucción tridimensional del objeto luego de procesado los
datos.
3. Topografía: En este recuadro se muestra la reconstrucción topográfica del objeto, es
decir. Los niveles de grises tienen un valor de altura asociado.

45
 4. Perfil Interferométrico: Aquí se muestra las intensidades para un solo pixel registradas
en el barrido axial después del proceso de calibración. En este proceso se puede
determinar en nanómetros la distancia equivalente en valores de fase a 2  . Esto permite
determinar que distancia debe desplazarse el PTZ para capturar las intensidades en cada
desfase exigido por el método de Phase Shifting elegido en particular.
5. Mov Piezo: En este panel se controla el dispositivo piezo eléctrico (PTZ), aquí se puede
desplazar el PTZ para que el patrón de interferencia tenga el mayor contraste posible.
El pop-up menú permite seleccionar le método de reconstrucción a aplicar y el paso
queda determinado por la calibración y el método.
6. Perfil XZ y Perfil YZ: En estos paneles se muestra un perfil reconstruido de la muestra
tanto vertical como horizontalmente.
7. Ver y Salir: El botón ver permite visualizar reconstrucciones anteriores, y en botón salir
desconecta la cámara, el PTZ y cierra la interfaz.

6.3 CALIBRACIÓN

6.3.1 Calibración del espacio visual

La resolución de una imagen indica la cantidad de detalles que puede observarse en esta. La
cámara CMOS usada en este trabajo tiene una resolución por defecto de 752 x 480, es decir 752
pixeles de ancho, por 480 pixeles de alto. Entonces, en este caso la imagen está compuesta de
360.960 píxeles. Como el objetivo es dar información precisa acerca del tamaño real de la
muestra, no solo en alturas, sino también el área de la zona reconstruida, es necesario calcular
el tamaño equivalente de un pixel.

Un píxel es la menor unidad homogénea en color que compone una imagen digital, es un
concepto inmaterial que no tiene una medida concreta. Por lo tanto, la resolución mide la
cantidad de píxeles que contiene una imagen y establece la relación entre las dimensiones
digitales y las físicas. En definitiva, a mayor número de píxeles por unidad de longitud, mayor
concentración de puntos en menos espacio, y por lo tanto mayor calidad de imagen.

Para encontrar el tamaño del pixel, se utilizó la regleta de calibración mostrada en la Figura 5-
11. De manera que el tamaño del pixel se puede calcular de la siguiente forma:

TAMAÑO DEL CAMPO VISUAL (5.3.1)

TAMAÑO PIXEL=
NUMERO DE PIXELES
Figura 6-11: Regleta de Calibración.

46
En la Figura 5-12 se pueden observar las líneas calibradas de la regleta en la zona de
observación del microscopio perfilométrico, cada división tiene un valor de 0.01mm (Figura 5-
11), se puede verificar que el tamaño total en el eje x es de 178 µm y en el eje y es de 112µm.
Por lo tanto:

178  m
TAMAÑO PIXEL EJE X= =0,24  m
744

112  m
TAMAÑO PIXEL EJE Y= =0,24  m
469

Figura 6-12: Regleta de calibración observada por la cámara del microscopio perfilométrico.

6.3.2 Determinación de la longitud de onda experimental del patrón de interferencia para

luz cuasi-monocromática:

Usando el software diseñado en Matlab que controla la cámara CMOS y el PTZ y con la ayuda
del desplazador de paso fino adaptado a la muestra (espejo), se localiza la zona donde existe
interferencia con el mayor contraste posible. Luego, con la ayuda del PTZ se realiza un barrido
axial y se captura los valores de intensidad correspondiente a un pixel a pasos de 10 nm en un
rango que permita barrer toda la zona de interferencia, se guardan los valores de intensidad
correspondientes a cada posición del PTZ y se procede a realizar un ajuste sinusoidal al patrón
de interferencia la zona señalada en el recuadro rojo de la Figura 5-12. Se calcula la distancia
entre cada cresta (longitud de onda), que en valores de fase equivales a 2 , a partir de la
frecuencia obtenida en el ajuste sinusoidal, obteniendo así, el valor experimental de la longitud
de onda promedio de la luz cuasi-monocromática capturada por la cámara luego de interferir.
La Figura 5-13 muestra el interferograma obtenido en el proceso de calibración, así como la
longitud de onda promedio calculada.

47
 Figura 6-13: Calibración para determinar la longitud de onda promedio de la luz cuasi coherente luego de interferir.

Por medio del ajuste de mínimos cuadrados se obtuvo una longitud de onda de la luz cuasi
coherente después de interferir fue de 320.56 nm esta distancia equivale en valores de fase a
2 . La desviación estándar de la parte gaussiana (evolvente) de la ecuación que determina el
comportamiento general en toda la zona de interferencia (Figura 5-13) es útil para calcular
longitud de coherencia de la fuente de luz cuasi monocromática, esta es de aproximadamente
40µm. El mismo procedimiento (Figura 5-14) se hace para calcular la longitud de coherencia
de la luz policromática escogiendo un paso para el PTZ de 5nm. La Longitud de coherencia
calculada es de 4,3µm y la longitud de onda de la luz policromática después de interferir fue de
360nm.

Figura 6-14: Calibración para determinar a longitud de coherencia experimental de la luz policromática

48
El microscopio perfilométrico por interferometría óptica construido permitió obtener resultados
de varias superficies, por medio de interferometría de luz blanca y por interferometría de luz
cuasi-monocromática, en cada una de estas se implementó varios algoritmos: Detección de
máximo o mínimos, Máximo de la envolvente y Localización por valores de fase para luz
policromática y Phase Shifting a 4 y 5 imágenes para luz cuasi-monocromática. Los datos se
filtraron para evitar el ruido y se suavizaron en el plano xy, también se implementó un algoritmo
de rotación de la matriz reconstruida para una mejor apreciación. En este capítulo se muestran
los resultados obtenidos del levantamiento topográfico con el microscopio perfilométrico
construido; para varios objetos y mediante las diferentes técnicas y algoritmos. Así mismo, se
realiza un análisis comparativo de los resultados.

7.1 RECONSTRUCCIONES Y COMPARACIONES

7.1.1 Microscopio perfilométrico por interferometría de luz blanca.

En este caso se reconstruyeron tres muestras: una nanoestructura en forma de escalón, cierta
región de una micro lente de Fresnel y cierta parte de una esfera metalizada.

En la Figura 6-1 se muestran las vistas superiores de cierta región de una esfera aplicando los
métodos de interferometría de luz policromática por los métodos de Detección de mínimos
(Figura 6-1 (a)), Máximo de la envolvente (Figura 6.1(b)) y Localización por valores de fase
(Figura 6-1 (c)). En este caso no fue posible hacer una reconstrucción de una zona más amplia
debido a las limitaciones del dispositivo; en particular, a los alrededores de la zona reconstruida
la inclinación del objeto hace que las franjas se aprieten lo suficiente para no distinguir una de
otra.

50
Figura 7-1: Vistas superiores de cierta región de una esfera metalizadas por los métodos de a) Detección de mínimos, b) Máximo
de la Envolvente y c) Localización por valores de fase.

a) b)

c)

51
Figura 7-2: Vistas superiores de una nanoestructura en forma de escalón por los métodos de a) Detección de mínimos, b)
Máximo de la Envolvente y c) Localización por valores de fase.

a) b)

c)
En la Figura 6-2 se muestran las vistas superiores de una nanoestructura en forma de escalón,
se demuestra que el microscopio perfilométrico por interferometría de luz policromática
funciona eficazmente para saltos de atura, siempre y cuando toda la zona reconstruida sea
barrida axialmente existiendo interferencia. La Figuras 6-2 (a), 6-2 (b) y 6-3 (c) muestran las
reconstrucciones de la nanoestructura en forma de escalón obtenidas por los métodos de
Detección de mínimos, Máximo de la envolvente y Localización por valores de fase
respectivamente. En este caso, el tamaño de la zona reconstruida depende del volumen de la
información que debe será tratada computacionalmente. Es decir; a pesar que en todo el espacio
es posible obtener franjas (742 x 480 pixeles), el costo computacional es muy elevado. Por lo
que se selecciona una zona de menor tamaño.

52
Figura 7-3: Vistas superiores de cierta región de una micro lente de Fresnel por los métodos de a) Detección de mínimos, b)
Máximo de la Envolvente y c) Localización por valores de fase.

a) b)

c)

Las vistas superiores de cierta zona de una micro lente de Fresnel obtenidas por los métodos de
Detección de Mínimos, Máximo de la Envolvente y Localización por valores de fase se
muestran en la Figura 6-3 (a), (b) y (c) respectivamente. Las diferencias de altura de cada salto
de la lente superan los 320nm, razón por la cual no fue posible aplicar los métodos de luz cuasi
coherente para este objeto debido a que los saltos de altura superan la resolución axial de dichos
métodos.

53
Figura 7-4: Vistas 3D de cierta región de una esfera metalizada por los métodos de a) Detección de mínimos, b) Máximo de
la Envolvente y c) Localización por valores de fase.

b)
a)

c)

En la Figura 6-4 (a), (b) y (c) se muestran las reconstrucciones tridimensionales de

cierta región de la esfera metalizada mencionada anteriormente por los métodos de
Detección de mínimos, Máximo de la envolvente y Localización por valores de fase.
En la Figura 6-5 se muestra la comparación de los tres métodos adaptados en el
microscopio perfilométrico con luz policromática para la esfera, usando solo un perfil
de las reconstrucciones obtenidas. Como se aprecia en la Figura, en la parte inicial
los tres perfiles coinciden perfectamente, y al final parecen tener diferentes alturas.
Esto se debe a que después de realizada la reconstrucción por cada uno de los
métodos, los perfiles se reajustan para que su punto de mínimo de altura empiece en
cero. Además, el algoritmo de rotación mencionado al inicio de este capítulo funciona
con criterios manuales, es decir; depende de la apreciación del ojo humano. Lo que
hace que la inclinación de cada uno de los perfiles no sea la misma.

54
 Figura 7-5: Comparación de los tres métodos con luz policromática para la esfera.

Figura 7-6: Vistas 3D de una nanoestructura en forma de escalón por los métodos de a) Detección de máximos, b) Máximo
de la Envolvente y c) Localización por valores de fase.

b)
a)

c)

55
En la Figura 6-6 (a), (b) y (c) se aprecian las reconstrucciones tridimensionales de la
nanoestructura en forma de escalón, es posible apreciar que dicho escalón tiene una
altura aproximada de 300 nm. Esta nanoestructura es una película de Nitruro de
Titanio obtenida por deposición de iones de vapor y cuyo método de caracterización
es descrito por Lara (2011) .

Figura 7-7: Comparación de los métodos para la nanoestructura en forma de escalón.

La Figura 6-7 muestra una comparación de los perfiles bidimensionales para la

nanoestructura en forma de escalón. Todos los perfiles fueron ajustados para que su
altura mínima fuera cero. En este caso las inclinaciones obtenidas luego de aplicar el
algoritmo de rotación fueron muy parecidas por lo que es difícil apreciar diferencias.
En la Figura 6-8 (a), (b) y (c) se muestran las reconstrucciones tridimensionales de la
micro lente de Fresnel obtenidas por los métodos de Detección de mínimos, Máximo
de la envolvente y Localización por valores de fase respectivamente. Al igual que para
el caso de la nanoestructura en forma de escalón, la zona reconstruida está limitada
por el costo computacional. Esta misma lente fue reconstruida en el trabajo de Arias
(2015). Desde el punto de menor altura hasta el punto más alto de la lente hay
aproximadamente 1.2 micras, y al estar conformada por tres saltos de altura, cada
tramo tiene aproximadamente 400nm. En la Figura 6-9 Se muestran la comparación
de los perfiles para la micro lente de Fresnel obtenidas por los tres métodos de
perfilometría por interferencia de luz policromática.

56
Figura 7-8: Vistas 3D de cierta zona de una micro lente de Fresnel por los métodos de a) Detección de máximos, b)
Máximo de la Envolvente y c) Localización por valores de fase.

b)
a)

c)
Figura 7-9: Comparación de los métodos para la micro lente de Fresnel.

57
 7.1.2 Microscopio perfilométrico por interferometría de luz cuasi-monocromática.

Para este caso fue posible reconstruir la nanoestructura en forma de escalón y cierta parte de
una esfera metalizada. El la Figura 6-10 (a) y (b) se muestran las vistas superiores para los
métodos de perfilometría con interferencia de luz cuasi-monocromática. Es decir; los métodos
de Phase Shifting a 4 y 5 imágenes respectivamente. Las vistas 3D de la nanoestructura en
forma de escalón Se muestran en La Figura 6-10 (c) y (d). En ambos casos se observa ciertas
oscilaciones que no pertenecen a las características de la muestra. Dichas oscilaciones que
tienden a comportarse similares a las franjas de interferencia producidas al momento de la
reconstrucción, se deben al comportamiento no lineal del PTZ. Es decir; para que los métodos
de Phase Shifting funcione correctamente, las posiciones en la que se toman cada imagen
necesaria para calcular la fase deben ser muy precisas. A pesar de que se realiza un proceso de
calibración (Sección 5.3.2) para calcular dichas posiciones, el PTZ presenta cierta histéresis
que se vuelve apreciable por las dimensiones de la muestra.

Figura 7-10: Reconstrucción de la nanoestructura en forma de escalón para los métodos de interferometría de luz
cuasi-monocromática, a) vista superior PS4, b) vista superior PS5 c) vista 3D PS4 y d) vista 3D PS5.

a) b)

c) d)

58
 Figura 7-11: Reconstrucción de cierta región de una esfera metalizada para los métodos de interferometría de luz
cuasi-monocromática, a) vista superior PS4, b) vista superior PS5 c) vista 3D PS4 y d) vista 3D PS5.

a) b)

c) d)

La Figura 6-11 se muestran las reconstrucciones de cierta parte de una esfera metalizada usando
el microscopio perfilométrico por interferometría de luz cuasi-monocromática. En la Figura 6-
11 a) y c) se muestran la topografía y la reconstrucción tridimensional por el método de Phase
Shifting a 4 imágenes respectivamente, y en b) y d) las correspondientes a el método de Phase
Shiftng a 5 imágenes.

7.1.3 Comparación Interferometría de luz policromática vs interferometría de luz cuasi-

monocromática.

Para comparar los métodos por interferometría de luz policromática con los de luz cuasi
coherente, se eligió una zona en común de la nanoestructura en forma de escalón y se procedió
a aplicar todos los métodos a esta misma zona. En la Figura 6-12 se ven las reconstrucciones
3D para la nanoestructura por cada uno de los métodos.

59
Figura 7-12: Comparación entre los métodos de interferometría de luz policromática y de luz cuasi monocromática

En la Figura 6-13 se puede observar la comparación entre uno perfiles por los diferentes
métodos aplicados.

Figura 7-13: Comparación de los perfiles reconstruidos para la nano estructura en forma de escalón por los diferentes
métodos aplicados.

60
7.2 ANÁLISIS DEL ERROR

7.2.1 Microscopio perfilométrico por interferometría de luz policromática.

Para una apreciación de la incertidumbre del método se usa un espejo y se asume como un plano
perfecto. Se calcula la desviación estándar de éste con respecto a la topografía obtenida con
cada caso. El plano que representa el espejo es obtenido mediante un ajuste por mínimos
cuadrados. La reconstrucción topográfica de mejor comportamiento es la del método de
Localización por valor de fase, con una desviación estándar de 9.5 nm, seguida del método
localización del máximo de la envolvente con una desviación estándar de 14.4 nm y el de más
bajo desempeño fue el método de Detección del mínimo del interferograma, con 23.8 nm de
desviación estándar. Esto teniendo en cuenta que la matriz de interferogramas captadas por la
cámara se registró a pasos de 20nm. En la Figura 6-14 se muestra un perfil de las
reconstrucciones del espejo por el método de detección del mínimo, detección del máximo de
la envolvente y localización por valores de fase respectivamente.

Figura 7-14: Análisis del error para los métodos de luz policromática.

7.2.2 Microscopio perfilométrico por interferometría de luz cuasi-monocromática.

Para los métodos de luz cuasi-monocromática la estimación del se realizó de manera similar
que el caso anterior. Se calculando la desviación estándar de éste con la topografía obtenida
con cada caso. El plano que representa el espejo es obtenido mediante un ajuste por mínimos
cuadrados. La reconstrucción topográfica de mejor comportamiento es la del método de PSI a
cinco imágenes, con una desviación estándar de 9.0 nm, y el método de PSI a 4 imágenes mostro
una desviación estándar de 17.5nm. La principal fuente de error son las vibraciones externas y
la histéresis propia del PTZ. En la Figura 6-15 se muestra un perfil de las reconstrucciones del
espejo por el método de Phase Shifting a cuatro y a 5 imágenes, también se muestra el perfil
del espejo obtenido por mínimos cuadrados.

61
 Figura 7-15: Análisis del error para los métodos de Luz cuasi-monocromática

7.3 OBSERVACIONES Y RECOMENDACIONES

En este trabajo, se implementó un microscopio perfilométrico por interferometría óptica y se

aplicaron métodos que obtuvieron muy buenos resultados. Sin embargo, debido a ciertas
limitaciones, como, por ejemplo, la no disposición de muestras cuyas topografías estén
verificadas y validadas, es necesario realizar un proceso de validación de los resultados y de la
implementación del dispositivo. El diseño del dispositivo facilita la inserción de otras
metodologías de microscopia como lo son: la microscopia por contrate de fase, microscopia
con focal y microscopia de contraste por interferencia diferencial (DIC). Esto permitiría seguir
formando profesionales en el área de metrología óptica y en particular en el área de diseño y
construcción de dispositivos ópticos.

Para el caso de interferometría con luz policromática es recomendable implementar métodos

que puedan ser procesados en tiempo real, ya que el método de Máximo de la envolvente y el
de Localización por valores exige una compilación completa de los datos antes de poder
empezar a procesarse para obtener los resultados.

Posibles trabajos futuros pueden incluir la determinación del espesor de estructuras

independientes o no, del índice de refracción. Una combinación de análisis de espectro con
interferometría de luz blanca es un enfoque posible para este problema, ya que el análisis de
espectro puede obtener el índice de refracción, que se usa para determinar el grosor en la
interferometría de luz policromática.

62
Se diseñó, construyó un microscopio perfilométrico por interferometría de luz policromática o
luz blanca, e interferometría de luz cuasi monocromática, completamente funcional, que
permite la reconstrucción topográfica de objetos escala nanométrica.

Se implementó varios algoritmos o técnicas de reconstrucción topográfica, unos por

interferometría de luz policromática: detección de máximos o mínimos, por localización del
máximo de la envolvente y por localización de fase, y otros por interferometría por luz cuasi-
monocromática: Phase shifting a 4 y 5 capturas.

Se desarrolló un nuevo algoritmo basado la sensibilidad de la fase (localización de la fase) al

desplazamiento para el análisis de franjas de interferencia en la exploración axial de
interferometría de luz policromática. La novedad de la técnica radica en el aumento de la
resolución axial, ya que hace posible aumentar la resolución del muestreo hasta
aproximadamente 1000 posiciones o más. La desventaja del método es el costo computacional
y su dependencia de la longitud de onda obtenida en el interferograma, sin embargo, sigue
siendo un método eficaz para analizar patrones de franjas ruidosas.

Se elaboró una interface de usuario en MATLAB de fácil uso y de ambiente de interacción

amigable que permite:

✓ El control automático del sistema de desplazamiento axial (piezo - PTZ), la captura y

almacenamiento de las imágenes, la sincronización de la cámara y el PTZ, la
calibración del desplazamiento axial, del campo visual de trabajo, la selección y
aplicación de alguno de las técnicas de reconstrucción implementadas y la visualización
de la reconstrucción tridimensional calculada.

✓ La visualización en tiempo real de la muestra, de las franjas del patrón de interferencia,

si se encuentra en el rango de la longitud de coherencia de la fuente.

✓ La reconstrucción tridimensional de la superficie de los objetos y sus perfiles

topográficos por las distintas técnicas implementadas: detección de máximos o
mínimos, localización del máximo de la envolvente, localización de valores de fase,
Phase Shifting a 4 y 5 capturas.

Se reconstruyó la topografía de la superficie de varios objetos con detalles de alturas máximas

entre 300nm y 1.1 micrómetros. Los objetos reconstruidos son: parte de una esfera reflectiva,
parte de una lente de Fresnel y parte de un escalón metálico.

El microscopio perfilométrico construido, permite reconstruir objetos en un campo de

observación máximo de 827  m x 528  m . Con:

63
 ✓ Una resolución de 0.1 nm para las técnicas de Phase Shifting y un error de 9nm para el
método de Phase Shifting a 5 imágenes, y de 17,5nm para Phase Shifting a 4 imágenes
en un rango máximo de trabajo 322nm si se presentan cambios abruptos y de
aproximadamente 10 micrómetros cuando los cambios de alturas son suaves.

✓ Una resolución de 20nm y error de 9,5nm, 14,4nm y 23,8. Para las técnicas de
Localización de valores de fase, localización del máximo de la envolvente y detección
de máximos respetivamente y un rango máximo de trabajo de 100 micrómetros.

Este tipo de sistema posee limitaciones, como:

✓ La no movilidad del sistema, ya que este es un sistema de tipo fijo, esto quiere decir que
no se pueden realizar reconstrucciones a objetos en movimiento y objetos de gran
tamaño.

✓ El sistema es susceptible a la introducción de errores del medio, este es muy sensible al

ruido mecánico. Entonces, es necesario que el dispositivo esté en una base que aísle las
vibraciones mecánicas del medio.

✓ Es necesario elegir adecuadamente el paso del muestreo y la intensidad luminosa,

debido a esto puede presentarse errores al momento de implementar los algoritmos
correspondientes a interferometría de luz policromática. El paso siempre debe estar por
debajo de la longitud de onda promedio, y la intensidad luminosa de la lampara LED
debe tener el balance correcto para producir un buen contraste en el interferograma, sin
saturar la cámara.

✓ Las muestras que se desean reconstruir topográficamente deben tener un alto grado de
reflectividad, de tal forma, que se logren un alto contraste de las franjas. En el caso se
los métodos de Phase Shifting, las muestras no deben poseer saltos de altura superiores
a media longitud de onda del haz, esto se conoce como el problema de ambigüedad de
la fase.

✓ La técnica de reconstrucción topográfica de luz policromática, requieren de adquirir un

alto volumen de información, la cual es necesaria para obtener la reconstrucción, esto
repercute en: gran consumo de tiempo en la adquisición, demanda de recursos de
hardware y tiempo de computo para la obtención del resultado final.

La construcción del microscopio perfilométrico muestra una gran capacidad para la inspección
no destructiva de microcomponentes, obteniendo información topográfica con resolución del
orden de los nanómetros. En la configuración de iluminación de luz blanca o policromática, se
puede inspeccionar superficies con un grado alto de reflectividad, con alta resolución y de
alturas desde los nm hasta varias micras. En la configuración de luz cuasi-monocromática
también es posible inspeccionar sin contacto, obteniendo información topográfica también con
resolución nanométrica y con mayor rapidez.

64
La construcción de este microscopio perfilométrico permite la inserción de otras técnicas de
reconstrucción topográfica por interferometría de luz blanca y luz cuasi-monocromática, lo que
conlleva al fortalecimiento de la línea de metrología por perfilometría interferométrica y a la
formación de nuevos investigadores en esta rama de la óptica.

65
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68
Parte de los resultados de este trabajo fueron presentados en el XII CONGRESO
EN ELECTRONICA Y TECNOLOGIAS AVANZADAS que se realizó en la ciudad de Pamplona-
Colombia del 10, 11 y 12 de mayo del 2017 en modalidad poster con el trabajo titulado: “Construcción
e implementación de un microscopio perfilométrico por interferometría de luz blanca.

Figura 0-1: Certificado de ponencia XII CONGRESO INTERNACIONAL EN ELECTRONICA Y TECNOLOGIAS

AVANZADAS.

69
Luego se presentaron otros resultados relevantes en el XIII CONGRESO
EN ELECTRONICA Y TECNOLOGIAS AVANZADAS que se realizó en la ciudad de Pamplona-
Colombia del 12, 13 y 14 de septiembre del 2018 en modalidad poster con el trabajo titulado:
“TOPOGRAPHIC MEASUREMENT OF MICROSURFACE BY WHITE LIGHT
INTERFEROMETRY.

Figura 0-2: Certificado de ponencia XIII CONGRESO INTERNACIONAL EN ELECTRONICA Y TECNOLOGIAS

AVANZADAS.

Gracias a los resultados obtenidos en este trabajo, se logró un nuevo producto tipo artículo que fue
aceptado un artículo en la revista indexada de CIETA y que será próximo a publicarse.

70
 Recibido: 10 de septiembre de 2018
Aceptado:

CONSTRUCCIÓN DE UN MICROSCOPIO PERFILOMETRICO POR

INTERFEROMETRÍA DE LUZ BLANCA

CONSTRUCTION OF A PERFILOMETRIC MICROSCOPE USING WHITE

LIGHT INTERFEROMETRY

Fis. Juan A. Sanchez-Daza, Doc. Martha Lucía Molina-Prado, Doc. Néstor. A.

Arias-Hernández

Universidad de Pamplona, Grupo de Investigación de Óptica Moderna. Ciudadela

Universitaria, Pamplona, Norte de Santander, Colombia. Tel.: (+577) 568 5303.
E-mail: {juanalbert.21, [Link], molinaprado}@[Link]

Resumen: En este trabajo se presenta el diseño y construcción de un microscopio

perfilométrico por interferometría de luz blanca, que permite el levantamiento topográfico
de objetos con resolución nanométrica. Por medio de un escaneo axial del objeto, se
adquiere un conjunto de imágenes con franjas interferométricas deformadas las cuales dan
información de la rugosidad del objeto. El principio del sistema está basado en la
localización del pico de coherencia en cada posición Im(i,j) del conjunto de m imágenes
adquiridas, en donde la posición z(m) del pico de coherencia cambia de acuerdo a la
topografía del objeto. Se presenta una serie de reconstrucciones tridimensionales de varios
objetos a resolución nanométrica, obtenidas de manera automática con la ayuda de una
interface gráfica elaborada en Matlab, que permite el control de los dispositivos, procesado
digital de las imágenes y el cálculo de la topografía del objeto.

Palabras claves: Interferometría de luz blanca, Mirau, Sistema interferómetro Vertical.

Abstract: The design and construction of a perfilometric microscope by white light

interferometry, which allows the topographic lifting of objects with nanoscale resolution is
presented. By means of an axial scanning of the object, a set of images with a system of
deformed interferometric fringes which give information of the roughness of the object are
acquired. The principle of the system it is based on the location of the coherence peak in
each position Im(i,j) of the set of m acquired images, where the position z(m) of the
coherence peak changes according to the topography of the object. A series of three-
dimensional reconstructions of several objects at nanometric resolution, obtained
automatically with the help of a graphical interface elaborated in Matlab, which allow
digital image processing and control of the devices and the calculation of the topography
of the object is presented.

1. INTRODUCCIÓN resolución lateral podría mejorarse con

interferometría de luz policromática o luz blanca en
La interferometría de luz blanca es una técnica muy comparación con la del microscopio convencional.
conocida en el estudio de topografías de objetos del En los últimos años se han publicado muchas más
orden nanométrico. Davidson (1987) utilizó la aplicaciones de la interferometría luz blanca (Deck
técnica de interferometría de luz policromática para y Groot, 1994; Sandoz, 1999). Este trabajo describe
medir el perfil de microcomponentes en los circuitos el diseño y construcción de un sistema microscópico
integrados. Lee y Strand, (1990) demostraron que la con un objetivo interferométrico tipo Mirau de 10X,

71
que permite extraer la información tridimensional 2. ANALISIS DE FRANJAS DE
de la muestra observada, la cual, se obtiene a partir INTERFERENCIA DE LUZ
de las imágenes adquiridas. Para calcular el pico de POLICROMATICA
coherencia se implementa varios algoritmos como
son: el cálculo del mínimo del interferograma, el Al utilizar el sistema mostrado de la Figura 1(a)(b)
cálculo del máximo de la envolvente (Larkin, 1996; con luz blanca o policromática, las reflexiones sobre
Takeda et al., 1982) y la localización del centro de la muestra, ubicada en el portaobjeto, son
interferograma mediante el análisis de la fase por combinadas con las reflexiones provenientes del
transformada de Fourier (Sandoz 1996; Gasvik, espejo de referencia, localizado en el objetivo
2002). Mirau. El campo eléctrico E (t ) que llega al
(a) (b)
detector es la superposición de la luz que proviene
de la muestra y el espejo de referencia:
E (t ) = Es (t ) + Er (t +  ) (1)

Donde Es y Er son respectivamente las amplitudes

ópticas del haz señal o de la muestra y del haz de
referencia. Mientras que  , es el tiempo de retraso
debido a la diferencia de longitud en los caminos ópticos
de los dos haces. La intensidad registrada por el detector
está dada por,
I d = E (t ) = I s + I r + 2 I s I r e{ ( )}
2
(2)

Fig. 1. (a) Esquema de sistema interferométrico tipo Mirau. donde  ( ) es la forma normalizada del grado
(b) imagen interferométrica registrada por la cámara para
cierta región de una esfera metalizada.
complejo de coherencia mutua, que se expresa
como,
Una imagen interferométrica está compuesta por un ES* (t )Er (t + t )
sistema de franjas que contiene información de g (t ) = (3)
Is + Ir
intensidad y de fase asociados a la muestra (objeto)
(Fig. 1(b)). El objetivo interferométrico tipo Mirau, En general, el grado complejo de coherencia mutua
contiene en su interior un interferómetro que está incluye los efectos de coherencia espacial y
compuesto por un divisor de haz entre el objetivo y
temporal. Para un interferómetro de amplitud como
la muestra (Fig. 1(a)), y un espejo de referencia
sobre el centro de su cara frontal. El funcionamiento el interferómetro Mirau, la coherencia espacial se
del objetivo interferométrico es similar al de un puede despreciar considerando un punto sobre la
interferómetro tipo Michelson, con la diferencia que fuente incoherente espacialmente, así la coherencia
los dos brazos por donde la luz realiza su recorrido mutua se reduce a la auto-coherencia o coherencia
están en un mismo eje, por lo tanto, cuando el haz temporal, en este caso:
luminoso atraviesa el objetivo, el divisor de haz o
I d ( ) = E ( ) = I s + I r + 2 I s I r e{ t c ( )} (4
2
lámina separatríz divide éste en dos: uno que se )
transmite hacia la muestra y el otro que es reflejado.
El haz reflejado va al espejo de referencia, regresa a Donde, e{ t c ( )} es la parte real del grado
la lámina separatríz y se superpone con el reflejado complejo de coherencia temporal de la fuente de luz,
por el objeto. Así, la correlación de los dos haces es la cual es la forma normalizada de la función de
vista por el sensor CMOS. El contacto óptico se
obtiene cuando la diferencia de camino óptico entre auto-coherencia  1 1 ( ) ,
el haz-espejo de referencia y el haz-objeto es cero. G1 1 (t )
g1 1 (t ) = , (5)
G1 1 (0)
En este trabajo se detalla el microscopio construido,
un esquema de funcionamiento del mismo, una donde 1 1 = E (t +  ) E * ( ) y el subíndice 11,
descripción de los algoritmos de detección del pico
de coherencia implementados, la interface de corresponde a un único punto de la fuente
control de la cámara digital y el sistema de traslación incoherente. El grado complejo de coherencia
piezoeléctrica. De igual manera se presenta una normalizado de la fuente de luz es dado por la
calibración de sistema en precisión, resolución y se trasformada de Fourier de la densidad espectral de
da a conocer las ventajas del uso de esta técnica. energía de la fuente de luz. Si esta fuente de luz es
policromática y tiene una densidad espectral de

72
energía gaussiana G( f ) con ancho espectral f y donde I s e I r son las intensidades de los dos haces
frecuencia media f , el grado complejo de que actúan independientemente,  p
  es el grado
 c 
coherencia temporal  1 1 estará dado por,
é æ 2ù complejo de coherencia, la cual corresponde a la
¥
f -f ö ú
g1 1 (t ) = G0 ò exp ê- ç ÷ exp(-i 2pt f )df (6) visibilidad de la envolvente de la franjas de
êë è Df ø úû
-¥
interferencia, y cos  2  p +   es la modulación
  
0

Donde G0 es una constante. Teniendo en cuenta 
cosenoidal donde corresponde a la longitud de
que  1 1 (0) = 1 , se tiene que: p = 2( z − h)
onda media de la fuente, es la
 t c ( ) = exp  − (f )
2
 exp ( −i 2 f  ) (7) diferencia de las longitudes de los caminos ópticos
 
atravesados por los haces y 0 es la diferencia del
Así la ecuación (4), se puede escribir como:
corrimiento de fase debido a las reflexiones sobre el
I d ( ) = I s + I r + 2 I s I r exp −(f )2  cos(2 f  ) (8) divisor de haz, los espejos y posiblemente el
o material de prueba. La Figura 2(b), muestra las
I d = I 0 1 + V ( ) cos ( 2 f  ) (9) variaciones de intensidad sobre el punto de la
imagen cuando el objeto es barrido axialmente.
Donde I 0 es la intensidad de fondo ( I s + I r ), V es
Se utiliza una cámara CMOS ubicada en el plano
la función de contraste de las franjas o envolvente imagen del sistema óptico del microscopio como
del patrón de franjas observado. Esta función V mecanismo de registro del interferograma, cada
está dada por: pixel de esta tiene la posibilidad de registrar
 2 Is Ir  patrones de interferencia similares a los de la Figura
V ( ) =   exp  − (f ) 
2

 Is + Ir  (10) 2(a) en la medida que el objeto es desplazado en el

 
eje axial Z , pero estos pueden tener la posición
pico de coherencia en posiciones de barrido
diferentes, esta diferencia de posiciones nos permite
medir la forma del objeto (Fig. 2(b)).

3. METODOS DE DETECCION DEL PICO

DE COHERENCIA

(b) La interferometría con luz blanca es una técnica

(a) ampliamente utilizada para medidas topográficas de
Fig. 2. (a) Perfil interferométrico de un pixel o alta resolución axial sin contacto (Deck y Groot,
interferograma. (b) Localización de los picos de coherencia de 1994; Larkin, 1996; Sandoz, 1996). La técnica
los inteferogramas y determinación de las medidas de alturas básicamente divide un rayo de luz de una fuente de
para tres pixeles arbitrarios. luz blanca en dos haces separados. Un rayo es
reflejado por la superficie del objeto a medirse
Si en el sistema de la Figura 2(a) y (b) el origen de (Brazo muestra) mientras que el otro sigue un
coordenadas es tomado sobre un punto z en trayecto conocido de distancia óptica constante
particular en la dirección axial, donde los dos (Brazo de referencia). Debido al ancho de banda
caminos ópticos son iguales (contacto óptico) y la espectral de la fuente, la longitud de coherencia es
superficie de prueba es movida a lo largo del eje Z corta, y franjas de buen contraste se obtendrán
en una serie de pasos de tamaño Z , entonces la únicamente cuando la diferencia de camino de los
dos brazos del interferómetro sea menor a la
intensidad sobre un punto ( x, y ) en el plano de la
longitud de coherencia de la fuente. Se utiliza un
imagen que corresponde a un punto del objeto de transductor piezoeléctrico (PZT), para variar la
altura h , se puede escribir como: distancia óptica del brazo muestra del
 p  2   interferómetro y las variaciones de altura a través de
I d ( ) = I s + I r + 2 I s I r    cos   p + 0  (11)
c     la muestra pueden ser determinadas buscando la
posición que tiene el PZT cuando se obtiene el
máximo contraste de franjas. Este modo de
operación es conocido como Modo de sensado del
pico de coherencia por barrido vertical.

73
3.1 Detección de máximos o mínimo del De manera que,
interferograma. G f ( f z ) = G( f z ) • Hann( f z ) (14)
La detección del máximo o mínimo es una técnica Donde f0 es la frecuencia portadora.
que aprovecha la propiedad de los interferogramas
producidos por una fuente policromática. Según la Posteriormente se aplica la transformada inversa,
Ecuación (9), las franjas se encuentran moduladas   
g f ( z ) = −1 G f ( f z ) = G f ( f z ) e2 izf z df z (15
por una envolvente V ( ) presentando un máximo fz )
o mínimo de intensidad en puntos donde la Finalmente se obtiene el módulo o envolvente del
diferencia de camino óptico es cero. Determinar la interferograma.

( Re[ g ( z )]) + ( Im[ g f ( z )])

(16
2 2
forma del objeto consiste en localizar la posición del g f ( z) =
máximo o mínimo del interferograma para cada f )
punto del objeto, desplazando uno de los brazos del Donde, Re[ g f ( z )] y Im[ g f ( z )] son la parte real e
interferómetro Mirau, de tal manera, que cada punto imaginara de la transformada inversa
pasará por el plano de contacto óptico en un valor de respectivamente. Finalmente se calcula el máximo
desplazamiento del portaobjeto, dependiendo de la de dicha envolvente asociándolo al punto donde la
diferencia de altura que tenga los diferentes puntos diferencia de camino óptico es cero. Los pasos que
del objeto. La cámara CMOS registrará los valores describen este procedimiento se pueden ver en la
de la intensidad del interferograma de tal forma, que Tabla 1 en los pasos 1, 2, 3 y 4.
permite almacenar el desplazamiento del
portaobjeto asociado al valor de intensidad máximo
3.3 Localización por valores de fase
o mínimo. Así se construye una matriz con las
Este método (Gasvik, 2002; Arias, 2009) sigue
posiciones de desplazamiento del portaobjeto que
beneficiándose de las propiedades de la
brinda información de altura del objeto discretizada
Trasformada de Fourier, específicamente de la
en un número de niveles de gris propio de la cámara
sensibilidad de la fase o también conocida como la
utilizada. El criterio para escoger si es el máximo o
propiedad de corrimiento,
g f ( z − a) = G f ( f z )e−2 i ( f z a )
el mínimo del interferograma con el que se trabajara,
dependerá si las franjas de interferencia presenten (17)
un desfase con respecto al máximo de la envolvente. Una vez recuperada la transformada de Fourier
Se procura escoger aquella cuya franja coincida o
inversa, se calcula g f ( z ) y la fase p( z ) del
esté más cercana al máximo o mínimo de la
envolvente. En este trabajo, debido a los materiales interferograma,
utilizados se escogió el valor mínimo del  Im[ g f ( z )] 
p( z ) = arctan 
interferograma min{Im(i,j)}.  Re[ g ( z )]  (18)
 f 
Con la ayuda del módulo de la Ec.16 se crea una
3.2 Máximo de la envolvente del máscara binaria para filtrar la zona de la fase
interferograma asociada al interferograma o fase de trabajo. Para
El método de para detectar el pico de coherencia localizar el pico de coherencia se desenvuelve la
usando la envolvente del interferograma utiliza la fase con un algoritmo de unwrapping cuyo punto
Trasformada de Fourier (Gasvik, 2002). El método inicial de desenvolvimiento y el máximo de la
de la transformada de Fourier fue concebido por envolvente coinciden.
Takeda (1982), quien empleó el método de la Tabla 1: Description del procedimiento
transformada rápida de Fourier (FFT). Al Paso 1 Paso 2
interferograma registrado para un pixel g ( z ) se le
aplica la Transformada de Fourier obteniendo su
espectro.

G( f z ) =  g ( z ) =  g ( z)e
−2 izf z
dz (12)
−

En el espacio de frecuencias se ubica el primer

Perfil del interferograma Transformada de Fourier del
armónico que contiene la información de
representado por: g ( z) interferograma dada por:
frecuencias presente en el interferograma y se filtra 

g ( z) = a( z) + b( z)cos[ ( z) + 2 f 0 z] G( f z ) =  g ( z ) =  g ( z)e
−2 izf z
dz
con una ventana tipo hanning de la forma: −

1   f − f   Paso 3 Paso 4
Hann( f z ) = 1 − cos  2  z 0    (13)
8   b f  
    

74
 describen este procedimiento se pueden ver en la
tabla 1, del paso 1 al 10.
P( z ) = az + b (19)

4. DESCRIPCION DEL MONTAJE.

En este trabajo se construye un software para

controlar el dispositivo experimental que consta de
Localización y filtrado del Módulo de la IFFT del una cámara digital tipo CMOS de 752x480 pixeles
primer armónico usando primer armónico filtrado y un objetivo interferométrico tipo Mirau 10x un
un filtro tipo hanning
( Re[ g ( z)]) + ( Im[ g f ( z)])
2 2
g f ( z) = sistema de traslación piezoeléctrico con resolución
G f ( f z ) = G( f z ) • Hann( f z ) f

de 1 nm y rango de trabajo de 100µm y un sistema

Paso 5 Paso 6 de iluminación tipo LED blanca (Fig. 3(a)). El
software construido permite controlar el proceso de
captura de la cámara, así como la región de interés,
sincronizado con el barrido axial del piezoeléctrico.
Se obtiene un numero de imágenes determinado por
el paso del piezoeléctrico y la profundidad del
objeto de interés (Fig. 4(a)).

Fase de la IFFT del primer Mascara binaria obtenida a

armónico partir de la envolvente del
 Im[ g f ( z )]  paso 4. Permite seleccionar
p( z ) = arctan 
 Re[ g ( z )]  la fase de trabajo.
 f  (a) (b)

Paso 7 Paso 8

Fig. 3. (a) Montaje elaborado para la construcción del

microscopio interferómetro. (b) Registro del interferograma
(valor de nivel de Gris) en dos puntos del objeto a diferentes
caminos ópticos, mientras el piezo realiza un barrido de 10
micrómetros, la localización de los máximos del interferograma
permite establecer la diferencia de altura z de los puntos
seleccionados.
Fase de trabajo obtenida en
Fase Desenvuelta usando un
el mismo dominio del
algoritmo de Unwrapping. En este trabajo se diseñó, construyó y se realizó la
interferograma.
Paso 9 Paso 10 puesta a punto del microscopio interferómetro, el
control de los dispositivos (cámara, piezo) desde el
computador (Fig. 3(a)), así mismo, la
implementación de los algoritmos de detección de
pico de correlación (detección del mínimo del
interferograma, detección del máximo de la
envolvente (Takeda, 1982; Larkin, 1996) y por
detección del centro de las franjas del interferograma
mediante análisis de fase por Transformada de
Localización del z central
Recta de ajuste con valores del interferograma para un Fourier (Patrick Sandoz, 1996)) (Fig. 4 y 5).
de fase en zona de trabajo. valor de fase adecuado.
P( z ) = az + b
zij = ( Pij ( z ) − b) / a La interfaz permite obtener el perfil topográfico de
un objeto, utilizando las tres técnicas de localización
Se fija un valor de fase asociado al punto inicial del pico de coherencia, en la Figura 5 se muestra los
interferogramas en una sección vertical, para la
P( z ) de desenvolvimiento para busca el valor de z
reconstrucción de un espejo plano. Este resultado se
usando una función de ajuste por mínimos obtuvo mediante el barrido vertical, con ayuda de un
cuadrados sobre la fase desenvuelta. Los pasos que sistema de desplazamiento piezoeléctrico (PTZ) con
paso de 5nm en un rango de 6 micras.

75
 Fig. 5. Sección transversal de los interferogramas del objeto
(espejo plano), en el cual se muestra los resultados del perfil del
Fig. 4. Interface de control que permite la captura de los datos objeto por los tres métodos implementados (localización del
del interferograma y el cálculo de la topografía del objeto. mínimo de intensidad del interferograma, el máximo de la
envolvente, y la localización del centro del interferograma por
análisis de la fase por transformada de Fourier).

(a) (b) (c)

(d) (e) (f)

(g) (h) (i)

Fig. 6. Se presentan las vistas superiores obtenidas por los tres métodos: (a),(d),(g) Deteccion de Mínimos, (b),(e),(h) Máximo de la
envolvente del interferoframa y (c),(f),(i) Localización por valores de Fase.

Mientras se realiza el barrido axial se almacena la información de su superficie. La Figura 6 (a), (b) y
matriz con los valores de intensidad y el paso del (c) muestra una vista superior de las
piezoeléctrico. Aplicando los algoritmos de reconstrucciones por los tres métodos de parte de
Detección de Mínimos (MM), Máximo de la una esfera metalizada, La Figura 6 (d), (e) y (f)
envolvente (ME) y Localización por valores de fase muestra una vista superior de las reconstrucciones
(MF) sobre distintas muestras, se obtiene por los tres métodos de parte de una nanoestructura

76
 (b)
(a) (c)

(d) (e) (f)

(g) (h) (i)

Fig. 7. Se presentan las vistas 3D obtenidas por los tres métodos: (a),(d),(g) Deteccion de Mínimos, (b),(e),(h) Máximo de la envolvente
del interferoframa y (c),(f),(i) Localización por valores de Fase.

con forma de escalón y La figura 6 (g), (h) y (i) tres métodos de parte de una nanoestructura con
muestra una vista superior de las reconstrucciones forma de escalón y La Figura 7 (g), (h) y (i) muestra
por los tres métodos de parte de cierta región de una la vista 3D de las reconstrucciones por los tres
microlente de Fresnel. De igual forma, las Figura métodos de parte de cierta región de una microlente
7 (a), (b) y (c) muestra la vista 3D de las de Fresnel. El rango de barrido axial depende de la
reconstrucciones por los tres métodos de parte de altura de los detalles y la inclinación de la muestra,
una esfera metalizada, La Figura / (d), (e) y (f) en los casos estudiados el rango fue de 4 micras a
muestra la vista 3D de las reconstrucciones por los 20 micras.

Fig. 7. Perfiles obtenidos para la reconstrucción de cada objeto: (a) esfera metalizada, (b) nanoestructura con forma de escalón y
(c) micro lente de Fresnel.

77
Se cálculo el error para los tres métodos al microscopy to integrated circuit inspection
reconstruir un espejo asumiéndolo perfectamente and metrology. “Paper presented at the
plano. El plano que representa el espejo se obtiene Integrated Circuit Metrology, Inspection, &
mediante un ajuste por mínimos cuadrados. Al Process Control”
calcular la desviación estándar de éste con la
topografía obtenida en cada caso, permite P. Sandoz, R. Escalona, V. Bonnans, and S.
establecer cuál de los tres métodos es la de menor Dembele (1999), “From interferometry to
error. La reconstrucción topográfica de mejor image processing: Phase measurement vision
comportamiento, es la del método de Localización method for high accuracy position sensing of
por valor de fase, con una desviación estándar de rigid targets, Proceedings of Interferometry in
9.5 nm, seguida del método localización del Speckle Light: Theory and Applications”.
método de localización del máximo de la 421-428.
envolvente con 14.4 nm y el de más bajo
desempeño fue mínimo del interferograma con una P. J. Caber (1993), “Interferometric profiler for
desviación estándar con 23.8 nm de desviación rough surfaces”. Appl. Opt., 19(32):3438-
estándar. Esto teniendo en cuenta que la matriz de 344.
interferogramas captadas por la cámara se registró
a pasos del piezoeléctrico de 20nm. En la figura 7. L. Deck and P. de Groot (1994), “High-speed
(a), (b) y (c) se muestran los perfiles para la esfera noncontact profiler based on scanning white-
metalizada, el escalón respectivamente y la lente de light interferometry”. Appl. Opt.,
Fresnel, obtenidos por cada método evaluado en 31(33):7334-7338.
este trabajo. Esto permite observar el
comportamiento diferencial de los métodos y P. de Groot and L. Deck (1995), “Surface profiling
destacando la superioridad en calidad del método by analysis of white-light interferograms in
de localización de valor de fase sobre los demás. the spatial frequency domain”. J. of Mod.
Opt., 2(42):389-401.
5. CONCLUSIONES
Se implementó un sistema de microscopía M. Takeda (1982), “Fourier-transform method of
interferencial tipo Mirau, que permite obtener la fringe-pattern analysis for computer-based
topografía de objetos con alturas del orden de los topography and interferometry”. J. Opt. Soc.
nanómetros. Este microscopio es constituido por: Am., (72):156-160.
un piezoeléctrico con una resolución axial de
0.1nm que permite obtener medidas de las alturas, K. G. Larkin (1996), “Efficient nonlinear algorithm
una cámara CMOS de 480x752 pixeles y un for envelope detection in white light
objetivo interferométrico de microscopio de 10x, interferometry”. J. Opt. Soc. Am., 13:832-
cuya zona de observación máxima es de 843,
0.4x0.8mm. Se implementó tres métodos de
detección del pico de coherencia, para el cálculo de P. Sandoz (1996), “An algorithm for profilometry
la topografía de objetos cuyas alturas son del orden by white light phase shifting interferometry”.
de los nanómetros: de Localización por valor de J. [Link]. (43):1545-1554.
fase, localización del máximo de la envolvente y
búsqueda del mínimo del interferograma Kjell J. Gasvik (2002) “Optical metrology”, Third
min{Im(i,j)}. La resolución final del sistema Edition. Spectral vision AS, Trondhein,
construido, depende del paso seleccionado y del Norway.
método utilizado, de tal forma que el método de
reconstrucción topográfica de resolución N. Arias, M. A. Suarez, J. Meneses, Tijani Gharbi,
nanométrica de mejor comportamiento, fue el de (2009), “Medida de la Orientación, Posición
Localización por valor de fase, con una desviación y desplazamiento en el Plano de un objeto por
estándar de 9.5nm con un paso de barrido de 20nm. codificación de Fase”, Revista BISTUA,
2(7):70-76.
REFERENCIAS
Lee, B. S., & Strand, T. C. (1990). P”rofilometry
Davidson, M., Kaufman, K., Mazor, I., & Cohen, with a coherence scanning microscope”.
F. (1987). An application of interference Applied Optics, 29(26), 3784-378.

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