Manual de instrucciones

Serie EVO®
Microscopio electrónico de barrido
EVO®
Microscopio electrónico de barrido

Traducción de instrucciones originales

Carl Zeiss Microscopy GmbH

Carl-Zeiss-Promenade 10
07745 Jena, Alemania
microscopy@[Link]
[Link]/microscopy

Carl Zeiss Microscopy Ltd.

509 Coldhams Lane
Cambridge
CB1 3JS
Reino Unido

© por Carl Zeiss Microscopy Ltd.

Nombre del documento: Manual de instrucciones EVO

Revisión: es03
En vigor desde: diciembre de 2013

354700-7225-006

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seguridad. Como consecuencia de un proceso de mejora en curso, Carl Zeiss Microscopy se reserva el derecho a efectuar
modificaciones sobre el presente documento sin notificación alguna.
 Contenidos

Índice de contenidos

1. Acerca de este manual ................................................................................ 9

1.1 Instrucciones de seguridad en este manual ................................................ 10
1.2 Convenciones tipográficas ............................................................................ 11
1.3 Definición de terminología ............................................................................. 12

2. Seguridad .................................................................................................... 13
2.1 Uso previsto .................................................................................................... 13
2.2 Prevención de accidentes y utilización incorrecta ...................................... 13
2.3 Resumen de seguridad ................................................................................... 14
2.3.1 Peligros relacionados con daños personales ......................................................... 14
2.3.2 Peligros no relacionados con daños personales .................................................... 17
2.3.3 Resumen sobre riesgo de incendio ........................................................................ 19
2.4 Equipamiento de seguridad ........................................................................... 20
2.4.1 Dispositivos de seguridad ...................................................................................... 20
[Link] Paneles de chasis protectores ....................................................................................... 20
[Link] Protección de columna................................................................................................... 20
[Link] Sistema de seguro de vacío........................................................................................... 21
[Link] Sistema de protección del kit de desaceleración del haz............................................... 21
[Link] Disyuntor principal.......................................................................................................... 21
[Link] Válvulas principales de corte.......................................................................................... 21
2.4.2 Etiquetas de seguridad ........................................................................................... 21
[Link] Parte trasera de la columna óptico-electrónica
(sólo con sistema opcional de bomba iónica) ................................................................ 22
[Link] Parte trasera del instrumento ......................................................................................... 23
[Link] Dentro del SEM .............................................................................................................. 24

3. Descripción ................................................................................................. 25
3.1 Vista general .................................................................................................... 25
3.1.1 EVO® MA y LS ....................................................................................................... 26
3.1.2 EVO®HD ................................................................................................................ 26
3.2 Elementos de control ...................................................................................... 27
3.2.1 SmartSEM® interfaz de usuario ............................................................................. 27
3.2.2 Joystick dual ........................................................................................................... 28
3.2.3 Opción de panel de control .................................................................................... 29
3.3 Principio de funcionamiento .......................................................................... 30
3.3.1 Sistema de vacío .................................................................................................... 30
[Link] Modo de alto vacío ......................................................................................................... 32
[Link] Modo de presión variable ............................................................................................... 33
[Link] Modo de presión ampliada ............................................................................................. 35
[Link] Rangos de presión y aperturas ...................................................................................... 36
3.3.2 Mesa de muestra .................................................................................................... 38
3.3.3 Perspectiva óptico-electrónica ............................................................................... 39

Manual de instrucciones EVO® es03 III

Contenidos

3.3.4 Modos Optibeam de la columna EVO® .................................................................. 41

3.3.5 Detección de señal ................................................................................................. 43
[Link] Principios de detección .................................................................................................. 44
[Link] Detector ET-SE (detector SE)........................................................................................ 46
[Link] Detector VPSE G3 (opcional) ........................................................................................ 51
[Link] Detector (HD)BSD (opcional)......................................................................................... 53
[Link] Detector CL (opcional) ................................................................................................... 54
[Link] Detector STEM (opcional).............................................................................................. 55
3.4 Especificación ..................................................................................................56
3.4.1 EVO® ...................................................................................................................... 56
3.4.2 EVO®HD ................................................................................................................. 57
3.5 Datos técnicos .................................................................................................58
3.5.1 Esquemas y conexiones ......................................................................................... 58
3.5.2 Esquema del sistema ............................................................................................. 59
3.5.3 Requisitos de instalación ........................................................................................ 60
3.6 Opciones ..........................................................................................................62
3.7 Servicio al cliente ............................................................................................62

4. Transporte y almacenamiento ................................................................... 63

4.1 Transporte ........................................................................................................63
4.2 Almacenamiento ..............................................................................................64

5. Instalación ................................................................................................... 65

6. Manejo ......................................................................................................... 67
6.1 Activación del SEM ..........................................................................................67
6.2 Inicio de la interfaz de usuario SmartSEM® ..................................................68
6.3 Hallazgo del proceso que debe seguirse a través de la interfaz
de usuario SmartSEM® ...................................................................................70
6.3.1 Mostrar u ocultar barras de herramientas .............................................................. 70
6.3.2 Mostrar u ocultar la zona de datos ......................................................................... 71
6.3.3 Mostrar y ocultar una imagen de pantalla completa ............................................... 71
6.3.4 Utilización de paneles de ajuste ............................................................................. 72
6.3.5 Abrir la barra Panel Configuration .......................................................................... 74
6.4 Obtención de una primera imagen .................................................................75
6.4.1 Preparación del portamuestras .............................................................................. 76
6.4.2 Carga de la cámara de muestras ........................................................................... 77
6.4.3 Colocación de la muestra ....................................................................................... 81
6.4.4 Conexión del filamento ........................................................................................... 82
6.4.5 Activación de la EHT .............................................................................................. 83
6.4.6 Generación, optimización y guardado de imágenes .............................................. 85
[Link] Generación de una imagen............................................................................................ 85
[Link] Optimización de la imagen............................................................................................. 88
[Link] Guardar la imagen ......................................................................................................... 91

IV Manual de instrucciones EVO® es03

 Contenidos

6.4.7 Utilización de funciones automáticas o semiautomáticas ...................................... 92

[Link] Utilización de la función de autosaturación .................................................................... 92
[Link] Utilización de la función de alineación automática del cañón ........................................ 93
[Link] Utilización de la función de alineación automática de apertura ..................................... 94
[Link] Utilización de la función de corrección del desplazamiento ........................................... 95
[Link] Utilización de la función de selección del tipo de muestra ............................................. 98
[Link] Utilización de la función de navegación de la imagen.................................................. 100
[Link] Utilización de la función de adquisición automática de imágenes ............................... 101
6.5 Configuración de las condiciones SEM ...................................................... 106
6.5.1 Tome en consideración las propiedades de la muestra ....................................... 106
[Link] Guía relativa a los parámetros operativos del SEM ..................................................... 107
6.5.2 Selección del modo operativo .............................................................................. 109
6.5.3 Cambio del modo de presión ............................................................................... 111
[Link] Cambio a modo HV ...................................................................................................... 111
[Link] Cambio a la configuración de presión variable desde la configuración de alto vacío .. 112
[Link] Cambio a modo de presión ampliada........................................................................... 114
[Link] Alineación de EasyVP .................................................................................................. 115
[Link] Cambio de modo EasyVP a modo de presión variable (VP)........................................ 120
[Link] Cambio de modo EasyVP a modo de presión ampliada (EP)...................................... 120
[Link] Cambio de modo VP / modo EP a modo EasyVP........................................................ 121
[Link] Medición de la corriente de muestra (control de la corriente de haz) .......................... 121
6.5.4 Configuración de los parámetros de detección .................................................... 123
[Link] Selección de un detector.............................................................................................. 123
[Link] Utilización del detector SE ........................................................................................... 124
[Link] Utilización del detector BSD (opcional) ........................................................................ 124
[Link] Otros detectores opcionales......................................................................................... 131
6.5.5 Imágenes de muestras húmedas con la platina refrigeradora Peltier .................. 132
[Link] Ajuste de la mesa refrigeradora Peltier ........................................................................ 132
[Link] Vaciado de la cámara................................................................................................... 143
[Link] Obtención de una imagen en modo EP ....................................................................... 146
[Link] Configuración de los parámetros del SEM para la formación de imágenes
de la muestra en modo húmedo................................................................................... 146
6.6 Utilización de las funciones de ayuda ........................................................ 148
6.6.1 Solicitar la ayuda del SmartSEM® ........................................................................ 148
[Link] Impresión de textos de ayuda ...................................................................................... 148
[Link] Colocar textos de ayuda en primer plano..................................................................... 148
6.6.2 Solicitud de la ayuda sensitiva de contexto .......................................................... 149
6.6.3 Búsqueda de un tema .......................................................................................... 149
6.6.4 Utilización de las instrucciones paso a paso ........................................................ 150
[Link] Primeros pasos ............................................................................................................ 150
[Link] Secuencias de funcionamiento empleadas con frecuencia ......................................... 150
6.6.5 Solicitar la ayuda de las combinaciones de teclas ............................................... 151
6.6.6 Mostrar información acerca del SmartSEM® ........................................................ 152
[Link] Historial de la versión ................................................................................................... 152
[Link] Acerca de SmartSEM® ................................................................................................. 152

Manual de instrucciones EVO® es03 V

Contenidos

6.7 Finalizar la sesión de trabajo ........................................................................153

6.7.1 Emisor de tungsteno ............................................................................................ 153
6.7.2 Emisor LaB6 ......................................................................................................... 153
6.8 Cierre de la interfaz de usuario SmartSEM® ...............................................154
6.8.1 Salir del sistema ................................................................................................... 154
6.8.2 Salir ...................................................................................................................... 154
6.9 Apagado del SEM como algo rutinario ........................................................155
6.9.1 Cambio a modo STANDBY .................................................................................. 155
6.9.2 Cambio a modo OFF ............................................................................................ 156
6.10 Desconexión en una emergencia ...............................................................157
6.10.1 Reactivación tras una desconexión de emergencia ........................................... 157
6.11 Desconexión completa del SEM .................................................................158

7. Mantenimiento y reparación .................................................................... 159

7.1 Cambio de elementos fungibles y químicos ...............................................160
7.1.1 Ajuste de los montajes de aislamiento ................................................................. 161
7.1.2 Sustitución de la junta espiral de la bomba de prevacío ...................................... 162
7.1.3 Sustitución de filamentos ...................................................................................... 163
[Link] Sustitución de los filamentos de tungsteno previamente alineados............................. 164
[Link] Sustitución de los filamentos de tungsteno (no previamente alineados):
limpieza, mantenimiento y alineación .......................................................................... 174
[Link] Sustitución de filamentos LaB6.................................................................................... 184
[Link] Sustitución de filamentos LaB6 por filamentos de tungsteno ...................................... 198
7.2 Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador ...........215
7.2.1 Comprobación de un funcionamiento seguro ....................................................... 215
7.2.2 Limpieza del PC ................................................................................................... 215
7.2.3 Inicialización de la mesa ....................................................................................... 215
7.2.4 Servicio de la bomba de prevacío ........................................................................ 216
7.2.5 Desorción térmica del cabezal del filamento y de la cámara ............................... 216
7.2.6 Mantenimiento del o-ring ...................................................................................... 217
[Link] Comprobación del o-ring de la columna ...................................................................... 217
[Link] Comprobación del o-ring de la puerta de la cámara .................................................... 218
7.2.7 Limpieza de la unidad de combustión .................................................................. 220
[Link] Limpieza del soporte del filamento............................................................................... 223
[Link] Limpieza del ánodo ...................................................................................................... 224
7.3 Mantenimiento preventivo llevado a cabo por un representante
de servicio ZEISS ...........................................................................................227
7.4 Reparación .....................................................................................................228
7.4.1 Sustitución del o-ring de la puerta de la cámara .................................................. 228
7.4.2 Comprobación de los disyuntores ........................................................................ 230

8. Eliminación de anomalías ........................................................................ 231

VI Manual de instrucciones EVO® es03

 Contenidos

9. Cierre y eliminación ................................................................................. 233

9.1 Desconexión del SEM ................................................................................... 233
9.2 Eliminación .................................................................................................... 233
9.2.1 Eliminación de desperdicios fijos (fungibles) ........................................................ 233
9.2.2 Eliminación de residuos del SEM ......................................................................... 234

10. Piezas y herramientas ........................................................................... 235

10.1 Fungibles importantes ................................................................................ 235
10.2 Repuestos importantes .............................................................................. 236
10.3 Licencias de software opcionales ............................................................. 236
10.4 Herramientas y accesorios ........................................................................ 236

11. Abreviaturas ........................................................................................... 237

12. Glosario ................................................................................................... 239

13. Declaración de conformidad ................................................................. 241

14. Índice ....................................................................................................... 243

Manual de instrucciones EVO® es03 VII

Contenidos

VIII Manual de instrucciones EVO® es03

 1. Acerca de este manual

1. Acerca de este manual

Este manual de instrucciones se considera parte integrante del microscopio electrónico de

barrido (SEM).
Lea las instrucciones cuidadosamente. Conserve el manual de instrucciones cerca del SEM y
entrégueselo a futuros propietarios del instrumento.
Este manual de instrucciones está dirigido a usuarios que han sido formados para manejar un
SEM por parte de un representante de servicio ZEISS autorizado. Los operadores del SEM no
deberán desviarse de las instrucciones suministradas en este documento.

Referencia a Para más detalles sobre el equipamiento opcional, consulte los manuales respectivos
documentos suministrados con el SEM. Encontrará estos manuales en una bolsa de plástico.
relacionados
Para obtener información detallada relativa al software operativo, consulte el Manual de software
SmartSEM®.
Para obtener más información sobre datos técnicos, consulte los documentos Especificaciones
del Producto y Requisitos de Instalación.

Resumen Este manual de instrucciones incluye los siguientes capítulos:

1. Acerca de este manual Explicación de la función y estructura de este manual de instrucciones

2. Seguridad Resumen de información importante de seguridad

3. Descripción Descripción de la estructura y principio de funcionamiento del SEM

4. Transporte y Relación de información detallada sobre el transporte y el

almacenamiento almacenamiento

5. Instalación Consulte representante de servicio ZEISS

6. Manejo Introducción de procedimientos operativos fundamentales.

7. Mantenimiento y Descripción de tareas de mantenimiento preventivo y de reparación

reparación

8. Eliminación de anomalías Resumen de métodos de eliminación de anomalías

9. Cierre y eliminación Resumen de notas sobre el cierre y la eliminación

10. Piezas y herramientas Relaciones de bienes fungibles, repuestos, herramientas y accesorios

11. Abreviaturas Relación alfabética de abreviaturas empleadas en este manual de

instrucciones

12. Glosario Relación alfabética de términos técnicos importantes

13. Declaración de Declaración importante

conformidad

14. Índice Relación alfabética de palabras clave a las que se hace referencia en
este manual de instrucciones

Manual de instrucciones EVO® es03 9 de 246

1. Acerca de este manual
Instrucciones de seguridad en este manual

1.1 Instrucciones de seguridad en este manual

Las instrucciones de seguridad de este manual se rigen por un sistema de niveles de riesgo, que
se de define tal y como se indica a continuación:

PELIGRO
Este símbolo de seguridad y la palabra de señal indican una situación peligrosa
inminente.
Hacer caso omiso de esta advertencia PROVOCARÁ la muerte o lesiones graves.

ADVERTENCIA
Este símbolo de seguridad y la palabra de señal indican una situación potencialmente
peligrosa.
Hacer caso omiso de esta advertencia PUEDE PROVOCAR la muerte o lesiones graves.

ATENCIÓN
Este símbolo de seguridad y la palabra de señal indican una situación potencialmente
peligrosa.
Hacer caso omiso de esta advertencia PODRÍA PROVOCAR lesiones leves o moderadas.

ATENCIÓN
Esta palabra de señal utilizada sin un símbolo de seguridad indica una situación
potencialmente peligrosa.
Hacer caso omiso de esta advertencia PODRÍA PROVOCAR daños de la propiedad.

IMPORTANTE
Este símbolo y esta palabra de señal atraerán su atención sobre información importante y
útil.

10 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 1. Acerca de este manual
Convenciones tipográficas

1.2 Convenciones tipográficas

En la descripción del software se emplearán las siguientes convenciones tipográficas:

Tipografía Significado

Pulse <ENTER>. Pulse la tecla ENTER del teclado.

Pulse <key1, key2> Pulse la tecla1 primero, y después la tecla2 del

teclado.

Oprima <Ctrl + Alt + Del>. Simultáneamente, oprima las teclas CTRL, ALT y
DEL en el teclado.

Haga clic en el icono Magnification. Los iconos, botones y menús se imprimen en

Seleccione File/Exit en el menú. negrita.

Introduzca 10 kV en el campo EHT target. Los valores que se deberán seleccionar están
impresos en cursiva.

Manual de instrucciones EVO® es03 11 de 246

1. Acerca de este manual
Definición de terminología

1.3 Definición de terminología

En este manual de instrucciones se utiliza la siguiente terminología:

SEM Microscopio electrónico de barrido. EVO® es un SEM.

SmartSEM® Software operativo para los microscopios electrónicos de barrido

ZEISS.

Representante de servicio Experto de servicio con formación especial, ya sea personal de ZEISS
ZEISS o un socio de servicios autorizado de ZEISS.

Operador Persona formada a la que se le asigna el manejo del SEM.

Operador con conocimientos básicos:
Persona que ha sido formada para llevar a cabo secuencias de
funcionamiento fundamentales.
Operador avanzado:
Persona con formación técnica que ha recibido las enseñanzas
necesarias para llevar a cabo tareas de mantenimiento básicas.

Usuario Persona u organización que utiliza el SEM.

Este manual de instrucciones hace referencia al software operativo SmartSEM® v05.07.

12 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 2. Seguridad
Uso previsto

2. Seguridad

2.1 Uso previsto

El SEM es un microscopio que barre un haz enfocado de electrones a través de la muestra para
generar una imagen.
El SEM es adecuado para analizar estructuras superficiales y cerca de la superficie de muestras
adecuadas. De cara a tal propósito, la muestra tiene que estar ubicada en la cámara de muestras
y encontrarse en un entorno con presión controlada.

Uso exclusiva- El SEM sólo podrá utilizarse en un entorno de laboratorio con fines comerciales. No utilice el
mente comer- SEM para ningún otro propósito. Utilice el SEM únicamente tal y como se determina en este
cial manual.

La utilización del SEM para cualquier otro propósito no está permitida, además de que podría ser
peligrosa.

2.2 Prevención de accidentes y utilización incorrecta

ATENCIÓN
Riesgo de lesiones o daños como consecuencia de un manejo incorrecto del SEM.

Lea detenidamente la documentación del usuario.

No maneje el SEM hasta que no haya leído y comprendido íntegramente este manual de
instrucciones y la totalidad de la documentación del usuario facilitada con el propio SEM.
Esta documentación del usuario podrá encontrarla en una bolsa de plástico.

Operador Dentro del marco de la fase inicial de arranque, el representante de servicio ZEISS llevará a cabo
formación una formación básica del operador. La formación básica del operador consta de pasos de
operación fundamentales, entre los que se incluyen las instrucciones de seguridad. Se ofrecerá
una introducción a tareas de mantenimiento básicas para un administrador del sistema.
La formación llevada a cabo deberá documentarse debidamente.
Se ofrece formación sobre aplicaciones especiales previa petición.

IMPORTANTE
Solamente personal autorizado por Zeiss deberá realizar aquellas tareas de
mantenimiento, servicio y reparación que no se describan en este manual de
instrucciones representante de servicio ZEISS.

Manual de instrucciones EVO® es03 13 de 246

2. Seguridad
Resumen de seguridad

2.3 Resumen de seguridad

Siga las instrucciones de seguridad reflejadas en este manual de instrucciones. Esto es esencial
para evitar daños y para protegerle tanto a usted como a los demás frente a accidentes y
prácticas no seguras. No se desvíe de las instrucciones facilitadas en el presente manual de
instrucciones.
Esta sección resume posibles peligros y procedimientos de seguridad recomendados.

2.3.1 Peligros relacionados con daños personales

Tareas de
servicio

PELIGRO
Peligro de muerte: Voltaje peligroso dentro del SEM.
Tan solo los ingenieros de servicio formados y autorizados por representante de servicio
ZEISS tendrán permiso para desarrollar tareas de servicio en el SEM.

ADVERTENCIA
Los campos magnéticos puede interferir con implantes médicos.
Las bombas iónicas generan un campo magnético que puede interferir con implantes
médicos, como por ejemplo marcapasos.
El campo magnético también existe si el SEM está apagado.
A la hora de llevar a cabo cualquier tarea de mantenimiento en la columna, como por
ejemplo sustituir filamentos, es posible acercarse a las bombas iónicas y a su campo
magnético.
Si tiene algún implante médico, mantenga siempre una distancia de seguridad de ≥ 10 cm
con respecto a las bombas iónicas.

ADVERTENCIA
Campos magnéticos
Los campos magnéticos pueden afectar a los dispositivos electrónicos, como los
marcapasos, o perjudicar su funcionamiento.
Mantenga una distancia de seguridad de ≥ 10 cm entre el imán y el marcapasos.

Protección Dentro del SEM se generan rayos X durante su funcionamiento. Esto es inevitable, puesto que
de haz los electrones acelerados golpean el material, con lo cual generan radiación.

14 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 2. Seguridad
Resumen de seguridad

ADVERTENCIA
Riesgo de radiación: Dentro del SEM se generan rayos X durante su funcionamiento.

Solo representante de servicio ZEISSs autorizados podrán llevar a cabo tareas de servicio
en el SEM.
No retire ninguna pieza. No inutilice ninguna pieza del sistema de protección.
Utilice exclusivamente piezas originales ZEISS.
Tenga en cuenta todas las normativas de seguridad y las regulaciones sobre protección
de rayos X.

En el Reino Unido, el manejo del SEM no requiere permiso alguno en la medida en que se
cumplan los siguientes requisitos:
• La tensión de aceleración se limite a 30 kV.
• La potencia de dosis local a una distancia de 0,1 m desde la superficie accesible del SEM no
supere el valor de 1 µSv/h.
• La etiqueta correspondiente se adjunta al SEM.
Fuera del Reino Unido, el usuario del SEM tendrá que ajustarse a las normativas locales del país
en el que se maneje dicho SEM.
El SEM está equipado con varios dispositivos de protección frente a la radiación, que garantizan
(en condiciones de funcionamiento normales) que el SEM funcione de acuerdo con la normativa
alemana de protección frente a rayos X (RöV) y con la directiva 96/29/EURATOM de la CE.

Manual de instrucciones EVO® es03 15 de 246

2. Seguridad
Resumen de seguridad

Conexiones
eléctricas
ATENCIÓN
Elevada corriente de fuga
Garantizar una toma de tierra adecuada.
No maneje el SEM sin una conexión a tierra aparte.

Gases El nitrógeno seco gaseoso se emplea para ventilar la cámara de muestras durante el cambio de
éstas.
Se utiliza aire comprimido para manejar varias válvulas y el sistema de autonivelación.

ATENCIÓN
Peligro de asfixia como consecuencia de la falta de oxígeno, puesto que la cámara de
muestras se ventila con nitrógeno gaseoso. La inhalación de nitrógeno puede provocar la
pérdida de la consciencia.
Durante el cambio de muestras, mantenga la puerta de la cámara abierta el menor tiempo
posible.
Evite inhalar el aire procedente del interior de la cámara de muestras.
Asegúrese de que el área existente en torno al SEM esté suficientemente ventilada.

IMPORTANTE
En lo que respecta a los peligros de instalaciones de nitrógeno y precauciones de
seguridad asociadas, consulte la directriz IGC Doc 44/xx/E: peligros de gases inertes,
publicada por la EIGA (Asociación Europea de Gases Industriales), que puede
encontrarse en la página Web principal de la propia EIGA [Link]/Publications/
Documents. Compruebe regularmente si se han cargado nuevos documentos
relacionados con las instalaciones de nitrógeno.

ATENCIÓN
Peligro de accidente o daño como consecuencia de la elevada presión interna en las balas
de gas (p. ej., que contengan nitrógeno o aire comprimido).
Tenga en cuenta todas las etiquetas de seguridad de las balas de gas y la totalidad de las
instrucciones de seguridad emitidas por el fabricante de dichas balas.

Manejo Si maneja el SEM de forma incorrecta, existen riesgos de lesiones y daños sobre el
equipamiento.

ATENCIÓN
Riesgo de accidente
Los dedos podrían quedarse atrapados en la mesa de muestra móvil.
Cierre siempre la puerta de la cámara antes de mover la mesa de muestra.

ATENCIÓN
Peligro de atrapamiento al cerrar la puerta de la cámara.
Utilice la manija empotrada para cerrar la puerta de la cámara. Asegúrese de que sus
dedos no queden atrapados en el hueco de la puerta de la cámara.

16 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 2. Seguridad
Resumen de seguridad

ATENCIÓN
Riesgo de daños debido a sustancias químicas agresivas o tóxicas.
A la hora de eliminar desperdicios que se hayan generado durante una operación de
servicio (p. ej., aceite usado para bomba rotativa), ajústese a todas las normativas
nacionales y locales sobre seguridad y protección del medio ambiente.

IMPORTANTE
Le recomendamos que tenga en cuenta las normativas relacionadas con un entorno de
trabajo ergonómico, como por ejemplo las normas locales sobre sanidad y seguridad
(evaluación del lugar de trabajo de la URV).
Deberá mantener una postura adecuada y hacer pausas regulares.

Procesos de Sólo LaB6: La desorción térmica del cabezal de cañón tiene que llevarse a cabo como un
mantenimiento proceso de mantenimiento habitual y cuando sea necesario.
Tan solo los operadores avanzados tendrán autorización para llevar a cabo el proceso de
desorción térmica.

ATENCIÓN
Riesgo de quemadura
Algunas partes del interior del SEM se calentarán durante el procedimiento de desorción
térmica.
No coloque ningún objeto combustible en la parte superior de la columna óptico-
electrónica.
Solo representante de servicio ZEISSs autorizados podrán llevar a cabo tareas de servicio
en el equipo. Desconecte la alimentación y deje que las superficies se enfríen antes de
proceder a la apertura.

ATENCIÓN
Riesgo de quemadura
La unidad de combustión se calienta durante el funcionamiento.
Durante el procedimiento de cambio, deje un tiempo de enfriamiento antes de
manipularla.

2.3.2 Peligros no relacionados con daños personales

ATENCIÓN
Riesgo de daños de la propiedad
El SEM o la muestra podrían dañarse si la mesa de muestra se encontrara a una distancia
de trabajo reducida al abrir la puerta de la cámara de muestras.
Desplace siempre la mesa de muestra hasta una distancia de trabajo amplia antes de abrir
la puerta de la cámara.

Manual de instrucciones EVO® es03 17 de 246

2. Seguridad
Resumen de seguridad

ATENCIÓN
Riesgo de daños de la propiedad
Conecte únicamente equipamiento original ZEISS aprobado.
Asegúrese de que la carga total conectada al SEM no supere los 10 A.

IMPORTANTE
Las huellas dactilares pueden provocar pérdidas de vacío.
Lleve siempre guantes libres de pelusas cuando toque la muestra o las partes interiores
de la cámara de muestras.

18 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 2. Seguridad
Resumen de seguridad

2.3.3 Resumen sobre riesgo de incendio

En caso de incendio, podrían emitirse pequeñas cantidades de humo a partir de diversos

materiales dentro del SEM.
En resumen, puede decirse que sólo existe una baja probabilidad de que se origine un incendio
desde el SEM.

Manual de instrucciones EVO® es03 19 de 246

2. Seguridad
Equipamiento de seguridad

2.4 Equipamiento de seguridad

2.4.1 Dispositivos de seguridad

Con el fin de evitar cualquier riesgo de peligro para la salud humana o de daños a la propiedad,
el SEM está equipado con diversos dispositivos de seguridad y protección.

[Link] Paneles de chasis protectores

El chasis, la columna óptico-electrónica y la cámara de muestras están protegidos mediante
paneles de chasis protectores.

ADVERTENCIA
Voltaje peligroso dentro del SEM. El contacto podría causar quemaduras o sacudidas
eléctricas.
Dentro del SEM se generan rayos X durante su funcionamiento.
No retire ninguna pieza.
El SEM no deberá ser manejado sin los paneles de chasis protectores.

[Link] Protección de columna

La protección de columna desconecta el EHT.
Esta protección se introdujo a finales de 2010, y no está disponible para modelos EVO® más
antiguos.

20 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 2. Seguridad
Equipamiento de seguridad

[Link] Sistema de seguro de vacío

El seguro de vacío es una protección interna.
Garantiza que el vacío en el cabezal de filamento y el vacío de cámara sean mejores de lo
requerido por los límites.

[Link] Sistema de protección del kit de desaceleración del haz

Varias medidas relacionadas con el hardware y el firmware garantizan un funcionamiento seguro
del kit de desaceleración del haz.
Un interruptor de vacío, la señal de la bomba turbo y la comunicación CAN-bus están siendo
comprobados antes de poder aplicar un potencial de tensión previa a la mesa.

[Link] Disyuntor principal

El disyuntor principal se encuentra en la parte trasera del chasis.
Controla la alimentación eléctrica general del SEM.

[Link] Válvulas principales de corte

El usuario será responsable de la instalación de las válvulas principales de corte en el lugar de
instalación. Son necesarias las siguientes válvulas principales de corte:
• suministro de nitrógeno
Las válvulas principales de corte deberán ser fácilmente accesibles. Deberán cerrar las
conexiones con los medios correspondientes cuando sea necesario. Las válvulas principales de
corte deberán ser bloqueables en su posición OFF para así evitar una reactivación accidental.
Debido a que el usuario será responsable de la instalación de las válvulas principales de corte,
el mismo usuario deberá facilitar instrucciones sobre cómo manejar adecuadamente dichas
válvulas principales de corte.

2.4.2 Etiquetas de seguridad

Las etiquetas de seguridad adecuadas en el SEM le advierten sobre posibles peligros. Cada
etiqueta de seguridad se fija cerca del punto en el que existe un riesgo concreto.

No retire las etiquetas del SEM. Si cualquier etiqueta (o etiquetas) resultada dañada y no pudiera
leerla íntegramente, póngase en contacto con ZEISS para solicitar una nueva. Coloque la nueva
etiqueta en el lugar de la etiqueta dañada.

Manual de instrucciones EVO® es03 21 de 246

2. Seguridad
Equipamiento de seguridad

[Link] Parte trasera de la columna óptico-electrónica (sólo con sistema opcional

de bomba iónica)

Posición Tema Etiqueta

B Información
seguridad ATENCIÓN
Superficie caliente
Quemaduras en la piel en caso de contacto.
No tocar.
Esta área puede calentarse.

C Información
seguridad ADVERTENCIA
Voltaje peligroso en el interior
El contacto podría causar sacudidas eléctricas o
quemaduras.
Desconecte la alimentación antes de abrir.

D Información
seguridad ATENCIÓN
Campo magnético
La interacción con objetos metálicos puede generar
riesgos de atrapamiento.
Las personas con implantes médicos deberán alejarse
12 pulgadas.

22 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 2. Seguridad
Equipamiento de seguridad

[Link] Parte trasera del instrumento

Posición Tema Etiqueta

E Información
seguridad

F Información
seguridad ATENCIÓN
Al activar, se generarán rayos X
El microscopio debería estar aprobado por las
normativas nacionales.
No retire ninguna pieza.

Manual de instrucciones EVO® es03 23 de 246

2. Seguridad
Equipamiento de seguridad

[Link] Dentro del SEM

Debajo de los paneles de cubierta del SEM hay más etiquetas de seguridad dirigidas a
representante de servicio ZEISSs autorizados. Estas etiquetas de seguridad se describen en
los documentos para el representante de servicio ZEISS.

24 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Vista general

3. Descripción

3.1 Vista general

5
4

1 Botón ON/STANDBY/OFF 4 Columna óptico-electrónica, columna EVO®

2 Chasis 5 Monitores

3 Cámara de muestras 6 Ordenador de control SEM

Fig. 3.1: Visión general del sistema EVO®

Manual de instrucciones EVO® es03 25 de 246

3. Descripción
Vista general

3.1.1 EVO® MA y LS

Los microscopios de la serie EVO® se dividen en dos grupos:

• Los microscopios EVO® MA (Material Analysis, análisis de material) ofrecen, como norma
general, la capacidad de recurrir a un funcionamiento con presión variable (VP).
• Los microscopios EVO® LS (Life Sciences, ciencias de la vida) son SEM ambientales que
ofrecen, como norma general, la capacidad de evitar la presencia de artefactos de
deshidratación en la microscopía de muestras correspondientes a ciencias de la vida.

3.1.2 EVO®HD

El EVO®HD está equipado con una fuente de brillo elevado, un emisor LaB6, que incrementa el
brillo del cañón a tensiones de aceleración menores. Las imágenes tomadas a 1 kV aparecen
100 veces más brillantes que
en el caso de una fuente de tungsteno estándar y 10 veces más brillantes que una fuente LaB6
estándar. Esto se logra mediante una unidad de combustión previamente alineada en fábrica
suministrada por ZEISS.
El funcionamiento de un cañón HD es casi idéntico a los de tungsteno y LaB6; cualquier usuario
familiarizado con la maquinaria EVO® estándar manejará el cañón HD simplemente modificando
la corriente de haz y la tensión de aceleración según sea necesario.
Todos los microscopios de la serie EVO® ofrecen la posibilidad de utilizar la característica
EasyVP (excepto los SEM EVO®18) y la capacidad de cambiar de alto vacío a presión variable.
EasyVP permite el uso de la apertura media de 20 µm de la columna como la apertura de
definición del haz. La apertura se alinea mediante el uso del enfoque Wobbel en modo tanto de
alto vacío como de presión variable. Esto permite el uso de todos los modos Optibeam cuando
se está manejando en SEM en condiciones de presión variable.
Puede lograrse una presión máxima de 133 Pa mediante el uso de gases, de aire o de agua de
compensación de la carga.

26 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Elementos de control

3.2 Elementos de control

3.2.1 SmartSEM® interfaz de usuario

El SEM está controlado por el software SmartSEM®. El software se maneja a través de una
interfaz gráfica de usuario.

navegación barra de herramientas pestaña casilla de control

barra de casilla campo de panel de
barra de menú icono lista desplegable control
título opciones

cursor
zona de datos Barra de configuración
barra de estado del panel

tecla de flecha
barra mini barra de anotaciones área de imagen asignación del ratón

Manual de instrucciones EVO® es03 27 de 246

3. Descripción
Elementos de control

3.2.2 Joystick dual

El joystick dual se emplea para el control de la mesa y la navegación de la muestra.

El joystick grande derecho se emplea para

controlar los ejes X e Y. La rotación de la
mesa se controla girando el botón superior a
la izquierda o a la derecha.

El pequeño joystick situado a la izquierda se

emplea para controlar el eje Z y la
inclinación de la mesa (T).

Todos los ejes tienen la deflexión compensada: Cuando el joystick se mueve sólo levemente, el
eje correspondiente se desplazará lentamente. Sin embargo, movimientos de mayor dimensión
del joystick desembocarán en un movimiento más rápido de la mesa.
Los ejes X, Y y Z tienen compensación de aumentos. Cuando se trabaja con bajos aumentos, la
mesa se mueve relativamente rápido. Con altos aumentos, el movimiento de la mesa es más
lento.
Los distintos ejes también pueden moverse simultáneamente.

28 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Elementos de control

3.2.3 Opción de panel de control

El panel de control está disponible de forma opcional. Integra un teclado completo y permite el
acceso directo a 14 de las funciones usadas con mayor frecuencia en el SEM.
Las siguientes funciones están disponibles a través de:

Botones Teclas

• Aumentos (1) • Reducción (2)

• Astigmador X (3) • Wobbel (6)

• Astigmador Y (4) • Enfriar (8)

• Inclinación del cañón X [EVO] o • Cambiar (10)

Apertura X [EVO HD] (5)

• Inclinación del cañón Y [EVO] o • Reiniciar (11)

Apertura Y [EVO HD] (7)

• Girar el barrido (9) • Cámara (13)

• Desplazamiento X (12) • Velocidad de barrido - / + (17)

• Desplazamiento Y (14)

• Brillo (15)

• Contraste (16)

• Foco (18)

5 7 9 11 13 15
4 6 8 10 12 14 16

2 17

18
1

IMPORTANTE
Todas estas funciones están disponible a través del software SmartSEM®, y pueden
controlarse mediante el movimiento de ratón adecuado y a través de la ejecución de la
MACRO apropiada.

Manual de instrucciones EVO® es03 29 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

3.3 Principio de funcionamiento

El SEM emplea un haz de de electrones para generar una imagen o para analizar la muestra. El
haz de electrones barre la superficie de la muestra.

3.3.1 Sistema de vacío

Para el manejo del SEM, el cabezal de filamento (1), la columna y la cámara de muestras tienen
que estar en situación de vacío. El vacío es esencial para operar el cabezal de filamento y para
evitar la colisión de electrones con moléculas de gas.

1
2

3
4

5
6
7
8

1 Cabezal de filamento 5 CSOV (válvula de corte de la cámara)

2 Medidor Penning 6 Válvula de ventilación

3 Cámara 7 Bomba rotativa

4 TIV (válvula turbo de aislamiento) 8 Bomba turbo

Fig. 3.2: Esquemas del sistema de vacío

Vacío de La bomba rotativa (7) y la bomba turbo (8) bombean la cámara de muestras. El vacío de cámara
cámara se mide mediante un medidor Penning (2). Mientras la presión detectada en la cámara de
muestras no haya alcanzado el objetivo operativo, la válvula de corte de la cámara (5)
permanecerá cerrada.

30 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

Vacío en el Para mantener el área del filamento en situación de alto vacío se utiliza una bomba iónica (2).
cabezal de El vacío en el cabezal de filamento se denomina “vacío en el cabezal”. Debería encontrarse
filamento bastante por debajo de 5 x 10-7 mbar.
El portamuestras se coloca en la cámara sobre la cola de milano de la platina cuando dicha
cámara se encuentra al aire (3). La muestra puede cambiarse después de seleccionar el
comando Vent a través de la interfaz de usuario del SmartSEM®.

Ventilación Cuando se reciba el comando Vent, el gas de ventilación fluirá hacia la cámara de muestras a
través de la válvula de ventilación (6). Tan pronto como se obtenga el equilibrio de presiones, la
puerta de la cámara podrá abrirse para cambiar la muestra.
Bombeo hasta Con el fin de continuar el funcionamiento, el comando Pump hará que la cámara de muestras
el vacío sea bombeada mediante la pre-bomba (rotativa) y la bomba turbo.
Tan pronto como el vacío de la cámara de muestras esté listo para funcionar, el mensaje “EHT
Vac ready” aparecerá en la interfaz de usuario del SmartSEM®. A continuación, el cañón y la
EHT podrán activarse.

Manual de instrucciones EVO® es03 31 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

[Link] Modo de alto vacío

Las aperturas medias de la columna de 20 µm o de 30 µm se utilizarán para el control del perfil
del haz en los sistemas EVO® configurados en alto vacío (no se coloca ninguna apertura
limitadora de presión por debajo de la pieza polar del SEM).
En los sistemas EVO® con configuración de alto vacío, pueden utilizarse todos los modos
Optibeam, tales como resolución, campo, profundidad, ojo de pez y análisis, de cara a la
formación de imágenes. No obstante, para la formación de imágenes en muestras conductoras,
el SEM solo podrá ser manejado en condiciones de alto vacío. Para poder formar imágenes de
muestras no conductoras, la configuración del SEM tendrá que cambiarse al modo de presión
variable.

Tanto el cañón como la cámara estarán en situación de alto vacío (1). DPA (apertura de bombeo
diferencial)(2). Válvula de aislamiento (3) abierta.

Ventajas • Ofrece los medios para lograr una mayor resolución

• Permite utilizar el detector SE

Aplicación El modo de alto vacío es el modo de funcionamiento habitual para las aplicaciones estándar.

32 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

[Link] Modo de presión variable

La modo de presión variable (VP) permite la formación de imágenes de muestras no
conductoras, extremadamente desgasificadas o húmedas sin necesidad de una deposición de
vapor o de otros procedimientos de preparación. Esto es posible gracias al uso de un sistema de
bombeo diferencial, que permite configurar presiones parciales por encima de 10 Pa en la
cámara de muestras, a la par que se mantiene un vacío alto en el área del filamento.
Las condiciones VP pueden lograrse si el microscopio se configura para el modo de presión
variable o EasyVP (cuando la apertura de 100 µm o de 750 µm se encuentran, respectivamente,
colocadas bajo la pieza polar del SEM).

Configuración La apertura VP de 100 µm se encuentra bajo la lente final cuando el SEM se configura para VP.
de presión La apertura media de 750 µm de la columna se utiliza para formar una imagen de esta
variable configuración. En primer lugar, el haz atraviesa la apertura media de 750 µm de la columna y, a
continuación, pasa por la apertura VP de 100 µm (apertura limitadora de presión) antes de llegar
a la superficie de la muestra.
En la configuración VP, solo pueden utilizarse los modos normal y de análisis de Optibeam para
la formación de imágenes. No obstante, es posible cambiar entre los modos HV y VP cuando se
utiliza esta configuración. La presión máxima que puede lograrse en la configuración VP es de
400 Pa para sistemas W de EVO® y 273 Pa para sistemas LaB6 de EVO® y SEM de EVO®HD.

Configuración En la configuración EasyVP, la apertura EasyVP de 750 µm se coloca debajo de la lente final y
EasyVP las aperturas medias de 20 µm de la columna se utilizan para el control del haz. En la
configuración EasyVP, en primer lugar, el haz atraviesa la apertura media de 20 µm de la
columna y, a continuación, pasa por la apertura EasyVP de 750 µm (apertura limitadora de
presión) antes de llegar a la superficie de la muestra. La presión máxima que puede lograrse en
la configuración EasyVP es de 133 Pa para los SEM de todas las series del EVO®.
En la configuración EasyVP pueden utilizarse los modos Optibeam, tales como resolución,
campo, profundidad, ojo de pez y análisis, de cara a la formación de imágenes. Es posible
cambiar entre los modos HV y VP, y la alineación del haz será óptima en ambas condiciones sin
necesidad de cambiar ningún parámetro del filamento o de la columna.

Manual de instrucciones EVO® es03 33 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

Principio La atmósfera de gas residual en la cámara de muestras crea una región de interacción de
operativo electrones y de moléculas de gas residual entre la lente final y la muestra. En esta región, los
electrones altamente energéticos del haz de electrones primarios inciden sobre las moléculas de
gas y las ionizan. Los iones generados en estas colisiones contribuyen a la compensación de la
carga negativa en la muestra. No obstante, otro efecto de estas colisiones es dispersar el haz de
electrones. Este efecto recibe el nombre de “efecto falda”. Los electrones del haz primario que
se pierden por este efecto ofrecen sólo una señal de fondo de resolución limitada a efectos de
formación de imágenes. Aunque es posible tolerar estas fugas en presiones de la cámara de
hasta unos cuantos cientos de Pa, es necesario seleccionar y controlar cuidadosamente los
factores importantes, como la tensión de aceleración, la presión de la cámara y el paso del haz.
Aunque el funcionamiento en modo VP compensa los efectos de carga, el aumento de la presión
en la cámara reduce la relación señal-ruido. Esto se puede compensar utilizando las
características de supresión de ruido del SmartSEM®.

3
2

Kit de vapor de agua (desionizada)

Puede ser nitrógeno o aire

Filamento en estado de alto vacío (1). Cámara a presión variable (2). DPA sencilla (apertura de
bombeo diferencial) ajustada en la parte inferior de la lente objetivo; presión variable (apertura
de 100 µm) o EasyVP (apertura de 750 µm) (3) Válvula de aislamiento cerrada (4).

34 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

[Link] Modo de presión ampliada

El modo de presión ampliada (EP) es necesario para la formación de imágenes de muestras
hidratadas. Esto permitirá el estudio de muestras hidratadas en su estado natural, con una
pérdida exigua o inexistente de agua en el SEM (la muestra se mantiene plenamente hidratada
durante el bombeo de vacío). Este modo de presión suele utilizarse con una mesa refrigeradora
Peltier.
Cuando el SEM está configurado en EP, se utiliza la apertura media de 750 µm de la columna y
la apertura EP de 100 µm se coloca bajo la lente final en combinación con uno de los
BeamSleeves™ (aperturas de 500 µm o de 1000 µm).
Para conocer rangos de presión alcanzables, consulte sección [Link].

+ o
2

Filamento en estado de alto vacío (1). Cámara a presión ampliada (2). En la parte inferior de la
lente objetivo se sitúan dos aperturas de bombeo diferenciales (3). Válvula de aislamiento
cerrada (4). Las bombas rotativas bombean la cámara directamente (5).

Manual de instrucciones EVO® es03 35 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

[Link] Rangos de presión y aperturas

Presión
SEM Aplicación Hardware Filamento
mín./máx.*

MA 10 Compensación de 10-400 Pa W
MA 15 carga
MA 25 Apertura VP

Compensación de 10-273 Pa LaB6

carga + EasyVP
Apertura VP

Compensación de 10-400 Pa W + LaB6

carga + +
Calidad de ima- Apertura EP 500 µm
gen mejorada +
Análisis EDS de
alta precisión

Tabla 3.1: MA: Compensación de carga

Presión
SEM Aplicación Hardware Filamento
mín./máx.*

MA 10 Formación de 10-1000 Pa W + LaB6

MA 15 imágenes de + o (1000 µm)
MA 25 muestra hidratada Apertura EP 500 µm 500 µm
10-3000 Pa
o 1000 µm o 1000 µm (500 µm)

Tabla 3.2: Presión ampliada MA: Procesos dinámicos

Presión
SEM Aplicación Hardware Filamento
mín./máx.*

MA 10 Compensador de 10-400 Pa W
MA 15 carga
MA 25 Apertura VP

10-273 Pa LaB6

Apertura VP

Compensación de + 10-400 Pa W + LaB6

carga +
Calidad de ima- Apertura EP 500 µm
gen mejorada + A t VP
Análisis EDS de
alta precisión

Tabla 3.3: LS: Compensación de carga

36 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

Presión
SEM Aplicación Hardware Filamento
mín./máx.*

LS 10 Formación de 10-1000 Pa W + LaB6

LS 15 imágenes de + o (1000 µm)
LS 25 muestra hidratada Apertura EP 500 µm 500 µm
10-3000 Pa
o 1000 µm o 1000 µm (500 µm)

Tabla 3.4: LS: Formación de imágenes de muestra hidratada

* En la cámara pueden introducirse tanto aire como vapor de agua a modo de gas de
compensación de la carga.

Apertura El diseño de la unidad de la apertura media de clic de la columna permite el uso de 4 aperturas.
media de clic No obstante, solo tres de ellas están colocadas de forma estándar. La posición de cada apertura
de la columna se marca, tal y como se muestra a continuación, en la unidad de la apertura media de la columna.

Posiciones de las
Hardware Tamaño de apertura
aperturas

EVO®

0 750 µm (utilizada en
combinación con la apertura VP
o la apertura EasyVP)

1 30 µm

2 20 µm

3 En blanco (las aperturas pueden

colocarse a modo de opción)

EVO®HD

0 750 µm (utilizada en
combinación con la apertura VP
o la apertura EasyVP)

1 20 µm

2 20 µm

3 En blanco (las aperturas pueden

colocarse a modo de opción)

Tabla 3.5: Apertura media de clic de la columna

Manual de instrucciones EVO® es03 37 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

3.3.2 Mesa de muestra

La mesa de muestra estándar es una mesa cartesiana motorizada con 5 ejes que está controlada
por el software SmartSEM®. La mesa puede manejarse mediante el controlador del joystick dual
o empleando el joystick virtual en la interfaz de usuario SmartSEM®.
Los cinco ejes se denominan:

X Eje X

Y Eje Y

Z Altura

R Rotación

T Inclinación

El foco sobre la mesa cartesiana no se mantiene cuando la muestra está inclinada.

Esto puede compensarse utilizando la función Compucentric del SmartSEM®.

38 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

3.3.3 Perspectiva óptico-electrónica

La columna EVO® es la zona del SEM en la que se emiten, aceleran, desvían, enfocan y barren
los electrones. Las características principales de la óptica del EVO® son el condensador y las
lentes objetivo.

1
2
UEHT
3

5
6

7
8

1 Cátodo W o LaB6 5 Bobinas deflectoras y del astigmador

2 Alineación del filamento y bobinas de 6 Lentes objetivo a través del

indicación de emisión bombeo de la lente

3 Sistema de doble condensador 7 BSD (detector de electrones retrodispersa-

dos) o HD BSD (detector opcional de elec-
trones retrodispersados de alta definición)

4 Herramienta mecánica de cambio de la 8 Muestra

apertura media de la columna

Fig. 3.3: Esquemas de las perspectivas óptico-electrónicas

Cañón El filamento se calienta aplicando la corriente de filamento.

Los electrones se emiten desde el filamento calentado.
EHT Los electrones emitidos se aceleran mediante la tensión de aceleración (UEHT).

Alineación del El haz de electrones se centra mediante la alineación del filamento y las bobinas de emisión (2).
filamento y
bobinas de
indicación

Manual de instrucciones EVO® es03 39 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

Condensado- Un sistema de condensador doble (3) permite la regulación continua de la corriente de haz.
res
Aperturas El haz de electrones atraviesa la apertura seleccionada en herramienta mecánica de cambio de
la apertura media de la columna (4) para garantizar que se mantenga la calidad óptima del haz.
Bobinas Las bobinas deflectoras (5) desplazan en laz de electrones en un barrido punto por punto sobre
deflectoras y la muestra.
del astigmador
Las bobinas del astigmador (5) compensan el astigmatismo, de tal forma que el haz de
electrones pasa a ser simétrico en términos rotacionales.
Lente objetivo El haz de electrones sale de las lentes objetivo (6).

Detección de Cuando el haz de electrones primarios incide sobre la muestra, se generan algunas señales de
señal interacción, las cuales son registradas por diversos detectores, como el CZ BSD (7).

40 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

3.3.4 Modos Optibeam de la columna EVO®

La columna EVO® ofrece los siguientes modos Optibeam:

Modos
Características Paso del haz
Optibeam

Modo de análisis La muestra permanece enfocada por si se produce cualquier

cambio en la corriente de haz.

Modo campo Mayor campo de visión de cara a la navegación y mayor

profundidad de campo.

Manual de instrucciones EVO® es03 41 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

Modos
Características Paso del haz
Optibeam

Modo resolución El menor diámetro de haz para una corriente de haz

seleccionada a cualquier distancia de trabajo o keV.

Modo Mayor profundidad de campo para una corriente de haz

profundidad seleccionada a cualquier distancia de trabajo o keV.

Modo ojo de pez El mayor campo de visión de cara a la navegación y una

gran profundidad de campo.

42 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

3.3.5 Detección de señal

Los productos interactivos empleados con mayor frecuencia para la generación de imágenes en
el microscopio electrónico de barrido son electrones secundarios (SE) y electrones
retrodispersados (BSE).

Señales
Detectores estándar Aplicación habitual
detectadas

Detector SE SE2 Topografía y estructura de la superficie.

(Everhart-Thornley)

Detector VPSE G3 SE Aplicaciones de presión variable.

Topografía y estructura de la superficie
(solo en sistemas VP).

Señales
Detectores opcionales Aplicación habitual
detectadas

Detectores de electrones BSE Aspecto topográfico (orientación de cristal),

retrodispersados, incluyendo contraste del número atómico.
BSD de 4 cuadrantes,
BSD de 5 segmentos
(opcional), HDBSD (opcional)

Detector de Luz Mineralogía

catodoluminiscencia (CL) luz

Detector de microscopía Transmisión Formación de imágenes de transmisión de

electrónica de barrido y secundarios secciones finas en exámenes biológicos y
transmisión (STEM) mineralógicos.

Detector de corriente de la Electrones Corriente inducida del haz de electrones (EBIC).

muestra absorbidos

EPSE (aguja y anillo) SE* Aplicaciones de presión ampliada.

Normalmente, durante la formación de imágenes
en muestras biológicas plenamente hidratadas.

* A través de la medición de la corriente producida por la ionización del gas mediante los
electrones SE generados en torno a la superficie de la muestra.

IMPORTANTE
Para obtener más información, consulte el documento Especificaciones del
ProductoEVO®.

Manual de instrucciones EVO® es03 43 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

[Link] Principios de detección

Cuando un haz de electrones primarios (PE) incide sobre una muestra, se producen algunos
procesos de interacción con dicho haz de electrones. Posteriormente, se generan electrones
secundarios (SE) y electrones retrodispersados (BSE).
Algunos tipos específicos de detectores son capaces de detectar los SE y los BSE, mientras que
las señales del detector pueden utilizarse para crear imágenes y generar información acerca de
las propiedades de la muestra.

Electrones Los electrones segundarios son expulsados de la corteza atómica externa del material de la
secundarios muestra en el momento del impacto por parte del haz de electrones primarios.

Fig. 3.4: Interacción entre el haz de electrones primarios y la muestra

Las tres categorías principales de electrones secundarios están basadas en el origen de los
electrones secundarios y en la distancia del punto de impacto de los PE,
por donde abandonan la muestra.
• Los electrones SE1 se generan y abandonan la superficie de la muestra directamente a
través del punto en el que el haz de electrones primarios impacta sobre la superficie de la
muestra.
• Los electrones SE2 se generan tras una dispersión múltiple dentro del volumen de
interacción, y salen de la muestra a una mayor distancia con respecto al punto de impacto
del haz de electrones primarios.
• Los electrones SE3 se generan a través de la colisión de electrones retrodispersados con las
paredes de la cámara o con el sistema de lentes.
Los electrones secundarios tienen baja energía (inferior a 50 eV).

44 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

Electrones re- Todos los electrones con una energía superior a 50 eV se conocen como electrones
trodispersados retrodispersados (BSE).
Los BSE se generan mediante dispersión elástica en un rango mucho más amplio que el
volumen de interacción, y transportan información sobre la profundidad.
El coeficiente de retrodispersión aumenta con el incremento del número atómico de los
elementos contenidos en la muestra. Esto permite que el detector BSE pueda generar un
contraste en el número atómico o imágenes de contraste de material.

Fig. 3.5: Coeficiente de electrón retrodispersado frente al número atómico

Manual de instrucciones EVO® es03 45 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

[Link] Detector ET-SE (detector SE)

El detector ET-SE, o Everhart-Thornley, se instala sobre la pared de la cámara de muestras y,
por lo tanto, se clasifica como un “detector de cámara”. Debido a su posición en la cámara, el
detector SE observa la muestra en posición lateral.
El detector SE permite la detección de electrones secundarios con un pequeño componente de
retrodispersión.
Los electrones secundarios que se desplazan hacia el detector son atraídos por el colector y
dirigidos hacia el escintilador, acelerados por el voltaje de éste.

2 1

1 Muestra 3 Detector SE

2 Rejilla del colector 4 Lentes objetivo a través del

bombeo de la lente

Fig. 3.6: Esquemas del detector SE

46 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

Principio Cuando los electrones de alta energía impactan sobre la capa del escintilador (2), se generan
operativo fotones dentro del propio escintilador. Estos fotones son dirigidos hacia la tubería ligera (3) y
transferidos al fotomultiplicador (5). El fotomultiplicador multiplica los flashes de luz y genera una
señal que puede utilizarse para la formación de imágenes.

5 3
2

1 Colector 4 Pared de la cámara de muestras

2 Escintilador 5 Fotomultiplicador

3 Tubería ligera

Fig. 3.7: Principio operativo del detector SE

Tensión previa La pestaña Detectors del panel SEM Controls permite ajustar la tensión previa en el colector
en el colector entre los -250 V y los +400 V en tramos de 1 V. Este voltaje genera una tensión previa delante
del detector. La tensión previa atrae los electrones SE de baja energía y los acelera hacia el
detector. Para todas las aplicaciones estándar, la tensión previa del colector suele establecerse
en 300 V.
También es posible configurar la tensión previa del colector en un valor negativo. Esto genera
un campo que desvía los electrones secundarios, evitando así que éstos alcancen el escintilador
y contribuyan a la señal. Los electrones retrodispersados no se ven afectados de forma signifi-
cativa por una tensión previa negativa, y alcanzan el escintilador para contribuir a la información
relativa a las imágenes. Esto permite la generación de una “imagen pseudoretrodispersada”, que
muestra una mejora de la información topográfica.

Las imágenes de la superficie que muestran una mayor información topográfica también pueden
generarse utilizando detectores BSE, pero no muestran las sombras que pueden crearse utili-
zando el detector SE.

Manual de instrucciones EVO® es03 47 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

• Al utilizar una tensión previa positiva en el

colector,se hace hincapié en las superficies
inclinadas en la dirección de dicho detector,
pero no hay efectos de sombra.

+300 V de tensión previa

• Al utilizar una tensión previa negativa en el

colector, la imagen muestra un mayor con-
traste topográfico, que se deriva principal-
mente de los efectos de sombra extremos.
No obstante, los detalles nítidos de la superfi-
cie son menos visibles.

-150 V de tensión previa

Aplicaciones El detector SE puede emplearse en el rango completo del alto voltaje.

La distancia de trabajo tiene un efecto significativo en la eficacia del detector SE. Los efectos de
sombreado se producen cuando la distancia de trabajo es demasiado corta. Si la muestra está
demasiado cerca de la lente final, la mayor parte de los electrones serán desviados por el campo
de la lente electrostática o se desplazarán hacia la lente final en sí. Esto significa que no pueden
ser detectados por el detector SE.
En función del material de la muestra y de la geometría de la misma, debería emplearse una
distancia de trabajo mínima de aproximadamente 4 mm. Es posible que se produzca una pérdida
extrema de señal si se emplean distancias de trabajo inferiores. En cambio, el detector SE ofrece
un rendimiento excepcional cuando se utiliza para la formación de imágenes en distancias de
trabajo largas. Esto es especialmente importante para la formación de imágenes con pocos
aumentos, necesarias para ajustar la orientación del portamuestras o ubicar un área concreta de
la muestra.

Configuración La siguiente configuración ofrece un buen campo de visión para navegar sobre la muestra con
inicial óptima aumentos bajos:
• Distancia de trabajo inicial en el rango de entre 10 y 20 mm.
• Tensión de aceleración de aproximadamente 10 kV.

48 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

Parámetro Valor Condiciones recomendadas

Tensión de aceleración 100 V a 30 kV En principio, es adecuado para la

totalidad del rango de alto voltaje.

1 kV a 5 kV Aplicaciones de baja tensión para

la compensación de cargas
y para la formación de imágenes
sensibles ante la superficie.

5 kV a 20 kV Rango de voltaje medio.

Adecuado para multitud de
aplicaciones diferentes.

20 kV a 30 kV Rango de voltaje empleado con

frecuencia para propósitos
analíticos.

Distancia de trabajo ≥5 mm Si la distancia de trabajo es

demasiado corta, se producirán
los efectos de sombra, los cuales
disminuirán la eficacia del detec-
tor. Por debajo de 20 kV, los elec-
trones SE serán absorbidos por
el campo de la lente electrostá-
tica.

4 mm a 6 mm Para aplicaciones de baja tensión

(1 kV a 5 kV).

6 mm a 12 mm Útil para el rango de voltaje

medio (5 kV a 20 kV).

12 mm a 30 mm Recomendado sólo para aumen-

tos bajos y para incrementar la
profundidad del campo.

Tensión del colector 300 V Valor estándar del voltaje del

colector.

0 V a 400 V Variación de la tensión del

colector con aumentos altos para
obtener la señal combinada.

-150 V a 0 V Para imágenes pseudo-BSE

Apertura media de la HV:

columna 20 µm Recomendado para aumentos
altos y para la formación de
imágenes de alta resolución.

30 µm La apertura estándar se
recomienda para multitud de
aplicaciones.

VP/EP:
750 µm Sólo para modo VP/EP.

Tabla 3.6: Configuración recomendada para formación de imágenes con el detector SE.

Manual de instrucciones EVO® es03 49 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

Parámetro Valor Condiciones recomendadas

Inclinación de muestra La inclinación de la muestra

hacia el detector aumenta la
eficacia de la recopilación.

Modo operativo Sólo es adecuado en condiciones

de alto vacío.

Tabla 3.6: Configuración recomendada para formación de imágenes con el detector SE.

50 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

[Link] Detector VPSE G3 (opcional)

El detector de electrones secundario de presión variable (VPSE G3) está diseñado para generar
imágenes similares a las producidas por los detectores SE, aunque en el modo de presión
variable (VP).
Los electrones secundarios generados en la muestra son atraídos hacia el detector VPSE G3
(voltaje aplicado mediante la tensión previa del colector del VPSE G3). Los electrones
secundarios emitidos desde la muestra colisionan con moléculas residuales de gas (nitrógeno,
aire o agua). Las colisiones entre electrones secundarios y moléculas de gas pueden ionizar las
moléculas, lo que provoca la liberación de más electrones que, a su vez, deriva en más
colisiones (una "cascada de iones"). Este proceso amplifica la señal SE y también desemboca
en la generación de fotones. La fuente de señal para el VPSE G3 no está en los SE en sí mismos,
sino en los fotones (productos secundarios) que se generan durante este proceso.

1 Detector VPSE G3

Fig. 3.8: Esquemas del detector VPSE G3

Presión de la Al utilizar un detector VPSE G3, es importante recordar que es necesaria una cierta presión en
cámara la cámara de muestras para generar una cantidad suficiente de fotones que puedan ser
detectados. Si el número de moléculas residuales de gas es demasiado bajo, la probabilidad de
colisión y, por ende, la eficacia del detector, se reducirán. En función de la muestra empleada y
de los parámetros operativos, la detección óptima se produce en el rango de presión
comprendido entre 20 Pa y 60 Pa.

IMPORTANTE
El aumento de la presión de la cámara también aumenta el proceso de dispersión y reduce
la resolución del SEM. Por este motivo, es fundamental encontrar unas condiciones
óptimas para cada aplicación concreta.

Manual de instrucciones EVO® es03 51 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

Tiempo de Otro parámetro fundamental es la duración del tiempo durante el que el electrón primario
estancia permanece en la
muestra. Si este tiempo de estancia es demasiado breve y a una velocidad de barrido rápida, no
hay tiempo suficiente para que se desarrolle una cascada de iones o para que las moléculas
residuales de gas generen los fotones destinados a producir las imágenes.
Esto reduce la eficacia del detector.
Si el tiempo de estancia es demasiado prolongado y a una velocidad de barrido lenta, se aplica
una energía muy alta a la muestra por unidad de tiempo. Esto puede desembocar en la carga de
artefactos existentes en las imágenes obtenidas. La velocidad de barrido óptima para las
diversas muestras puede variar, y sólo puede determinarse mediante un experimento.

IMPORTANTE
Para reducir los efectos de la carga, utilice la función Frame Averaging del SmartSEM®.
Esta función recurre a velocidades de barrido rápidas e incrementa el número de
ventanas.

Tensión previa La tensión previa del colector establece el campo eléctrico entre la muestra y el detector
del colector VPSE G3.
Si la tensión previa del colector es demasiado baja, la eficacia del detector VPSE G3 se ve
notablemente reducida.
Los valores de tensión previa del colector demasiado elevados desembocan en la saturación del
detector VPSE G3 en función de la muestra, de la tensión de aceleración, de la corriente de haz
y de la presión en la cámara de muestras.

Esto, a su vez, desemboca en líneas periódicas

muy brillantes sobre la imagen, que evitan una
formación adecuada de imágenes de la
muestra.

IMPORTANTE
Los efectos de banda pueden suprimirse mediante la reducción de la tensión previa del
colector o la reducción de la presión en la cámara de muestras. También hay disponible
un diálogo de calibrado que le permite mejorar aún más la calida de la imagen (Tools/Goto
Panel/VPSE-G3 Calibration).

52 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

[Link] Detector (HD)BSD (opcional)

El BSD/HDBSD es un detector semiconductor que cuenta con cuatro o cinco segmentos de
diodos de silicio.
Cuando los electrones retrodispersados de alta energía impactan sobre los diferentes
segmentos, se generan pares de electrón-orificio en estos mismos segmentos.
La separación de cargas y la corriente en cada segmento pueden medirse y utilizarse para
generar una imagen. Existe una capa fina depositada sobre la superficie de cada segmento del
diodo que los electrones retrodispersados deben atravesar antes de alcanzar dicho diodo.
Debido a la presencia de esta capa, el detector BSD sólo puede producir imágenes por encima
de un determinado umbral de energía de dichos electrones.
La emisión de electrones retrodispersados a partir de una muestra está relacionada con el nú-
mero atómico del material implicado; a mayor número atómico, mayor coeficiente de retrodisper-
sión. A la hora de formar imágenes, las regiones que contienen elementos con números
atómicos mayores aparecen más brillantes que aquellas con números atómicos más pequeños.

El HDBSD es un detector BSD altamente sensible, que está disponible con cuatro o cinco
segmentos de diodos.
El HDBSD ofrece la capacidad de ver detalles superficiales extraordinariamente nítidos y con
alto contraste mediante el uso de energías bajas en el haz incidente.

BSD de cuatro segmentos BSD de cinco segmentos

Aplicaciones Análisis de materiales

• Secciones metalúrgicas
• Secciones geológicas
• Materiales complejos
• Tarjetas electrónicas
• Semiconductores
• Zonas de conexión

Ciencias de la vida
• Depósitos minerales en estructuras de plantas
• Estructuras óseas

Manual de instrucciones EVO® es03 53 de 246

3. Descripción
Principio de funcionamiento

[Link] Detector CL (opcional)

El detector de catodoluminiscencia es un detector inclinado que permite absorber la luz visible o
ultravioleta de forma eficaz. Este detector es ideal para utilizarse en aplicaciones relativas a la
geología, la mineralogía y la ciencia de materiales, materias en las que puede ayudar en el aná-
lisis estructural interno de rocas, cerámica y semiconductores. No obstante, las muestras nece-
sitan emitir luz al interactuar con el haz de electrones primarios. Las diferencias en la estructura
del cristal o la presencia de impurezas en un material catodoluminiscente desembocan en varia-
ciones en la brecha energética entre las bandas de valencia llenas y las bandas de conducción
vacías y, en consecuencia, en un cambio en la emisión CL. La luz (fotones) emitida desde la
muestra es recogida por el detector CL y convertida en señal para la formación de imágenes. El
detector CL está completamente integrado en el control automático de brillo y contraste del SEM,
y puede emplearse simultáneamente con cualquiera de los detectores sin reducir su rendimiento.
El detector puede emplearse durante mediciones de EDS y de espectrómetros de longitud de
onda dispersiva (WDS) con cualquier aumento válido.

IMPORTANTE
Para obtener información detallada sobre las aplicaciones del EVO, busque
Electron & Ion Beam Microscopy en [Link]/microscopy y seleccione
Applications.

54 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Principio de funcionamiento

[Link] Detector STEM (opcional)

La unidad STEM consta de un detector electrónico de diodo ubicado bajo una muestra
electrónica de capa transparente en un soporte previamente alineado que se ajusta directamente
en la mesa de muestras. La unidad STEM permite el posicionamiento de la muestra fina cerca
de la lente objetivo, lo cual aumenta la resolución. Las señales recopiladas son equivalentes a
la imagen de campo claro. Utilizar el detector STEM en el modo de presión variable ofrece la
posibilidad de analizar la nanoestructura de muestras no conductoras.

1 Soporte de muestra STEM 2 Detector STEM

Fig. 3.9: Esquemas del detector STEM

Manual de instrucciones EVO® es03 55 de 246

3. Descripción
Especificación

3.4 Especificación

3.4.1 EVO®

Especificaciones EVO® EVO® EVO®

fundamentales MA 10 y LS 10 MA 15 y LS 15 MA 25 y LS 25

3 nm (2 nm) x 30 kV - SE y W (LaB6)
3,5 nm x 30 kV - modo SE VP con W
Resolución 15 nm x 30 kV - 1 nA, LaB6
20 nm (15 nm) x 1 kV - SE y W (LaB6)
10 nm x 3 kV - SE

Aumentos < 7 – 1.000.000 x < 5 – 1.000.000 x < 5 – 1.000.000 x

Campo de visión 6 mm a la distancia de trabajo analítica (AWD)

Análisis de rayos X 8,5 mm de AWD y 35° de ángulo

Modos OptiBeam Resolución, profundidad, análisis, campo y ojo de pez

10 - 400 Pa (serie MA)

Rango de presión
10 - 3000 Pa (serie LS)

BSD: diodo multisegmento

ETSE: detector Everhart-Thornley de electrones secundarios
Detectores VPSE: detector de electrones secundarios a presión variable
disponibles SCD: detector de corriente de la muestra
STEM: microscopía electrónica de campo de emisión y barrido detector
CL: detector de catodoluminiscencia

Cámara 310 mm (Ø) x 220 mm (h) 365 mm (Ø) x 275 mm (h) 420 mm (Ø) x 330 mm (h)

X = 80 mm X = 125 mm X = 130 mm
Y = 100 mm Y = 125 mm Y = 130 mm
Z = 35 mm Z = 50 mm Z = 50 mm
5 ejes motorizados T = 0 - 90° T = 0 - 90° T = 0 - 90°
Mesa de muestra R = 360° (continuo) R = 360° (continuo) R = 360° (continuo)
Control de la mesa mediante Control de la mesa mediante Control de la mesa mediante
ratón o joystick opcional, así ratón o joystick opcional, así ratón o joystick opcional, así
como por panel de control como por panel de control como por panel de control

Altura máxima de la 100 mm (sin el módulo ZTR) 145 mm (sin el módulo ZTR) 210 mm (sin el módulo ZTR)
muestra

Futuro garantizado BeamSleeve®, presión ampliada, y gas VP de vapor de agua

Opciones actualiza-
das para la serie MA

Memoria de máx. 3072 x 2304 píxeles, adquisición de señal mediante integración y ponderación
imágenes

SmartSEM®** GUI manejado mediante ratón y teclado

Control del sistema
Sistema operativo multilingüe Windows® 7

Requisitos de 100 - 230 V, 50 ó 60 Hz monofásicos, sin necesidad de refrigeración de agua

aplicación

56 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Especificación

3.4.2 EVO®HD

Especificaciones
fundamentales EVO®HD MA 15 EVO®HD MA 25

1,9 nm x 30 kV SE
3 nm x 30 kV modo SE VP
Resolución 10 nm x 30 kV 1 nA
5 nm x 3 kV SE
8 nm x 1 kV SE

Aumentos < 5 – 1.000.000 x

Campo de visión Máximo de 6 mm a la distancia de trabajo analítica (AWD) de 8,5 mm

Análisis de rayos X 8,5 mm de AWD y 35° de ángulo

Modos OptiBeam Resolución, profundidad, análisis, campo y ojo de pez

10 - 273 Pa
Rango de presión
10 - 400 Pa (con actualización TTL opcional)
BSD: diodo multisegmento
ETSE: detector Everhart-Thornley de electrones secundarios
VPSE: detector de electrones secundarios a presión variable
Detectores disponibles
SCD: detector de corriente de la muestra
STEM: microscopía electrónica de campo de emisión y barrido detector
CL: detector de catodoluminiscencia

Cámara 365 mm (Ø) x 275 mm (h) 420 mm (Ø) x 330 mm (h)

X = 130 mm X = 125 mm
Y = 130 mm Y = 125 mm
Z = 50 mm Z = 50 mm
5 ejes motorizados T = -10° - 90° T = -10° - 90°
Mesa de muestra R = 360° (continuo) R = 360° (continuo)
Control de la mesa mediante Control de la mesa mediante
ratón o joystick opcional, así ratón o joystick opcional, así
como por panel de control como por panel de control

Altura máxima de la 145 mm (sin el módulo ZTR) 210 mm (sin el módulo ZTR)
muestra

Futuro garantizado BeamSleeve®, presión ampliada, y gas VP de vapor de agua

Opciones actualizadas
para la serie MA
máx. 3072 x 2304 píxeles, adquisición de señal mediante integración y
Memoria de imágenes
ponderación
SmartSEM®** GUI manejado mediante ratón y teclado
Control del sistema
Sistema operativo multilingüe Windows® 7

Requisitos de 100 - 230 V, 50 ó 60 Hz monofásicos, sin necesidad de refrigeración de

aplicación agua

IMPORTANTE
Para obtener más información, consulte el documento Especificaciones del
Producto EVO®.

Manual de instrucciones EVO® es03 57 de 246

3. Descripción
Datos técnicos

3.5 Datos técnicos

3.5.1 Esquemas y conexiones

C D
B

E
Una

F
I II

III

IV

I Amortiguador de vibración estática A Alimentación eléctrica general 208..0,230V/25A,

1/N(L2)/PE

II Bomba de prevacío B Barra equipotencial

III Estación PC C Manorreductor de presión (agua, nitrógeno,

aire comprimido)

IV Tecla de desconexión de emergencia D Válvulas principales de corte

(EMO) (opcional)

E Alimentación de nitrógeno

F Línea de extracción de gases

58 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Datos técnicos

3.5.2 Esquema del sistema

1
2

1
1

Tamaño (mm)
Peso (kg) Distribución
No Descripción aprox. Huellas
aprox. de carga
longitud x anchura x altura

1 Chasis + columna 822 x 980 x 1783 860 4 x 220 kg 4 x Ø 80 mm

2 Mesa + PC 1148 x 980 x 1250 97 4 x 24,3 kg 4 x Ø 50 mm

3 Bloque de amortiguación 180 x 180 x 160 36 1 x 36 kg -

estática

4 Bomba de prevacío 427 x 250 x 290 25 1 x 25 kg -

5 Caja de desconexión de 380 x 400 x 850 32 4 x 8 kg -

emergencia (opcional)

Manual de instrucciones EVO® es03 59 de 246

3. Descripción
Datos técnicos

3.5.3 Requisitos de instalación

Requisitos de ubicación

Lugar de instalación Exclusivamente dentro de edificios

Tamaño de habitación mín. 3,0 m x 4,0 m x 2,3 m (L x An. x Al.)

Área de servicio mín 1,0 m a cada lado

Categoría de instalación II

Alimentaciones eléctricas

Tensión CA nominal 100-240V 50/60 Hz monofásico

Categoría de protección I

Frecuencia nominal 50 - 60 Hz

Consumo energético 2 kVA-3 kVA, depende de los accesorios

Disyuntor 25 A

Capacidad de desconexión AIC mínimo 10.000 A

Suelo protector Puede haber elevadas corrientes de fuga en el SEM. Por este motivo, el
SEM debe estar conectado a una barra de equilibración de potenciales.
Debe suministrarse una toma de tierra exclusiva, es decir, el terminal de
conexión a tierra no deberá coincidir con el de otro equipamiento eléctrico.
Junto con el SEM se suministra un cable de puesta a tierra AWG10 (5 m
de longitud).

Sección > 4 mm2

Resistencia de tierra < 0,1 Ohm

Suministros de gas

Nitrógeno

Índice de flujo máx. 40 l/min para la ventilación de la cámara

de muestras con la puerta de la cámara
abierta

Presión 0,2 a 0,3 MPa (2,0 a 3,0 bar)

Calidad 4,6 con contenido de nitrógeno del <99,996 %

Aire comprimido

Índice de flujo menos de 1l/min

Presión 0,5 – 0,6 MPa (5 - 6 bar)

Calidad sin aceite

60 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 3. Descripción
Datos técnicos

Requerimientos ambientales

Temperatura ambiental aprox. 23 °C +/-1 °C

Estabilidad 0,5 °C /h

Humedad relativa del Inferior al 65 %

aire

Altitud Máximo 2.000 m sobre el nivel del mar

Grado de polución 2

IMPORTANTE
Consulte también los documentos Especificaciones del Producto EVO® y
Requisitos de instalación del EVO®.

Manual de instrucciones EVO® es03 61 de 246

3. Descripción
Opciones

3.6 Opciones

Hay una serie de accesorios y opciones que pueden utilizarse con el EVO® SEM. Algunos
ejemplos de estas opciones y accesorios se recogen a continuación:
• Detectores: VPSE, BSD/HDBSD, CL, STEM, SCD
• Chamberscope o Stubscope adicional
• Portamuestras y accesorios de la mesa, incluyendo mesa refrigeradora, inclinación derecha
o jaula Faraday
• Adiciones y mejoras del software
• Equipo de mantenimiento de la columna, equipo del o-ring

Para conocer los detalles completos de las opciones y los accesorios disponibles, póngase en
contacto con su representante de servicio ZEISS o su representante de ventas a nivel local.

3.7 Servicio al cliente

Para el servicio de atención al cliente, póngase en contacto con su representante de servicio

ZEISS más cercano.
Podrá encontrar una relación de localizaciones y socios de servicio autorizados ZEISS en:
[Link]/microscopy

IMPORTANTE
Para que el SEM conserve la mayor potencia posible, es fundamental llevar a cabo tareas
de mantenimiento preventivo de forma habitual.
Además, se recomienda que firme un contrato de servicios con su organización de
servicios o representante de ZEISS a nivel local. Esto garantizará un funcionamiento
continuo y sin problemas del SEM.

62 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 4. Transporte y almacenamiento
Transporte

4. Transporte y almacenamiento

4.1 Transporte

ATENCIÓN
Peligro de aplastamiento mientras se mueve o se baja la carga.
Mantenimiento de distancia de seguridad. No camine ni coloque sus manos o pies bajo la
carga mientras ésta esté siendo bajada. Lleve calzado de seguridad y guantes.

ATENCIÓN
Riesgo de lesiones debido a la existencia de componentes pesados.
Las bombas rotativas y los bloques de vibración son pesados y pueden causar lesiones
si son levantados por una sola persona.
Tenga cuidado a la hora de transportar la bomba rotativa y el bloque de vibración.
Para levantar la bomba rotativa o el bloque de vibración son necesarias, al menos, dos
personas.

ATENCIÓN
Riesgo de daños al SEM
El SEM sólo podrá ser transportado en vehículos con amortiguación por aire. Las partes
móviles deberán asegurarse durante el transporte para evitar que puedan resbalarse o
caerse.
Evite balancear la caja hacia delante y hacia atrás.
Los dispositivos para el transporte del SEM deberán estar calibrados para poder hacer
frente a su peso y dimensiones máximas. Anote la información sobre el peso en el
embalaje y en el documento de envío.

La temperatura durante el transporte deberá encontrarse entre -10 °C y +70 °C.

El SEM se suministra en dos contenedores:

Caja de madera reutilizable Dimensiones y peso de la caja:

1950 x 1320 x 1090 mm³ (An. x P. x Al.), apr. 120 kg

Caja de cartón en europalet Dimensiones y peso de la caja:

1910 x 1220 x 1100 mm³ (An x P x Al), apr. 102 kg

Asegúrese de que ninguno de los objetos haya sufrido daños durante el envío.

Manual de instrucciones EVO® es03 63 de 246

4. Transporte y almacenamiento
Almacenamiento

4.2 Almacenamiento

El SEM embalado deberá almacenarse en un lugar seco.

La temperatura durante el almacenamiento deberá encontrarse entre -10 °C y +70 °C.

64 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 5. Instalación

5. Instalación

El desembalado, la instalación y la primera activación serán procesos llevados a cabo por el

Representante de servicio ZEISS autorizado.

Manual de instrucciones EVO® es03 65 de 246

5. Instalación

66 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Activación del SEM

6. Manejo

Resumen Este capítulo contiene información acerca de:

• Activación del SEM:
• Inicio de la interfaz de usuario SmartSEM®
• Hallazgo del proceso que debe seguirse a través de la interfaz de usuario SmartSEM®.
• Obtención de una primera imagen
• Configuración de las condiciones SEM
• Imágenes de muestras húmedas utilizando la mesa refrigeradora Peltier
• Utilización de las funciones de ayuda
• Finalizar la sesión de trabajo
• Cierre de la interfaz de usuario SmartSEM®
• Apagado del SEM como algo rutinario
• Desconexión de emergencia (EMO)
• Desconexión completa del SEM

6.1 Activación del SEM

1 Pulse la tecla ON.

El botón verde ON se encenderá.

Manual de instrucciones EVO® es03 67 de 246

6. Manejo
Inicio de la interfaz de usuario SmartSEM®

6.2 Inicio de la interfaz de usuario SmartSEM®

Condiciones previas:
• El SEM está activado.
• Se ha cargado Windows® como sistema operativo.

1 Seleccione Start/All Programs/SmartSEM/SmartSEM User Interface o haga clic en el

icono SmartSEM® del escritorio si éste estuviera disponible.

El EM Server se abre mientras se cargan diferentes softwares y firmwares. La función del

servidor EM es desarrollar la comunicación interna entre el software y el hardware del SEM.

El diálogo EM Server Log On aparecerá.

2 Introduzca su nombre de usuario y
contraseña.
3 Confirme haciendo clic en OK.

La interfaz de usuario SmartSEM® se abrirá.

68 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Inicio de la interfaz de usuario SmartSEM®

El EM Server se minimizará hasta convertirse en un pequeño elemento (símbolo) en la parte de

derecha de la barra de tareas de Windows®.

Ahora, el software SmartSEM® está listo para manejar el SEM.

Manual de instrucciones EVO® es03 69 de 246

6. Manejo
Hallazgo del proceso que debe seguirse a través de la interfaz de usuario SmartSEM®

6.3 Hallazgo del proceso que debe seguirse a través de la

interfaz de usuario SmartSEM®

6.3.1 Mostrar u ocultar barras de herramientas

Diversas barras de herramientas, como la barra de herramientas de usuario, la barra de inicio o

la barra de anotaciones están disponibles para un acceso sencillo a las funciones SmartSEM®.

1 Seleccione View/Toolbars en el menú.

Como alternativa, puede pulsar <Ctrl+B>.

Se mostrará el panel Toolbar Views.

2 Si desea mostrar una barra de herramientas, marque la casilla de control correspondiente.

3 Para cambiar las características de información breve de la barra de herramientas de
usuario, seleccione el campo de opciones correspondiente en la parte derecha del panel.
4 Confirme haciendo clic en OK.

70 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Hallazgo del proceso que debe seguirse a través de la interfaz de usuario SmartSEM®

6.3.2 Mostrar u ocultar la zona de datos

La zona de datos se utiliza para mostrar los parámetros actuales. También podrá incluir un
marcador micrométrico para mostrar los aumentos de la base. La barra de herramientas por
defecto se muestra en la parte inferior.

1 Seleccione View/Data Zone/Show Data Zone en el menú.

Se mostrará una marca para indicar que la función está activada.

Como alternativa, puede pulsar <Ctrl+D> para cambiar la zona de datos.

6.3.3 Mostrar y ocultar una imagen de pantalla completa

Puede aprovechar el tamaño completo de monitor para presentar una imagen de pantalla
completa.
El tamaño máximo de la imagen está fijado en 1024 x 768 píxeles.

1 Seleccione View/Toggle Full Screen Image en el menú.

Como alternativa, puede pulsar <Shift + F3>.

Para deshacer la función, pulse <Shift + F3>.

Manual de instrucciones EVO® es03 71 de 246

6. Manejo
Hallazgo del proceso que debe seguirse a través de la interfaz de usuario SmartSEM®

6.3.4 Utilización de paneles de ajuste

Es posible acoplar diversos paneles de control a la ventana principal. El propósito del panel de
ajuste es mantener el área de la imagen completamente limpia, en la medida en que dicho panel
de ajuste está fuera de la pantalla principal de la imagen.

1 Para mostrar el panel de ajuste, seleccione

View/Toolbars en el menú.
2 Marque la casilla de control Docking Panel.

El panel de ajuste se muestra en la parte derecha

del área de la imagen.

3 Para desplazar un panel de ajuste hacia el área de ajuste, selecciónelo haciendo clic sobre
la barra de títulos, arrástrelo y suéltelo en la mencionada área de ajuste.

72 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Hallazgo del proceso que debe seguirse a través de la interfaz de usuario SmartSEM®

4 Para fijar un panel de control en el panel de ajuste, haga clic en la barra de títulos del panel
de control y arrástrelo hasta el panel de ajuste.

El panel pasará a integrarse en el panel de ajuste.

Podrá ubicar varios paneles de control en el

panel de ajuste.

5 Para minimizar un panel, haga clic en la tecla

arrow situada en la barra de títulos.

Manual de instrucciones EVO® es03 73 de 246

6. Manejo
Hallazgo del proceso que debe seguirse a través de la interfaz de usuario SmartSEM®

6 Para ocultar el panel de ajuste,

a seleccione View/Toolbars en el menú.
b desmarque la casilla de control Docking
Panel.

El panel de ajuste se oculta.

6.3.5 Abrir la barra Panel Configuration

1 En la barra del menú, seleccione Tools/Goto Panel.

Como alternativa, puede hacer clic en la tecla flecha

en el lateral el lateral del área de la imagen.

2 La barra Panel Configuration se abrirá y mostrará una relación alfabética de funciones.

3 Para seleccionar una función, haga doble clic en ella.

74 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

6.4 Obtención de una primera imagen

La siguiente sección resume las secuencias básicas para obtener rápidamente una imagen
empleando el detector SE. Para simplificar el procedimiento, el método descrito emplea
principalmente el panel SEM Controls y las funciones de la barra de inicio.

Requisito:
• SmartSEM® se ha iniciado y está listo para controlar el SEM.

Piezas requeridas N.º

Llave Allen, 1,5 mm suministrada con el SEM

platillo de muestra suministrada con el SEM

pinzas para muestras suministrada con el SEM

portamuestras suministrada con el SEM

si fuera necesario: cinta de carbono, carbono conductor, cinta metálica -

adhesiva o similar

muestra adecuada (con propiedades conductivas, por ejemplo oro sobre -

carbono)

guantes libres de pelusas -

Resumen La secuencia completa incluye:

• Preparación del portamuestras
• Carga de la cámara de muestras
• Colocación de la muestra
• Conexión del filamento
• Activación de la EHT
• Generación de una imagen
• Optimización de la imagen
• Guardar la imagen

Manual de instrucciones EVO® es03 75 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

6.4.1 Preparación del portamuestras

IMPORTANTE
La contaminación causada por las huellas dactilares puede provocar un deterioro del
vacío o tiempos de bombeo más prolongados. Lleve siempre guantes libres de pelusas
cuando entre en contacto con la muestra, el portamuestras o la mesa.

1 Una la muestra al platillo de muestra

empleando carbono conductor, metal
adhesivo o cinta de carbono.
Asegúrese de que el área de la muestra que
deba analizarse esté en contacto adecuado
con el platillo de muestra. Esto garantizará
una elevada conductividad eléctrica entre la
muestra y el platillo de muestra.

2 Utilice las pinzas para introducir el platillo de

muestra en el portamuestras.

3 Utilice la llave Allen para apretar el tornillo de

colocación y asegurar la muestra.

76 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

6.4.2 Carga de la cámara de muestras

1 Haga clic en el icono ChamberScope en la

barra de herramientas.
Esto también puede lograrse pulsando el
botón Camera del panel frontal rígido
(opcional).

Se mostrará una visualización de televisión dentro de la cámara de muestras

.

ATENCIÓN
Riesgo de dañar la lente objetivo y/o su muestra
Asegúrese de no golpear la lente objetivo mientras desplaza la mesa. Cambie a modo
cámara (TV) para observar la mesa en movimiento.

Manual de instrucciones EVO® es03 77 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

2 En el panel SEM Controls situado en la parte

derecha de la interfaz de usuario, seleccione
la pestaña Vacuum.
3 Haga clic en el botón Vent para ventilar la
cámara de muestras.

Aparecerá un mensaje con la pregunta: ’Are you

sure you want to vent?’.
4 Confirme haciendo clic en Yes.

La cámara de muestras se llena de nitrógeno

gaseoso.

ATENCIÓN
Peligro de asfixia como consecuencia de la falta de oxígeno, puesto que la cámara de
muestras se ventila con nitrógeno.
Tras el cambio de muestras, mantenga la puerta de la cámara abierta el menor tiempo
posible.
Evite inhalar el aire procedente del interior de la cámara de muestras.
Asegúrese de que el área existente en torno al SEM esté suficientemente ventilada.

5 Tome la manija empotrada.

78 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

6 Abra la puerta de la cámara lentamente.

IMPORTANTE
La contaminación causada por las huellas dactilares puede provocar un deterioro del
vacío o tiempos de bombeo más prolongados.
Lleve siempre guantes libres de pelusas cuando entre en contacto con la muestra, el
portamuestras o la mesa. Mantenga la puerta de la cámara de muestras abierta el menor
tiempo posible.

Todos los portamuestras disponen de una cola de

Milano, de tal forma que la posición del
portamuestras está definida de forma exacta.

7 Montaje del portamuestras:

a Asegúrese de colocar la cola de milano en
la orientación correcta sobre el dispositivo
de fijación en la mesa de muestras.
b Asegúrese de que la parte plana de la
cola de milano del portamuestras esté al
nivel del borde fresado de la mesa.

Borde fresado de
la mesa Parte plana de la cola
de milano

8 Al cerrar la puerta de la cámara, compruebe el

área de ésta para asegurarse de que la
muestra no golpee ningún componente al ser
introducida en la propia cámara de muestras.

Manual de instrucciones EVO® es03 79 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

ATENCIÓN
Peligro de atrapamiento al cerrar la puerta de la cámara.
Utilice la manija empotrada para cerrar la puerta de la cámara. Asegúrese de que sus
dedos no queden atrapados en el hueco de la puerta de la cámara.

9 Cierre cuidadosamente la puerta de la cámara.

10 Haga clic en Pump en el panel de SEM

Control.
11 Hay una macro de cambio disponible, la cual
automatiza el procedimiento de cambio de la
muestra e insta al usuario a llevar a cabo
acciones específicas. Los pasos finales de la
macro hacen que el haz de electrones esté
listo para que el usuario comience a crear
imágenes.

Los mensajes sobre el estado de vacío muestran

los niveles de vacío logrados en ese momento.

80 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

6.4.3 Colocación de la muestra

1 En el modo TV (ChamberScope), mire dentro de la cámara de muestras.

ATENCIÓN
Riesgo de dañar la lente objetivo y/o su muestra.
Asegúrese de no golpear la lente objetivo mientras desplaza la mesa. Observe la mesa en
movimiento en modo TV.

2 Mueva la muestra empleando el joystick dual (opcional) o solicitando el joystick virtual a

través de la barra de menú.

3 Desplace cuidadosamente la muestra más cerca de la lente objetivo.

La distancia entre la lente objetivo y la superficie de la muestra debería ser inferior a unos
10 mm.

IMPORTANTE
Después de cargar la muestra, existe la posibilidad de establecer automáticamente una
serie de parámetros fundamentales. Para más detalles, consulte sección [Link].

Manual de instrucciones EVO® es03 81 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

6.4.4 Conexión del filamento

1 En la pestaña Vacuum:
Compruebe que EHT Vac ready=Yes esté
indicado.

Como alternativa. Compruebe que haya una

marca verde junto a Vac: en la barra de inicio.

2 Haga clic en Gun en la barra de inicio.

3 Seleccione Beam On en el menú emergente.

El cañón está calentándose.

82 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

6.4.5 Activación de la EHT

“EHT” significa tensión extraalta. Esta tensión deberá aplicarse sobre el filamento, para que así
emita electrones.

1 Consulte los mensajes de estado de vacío en

la pestaña Vacuum del panel SEM Controls.

Cuando se haya alcanzado el estado de vacío

requerido, podrá ver el mensaje ‘Vac Status =
Ready’.

2 Seleccione la pestaña Gun.

3 Para establecer la corriente del filamento,
desplace el
regulador corredizo FIL I Target o haga clic
en FIL I Target = e introduzca el valor
deseado.
4 Para establecer la tensión de aceleración,
desplace el regulador corredizo EHT Target
hasta el valor deseado.
Como alternativa, haga clic en EHT Target =
e introduzca el valor deseado.

Manual de instrucciones EVO® es03 83 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

5 Activar la EHT:
a Haga clic en EHT en la barra de inicio.

b Seleccione EHT On en el menú

emergente.
La EHT se situará en el valor objetivo.

La EHT está funcionando con un máximo de

10 kV.

Los botones de la barra de inicio se fusionarán,

y el botón All: aparecerá.

Ahora, el haz de electrones está activado.

84 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

6.4.6 Generación, optimización y guardado de imágenes

El siguiente flujo de trabajo describe cómo obtener imágenes con el SEM. Para hacerlo más
exhaustivo, dicho flujo de trabajo está dividido en generación, optimización y guardado de
imágenes.
IMPORTANTE
Los siguientes procedimientos describen cómo llevar a cabo los pasos necesarios de
forma manual.
También hay disponibilidad de varias funciones automáticas que pueden ayudarle con
estas tareas. Para obtener más información, consulte sección 6.4.7.

[Link] Generación de una imagen

EasyVP es la configuración recomendada cuando se utilizan los sistemas de la serie EVO®.
EasyVP permite el uso de todos los modos Optibeam y cambiar entre condiciones HV y VP, lo
cual hace posible la formación de imágenes tanto de muestras conductoras como aislantes a una
presión máxima de la cámara de 133 Pa.
1 Ajuste la apertura Easy VP.
2 Configure el modo Optibeam en modo de
resolución.

3 Seleccione la apertura media de clic de la

columna de 20 micras.

Manual de instrucciones EVO® es03 85 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

4 En la pestaña Gun, establezca EHT en

20 keV e Iprobe en 100 pA.

5 Active el haz.
6 Seleccione la pestaña Detectors.
7 En la lista de elección Signal A =,
seleccione SE2.

Se recomienda la selección del detector SE

para obtener la primera imagen, puesto que
este detector ofrece una buena relación
señal-ruido incluso en grandes distancias de
trabajo.

8 En el panel SEM Controls, seleccione la

pestaña Scanning.
9 En la lista de elección, seleccione una
velocidad de barrido rápida; por ejemplo,
Scan Speed = 3.

Cuanto menor sea la cifra de velocidad de

barrido, más rápido se efectuará el barrido del
haz de electrones a través de la muestra.

Si la imagen mostrada fuera ruidosa, cambie

la velocidad de barrido a 4 o 5, pero no a más
de 6, ya que esto ralentizaría el proceso de
navegación en la muestra.

10 Para mover la mesa de muestras hasta una

posición adecuada para la formación de
imágenes, utilice los controles X e Y del
joystick.

86 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

11 Haga clic en el icono Magnification/Focus

en la barra de herramientas.

12 Para configurar un aumento bajo, p. ej.

Mag = 500 x, presione el botón izquierdo
del ratón y arrástrelo o haga clic en la
presentación de aumentos de la barra de
inicio para introducir el valor del aumento en
cuestión.

El aumento actual se indicará en la barra de

inicio.

Como alternativa, puede utilizar el botón

Magnification del panel de control.

13 Determinar el foco: Pulse el botón central del ratón y desplácelo hasta el foco. Como
alternativa, puede utilizar el botón Focus del panel de control.

La distancia de trabajo actual (WD) se

indicará en la barra de inicio.

14 Si fuera necesario, cambie la posición Z de la

platina para establecer la WD en 8,5 mm.

15 Seleccione la pestaña Detectors.

16 Para ajustar el brillo y el contraste, utilice los
reguladores corredizos Brightness y
Contrast.
Como alternativa, puede utilizar los botones
Brightness y Contrast del panel de control.

17 Seleccione un área de interés sobre la

superficie de la muestra.
18 Enfoque una característica de interés.
19 Reajuste el contraste y el brillo si fuera
necesario.

Manual de instrucciones EVO® es03 87 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

[Link] Optimización de la imagen

IMPORTANTE
El siguiente procedimiento describe cómo mejorar manualmente la calidad de la imagen.
También hay disponibilidad de una función automática que puede ayudarle con esta tarea.
Para obtener más información, consulte sección [Link].
1 Mediante el ratón o el ajuste de panel de control, seleccione Coarse cambiando el botón
Coarse/Fine situado en la barra de inicio. Esto también puede realizarse pulsando <TAB>
en el teclado.
2 Seleccione la pestaña Apertures.
3 Active la casilla de control Focus Wobble (1).

El enfoque Wobble es una función que

desplaza el foco de la lente objetivo hacia 1 3
delante y hacia atrás a través del enfoque 2
sobre el plano de la muestra. Si la apertura
está ligeramente mal alineada, se observará
un desplazamiento lateral en la imagen.

4 La intensidad del Wobble puede ajustarse

mediante el regulador corredizo Wobble Amplitude (2).
Establezca el valor Wobble Amplitude entre el 60% y el 70%.
La velocidad Wobble puede acelerarse mediante la activación
de la casilla de control Wobble Fast (3).
5 En la barra Panel Configuration, seleccione Aperture Align.

El diálogo Aperture Align se abrirá.

6 Para configurar el valor de Aperture Align en

cero, haga clic en el botón 0.

7 Alinee la apertura media de la columna

ajustando cuidadosamente los medidores de
micrómetros de X e Y para suprimir el
desplazamiento lateral de la imagen. La
muestra debería ser percibida para ser
pulsada, y no para desplazarse.
8 Desactive la casilla de control Focus
Wobble.
9 En la pestaña Scanning, establezca Scan Speed = 7.
10 Enfoque la imagen con un aumento mayor que el aumento final deseado. Normalmente, se
establecerá el doble del aumento deseado.
11 En la barra de estado, cambie al modo Fine.
Utilice el modo de ajuste Coarse y Fine
donde proceda.

88 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

IMPORTANTE
Una vez que la apertura está optimizada, NO cambie la posición de los medidores de
micrómetros X e Y situados en la apertura media de clic de la columna. Ahora es posible
trabajar en cualquier EHT, Iprobe y distancia de trabajo sin necesidad de cambiar la
posición de los medidores de micrómetros X e Y situados en la apertura media de clic de
la columna.

12 Incremente lentamente los aumentos hasta llegar al valor requerido (p. ej., aum. 50.000 x).
Sería prudente reenfocar la imagen cuando fuera necesario a la par que vayan
incrementándose los aumentos.
13 En la barra de herramientas, haga clic en
REDUCE.

Se mostrará una pequeña ventana de barrido.

La imagen del exterior de la ventana de
barrido quedará congelada.

14 Utilice el ratón para cambiar el tamaño, la

forma y la posición del área de barrido
reducido.
15 Enfoque la imagen en el barrido reducido.

16 Seleccione la pestaña Apertures y haga clic

en Stigmation (1).
Como alternativa, utilice los botones de
astigmación del panel de control o haga clic
en STIG en la barra de herramientas.
17 En la ventana Stigmation utilice las teclas de
flecha o el regulador corredizo de izquierda y 1

derecha para obtener una imagen lo más 2

nítida posible (2).
Esto es similar al enfocado.

Con el fin de obtener una imagen bien

enfocada, sería prudente ajustar el foco y
la astigmación una serie de veces antes de
pasar a las siguientes fases de formación
de imágenes.

18 Desactive el barrido reducido.

19 Reduzca los aumentos al valor requerido.

Manual de instrucciones EVO® es03 89 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

20 Para activar el autocontraste y el brillo, 3 4

haga clic en LEVELS en la barra de
herramientas (4).

21 Una vez que se haya llegado a un nivel

estable de contraste y de brillo, haga clic
en PHOTO en la barra de herramientas (3).

Esto ejecutará una macro que cambiará

automáticamente la velocidad de barrido a 8,
provocará la reducción del ruido para la
integración de líneas mediante 4 de éstas y
congelará la imagen al final del fotograma.

Un punto rojo junto en la zona inferior derecha

del área de la imagen indicará que está
congelada.

90 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

[Link] Guardar la imagen

1 Para guardar la imagen, haga clic en SAVE
1 2
en la barra de herramientas (2).
Como alternativa, seleccione File/Save
Image.
2 Para descongelar la imagen, haga clic con la
tecla central del ratón en PHOTO en la barra de herramientas (1).

Ahora es posible cambiar la EHT, el Iprobe y la distancia de trabajo a cualquier valor sin
cambiar la posición de los medidores de micrómetros X e Y situados en la apertura media de
clic de la columna.

Cuando los valores de la tensión de aceleración (EHT) o de Iprobe se modifican durante la

formación de imágenes, utilice la alineación automática de la apertura para alinear el haz
(consulte sección [Link]).
3 Configure las condiciones preferidas para la formación de imágenes (por ejemplo, 10 keV,
8,5 mm de WD y 300 pA) y obtenga una imagen.
4 En la barra Panel Configuration, seleccione el diálogo Aperture Align.
5 Haga clic en Auto Aperture Align.

Manual de instrucciones EVO® es03 91 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

6.4.7 Utilización de funciones automáticas o semiautomáticas

[Link] Utilización de la función de autosaturación

La autosaturación se utiliza para configurar automáticamente las corrientes correctas para los
filamentos de tungsteno. La corriente del filamento puede variar en función de los parámetros del
cañón, como por ejemplo la corriente de haz y la tensión de aceleración El software calcula y
establece automáticamente los valores de corriente del filamento para los filamentos de
tungsteno en el segundo pico. La selección de los valores de saturación correctos para el
filamento incrementará la vida útil de éste y mejorará la resolución de las imágenes obtenidas.
IMPORTANTE
La funcionalidad se aplicará únicamente cuando se utilicen filamentos de tungsteno.

1 En el panel SEM Controls, seleccione la pestaña Apertures.

2 Haga clic en Auto Sat....

92 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

[Link] Utilización de la función de alineación automática del cañón

La alineación automática del cañón se utiliza para alinear el desplazamiento y/o la inclinación del
haz con respecto al centro de la columna mediante la imagen de emisión.
1 En la barra Panel Configuration, seleccione Gun Alignment.
El diálogo Gun Alignment se abrirá.
• Para ajustar la inclinación del haz y maximizar
el brillo de la imagen, haga clic en Coarse
Align.
• Para ajustar la inclinación del haz y
desplazarse de cara a maximizar el brillo de la
imagen, haga clic en Fine Align.

Manual de instrucciones EVO® es03 93 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

[Link] Utilización de la función de alineación automática de apertura

La alineación automática de apertura se utiliza para mejorar la calidad de las imágenes. Cuando
se selecciona la alineación de apertura, el software alinea automáticamente el haz con respecto
a la apertura EasyVP.
IMPORTANTE
Esta opción solo está disponible cuando la apertura EasyVP está ajustada.

1 En la barra Panel Configuration, seleccione

Aperture Align.
El diálogo Aperture Align se abrirá.
2 Configure las condiciones preferidas para la
formación de imágenes (por ejemplo, 10 keV,
8,5 mm de WD y 300 pA) y obtenga una
imagen.
3 Haga clic en el botón Auto Aperture Align.

El software comenzará a alinear el haz, y la barra de progreso aparecerá en el panel.

Cuando la alineación se haya completado, aparecerá una imagen de tamaño completo.

94 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

[Link] Utilización de la función de corrección del desplazamiento

La corrección de la deriva le permitirá rectificar cualquier deriva de la imagen. El desplazamiento
de rasgos en el objeto estudiado puede producirse en algunas ocasiones cuando un área es so-
metida a la formación de imágenes durante un período de tiempo prolongado, cuando se mueve
la platina o cuando se recarga la muestra objeto de investigación. La posibilidad de corrección
del desplazamiento permite la formación de imágenes de una característica concreta mediante
el regreso de la imagen o de la platina a la misma posición exacta (en la que se hubieran obtenido
imágenes anteriormente). También puede utilizarse conjuntamente con un software de terceros
para permitir la grabación de la ventana en una exposición prolongada o repetir el análisis de un
lugar de la muestra definido. El desplazamiento del haz es posteriormente modificado de tal for-
ma que el área de formación de imágenes, en observación, coincide con la imagen de referencia.
El rango disponible de desplazamiento del haz depende de las condiciones de formación de imá-
genes y, además, determina la precisión de la corrección del desplazamiento.
IMPORTANTE
Esta funcionalidad requiere una licencia.

1 En la barra Panel Configuration, seleccione

Drift Correction.
El diálogo Drift Correction se abrirá.

2 Seleccione una característica perceptible

sobre la superficie de la muestra.

Manual de instrucciones EVO® es03 95 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

3 Haga clic en Display Rectangle y coloque el rectángulo en torno a la característica o al área

de interés.

4 Para mejorar la precisión absoluta de la corrección de la deriva, seleccione una resolución

de almacenamiento mayor que 1024 x 768.
5 Para guardar la imagen de referencia, haga
clic en Create Reference.

6 Cambio de la resolución de almacenamiento al valor estándar (1024 x 768).

El proceso de corrección del desplazamiento recurrirá a las condiciones de formación de

imágenes establecidas cuando se hubiera creado la referencia; cuando se haya completado,
se restaurará la configuración para la formación de imágenes.

7 Una vez que se haya seleccionado el rectángulo de referencia y se haya guardado la imagen
de referencia, haga clic en Hide Rectangle para seguir trabajando sobre la muestra.

Si se produjera un desplazamiento o un movimiento de la muestra durante el proceso de

formación de imágenes, es decir, si la característica perceptible se desplazara fuera del área
de referencia, haga clic en Do SEM Drift Corr.. Esto modificará el desplazamiento del haz
de tal forma que el área barrida de la muestra coincidirá con la posición original. El comando
se ejecutará a partir de una macro.

96 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

Parámetros en • Maximum Pixel Error especifica el desajuste de píxeles que admite el sistema a la hora de
el grupo de identificar la característica de referencia. El valor por defecto es de 1 píxel.
configuración En general, un valor más pequeño es mejor, puesto que desemboca en una mayor precisión
(Settings) de la corrección del desplazamiento. No obstante, la utilización de un valor de cero puede
provocar que la corrección de dicho desplazamiento fracase en su intento de ajustarse a una
imagen válida. Se recomienda utilizar un valor de 1 para la mayoría de las aplicaciones. Este
valor es la precisión mínima de una corrección de desplazamiento satisfactoria, aunque el
desplazamiento corregido, obviamente, puede ser mayor.
• Minimum Confidence especifica la certidumbre del sistema a la hora de identificar una
característica de la muestra como la característica de referencia. Seleccionar números
demasiado altos puede provocar que el sistema falle a la hora de ubicar la característica de
referencia, mientras que seleccionar valores demasiado bajos puede hacer que el sistema
identifique de forma errónea otras características como la característica de referencia. La
configuración por defecto es del 50%.
• Drift Maximum Tries especifica el número máximo de veces que el sistema debería realizar
un bucle a través del algoritmo de corrección del desplazamiento con el fin de identificar una
característica que coincida con la de referencia. El número estándar es 5, pero una buena
coincidencia suele encontrarse en uno o dos intentos.
• Period Drift Correction se utiliza cuando un área es sometida a la formación de imágenes
durante un período de tiempo prolongado, y el tiempo entre las correcciones (períodos,
segundos) puede definirse previamente e introducirse en el campo.
• En las opciones pueden seleccionarse condiciones adicionales tanto del sistema como de la
formación de imágenes.

Manual de instrucciones EVO® es03 97 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

[Link] Utilización de la función de selección del tipo de muestra

La funcionalidad de selección del tipo de muestra permite al usuario obtener una imagen a partir
de cualquier muestra de forma rápida, es decir, una imagen de referencia, sin ningún tipo de
esfuerzo en seleccionar los parámetros operativos (modo de vacío, tensión de aceleración,
corriente de haz y detector). La calidad de la imagen inicial puede mejorarse posteriormente, si
fuera necesario, mediante la modificación de los parámetros de formación de imágenes.

1 En la barra Panel Configuration, seleccione Sample Type Selection.

El menú Sample Type Selection se abrirá.

2 Seleccione un tipo de muestra que sea similar a la muestra objeto del análisis.

Aparecerá un diálogo que le pedirá que indique más información sobre la muestra objeto del
análisis.

3 Introduzca los parámetros relevantes.

Cuando se facilite la información relacionada con el estado de la muestra, el software

ejecutará macros asignadas a los diferentes tipos de muestras, con parámetros y
configuraciones de vacío definidos.

98 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

Editar o
añadir nuevos Es posible editar o añadir nuevos tipos de muestra al menú Sample Type Selection.
tipos de
muestra
1 Para añadir un nuevo tipo de muestra al menú, obtenga una imagen de la muestra deseada.
2 En la barra Panel Configuration, seleccione Sample Type Save.

El diálogo Sample Type Save se abrirá.

3 Haga clic en cualquiera de los cuadros en blanco.

4 Añada el nombre del tipo de muestra.
Si fuera necesario, edite la lista Parameters To Save en el diálogo Sample Type Parameter
Save.

Las condiciones del SEM, el modo de vacío y los parámetros de formación de imágenes se
guardarán para el nuevo tipo de muestra.

5 Cierre el diálogo Sample Type Parameter Save.

El diálogo Sample Type Save mostrará el nuevo tipo de muestra.

6 Cierre el diálogo Sample Type Save.

Ha añadido el nuevo tipo de muestra de forma satisfactoria. Ahora, puede seleccionarlo en

el menú Sample Type Selection.

Manual de instrucciones EVO® es03 99 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

[Link] Utilización de la función de navegación de la imagen

La navegación de la imagen permite una navegación sencilla a través de la muestra. Los lugares
de interés de las muestras pueden colocarse bajo el haz simplemente haciendo doble clic en el
platillo de muestra que se desee.
1 Cargue unas cuantas muestras en un portamuestras y haga una fotografía.
Puede utilizar imágenes de cámara y escaneadas, así como dibujos CAD.
2 En la barra Panel Configuration, seleccione Image Navigation.

Se abrirá el cuadro de diálogo Image Navigation.

3 Haga clic en External Image y cargue una fotografía del portamuestras con las muestras.

4 Active el haz:
- 20 keV
- 8,5 mm a 10 mm de WD
- Iprobe 200 pA o superior.
5 En el diálogo Image Navigation haga clic en Setup.

Siga el asistente (definición de 3 puntos en el portamuestras y relación de esos puntos con

la fotografía).

6 Finalice la configuración del registro manual seleccionando la opción Yes del diálogo para
guardar la imagen actual y los datos de registro.

IMPORTANTE
También es posible guardar la imagen y la posición del portamuestras en una carpeta
distinta.

7 Para guardar la fotografía del portamuestras en una carpeta seleccionada, haga clic en Save
Image en el apartado Registration Image.
8 Para guardar la posición del portamuestras, haga clic en Save en el apartado Manual
Registration.

100 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

Es preferible que sea la misma ubicación en la que se encuentre la imagen guardada..

[Link] Utilización de la función de adquisición automática de imágenes

Requisitos previos:
• Ya ha completado el registro manual que se describe en el apartado anterior.
• La función de adquisición automática de imágenes requiere uno de los siguientes
portamuestras:
- Single
- Carousel8
- Single30
- Carousel9
- MSSH_12
- MicroAnalysis
- 8Stub_15mm
- 9Stub_26mm
- FILTER_SINGLE_25MM FILTER_SINGLE_45MM
- AUTO_7
- FILTER_SINGLE_25MM
- 13FILTER_SINGLE_45MM
- Filter_5x47mm -
- Filter_8x47mm Potted_4x32mm
- Potted_3x32mm_1x38mm
- Potted_4x30mm
- Planchette_5x25mm
- Potted_9x30mm Carousel9x6.5mm
- Carousel8x10mm
- 19 Stub Circular

Procedimiento:
1 En la barra Panel Configuration, seleccione Automated Imaging.

Manual de instrucciones EVO® es03 101 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

Se abrirá el cuadro de diálogo Automated

Imaging.

2 Para seleccionar una carpeta para guardar

imágenes, haga clic en Image Directory.

3 Seleccione la pestaña Define (1).

1 2
4 Haga clic en Drag (2).

5 Para seleccionar un área, haga clic con el

botón izquierdo y arrastre el ratón sobre la
muestra.
Los campos visuales en las condiciones de
formación de imágenes seleccionadas
(tensión de aceleración, aumentos y distancia
de trabajo) determinarán el tamaño de los
rectángulos, es decir, dichos rectángulos no
podrán ser mayores que el campo visual.

6 Para seleccionar el siguiente platillo de muestra:

a Cambie el número del platillo de muestra.
b Dibuje un rectángulo para cada lugar de interés.
c Haga clic en Add.

102 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

La lista de regiones de interés, los números

de platillos de muestra y el CV se actualizan 1 2
constantemente, y pueden verse en la parte
izquierda del diálogo (1).

7 Si fuera necesario cambiar cualquier punto o

región de interés, haga clic en Edit (2).

8 Seleccione los puntos y/o regiones de interés que

tengan que editarse y desplace dichos puntos y
regiones hasta las posiciones deseadas.
9 Si desea añadir múltiples regiones (con
diferentes aumentos) en un punto
determinado en la imagen de perspectiva
general, active la casilla de control Multi y
haga clic en el punto de interés en la imagen
de perspectiva general.
Una vez haya seleccionado diferentes
aumentos tal y como se describe en el
siguiente paso, obtendrá una recopilación de
rectángulos concéntricos.

Puede cambiar entre modo Multi y modo Add en un platillo o platillos de muestra para crear
una lista de la forma que desee.

10 Para abrir la lista Magnification, haga clic en

Magnification. Esta lista suele utilizarse en
combinación con el modo Spot, y la lista de
aumentos preferidos puede editarse
fácilmente introduciendo los valores de
aumento y utilizando los botones de flecha
para añadir o eliminar dichos valores.

Manual de instrucciones EVO® es03 103 de 246

6. Manejo
Obtención de una primera imagen

11 Para poder acercar/alejar la imagen mediante

la rueda del ratón, active la casilla de control
Zoom.
Si hace clic con el botón derecho sobre un
platillo de muestra en combinación con la
función de zoom, aparecerá la imagen
ampliada de la totalidad del platillo de muestra
en el centro del área de visión.

12 Para iniciar la formación de imágenes/el

análisis:
a Seleccione la pestaña Run.
b Seleccione los detectores preferidos.
c Haga clic en Run.

Las imágenes guardadas aparecerán como

miniaturas en la parte inferior del panel. Los
platillos de muestra y las regiones de interés
aparecerán resaltadas en rojo cuando estén
siendo sometidas a análisis y se verán en la
parte izquierda del panel.

104 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Obtención de una primera imagen

Cuando el análisis se haya completado, el

software mostrará un nuevo cuadro de
mensaje: Acquisition Completed.

Manual de instrucciones EVO® es03 105 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

6.5 Configuración de las condiciones SEM

6.5.1 Tome en consideración las propiedades de la muestra

Las muestras estudiadas en el SEM pueden dividirse en dos categorías principales, a saber:
conductoras y no conductoras, la cuales serán comentadas con mayor detalle más adelante.
No obstante, hay varios factores que deben tomarse en consideración durante la preparación de
cualquier muestra, y éstos se recogen a continuación.
1 Es posible que el tamaño y el peso requieran una reducción de la muestra para poder
ajustarse a los soportes y facilitar la manipulación de la propia muestra a efectos de
observación.
2 Las muestras minerales y metalúrgicas pueden requerir pulido. Es posible que también sean
necesarios procesos de abrasión o de electropulido.
3 La muestra debería tener la capacidad de resistir el vacío del SEM, puesto que podría
dañarse o deformarse.
4 La muestra debería estar limpia y seca si va a utilizarse en modo de alto vacío, es decir, libre
de polvo, humedad, aceites y grasa, ya que su presencia podría provocar cargas,
contaminación y tiempos de espera de bombeado más largos. De lo contrario, utilice el modo
de vacío VP o EP.
5 Las muestras porosas también necesitarán un tiempo prolongado para bombear en modo de
alto vacío.
Recubra los materiales no conductores para evitar su carga si estuviera permitido o si el
modo VP no estuviera disponible.
6 La observación de la muestra a un índice bajo de kV (inicio en 1 kV) es otra buena alternativa
mediante la que puede lograrse un “balance de carga”.
7 La muestra debería estar firmemente unida al platillo de muestra o al soporte, ya sea
de forma mecánica o mediante pegamento. La plata coloidal y el carbono coloidal pueden
utilizarse como pegamentos conductores para pequeñas muestras. Las pestañas/la cinta de
carbono también son convenientes, pero es posible que no ofrezcan una buena estabilidad
mecánica.
8 Debería haber una buena conexión eléctrica entre la superficie de la muestra y el platillo o el
soporte de la muestra para no conductores.
9 Deberían tenerse en cuenta los procedimientos de salud y seguridad relativos al manejo de
la muestra durante su preparación.

Por regla general, las muestras conductoras suelen observarse en lo que podría describirse
como un SEM tradicional; no obstante, las muestras no conductoras están observándose cada
vez con mayor frecuencia en un SEM especialmente modificado, denominado SEM de presión
variable (Variable Pressure SEM, VPSEM), en el que el gas puede introducirse en la cámara
de muestras. Los beneficios se traducen en que la muestra puede verse si la necesidad de
“recubrirla”, puesto que la carga negativa generada en la superficie de la muestra no conductora
a través de los electrones primarios de alta energía se neutraliza mediante los iones con carga
positiva que se generan cuando las moléculas de gas se ionizan mediante colisiones con
electrones secundarios, retrodispersados y primarios. También ralentiza la deshidratación de las
muestras húmedas, que desemboca en el colapso estructural. No obstante, ahora es posible
observar las muestras húmedas conjuntamente con la opción de refrigeración de la muestra y
de control del agua mediante el uso de los SEM con modos EP de bombeo de vacío.

106 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

[Link] Guía relativa a los parámetros operativos del SEM

Selección de Es necesario contar con una alineación óptima del haz para obtener imágenes de alta calidad.
aperturas Por tanto, es importante seleccionar la apertura media adecuada de la columna antes de
medias de la proceder a la formación de imágenes de la muestra.
columna y
alineación
del haz de
electrones
Formación de imágenes de muestras conductoras:
• En el caso de los sistemas EVO® en configuración de alto vacío (HV), utilice solo aperturas
medias de 20 µm o de 30 µm.

Formación de imágenes de muestras no conductoras:

• La apertura media de 750 µm de la columna se utiliza para formar imágenes en la
configuración de presión variable. Además, la apertura VP de 100 µm tiene que estar
colocada bajo la lente final.
• En la configuración EasyVP, la apertura EasyVP de 750 µm se coloca debajo de la lente final
y se utilizan las aperturas medias de 20 µm de la columna.
• No obstante, EasyVP es la configuración recomendada cuando se utilizan los sistemas de
la serie EVO®. EasyVP permite el uso de todos los modos Optibeam y cambiar entre
condiciones HV y VP, lo cual posibilita una presión máxima de la cámara de 133 Pa. Si fuera
necesaria una presión mayor en la cámara para la compensación de carga de la muestra no
conductora, tendrá que recurrirse al modo VP (permite una presión de cámara de 400 Pa
para sistemas W de EVO® y de 273 Pa para sistemas LaB6 de EVO®).

La apertura media de clic de la columna se utiliza para cambiar las aperturas medias de la
columna. Hay tres aperturas colocadas en la unidad (20 µm, 30 µm y 750 µm), y la posición de
cada apertura está fijada y etiquetada. Las aperturas pueden cambiarse fácilmente girando el
botón de ajuste manual.

Sugerencia de Las condiciones que se detallan a continuación son sugerencias, y es posible que el operador
configuración determine que otros valores diferentes le aportan una mejor información para los tipos de
muestras que estén investigándose.

MC∅ = apertura media de la columna

PLA = apertura limitadora de presión

Muestras Microscopía general

conductoras
• EHT =20 kV Iprobe = 200 pA WD = 8,5 mm
• Filamento configurado en “Long Life Mode” (“modo larga vida”; seleccione la opción en la
pestaña Gun)

Manual de instrucciones EVO® es03 107 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

• Filamento I configurado para 1.º pico de cara a aumentos < 10 kx (proporciona una mayor
vida útil al filamento)
• Filamento I configurado para 2.º pico de cara a aumentos > 10 kx (para una mejor resolución)
• Detector = SE con tensión previa del colector > + 300 V
• MC∅ = 30 µm
• Tiempo del ciclo para reducir el ruido = 20

EDS
• EHT = 20 kV para metales y minerales
• EHT = = 8 a 10 kV para semiconductores y materiales orgánicos
• Filamento I configurado para primer pico de cara al análisis cualitativo
• Filamento I configurado para segundo pico de cara al análisis cuantitativo
• Iprobe = 1000 pA o ajuste para el 30 % del tiempo muerto
• WD = 8,5 mm para un ángulo de 35º de elevación
• Detector = BSD
• Apertura final = 30 µm
• Tiempo de ciclo = 20 o más para mapeado de rayos X

Alta resolución
• EHT=30 kV Iprobe = 10 pA WD = 5 mm
• Filamento I configurado para 2.º pico y desmarcado del “Long Life Mode”
• MC∅ = 20 µm
• Detector = SE con tensión previa del colector + 400 V
• Tiempo del ciclo para reducir el ruido = 1,3 minutos o más
• Advertencia: retire el BSD y colóquelo en su posición de aparcamiento

Muestras no Modo de alto vacío

conductoras
• EHT =1 kV Iprobe = 10 pA WD = 5 mm
• Filamento I configurado en 2.º pico
• MC∅ = 20 µm
• Detector = SE con tensión previa del colector + 400 V
• Utilice velocidad de barrido 3 con ventanas hasta una media = 30 para reducir el ruido.

Modo de presión variable

• EHT =25 kV Iprobe = 250 pA WD = 8,5 mm
• Filamento I configurado en 2.º pico
• MC∅ = 20 µm
• PLA = apertura EasyVP de 100 µm
• Detector = BSD o VPSE
• Tiempo de ciclo = 20 segundos o más
• Presión de la cámara = 10 Pa para detector BSD detector, 40 Pa para detector VPSE o ajuste
para eliminar alteraciones de carga.

108 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

Modo de presión ampliada para muestras hidratadas y refrigeradas

• EHT =30 kV Iprobe = 300 pA WD = 8,5 mm
• Filamento I configurado en segundo pico
• MC∅ = 750 µm
• PLA = apertura EP superior de 100 µm
• Beam Sleeve® = 500 µm
• Detector = BSD o VPSE
• Tiempo de ciclo = 20 segundos o más
• Presión de la cámara = 650 Pa para ralentizar la deshidratación
• Temperatura de la muestra para retener agua a 650 Pa = 1 °C
(controlado por la platina refrigeradora Peltier)

Modo de presión ampliada para muestras hidratadas

• EHT =30 kV Iprobe = 300 pA WD = 5 mm
• Filamento I configurado en 2.º pico
• MC∅ = 750 µm
• PLA = 100 µm
• Beam Sleeve® = 500 µm
• Detector = BSD o EPSE
• Tiempo de ciclo = 20 segundos o más
• Presión de cámara = 2500 Pa a 3000 Pa para retener agua a temperatura ambiente
(20 °C a 30 °C)

6.5.2 Selección del modo operativo

EVO® puede funcionar en diferentes modos operativos Optibeam, dependiendo del tipo de
aplicación. Optibeam asume los requisitos para corriente de haz, distancia de trabajo, etc., y
determina la configuración óptima de la lente para lograr el mejor rendimiento de la columna.
Puede que algunos modos Optibeam no estén disponibles cuando la apertura fija esté colocada.
El modo ojo de pez requiere la licencia de SmartSEM® software opcional OJO DE PEZ.

Manual de instrucciones EVO® es03 109 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

1 Seleccione la pestaña Apertures en el panel

SEM Control.

2 Utilice la selección desplegable y las casillas de

control para seleccionar el modo operativo.
Estos modos son accesibles desde el modo HV
(cuando no hay apertura colocada) o cuando la
apertura EasyVP está colocada:

• Analysis mode:
La muestra permanece enfocada por si se
produce cualquier cambio en la corriente de
haz.
• Field mode:
Gran campo de visión de cara a la navegación
y gran profundidad de campo.
• Resolution mode:
El menor diámetro de haz para una corriente de
haz seleccionada a cualquier distancia de
trabajo o keV.
• Depth mode:
Mayor profundidad de campo para una
corriente de haz seleccionada a cualquier
distancia de trabajo o keV.
• Fisheye mode:
Amplísimo campo de visión de cara a la
navegación y una gran profundidad de campo.

110 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

6.5.3 Cambio del modo de presión

[Link] Cambio a modo HV

1 Seleccione la pestaña Vacuum.
2 Haga clic en Go To HV.

Después de seleccionar HV, el sistema bombeará

la cámara y abrirá la válvula turbo de aislamiento.
La presión de la cámara y la presión del sistema
alcanzarán el mismo valor y mostrarán la misma
cifra.

Manual de instrucciones EVO® es03 111 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

[Link] Cambio a la configuración de presión variable desde la configuración de

alto vacío
Cambio a 1 Ventile la cámara, retire el BSD instalado en
modo EasyVP
la lente (si estuviera instalado) y colóquelo en
posición de aparcamiento. Retire todos los
detectores retráctiles.

2 Ajuste la apertura EasyVP (pieza n.º 354820-9068-000).

3 Recoloque el detector BSD montado en la lente si estuviera instalado.
4 Seleccione la pestaña Apertures.
5 Seleccione Change Apertures y haga clic en EasyVP Aperture.
6 Bombee la cámara y ajuste la apertura media de la columna mediante la selección de la
apertura de 20 µm.
7 Seleccione la pestaña Vacuum.
8 Seleccione Go To VP.
9 Para seleccionar la presión de trabajo, haga clic en el regulador corredizo VP Target.
10 Para conocer sugerencias sobre parámetros de trabajo, consulte sección 6.5.1.

IMPORTANTE
Para algunos microscopios MA EVO®, la opción de seleccionar todas las posibles
variantes de apertura EP y VP no es una opción. Cuando se da este caso, al seleccionar
la pestaña Change Apertures no se abrirá la totalidad de la página de selección de
aperturas, sino que cambiará entre No Aperture, Easy VP y VP Aperture Without Beam
Sleeve®.

IMPORTANTE
Cuando se utiliza el EVO® en modo EasyVP, es fundamental alinear el haz a través de la
apertura media de 20 µm de la columna. La resolución vendrá determinada por dicha
apertura media de 20 µm de la columna.

112 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

Cambio a 1 Ventile la cámara, retire el BSD instalado en

modo VP
la lente (si estuviera instalado) y colóquelo en
posición de aparcamiento. Retire todos los
detectores retráctiles.

2 Ajuste la apertura VP (pieza n.º 35070-0070-0000).

3 Recoloque el detector BSD montado en la lente si estuviera instalado.
4 Seleccione la pestaña Apertures.
5 Seleccione Change Apertures y haga clic en VP Aperture.
6 Bombee la cámara y ajuste la apertura media de la columna mediante la selección de la
apertura de 750 µm.
7 Seleccione la pestaña Vacuum.
8 Seleccione Go To VP.
9 Para seleccionar la presión de trabajo, haga clic en el regulador corredizo VP Target.
10 Para conocer sugerencias sobre parámetros de trabajo, consulte sección 6.5.1.

IMPORTANTE
Para algunos microscopios MA EVO®, la opción de seleccionar todas las posibles
variantes de apertura EP y VP no es una opción. Cuando se da este caso, al seleccionar
la pestaña Change Apertures no se abrirá la totalidad de la página de selección de
aperturas, sino que cambiará entre No Aperture, Easy VP y VP Aperture.

IMPORTANTE
Cuando se utiliza el EVO® en modo VP, es fundamental alinear el haz a través de la
apertura media de 750 µm de la columna. La resolución viene determinada por la apertura
VP de 100 µm (limitadora de presión).

Manual de instrucciones EVO® es03 113 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

[Link] Cambio a modo de presión ampliada

1 Ventile la cámara, retire el BSD instalado en
la lente (si estuviera instalado) y colóquelo en
posición de aparcamiento. Retire todos los
detectores retráctiles.

2 Ajuste las aperturas EP y los BeamSleeves®

según proceda.

3 Recoloque el detector BSD montado en la lente si estuviera instalado.

4 Seleccione la pestaña Apertures.
5 Seleccione Change Apertures y haga clic en Aperture type fitted.
6 Cierre la ventana Select Aperture.
7 Bombee la cámara y ajuste la apertura media de la columna mediante la selección de la
apertura de 750 µm.
8 Seleccione la pestaña Vacuum.
9 Seleccione Go To EP.
10 Haga clic en la barra de desplazamiento EP Target para seleccionar la presión de trabajo.

114 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

[Link] Alineación de EasyVP

La fase de alineación es necesaria para alinear correctamente el haz a través de la apertura
media de 20 µm de la columna
.
1 Seleccione Tools/User Preferences.

2 Asegúrese de que Auto Calibration y

User Align estén configurados en “Yes”.

3 Después de ajustar manualmente la apertura

EasyVP, seleccione la pestaña Apertures y
haga clic en Select Aperture.
4 Marque el campo de opciones EasyVP
Aperture.

Manual de instrucciones EVO® es03 115 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

5 Seleccione la pestaña Gun y establezca el

objetivo de EHT en 20 kV.

6 Seleccione OptiBeam Resolution del

menú desplegable.

7 Seleccione la pestaña Gun y configure

IProbe en 100 pA.

8 Haga doble clic en WD, en la zona de datos,

y establezca la distancia de trabajo en
8,5 mm.
Si la zona de datos no fuera visible:
a Seleccione View/Data Zone/Show Data
Zone.

116 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

9 Seleccione la apertura media de clic de la

columna de 20 micras.

10 Seleccione la pestaña Detectors y

seleccione SE1 de la lista de elección Signal.

11 Seleccione la pestaña Scanning y la opción

Normal de la lista de elección Operating
Mode.

12 Seleccione la pestaña Apertures y la

apertura de 20,00 µm de la lista de elección
Aperture Size.

13 Pulse <Shift+F2> para llevar a cabo una

supresión de la histéresis de las
lentes C1/C2/C3.
14 En la barra de menú, seleccione Beam/Gun
Align... y haga clic en Emission.
15 Establezca Emission Zoom en 35.

Manual de instrucciones EVO® es03 117 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

16 Haga clic en Aperture Align y en 0 para que

la alineación de la apertura tenga valor cero.

17 Asegúrese de que el filamento esté saturado

y configure el brillo y el contraste en el 50%.

18 Ajuste el contraste para que la región exterior de la imagen de emisión sea visible en torno
a la parte central más clara de la imagen de emisión. Debería tener el aspecto de un huevo
frito o escalfado.

Contraste demasiado bajo Contraste demasiado alto Resultado final

19 Ajuste el brillo y el zoom de la emisión para

mejorar la visibilidad.

20 Ajuste la imagen de emisión con el desplazamiento y la inclinación del cañón, de tal forma
que el centro brillante quede centrado dentro de la imagen de emisión y que dicha imagen
de emisión esté centrada en la pantalla.

118 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

Se recomienda utilizar las teclas de flecha en lugar de los reguladores corredizos para un
ajuste más sencillo.

Antes de la alineación Después de la alineación

21 Seleccione la pestaña Scanning y la opción

Normal de la lista de elección Operating
Mode.

22 Enfoque una característica de la muestra y mantenga la WD en 8,5 mm.

23 Seleccione una velocidad de barrido rápida, por ejemplo, 1.
24 En la pestaña Apertures, active la función del
enfoque Wobbel y utilice los tornillos de ajuste
fino situados en la apertura media de la
columna para alinear el haz.
25 Para llevar a cabo una corrección de la
histéresis, pulse <Shift + F2>.
26 Si fuera necesario, repita los pasos 20 a 25
para realinear el haz de forma precisa.
27 Para completar la alineación, siga con los pasos descritos en sección 6.4.6.

IMPORTANTE
De ahora en adelante, no toque ni mueva los tornillos de ajuste fino situados en la unidad
de apertura media de la columna.

Manual de instrucciones EVO® es03 119 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

[Link] Cambio de modo EasyVP a modo de presión variable (VP)

1 Ventile el sistema
2 Si estuviera instalado, retire el detector BSD montado en la lente y retire todos los detectores
retráctiles.
3 Retire la apertura EasyVP de 750 µm.
4 Inserte la apertura VP de 100 µm.
5 Recoloque el detector BSD montado en la lente.
6 Cambie la configuración de la apertura en SmartSEM® tal y como se describe en
sección [Link].
7 Bombee la cámara de muestras.

[Link] Cambio de modo EasyVP a modo de presión ampliada (EP)

1 Ventile el sistema
2 Si estuviera instalado, retire el detector BSD montado en la lente y retire todos los detectores
retráctiles.
3 Retire la apertura EasyVP de 750 µm.
4 Inserte las aperturas EP
5 Recoloque el detector BSD montado en la lente.
6 Cambie la configuración de la apertura en SmartSEM® tal y como se describe en
sección [Link].
7 Bombee la cámara de muestras

120 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

[Link] Cambio de modo VP / modo EP a modo EasyVP

1 Ventile el sistema
2 Si estuviera instalado, retire el detector BSD montado en la lente y retire todos los detectores
retráctiles.
3 Si estuvieran presentes, retire las aperturas VP o EP.
4 Ajuste la apertura EasyVP de 750 µm.
5 Recoloque el detector BSD montado en la lente.
6 Cambie la configuración de la apertura en SmartSEM.
7 Bombee la cámara de muestras.
8 Active el haz.
9 Siga las instrucciones recogidas en sección [Link].

[Link] Medición de la corriente de muestra (control de la corriente de haz)

La corriente de la muestra es la corriente que fluye a través de ésta. Corresponde al número total
de electrones que impactan sobre la muestra. La corriente de la muestra puede detectarse
mediante una jaula Faraday. Consta de un material altamente absorbente con una cavidad
cubierta por una apertura. Ni los electrones secundarios ni los retrodispersados pueden escapar
de la jaula Faraday, por lo que la corriente mostrada es la misma que la del haz incidente.

Procedimiento:
1 Introduzca la jaula Faraday en la cámara de
muestras.
2 Bombee la cámara de muestras.
3 Active el haz de electrones.
4 Establezca un aumento que permita la
transmisión del haz de electrones completo a la
cavidad a través del orificio de apertura.
5 Abra la barra Panel Configuration.

Manual de instrucciones EVO® es03 121 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

6 Haga doble clic en Specimen Current Monitor.

7 Marque la casilla de control Spot.
8 Active la casilla de control SCM On.

La corriente de la muestra se mide permanentemente. El valor medido se muestra en el campo

Specimen I =.

122 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

6.5.4 Configuración de los parámetros de detección

[Link] Selección de un detector

1 Seleccione la pestaña Detectors.
2 Seleccione el detector de menú desplegable
Detectors.

Manual de instrucciones EVO® es03 123 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

[Link] Utilización del detector SE

1 Seleccione el detector SE.
2 Si fuera necesario, configure la tensión previa
del colector desplazando el regulador
corredizo Collector Bias. El valor por defecto
es de 300 V.

[Link] Utilización del detector BSD (opcional)

1 Compruebe que el BSD montado en la lente esté instalado. Si se encuentra en posición de
aparcamiento:
a Retire el detector BSD de su posición de
aparcamiento.
b Coloque el BSD en posición de trabajo.

2 Cierre cuidadosamente la puerta de la cámara.

3 Bombee la cámara de muestras.
4 En la pestaña Detectors, seleccione BSD de la lista de elección.
5 Abra la barra Panel Configuration.
6 Haga doble clic en BSD Control.

El panel BSD Control le permitirá cambiar la polaridad de los segmentos, seleccionar los modos
del BSD y establecer la ganancia del propio BSD.

124 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

7 Establezca el modo de los cuadrantes: BSD de 4 segmentos

a Haga clic en el símbolo de un cuadrante
para cambiar su estado: normal (+),
inverted (-) o disabled.
b Para seleccionar el modo contraste de
materiales, haga clic en BSD: COMPO.
c Para seleccionar el modo contraste
topográfico, haga clic en BSD: TOPO.

8 Seleccione BSD Gain del menú desplegable.

Low, Medium, High, Very High.

BSD de 5 segmentos

Manual de instrucciones EVO® es03 125 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

Formación de La aplicación de tensión previa a la platina (desaceleración del haz) es un método empleado para
imágenes BSD desacelerar la energía de aterrizaje del haz de electrones mediante la aplicación de un potencial
mediante negativo en una muestra. Una menor energía de aterrizaje de los electrones primarios ofrece la
aplicación de posibilidad de obtener un mayor detalle de la superficie de la muestra, especialmente con
tensión previa aumentos bajos. También pueden obtenerse mejores resoluciones de las imágenes con
a la platina
aumentos altos.

La desaceleración suele utilizarse a la hora de formar imágenes de muestras con detectores

BSE. La funcionalidad de aplicar una tensión previa a la platina solo puede utilizarse en el modo
de alto vacío, dentro del rango de entre y -5 kV. La eficacia de la aplicación de dicha tensión
previa sobre la platina y de la desaceleración del haz dependerá exclusivamente del tipo de
muestra. Si se utiliza una muestra metálica, es posible lograr mejoras en la formación de
imágenes de manera sencilla y, de esta forma, se revelarán más detalles de la superficie.

La energía de aterrizaje es la diferencia entre la energía de los electrones primarios del haz y la
tensión previa aplicada a la platina. Si la tensión EHT se estableciera en 5 kV y se aplicara una
tensión previa sobre la platina de -4 kV, la energía de aterrizaje sería de 1 kV.

La opción de desaceleración del haz también puede utilizarse para aplicar tensiones bajas sobre
muestras en el rango de entre +20 V y -20 V. El detector SE suele utilizarse en combinación con
tensiones previas bajas sobre la muestra. Aunque los efectos de esta tensión previa baja sobre
la muestra son sutiles, es fácil observar una mejora en el contraste de la imagen. La tensión
previa baja sobre la muestra puede aplicarse en condiciones HV y VP.

El kit de desaceleración del haz se monta a través de una placa en la puerta de la platina. A la
hora de formar imágenes de una muestra con la funcionalidad de tensión previa sobre la platina,
suele utilizarse un portamuestras especialmente diseñado de 9 platillos de muestra. Esto tiene
por objeto aislar el portamuestras, es decir, la tensión previa solo se aplica sobre la muestra.

1 2 3

El kit de desaceleración del haz se monta en la puerta de la platina (1)

El portamuestras tipo carrusel de 9 platillos utilizado para la tensión previa de la platina (1,2)

126 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

Las imágenes HDBSD que aparecen más abajo muestran el efecto de aplicar una tensión
previa sobre una muestra de rotura de aluminio. Las imágenes se toman a una tensión de
aceleración de 5 kV, en HV y a una distancia de trabajo de 8,5 mm.
1 2

Fig. 6.1: Imagen de superficie de rotura de aluminio con una tensión previa de 0 V (1).
Imagen de superficie de rotura de aluminio con una tensión previa de - 4400 V (2).

Cuando la tensión previa de la platina es de 0 voltios, la energía de aterrizaje del haz de

electrones es de 5 kV; por otro lado, dicha energía de aterrizaje de los electrones se
desacelera hasta los 600 V cuando se aplica una tensión previa de - 4400 V sobre la platina.
A medida que se reduce la energía de aterrizaje del haz de electrones, se revela más
información morfológica.

IMPORTANTE
Si la casilla de control del carrusel de desaceleración del haz está activada, la opción de
baja tensión previa en la platina no estará disponible, pero sí la de desaceleración del haz.
A pesar de compartir la misma electrónica, la baja tensión y la alta tensión se excluyen
mutuamente.

La baja tensión requiere que el carrusel de desaceleración del haz sea retirado (el carrusel
es un portamuestras especial diseñado para resistir la alta tensión y también mejorar la
formación de imágenes).

La alta tensión necesita que el carrusel de desaceleración del haz esté colocado. El
usuario comunica este extremo al sistema a través de la casilla de control. Esta casilla se
utiliza para la aplicación de normas.

Manual de instrucciones EVO® es03 127 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

Utilización de Condiciones previas:

la desacelera-
ción del haz
• La platina se ha inicializado antes de colocar el carrusel de desaceleración del haz
• El modo HV está activo
• El carrusel de desaceleración del haz está colocado
Procedimiento:
1 En la barra Panel Configuration, seleccione
Stage Navigation.

Se abrirá el cuadro de diálogo Stage

Navigation.

2 En la lista de elección Sample Holder,

seleccione Carousel 9x9mm.
3 Asegúrese de que la casilla de control Safe
Navigation esté activada.

4 En la barra Panel Configuration, seleccione Variable Stage Bias.

Se abrirá el cuadro de diálogo Variable Stage

Bias.

5 Active la casilla de control Beam deceleration carousel.

128 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

6 Active la casilla de control Beam

deceleration. Esto permitirá llevar a cabo
ajustes mediante el regulador corredizo
Beam deceleration volts, además de
habilitar la funcionalidad de tensión previa de
la platina siempre que se cumplan todas las
condiciones.
Los mensajes "Stage bias HV is ON" y
"Warning: Touch alarm not enabled"
aparecerán.
7 Ajuste la tensión con el regulador corredizo
hasta que esté satisfecho con el resultado.

Utilización de
la tensión
previa baja
de la platina
IMPORTANTE
La aplicación de tensión previa baja puede funcionar con cualquier carrusel conductor
estándar que esté montado sobre la cola de milano; sin embargo, no funcionará con
portamuestras instalados en las lentes ni con otras estructuras que no se encuentren en
la cola de milano.

Condiciones previas:
• La platina se ha inicializado
• El modo HV está activo
• El portamuestras conductor estándar montado sobre la cola de milano está colocado

Procedimiento:
1 En la barra Panel Configuration, seleccione Stage Navigation.

Se abrirá el cuadro de diálogo Stage Navigation.

2 En la lista de elección Sample Holder,

seleccione el portamuestras instalado.
3 Asegúrese de que la casilla de control Safe Navigation esté activada.
4 En la barra Panel Configuration, seleccione Variable Stage Bias.

Manual de instrucciones EVO® es03 129 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

Se abrirá el cuadro de diálogo Variable Stage

Bias.

5 Active la casilla de control Beam deceleration carousel.

Esto habilitará la funcionalidad de tensión previa sobre la platina en la medida en que se
cumplan todas las condiciones.
6 Active la casilla de control Stage bias low voltage. Esto permitirá llevar a cabo ajustes
mediante el regulador corredizo Stage bias Low Volts.

ATENCIÓN
Riesgo de colisión de la platina
Si selecciona una tensión de entre -5 V y +5 V, aparecerá una advertencia que dirá que la
alarma de contacto está deshabilitada. En este rango de tensión, la alarma de contacto no
es fiable y existe el riesgo de que no se detecte el peligro de colisión con la platina.
Desplace siempre la tensión previa a un valor mayor antes de mover la platina.

7 Ajuste la tensión con el regulador corredizo

hasta que esté satisfecho con el resultado.

130 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

[Link] Otros detectores opcionales

Hay otros varios detectores opcionales. Pueden ser utilizados tal y como sigue:
• VPSE: Cambio a Modo de Presión Variable tal y como se describe en sección [Link].
• EPSE: Cambio a Modo de Presión Ampliada tal y como se describe en sección [Link].
• CL: Seleccione el detector en modo de Alto Vacío tal y como se describe en sección [Link].
• STEM: Seleccione el modo de Alto Vacío o el de Presión Variable tal y como se describe en
sección [Link] o en sección [Link].

Manual de instrucciones EVO® es03 131 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

6.5.5 Imágenes de muestras húmedas con la platina refrigeradora Peltier

Para las imágenes de muestras hidratadas es necesaria una platina refrigeradora Peltier y un
sistema EVO de Presión Ampliada (EP). Esto permitirá el estudio de muestras hidratadas en su
estado natural, con una pérdida exigua o inexistente de agua en el SEM (la muestra se mantiene
plenamente hidratada durante el bombeo de vacío).

[Link] Ajuste de la mesa refrigeradora Peltier

1 Si fuera necesario, retire todos los detectores
retráctiles. Ventile la cámara. Retire el BSD
instalado en la lente (si estuviera instalado) y
colóquelo en posición de aparcamiento.

2 Desatornille la apertura actualmente colocada

si ésta lo estuviera.

3 Seleccione la apertura EP superior de 100 µm

y la apertura inferior/BeamSleeve® de
500 µm.

132 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

4 Mediante la herramienta roja de inserción de

la apertura, inserte la apertura superior de
100 µm en la lente final. Ésta deberá
apretarse únicamente de forma manual.

5 Mediante la herramienta negra de inserción

de de la apertura, inserte la apertura inferior
de 500 µm. Ésta deberá apretarse
únicamente de forma manual. El o-ring puede
presentar una leve resistencia, lo cual es
normal.

Manual de instrucciones EVO® es03 133 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

6 Seleccione la pestaña Apertures y haga clic

en Select Aperture.

7 Seleccione EP Aperture; de esta forma, el

panel se ampliará.

8 Seleccione la Beam Sleeve® de 500 µm.

134 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

9 Retire de la puerta de la mesa la placa ciega

redonda de la parte derecha mediante una
llave Allen SW 3.

Manual de instrucciones EVO® es03 135 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

10 Separe la mesa refrigeradora Peltier de su

placa de soporte deshaciendo los nudos del
cable.

11 Pase el soporte de la mesa refrigeradora

Peltier a través del agujero de la puerta de la
mesa y apóyelo cuidadosamente sobre la
propia mesa mediante su tubería.

12 Una el cabezal Peltier a la mesa mediante la

cola de milano utilizada para el resto de tipos
de portamuestras.

136 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

13 Para asegurarse de que el cable Peltier no

esté demasiado curvado, retorcido o tirante,
será necesario ajustar la mesa en una
posición adecuada mediante el uso del
sistema de rotación de ésta.

14 Una el soporte de la mesa refrigeradora

Peltier a la mesa del SEM utilizando una llave
Allen SW 2.5.

15 Fije la tapa Peltier a la puerta de la mesa

mediante una llave Allen SW 3.

Manual de instrucciones EVO® es03 137 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

16 Coloque el platillo de muestra plano sobre el

portamuestras de la mesa refrigeradora
Peltier utilizando la herramienta de dicho
platillo.
Asegúrese de que el platillo de muestra esté
colocado en horizontal (que no esté inclinado)
para lograr un buen contacto con la superficie
refrigeradora. Mantener una temperatura de
refrigeración constante en el platillo es
fundamental para la formación de imágenes
en formato húmedo de las muestras
hidratadas.

17 Apriete cuidadosamente el tornillo tensor

mediante una llave Allen SW 1.5.

18 Si fuera necesario, vuelva a colocar el BSD.

19 Cierre cuidadosamente la puerta de la
cámara sin atrapar la tubería de la mesa
refrigeradora Peltier.

138 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

20 Active la alimentación eléctrica de la mesa

refrigeradora Peltier.

21 Seleccione la pestaña Gun Vacuum.

22 Haga clic en Pump.
23 Espere hasta que se indiquen Vac Status =
Ready y EHT Vac ready = Yes.
Esto puede demorarse algún tiempo.

24 Seleccione Stage/Navigation de la barra de

menús.

Manual de instrucciones EVO® es03 139 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

25 Seleccione CoolStage MK3 del menú

desplegable.

Si no estuviera en la lista:
a Seleccione Settings/Show Gallery.
b Seleccione CoolStage MK3 del
catálogo.

140 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

c Marque la casilla de control Is Available.

ATENCIÓN
Riesgo de dañar la canalización de la mesa Peltier al utilizar la rotación de la mesa.
Mueva la mesa únicamente en los ejes X e Y.

26 Seleccione Tools/Administrator e inicie sesión con su nombre de usuario y su contraseña.

27 Seleccione Other y marque la casilla de control Peltier Fitted.

28 Seleccione la conexión USB y marque la casilla de control Humidity Option.

Manual de instrucciones EVO® es03 141 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

29 Seleccione la pestaña Vacuum y seleccione

Go to EP.
30 Fije el objetivo de EP en 10 Pa.

142 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

[Link] Vaciado de la cámara

1 En la barra Panel Configuration, seleccione
Extended Pressure.

La ventana Extended Pressure se abrirá.

2 Marque la casilla de control Peltier
3 Haga clic en Purge Settings....
Compruebe que EP Gas = Air esté
seleccionado.

El objetivo del vaciado es extraer el aire de la botella de agua y llenar la cámara únicamente
con vapor de agua.

Manual de instrucciones EVO® es03 143 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

Cómo • En el caso de que el kit de agua se hubiera colocado recientemente, se hubiera llenado de
continuar agua o no se hubiera utilizado durante un tiempo, continúe según el procedimiento 1.
• Si el sistema hubiera sido utilizado en el modo húmedo, continúe con el procedimiento 2.

Procedimien- 1 Establezca Purge cycles en 10.

to 1
2 Configure Purge Max en 1000 Pa.
3 Configure Purge Min en 10 Pa.
4 Haga clic en EP Gas = Air.
Este proceso cambiará el estado de vacío a
EP Gas = Water Vapour.
5 Haga clic en Manual Purge H2O para
comenzar el vaciado.

La presión de la cámara variará entre los niveles

máximo y mínimo previamente establecidos.
Es posible que en la botella de agua se vean
burbujas. Finalmente, todo el aire es extraído de
la botella de agua. Este proceso tardará un
tiempo en completarse.

La evolución se muestra en la barra de inicio.

Continuar con la obtención de una imagen en modo EP

(consulte sección [Link]).

144 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

Procedimien- 1 Establezca Purge cycles en 7.

to 2
2 Configure Purge Max en 1000 Pa.
3 Configure Purge Min en 10 Pa.
4 Haga clic en EP Gas = Air.
Este proceso cambiará el estado de vacío a
EP Gas = Water Vapour.
5 Haga clic en Manual Purge H2O para
comenzar el vaciado.

La presión de la cámara variará entre los niveles

máximo y mínimo previamente establecidos.
Es posible que en la botella de agua se vean
burbujas. Finalmente, todo el aire es extraído de
la botella de agua. Este proceso tardará un
tiempo en completarse.

La evolución se muestra en la barra de inicio.

Continuar con la obtención de una imagen en modo EP

(consulte sección [Link]).

Manual de instrucciones EVO® es03 145 de 246

6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

[Link] Obtención de una imagen en modo EP

1 En la ventana Extended Pressure, configure
el Peltier Target en 1 °C y ajuste según
proceda el Humidity Target.
2 El ajuste de la posición de la cruz verde sobre
el diagrama de fase cambiará el entorno de la
muestra: vapor de agua, agua o hielo.

3 Active el haz y comience a formar imágenes.

4 Utilice el área de la cámara (Chamberscope) y la navegación de la mesa para colocar la
muestra bajo el haz.

[Link] Configuración de los parámetros del SEM para la formación de imágenes

de la muestra en modo húmedo
Los parámetros operativos del SEM dependen del tipo de muestra que se esté examinando y de
la naturaleza del detalle que espere ver.
Se recomienda empezar con:
• EHT = 20 kV
• I Probe = 400 pA o superior
• WD = 6,0 mm
• Detector = BSD o EPSE

1 Cree la imagen de una característica distinguible bajo el haz.

2 Incremente la presión a 550 Pa manteniendo la temperatura constante a 1 ºC.
Incremente la presión en tramos de 20 Pa y revise la imagen.

Las gotas de agua empiezan a aparecer en torno a los 600 Pa.

3 Una vez que las gotas de agua sean claramente visibles en el platillo de muestra, tome nota
de la presión.
El índice de condensación de agua de la cámara en el platillo de muestra y la evaporación de
las gotas de éste hacia la cámara debería encontrarse en un punto de equilibrio.

146 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Configuración de las condiciones SEM

4 Introduzca el valor de presión obtenido en el paso previo como Purge Min en la ventana
Purge Control.
5 Seleccione una presión en torno a 100 Pa superior con respecto al valor Purge Min e
introdúzcala como valor Purge Max. Ahora, el valor Purge Cycle puede cambiarse a 3.
6 Ventile la cámara sin cambiar ninguno de los parámetros.
7 Retire el platillo de muestra plano y seque el área situada bajo el propio platillo de muestra
en la mesa refrigeradora Peltier.
Monte cuidadosamente la muestra sobre un nuevo platillo y, a continuación, coloque y
asegure dicho platillo sobre la mesa refrigeradora Peltier.
8 Utilice una pipeta para verter algunas gotas de agua destilada en el soporte de la platina
refrigeradora Peltier.

IMPORTANTE
No vierta ninguna gota de agua sobre el platillo de muestra ni directamente sobre la
muestra, puesto que dichas gotas pueden cubrir la superficie de la muestra en cuestión e
impedir ver las áreas de interés.

9 Desplace la mesa refrigeradora Peltier ligeramente hacia la derecha o hacia la izquierda de

la cámara antes de cerrar la puerta de ésta. Esto evitará que las gotas salpiquen el EPSE, el
BSD o el área de la lente final durante el proceso de bombeo de vacío.
10 Cierre la puerta de la cámara y efectúe un bombeo de vacío sobre el sistema.
11 Active el cañón y desplace la muestra bajo el haz mediante el ChamberScope y/o la
navegación de imagen.
12 Inicie la formación de imágenes en modo húmedo; si fuera necesario, incremente la presión,
pero en intervalos muy pequeños. Si fuera necesario, ajuste los valores del nivel de humedad
hasta que ésta sea del 100%. No obstante, este último proceso cambiaría tanto la
temperatura del sistema Peltier como la presión de la cámara.
13 El incremento de la presión en grandes intervalos desemboca en una acumulación de agua
sobre la muestra e impide la formación de imágenes.

Listo para experimentar con sus parámetros:

• Un incremento del EHT aumenta la fuerza de la señal, pero puede dañar la muestra
• Una reducción del tamaño del punto ofrece una mayor resolución, pero significa la pérdida
de la señal.
• Una WD reducida aumenta la fuerza de la señal; no obstante, es posible que se necesite el
montaje de las imágenes de la muestra, puesto que el campo visual será más pequeño con
una WD menor.

Manual de instrucciones EVO® es03 147 de 246

6. Manejo
Utilización de las funciones de ayuda

6.6 Utilización de las funciones de ayuda

La interfaz de usuario SmartSEM® ofrece múltiples textos de ayuda que contienen información
sobre el manejo del SEM, la optimización de las imágenes y el tratamiento de las opciones de
tipo accesorio.

6.6.1 Solicitar la ayuda del SmartSEM®

1 Pulse <F1>.
Como alternativa, puede seleccionar la ayuda Help/SmartSEM en el menú.

La ventana de ayuda del SmartSEM® se abrirá.

Si hay menús abiertos en la interfaz de usuario SmartSEM®, al pulsar <F1> se abrirá el texto de
ayuda correspondiente al menú en cuestión. Esto permite explicar el menú mientras se maneja
el SEM.

[Link] Impresión de textos de ayuda

1 Haga clic en el símbolo de la impresora de la ventana de ayuda.

Si hay una impresora instalada, el texto se imprimirá.

[Link] Colocar textos de ayuda en primer plano

1 Seleccione Help/Help Always On Top en el menú.

Los textos de ayuda mostrados permanecerán en primer plano.

148 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Utilización de las funciones de ayuda

6.6.2 Solicitud de la ayuda sensitiva de contexto

1 Pulse <SHIFT+F1>.
Como alternativa, puede seleccionar
Help/What’s This en el menú.

El cursor del ratón está dotado de un símbolo de

interrogación.
2 Desplace el cursor hasta el área de interés en
la pantalla.
3 Haga clic con el botón izquierdo del ratón

Aparecerá el texto de ayuda.

4 Para deshabilitar la ayuda sensitiva de
contexto, pulse <ESC>.

6.6.3 Búsqueda de un tema

1 Seleccione Help/Search en el menú.

2 Haga clic en la pestaña Search.
3 Busque el tema deseado.

Manual de instrucciones EVO® es03 149 de 246

6. Manejo
Utilización de las funciones de ayuda

6.6.4 Utilización de las instrucciones paso a paso

Las instrucciones paso a paso ofrecen información rápida sobre importantes secuencias de
funcionamiento.

[Link] Primeros pasos

1 Seleccione Help/Getting started en el menú.
2 Haga clic en el tema de interés.

[Link] Secuencias de funcionamiento empleadas con frecuencia

1 Seleccione Help/How To en el menú.
2 Haga clic en el tema de interés.

150 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Utilización de las funciones de ayuda

6.6.5 Solicitar la ayuda de las combinaciones de teclas

Muchas funciones y menús que se emplean con frecuencia en la interfaz de usuario SmartSEM®
también pueden abrirse con el teclado. Una lista de combinaciones de teclas (accesos directos)
puede mostrarse en la ayuda del SmartSEM®.
1 Pulse <F9>.
Como alternativa, puede seleccionar Help/Keys help en el menú.

Manual de instrucciones EVO® es03 151 de 246

6. Manejo
Utilización de las funciones de ayuda

6.6.6 Mostrar información acerca del SmartSEM®

[Link] Historial de la versión

Las indicaciones de la versión resumen la información importante de la historia de la versión del
software. Se explican nuevas funciones, eliminaciones de fallos en el software y características
especiales de las diferentes versiones.
1 Seleccione Help/Release Notes en el menú.

[Link] Acerca de SmartSEM®

1 Seleccione Help/About SmartSEM en el
menú.

152 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Finalizar la sesión de trabajo

6.7 Finalizar la sesión de trabajo

Para finalizar su sesión de trabajo, apague el EHT:

a Haga clic en el botón All: en la barra de
inicio.
b Seleccione EHT Off en el menú
emergente.

6.7.1 Emisor de tungsteno

Se recomienda que, cuando se utilice un filamento de tungsteno, se apague el cañón en el caso

de que el sistema no vaya a utilizarse durante un período de tiempo considerable.

6.7.2 Emisor LaB6

Se recomienda que, cuando se utilice un filamento LaB6, el cañón no se desconecte durante el

período de vida útil de éste. Para lograr la vida útil más prolongada posible de un emisor LaB6,
el EHT deberá desconectarse cuando no se utilice y, durante períodos prolongados de tiempo,
el cañón deberá estar en modo STANDBY.
El período de vida útil de servicio puede ampliarse aún más mediante Long Fil Life, situado en
la pestaña Gun del panel SEM Controls. Esto reducirá la corriente del filamento a condiciones
de “primer pico”, lo cual desembocará en unas condiciones operativas satisfactorias para la
microscopía general.
Si se necesita un rendimiento óptimo, la casilla de
control Long Fil. Life debería desmarcarse.

Manual de instrucciones EVO® es03 153 de 246

6. Manejo
Cierre de la interfaz de usuario SmartSEM®

6.8 Cierre de la interfaz de usuario SmartSEM®

6.8.1 Salir del sistema

1 Seleccione File/Log Off en el menú.

Aparecerá una ventana en la que se le solicitará

confirmar que desea cerrar la sesión.

2 Confirme haciendo clic en el botón Yes.

Los parámetros óptico-electrónicos se registran

en una macro, dentro del directorio del usuario
individual.

El servidor EM permanece activo.

6.8.2 Salir

1 Seleccione File/Exit en el menú.

Aparecerá una ventana en la que se le solicitará

confirmar que desea cerrar la sesión.
2 Confirme haciendo clic en el botón Yes.

Los parámetros óptico-electrónicos se registran

en una macro, dentro del directorio del usuario
individual.

154 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Apagado del SEM como algo rutinario

6.9 Apagado del SEM como algo rutinario

6.9.1 Cambio a modo STANDBY

Cambie a modo STANDBY cuando el SEM no esté siendo manejado, incluso durante períodos
más prolongados.
El filamento seguirá calentándose y se mantendrá el vacío en la columna óptico-electrónica y en
la cámara de muestras.

STANDBY también es el modo recomendado para almacenar el SEM.

En este caso, marque la casilla de control Partial Vent on Standby en la pestaña Vacuum del
panel SEM Controls. Esto puede ayudar a evitar que los vapores del aceite penetren en la
cámara de muestras durante el período de almacenamiento.

1 Desactivar el EHT.
2 Cierre el SmartSEM®:
a Seleccione File/Exit en el menú.

La ventana Close UIF del SmartSEM® aparecerá,

y en esta ventana se le solicitará confirmar que
desea cerrar la sesión.
b Confirme haciendo clic en el botón Yes.

Los parámetros óptico-electrónicos se registran

en una macro, dentro del directorio del usuario
individual.
3 Apague el PC.

4 Pulse el botón STANDBY.

El botón amarillo STANDBY se iluminará.

Manual de instrucciones EVO® es03 155 de 246

6. Manejo
Apagado del SEM como algo rutinario

6.9.2 Cambio a modo OFF

1 Desactivar el EHT.
2 Desactive el cañón.
3 Cierre el SmartSEM®:
a Seleccione File/Exit en el menú.

Aparecerá una ventana en la que se le solicitará

confirmar que desea cerrar la sesión.
b Confirme haciendo clic en el botón Yes.

Los parámetros óptico-electrónicos se registran

en una macro, dentro del directorio del usuario
individual.

4 Apague el PC.

5 Pulse el botón OFF.

El botón rojo OFF se iluminará.

El ordenador, los componentes electrónicos y el

sistema de vacío se apagarán. La columna
óptico-electrónica está parcialmente ventilada.
Seguirá habiendo un voltaje auxiliar de 24 V para
reiniciar el SEM.

156 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 6. Manejo
Desconexión en una emergencia

6.10 Desconexión en una emergencia

1 Presione los disyuntores en la parte trasera

del chasis.

6.10.1 Reactivación tras una desconexión de emergencia

IMPORTANTE
Antes de conectar el SEM, asegúrese de que el motivo por el que tuvo que realizarse la
desconexión de emergencia ya no existe y que conectar dicho SEM es seguro.

1 Libere los disyuntores de la parte trasera del

pie.

Manual de instrucciones EVO® es03 157 de 246

6. Manejo
Desconexión completa del SEM

6.11 Desconexión completa del SEM

Este procedimiento aísla completamente al SEM del suministro eléctrico principal.

1 Desactivar el EHT.
2 Desactive el cañón.
3 Cierre del SmartSEM®
a Seleccione File/Exit en el menú.

La ventana Close UIF deSmartSEM® aparecerá,

y en esta ventana se le solicitará confirmar que
desea cerrar la sesión.
b Confirme haciendo clic en el botón Yes.

Los parámetros óptico-electrónicos se registran

en una macro, dentro del directorio del usuario
individual.

4 Apagar el ordenador.
5 Pulse el botón STANDBY amarillo.
El botón amarillo STANDBY se iluminará.

6 Pulse el botón OFF rojo.

El botón rojo OFF se iluminará.

7 Cierre y bloquee las válvulas principales de

corte en el lugar de la instalación.
8 Desactive el SEM en el interruptor de
aislamiento situado en la parte trasera de la
unidad.
9 Aíslelo del suministro eléctrico principal.

158 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación

7. Mantenimiento y reparación

ADVERTENCIA
Los campos magnéticos puede interferir con implantes médicos.
Las bombas iónicas generan un campo magnético que puede interferir con implantes
médicos, como por ejemplo marcapasos.
El campo magnético también existe si el SEM está apagado.
A la hora de llevar a cabo cualquier tarea de mantenimiento en la columna, como por
ejemplo sustituir filamentos, es posible acercarse a las bombas iónicas y a su campo
magnético.
Si tiene algún implante médico, mantenga siempre una distancia de seguridad de ≥ 10 cm
con respecto a las bombas iónicas.

ATENCIÓN
Riesgo de accidente. Riesgo de daños de la propiedad.
Lleve a cabo únicamente las tareas descritas en este manual de instrucciones.
Todas las tareas de mantenimiento, servicio y reparación que no se describan en este
manual de instrucciones tendrán que ser llevadas a cabo exclusivamente por parte de
representante de servicio ZEISSs autorizados.

IMPORTANTE
Para que el SEM conserve la mayor potencia posible, es fundamental llevar a cabo tareas
de mantenimiento preventivo de forma habitual.
Además, se recomienda que firme un contrato de servicios con su organización de
servicios o representante de ZEISS a nivel local.
Esto garantizará un funcionamiento continuo y sin problemas del SEM.

El tiempo perdido por trabajos de mantenimiento y puesta a punto será el tiempo durante el que
el SEM no estará disponible para llevar a cabo su función pretendida como consecuencia de los
procesos de mantenimiento y puesta a punto planificados.
• Cambio de elementos fungibles y químicos
• Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador
• Mantenimiento preventivo llevado a cabo por parte de Representante de servicio ZEISSs
autorizados.

Manual de instrucciones EVO® es03 159 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

7.1 Cambio de elementos fungibles y químicos

El cambio de elementos fungibles y químicos supone una interrupción programada del

funcionamiento para reponer los elementos fungibles y químicos del proceso. Los tiempos
programados se diseñan para maximizar el nivel de rendimiento del equipo (es decir, 24 horas
de funcionamiento permanente)

Intervalo Componente/pieza Acción

según proceda Filamento Sustituya el filamento tal y como se

describen en sección 7.1.3.

Anualmente o según se Bomba de prevacío Sustituya la junta espiral.

requiera Consulte la documentación del fabricante de
la bomba.

Anualmente Detector ETSE Póngase en contacto con su representante

BSD de servicio ZEISS más cercano con el fin de
comprobar los detectores y sustituir los
escintiladores si fuera necesario.

160 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

7.1.1 Ajuste de los montajes de aislamiento

Los montajes de aislamiento pierden aire con el paso del tiempo. Por este motivo, es necesario
ajustarlos de cuando en cuando.

ATENCIÓN
Peligro de aplastamiento.
El hueco entre la mesa aislada y el pie está diseñado para permitir a la cámara de muestras
moverse libremente.
El tamaño de dicho hueco varía durante el funcionamiento y puede provocar lesiones por
aplastamiento.
No introduzca los dedos entre la mesa aislada y el pie del microscopio.

1 Para comprobar si los soportes de aire tienen que ajustarse, dé un suave empujón a la
columna.
- Si no es capaz de moverse libremente, ajuste los soportes de aire tal y como se describe
en los pasos siguientes.
- Si la columna puede moverse libremente, no es necesario llevar a cabo acción alguna.

Hay tres válvulas de entrada en la parte trasera del pie. Cada una de estas válvulas corresponde
a una sección diferente del sistema de nivelación.
2 Para ajustar los soportes de aire, retire las tapas de las válvulas de entrada situadas en la
parte trasera del pie.

3 Conecte una bomba de pie a una de las válvulas de entrada.

Manual de instrucciones EVO® es03 161 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

4 Lleve a cabo un proceso de bombeo de la válvula de entrada de tal forma que el soporte de
aire correspondiente tenga una superficie plana (para más detalles, consulte las imágenes).

5 Repita los pasos 3 y 4 para las válvulas de entrada restantes.

6 Asegúrese de que el hueco sea uniforme en torno a la mesa aislada.
7 Compruebe que la columna pueda moverse libremente.
En caso contrario, repita los pasos 3 a 7 hasta que la columna pueda moverse libremente.

7.1.2 Sustitución de la junta espiral de la bomba de prevacío

Consulte el manual de instrucciones de la bomba de prevacío suministrado por su fabricante.

Encontrará esta documentación en la carpeta de documentos del SEM.

162 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

7.1.3 Sustitución de filamentos

Posibles motivos:
• El filamento ha llegado al final de su vida útil normal de servicio

IMPORTANTE
Puede consultar las horas de funcionamiento del filamento seleccionando View/SEM
Status/Select/Filament Age. La antigüedad del filamento se mostrará en la pestaña
Display.

7 2

4
5

1 Guantes libres de pelusas 5 Llave Allen SW 1.5 x 3

2 Algodón 6 Herramienta del filamento

3 Palillo 7 Compuesto para pulir el metal

4 Pinzas para la retirada del filamento o 8 Bote de aire comprimido

la inserción de éste

Fig. 7.1: Visión general de las herramientas necesarias

Manual de instrucciones EVO® es03 163 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

[Link] Sustitución de los filamentos de tungsteno previamente alineados

ATENCIÓN
Riesgo de contaminación.
Las partículas de polvo y la grasa de la piel puede provocar un vacío deficiente o flameos.
Utilice siempre guantes cuando cambie el filamento.

Piezas/herramientas
Pieza n.º
especiales necesarias

Paquete de 10 cartuchos de fila- 354720-9919-000

mento de tungsteno previamente
centrados (acero inoxidable)

IMPORTANTE
En los casos en los que la protección de la columna se ajusta según lo descrito en
sección [Link], se suprime el requisito de desconectar el SEM por completo. El cambio
de la unidad de combustión sigue el mismo procedimiento para máquinas con y sin la
protección de la columna; no obstante, la imagen que aparece bajo estas líneas muestra
cómo se separa la protección cuando se abre la tapa de la columna, y deberá tener
precaución a la hora de cerrar el cabezal de filamento para asegurarse de que la
protección esté correctamente alineada cuando dicho cabezal de filamento esté cerrado.

164 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

1 Desconexión del cabezal de filamento.

2 Seleccione la pestaña Gun Vacuum.

3 Haga clic en Vent Gun.

El diálogo Vent Gun aparecerá.

4 Haga clic en Yes y permita que el sistema
ventile por completo antes de dar pasos
adicionales en el procedimiento.

Manual de instrucciones EVO® es03 165 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

Marque la casilla de control New Filament.

5 Ventile la cámara.
6 Desconecte el SEM tal y como se
describe en sección 6.11.
7 Retire la cubierta protectora.

ATENCIÓN
Riesgo de quemadura
La columna óptico-electrónica se calienta durante el funcionamiento.
Después de desactivar el SEM, espere quince minutos antes de abrir la zona superior de la
columna OE.

8 Espere hasta que la unidad de combustión se enfríe durante, al menos, quince minutos.

166 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

9 Abra el cabezal de filamento.

10 Desatornille la unidad de combustión con una

llave Allen SW 1.5 (3 tornillos).
Los tornillos deberían permanecer en sus
agujeros si fuera posible.

Manual de instrucciones EVO® es03 167 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

11 Retire cuidadosamente la unidad de

combustión.

12 Coloque la unidad de combustión sobre

una superficie limpia.
13 Ajuste la herramienta del filamento en los
lugares de conexión de la arandela de
retención de latón.

168 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

14 Para desenroscar la arandela de retención de

latón, gire cuidadosamente la herramienta del
filamento en el sentido contrario al de las
agujas del reloj.

15 Retire la arandela de retención de latón.

16 Coloque la arandela de retención de latón

en una muestra.
17 Acerque su mano a la parte inferior de la
unidad de combustión y dele la vuelta.

El soporte del filamento y la arandela del muelle

tensor se deslizarán hacia fuera y caerán sobre
su mano.

IMPORTANTE
La arandela del muelle tensor no está diseñada para filamentos previamente alineados. Si
la arandela del muelle tensor se instala con un filamento previamente alineado, la altura
de dicho filamento será incorrecta.
No vuelva a colocar la arandela del muelle tensor cuando instale un filamento previamente
alineado.

Manual de instrucciones EVO® es03 169 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

18 Retire los depósitos de tungsteno tal y

como se describe en sección 7.2.7.

IMPORTANTE
Con el paso del tiempo, el filamento de tungsteno deposita tungsteno en la unidad de
combustión.
Estos depósitos tienen que eliminarse después de cada cambio del filamento.

ZEISS insta a los usuarios a conservar un registro de los cambios del filamento.
Esto simplifica el mantenimiento.

19 Tome de la caja un nuevo soporte del

filamento previamente alineado.

20 Utilice el bote de aire comprimido para

eliminar cualquier partícula de polvo del
soporte del filamento y de la unidad de
combustión.

21 Alinee el lugar de conexión del lado del

soporte del filamento (1) con la clavija situada
dentro de la unidad de combustión (2).

1 2

170 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

22 Coloque el nuevo filamento en la unidad de

combustión.

23 Vuelva a colocar la arandela de retención de

latón y ajústela con la herramienta del
filamento.

24 Asegúrese de que la arandela de retención de

latón quede firmemente asegurada. Si hace
cualquier sonido al agitarla, apriete la
arandela de protección de latón un poco más.

Manual de instrucciones EVO® es03 171 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

25 Alinee el lugar de conexión del lado de la

unidad de combustión (1) con la clavija
situada dentro del soporte de la propia unidad
de combustión (2).

26 Ejerza una ligera presión sobre la unidad de

combustión.
27 Fije el tornillo con una llave Allen SW 1.5.

28 Compruebe el o-ring de la columna (3).

29 Retire cualquier partícula de polvo con un

bote de aire comprimido.

172 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

30 Cierre el cabezal de filamento.

31 Vuelva a colocar la cubierta protectora.

32 Conecte el SEM tal y como se describe en

sección 6.1.

Manual de instrucciones EVO® es03 173 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

[Link] Sustitución de los filamentos de tungsteno (no previamente alineados):

limpieza, mantenimiento y alineación
Este apartado describe cómo sustituir filamentos de tungsteno normales. Estos filamentos no
están previamente alineados.

ATENCIÓN
Riesgo de contaminación.
Las partículas de polvo y la grasa de la piel puede provocar un vacío deficiente o flameos.
Utilice siempre guantes cuando cambie el filamento.

Piezas/herramientas especiales
Pieza n.º
necesarias

Paquete de 10 filamentos de tungsteno 350010-2079-000

IMPORTANTE
En los casos en los que la protección de la columna se ajusta según lo descrito en
sección [Link], se suprime el requisito de desconectar el SEM por completo. El cambio
de la unidad de combustión sigue el mismo procedimiento para máquinas con y sin la
protección de la columna; no obstante, la imagen que aparece bajo estas líneas muestra
cómo se separa la protección cuando se abre la tapa de la columna, y deberá tener
precaución a la hora de cerrar el cabezal de filamento para asegurarse de que la
protección esté correctamente alineada cuando dicho cabezal de filamento esté cerrado.

174 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

1 Retire la unidad de combustión del SEM tal y como se describe en sección [Link].
2 Coloque la unidad de combustión sobre una superficie limpia.
3 Ajuste la herramienta del filamento en los
lugares de conexión de la arandela de
retención de latón.

4 Para desenroscar la arandela de retención de

latón, gire cuidadosamente la herramienta del
filamento en el sentido contrario al de las
agujas del reloj.

5 Retire la arandela de retención de latón.

Manual de instrucciones EVO® es03 175 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

6 Coloque la arandela de retención de latón

en una muestra.
7 Acerque su mano a la parte inferior de la
unidad de combustión y dele la vuelta.

El soporte del filamento y la arandela del muelle

del tensor se deslizarán hacia fuera y caerán
sobre su mano.

8 Desmonte el soporte del filamento:

a Afloje los cuatro tornillos con una llave
Allen SW 1.5. Estos tornillos tienen
extremos redondeados.

b Retire la parte superior del soporte del

filamento.

176 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

c Afloje los cuatro tornillos con cabeza

interior de la parte superior del soporte del
filamento. Estos tornillos tienen extremos
puntiagudos.

d Retire el filamento con la herramienta del

propio filamento.

e Coloque todas las piezas del soporte del filamento sobre una superficie limpia.

Si el soporte del filamento presentara depósitos de tungsteno, retire los depósitos tal y como se
describe en sección 7.2.7.

IMPORTANTE
Con el paso del tiempo, el filamento de tungsteno deposita tungsteno en el soporte del
filamento.
Estos depósitos tienen que eliminarse después de cada cinco cambios del filamento.
Esto también se aplicará al ánodo (consulte sección [Link]).

ZEISS insta a los usuarios a conservar un registro de los cambios del filamento.
Esto simplifica el mantenimiento.

Manual de instrucciones EVO® es03 177 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

9 Tome un nuevo filamento de la caja utilizando

la herramienta del filamento.

10 Inserte el nuevo filamento en la parte superior

del soporte del filamento utilizando la
herramienta del propio filamento.

11 Inserte los cuatro tornillos con cabeza interior.

12 Para centrar el filamento, apriete por igual
todos los tornillos con cabeza interior con una
llave Allen SW 1.5. Estos tornillos tienen
extremos puntiagudos.

178 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

13 Una la parte superior del soporte del filamento

a la sección superior.
Asegúrese de alinear correctamente la clavija
y el agujero.

14 Inserte el muelle del tensor (1) en la

unidad de combustión. 1

15 Inserte el soporte del filamento. Asegúrese de

alinear correctamente la clavija y el lugar de
conexión. Alinee el lugar de conexión del lado
del soporte del filamento (2) con la clavija
situada dentro de la propia unidad de
combustión (3).

2 3

16 Coloque el nuevo filamento en la unidad de

combustión.

Vueltas de la arandela Distancia del filamento

Comentarios
de retención de latón (mm)

¾ 0,4 Alta resolución

Vida útil corta del filamento.

1¼ 0,6 Uso general.

Vida útil del filamento ampliada.

1¾ 0,9 Análisis de rayos X

Tabla 7.1: Configuración de la distancia del filamento girando la arandela de retención de latón

Manual de instrucciones EVO® es03 179 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

17 Vuelva a colocar la arandela de retención de

latón y ajústela con la herramienta del
filamento. Seleccione el número de vueltas
según tabla 7.1.

180 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

18 Compruebe que el filamento esté centrado y

al nivel de la parte superior de la unidad de
combustión utilizando un microscopio estéreo
con luz.

Si el filamento no estuviera centrado,

a centre el filamento girando los tornillos
con cabeza interior. Estos tornillos tienen
extremos puntiagudos.

Si el filamento no estuviera al mismo nivel que la

parte superior de la unidad de combustión,
a ajuste la altura del filamento girando la
arandela de retención de latón.

Manual de instrucciones EVO® es03 181 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

19 Alinee el lugar de conexión del lado de la

unidad de combustión (1) con la clavija
situada dentro del soporte de la propia unidad
de combustión (2).

20 Ejerza una ligera presión sobre la unidad de

combustión.
21 Fije el tornillo con una llave Allen SW 1.5.

22 Compruebe el o-ring de la columna (1).

23 Retire cualquier partícula de polvo con

un bote de aire comprimido.

182 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

24 Cierre el cabezal de filamento.

25 Vuelva a colocar la cubierta protectora.

26 Conecte el SEM tal y como se describe en

sección 6.1.

Manual de instrucciones EVO® es03 183 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

[Link] Sustitución de filamentos LaB6

ATENCIÓN
Riesgo de contaminación.
Las partículas de polvo y la grasa de la piel puede provocar un vacío deficiente o flameos.
Utilice siempre guantes cuando cambie el filamento.

Piezas/herramientas
Pieza n.º
especiales necesarias

Un filamento LaB6 350010-2180-000

IMPORTANTE
En los casos en los que la protección de la columna se ajusta según lo descrito en
sección [Link], se suprime el requisito de desconectar el SEM por completo. El cambio
de la unidad de combustión sigue el mismo procedimiento para máquinas con y sin la
protección de la columna; no obstante, la imagen que aparece bajo estas líneas muestra
cómo se separa la protección cuando se abre la tapa de la columna, y deberá tener
precaución a la hora de cerrar el cabezal de filamento para asegurarse de que la
protección esté correctamente alineada cuando dicho cabezal de filamento esté cerrado.

184 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

1 Retire la unidad de combustión del SEM tal y como se describe en sección [Link].
2 Coloque la unidad de combustión sobre una superficie limpia.
3 Ajuste la herramienta del filamento en los
lugares de conexión de la arandela de
retención de latón.

4 Para desenroscar la arandela de retención de

latón, gire cuidadosamente la herramienta del
filamento en el sentido contrario al de las
agujas del reloj.

5 Retire la arandela de retención de latón.

6 Coloque la arandela de retención de latón

en una muestra.

Manual de instrucciones EVO® es03 185 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

7 Acerque su mano a la parte inferior de la

unidad de combustión y dele la vuelta.

El soporte del filamento y la arandela del muelle

del tensor se deslizarán hacia fuera y caerán
sobre su mano.

8 Desmonte el soporte del filamento:

a Afloje los cuatro tornillos con una llave
Allen SW 1.5. Estos tornillos tienen
extremos redondeados.

b Retire la parte superior del soporte del

filamento.

186 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

c Afloje los cuatro tornillos con cabeza

interior de la parte superior del soporte del
filamento. Estos tornillos tienen extremos
puntiagudos.

d Retire el filamento con la herramienta del

propio filamento.

e Coloque todas las piezas del soporte del filamento sobre una superficie limpia.

Si el soporte del filamento presentara depósitos de tungsteno, retire los depósitos tal y como se
describe en sección 7.2.7.

IMPORTANTE
Con el paso del tiempo, el filamento LaB6 deposita material sublimado en el soporte del
filamento.
Estos depósitos tienen que eliminarse después de cada cambio del filamento.

ZEISS insta a los usuarios a conservar un registro de los cambios del filamento.
Esto simplifica el mantenimiento.

9 Desembale el nuevo filamento LaB6.

a Desenrosque la cubierta plástica.

b Pulse sobre la clavija metálica para

desbloquear el filamento.

Manual de instrucciones EVO® es03 187 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

c Utilice las pinzas del filamento para

extraer el nuevo filamento LaB6 del
soporte.

10 Inserte el nuevo filamento en la parte superior

del soporte del filamento utilizando la
herramienta del propio filamento.

11 Inserte los cuatro tornillos con cabeza interior.

12 Para centrar el filamento, apriete por igual
todos los tornillos con cabeza interior con una
llave Allen SW 1.5. Estos tornillos tienen
extremos puntiagudos.

13 Una la parte superior del soporte del filamento

a la sección superior.
Asegúrese de alinear correctamente la clavija
y el agujero.

14 Inserte el muelle del tensor (1) en la

unidad de combustión. 1

188 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

15 Inserte el soporte del filamento. Asegúrese de

alinear correctamente la clavija y el lugar de
conexión. Alinee el lugar de conexión del lado
del soporte del filamento (2) con la clavija
situada dentro de la propia unidad de
combustión (3).

2 3

16 Coloque el nuevo filamento en la unidad de

combustión.

17 Vuelva a colocar la arandela de retención de

latón y ajústela con la herramienta del
filamento.

IMPORTANTE
La precisión en el centrado y en el ajuste de la altura es esencial para garantizar un
rendimiento óptimo y la máxima vida útil.

Manual de instrucciones EVO® es03 189 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

18 El filamento LaB6 tiene que configurarse

0,2 mm por debajo la tapa Wehnelt. Esto se
consigue ajustando el nivel de altura del
filamento con respecto a la parte superior de
la apertura Wehnelt, girando la arandela de
retención de latón lentamente en el sentido de
las agujas del reloj y comprobando tanto la
altura como el centrado con un microscopio o
una lupa.

19 Una vez que el filamento esté al nivel de la

parte superior de la tapa Wehnelt, la arandela
de retención de latón deberá girarse
20 grados en el sentido contrario al de las
agujas del reloj. La punta del filamento se
encuentra aproximadamente 0,2 mm por
debajo de la tapa Wehnelt.
20 Centre el filamento con los tornillos con
cabeza interior. Estos tornillos tienen
extremos puntiagudos.

190 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

21 Alinee el lugar de conexión del lado de la

unidad de combustión (1) con la clavija
situada dentro del soporte de la propia unidad
de combustión (2).

22 Ejerza una ligera presión sobre la unidad de

combustión.
23 Fije el tornillo con una llave Allen SW 1.5.

24 Compruebe el o-ring de la columna (1).

25 Retire cualquier partícula de polvo con un

bote de aire comprimido.

Manual de instrucciones EVO® es03 191 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

26 Cierre el cabezal de filamento.

27 Vuelva a colocar la cubierta protectora.

28 Conecte el SEM tal y como se describe en

sección 6.1.

192 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

29 Seleccione la pestaña Gun Vacuum.

30 Haga clic en Pump.
31 Espere hasta que se indiquen Vac Status =
Ready y EHT Vac ready = Yes.
Esto puede demorarse algún tiempo.

Manual de instrucciones EVO® es03 193 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

32 Asegúrese de que la casilla de control Long

Fil. Life esté desactivada.
33 Active el haz.
34 Establezca los siguientes valores:
- EHT = 10 kV
- Spot Size = 500
- Fil I Target = 1950 mA
35 Marque la casilla de control New Filament.

194 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

36 Seleccione la pestaña Apertures.

37 Haga clic en Emission.

El botón correspondiente a Emission cambiará a

Normal.

Manual de instrucciones EVO® es03 195 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

IMPORTANTE
Cuando se haya instalado un nuevo filamento, la activación de éste se demorará un poco
durante los primeros minutos.
Esto es bastante normal, y está diseñado para minimizar los daños como consecuencia
del choque térmico cuando el filamento es nuevo.

38 Incremente lentamente Fil I Target en

incrementos de 0,01 A haciendo clic en la
flecha derecha del regulador corredizo Fil I
Target hasta que sea visible el primer pico de
emisión.
Ajuste los niveles de brillo y contraste para
ayudar a la visión.

196 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

39 Siga incrementando Fil I Target hasta que

sea visible el segundo (y último) pico de
emisión.
Ajuste los niveles de brillo y contraste para
ayudar a la visión.

IMPORTANTE
Para lograr un rendimiento óptimo, la imagen de la emisión deberá estar alineada en el
centro del área de la imagen. Esto se logra utilizando las opciones Beam Tilt y Beam Shift
en la pestaña Apertures.

Haz no alineado

40 Seleccione la pestaña Apertures.

41 Haga clic en Normal para permitir la
formación de imágenes del SEM.

Manual de instrucciones EVO® es03 197 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

[Link] Sustitución de filamentos LaB6 por filamentos de tungsteno

ATENCIÓN
Riesgo de contaminación.
Las partículas de polvo y la grasa de la piel puede provocar un vacío deficiente o flameos.
Utilice siempre guantes cuando cambie el filamento.

Piezas/herramientas
Pieza n.º
especiales necesarias

EVO-W-FIRINGUNIT: una unidad 350071-2832-000

Wehnelt de tungsteno con una caja
de diez filamentos W estándar

IMPORTANTE
Las unidades de combustión de tungsteno y LaB6 no son compatibles entre sí.

IMPORTANTE
No es posible instalar una unidad de combustión LaB6 en un instrumento construido para
tungsteno.
Esto sólo puede lograrse llevando a cabo una actualización del instrumento, la cual
requiere el regreso de la unidad a la fábrica.
ESTE PROCEDIMIENTO DE ACTUALIZACIÓN NO ES POSIBLE EN EL EMPLAZAMIENTO
DEL CLIENTE.

IMPORTANTE
En los casos en los que la protección de la columna se ajusta según lo descrito en
sección [Link], se suprime el requisito de desconectar el SEM por completo. El cambio
de la unidad de combustión sigue el mismo procedimiento para máquinas con y sin la
protección de la columna; no obstante, la imagen que aparece bajo estas líneas muestra
cómo se separa la protección cuando se abre la tapa de la columna, y deberá tener
precaución a la hora de cerrar el cabezal de filamento para asegurarse de que la
protección esté correctamente alineada cuando dicho cabezal de filamento esté cerrado.

198 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

1 Desconexión del cabezal de filamento.

2 Seleccione la pestaña Gun Vacuum.

3 Haga clic en Vent Gun.

El diálogo Vent Gun aparecerá.

4 Haga clic en Yes y permita que el sistema
ventile por completo antes de dar pasos
adicionales en el procedimiento.

Manual de instrucciones EVO® es03 199 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

5 Mientras el sistema se ventila, seleccione el

tipo de filamento en el menú desplegable.

6 Marque la casilla de control New Filament.

7 Desconecte el SEM tal y como se describe

en sección 6.11.

200 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

ATENCIÓN
Riesgo de quemadura
El cabezal de filamento situado en la parte superior de la columna óptico-electrónica se
calienta durante el funcionamiento.
Después de desactivar el SEM, espere quince minutos antes de abrir la zona superior de la
columna OE.

8 Espere hasta que la unidad de combustión se enfríe durante, al menos, quince minutos.
9 Abra el cabezal de filamento.

Manual de instrucciones EVO® es03 201 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

10 Desatornille la unidad de combustión con una

llave Allen SW 1.5 (3 tornillos).
Los tornillos deberían permanecer en sus
agujeros si fuera posible.

11 Coloque la unidad de combustión sobre

una superficie limpia.
12 Ajuste la herramienta del filamento en los
lugares de conexión de la arandela de
retención de latón.

202 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

13 Para desenroscar la arandela de retención de

latón, gire cuidadosamente la herramienta del
filamento en el sentido contrario al de las
agujas del reloj.

14 Retire la arandela de retención de latón.

15 Coloque la arandela de retención de latón

en una muestra.
16 Acerque su mano a la parte inferior de la
unidad de combustión y dele la vuelta.

El soporte del filamento y la arandela del muelle

del tensor se deslizarán hacia fuera y caerán
sobre su mano.

Manual de instrucciones EVO® es03 203 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

17 Desmonte el soporte del filamento:

a Afloje los cuatro tornillos con una llave
Allen SW 1,5. Estos tornillos tienen
extremos redondeados.

b Retire la parte superior del soporte del

filamento.

c Afloje los cuatro tornillos con cabeza

interior de la parte superior del soporte del
filamento. Estos tornillos tienen extremos
puntiagudos.

d Retire el filamento con la herramienta del

propio filamento.

e Coloque todas las piezas del soporte del filamento sobre una superficie limpia.

Si el soporte del filamento presentara depósitos de tungsteno, retire los depósitos tal y como se
describe en sección 7.2.7.

IMPORTANTE
Con el paso del tiempo, el filamento de tungsteno deposita tungsteno en el soporte del
filamento.
Estos depósitos tienen que eliminarse después de cada cambio del filamento.
Esto también se aplicará al ánodo (consulte sección [Link]).

ZEISS insta a los usuarios a conservar un registro de los cambios del filamento.
Esto simplifica el mantenimiento.

204 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

18 Tome un nuevo filamento de la caja utilizando

la herramienta del filamento.

19 Inserte el nuevo filamento en la parte superior

del soporte del filamento utilizando la
herramienta del propio filamento.

20 Inserte los cuatro tornillos con cabeza interior.

21 Para centrar el filamento, apriete por igual
todos los tornillos con cabeza interior con una
llave Allen SW 1.5. Estos tornillos tienen
extremos puntiagudos.

Manual de instrucciones EVO® es03 205 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

22 Una la parte superior del soporte del filamento

a la sección superior.
Asegúrese de alinear correctamente la clavija
y el agujero.

23 Inserte el muelle del tensor (1) en la

unidad de combustión. 1

24 Inserte el soporte del filamento. Asegúrese de

alinear correctamente la clavija y el lugar de
conexión. Alinee el lugar de conexión del lado
del soporte del filamento (2) con la clavija
situada dentro de la propia unidad de
combustión (3).

2 3

25 Coloque el nuevo filamento en la unidad de

combustión.

Vueltas de la arandela Distancia del filamento

Comentarios
de retención de latón (mm)

¾ 0,375 Alta resolución

Vida útil corta del filamento.

1¼ 0,6 Uso general.

Vida útil del filamento ampliada.

1¾ 0,9 Análisis de rayos X

Tabla 7.2: Configuración de la distancia del filamento girando la arandela de retención de latón

206 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

26 Vuelva a colocar la arandela de retención de

latón y ajústela con la herramienta del
filamento. Seleccione el número de vueltas
según tabla 7.1.

Manual de instrucciones EVO® es03 207 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

27 Compruebe que el filamento esté centrado y

al nivel de la parte superior de la unidad de
combustión utilizando un microscopio estéreo
con luz.

Si el filamento no estuviera centrado,

a centre el filamento girando los tornillos
con cabeza interior. Estos tornillos tienen
extremos puntiagudos.

Si el filamento no estuviera al mismo nivel que la

parte superior de la unidad de combustión,
a ajuste la altura del filamento girando la
arandela de retención de latón.
Seleccione el número de vueltas según
tabla 7.1.

208 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

28 Alinee el lugar de conexión del lado de la

unidad de combustión (1) con la clavija
situada dentro del soporte de la propia unidad
de combustión (2).

29 Ejerza una ligera presión sobre la unidad de

combustión.
30 Fije el tornillo con una llave Allen SW 1.5.

31 Compruebe el o-ring de la columna (1).

32 Retire cualquier partícula de polvo con un

bote de aire comprimido.

Manual de instrucciones EVO® es03 209 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

33 Cierre el cabezal de filamento.

34 Vuelva a colocar la cubierta protectora.

35 Conecte el SEM tal y como se describe en

sección 6.1.

210 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

36 Seleccione la pestaña Gun Vacuum.

37 Haga clic en Pump.
38 Espere hasta que se indiquen Vac Status =
Ready y EHT Vac ready = Yes.
Esto puede demorarse algún tiempo.

Si el vacío en el cabezal del filamento fuera

inferior a 1 x 10 -8 mbar, lleve a cabo el
proceso de desorción tal y como se describe
en sección 7.2.5.

39 Asegúrese de que la casilla de control

Long Fil. Life esté desmarcada.
40 Active el haz.

Manual de instrucciones EVO® es03 211 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

41 Establezca los siguientes valores:

- EHT = 10 kV
- Spot Size = 500
- Fil I Target = 2000 mA

42 Seleccione al pestaña Apertures.

43 Haga clic en Emission.

212 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

El botón correspondiente a Emission cambiará a

Normal.

IMPORTANTE
Cuando se haya instalado un nuevo filamento, la activación de éste se demorará un poco
durante los primeros minutos.

Manual de instrucciones EVO® es03 213 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Cambio de elementos fungibles y químicos

44 Incremente lentamente Fil I Target en

incrementos de 0,01 A haciendo clic en la
flecha derecha del regulador corredizo Fil I
Target hasta que sea visible el primer pico de
emisión.
Ajuste los niveles de brillo y contraste para
ayudar a la visión.

45 Siga incrementando Fil I Target hasta que

sea visible el segundo (y último) pico de
emisión.
Ajuste los niveles de brillo y contraste para
ayudar a la visión.

IMPORTANTE
Para lograr un rendimiento óptimo, la imagen de la emisión deberá estar alineada en el
centro del área de la imagen. Esto se logra utilizando las opciones Beam Tilt y Beam Shift
en la pestaña Apertures.

Haz no alineado

46 Seleccione la pestaña Apertures.

47 Haga clic en Normal para permitir la
formación de imágenes del SEM.

214 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

7.2 Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el

operador

7.2.1 Comprobación de un funcionamiento seguro

Asegúrese de que todas las cubiertas protectoras estén en su lugar.

Inspeccione y limpie las etiquetas de seguridad del producto para mantener una buena
legibilidad.

7.2.2 Limpieza del PC

Al igual que en el caso de cualquier ordenador, es importante limpiar el PC de forma periódica.

1 Vacíe la carpeta de archivos temporales.
2 Desfragmente el disco duro.
3 Compruebe la existencia de una cantidad adecuada de espacio libre en el disco duro.

7.2.3 Inicialización de la mesa

Si la mesa no puede aproximarse a una posición de almacenamiento o si fuera necesario el

movimiento absoluto de dicha mesa, deberá proceder a su inicialización.
Ejecutar esta función requiere el privilegio Stage Initialise en el perfil del usuario.

Requisitos previos:
• La cámara de muestras habrá sido ventilada.
• Todas las muestras grandes y los soportes de éstas serán retirados.

Procedimiento:
1 Seleccione Stage/Stage initialise en el menú.
2 Confirme haciendo clic en Yes.

IMPORTANTE
Si el inicio de la mesa no soluciona el
problema de ésta, póngase en contacto con su
representante de servicio ZEISS.

Manual de instrucciones EVO® es03 215 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

7.2.4 Servicio de la bomba de prevacío

Para realizar el mantenimiento de la bomba de prevacío consulte el manual de instrucciones de

la bomba suministrado por su fabricante.
Encontrará esta documentación en la carpeta de documentos del SEM.

7.2.5 Desorción térmica del cabezal del filamento y de la cámara

Para una utilización óptima del filamento LaB6, es fundamental que el vacío en el cabezal del
filamento se encuentre siempre en torno a 10 -7 mbar (10 -8 mbar para EVO®HD). Si el vacío cae
por debajo de este valor, se recomienda encarecidamente que se lleve a cabo el procedimiento
de desorción térmica de la cámara del cabezal, el cual, en circunstancias normales, sería un
procedimiento nocturno.
IMPORTANTE
Con el fin de mantener las condiciones operativas máximas, se recomienda llevar a cabo
una desorción durante un fin de semana, al menos, dos veces al año.

1 Seleccione All/Shutdown Gun en la barra de inicio

con la finalidad de desactivar el EHT y el cabezal.
2 Espere hasta que el filamento haya descendido.
3 En la barra del menú, seleccione Tools/Goto Panel.
La barra Panel Configuration se abrirá.

4 Doble clic en Bakeout.

Aparecerá el diálogo Bakeout.

5 Seleccione Bakeout = Overnight de la lista
de elección.

6 Haga clic en Bakeout Start.

ATENCIÓN
Existe riesgo de lesiones como consecuencia de algunas superficies calientes durante la
desorción, ya que algunas partes del recinto en la zona superior de la columna pueden
calentarse durante la desorción térmica, especialmente tras un largo ciclo de desorción.
No toque ninguna parte de los paneles del chasis ni coloque elemento combustible
alguno sobre la columna óptico-electrónica.

7 Deje que la columna se enfríe.

La presión cambiará como consecuencia del calor residual retenido en el área del cabezal
de filamento, y es necesario un período de enfriamiento para que la situación de vacío pueda
mejorar. El período de enfriamiento dependerá de la temperatura de la estancia. El control
del cabezal de filamento comprobará la mejora de la presión a medida que vaya pasando el
tiempo y se haya alcanzado la presión en torno a 10 -7 mbar (10 -8 mbar para EVO®HD).

8 Active el filamento para seguir trabajando con el microscopio.

216 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

7.2.6 Mantenimiento del o-ring

Los o-rings son necesarios para mantener el vacío y proteger la columna y la cámara de
partículas de polvo y grasa. Los o-rings de la columna y de la puerta de la cámara tienen que
comprobarse y limpiarse regularmente.
Posibles motivos:
• Mantenimiento regular
• Vacío deficiente

ATENCIÓN
Riesgo de daños sobre los o-rings.
Los o-rings pueden sufrir daños si son tratados con disolventes, como acetona o alcohol.
No utilice ningún disolvente para limpiar los o-rings.

[Link] Comprobación del o-ring de la columna

1 Seleccione el cabezal de filamento tal y como se describen en sección [Link].
2 Compruebe visualmente la presencia de partículas de polvo o de grasa en el o-ring.
3 Utilice un bote de aire comprimido para eliminar cualquier partícula de polvo o grasa.
4 Si aun así siguiera habiendo partículas de polvo o grasa, utilice un pañuelo de limpiar lentes
para eliminarlas.
5 Cierre el cabezal de filamento tal y como se describen en sección [Link].

IMPORTANTE
La grasa en los o-rings puede atraer polvo, lo cual provoca que éste se acumule en el sello
de vacío y puede desembocar en pérdidas de éste. Algunas grasas pueden llegar a la
cámara de vacío, lo cual puede provocar un vacío deficiente y la contaminación de las
muestras, los detectores y otros componentes del SEM.
No aplique grasa sobre los o-rings.

Manual de instrucciones EVO® es03 217 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

[Link] Comprobación del o-ring de la puerta de la cámara

ATENCIÓN
Peligro de asfixia como consecuencia de la falta de oxígeno, puesto que la cámara de
muestras se ventila con nitrógeno.
Evite inhalar el aire procedente del interior de la cámara de muestras.
Asegúrese de que el área existente en torno al SEM esté suficientemente ventilada.

IMPORTANTE
La contaminación causada por las huellas dactilares puede provocar un deterioro del
vacío o tiempos de bombeo más prolongados.
Lleve siempre guantes libres de pelusas cuando entre en contacto con la muestra, el
portamuestras o la mesa. Mantenga la puerta de la cámara de muestras abierta el menor
tiempo posible.

Procedimiento:
1 Ventile la cámara.
2 Abra la puerta de la cámara.

ATENCIÓN
Peligro de dañar la superficie de sellado al emplear herramientas metálicas.
Si fuera necesario, utilice una herramienta de plástico o madera para retirar el o-ring de la
puerta de la cámara.

218 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

3 Compruebe visualmente la presencia de partículas de polvo o de grasa en el o-ring (1).

4 Utilice un bote de aire comprimido para eliminar cualquier partícula de polvo o grasa.
5 Si aun así siguiera habiendo partículas de polvo o grasa, utilice un pañuelo de limpiar lentes
para eliminarlas.
6 Cierre la puerta de la cámara.
7 Bombee la cámara de muestras.

Manual de instrucciones EVO® es03 219 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

7.2.7 Limpieza de la unidad de combustión

ATENCIÓN
Riesgo de daños a la apertura.
Con el paso del tiempo, el filamento deposita material en la unidad de combustión y en el
ánodo.
Esto puede dañar la apertura y reducir la vida útil del filamento.
Limpie la unidad de combustión después de cada cambio del filamento.

1 Retire la unidad de combustión tal y como se describe en sección [Link].

2 Ponga la menor cantidad posible de Wenol,
un compuesto libre de silicio para pulir el
metal, en un trozo de papel de imprenta.

3 Pula la parte superior de la unidad de

combustión con un movimiento circular.

220 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

4 Ponga un trozo de algodón alrededor de la

punta de un palillo.

5 Para eliminar cualquier depósito, pula el

interior de la unidad de combustión.

6 Utilice el palillo para limpiar la apertura de la

unidad de combustión. Elimine cualquier
decoloración.

7 Dé la vuelta a la unidad de combustión y

utilice el palillo para limpiar el otro lado de la
apertura.

8 Enjuague las partes impregnadas de sustancia de pulido con agua caliente, en la que habrá
vertido unas cuantas gotas de detergente suave.

Manual de instrucciones EVO® es03 221 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

ATENCIÓN
Riesgo de daños de la propiedad.
Los residuos del compuesto para pulir pueden provocar flameos o un vacío deficiente.
Para eliminar los residuos de este compuesto para pulir, de grasa o de otros
contaminantes hidrocarbonados, es fundamental limpiar todas las piezas de la unidad de
combustión con un disolvente débil, como el isopropanol
(propan–2–ol CAS n.º-67–63–5).

9 Coloque la unidad de combustión y la

arandela de retención de latón en una
bandeja con malla metálica.

10 Para eliminar los residuos del compuesto de

pulido, coloque la bandeja con malla metálica
en un vaso de laboratorio con isopropanol y
sométala a un baño ultrasónico. Repita este
procedimiento dos veces con isopropanol
limpio.

11 Reinstale la unidad de combustión tal y

como se describe en sección [Link].

222 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

[Link] Limpieza del soporte del filamento

1 Desmonte el soporte del filamento tal y como se describen en sección [Link].
2 Coloque el las piezas del soporte del
filamento desmontado (incluyendo todos los
tornillos con cabeza interior) y todos los
tornillos en una bandeja con malla metálica
adecuada.

3 Para eliminar los residuos del compuesto de

pulido, coloque la bandeja con malla metálica
en un vaso de laboratorio con isopropanol y
sométala a un baño ultrasónico. Repita este
procedimiento dos veces con isopropanol
limpio.

4 Vuelva a montar el soporte del filamento

tal y como se describe in sección [Link].

Manual de instrucciones EVO® es03 223 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

[Link] Limpieza del ánodo

Para un rendimiento óptimo, este procedimiento debería llevarse a cabo cada vez que se
cambiara un filamento. Para reducir el tiempo perdido por trabajos de mantenimiento y puesta a
punto del instrumento, se recomienda adquirir un ánodo de repuesto limpio, para que así el
ánodo sucio pueda limpiarse fuera de la línea.
1 Ventile y abra la cámara del cabezal tal y como se detalla en sección [Link] para sistemas
de tungsteno y en sección [Link] para sistemas LaB6.
2 Coloque y desenrosque los tornillos de
retención mediante una llave Allen SW3.
No retire los tornillos, puesto que éstos serán
retirados más tarde con el ánodo.

3 Mediante pinzas flexibles de largo alcance,

retire el ánodo junto con los tornillos de
retención.

4 A menos que un ánodo limpio esté

inmediatamente disponible para colocarse
junto a la tapa del cabezal para evitar la
entrada de polvo.

Ánodo utilizado que muestra

la acumulación de depósitos de
vapor del emisor

224 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

5 Vierta una pequeña cantidad del compuesto

de pulido sobre un trozo limpio de papel y
proceda tal y como se muestra.

6 Para limpiar la apertura del ánodo, utilice un

palillo con compuesto de pulido, y asegúrese
de que ambos lados de la apertura estén
limpios.

7 Retire el exceso de compuesto de pulido con

agua caliente, en la que habrá vertido unas
gotas de detergente suave, y después
coloque el ánodo y los tornillos de retención
en una bandeja con malla metálica de
dimensione adecuadas.

8 Limpie también el ánodo poniendo la bandeja que contiene el propio ánodo y los tornillos de
retención en un baño ultrasónico, como se describe en sección [Link].

Manual de instrucciones EVO® es03 225 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento básico preventivo llevado a cabo por el operador

IMPORTANTE
La contaminación causada por las huellas dactilares puede provocar un deterioro del
vacío o tiempos de bombeo más prolongados.
Lleve siempre guantes libres de pelusas cuando entre en contacto con el ánodo limpio y
con los tornillos de retención.

9 Extraiga todas las piezas del disolvente limpiador y permita el secado. Es fundamental que
el ánodo y los tornillos de retención se manipulen utilizando guantes libres de pelusas desde
este punto del procedimiento.

Ánodo limpio

10 La recolocación del ánodo se lleva a cabo

de acuerdo con el procedimiento opuesto
al de retirada, el cual se describe en los
pasos 2 y 3.

226 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Mantenimiento preventivo llevado a cabo por un representante de servicio ZEISS

7.3 Mantenimiento preventivo llevado a cabo por un

representante de servicio ZEISS

El mantenimiento preventivo es un tiempo perdido por trabajos de mantenimiento y puesta a

punto fundamental para lograr el máximo nivel de potencia del equipamiento (es decir, 24 horas
de funcionamiento permanente).

El mantenimiento preventivo anual es llevado a cabo por su representante de servicio ZEISS

local.
Incluye
• Inspección
• Acciones preventivas
• Comprobación del equipamiento
• Arranque de verificación

Manual de instrucciones EVO® es03 227 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Reparación

7.4 Reparación

Las tareas de reparación descritas en la siguiente sección pueden ser llevadas a cabo por el
operador.

IMPORTANTE
Todas las tareas de reparación que no se describan en este manual de instrucciones
tendrán que ser llevadas a cabo exclusivamente por parte de representante de servicio
ZEISSs autorizados.

7.4.1 Sustitución del o-ring de la puerta de la cámara

Posibles motivos:
• La puerta de la cámara no ajusta al cerrar, vacío incorrecto de la cámara

ATENCIÓN
Peligro de asfixia como consecuencia de la falta de oxígeno, puesto que la cámara de
muestras se ventila con nitrógeno.
Evite inhalar el aire procedente del interior de la cámara de muestras.
Asegúrese de que el área existente en torno al SEM esté suficientemente ventilada.

IMPORTANTE
La contaminación causada por las huellas dactilares puede provocar un deterioro del
vacío o tiempos de bombeo más prolongados.
Lleve siempre guantes libres de pelusas cuando entre en contacto con la muestra, el
portamuestras o la mesa. Mantenga la puerta de la cámara de muestras abierta el menor
tiempo posible.

Procedimiento:
1 Ventile la cámara.
2 Abra la puerta de la cámara.

228 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 7. Mantenimiento y reparación
Reparación

ATENCIÓN
Peligro de dañar la superficie de sellado al emplear herramientas metálicas.
Si fuera necesario, utilice una herramienta de plástico o madera para retirar el o-ring de la
puerta de la cámara.

3 Limpie el o-ring tal y como se describe en sección [Link].

Si esto no resolviera el problema:

a Retire el o-ring de la puerta de la cámara (1).

a Inserte el o-ring de la puerta de la cámara.

b Cierre la puerta de la cámara.
c Bombee la cámara de muestras.

Manual de instrucciones EVO® es03 229 de 246

7. Mantenimiento y reparación
Reparación

7.4.2 Comprobación de los disyuntores

Posibles motivos:
• El disyuntor está fundido (posición inferior)

Procedimiento:

1 Compruebe los disyuntores en la parte trasera del chasis.

N.º Valor Circuito

F1 10 A Unidad de alimentación eléctrica

F2 10 A PC, WDX, EDX, AUX 1 -4

2 Si uno de los disyuntores estuviera fundido, presione hacia arriba.

Si esto no soluciona el problema, póngase en contacto con su representante de servicio ZEISS

más cercano para recibir ayuda.

IMPORTANTE
Los disyuntores fundidos pueden ser una pista para descubrir un problema eléctrico en
el SEM.
Si un disyuntor volviera a fundirse, apague el SEM por completo y póngase en contacto
con elservicio de ZEISS para solicitar ayuda.

230 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 8. Eliminación de anomalías

8. Eliminación de anomalías

La siguiente tabla ofrece algunas claves para resolver problemas.

Si no puede resolver el problema o no está seguro, no dude en ponerse en contacto con su
representante de servicio ZEISS más cercano.

PELIGRO
Peligro de muerte: Voltaje peligroso dentro del SEM.
Tan solo los ingenieros de servicio formados y autorizados por ZEISS tienen permiso para
desarrollar tareas de servicio sobre el SEM y para llevar a cabo trabajos en el sistema
eléctrico de éste.

Palabra
Síntoma Posible motivo Acción(es) recomendada(s)
clave

SEM El SEM no funciona. El disyuntor está fundido Comprobación de los

(posición inferior). disyuntores.
Consulte sección 7.4.2.

Vacío “Vac ready = OK" no se mostrará El vacío de la cámara es Compruebe que el sellado de la
tras el cambio de muestra. incorrecto debido a una fuga puerta de la cámara de muestras
de vacío en la puerta de ésta. esté limpio.
Si fuera necesario, sustituya el
sellado de la puerta de la cámara
de muestras.

“Vac ready = OK” aparece El lastre de gas en la bomba Desactive el lastre de gas en la
mucho después del cambio de rotativa o en la bomba de bomba de prevacío.
muestra. desplazamiento está activado.

Vacío El SEM no ventila. Sin nitrógeno. Compruebe el suministro de

nitrógeno.
Compruebe el suministro de aire
comprimido

Vacío de “Vac ready = OK” se indica El medidor Penning no se ha Reinicie el SEM:

cámara extrañamente rápido. identificado correctamente. Si esto no soluciona el problema,
póngase en contacto con su
representante de servicio ZEISS
a nivel local.

Vacío de Vacío incorrecto de cámara. El sellado de la puerta de la Sustituya el sellado de la puerta

cámara cámara no encaja al cerrar. de la cámara.
Consulte sección 7.4.1.

Mesa de La mesa no se mueve. Se requiere la inicialización de Inicialice la mesa. Consulte

muestra la mesa. sección 7.2.3.
Si esto no soluciona el problema,
póngase en contacto con su
representante de servicio ZEISS
a nivel local.

Manual de instrucciones EVO® es03 231 de 246

8. Eliminación de anomalías

Palabra
Síntoma Posible motivo Acción(es) recomendada(s)
clave

Mesa de La posición de almacenamiento La mesa tiene que ser llevada Inicialice la mesa.
muestra no puede alcanzarse hasta una posición bien Consulte sección 7.2.3.
correctamente. definida.

Mesa de La posición de almacenamiento El PC se ha quedado colgado. Reinicie el PC

muestra/ no puede alcanzarse La mesa tiene que ser llevada Inicialice la mesa.
PC correctamente. hasta una posición bien Consulte sección 7.2.3.
definida.

Deriva La muestra parece estar Efectos de carga. Asegúrese de que la muestra se

moviéndose. Muestra no conductiva. encuentre en condiciones
adecuadas.
Optimice la preparación de la
muestra.
Aplique un método de
compensación de carga.

Calidad de la La imagen es mala con una EHT La distancia de trabajo es Reduzca la distancia de trabajo
imagen baja (p. ej., 1 kV) demasiado grande. hasta un máximo de 7 mm.

Imagen SE2 La imagen SE2 es ruidosa El escintilador está gastado. Póngase en contacto con su
ingeniero de servicio de ZEISS
a nivel local para que sustituya el
escintilador.

Tras desco- La posición de almacenamiento Se requiere la inicialización de Inicialice la mesa.

nexión de de la mesa no puede lograrse la mesa. Consulte sección 7.2.3.
emergencia o correctamente.
caída de ten-
sión

232 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 9. Cierre y eliminación
Desconexión del SEM

9. Cierre y eliminación

9.1 Desconexión del SEM

Si el SEM no va a utilizarse durante un período prolongado de tiempo, como por ejemplo varios
meses, debería ser desconectado.

Póngase en contacto con su Representante de servicio ZEISS más cercano para que el SEM
deje de funcionar.

9.2 Eliminación

9.2.1 Eliminación de desperdicios fijos (fungibles)

El operador deberá asegurarse de que los desperdicios fijos (fungibles) sean eliminados y
reciclados de forma responsable.

Descripción Material Eliminación

Aperturas Platino, iridio, oro Cantidades muy pequeñas.

Podrán eliminarse de acuerdo con las
normativas locales/regionales.

Bomba rotativa Aceite El cliente deberá proceder a la

eliminación de acuerdo con las
normativas locales/regionales.

Manual de instrucciones EVO® es03 233 de 246

9. Cierre y eliminación
Eliminación

9.2.2 Eliminación de residuos del SEM

El operador deberá asegurarse de que los productos de desperdicio sean eliminados y

reciclados de forma responsable.
Consulte la directiva 2002/96/CE sobre residuos de aparatos eléctricos y electrónicos (WEEE).

El SEM consta de varios módulos. Tenga precaución a la hora de separar los materiales de
forma adecuada cuando proceda a eliminar los residuos del SEM.
• Materiales: p. ej., metales, no metales, materiales compuestos, materiales de proceso...
• Material de residuos electrónicos: p. ej., transformadores, cuadros de circuito, cables...

Cumplimiento de todas las ordenanzas nacionales y regionales sobre la eliminación de residuos.

234 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 10. Piezas y herramientas
Fungibles importantes

10. Piezas y herramientas

ATENCIÓN
Riesgo de accidente o daños de la propiedad si se utilizan partes o herramientas
inadecuadas.
Utilice exclusivamente piezas originales ZEISS.
Solicite piezas y herramientas a su organización de servicio ZEISS a nivel local.

Para el servicio de atención al cliente, póngase en contacto con su representante local de ZEISS.
Podrá encontrar una relación de localizaciones y socios de servicio autorizados ZEISS en:
[Link]/microscopy

10.1 Fungibles importantes

Artículo Pieza n.º

Apertura (perforación única) 348520-0229-000

Diafragma del ánodo, 70 µm (40 nA de configuración de alta resolución) 348520-0612-000

Diafragma del ánodo, 110 µm (100 nA de configuración de alta tensión) 348520-0610-000

Diafragma del ánodo, 200 µm (300 nA de configuración de alta tensión) 348520-0589-000

Diafragma de extractor 348520-0097-001

Sello de aluminio de ánodo 348520-0609-000

Junta de cobre en el cabezal del filamento de un solo uso 340002-0382-000

Junta espiral para bomba de prevacío BOC Edwards XDS 10 113-898

Escintilador para detector SE2 y HE-SE 348306-8142-000

Manual de instrucciones EVO® es03 235 de 246

10. Piezas y herramientas
Repuestos importantes

10.2 Repuestos importantes

Artículo Pieza n.º

O-ring de la puerta de la cámara de muestras 476-960

10.3 Licencias de software opcionales

Artículo Pieza n.º

Modo FISHEYE (ojo de pez) 348224-6080-000

10.4 Herramientas y accesorios

Artículo Pieza n.º

Jaula Faraday 348342-8055-000

Llave Allen de 1,5 mm 151-883

Tenacillas -

portamuestras Consulte el catálogo de portamuestras.

Platillos de muestra -

Pinzas -

Guantes, libres de pelusas -

236 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 11. Abreviaturas

11. Abreviaturas

AIC Capacidad de desconexión (Ampere interrupting capacity)

BSE Electrón retrodispersado (Backscattered electron)

CCD Dispositivo acoplado de carga (Charge coupled device)

DPA Apertura de bombeo diferencial (Differential Pumping Aperture)

EC Comunidad Europea (European community)

EHT Voltaje extraalto (Extra High Tension)

EIGA Asociación Europea de Gases Industriales

(European Industrial Gases Association)

EMC Compatibilidad electromagnética (Electromagnetic compatibility)

EMO Desconexión de emergencia (Emergency off)

ETSE Detector Everhart-Thornley de electrones secundarios

(Everhart Thornley Secondary Electron Detector)

GUI Interfaz gráfica de usuario (Graphical User Interface)

H Altura (Height)

IGP Bomba iónica de adsorción (Ion Getter Pump)

M Eje M (M-axis)

MSDS Fichas de seguridad del material (Material Safety Data Sheet)

PC Ordenador personal (Personal computer)

PE Tierra de protección

R Eje R (R-axis)

SE Electrón secundario (Secondary Electron)

SEM Microscopio electrónico de barrido (Scanning Electron Microscope)

T Eje T (T-axis)

U Voltaje (Voltage)

UIF Interfaz de usuario (User Interface)

W Anchura (Width)

WD Distancia de trabajo (Working distance)

Manual de instrucciones EVO® es03 237 de 246

11. Abreviaturas

WEEE Residuos de equipos eléctricos y electrónicos

(Waste Electrical and Electronic Equipment)

X Eje X (X-axis)

Y Eje Y (Y-axis)

Z Eje Z (Z-axis)

ZTR Inclinación-rotación Z (Z-Tilt-Rotate)

238 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 12. Glosario

12. Glosario

Apertura Pequeño orificio en el paso del haz que da forma y limita el haz de elec-
trones o iones.

Astigmador Compensa el astigmatismo (aberración de lente), de tal forma que el haz

de electrones pase a ser simétrico en términos rotacionales.

Astigmatismo Aberración de la lente que distorsiona la forma del haz de electrones, y

es compensada por el astigmador.

Bomba de prevacío Bomba para generar un prevacío.

Condensador Dispositivo que recoge y enfoca el haz de electrones sobre la muestra.

Desorción térmica Desgasificación de superficies de un sistema de vacío a través del calen-

tamiento durante el proceso de bombeo.

Electrones primarios Haz estrechamente enfocado de electrones acelerados que impacta con-
tra la superficie de la muestra.

Electrones Electrones de alta energía que son liberados de la superficie de la mues-

retrodispersados tra cuando recibe un impacto del haz de electrones primarios.

Electrones secundarios Electrones de baja energía que son liberados de la superficie de la mues-
tra cuando recibe un impacto del haz de electrones primarios.
Los electrones secundarios se generan mediante dispersión inelástica.

Enfoque Wobbel Función que desplaza el foco de la lente objetivo hacia delante y hacia
atrás a través del foco sobre el plano de la muestra. Cuando la apertura
está mal alineada, se observa un desplazamiento lateral.

Escintilador Sustancia que absorbe electrones y, como respuesta, hace que los foto-
nes se vuelvan fluorescentes mientras da salida a la energía previamente
absorbida.

Jaula Faraday Pequeño recipiente metálico aislado, equipado con una apertura a través
de la que los electrones pueden entrar, pero no salir. Se utiliza para medir
la corriente de la muestra en el SEM.

Medidor Penning Dispositivo para medir un alto vacío en el sistema de vacío.

Optibeam El programa Optibeam asume los requisitos relativos a la corriente de

haz, la distancia de trabajo, etc., y determina la configuración óptima de
la lente para lograr el mejor rendimiento de la columna. Optibeam fun-
ciona en muchos modos diferentes, los cuales pueden seleccionarse en
la pestaña Control Apertures del SEM.
Algunos modos de Optibeam no están disponibles cuando la apertura fija
está colocada.

Profundidad de campo Distancia a lo largo del eje óptico sobre la que puede moverse un objeto
en la muestra permaneciendo enfocado

Rayos X Tipo de radiación ionizante que se genera durante el funcionamiento de

los microscopios electrónicos

Manual de instrucciones EVO® es03 239 de 246

12. Glosario

240 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 13. Declaración de conformidad

13. Declaración de conformidad

Denominación: Microscopio electrónico de barrido (SEM)

Modelo: EVO®

ZEISS Ltd.
511 Coldhams Lane
Fabricante
Cambridge CB1 3JS
Reino Unido

El presente documento sirve para declarar que la maquinaria anteriormente mencionada cumple
todas las disposiciones pertinentes de la
• directiva 2006/42/CE.

Además, la maquinaria cumple las siguientes directivas y normas:

• Directiva 2004/108/CE
• Norma EN 60204-1
• Norma EN 61000-6-4
• Norma EN 61000-6-2
• Norma EN 61010-1
• Norma EN ISO 12100-1/2

Las modificaciones no autorizadas de la maquinaria dejarán sin validez la presente declaración.

Marca CE La marca de conformidad CE se encuentra en la placa de tipos de la maquinaria.

Manual de instrucciones EVO® es03 241 de 246

13. Declaración de conformidad

242 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 14. Índice

14. Índice

A F
Abreviaturas 237 Fichas de seguridad del material 24
Activación 65 Filamento 39
Administrador 13 Formación del operador 13
Adquisición automática de imágenes 101 Funcionamiento, seguro 215
Aire comprimido 231 Funciones automáticas 92
Alineación automática de apertura 94 Fungibles 159, 235
Alineación automática del cañón 93 Fusibles 230
Almacenamiento 64
Ánodo 39 H
Aperturas 39 Herramientas 236
Aplicación de tensión previa a la platina 126
Autosaturación 92 I
Ayuda 148 Inicialice la mesa 215
Instalación 65
C Instrucción de seguridad 10
Caída de tensión 232 Interfaz de usuario 27
Cámara de muestras 25
Carga 232 J
Cierre 233 Jaula Faraday 121, 239
Conformidad 241 Joystick dual 28
Convenciones, tipográficas 11 Junta espiral 160, 162
Corrección del desplazamiento 95
L
D Lastre de gas 231
Declaración 241
Deriva 232 M
Desaceleración del haz 128 Mantenimiento preventivo 159, 215, 227
Desconexión 158 Manual de software 9
Desconexión de emergencia 156, 232 Medidor Penning 231, 239
Desorción térmica 216, 239 Mesa de muestra 38
Desperdicio fijo 233 Modo campo 41
Detectores 43 Modo de análisis 41
Dispositivos de seguridad 20 Modo ojo de pez 42
Documentos, relacionados 9 Modo resolución 42
Modos operativos 41
E
EHT 39 N
Elementos químicos 159 Navegación de la imagen 100
Elevada corriente de fuga 16 Nitrógeno 16, 231
Eliminación 233
Eliminación de anomalías 231 O
Escintilador 160, 239 Ojo de pez (modo de columna) 42
Etiquetas de seguridad 21, 215 Operador 12
Evacuación 31 Operador, avanzado 12
Operador, con conocimientos básicos 12, 13

Manual de instrucciones EVO® es03 243 de 246

14. Índice

P
Panel de control, opcional 29
Paneles de chasis 20
Pérdidas de vacío 18
Período de inactividad de la máquina 159
Perspectiva general de mantenimiento 159
Potencia de dosis 15
Protección de haz 14
Protecciones 21

R
Radiación 14, 15
Rayos X 15
Repuestos 236
Requisitos de ubicación 60

S
Seguridad 10, 13, 14
Seguridad sísmica 21
Seguro de cierre de puerta de cámara 21
Selección del tipo de muestra 98
Sellado de la cámara de muestras 228
Servicio 14
Servicio al cliente 62
Sistema de vacío 30
SmartSEM® 12
Software 27

T
Teclado 29
Tensión de aceleración 39
Tensión previa baja de la platina 129
Tensión, peligrosa 14
Terminología 12
Transporte 63

U
Uso previsto 13
Usuario 12

V
Vacío 231
Vacío de cámara 30, 231
Vacío en el cabezal de filamento 31
Válvulas principales de corte 21
Ventilación 31

W
WEEE 234

244 del 246 Manual de instrucciones EVO® es03

 14. Índice

Manual de instrucciones EVO® es03 245 de 246

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