Control de Polarización en Dispositivos Ópticos

Integrados

Jose Darío Sarmiento Merenguel

 i

“Your time is limited, so don’t waste it living someone else’s life. Don’t be trapped
by dogma — which is living with the results of other people’s thinking. Don’t let
the noise of others’ opinions drown out your own inner voice. And most important,
have the courage to follow your heart and intuition. They somehow already know
what you truly want to become. Everything else is secondary.”

Steve Jobs
ii
Agradecimientos

En primer lugar quiero agradecer este trabajo a mis padres, pues es también fruto de su
esfuerzo y sacrificio. Gracias por haberme enseñado a ser como soy y haberme llevado siempre
por el buen camino. Hermano, aquí te demuestro que realmente estaba estudiando una carrera,
y no bebiendo cerveza, sabes de sobra lo mucho que te aprecio.
También quiero agradecérselo a mis abuelos, me habéis cedido parte de vuestra sabiduría con
el paso del tiempo y espero hacer buen uso de ella. Al resto de la familia, también os agradezco
todo el cariño que siempre me habéis dado, aunque pase poco tiempo con vosotros, no olvido
ninguno de los momentos.
A mi princesa, María, eres una pieza clave en el desarrollo de este trabajo, y que sin ti, nada
sería lo mismo. Gracias por haberme aguantado todo este tiempo, y haber soportado todas
mis quejas, espero que estos dos años tan sólo sean el principio de una vida juntos.
A mis amigos de toda la vida, pues aunque el tiempo pase y el contacto sea intermitente,
siempre será igual de fuerte. Alejandro, Juan y Cristian, vosotros también habéis ayudado a
que esto salga adelante.
A todos los que me habéis acompañado durante estos cinco años y me habéis ayudado en
el camino. Richard, Dj, Ana, Fran, Antonio,Tapia, Cósimo, David, Bola sin vosotros todo el
tiempo de estudio no hubiese sido tan ameno. Los días de estudio en la biblioteca guardan
secretos inconfesables.
No puedo seguir escribiendo sin hacer mención de mi tutor, Robert Halir, al cual admiro
por su capacidad de trabajo y su talento para transmitir conocimiento. Casi accidentalmente
topé contigo y no creo que hubiese mejor tutor para dirigir un proyecto, ojalá pueda seguir
trabajando contigo y aprendiendo de ti.
A todos los compañeros del laboratorio 1.3.2, por iluminarme durante este tiempo y haberme
recibido tan bien en esta pequeña familia que formáis, Carlos, Elena, Diego, Juanma, Álvaro y
Laureano, de verdad muchas gracias. A los profesores del grupo, Alejandro Ortega y Gonzalo
Wangüemert, el entusiasmo que desprendéis ayuda a que todo sea más fácil.
A mi compadre, Jose Raúl, por haberme ayudado con la redacción.
A Jose Antonio Mérida, porque no hay mejor ejemplo de esfuerzo y sacrificio. Ojalá puedas
ver esto, allá donde estés.

iii
iv
Índice general

1. Introducción 1

1.1. Contextualización . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1

1.2. Objetivos y Aportaciones del proyecto . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3

1.3. Organización del Proyecto . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3

2. Fundamentos de Luz Polarizada 5

2.1. Polarización de la luz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5

2.2. Descripción matemática de los estados de polarización . . . . . . . . . . . . . . 7

2.2.1. Vectores y matrices de Jones . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

2.2.2. Parámetros de Stokes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10

2.3. Desplazador de fase de polarización ideal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

2.4. Rotador de polarización ideal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

2.4.1. Giro de las componentes transversales del campo . . . . . . . . . . . . . 13

2.4.2. Rotador de polarización . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

2.5. Esfera de Poincaré . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

2.5.1. Descripción Teórica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

2.5.2. Representación de algunos dispositivos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17

3. Guías monomodo en tecnología SOI 19

3.1. Tecnología SOI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

3.2. Guía de onda en SOI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

v
vi ÍNDICE GENERAL

4. Análisis del rotador ajustable 25

4.1. Análisis del funcionamiento del rotador ajustable . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
4.1.1. Análisis con Matrices de Jones . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
4.1.2. Descripción de la implementación en Óptica Integrada . . . . . . . . . . 28
4.2. Estudio de la guía rotadora de polarización . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
4.2.1. Introducción y Análisis de funcionamiento . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
4.2.2. Efecto de las variaciones en ✓ y ' . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
4.2.3. Estudio de las tolerancias de fabricación mediante diferentes modelos . 35
4.2.3.1. Modelo basado en el ángulo de los modos . . . . . . . . . . . . 36
4.2.3.2. Modelo basado en matrices de solape . . . . . . . . . . . . . . 37
4.2.3.3. Simulación electromagnética completa . . . . . . . . . . . . . 40
4.2.3.4. Discusión de los Análisis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
4.3. Estudio de la guía desplazadora de fase de la polarización . . . . . . . . . . . . 41
4.3.1. Introducción y análisis de funcionamiento . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
4.3.2. Linealidad de los índices efectivos de la guía con las variaciones de tem-
peratura . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
4.3.3. Estudio del calentador . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
4.4. Análisis electromagnético del rotador de polarización ajustable . . . . . . . . . 46

5. Medidas de la guía de onda rotadora de polarización 49

5.1. Medida del ER de la guía de onda rotadora de polarización . . . . . . . . . . . 49
5.1.1. Set-up utilizado para la medida . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
5.1.2. Proceso de medida y resultados . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
5.1.2.1. Alineamiento . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
5.1.2.2. Caracterización de las guías de onda . . . . . . . . . . . . . . . 53
5.1.2.3. Resultados . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
5.1.3. Extrapolación de los resultados al problema concreto . . . . . . . . . . 57
5.2. Medida de las pérdidas de inserción . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
5.2.1. Set-up utilizado para la medida . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
5.2.2. Proceso de medida y resultados . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
5.2.3. Discusión de los resultados . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
ÍNDICE GENERAL vii

6. Preparación del Layout 61

6.1. Uso de la herramienta DrawMask . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61

6.2. Ampliación de la herramienta DrawMask . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

7. Conclusiones y líneas futuras 67

7.1. Conclusiones . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67

7.2. Líneas futuras . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

Bibliografía 68

A. Conversión entre parámetros de Stokes y Vectores de Jones 71

B. Tablas procedentes de la simulación 73

C. Resultados de las medidas realizadas 77

viii ÍNDICE GENERAL
Índice de figuras

1.1.1.Esquema del rotador de polarización ajustable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2

2.1.1.a) Campos eléctrico y magnético de una onda que se propaga en dirección ẑ . . 6

2.1.2.Estados de polarización fundamentales, en las figuras se muestran el campo

propagándose y el lugar geométrico que recorre el vector de campo en un tono
más oscuro. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

2.2.1.Conexión en cascada de sistemas ópticos dependientes de la polarización . . . . 9

2.4.1.Giro de la base. Nótese que aunque el campo es el mismo a la entrada que a la

salida, la base en la que se descompone éste presenta una rotación. . . . . . . . 13

2.4.2.Esquema de funcionamiento del rotador de polarización. . . . . . . . . . . . . . 14

2.5.1.(a) Definición de los ángulos de de ázimut y elevación . (b) Estados de

polarización sobre la esfera de Poincaré . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17

2.5.2.a)Evolución de la polarización a la salida de un desplazador de fase, para varias

polarizaciones de entrada. b) Evolución de la polarización a la salida de un
rotador de polarización. Polarización horizontal a la entrada, ✓ toma distintos
valores submúltiplos de ⇡/4 c) Evolución de la polarización a la salida de un
rotador de polarización. Para varias polarizaciones de entrada y ✓ = ⇡/4. En
todas las figuras se han representado los estados de polarización 1, 3 y 5 de la
tabla 2.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

3.1.1.Oblea SOI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

3.1.2.Errores debidos a las tolerancias de los procesos de fabricación . . . . . . . . . . 22

3.2.1.Guía de onda en tecnología SOI. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

3.2.2.a) Intensidad del modo TE. b)Intensidad del modo TM. Ambos propagándose
por una guía SOI de dimensiones 415x260 nm2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24

ix
x ÍNDICE DE FIGURAS

4.1.1.Diagrama de bloques del dispositivo a construir . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

4.1.2.Evolución de la polarización a lo largo del Rotador . . . . . . . . . . . . . . . . 27

4.1.3.Sección transversal de la guía de onda rotadora de polarización (a) y del des-

plazador de fase (b). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

4.2.1.Dimensiones de la guía rotadora de polarización y rotación de campos . . . . . 30

4.2.2.Perfiles de campo de los modos híbridos que se propagan a través de la guía

rotadora de polarización . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

4.2.3.(a) Rallado en azul, región de la esfera de Poincaré en la que ER>1/3. (b)

Región sobre la cual la rotación perfecta es posible. El borde la región de (b)
se corresponde con la circunferencia continua dibujada sobre la esfera de (a). . 33

4.2.4.Variación del ER en dB sobre la región de rotación perfecta, al variar la geo-

metría transversal del dispositivo . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

4.2.5.Variaciones de ' y de ✓, en función de variaciones en la geometría del dispositivo. 35

4.2.6.Región de posibles puntos de polarización a la salida de la guía rotadora para

incrementos de ' y ✓ de ±10 % . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35

4.2.7.Representación paramétrica de la guía rotadora de polarización . . . . . . . . . 36

4.2.8.ER para variaciones de la geometría transversal. En la tabla 4.1, se resumen las

consideraciones de cada modelo. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38

4.2.9.Estructura correspondiente al modelo basado en matrices de solape . . . . . . . 40

4.3.1.Variación del índice efectivo para los modos TE y TM en función de incrementos

de temperatura . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43

4.3.2.Rango de desfase alcanzado por el desplazador de fase de polarización, para

incrementos de temperatura de 0 a 40º C. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44

4.3.3.Variación de las pérdidas por unidad de longitud en función de la distancia

entre la guía rotadora y la resistencia metálica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46

4.4.1.Algoritmo de Optimización ER en el rotador de polarización ajustable . . . . . 47

4.4.2.(a) Evolución de la componente Ex al atravesar el rotador de polarización ajus-

table. (b) Evolución de la componente Ey al atravesar el rotador de polarización
ajustable. En ambos casos se excita el rotador con un modo TE . . . . . . . . . 48

5.1.1.Set-up para la medida del ER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50

5.1.2.Imagen de una parte del set-up utilizado . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52

ÍNDICE DE FIGURAS xi

5.1.3.ER para cada guía, clasificados por grupos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55

5.1.4.ER [dB], en función de grupo y guía. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57

5.2.1.Set-up utilizado para la medida de las pérdidas de inserción de las guías rota-
doras de polarización . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

5.2.2.(a) Tensión medida para el barrido en longitud de onda de una guía. (b) Medida
de las pérdidas para diferentes guías . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59

6.1.1.Ejemplo de máscara creada en Autocad . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63

6.2.1.Estructuras correspondientes (a) al layout de la guía rotadora de polarización y

(b) del calentador. Los tapers que aparecen en los extremos de la guía rotadora
de polarización sirven para reducir las pérdidas entre las guías normales y ésta. 65

6.2.2.Layout de un rotador de polarización ajustable completo. . . . . . . . . . . . . 65

7.2.1.Esquema de controlador de polarización integrado . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

xii ÍNDICE DE FIGURAS
Capítulo 1

Introducción

1.1. Contextualización

Las comunicaciones ópticas nacen en el momento en el que el ser humano es capaz de construir
el láser, y disponer así de una fuente de luz coherente. En ese momento surge la necesidad de
poder manipularla junto con la idea de usarla como sustituta a la corriente eléctrica en muchas
de las aplicaciones en las que ésta se utiliza. En el campo de las comunicaciones aparecen los
problemas de transmisión y procesado de la luz. Como medio de transmisión por excelencia
se ha establecido la fibra óptica, gracias a sus pérdidas de propagación extraordinariamente
reducidas, del orden de décima de decibelios por kilómetro. El procesado de luz, como puede ser
la división de potencia, introducción de desfases, o la manipulación de su estado de polarización
tradicionalmente se ha realizado con componentes de espacio libre (cubos separadores de haz,
láminas de retardo, ...), o componentes en fibra. La óptica integrada, también denominada
fotónica, persigue la implementación de estas funcionalidades en un chip monolítico. Esto no
sólo permite una drástica reducción de tamaño de los sistemas, si no que también los provee de
una mayor robustez frente a perturbaciones externas. Existen pues ciertos paralelismos entre
los principios de la microelectrónica y la actual óptica integrada.
La inmensa y creciente demanda de servicios que hacen uso de las redes de comunicaciones ha
promovido el uso de las comunicaciones ópticas en las grandes redes troncales. Aunque el ancho
de banda requerido por un usuario medio no sea muy grande, el tráfico que soportan las redes
troncales de un país puede alcanzar cifras muy elevadas: por ejemplo el nodo de intercambio
de internet de Frankfurt alcanza diariamente tasas de 2.5 Terabit/s [1]. El aumento actual de
servicios telemáticos junto a la penetración en la sociedad del uso de internet, ha provocado
que las redes ya desplegadas no sean suficientes para satisfacer las necesidades requeridas.
Por este motivo los proveedores de servicios realizan inversiones para aumentar el ancho de
banda disponible. Una de las alternativas es utilizar la multiplexación en polarización. Si se

1
2 CAPÍTULO 1. INTRODUCCIÓN

ROTADOR ROTADOR ROTADOR

DEGRADADO ELEMENTO DE AJUSTE DEGRADADO ELEMENTO DE AJUSTE DEGRADADO

ROTADOR
IDEAL

Figura 1.1.1: Esquema del rotador de polarización ajustable

consiguen superponer dos señales con polarizaciones ortogonales, supongamos horizontal y

vertical, entonces la capacidad de la red se multiplicará por dos [2]. Sobra decir que el coste
que puede llevar el desarrollo es mucho menor que el despliegue de más cables de fibra óptica.

Para poder transmitir dos polarizaciones ortogonales en una misma fibra, es necesario, entre
otros requisitos, que el equipo receptor, ya sea discreto o integrado, sea capaz de manejar la
polarización recibida. La integración ofrece varias ventajas, entre las que destacan la robustez
y la reducción del coste, ya que permite la fabricación a gran escala. Con el fin de manejar la
polarización aparecen configuraciones de receptores integrados con diversidad de polarización.
En este tipo de receptores, un elemento clave es el rotador de polarización integrado. El rotador
de polarización es un dispositivo fotónico capaz de convertir la polarización horizontal a su
entrada en vertical a su salida, y viceversa.

La mayoría de soluciones propuestas para implementar rotadores de polarización integrados

requiere una precisión del orden de decenas de nanómetros en sus dimensiones para funcionar
correctamente [3–8]. Las tecnologías de fabricación actuales no son capaces de alcanzar tole-
rancias de fabricación tan ajustadas, y por tanto sólo una pequeña parte de los dispositivos
fabricados resultan funcionales.

Recientemente se ha propuesto, de manera teórica, un esquema de un rotador de polarización

ajustable, que es capaz de compensar parcialmente el efecto de las tolerancias de fabricación [9].
Como se muestra en la figura 1.1.1 el esquema completo se compone de:

Tres rotadores de polarización convencionales, y por lo tanto susceptibles a errores intro-

ducidos por las tolerancias de fabricación. Por tanto, una vez fabricados, las prestaciones
de cada uno de los rotadores previsiblemente será pobre.

Dos elementos de ajuste que se intercalan entre los rotadores de polarización convencio-
nales. Configurando adecuadamente estos elementos el conjunto se comporta como un
rotador de polarización con buenas prestaciones.
1.2. OBJETIVOS Y APORTACIONES DEL PROYECTO 3

1.2. Objetivos y Aportaciones del proyecto

El trabajo que se desarrollará a lo largo de este proyecto fin de carrera, tiene como objetivo
principal contribuir a la construcción del dispositivo ideado en [9]. Dicho dispositivo supone
un gran progreso en el control de polarización, ya que hasta el momento los rotadores de
polarización integrados no podían ajustarse una vez construidos.

En el momento de iniciar este trabajo se dispone de:

un diseño de una guía rotadora de polarización convencional [8] que se pretende usar
como base para el rotador de polarización ajustable.

un chip fotónico con un conjunto de estas guías fabricadas.

un diseño preliminar de los elementos de ajuste.

Los objetivos principales que se desarrollan en este proyecto son:

1. Estudio de la tolerancia a errores de la guía rotadora de polarización mediante simula-

ciones electromagnéticas.

2. Estudio de los elementos de ajuste.

3. Medida y caracterización de las guías rotadoras de polarización del chip.

4. A partir de dichas medidas, determinar qué guías son las más adecuadas para el rotador
ajustable.

5. Preparación del layout del rotador ajustable, que permita iniciar la fabricación de un
prototipo del mismo.

Todo el trabajo que se realiza en este proyecto, permitirá la realización del rotador ajustable
de la figura 1.1.1. Sin embargo, la realización del prototipo y su caracterización están fuera del
alcance de este trabajo. Como principales aportaciones del mismo cabe destacar: el estudio
exhaustivo de tolerancias de las guías rotadoras de polarización y la caracterización de las
guías rotadoras de polarización ya fabricadas.

1.3. Organización del Proyecto

Este proyecto está compuesto por siete capítulos, que cubren el trabajo desarrollado durante la
realización del mismo. En el presente capítulo, además de justificar la necesidad de rotadores
4 CAPÍTULO 1. INTRODUCCIÓN

de polarización ajustables, se establecen los objetivos que se desarrollarán a lo largo del pro-
yecto. Un breve repaso de los fundamentos de la luz polarizada será presentado en el capítulo
2. Además se proporcionarán todas las herramientas matemáticas con las que se describirán
formalmente los elementos fotónicos que permiten el manejo de la polarización. En el capítulo
3 se proporciona una breve introducción a la tecnología Silicon-on-insulator, que es la elegida
para la implementación del rotador de polarización ajustable. Se detallará la tecnología utiliza-
da para fabricar el dispositivo, se describirá cuáles son las principales características de dicha
tecnología, y se discutirá cómo se propaga la luz a través de ella. El capítulo 4, cuyo contenido
forma parte del núcleo del presente proyecto, se centra en estudiar el rotador de polarización
ajustable, descomponiéndolo en sus bloques básicos. Se realizará un profundo estudio de cómo
varían las prestaciones de una guía rotadora de polarización cuando las dimensiones de la
geometría transversal difieren de las del diseño, debido a los errores introducidos a causa de
las tolerancias de fabricación. Por otro lado, también se estudiará en el capítulo cuatro cómo
implementar los elementos de ajuste. El capítulo 5 trata de la caracterización experimental de
las guías rotadoras que se incluirán en el esquema del rotador ajustable. Dado que los resulta-
dos de las medidas son satisfactorios, en el capítulo 6, se realizará una primera aproximación
al diseño de la máscara del rotador de polarización ajustable. Se partirá de un software propio
del grupo de investigación, sobre el que se realizarán algunas modificaciones, y se obtendrá
un posible layout del dispositivo a fabricar. Finalmente, en el capítulo 7, se expondrán las
conclusiones y líneas futuras de este trabajo.
Capítulo 2

Fundamentos de Luz Polarizada

En este capítulo se describirán cualitativa y cuantivamente los fundamentos físicos de la luz

polarizada. En primer lugar, en la sección 2.1 se definirá qué es la polarización de la luz y cuáles
son los estados que ésta puede adoptar. En la sección 2.2, se describirán matemáticamente los
distintos estados de polarización. Posteriormente, se introducirán en 2.3 y 2.4 dos elementos
básicos capaces de modificar los estados de polarización de la luz. Para acabar el capítulo, en la
sección 2.5 se presentará una herramienta gráfica de representación de los distintos estados de
polarización de la luz. A lo largo de estas secciones se presentarán las bases teóricas necesarias
para una correcta comprensión de los siguientes capítulos.

2.1. Polarización de la luz

La luz, tratada como una onda electromagnética plana, está compuesta por los campos eléctrico
~ y magnético (H).
(E) ~ Ambos campos son perpendiculares entre sí y perpendiculares a la
dirección de propagación de la onda. El caso más simple es el ilustrado en la figura 2.1.1a.
Como se puede observar, en este ejemplo tenemos una onda que se propaga en dirección ẑ, con
el campo eléctrico en un plano perpendicular a la dirección de propagación (dirección x̂) y el
campo magnético en un plano perpendicular a ambos (dirección ŷ). Así, se define el estado de
polarización de una onda electromagnética como el lugar geométrico que recorre el extremo
del vector del campo eléctrico en un plano perpendicular a la dirección de propagación a lo
largo del tiempo.

La luz como onda electromagnética forma un campo vectorial, el cual queda descrito mediante
las siguientes expresiones, en el caso de una onda plana, monocromática, no homogénea que
se propaga a lo largo del eje z:

5
6 CAPÍTULO 2. FUNDAMENTOS DE LUZ POLARIZADA

Campo Eléctrico
Campo Magnético

1
0.5 8
0
6
−0.5
4 Z
1
0.5 2
0
−0.5
0

(a)

Figura 2.1.1: a) Campos eléctrico y magnético de una onda que se propaga en dirección ẑ

~
E(x, y, z) = (Ex (x, y)x̂ + Ey (x, y)ŷ)ej(!t z)
(2.1.1)

~
H(x, y, z) = (Hx (x, y)x̂ + Hy (x, y)ŷ)ej(!t z)
(2.1.2)
~ y H
A partir de este momento, como los campos E ~ siempre son perpendiculares entre sí,
~ y hablaremos únicamente del campo E
obviaremos el campo H ~ para simplificar el desarrollo
teórico. En las ecuaciones vemos que cada componente transversal está compuesta por una
componente escalar de campo que depende de un punto del espacio. Dicha componente recibe
el nombre de amplitud compleja, y queda definida por un módulo y una fase.

Ex (x, y) = |Ex (x, y)| ej x

(2.1.3)
Ey (x, y) = |Ey (x, y)| ej y

Una forma alternativa, de definir ambas componentes es a partir de sus diferencias de fase,

Ex (x, y) = |Ex (x, y)| ej' x̂

(2.1.4)
Ey (x, y) = |Ey (x, y)| ŷ

Donde ' es la diferencia de fases. Esta alternativa será usada en secciones posteriores.

Así, la polarización de una onda electromagnética variará en función del desfase ('), entre
ambas componentes y la relación entre los módulos. En función de estos parámetros, clasi-
ficaremos la polarización de una onda electromagnética en tres grupos: polarización lineal,
polarización circular y polarización elíptica. En la tabla 2.1 se describen las condiciones que
se han de cumplir para que la polarización de una onda electromagnética se encuentre en uno
de los posibles estados.
2.2. DESCRIPCIÓN MATEMÁTICA DE LOS ESTADOS DE POLARIZACIÓN 7

Polarización Módulo Desfase (')

Lineal |Ex (x, y)| S |Ey (x, y)| '=0
Circular |Ex (x, y)| = |Ey (x, y)| ' = ±⇡/2
Elíptica |Ex (x, y)| =
6 |Ey (x, y)| ' 6= 0

Tabla 2.1: Módulo y fase relativa de familia de estados de polarización

El estado de polarización más general es el elíptico, ya que los otros dos pueden verse como
casos particulares de éste. Concretamente, un estado de polarización lineal es un caso de
polarización elíptica en el que uno de los ejes de la elipse es nulo. Por otro lado, un estado
de polarización circular es un caso de polarización elíptica en el que los dos ejes tienen el
mismo módulo y además el desfase es ' = ±⇡/2. Para profundizar más en el tema se propone
consultar [10]. A continuación, y para finalizar esta sección, se ilustran algunos estados de
polarización:

Ey[V/m]
0.5
0.5 0.5 0
Ey[V/m]

E [V/m]

8 8
0 0 −0.5 8
−0.5 6 −0.5 6 −1
y

6
4 4 1 4
0.5 0 2 0.5 2 0
0 −1 2
−0.5 Z −0.5 Z Ex[V/m] Z
Ex[V/m] 0 Ex[V/m] −1 0 0

(a) Polarización Lineal (b) Polarización Circular (c) Polarización Elíptica

Figura 2.1.2: Estados de polarización fundamentales, en las figuras se muestran el campo

propagándose y el lugar geométrico que recorre el vector de campo en un tono más oscuro.

2.2. Descripción matemática de los estados de polarización

El manejo de la polarización puede resultar tedioso si se usan las expresiones completas de los
campos, ya introducidas en las ecuaciones 2.1.1 y 2.1.2. Más aún si la onda electromagnética
atraviesa distintos medios que afectan de modo diferente a la forma en la que ésta se propa-
ga. Así pues, es deseable el uso de una notación alternativa que simplifique el manejo de la
polarización.

A mediados del siglo XIX aparece la primera alternativa a la descripción analítica del estado de
polarización, los parámetros de Stokes, fruto del trabajo de G.G. Stokes. La principal ventaja
que introducen es que permitían caracterizar la polarización de una onda a partir de parámetros
observables, en este caso, la potencia óptica a la salida un filtro. Como complemento a éstos,
8 CAPÍTULO 2. FUNDAMENTOS DE LUZ POLARIZADA

un siglo después aparecen los parámetros de Jones, presentados por el físico norteamericano
R. Clark Jones. Los parámetros de Stokes son especialmente útiles para la caracterización
experimental de dispositivos que alteran la polarización de la luz. Por otro lado, los parámetros
de Jones, son más útiles para trabajar en el análisis teórico de dispositivos que modifican el
estado de polarización de la luz.
Operar con parámetros de Stokes es más complejo, pues se trata de vectores de dimensión 4⇥1,
frente a vectores 2 ⇥ 1 en el caso de Jones, pero los anteriores presentan varias ventajas sobre
estos últimos. La primera de ellas es que contemplan el caso de luz totalmente despolarizada.
Otra ventaja es que los parámetros de Stokes tienen un sistema de representación muy robusto
que permite observar como varía la polarización a lo largo de un sistema óptico, la Esfera de
Poincaré, que será descrita en futuros apartados. No obstante, siempre será posible transformar
un vector de Stokes en un vector de Jones y viceversa (ver el desarrollo en Apéndice A), luego
usaremos uno u otro en función del nuestro interés final.

2.2.1. Vectores y matrices de Jones

Los vectores de Jones son una forma natural de representar el estado de polarización de la luz
coherente. Se pueden representar las componentes del campo (2.1.3) en forma de vector:
" #
~ = |Ex (x, y)| ej x
E . (2.2.1)
|Ey (x, y)| ej y

Operando sobre 2.2.1, sacando factor común a la fase, y dividiendo por el módulo del campo
transversal para obtener una expresión normalizada obtenemos el vector de Jones:

" # " # " #

1 |Ex (x, y, z)| ej' |ex (x, y, z)| ej' J1
Ẽ = q = = (2.2.2)
|Ex (x, y|2 + |Ey (x, y)|2 |Ey (x, y, z)| |ey (x, y, z)| J2

donde ' = x y.

El hecho de realizar estas operaciones implica perder información sobre la fase y módulos
absolutos del campo. Esta pérdida de información queda justificada ya que la mayoría de las
aplicaciones sólo precisan un conocimiento del valor relativo de estas medidas. Por lo tanto,
un vector de Jones queda reducido una matriz de 2 ⇥ 1 en la que el primer elemento contiene
el módulo normalizado de la componente x̂ del campo y la fase relativa entre las componentes
x̂ e ŷ del campo, y el segundo elemento contiene el módulo normalizado de la componente ŷ 1 .
1
Si se elige como referencia la fase de la componente x̂, entonces la fase aparecerá en el segundo elemento
de la matriz.
2.2. DESCRIPCIÓN MATEMÁTICA DE LOS ESTADOS DE POLARIZACIÓN 9

Durante el desarrollo de este proyecto, en la mayoría de los casos usaremos vectores y matrices
de Jones para describir los dispositivos, por esta razón vamos a indagar algo más en cuanto a
las matrices de Jones. En la siguiente ecuación se muestra como se relacionan dos vectores de
Jones a la entrada y la salida de un elemento óptico definido con una matriz de Jones:

Ẽout = J ⇥ Ẽin (2.2.3)

Como se puede observar, la matriz de Jones es una matriz cuadrada de orden dos. Esta matriz,
multiplicada por el vector de Jones a la entrada del sistema, proporciona el vector de Jones
que define el estado de polarización a la salida del sistema. Definamos una matriz de Jones
genérica, del siguiente modo:

" #
J11 J12
J= (2.2.4)
J21 J22

El elemento J11 relaciona la componente x̂ del campo a la entrada con la componente x̂

del campo a la salida.

El elemento J12 relaciona la componente ŷ del campo a la entrada con la componente x̂

del campo a la salida.

El elemento J21 relaciona la componente x̂ del campo a la entrada con la componente ŷ

del campo a la salida.

El elemento J22 relaciona la componente ŷ del campo a la entrada con la componente ŷ

del campo a la salida.

Ẽin Ẽinter Ẽout

A B
Figura 2.2.1: Conexión en cascada de sistemas ópticos dependientes de la polarización

Por último, veamos como se concatenan matrices de sistemas ópticos que manipulan la polari-
zación, conectándolos en cascada. Sean JA y JB las matrices que definen los sistemas ópticos
representados la figura 2.2.1, de acuerdo a la ecuación 2.2.3, se debe de cumplir que:

Ẽout = JB ⇥ Ẽinter (2.2.5)

10 CAPÍTULO 2. FUNDAMENTOS DE LUZ POLARIZADA

Ẽinter = JA ⇥ Ẽin (2.2.6)

Si sustituimos la expresión de Ẽinter de la ecuación 2.2.6 en la ecuación 2.2.5, tendremos que:

Ẽout = JB ⇥ JA ⇥ Ẽin (2.2.7)

Por lo tanto, se puede redefinir al sistema con una nueva matriz de Jones Jeq = JB ⇥ JA , y
relacionar los vectores de Jones del campo a la salida con los del campo a la entrada. Vemos
pues que el cascadeo de sistemas ópticos dependientes de la polarización se translada a la
multiplicación de matrices de orden 2. Por ejemplo, si la luz atraviesa los elementos J1 , J2 , J3
.... Jn , entonces la multiplicación de matrices se realizará tal que: Jn ⇥ ... ⇥ J3 ⇥ J2 ⇥ J1 .

2.2.2. Parámetros de Stokes

Estos parámetros describen el estado de polarización de la luz a partir de cuatro magnitudes

físicas observables. Dichas magnitudes son las potencias ópticas transmitidas a la salida de 4
polarizadores, es decir, filtros de polarización, no consecutivos, obtenidas empleando un medi-
dor de potencia. El primer filtro es isótropo, dejando pasar todos los estados de polarización.
El segundo y el tercero son filtros cuyos ejes de transmisión son lineal horizontal y lineal a
45 . Por su parte el último filtro es un polarizador circular. A partir de las potencias medidas
a la salida de cada filtro se definen los cuatro parámetros de Stokes del siguiente modo:

S0 = 2P0
S1 = 2P1 2P0
(2.2.8)
S2 = 2P2 2P0
S3 = 2P3 2P0

Dichos parámetros de Stokes están relacionados con las componentes transversales del campo,
de modo que a partir de ellos se pueden deducir el módulo de cada componente y la fase relativa
entre ambas. La relación entre los parámetros de Stokes y las componentes transversales es :

S0 = |Ex |2 + |Ey |2
S1 = |Ex |2 |Ey |2
(2.2.9)
S2 = 2 |Ex | |Ey | cos '
S3 = 2 |Ex | |Ey | sin '

donde ' = x y representa el desfase relativo entre ambas componentes. Habiendo in-
troducido ya los conceptos de polarización, se puede dar una explicación cualitativa de qué
2.3. DESPLAZADOR DE FASE DE POLARIZACIÓN IDEAL 11

representa cada parámetro de Stokes:

S0 : Representa la potencia total de la onda electromagnética, polarizada y no polarizada.

S1 : Cuantifica qué potencia de la anterior está polarizada.

S2 : De la potencia polarizada, este parámetro nos da una idea del desfase entre la com-
ponentes transversales del campo.

S3 : Este parámetro, junto a S2 , nos permite calcular las fases de Ex y Ey .

h i
Los parámetros de Stokes, se pueden representar de forma vectorial, tal que S̄ =S 0 S1 S 2 S3 .
Al igual que para relacionar vectores de Jones existen las Matrices de Jones, para relacionar
parámetros de Stokes, existen otras matrices denominadas matrices de Mueller. Estas matrices
son de orden 4, y su interpretación no es tan simple como la de las matrices de Jones. Ya que
no se usarán a lo largo de este proyecto, no profundizaremos aquí en su estudio. El lector
interesado puede referirse a [10] para más información.

2.3. Desplazador de fase de polarización ideal

En esta sección, se detallará el funcionamiento de un dispositivo que manipula el desfase del

estado de polarización, obteniendo una matriz de Jones que describe su funcionamiento. Se
trata de un elemento básico, ya que en el desarrollo de este proyecto se hace un uso intensivo
del mismo.

En óptica, un desplazador de fase de polarización ideal es un dispositivo que varía la fase

relativa entre las componentes de los campos que se propagan a través de él. De acuerdo a
2.2.2, un desplazador de fase debe ser capaz de modificar ', sin modificar el módulo de cada
componente. Para conseguir este propósito, se hace uso de la anisotropía del material a través
del cual se propaga la onda. Esta anisotropía hace que la constante de fase no sea la misma
para las componentes del campo, con lo cual la ecuación 2.1.1 toma la forma:

~
E(x, y) = (Ex (x, y)ej xz
x̂ + Ey (x, y)ej yz
ŷ)e j!t
(2.3.1)

Si representamos este campo en forma matricial tendremos una nueva componente en fase
para cada uno de los elementos:

" #
~ |Ex (x, y)| ej( x + x z)
E(z) = (2.3.2)
|Ey (x, y)| ej( y + y z)
12 CAPÍTULO 2. FUNDAMENTOS DE LUZ POLARIZADA

Suponiendo que el módulo de cada componente es unitario, definiendo '0 = x y como el

desfase inicial de las componentes de entrada, y dado que 4 = x y debido a la anisotropía
del material, el vector de Jones asociado al campo en función de la longitud (L) se puede definir
como: " #
ej('0 +4 L)
Ẽ(L) = (2.3.3)
1

Por lo tanto, obtendremos diferentes desfases en función de la longitud del dispositivo. Si

relacionamos los campos a la entrada (z = 0) con los campos a la salida (z = L) usando la
ecuación 2.3.3 se puede deducir fácilmente la matriz de Jones asociada al desplazador de fase
de polarización:

" # " #
ej4 L 0 ej' 0
JP P S (') = = (2.3.4)
0 1 0 1

donde ' es el incremento de fase relativa que se produce entre las componentes de los campos
al atravesar el dispositivo. Una característica importante a mencionar sobre el desplazador de
fase de polarización, de cara a la aplicación que se le dará a lo largo de este proyecto, es que
no existe una transferencia de energía entre las polarizaciones de entrada ya que jij = 0 para
i 6= j.

Normalmente no se realizará el diseño en función del desfase que tienen los campos a la entrada
del dispositivo, ya que es difícil de conocer. Así, el diseño se realizará para conseguir incre-
mentos de fase, '. Esto simplifica la ecuación de diseño, ya que la longitud para incrementar
el desfase vendrá dada por:

'
z=L= (2.3.5)
4

2.4. Rotador de polarización ideal

Esta sección es la más relevante del presente capítulo, ya que se puede considerar la piedra
angular del proyecto. En ella se describe el funcionamiento del rotador de polarización y, al
igual que en la sección anterior, al final de la misma se presentará una matriz de Jones que
describe el comportamiento del dispositivo.

El rotador de polarización ideal es un dispositivo que varía la polarización del campo a la salida
con respecto a la polarización del campo de entrada. Su comportamiento es más complejo de
describir, por lo que en este caso habrá que hacer uso de la concatenación de matrices de Jones.
Un rotador de polarización es un desplazador de fase de polarización, que además incluye la
2.4. ROTADOR DE POLARIZACIÓN IDEAL 13

posibilidad de realizar un transvase de energía entre las componentes del campo. El lector ya
puede deducir que la matriz resultante del rotador de polarización tendrá jij 6= 0 para i 6= j.

Identificando el rotador de polarización como un sistema, éste se puede modelar como la

concatenación de tres subsistemas ópticos manipuladores de la polarización. El primero de
ellos, establece un giro de ✓ (✓ se denominará a partir de ahora ángulo de proyección) de la
base en la cual se representan las componentes transversales del campo, y por ende el estado
de polarización. El segundo sistema realiza un desplazamiento de ' de la fase relativa de las
componentes del campo sobre esta nueva base. Por último, el tercer subsistema, se encarga de
realizar el giro opuesto, volviendo así a la base original. Si cada subsistema se representa con
una matriz de Jones, el sistema total, se definirá tal que:

JR (', ✓) = JP ( ✓) ⇥ JP P S (') ⇥ JP (✓) (2.4.1)

De las nuevas matrices que aparecen, ya conocemos el funcionamiento de JP P S ('), por lo

tanto solo tenemos que definir JP (✓), que se corresponde con la matriz de giro de la base en la
que se representan las componentes transversales del campo. En el apartado 2.4.1, se detallará
cómo describir matemáticamente el giro de la base introducido en la ecuación 2.4.1, para luego
concatenar todas las matrices y obtener en el apartado 2.4.2, el funcionamiento del sistema
completo.

2.4.1. Giro de las componentes transversales del campo

En este subapartado, expondremos en qué consiste el giro de la base en la que se representan

las componentes transversales del campo. En la figura 2.4.1, se detalla gráficamente en qué
consiste éste:

ŷ ŷ 0
x̂0 ✓
x̂
EIN R(✓) EOU T

Figura 2.4.1: Giro de la base. Nótese que aunque el campo es el mismo a la entrada que a la
salida, la base en la que se descompone éste presenta una rotación.

Este giro provocará que la expresión del campo definida en 2.1.1 sufra una variación, obte-
niéndose la siguiente expresión modificada:

~
E(x, y) = (Ex (x, y)x̂0 + Ey (x, y)ŷ 0 ) (2.4.2)
14 CAPÍTULO 2. FUNDAMENTOS DE LUZ POLARIZADA

ŷ ŷ 0 ŷ 0 ŷ 0 ŷ
x̂0 x̂0
x̂ x̂0 x̂
A B C D E
Figura 2.4.2: Esquema de funcionamiento del rotador de polarización.

donde x̂0 e ŷ 0 forman la nueva base. Si el ángulo de giro queda definido por ✓, entonces:

x̂0 = x̂ cos ✓ + ŷ sin ✓

(2.4.3)
ŷ 0 = x̂ sin ✓ + ŷ cos ✓

Si sustituimos el valor de x̂0 e ŷ 0 de la ecuación 2.4.3 en la ecuación 2.4.2, obtendremos la

siguiente expresión,

~
E(x, y) = Ex (x, y)(x̂ cos ✓ + ŷ sin ✓) + Ey (x, y)( x̂ sin ✓ + ŷ cos ✓) (2.4.4)

Tomando el campo definido en la ecuación 2.1.1 como el campo a la entrada del sistema, y
el introducido en la ecuación 2.4.4 como el campo a la salida, es posible definir la matriz de
Jones que describe el giro de la base en la que se representan las componentes transversales
del campo como:

" # " #" #

Ex0 cos ✓ sin ✓ Ex
= (2.4.5)
Ey 0 sin ✓ cos ✓ Ey

Esta matriz se denominará a partir de ahora matriz de proyección JP (✓).

2.4.2. Rotador de polarización

Definida la matriz de giro, el último paso para obtener la matriz que define el rotador de pola-
rización es realizar la multiplicación de matrices propuesta en la ecuación 2.4.1. Sustituyendo
cada término de la ecuación por su correspondiente matriz de Jones, llegamos a:

" #" #" #

cos ✓ sin ✓ ej' 0 cos ✓ sin ✓
JR (✓, ') = (2.4.6)
sin ✓ cos ✓ 0 1 sin ✓ cos ✓

Finalmente, multiplicando las matrices, se llega a la matriz de rotación:

2.5. ESFERA DE POINCARÉ 15

" #
sin 2✓
ej' cos2 ✓ + sin2 ✓ 2 (1 ej' )
JR (✓, ') = sin 2✓
(2.4.7)
2 (1 ej' ) cos2 ✓ + ej' sin2 ✓

Simplificando un poco más la expresión, se obtiene:

" #
cos2 ✓ + ej' sin2 ✓ jej'/2 sin '/2 sin 2✓
JR (✓, ') = (2.4.8)
jej'/2 sin '/2 sin 2✓ ej' cos2 ✓ + sin2 ✓

De la matriz de Jones resultante, los elementos de interés, de cara a la rotación de polarización

son J21 (✓, ') y J12 (✓, ') ya que nos da una idea de la cantidad de energía que transfiere de
una componente de campo a otra. Los dos grados de libertad que tendremos para diseñar el
rotador de polarización serán por lo tanto el desfase entre las componentes transversales del
campo, ' , y el ángulo de proyección, ✓.
En la figura 2.4.2 se muestra todo el proceso de rotación de polarización, para un caso concreto.
En A, guía de acceso a la guía rotadora de polarización, tenemos representados los módulos
de las componentes Ex y Ey del campo sobre una base canónica, pero al llegar a B, donde se
produce el giro de la base, los módulos de las componentes en Ex y Ey varían con respecto a
las de la base canónica. El estado de polarización sigue siendo el mismo, pero varía la base en
la que se descompone. Conforme el campo se propaga en C, que es un desplazador de fase de
polarización, se produce un desfase entre las componentes Ex0 y Ey0 , lo que provoca que varíe
el estado de polarización. Al llegar al final de C la polarización habrá rotado un determinado
ángulo en función de la longitud de esta etapa. Finalmente en D se produce un giro de la base,
en este caso, el inverso al que se produjo en B.
El resultado del proceso es un cambio en las componentes sobre la base canónica afectando
esto al estado de polarización. Nótese aunque no se ha comentado nada acerca la fase entre
componentes Ex y Ey , ésta se habrá visto afectada a lo largo del proceso.

2.5. Esfera de Poincaré

Cuando se presentaron los conceptos teóricos sobre los estados de polarización y los parámetros
de Stokes, se comentaron dos conceptos fundamentales:

1. El estado de polarización más general es el elíptico, ya que los otros dos son casos
particulares del mismo.

2. Los parámetros de Stokes definen el campo a partir de cuatro medidas escalares, de las
cuales sólo tres nos informan acerca del estado de polarización y definen la elipse de
polarización.
16 CAPÍTULO 2. FUNDAMENTOS DE LUZ POLARIZADA

Con los tres últimos parámetros de Stokes, es posible definir una elipse de polarización. La
esfera de Poincaré no es más que una representación de los tres últimos parámetros de Stokes,
que definen la elipse de polarización, propuesta por Henri Poincaré [11]. Dicha esfera es el
resultado de transformar una elipse de polarización sobre un punto de la superficie de una
esfera.

En el apartado 2.5.1 se proporcionará una descripción teórica de la esfera de Poincaré, además

se mostrará la relación entre parámetros de Stokes y las coordenadas en la esfera de Poincaré.
Finalmente, en el apartado 2.5.2, se mostrará sobre la esfera de Poincaré el funcionamiento de
los dispositivos descritos en las secciones 2.3 y 2.4.

2.5.1. Descripción Teórica

Se podría decir que la esfera de Poincaré es la Carta de Smith de la polarización. Así pues,
el proceso para trasladar un estado de polarización, que normalmente vendrá descrito por un
vector de Jones, consiste en convertirlo en un vector de parámetros de Stokes, y posteriormente
transformarlo en un punto de la esfera de Poincaré.

Cualquier punto de la esfera de Poincaré vendrá determinado por su ázimut ( ) y su elevación

( ), mostrados en la figura 2.5.1a. Dichos parámetros, se pueden obtener directamente de los
parámetros de Stokes aplicando la siguiente relación

2 = arctan S2 /S1
(2.5.1)
2 = arctan p S23 2
S1 +S2

Por lo tanto, conocida la polarización de una onda electromagnética, será posible describirla
usando parámetros de Stokes y a su vez representarla en la Esfera de Poincaré. En la tabla
2.2, se puede observar la equivalencia de algunos estados de polarización descritos mediante
parámetros de Stokes y sus coordenadas correspondientes sobre la esfera de Poincaré. Dichas
coordenadas también se muestran gráficamente en la figura 2.5.1a.

Descrito el funcionamiento de la esfera, el lector puede ver los estados de polarización mos-
trados en la figura 2.5.1b. En esta figura se muestra de forma gráfica que tipo de polarización
corresponde a qué punto de la esfera de Poincaré. A partir de ahora el lector puede, sin más
que ver un punto sobre la esfera, imaginarse el tipo de polarización que éste tiene.

Se podrían establecer de algún modo la siguientes relaciones:

Cuanto más se aleja un punto del ecuador de la esfera, más circular es el estado de
polarización.
2.5. ESFERA DE POINCARÉ 17

6
2 5
2
1

4 __________
(a) (b)

Figura 2.5.1: (a) Definición de los ángulos de de ázimut y elevación . (b) Estados de
polarización sobre la esfera de Poincaré

El estado de polarización de cualquier punto que esté sobre el ecuador de la esfera es

lineal.

El ázimut de cualquier punto, da información acerca de que porcentaje de energía se

concentra en cada componente transversal: cuanto más cercano al valor 0, el porcentaje
de energía en la componente x será mayor, mientras que para valores próximos a ⇡ será
la componente y la dominante.

Los polos de la esfera representan la polarización circular.

2.5.2. Representación de algunos dispositivos

Para terminar el capítulo, se va a representar la variación de la polarización de un haz de luz

al atravesar los dispositivos descritos en los apartados 2.3 y 2.4.

Polarización Parámetros de Strokes Coordenadas esféricas ( , ) Número

Lineal H [1, 1, 0, 0]T (0,0) 1
Lineal V [1, 1, 0, 0]T (⇡,0) 2
Circular a Derechas [1, 0, 0, 1]T (0,⇡/2) 3
Circular a Izquierdas [1, 0, 0, 1]T (0,-⇡/2) 4
Oblicua a 45º [1, 0, 1, 0]T (⇡/2,0) 5
Oblicua a -45º [1, 0, 1, 0]T (-⇡/2,0) 6

Tabla 2.2: Equivalencia entre parámetros de Stokes y coordenadas esféricas. Los números se
refieren a los puntos marcados en la figura 2.5.1a.
18 CAPÍTULO 2. FUNDAMENTOS DE LUZ POLARIZADA

En la figura 2.5.2a se ha representado la variación de la polarización a la salida de un despla-

zador de fase considerando diferentes polarizaciones de entrada arbitrarias (cada polarización
se corresponde en la figura con un punto en una circunferencia). En concreto se ha realizado
un barrido de longitud de modo que ' varía entre 0 y 2⇡.

Por otro lado, en la figura 2.5.2b se ha representado como varía la polarización a la salida de
un rotador de polarización para diferentes ángulos de proyección (✓), manteniendo constante la
longitud del rotador y fijando la polarización de entrada. En la figura 2.5.2c se han representado
para varias polarizaciones de entrada arbitrarias y un ángulo de proyección de la base de 45o ,
cómo varía la polarización a la salida de un rotador de polarización para una longitud tal que
' varía entre 0 y 2⇡.

Si superponemos las figuras 2.5.2a y 2.5.2c, se puede deducir, que partiendo de cualquier punto
de la esfera, y haciendo uso de tantos rotadores y desplazadores de fase de polarización como
necesitemos, podemos alcanzar cualquier otro punto de polarización.

(a) (b) (c)

Figura 2.5.2: a)Evolución de la polarización a la salida de un desplazador de fase, para varias

polarizaciones de entrada. b) Evolución de la polarización a la salida de un rotador de polari-
zación. Polarización horizontal a la entrada, ✓ toma distintos valores submúltiplos de ⇡/4 c)
Evolución de la polarización a la salida de un rotador de polarización. Para varias polarizacio-
nes de entrada y ✓ = ⇡/4. En todas las figuras se han representado los estados de polarización
1, 3 y 5 de la tabla 2.2.
Capítulo 3

Guías monomodo en tecnología SOI

La óptica integrada es un campo de trabajo relativamente joven que persigue la integración

monolítica de funcionalidades ópticas que usualmente se realizan con componentes ópticos
discretos. Existen diversas tecnologías, que suelen definirse con el nombre del material que
utilizan para construir los chips fotónicos. Los materiales más utilizados en fotónica son el
fosfuro de Indio (InP), el arseniuro de Galio (GaAs) y el niobato de Litio (LiNbO3), pero
además se empieza a utilizar el silicio, ya que éste proporciona algunas ventajas respecto a los
anteriormente mencionados:

Reduce los costes de fabricación, al ser una tecnología altamente integrable, permitiendo
la integración masiva de chips.

Permite integrar componentes opto-electrónicos en un mismo chip, disminuyendo así las

dimensiones del mismo, lo que proporciona una mayor robustez del sistema.

Ofrece compatibilidad con la tecnología de microelectrónica por excelencia, CMOS.

La tecnología del silicio, se muestra por lo tanto como una buena alternativa a las ya existentes.
El dispositivo a diseñar a lo largo de este proyecto, usará una tecnología basada en silicio, cuyo
nombre es Silicon On Insulator (SOI). En el apartado 3.1 se describirá dicha tecnología así
como algunos de los aspectos más relevantes de su proceso de fabricación. En el apartado 3.2
se detallarán las características de una guía de onda fabricada con esta tecnología así como el
aspecto de los campos que se propagan por ella. La información contenida en este capítulo se
ha obtenido en su mayor parte de [12].

19
20 CAPÍTULO 3. GUÍAS MONOMODO EN TECNOLOGÍA SOI

Si

SiO2
Si

Figura 3.1.1: Oblea SOI

3.1. Tecnología SOI

Las guías de onda en SOI se definen sobre obleas que constan de 3 capas, tal y como se muestra
en la figura 3.1.1. La capa superior es de silicio y tiene un grosor que varía entre los 200 nm
y los 500 nm, y es la que guía la luz mediante mecanismos de reflexión interna. Justo debajo
de esta tenemos una capa de dióxido de silicio de un espesor que varía entre 1 µm y 3 µm.
Todo esto a su vez, se deposita sobre una capa de silicio de 1 mm aproximadamente, que
simplemente provee de soporte mecánico.

Uno de los factores que más ha motivado el desarrollo de esta tecnología es el alto contraste
del índice de refracción existente entre los materiales de la zona de guiado (silicio, con índice
de refracción n=3,48) y el material que rodea esta zona (dióxido de silicio n=1.45). Esto se
traduce en un alto confinamiento de la luz. Al estar la luz tan confinada, se pueden reducir
dimensiones a escalas micrométricas y fabricar chips a gran escala. El inconveniente de este
alto confinamiento es que se aumenta la interacción del campo con las paredes de la guía, que
presentan cierta rugosidad, lo que provoca un aumento de las pérdidas de propagación, que
suelen ser del orden de 2dB/cm. El silicio es transparente para longitudes de onda superiores
a 1,2 µm, por lo que se presta a trabajar con las longitudes de onda que más comúnmente se
emplean en comunicaciones ópticas. En este trabajo nos centraremos en el rango de longitudes
de onda en torno a 1,55 µm.

El proceso de fabricación consta de dos fases. La primera de ella es la litografía. En esta parte
se define sobre una fotorresina situada sobre el silicio las estructuras que serán grabadas en
el silicio. El grabado es el proceso mediante el cual se retiran aquellas partes de silicio que no
forman parte de la estructura final.

Los procesos de litografía y grabado imponen restricciones sobre el diseño final, ya que por
un lado fijan los tamaños mínimos del diseño y por otro introducen errores debidos a las
tolerancias. Para la construcción de este dispositivo como proceso litográfico se utilizará la
tecnología e-beam y para el grabado se utilizará otra tecnología denominada RIE (Reactive
3.2. GUÍA DE ONDA EN SOI 21

Ion Etching). A continuación se detallan en qué consisten:

E-beam: Un haz de electrones escanea la fotorresina situada sobre la oblea de silicio.

Este proceso es similar al de una impresora láser, el haz de electrones barre la oblea
horizontalmente desde la parte superior de la oblea, hasta el final. Por esta razón es un
proceso litográfico bastante lento. La tecnología e-beam permite definir estructuras con
un tamaño mínimo de unos 50nm. La parte de la resina expuesta al haz de electrones se
endurece, mientras que la parte no expuesta se elimina químicamente.

RIE (Reactive Ion Etching): El proceso de grabado mediante iones reactivos consiste
en que una vez expuesta la resina, se introduce la oblea en un plasma iónico. Posterior-
mente se aplica una tensión a este plasma de modo que dichos iones impacten sobre la
oblea. Aquellas partes que no están protegidas por la resina, serán grabadas. En la figura
3.2.1, se muestra una guía de onda definida mediante este proceso

Ligados a los procesos de fabricación y sus tolerancias están los errores de fabricación:

Etch Lag: La profundidad con la que se graba el silicio, depende del tamaño de la aber-
tura que se define, esto es, para aberturas mayores se conseguirán mayores profundidades
para el mismo tiempo de exposición. En grabados de anchos considerables, del orden de
micras, este efecto no se producirá, siendo más notable en anchuras de grabado menores
que la micra.

Variaciones en la geometría: Cualquier estructura definida, es susceptible de experi-

mentar variaciones en sus dimensiones.

Ángulo de las paredes: Cuando se utiliza RIE como técnica de grabado, las “fronteras”
entre zonas grabadas y no grabadas no son totalmente verticales. Esto hace que el tamaño
experimente un ligero incremento en la anchura.

Dishing: Dado que la capa de Silicio no es perfectamente grabada, puede que queden
restos de ella, sobre todo cercas de las guías que se definan.

Algunos de estos errores se detallan en la figura 3.1.2:

3.2. Guía de onda en SOI

Una guía de onda es un dispositivo capaz de guiar la luz y transportarla una distancia dada.
Como se dijo en el apartado anterior, en SOI el salto de índice es aproximadamente de 2. Este
salto de índice permite hacer guías muy pequeñas, de unos 500 nm de ancho por 200 nm de
22 CAPÍTULO 3. GUÍAS MONOMODO EN TECNOLOGÍA SOI

Ángulo Etch Lag

de las
paredes Dishing

Figura 3.1.2: Errores debidos a las tolerancias de los procesos de fabricación

alto y altamente integrables, además de radios de curvatura muy pequeños, en torno a los 5
µm. En la figura 3.2.1 se muestra como es una guía de onda construida en tecnología SOI.

Para hablar sobre los campos que se propagan a través de la guía, explicaremos antes qué es
un modo. Un modo es una solución de las ecuaciones de Maxwell aplicado a una estructura
de guiado determinada. El campo electromagnético que se propaga a lo largo de una guía es
la suma de todos los modos excitados en la misma, o dicho de otra manera, el campo eléctrico
(y el magnético) pueden descomponerse como combinación lineal de modos, como se detalla
en la siguiente ecuación,

n
X
Etotal (x, y, z) = ci i (x, y)ej iz
. (3.2.1)
i=0

En dicha ecuación ci depende de como se excite la guía, i (x, y) son los modos de la guía y i
representa la constante de propagación de cada modo. El número de modos que se propagan
en una guía de onda a una determinada frecuencia depende del tamaño de la misma y de la
excitación que ésta tenga. En nuestro caso nos interesa que la guía de onda sea monomodo,
es decir, que sólo soporte el modo fundamental. Si la guía es monomodo en la ecuación 3.2.1,
n = 0.

Cuando se resuelve la guía slab [13, 14], aparecen dos familias de soluciones en las cuales
se descompone el campo electromagnético. Estas familias se denominan modos transversales
eléctricos y modos transversales magnéticos. La famila de modos transversales eléctricos (TE a
partir de ahora) se caracteriza porque el campo eléctrico sólo tiene componente en una dirección
transversal, pongamos dirección x̂, siendo nula cualquier otra componente. De aquí se deduce
que los campos magnéticos de esta famila sólo pueden tener componentes en dirección ŷ y/o
en ẑ. En la familia de modos transversales magnéticos (TM a partir de ahora), se procede del
mismo modo, pero considerando que el campo magnético sólo tiene componente en dirección
ŷ.

A lo largo de este proyecto, se hablará de modo TE para referirse a modos con polarización
3.2. GUÍA DE ONDA EN SOI 23

Si

SiO2
Si

Figura 3.2.1: Guía de onda en tecnología SOI.

horizontal del campo. La razón es que, tal y como se define la guía slab, el modo TE que
por ellas se propaga sólo tiene componente del campo eléctrico en la dirección x̂. Lo mismo
ocurre cuando se habla del modo TM, para referirse a polarización vertical. Esto es así porque
el modo TM que se propaga sólo tiene componente en la dirección ŷ. Por lo tanto se puede
establecer una relación modo TE-Polarización Horizontal y TM-Polarización Vertical.

Las guías de onda que se utilizarán en este trabajo tienen unas dimensiones de 415 ⇥ 260 nm2 .
En este caso los modos que soportan no son TE y TM puros, se trata de modos quasi-TE y
quasi-TM, debido al tamaño finito de las dimensiones de la guía. Se hará un abuso del lenguaje
y los denominaremos modos TE y TM, aunque realmente no lo son. Si bien es cierto que se
aproximan. Por lo tanto a partir de ahora, se llamará modo TE al modo cuya componente
de campo mayoritaria es la componente Ex , también denominado en la bibliografía como
“in-plane” y modo TM al modo cuya componente de campo mayoritaria es la componente
Ey , denominado en la bibliografía como “out-of-plane”. Cuando se habla de guías ópticas
monomodales, éstas realmente soportan el modo fundamental con polarización horizontal (TE)
y con polarización vertical (TM).

En la figura 3.2.2 se muestra el perfil de los modos que se propagan por la guía de la figura3.2.1.
24 CAPÍTULO 3. GUÍAS MONOMODO EN TECNOLOGÍA SOI

(a) (b)

Figura 3.2.2: a) Intensidad del modo TE. b)Intensidad del modo TM. Ambos propagándose
por una guía SOI de dimensiones 415x260 nm2
Capítulo 4

Análisis del rotador ajustable

En este capítulo se analizará el funcionamiento del rotador de polarización ajustable cuyo

diseño es el objetivo de este proyecto fin de carrera. Se trata de un rotador de polarización
TE/TM en tecnología SOI, que puede ajustarse para compensar el efecto de las tolerancias de
fabricación, a una longitud de onda de trabajo de 1, 55 µm. En la sección 4.1 se hablará del
dispositivo completo, comentando su funcionamiento y cuáles son los bloques básicos en los
que se descompone: guías rotadoras de polarización y desplazadores de fase de polarización
ajustables. La idea original está descrita en [9]. Dado que el funcionamiento del rotador de
polarización ajustable depende fuertemente de los errores introducidos debido a las tolerancias
de fabricación de la guía rotadora de polarización, ésta se estudiará en detalle en la sección
4.2. El desplazador de fase se discutirá en la sección 4.3. Una vez estudiados por separado, en
la sección 4.4 se hará un estudio del conjunto, comprobando que la solución propuesta en [9]
posibilita la rotación de polarización aunque las prestaciones de la guía rotadora se han visto
fuertemente degradadas por las tolerancias de fabricación.

Se insiste en la nomenclatura a usar a lo largo de este proyecto: Cuando se habla de polarización

TE o modo TE, nos referimos al modo con polarización horizontal que se propaga por una
guía de onda. Por otro lado al hablar de polarización TM o modo TM nos referimos al modo
con polarización vertical que se propaga por una guía de onda.

Además, a lo largo de este capítulo, se realizará un pequeño cambio en la nomenclatura utili-

zada hasta el momento. El desfase entre modos, hasta ahora se ha denominado ', tanto para
el rotador de polarización como para el desplazador de fase de polarización. Dado que en este
capítulo, trataremos ambos dispositivos, conservaremos ' para referirnos al desfase entre los
modos que se propagan por el rotador de polarización y ⇢ para el desfase entre los modos que
se propagan por los desplazadores de fase de polarización.

25
26 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

LR LP P S LR LP P S LR
✓A , ' A ⇢B ✓C , ' C ⇢D ✓E , ' E

Rotador de polarización
Desplazador de fase de polarización
Guı́as de acceso

Figura 4.1.1: Diagrama de bloques del dispositivo a construir

4.1. Análisis del funcionamiento del rotador ajustable

Existen actualmente diversas guías rotadoras de polarización en tecnología SOI [3–8] pero
debido a las tolerancias de fabricación, sólo un pequeño porcentaje de los dispositivos cons-
truidos funcionan correctamente. El rotador ajustable que vamos a analizar hace uso de la
guía introducida en [8], pero la combina con guías desplazadoras de fase ajustables. El propó-
sito de añadir las guías será compensar, una vez construido el rotador ajustable, los errores
introducidos en la etapa de fabricación. Para ello, se propone el diagrama de bloques mostrado
en la figura 4.1.1.

Se distinguen dos elementos básicos en la figura, los desplazadores de fase de polarización

ajustables y los rotadores de polarización. Se trata de elementos ya descritos mediante su
matriz de Jones en las secciones 2.3 y 2.4. El motivo de cascadearlos es que, dado que los
desplazadores de fase serán ajustables se podrá variar la fase de la polarización a la entrada de
cada rotador. Correctamente ajustados los desplazadores de fase, será posible conseguir una
rotación perfecta, partiendo de elementos que hayan sufrido desviaciones respecto al diseño
original durante la fabricación. La única condición que deben cumplir las guías rotadoras de
polarización, una vez construidas, es la siguiente:

sin2 ('/2) sin2 (2✓) > 1/4 (4.1.1)

Donde ' y ✓ son los parámetros mediante los cuales se define el rotador de polarización
en la sección 2.4. ✓ es función de la geometría transversal del rotador y ', además de la
geometría transversal, también depende de la longitud. Dicha condición y el procedimiento
para extraerla, están totalmente descritos en [15]. La condición (4.1.1), denominada a partir
de ahora condición de compensación, será estudiada más detalladamente en el apartado 4.2.1.

En el apartado 4.1.1, se analizará el rotador de polarización ajustable con matrices de Jones.

La implementación en óptica integrada de estos los elementos que componen el rotador de
polarización ajustable será descrita en el apartado 4.1.2.
4.1. ANÁLISIS DEL FUNCIONAMIENTO DEL ROTADOR AJUSTABLE 27

Figura 4.1.2: Evolución de la polarización a lo largo del Rotador

4.1.1. Análisis con Matrices de Jones

El rotador de polarización ajustable se puede describir usando matrices de Jones de un modo

muy sencillo, como se explicó en el apartado 2.2.1. Si a cada elemento del esquema representado
en la figura 4.1.1 le asignamos su matriz de Jones, el dispositivo total quedará descrito en la
siguiente ecuación:

Ẽ OU T = JRE (✓E , 'E ) ⇥ JP P SD (⇢D ) ⇥ JRC (✓C , 'C ) ⇥ JP P SB (⇢B ) ⇥ JRA (✓A , 'A ) ⇥ Ẽ IN (4.1.2)

De todas las variables que aparecen, tan sólo ⇢D y ⇢B serán controlables una vez fabricado
el dispositivo. Asumiremos que los errores de fabricación habrán sido los mismos en los tres
rotadores, por lo tanto podremos suponer que ✓E = ✓C = ✓A y 'E = 'C = 'A . El valor
nominal de dichas variables son parámetros de diseño, cuyos valores se justificarán a lo largo
del desarrollo del proyecto. Para tener una primera idea de como se comporta el dispositivo,
en la figura 4.1.2 se muestra, sobre la esfera de Poincaré, cómo se ha conseguido realizar un
ajuste de ⇢D y ⇢B de modo que se alcance la rotación perfecta, de la polarización horizontal
a la vertical, usando rotadores imperfectos.

Como se puede ver, aparecen líneas de 4 colores: las líneas verde, roja y negra, representan la
evolución de la polarización del campo al atravesar las distintas guías rotadoras de polarización,
A, C, y E, definidas sobre la figura 4.1.1. Dichos rotadores, como se verá en la siguiente sección
no son perfectos. Las líneas azules representan los desplazadores de fase de polarización (a
partir de ahora, también denominados PPS por sus siglas en inglés), cuya longitud eléctrica es
el único parámetro ajustable una vez construido el conversor de polarización. Se ha programado
28 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

Si Si
Ti

SiO2 SiO2

(a) (b)

Figura 4.1.3: Sección transversal de la guía de onda rotadora de polarización (a) y del despla-
zador de fase (b).

una función en Matlab para ajustar ⇢D y ⇢B , hasta que se consigue la rotación perfecta. En
este ejemplo se usaron rotadores de polarización de longitud ' = ⇡ y ángulo de proyección
✓ = ⇡/3 , lo que implica una desviación del 30 % de valor real, y los valores obtenidos para ⇢D
y ⇢B fueron de 5.04 y 1.23 radianes.

4.1.2. Descripción de la implementación en Óptica Integrada

Descrito el comportamiento matemático de cada uno de los elementos que componen el con-
versor de polarización, en esta sección se presenta la descripción física de los mismos.

Las guías de acceso serán guías de onda en SOI que ya fueron descritas en la sección 3.2. En
cuanto a las guías de onda rotadoras de polarización, el aspecto que éstas tienen es el que
aparece en la figura 4.1.3a. Dicha estructura presenta una asimetría horizontal y vertical. La
asimetría horizontal viene dada por el grabado realizado en la guía. La asimetría vertical se
debe a que los materiales que hay encima y debajo de la estructura no son iguales, debajo
tenemos dióxido de silicio, mientras que encima, el material que habrá será un polímero de-
nominado SU8. El objetivo de dicha asimetría es provocar que los modos que se propagan
por la estructura, tengan un cierto ángulo con respecto a los que se propagan por la guía de
acceso, consiguiendo así el denominado “ángulo de proyección” (✓) que tienen los rotadores de
polarización. En el apartado 4.2 se hará un estudio más profundo de esta estructura.

Por último, queda presentar el aspecto que tendrán los desplazadores de fase. Éste es el único
elemento ajustable una vez se haya construido el dispositivo. Lo que se consigue ajustar es
la diferencia entre las longitudes eléctricas del modo TE y TM. La diferencia de longitudes
eléctricas, como se puede ver en la ecuación 2.3.5, depende tanto de la diferencia entre las
constantes de propagación de los modos, 4 , como de la longitud del dispositivo, L. Dado
que no podemos modificar la longitud física, lo único que podemos modificar es la constante
de propagación. Dicha constante depende de otras variables, como se muestra en la ecuación
4.2. ESTUDIO DE LA GUÍA ROTADORA DE POLARIZACIÓN 29

2⇡
4 = 4n , (4.1.3)

donde 4n es la diferencia del índice efectivo de los modos que se propagan.

De estos parámetros, fijada la longitud de onda, sólo nos queda un grado de libertad, la
diferencia de índices efectivos, 4n. Para modificar los índices de refracción, se calentará la
sección de guía correspondiente al PPS. En la figura 4.1.3b , se muestra la geometría transversal
de este elemento. Aunque parezca que son dos guías de onda, sólo una sección es guía. La
otra sección corresponde a un conductor metálico por el cual se hará fluir una corriente,
que provocará un aumento de la temperatura, ya que se comporta como una resistencia. El
conductor será de titanio, y dado que puede introducir pérdidas si el campo interactúa con
él, se situará lo suficientemente lejos como para que el campo no se vea afectado, y no se
introduzcan pérdidas a lo largo del PPS.

4.2. Estudio de la guía rotadora de polarización

En esta sección se hará un estudio más profundo de la guía rotadora de polarización. En el

apartado 4.2.1 se particularizará la estructura presentada en la figura 4.1.3a, para conseguir un
determinado ángulo de proyección. También se mostrará el aspecto que tienen los campos en
la guía y se definirán dos factores de calidad con los que se caracterizarán las guías rotadoras.
Asimismo, se estudiará la relación existente entre la condición de compensación y los factores
de calidad definidos. En el apartado 4.2.2, se estudia el comportamiento de la guía cuando se
producen errores de fabricación. Por último, en el apartado 4.2.3 se realizará una comparación
de distintos modelos, a partir de los cuales se analizan las tolerancias a errores de fabricación
en la guía de onda rotadora de polarización.

4.2.1. Introducción y Análisis de funcionamiento

La estructura elegida para implementar el rotador SOI, es la que se presenta en [8]. Una de
las principales ventajas de esta guía rotadora es que se puede fabricar en un sólo paso, ya que
aprovecha el etch-lag para hacer más profunda la zanja más ancha, y menos profunda la más
estrecha. En la figura 4.2.1 se detallan las dimensiones de la estructura en el caso nominal.

Debido a la asimetría de la guía, tanto horizontal como verticalmente, los modos que se pro-
pagan por esta guía no son los denominados TE y TM. Se trata de modos híbridos, cuya
polarización es una combinación de las componentes Ex y Ey del campo, en igual proporción.
Esta hibridación de modos es la que provoca que se produzca una inclinación de los campos.
Una vez se han inclinado los campos, dado que los índices de refracción de cada modo híbrido
30 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

200 nm 60 nm
40 nm 85 nm 30 nm

210 nm
✓

238 nm
260 nm
✓

415 nm

Figura 4.2.1: Dimensiones de la guía rotadora de polarización y rotación de campos

no son iguales, se producirá un desfase ' entre ambos. De este modo, a la salida del dispositivo,
si el diseño es correcto, tendremos una rotación de la polarización de entrada. En la figura
4.2.1 también se muestra como es la inclinación de los modos.

Dicho ángulo de inclinación de los modos, se corresponde con el ángulo de proyección, ✓. A

partir de ahora, se denominará ángulo de inclinación del modo o ángulo del modo, al ángulo
de proyección.

Para definir la calidad de una guía rotadora de polarización, se definen dos factores relacionados
entre sí. Por un lado tenemos la eficiencia de conversión de polarización, de modo TE a modo
TM, o viceversa (P CET E(T M ) ). Este parámetro se define como el ratio de potencia a la entrada
en el modo TE(TM), que se transforma en TM(TE) a la salida. Usando la expresión 2.4.8, la
eficiencia de conversión de polarización se puede calcular como

PT E(T M ) 2
P CET E(T M ) = = J21(12) (✓, ') = sin2 ('/2) sin2 (2✓) (4.2.1)
PT E + PT M

Por otro lado tenemos el ratio de extinción (ER), definido como el cociente de potencias entre
la polarización deseada y la indeseada a la salida de la guía. El ratio de extinción también se
puede definir en función del PCE:

PT E(T M ) P CET E(T M )

ERT E(T M ) = = (4.2.2)
PT M (T E) 1 P CET E(T M )

El propósito de este diseño es realizar una conversión de modo TE a modo TM o viceversa. Si

queremos que la eficiencia de conversión de polarización sea máxima, tendremos que conseguir
que el PCE sea 1. Para ello, mirando a la expresión 4.2.1, es fácil deducir que ✓opt = 45o y
'opt = 180o . El diseño propuesto en [8], asegura que ✓ = 45o para las dimensiones nominales.
El hecho de que ' = 180o , implica que la longitud física tenga un determinado valor, a partir
de ahora denominada longitud de batido, L⇡ .
4.2. ESTUDIO DE LA GUÍA ROTADORA DE POLARIZACIÓN 31

⇡
L⇡ = (4.2.3)
4

Para el diseño propuesto, la diferencia de índice efectivo de los modos híbridos es de 4n =

0,061. Dado que

2⇡
4 = 4n (4.2.4)

obtenemos que

/2
L= (4.2.5)
4n

Se obtiene que la longitud de batido del rotador es de 12,7 µm, para la longitud de onda de
trabajo. Esta longitud, la cual denominaremos LR , es la longitud física de la guía de onda
rotadora de polarización.

En resumen, además de los factores de calidad, se han definido dos nuevas longitudes, LR y
L⇡ . LR será la longitud nominal de la guía rotadora de polarización, es decir, la longitud de
diseño, y la que tendrá la guía cuando se fabrique con un valor fijo. Por otro lado, L⇡ es la
longitud que debería tener una guía para provocar la rotación máxima. L⇡ es dependiente de
la diferencia entre las constantes de propagación de los modos que se propagan por la guía. Si
los procesos de fabricación no tuviesen tolerancias entonces, LR = L⇡ , en cualquier otro caso,
se producirá una penalización en la eficiencia de conversión de polarización, ya que el valor de
' será:
0
' = LR 4 (4.2.6)

Siendo 4 0 el valor que toma la diferencia entre las constantes de propagación, al producirse
errores en la geometría transversal, debido a las tolerancias de fabricación. Dado que

0
4 6= 4 =) ' 6= ⇡ (4.2.7)

En la figura 4.2.2, se añade una imagen del perfil de campo de los modos híbridos que se
propagan a lo largo de nuestra guía rotadora de polarización, para una geometría transversal
idéntica a la de la figura 4.2.1.
32 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

(a) (b)

Figura 4.2.2: Perfiles de campo de los modos híbridos que se propagan a través de la guía
rotadora de polarización

Para acabar el apartado, retomaremos la ecuación (4.1.1) y veremos qué implica esta con-
dición de compensación, relacionándola con los parámetros de calidad de una guía rotadora
de polarización. Los parámetros de la condición (4.1.1), son los mismos que los de (4.2.1). Si
igualamos ambas expresiones, llegamos a que la condición de compensación implica:

1
P CET E(T M ) > (4.2.8)
4

Si lo relacionamos con el ER mediante la ecuación 4.2.2 llegamos a :

1
ERT E(T M ) > (4.2.9)
3

Por lo tanto, se llega a la conclusión de que, para que sea posible conseguir la rotación perfecta
usando el esquema del rotador ajustable, el ER de las guías rotadoras que lo componen debe
ser mayor de 1/3. En la figura 4.2.3a vemos sobre la esfera de Poincaré qué región cumple
dicha condición. Se trata de los puntos que se encuentran a la derecha de la circunferencia
dibujada sobre la esfera, (zona rayada). También se ha detallado en la figura 4.2.3b, cuales son
las combinaciones de ' y de ✓ que dan lugar a puntos que cumplen la condición de rotación
perfecta. Sobre la región de puntos que cumplen la condición, hay que destacar los puntos
marcados en rojo sobre la frontera. Estos puntos representan la máxima variación simultánea
de los dos parámetros. En ambos casos, la variación máxima simultánea que se permite es del
±50 %.
La condición (4.2.9), se obtiene de un modo meramente analítico, sin tener en cuenta las con-
diciones electromagnéticas que rodean al problema, abstrayéndose de la física. No obstante, es
una forma muy atractiva de verificar si una guía rotadora de polarización cumple la condición
4.2. ESTUDIO DE LA GUÍA ROTADORA DE POLARIZACIÓN 33

90

80

70

60

50

θ
40

30

20

10

0
0 100 200 300
φ

(a) (b)

Figura 4.2.3: (a) Rallado en azul, región de la esfera de Poincaré en la que ER>1/3. (b) Región
sobre la cual la rotación perfecta es posible. El borde la región de (b) se corresponde con la
circunferencia continua dibujada sobre la esfera de (a).

(4.1.1). En la figura 4.2.4, se muestra, sobre la región de rotación perfecta, (ER > 1/3), como
varía el ER de una guía rotadora de polarización, en la que se ha variado la geometría trans-
versal, modificando ' y ✓. Puede observarse que para ER > 1/3 = 4,7 dB nos encontramos
dentro de la región de compensación, mientras que para ER < 1/3 nos salimos de dicha región.

4.2.2. Efecto de las variaciones en ✓ y '

En este apartado analizaremos cómo varía el estado de polarización a la salida de la guía

rotadora cuando se producen cambios en ✓ y '.

En primer lugar, nos situamos en el escenario en el que ' = 180o . Para ✓ = ✓opt nos encontra-
mos en el punto de la esfera de Poincaré correspondiente a la polarización linealmente vertical.
Las variaciones de ✓ se traducen en variaciones del azimut, sobre la esfera de Poincaré, del
punto de polarización a la salida de la guía de onda rotadora de polarización. Si ✓ 6= ✓opt la
polarización seguirá siendo lineal, pero dado que los modos híbridos que se propagan a través
de la guía rotadora no tendrán la misma proporción de componente Ex que de componente Ey ,
no se podrá alcanzar nunca el punto de polarización vertical. Cuanto mayor sea la desviación
del ángulo ✓ con respecto del óptimo, más lejos del punto de polarización linealmente vertical
nos encontraremos. En la figura 4.2.5a, se representa en azul el caso en que ✓ = ✓opt , en verde,
una variación del 10 % y en rojo, una variación del 20 % del ángulo de inclinación de los modos
34 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

E R = f (✓ , )
90

−34.81
80
−5.39
70 −1.66

60 5.68

✓( ) 50 16.12
33.68
40 18.12

6.49
30 3.51

20

10

0
0 50 100 150 200 250 300 350
( )

Figura 4.2.4: Variación del ER en dB sobre la región de rotación perfecta, al variar la geometría
transversal del dispositivo

óptimo, manteniendo ' = 'opt .

Hasta aquí, se ha visto como varía la polarización de salida cuando ✓ 6= ✓opt . Se introduce
ahora el caso en el que ✓ = 45o . Si ' = 'opt , entonces volveremos a estar sobre el punto
de polarización linealmente vertical. Las variaciones de ', se traducen en variaciones de la
elevación del punto de polarización a la salida. Esto es así porque los modos que viajan por
la guía se desfasan proporcionalmente a la longitud de la guía rotadora. En la figura 4.2.5b,
se ha representado para ✓ = ✓opt , como varía la polarización de salida, para longitudes de la
guía rotadora diferentes. En concreto los casos que aparecen son: en verde el caso ideal, vemos
que la polarización es TM; en rojo y en azul, la polarización de salida para una variación de
la longitud de ±10 %.

Se han presentado las variaciones sobre los parámetros que definen la guía rotadora de pola-
rización de modo aislado, esto es, suponiendo ideal un parámetro y modificando el otro. Un
caso más real será aquel en el que varíen ambos parámetros, y la polarización de salida tenga
variaciones verticales y horizontales. En la figura 4.2.6, se presenta una región de puntos de
salida de la guía rotadora en la que ambos parámetros se han variado aleatoriamente un ±10 %
en torno a su valor nominal.
4.2. ESTUDIO DE LA GUÍA ROTADORA DE POLARIZACIÓN 35

(a) (b)

Figura 4.2.5: Variaciones de ' y de ✓, en función de variaciones en la geometría del dispositivo.

Figura 4.2.6: Región de posibles puntos de polarización a la salida de la guía rotadora para
incrementos de ' y ✓ de ±10 %

4.2.3. Estudio de las tolerancias de fabricación mediante diferentes modelos

En la sección 4.2.1, se obtuvo a partir de la condición de compensación y la definición del

ER, la condición de ER > 1/3, que no es más que el resultado de expresar la condición de
compensación en términos de ER. Dicha condición es muy útil para decidir si una determinada
guía rotadora puede emplearse con éxito en un rotador ajustable. Sin embargo, para llegar a
la condición de compensación, [15] se basa en la suposición de que el rotador de polarización
integrado puede modelarse de manera completa en base a los parámetros ✓ y ', sin requerir
una simulación electromagnética completa. Esto último es lo que se va a comprobar en los
apartados siguientes, además de ver como se trasladan las variaciones de la geometría del
dispositivo a variaciones en el ER .
36 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

b1 t1 s t2 b2

d1
d2
Figura 4.2.7: Representación paramétrica de la guía rotadora de polarización

Los tres modelos tratan igual la propagación a lo largo de la guía rotadora, en lo que difieren
es en el modelado de la interfaz entre las guías normales y la guía rotadora. En el primer
modelo, asumimos que no se producen reflexiones en los interfaces y que la excitación de los
modos dentro de la guía rotadora puede describirse mediante el ángulo de inclinación de los
modos. En el segundo modelo refinamos dichos coeficientes calculándolos electromagnética-
mente. En el tercer modelo usamos una propagación electromagnética completa, que además
de los coeficientes de excitación exactos tiene en cuenta las reflexiones en los interfaces.

En los subapartados 4.2.3.1, 4.2.3.2 y 4.2.3.3 se detallan los modelos presentados. Finalmente,
en 4.2.3.4 se discutirán los resultados obtenidos.

Cómo se ha dicho anteriormente, además de comparar modelos, también se realizarán varia-

ciones en la geometría transversal. Los parámetros que se variarán (representados en la figura
4.2.7) son t1 , t2 , d1 y d2 . Una variación en estos parámetros, también hará variar los paráme-
tros b1 , b2 , y s, ya que la anchura del dispositivo debe de mantenerse constante. Las variaciones
de b1 , b2 , y s, son función de las variaciones de los parámetros t1 , t2 , d1 y d2 , tal y como se
describe en las siguientes ecuaciones:

4b1 = 4t1 /2
4s = 4t1 /2 4t2 /2 (4.2.10)
4b1 = 4t2 /2

4.2.3.1. Modelo basado en el ángulo de los modos

En este primer subapartado, el modelo que se usará es el desarrollado en [9], y se basa en

describir la guía rotadora en base a los ángulos ✓ y '.

Partiendo de la ecuación (4.2.1) y usando

4.2. ESTUDIO DE LA GUÍA ROTADORA DE POLARIZACIÓN 37

' 1 ⇡ LR ⇡ LR
= LR 4 = = (4.2.11)
2 2 2 4⇡ 2 L⇡

es posible redefinir la expresión del PCE en función de la longitud física de la guía rotadora
LR , y su longitud de batido L⇡ tal que

⇡
P CET E(T M ) = sin2 ( LR /L⇡ ) sin2 (2✓). (4.2.12)
2

Para obtener los parámetros L⇡ y ✓ se calculan, en primer lugar, los modos de la guía rotadora
usando el simulador electromagnético Fimmwave. A continuación, se obtiene la longitud de
batido a partir de las constantes de propagación de los modos. El ángulo de inclinación, se
obtiene a partir de los perfiles de campo. Para calcular el valor de dichos parámetros, se crearon
unas funciones en Matlab que hacen uso de las siguientes expresiones:

´´
⇡ Ex dS
L⇡ = ; ✓ = arctan ´ ´ . (4.2.13)
4 Ey dS

En el Apéndice B, se muestran unas tablas en las que se incluyen, para cada valor de la
variación de un determinado parámetro, los índices efectivos de los modos del rotador, el
ángulo de inclinación de los modos del mismo, y el valor de la longitud que dicho dispositivo
tendría que tener para que la diferencia entre longitudes eléctricas de los modos híbridos sea
de 180 , la cual a partir de ahora denominaremos L⇡ .

Posteriormente se ha realizado la conversión a ER, mediante (4.2.2) y se ha representado

en escala logarítmica. Nótese que el parámetro ✓ puede obtenerse a partir de cualquiera de
los dos modos híbridos de la guía rotadora, H1 o H2 . Aquí se ha optado por extraerlo del
modo H1 , ya que presenta resultados más restrictivos. En la figura 4.2.8, se han expresado
gráficamente los resultados obtenidos. En cada gráfica se muestra el ER expresado en dB,
en función de las variaciones de un determinado parámetro de la geometría transversal. De
las curvas que aparecen en cada gráfica, este tipo se corresponde con la azul. Nótese la línea
horizontal punteada, esta línea representa el límite de la región de ER tal que la rotación de
polarización perfecta es realizable.

4.2.3.2. Modelo basado en matrices de solape

En este apartado se propone un modelo más completo de la guía rotadora de polarización.

Concretamente, en vez de usar el ángulo de rotación para obtener el coeficiente de excitación
de los modos híbridos, éstos coeficientes se calculan electromagnéticamente. De este modo, la
38 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

40 40

30 30

20 20

10 10
E R [ dB ]

E R [ dB ]
0 0

−10 −10

−20 Análisis tipo 1 modo H1 −20 Análisis tipo 1 modo H1

−30 Análisis tipo 2 modo TE −30 Análisis tipo 2 modo TE
Análisis tipo 3 modo TE Análisis tipo 3 modo TE
−40 −40
−50 0 50 −50 0 50
4 t 1( n m ) 4 d 1( n m )
(a) (b)

40 40

30 30

20 20

10 10
E R [ dB ]

E R [ dB ]

0 0

−10 −10

−20 Análisis tipo 1 modo H1 −20 Análisis tipo 1 modo H1

−30 Análisis tipo 2 modo TE −30 Análisis tipo 2 modo TE
Análisis tipo 3 modo TE Análisis tipo 3 modo TE
−40 −40
−50 0 50 −20 −10 0 10 20
4 t 2( n m ) 4 d 2( n m )
(c) (d)

Figura 4.2.8: ER para variaciones de la geometría transversal. En la tabla 4.1, se resumen las
consideraciones de cada modelo.
4.2. ESTUDIO DE LA GUÍA ROTADORA DE POLARIZACIÓN 39

Tipo Denominación Consideraciones

1 Análisis del PCE/ER usando su Índice efectivo de los
expresión analítica modos híbridos, y
ángulo de los modos
híbridos calculado
según (4.2.13)
2 Análisis del ER modelando el Índice efectivo de los
sistema como una concatenación modos híbridos,
de matrices matrices de solape
3 Análisis del ER usando la Índice efectivo de los
simulación electromagnética modos híbridos,
completa matrices de solape,
reflexiones.

Tabla 4.1: Comparación de los distintos tipos de Análisis

estructura que ahora estamos estudiando es la que se muestra en la figura 4.2.9. Para ello se
ha modelado el conjunto como la concatenación de tres matrices,

JR = SB ⇥ JP ROP (') ⇥ SA (4.2.14)

SA y SB modelan las interfaces de entrada y salida, y se denominan matrices de solape, además,

SB = SA 1 . Estas matrices, procedentes del análisis en propagación de Fimmprop, un software
que usa el análisis modal de Fimmwave para estudiar la propagación, nos informan acerca de
los transvases de energía entre los modos que hay a cada lado de la interfaz. El elemento sij
nos dice cuánto excita el modo j-ésimo de la estructura situada a la izquierda de la interfaz,
al modo i-ésimo situado a la derecha de la interfaz, suponiendo propagación de izquierda a
derecha. Esta forma de definir la guía rotadora de polarización se asemeja a la ya presentada en
la sección 2.4. Las matrices de proyección, son un caso particular de estas matrices de solape,
ya que éstas tienen en cuenta fenómenos electromagnéticos que no se consideran al usar las
matrices de proyección. JP ROP (') modela el desfase que se produce entre los modos híbridos
de la guía rotadora de polarización, y usa los datos ya obtenidos en el subapartado anterior.
Fijada la longitud de la guía rotadora, basta conocer la diferencia de índices efectivos para
calcular el desfase que se produce entre los modos que se propagan por la guía.

Para procesar los datos obtenidos mediante Fimmprop, se ha programado un script en Matlab
que realiza la multiplicación de matrices y calcula el ERT E(T M ) a partir de la ecuación 4.2.2,
como cociente de potencias. En la figura 4.2.8 también se representan los resultados obtenidos
de este análisis. En este caso sólo se ha representado el supuesto de rotar un modo TE a la
entrada (ERT M ), ya que parece ser más restrictivo en la mayoría de los casos. No obstante,
la diferencia entre ambos no es demasiado grande. Las curvas correspondientes a este tipo de
40 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

SA JP ROP SB

Figura 4.2.9: Estructura correspondiente al modelo basado en matrices de solape

análisis son las de color verde con puntos.

4.2.3.3. Simulación electromagnética completa

En este subapartado se describe el análisis de la simulación electromagnética completa. En

este caso, como se mencionó anteriormente, además de considerar los solapes, se añaden las
reflexiones que se producen en las interfaces.

Este análisis se ha realizado usando los parámetros S que Fimmprop devuelve al analizar
el conjunto del apartado anterior completo. Para realizar este análisis se considera que a
ambos lados del rotador, las guías que se sitúan son iguales y sólo soportan los TE y TM
fundamentales. De este modo, la matriz de parámetros S que se obtiene, es de 2⇥2. En este
caso el procesamiento de los datos arrojados por Fimmprop es más simple, reduciéndose a
dividir parámetros S de la matriz. Suponiendo que TE es el modo 1 y TM el modo 2 y que
excitamos sólo con TE o con TM, el ER vendrá dado por :

s21(12)
ERT E(T M ) = 10 log10 (4.2.15)
s11(22)

El resultado de este análisis también aparece reflejado en la figura 4.2.8, en este caso con la
curva discontinua de color azul. Al igual que en el caso anterior, sólo se ha representado el
supuesto de tener un modo TE a la entrada, por ser el más restrictivo.

4.2.3.4. Discusión de los Análisis

Como se puede observar en la figura 4.2.8, los análisis tipo 2 y 3, coinciden. Dado que el único
fenómeno nuevo que varía entre uno y otro son las reflexiones, podemos deducir que dichas
reflexiones son muy pequeñas.

Por otro lado, se puede observar que los resultados obtenidos del primer análisis, son más
restrictivos en cuanto a ER. Esto además de verificar la condición de compensación, nos
4.3. ESTUDIO DE LA GUÍA DESPLAZADORA DE FASE DE LA POLARIZACIÓN 41

asegura que estamos en un caso peor, de modo que las simplificaciones que se realizaron no
falsean los resultados obtenidos.
En cuanto a la relación entre la geometría transversal y el ER, podemos obtener algunas
conclusiones:

Las variaciones en la zanja exterior (4t2 , 4d2 ), afectan menos que las variaciones sobre
la zanja interior (4t1 ,4d1 ), porque, como se puede ver en la figura 4.2.2, el campo
interactúa menos con estas zanjas.

Se pueden permitir variaciones de hasta 50 nm en la zanja exterior en ambos parámetros

geométricos sin que la guía rotadora de polarización incumpla la condición de rotación
perfecta realizable.

Las variaciones en la zanja interior, limitan el correcto funcionamiento del dispositivo, ya

que se sobrepasa el límite marcado con la línea roja punteada, cuando las variaciones son
de ±30nm. No obstante, variaciones positivas de este parámetro son menos perjudiciales
que variaciones negativas.

Variaciones en la profundidad de cualquiera de la zanjas, tienen efectos más negativos

que las variaciones en el ancho.

4.3. Estudio de la guía desplazadora de fase de la polarización

La guía desplazadora de fase de polarización es él único elemento ajustable del rotador de

polarización una vez éste se ha construido. En el apartado 4.3.1 se describirá cómo se realiza
el desfase de polarización ajustable. Como se ha comentado en apartados anteriores, este
desfase es proporcional a la diferencia de índice efectivo de los modos, que puede variarse
calentando las guías. En el apartado 4.3.2, se estudiará si la dependencia de los índices efectivos
es linealmente dependiente de la temperatura a la que se encuentra la guía desplazadora de fase
de polarización. Finalmente, en 4.3.3, se describe una posible implementación del calentador
y los efectos que éste produce sobre el PPS.

4.3.1. Introducción y análisis de funcionamiento

El funcionamiento de un desplazador de fase de polarización ya se comentó en la sección 2.3. En

este subapartado, veremos cómo a partir de una guía de onda con índices efectivos diferentes
para los modos TE y TM, es posible realizar un desplazador de fase. Para ello partiremos del
desfase que se produce entre los modos TE y TM al propagarse a lo largo de una guía, de una
longitud determinada:
42 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

⇢0 = 4 LP P S (4.3.1)

dónde LP P S representa la longitud de la guía rotadora de polarización. Si sustituimos 4

usando la ecuación 4.1.3, tendremos que:

2⇡
⇢0 = 4nLP P S (4.3.2)

La diferencia de índice efectivo viene dado por la diferencia de índices efectivos que experi-
mentan ambos modos:

4n = nef f,T E nef f,T M (4.3.3)

Por lo tanto el desfase entre ambos modos es proporcional a la diferencia de índices efectivos.
Como se dijo en 4.1.2, lo que se hará es calentar la guía, para así poder variar la diferencia de
índices efectivos, de modo que se aumente el desfase. Redefiniremos el incremento de índice
efectivo, añadiendo una deriva del mismo con la temperatura (T):

dnef f,T E dnef f,T M

4n = nef f,T E + (nef f,T M + ) (4.3.4)
dT dT

De este modo será posible calcular incrementos de índice efectivo en función de incrementos
de temperatura. Así, es posible reescribir la ecuación 4.3.2 tal que:

✓ ◆
2⇡ dnef f,T E dnef f,T M
⇢= nef f,T E + 4T (nef f,T M + 4T ) LP P S , (4.3.5)
dT dT

simplificando:

✓ ◆
2⇡ 2⇡ dnef f,T E dnef f,T M
⇢= LP P S (nef f,T E nef f,T M )+ LP P S 4T = ⇢0 +4⇢, (4.3.6)
dT dT

donde

✓ ◆
2⇡ dnef f,T E dnef f,T M
4⇢ = LP P S 4T, (4.3.7)
dT dT

Incrementando la temperatura de la guía será posible variar el desfase entre los modos que
por ella se propagan. Dado que el desfase no será fijo, nos queda un grado de libertad, que
4.3. ESTUDIO DE LA GUÍA DESPLAZADORA DE FASE DE LA POLARIZACIÓN 43

es la longitud del desplazador de fase de polarización. La elección de dicha longitud es un

compromiso entre el incremento de temperatura máximo alcanzable y un tamaño compacto.

Se ha elegido una longitud de 700 µm, propuesta en [9], por ser una buena solución de compro-
miso. Para diseñar la longitud, necesitamos conocer el valor de la deriva de los índices efectivos
con la temperatura. Para el modo TE, un valor típico es 1,7 ⇥ 10 4 oC 1, mientras que para
el modo TM es de 1,1 ⇥ 10 4 oC 1. Por lo tanto la diferencia de derivas de índice efectivo
es aproximadamente 0,6 ⇥ 10 4 oC 1. En la sección 4.3.2 se realiza un estudio de estas deri-
vas. Con incrementos de temperatura de 40o , y una longitud de onda de trabajo de 1,55 µm,
conocidas la diferencia entre índices efectivos, que en esta guía es de aproximadamente 0.4
y su variación con la temperatura, se consiguen desfases de hasta 2⇡ con longitudes de unos
645 µm. Por lo tanto, eligiendo 700 µm, el diseño quedará sobredimensionado, sin excederse
demasiado. En el siguiente subapartado, para finalizar, se realizará un estudio de la linealidad
de las variaciones de los índices efectivos con la temperatura.

4.3.2. Linealidad de los índices efectivos de la guía con las variaciones de

temperatura

Para un correcto ajuste del rotador ajustable de polarización, es necesario que los incrementos
de fase producidos en los PPS sean linealmente dependientes de la temperatura. En el modelo
definido en (4.3.4) se supuso un incremento lineal con la temperatura (hemos desarrollado en
series de Taylor de grado 1). Queda por estudiar si los incrementos de índices efectivos son
linealmente dependientes de los incrementos de temperatura.
−3
x 10
7
4nef f ,T E
6 4nef f ,T M

5 A j ust e line al T M
A j ust e line al T E
4
4nef f ,T E 4nef f ,T M
4nef f

−1
0 5 10 15 20 25 30 35 40
4 T ( oC )

Figura 4.3.1: Variación del índice efectivo para los modos TE y TM en función de incrementos
de temperatura

Para ello, se realizará un análisis usando Fimmwave. En primer lugar, se definió una guía
de onda normal, como la de la figura 4.1.3b. La guía es de silicio, y esta rodeada de SU8,
44 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

400

350

300

250

4 ⇢ [ o]
200

150

100

50

0
0 10 20 30 40
4 T [ oC ]

Figura 4.3.2: Rango de desfase alcanzado por el desplazador de fase de polarización, para
incrementos de temperatura de 0 a 40º C.

salvo por la cara inferior en la que hay di-oxido de silicio. A estos materiales se les añadieron
unas derivas con la temperatura, denominadas coeficientes termo-ópticos del material. De este
modo, podíamos variar los índices de refracción en función de un parámetro T, que representa la
temperatura. Finalmente, se realizó un análisis en el que se barría el valor de la temperatura
entre 0 y 40o C, y se obtenía en función de esta el valor de las constantes de propagación.
Finalmente se trasladarán los resultados a Matlab y tras convertirlos a incrementos de índices
efectivos mediante (4.1.3), se realizará un ajuste con una recta, quedando demostrada entonces
la linealidad en caso de verse superpuestas las curvas.

En la figura 4.3.1, se confirma la linealidad de la dependencia del índice de refracción con la

temperatura. La recta negra, que es la diferencias de ambas, nos sirve para obtener el valor de
la diferencia de derivas, que es de 0,6 ⇥ 10 4 oC 1. Finalmente, en la figura 4.3.2, podemos ver
los incrementos de fase en función de incrementos de temperatura que se obtienen al sustituir
los datos obtenidos del análisis electromagnético de Fimmwave en la ecuación 4.3.6. En dicha
figura, los puntos verdes, son los obtenidos que proceden directamente de sustituir en 4.3.6.
La recta azul es la que procede de realizar un ajuste sobre los puntos obtenidos.

4.3.3. Estudio del calentador

En este apartado estudiaremos como afecta la presencia de una resistencia metálica a nuestra
guía de onda fabricada en Silicio, tal y como se muestra en la figura 4.1.3b. El resultado de este
estudio será una estimación de la distancia a la cual hemos de colocar el metal. La elección
de esta distancia, es un compromiso entre la transferencia de calor a nuestra guía de onda
desplazadora de fase de polarización, y las pérdidas que esta introduce en la estructura.
4.3. ESTUDIO DE LA GUÍA DESPLAZADORA DE FASE DE LA POLARIZACIÓN 45

Para calcular el valor de las pérdidas por unidad de longitud que introduce la resistencia,
partiremos de las expresiones de los campos, en el caso en el que la constante de fase es
compleja,

ET OT AL (x, y, z) = E0 (x, y)ej!t ej compleja z

= E0 (x, y)ej!t ej( +j↵)z
= E0 (x, y)ej!t e ↵z j z
e .
(4.3.8)

Las pérdidas totales vendrán dadas por el cociente entre la potencia en el origen, y en un
determinado valor de z. Luego si calculamos el módulo al cuadrado de la expresión 4.3.8 y
despejamos el cociente de |ET OT AL (x, y, z)|2 / |E0 (x, y)|2 pasando a decibelios, obtendremos

L(dB) = 2↵z10log10 e . (4.3.9)

Para realizar el estudio, en primer lugar se ha simulado en Fimmwave la estructura mostrada

en la figura 4.1.3b. Dicho análisis toma como parámetro la distancia entre la guía de silicio
y la resistencia metálica, y nos devuelve la parte imaginaria del índice de refracción complejo
que informa sobre las pérdidas del modo:

j
ncomplejo = nR + , (4.3.10)
2k0

donde k0 = 2⇡/ .

Ahora sólo nos queda relacionar ↵ y . Si usamos la ecuación 4.1.3, tendremos que

j
compleja = nR k 0 + , (4.3.11)
2

Si esto lo igualamos a la expresión de compleja usada en 4.3.8, llegamos a que ↵ = /2. Se

ha realizado un script en Matlab para obtener las pérdidas que se introducen por unidad de
longitud debido a la resistencia metálica.

Las variaciones de las pérdidas por unidad de longitud en función de la distancia, representadas
en la figura 4.3.3, son de tipo exponencial, por lo que las pérdidas se han expresado en dB.
El modo TM se ve más afectado por estas pérdidas. Para una distancia de 1 µm, tenemos
que el valor de ↵ es de aproximadamente -40 dB. Esto se traduce en unas pérdidas totales de
0.6 dB en la propagación a lo largo del dispositivo de 700 µm de longitud. Si aumentamos la
distancia a 2 µm , entonces el valor de ↵ es de aproximadamente -90 dB, lo que se traduce
en 6,08 ⇥ 10 6 dB. Por lo tanto a una distancia de 2 µm, podemos despreciar el valor de las
pérdidas introducidas por los calentadores.
46 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

20
↵T E
0 ↵T M
Ajus t e TE
−20
Ajus t e TM
↵ [dB /µm ] −40

−60

−80

−100

−120

−140
0.2 0.4 0.6 0.8 1 1.2 1.4 1.6 1.8 2
d[µm ]

Figura 4.3.3: Variación de las pérdidas por unidad de longitud en función de la distancia entre
la guía rotadora y la resistencia metálica

Parámetro Error(nm)
t1 20
d1 40
t2 -30
d2 -60

Tabla 4.2: Errores en la geometría transversal

4.4. Análisis electromagnético del rotador de polarización ajus-

table

En esta sección se mostrará un caso práctico del funcionamiento del rotador de polarización
ajustable. Para ello, partiremos de una guía rotadora cuyas dimensiones se han variado lige-
ramente. En concreto los valores de los parámetros geométricos son los de la tabla 4.2, de
acuerdo a la nomenclatura mostrada en la figura 4.2.7. Se analizará el caso de rotación de TE
a TM, ya que suele ser el más restrictivo.

En primer lugar, se realizó un análisis modal de la estructura, haciendo uso de Fimmwave.

Una vez realizado el análisis modal, se analizó el ER de la guía rotadora. Se obtuvo un ERT M
de -2.81 dB, superior al mínimo requerido para que la rotación perfecta sea realizable, que es
de -4.7 dB. Realizado dicho análisis, se introdujo la estructura rotadora con desviaciones en
la geometría transversal, dentro de la estructura del rotador ajustable. Volvimos a calcular el
ER del rotador ajustable completo, obteniendo un valor de -4.69 dB.

Para ajustar el valor de la temperatura de los PPS, se ajustaron en primer lugar las longitudes
de los diferentes PPS. El motivo es que variar la temperatura, implica variar las condiciones
de contorno en la geometría transversal, con lo cual es necesario realizar un análisis modal,
lo que incrementa el tiempo necesitado para ajustar los PPS. Mientras que variar la longitud,
4.4. ANÁLISIS ELECTROMAGNÉTICO DEL ROTADOR DE POLARIZACIÓN AJUSTABLE 47

ER SÍ
4L1 Opt. ER 4L2 Opt. ER FIN
30dB

Figura 4.4.1: Algoritmo de Optimización ER en el rotador de polarización ajustable

supone realizar el análisis de propagación, cuyo tiempo de cómputo es menor. Obtenidas las
longitudes de los PPS óptimas, haciendo uso del diagrama de flujo mostrado en la figura 4.4.1,
se comprobó que el ER era de 33.28 dB. Las longitudes obtenidas para cada PPS fueron de
12,63 µm y 81,91 µm respectivamente.

Finalmente, se trasladaron las variaciones de longitud en variaciones de temperatura haciendo

uso de la ecuación 4.3.6, mediante un script realizado en Matlab. Los incrementos de tempe-
ratura finales fueron de 9,67 o C y 25,07 o C, fijadas las longitudes a 700 µm. En la figura 4.4.2
se muestra el módulo al cuadrado de las componentes Ex y Ey , al propagarse por un rotador
optimizado. En este caso, para poder representar la evolución del campo al atravesar las guías
rotadoras el rotador de polarización, el tamaño de los desfasadores no es el que se ha diseña-
do, aunque consiguen el mismo desfase. No obstante, estas figuras describen cualitativamente
el comportamiento del rotador ajustable. Se puede observar cómo la componente Ex pierde
energía, en aumento de la energía de la componente Ey .
48 CAPÍTULO 4. ANÁLISIS DEL ROTADOR AJUSTABLE

| E x| 2
2

1
x[ µ m ]

−1

−2
0 10 20 30 40 50 60 70 80
z [µm]

| Ey| 2
2

1
x[ µ m ]

−1

−2
0 10 20 30 40 50 60 70 80
z [µm]

Figura 4.4.2: (a) Evolución de la componente Ex al atravesar el rotador de polarización ajus-

table. (b) Evolución de la componente Ey al atravesar el rotador de polarización ajustable. En
ambos casos se excita el rotador con un modo TE
Capítulo 5

Medidas de la guía de onda rotadora

de polarización

Una parte del trabajo realizado a lo largo del desarrollo de este proyecto se corresponde con la
caracterización experimental de guías rotadoras de polarización. Se disponía de un total de 84
guías rotadoras de polarización, como las que se plantean incluir en el rotador de polarización
ajustable, fabricadas en tecnología SOI. El fin de esta tarea, fue encontrar qué guías eran las
mejores candidatas a ser incluidas en el diseño del rotador ajustable de polarización. En la
sección 5.1, se describirá como se realizó la medida del ER de estas guías y se expondrán los
resultados. En el apartado 5.2 se detallarán las medidas de las pérdidas que presentan dichas
guías rotadoras de polarización.

5.1. Medida del ER de la guía de onda rotadora de polarización

Para realizar una estimación de la funcionalidad de las guías rotadoras fabricadas en tecnología
SOI, se caracterizaron a partir de su ER un total de 84 guías. Estas guías estaban dividas en
diferentes 14 grupos de 6 guías rotadoras de polarización con longitudes diferentes, más una
guía de referencia. Entre grupos, la diferencia era la dosis de exposición, lo que hacía variar
la geometría transversal de las guías rotadoras. En la presente sección se describirán en el
apartado 5.1.1, el set-up utilizado para realizar las medidas. En el apartado 5.1.2, se detallarán
los resultados de dichas medidas, y se relacionarán con la longitud de los dispositivos y la dosis
del e-beam. Finalmente en 5.1.3, se enlazarán estos resultados con el rotador de polarización
ajustable.

49
50CAPÍTULO 5. MEDIDAS DE LA GUÍA DE ONDA ROTADORA DE POLARIZACIÓN

L
A K

B
J

x C E F G
I
M1 H
D M3
y z M2
Figura 5.1.1: Set-up para la medida del ER

5.1.1. Set-up utilizado para la medida

El set-up de medida completo se muestra esquemáticamente en la figura 5.1.1. Se describirá en

el mismo orden en el que la luz recorre cada uno de los dispositivos mostrados. Cada dispositivo
lleva una letra con la cual se identificará a lo largo de la descripción del set-up.

El dispositivo A, es un láser sintonizable en el que se genera un haz de luz linealmente po-

larizada. A la salida del láser, se encuentra la fibra mantenedora de polarización (B), que
es un tipo particular de fibra que evita que perdamos el estado de polarización sintetizado
en el controlador de polarización. La fibra mantenedora de polarización, además de tener la
capacidad de evitar que se produzcan transvases de energía entre los modos TE y TM, tiene
la peculiaridad de estar acabada en forma de lente (D). Dicha fibra esta sujeta en su extremo
a través de (C), que es un rotador de fibra, a la estación de posicionamiento M1 . Además de
sujetar la fibra, con este rotador, compensaremos las torsiones que se produzcan a lo largo de
la fibra, de modo que se puede asegurar que el estado de polarización a la salida de la fibra es
el deseado.

La entrada a nuestro dispositivo se realiza a través del borde del chip (E). Teniendo en cuenta
que el diámetro de la fibra es un orden de magnitud mayor que el ancho de la guía de onda, se
perdería mucha energía si dicha fibra no estuviese acabada en una lente capaz de concentrar el
5.1. MEDIDA DEL ER DE LA GUÍA DE ONDA ROTADORA DE POLARIZACIÓN 51

haz de luz. El chip se encuentra a su vez en una mini-estación de posicionamiento (M2 ). Una
vez la luz se ha guiado hasta el interior de las guías de onda guías de onda, ésta experimentará
los cambios oportunos en función de la guía que estemos analizando. A partir de la salida del
chip, la luz se propaga en espacio libre (camino rojo)

El elemento F, que es un objetivo de microscopio, está anclado a la estación de posicionamiento

M3 . El fin de este objetivo es enfocar el haz de luz procedente del canto de salida del chip.
Este haz de luz se propaga por espacio libre hasta que alcanza el filtro polarizador. Este filtro
sólo deja pasar una componente lineal de polarización, y es capaz de rotar sobre la dirección
de propagación del haz de luz, de modo que podremos elegir qué estado polarización lineal
dejamos pasar a través de él. Se trata de un elemento clave en el proceso de medida, pues nos
permitirá seleccionar entre polarización TE o TM. Justo después de este filtro, se encuentra el
espejo abatible (H), que nos permite conmutar el camino que recorre el haz de luz. Si el espejo
está en su posición normal, el haz de luz se verá reflejado y variará su dirección encontrándose
con la cámara de infrarrojos (J). Si está abatido la luz continuará su camino para llegar al
detector de potencia (I). La señal que llega a la cámara de infrarrojos es mostrada en un
monitor (K). Si el espejo no está abatido, entonces, el haz de luz llega hasta el detector de
potencia, y obtendremos una tensión linealmente dependiente de la potencia recibida en el
osciloscopio (L).

En resumen se pueden distinguir tres etapas de set-up:

La etapa en la que se genera la señal, formada por el láser sintonizable y la fibra mantenedora
de polarización. La segunda etapa, etapa de posicionamiento, estaría formada por las estaciones
de posicionamiento, M1 , M2 , M3 y los elementos que se sitúan sobre estas, que a su vez se
encuentran ancladas a la Mesa Óptica (M). Y por último, la etapa de medida, que comprende
desde el filtro de polarización hasta el osciloscopio o el monitor. En la figura 5.1.2, se muestra
un imagen con una parte del set-up.

5.1.2. Proceso de medida y resultados

El proceso de medida es una tarea laboriosa, pues los elementos con los que tratamos tienen
dimensiones muy reducidas. El chip sobre el que se encuentran las 98 guías apenas tiene una
superficie de 3 cm2 . El material que se usa es muy sensible, y es muy importante mantener
la tranquilidad en cada etapa del proceso. En el subapartado 5.1.2.1, se detallarán los pasos
de la etapa de alineamiento previa a cualquier medida realizada sobre dispositivos fotónicos.
En el subapartado 5.1.2.3, se explicará cómo se caracterizaron las guías de onda rotadoras de
polarización. Finalmente en el subapartado 5.1.2.3, se expondrán los resultados obtenidos.
52CAPÍTULO 5. MEDIDAS DE LA GUÍA DE ONDA ROTADORA DE POLARIZACIÓN

OBJETIVO CÁMARA
DE MICROSCOPIO INFRARROJA

FILTRO
POLARIZADOR

CHIP SOBRE
SOPORTE
POSICIONADORES ESPEJO
ABATIBLE DETECTOR
DE POTENCIA

Figura 5.1.2: Imagen de una parte del set-up utilizado

5.1.2.1. Alineamiento

Para realizar las medidas, después del montaje del set-up descrito en el apartado anterior, se
procede a la etapa de alineamiento. Durante esta etapa haremos uso de la cámara de infrarrojos
y el monitor, pues es la forma más cómoda de realizar dicha tarea. Esta etapa consta de dos
fases, la fase de alineamiento fibra-objetivo y la fase de alineamiento fibra-chip-objetivo.

Durante la fase de alineamiento fibra-objetivo lo que se pretende es conseguir visualizar el haz

de luz procedente de la fibra mantenedora de polarización en el monitor, sin que ésta atraviese
el chip. Para ello, se usarán potencias bajas, evitando así dañar el sensor de la cámara de
infrarrojos. Empezaremos disminuyendo la altura a la que se encuentra el chip, pasando la
fibra por encima de éste, acercándola así al objetivo. La distancia a la que la fibra se encuentre
del objetivo, debe de ser la misma a la que luego se encuentre el borde del chip, pues ésta será
la distancia a la que enfoque el objetivo.

Los grados de libertad de los que disponemos, son los ejes x, y, z de las estaciones de posi-
cionamiento, M1 y M3 . Con x e y de la estación de posicionamiento M1 , intentaremos que
la fibra esté dentro del campo de visión del objetivo, y con z, que ésta se encuentre a misma
distancia a la que luego se encuentre el borde del chip. En cuanto a la posición de la estación
M3 , nos desplazaremos en el eje z para conseguir un punto de enfoque tal que, atravesando
el cristal del filtro polarizador, esté lo más enfocado en el monitor. Las variaciones en x e y,
serán tales que nos permitan variar el punto de enfoque en el mayor rango de distancias sin
5.1. MEDIDA DEL ER DE LA GUÍA DE ONDA ROTADORA DE POLARIZACIÓN 53

salir del campo de visión de la cámara de infrarrojos. Habiendo conseguido el alineamiento, se

optimiza el modo TE de la fibra. Para realizar esta optimización, se situará el filtro polarizador
en posición TM, y se usará el rotador de fibra, hasta conseguir un nulo en el monitor. Con
este proceso, garantizamos que a la salida de la fibra mantenedora de polarización tenemos
una polarización TE.

Una vez se ha conseguido alinear la fibra con el objetivo, resultando un punto en el monitor,
se procede al alineamiento de la fibra-chip-objetivo. Para alinear la fibra con el chip, en primer
lugar retiraremos la fibra del plano focal, desplazándola a lo largo del eje z, una distancia tal que
podamos subir el chip sin que éste toque con la fibra. Subido el chip, se acerca cuidadosamente
la fibra al chip, intentando alinear la punta de la fibra con una de las guías de referencia de
cualquiera de los grupos. Llegados a este punto podemos subir la intensidad del láser. En
función de la zona del chip en la que nos encontremos, aparecerán determinados patrones que
nos ayudarán a orientarnos. En este punto, se realizan movimientos muy leves, por ensayo y
error, en los ejes x, y, z de ambos posicionadores hasta que se consigue enfocar la salida de
una guía de referencia.

Esta es la parte más compleja del proceso de medida pero una vez alineada la fibra con una
guía de onda, alinearla con cualquier otra guía sólo supondrá variar el eje y de la estación de
posicionamiento M1 . No obstante, si nos desplazamos continuamente puede que la salida de
una guía se encuentre fuera del ángulo de visión del objetivo, en ese caso también habrá que
realizar desplazamientos de la estación de posicionamiento M2 moviendo convenientemente el
chip en el eje y.

5.1.2.2. Caracterización de las guías de onda

Una vez se ha conseguido realizar el alineamiento fibra-chip-objetivo, se realiza la caracteriza-

ción de las guías. Cómo ya se comentó anteriormente, la caracterización de las guías rotadoras
se realizará partiendo de la medida del ER. En esta etapa del proceso de medida utilizaremos
el set-up al completo. Esta caracterización se hará sólo para el caso de tener una polarización
TE a la entrada. Con el fin de asegurar la polarización TE a la entrada, cada vez que se
mide un grupo, se utiliza la guía de referencia y junto al filtro polarizador en posición TE, se
optimizan los parámetros del controlador de polarización, para tener una intensidad máxima
en el monitor.

Para alinear cada guía, utilizaremos la cámara infrarroja, y posteriormente realizaremos un

ajuste más fino usando el detector de potencia y el osciloscopio. Una vez alineada la guía de
onda la primera medida que se hace, es medir la tensión de oscuridad. Dicha tensión se define
como la tensión que aparece en el osciloscopio, cuando no se es excita con luz. Una vez se
ha medido la tensión de oscuridad, realizaremos dos medidas sobre la guía. La primera de
54CAPÍTULO 5. MEDIDAS DE LA GUÍA DE ONDA ROTADORA DE POLARIZACIÓN

ellas, con el filtro de polarización en posición TE, nos proporcionará un nivel de tensión en el
osciloscopio, proporcional a la potencia óptica recibida en el detector de potencia. La segunda
medida, se consigue rotando 90 el filtro polarizador. De este modo, la potencia que llega al
detector será la de la componente TM, esta potencia se transladará a un nivel de tensión en
el osciloscopio.

Este proceso se realizará sobre cada guía, hasta caracterizar las 98 guías, incluidas las de
referencia. En el siguiente apartado, se muestran los resultados obtenidos.

5.1.2.3. Resultados

Como se comentó en el apartado anterior, para cada guía se realizaron tres medidas. La primera
de ellas, denominada tensión de oscuridad, Vosc . Las otras dos se corresponden con la tensión
correspondiente al modo TE, VT E , y la tensión correspondiente al modo TM, VT M . A partir
de ellas, es posible calcular el ER de cada guía, haciendo uso de la siguiente expresión:

VT M Vosc
ER(dB) = 10 log10 (5.1.1)
VT E Vosc

Nótese, que se realiza un cociente entre tensiones, y no un cociente entre potencias, mientras
que en 4.2.2 el ER, se definió como cociente entre potencias. La razón por la que se realiza el
cociente entre tensiones, queda descrita en la siguiente ecuación,

Vmed = I ⇥ R
I = R ⇥ Poptica (5.1.2)
Vmed = R ⇥ Poptica ⇥ R

dónde R es la responsibidad del detector de potencia, y R es la ganancia de transimpedancia del

amplificador del fotodiodo. Si Vmed es la tensión que se mide en el osciloscopio, se comprueba
que salvo un factor constante, es linealmente proporcional a la potencia óptica. Por lo tanto,
podemos definir el ER, como el cociente de las tensiones que se miden en el osciloscopio. Los
resultados de las medidas realizadas, se encuentran tabulados en el anexo C.

Antes de obtener conclusiones de las medidas realizadas, profundizaremos un poco más en la

diferencia entre las guías de un mismo grupo, y la diferencia entre grupos. Dentro de cada
grupo, varía la longitud de cada guía de onda rotadora de polarización, tal y como se muestra
en la tabla 5.1a.

Entre diferentes grupos lo que varía es la dosis de grabado. En la tabla 5.1b se muestra, para
cada grupo, la dosis correspondiente. La dosis afecta a la geometría transversal de las guías
rotadoras de polarización. La figura 5.1.3 muestra los ER medidos.
5.1. MEDIDA DEL ER DE LA GUÍA DE ONDA ROTADORA DE POLARIZACIÓN 55

Grupo 1 Grupo 2
10 10

ER[dB]

ER[dB]
0 0

−10 −10

−20 −20
1 2 3 4 5 6 7 1 2 3 4 5 6 7
Guía Guía
Grupo 3 Grupo 4
20 10
ER[dB]

ER[dB]
0
0
−10

−20 −20
1 2 3 4 5 6 7 1 2 3 4 5 6 7
Guía Guía
Grupo 5 Grupo 6
10 10
ER[dB]

ER[dB]
0 0

−10 −10

−20 −20
1 2 3 4 5 6 7 1 2 3 4 5 6 7
Guía Guía

Grupo 7 Grupo 8
20 0
ER[dB]

ER[dB]

0 −10

−20 −20
1 2 3 4 5 6 7 1 2 3 4 5 6 7
Guía Guía
Grupo 9 Grupo 10
0 0
ER[dB]

ER[dB]

−10 −10

−20 −20
1 2 3 4 5 6 7 1 2 3 4 5 6 7
Guía Guía
Grupo 11 Grupo 12
0 0
ER[dB]

ER[dB]

−10 −10

−20 −20
1 2 3 4 5 6 7 1 2 3 4 5 6 7
Guía Guía
Grupo 13 Grupo 14
0 0
ER[dB]

ER[dB]

−10 −10

−20 −20
1 2 3 4 5 6 7 1 2 3 4 5 6 7
Guía Guía

Figura 5.1.3: ER para cada guía, clasificados por grupos

56CAPÍTULO 5. MEDIDAS DE LA GUÍA DE ONDA ROTADORA DE POLARIZACIÓN

Grupo Dosis
1 3,3
2 3,2
Guía Longitud [µm] 3 3,1
4 3
1 0
5 2,9
2 25
6 2,8
3 20
____________ 7 2,7
4 15
8 2,6
5 10
9 2,5
6 5
10 2,4
7 2
11 2,3
(a)
12 2,2
13 2,1
14 2
(b)

Tabla 5.1: (a) Longitud de cada guía rotadora dentro del mismo grupo. La guía 1 tiene longitud
0 porque realmente no contiene ninguna guía rotadora. (b) Dosis de exposición a la que se
somete cada grupo.

Como se comenta en la introducción de este capítulo, el objetivo de esta medida es determinar

la dosis y la longitud con la que se fabricarán los rotadores ajustables de polarización. De la
figura 5.1.3 se pueden extraer algunas conclusiones:

Las dosis correspondientes a los grupos 1 a 6, son aceptables, siendo la del grupo cinco
la que provoca un ER mejor.

Las mejores guías dentro de cada grupo, son las 2, 3 y 4. Si recordamos, en el apartado
4.2.1, se definió la longitud óptima del rotador de 12,7 µm, lo cual es coherente con que
éstas sean las mejores guías, ya que de acuerdo a la tabla 5.1a, esta longitudes, o bien
se acercan a la longitud de diseño, o bien son múltiplo entero de la misma.

La guía con mejor ER, es la guía 3 del grupo 3.

La primera guía de cada grupo, al ser una guía de referencia no realiza rotación y este
es el motivo por el cual el ER es tan bajo.

La línea roja que se muestra en cada gráfica, corresponde a ER=-4.7 dB, que es el mínimo ER
permitido para conseguir la rotación perfecta haciendo uso del rotador ajustable.
5.2. MEDIDA DE LAS PÉRDIDAS DE INSERCIÓN 57

20

10

ER [dB]
0

−10
3 2 1
12 8 7 6 5 4
34
56 11109
7 141312
GRUPO
GUÍA

Figura 5.1.4: ER [dB], en función de grupo y guía.

5.1.3. Extrapolación de los resultados al problema concreto

Habiendo caracterizado todas las guías podemos realizar algunas extrapolaciones al rotador
de polarización ajustable. En un 50 % de los casos, el rotador de polarización ajustable sería,
teóricamente, capaz de corregir los errores introducidos. Teniendo en cuenta que lo que se
buscaba era encontrar las dosis y longitud óptimas, los resultados son bastante prometedores.

Para la fabricación del rotador de polarización ajustable, se propondrá la longitud óptima del
rotador, de 12,7 µm. En cuanto a la dosis, posiblemente a la que se expone el grupo tres sea la
mejor. En la figura 5.1.4, se ha representado el ER de las guías caracterizadas, con un offset
de 4.7 dB. De este modo, todas las guías cuyo ER es mayor que cero en la gráfica, son aptas
para usar en el rotador de polarización ajustable.

5.2. Medida de las pérdidas de inserción

Esta sección, con una estructura similar a la anterior, se centra en exponer el proceso (apartado
5.2.1) y los resultados (apartado 5.2.2) de medida de las pérdidas de inserción de una guía de
onda rotadora de polarización. Su extensión será menor pues parte del trabajo que se realiza
es común al realizado para el desarrollo del capítulo anterior. La medida de las pérdidas de
inserción se realizó para guías de ondas seleccionadas aleatoriamente.

5.2.1. Set-up utilizado para la medida

Cómo se puede ver en la figura 5.2.1, el set-up es el mismo que en el apartado 5.1.1, el único
elemento que se ha añadido es la tarjeta de adquisición de datos (L) y el ordenador (N). En
58CAPÍTULO 5. MEDIDAS DE LA GUÍA DE ONDA ROTADORA DE POLARIZACIÓN

A K N
L

B
J
M
x C E F G
I
H
D
y z

Figura 5.2.1: Set-up utilizado para la medida de las pérdidas de inserción de las guías rotadoras
de polarización

cuanto al alineamiento, no volveremos a describir el proceso de alineamiento, pues es idéntico

al que ya se ha descrito. Se ha añadido el ordenador, porque los datos obtenidos mediante
la tarjeta de adquisición, serán capturados por una rutina en Matlab, que se encargará de
procesarlos.

5.2.2. Proceso de medida y resultados

Montado el set-up y alineado el chip, para medir las pérdidas de inserción es necesario realizar
un barrido en longitud de onda de la guía en cuestión. En este caso, se eligieron aleatoriamente
un conjunto de guías y se excitaron de modo que la señal a la salida fuese máxima. Se realizaron
barridos de longitud de onda entre los 1500 y 1600 nm. Realizado el barrido, con un script de
Matlab, se obtenía la potencia óptica que se recibía en el detector de potencia.

La señal obtenida, que se se muestra en la figura 5.2.2a, es una especie de sinusoide, cuya
amplitud varía en función de la longitud de onda. La forma de la gráfica que se obtiene se
debe a las reflexiones que se producen en la guía de onda. En función de la longitud eléctrica
de la guía de onda, tendremos que en la salida, a la señal directa se le sumará o la señal restará
reflejada en el interfaz de entrada. Este método, conocido como el método de resonancia de
Fabry-Perot, nos da una estimación de las pérdidas que se producen en la guía en función de
5.2. MEDIDA DE LAS PÉRDIDAS DE INSERCIÓN 59

4
6 3
2 3.5
Vm ed
5 1
0 3
4
−1
1.55 1.5505 1.551 2.5
3

L[ d B ]
[ µm]
Vm ed

2
2
1.5
1

0
1

−1 0.5

−2 0
1.5 1.52 1.54 1.56 1.58 1.6 0 10 20 30 40
[ µm] M ed i d a

(a) (b)

Figura 5.2.2: (a) Tensión medida para el barrido en longitud de onda de una guía. (b) Medida
de las pérdidas para diferentes guías

un máximo y un mínimo contiguos, tal y como se detalla en la siguiente ecuación:

✓ p p ◆
Pmax Pmin
L[dB] = 10 log10 p
2( P
p (5.2.1)
max + Pmin )

en esta ecuación Pmáx y Pmı́n son las potencias de un máximo y un mínimo consecutivos,
mientras que 2 es un coeficiente de reflexión que depende de la diferencia entre de índices
efectivos en la interfaz en la que se produce la reflexión. En nuestro caso, los medios que separa
la interfaz son en aire y un medio compuesto de silicio, di-óxido de silicio y una sustancia
denominada SU8, debido a que las reflexiones se producen en los cantos del chip. El valor de
2, viene dado por

✓ ◆2
2 nef f nair
= (5.2.2)
nef f + nair

y en nuestro caso toma el valor de 0.2.

En la figura 5.2.2b se muestran las pérdidas obtenidas para una longitud de onda de 1,55 µm,
medidas en diferentes guías.

5.2.3. Discusión de los resultados

Las pérdidas de una guía en silicio son aproximadamente de 2 dB/cm para la polarización TE.
En nuestro caso al tratarse de un rotador de polarización, no podemos considerar este valor
60CAPÍTULO 5. MEDIDAS DE LA GUÍA DE ONDA ROTADORA DE POLARIZACIÓN

como una referencia exacta, pues la polarización no es constante a lo largo de la estructura.

No obstante, teniendo en cuenta que la longitud de las guías en total, considerando guía y
rotador, es de 1 cm, las pérdidas totales deberían ser algo menores a 2 dB. Si se observan
los valores de la gráfica, vemos que las pérdidas que encontramos están dentro de un rango
aceptable, pues oscilan entre 0 y 3 dB, siendo la media de 1.6 dB.

Por lo tanto, podemos deducir que el rotador no introduce unas pérdidas mayores de las que
pueda introducir una guía sola.
Capítulo 6

Preparación del Layout

En este capítulo, se procederá a comentar cómo se ha realizado la primera aproximación

al diseño final del layout del rotador de polarización. Este layout incluye las guías rotadoras,
guías de acceso y calentadores. Se ha utilizado una herramienta del grupo de investigación, a la
que nos referiremos como DrawMask. Dicha herramienta, es un conjunto de objetos y métodos
definidos en Visual Basic. Esta herramienta a su vez, se relaciona con Autocad para representar
los elementos en ella descritos. En la sección 6.1, se describirá brevemente cómo se utiliza la
herramienta, y se mostrarán algunos ejemplos. Dado que algunas de las estructuras que se
utilizarán para el diseño del rotador ajustable no estaban contempladas en en DrawMask, se
realizó una ampliación de la herramienta, que se detallará en 6.2.

6.1. Uso de la herramienta DrawMask

Como se ha comentado en la introducción, DrawMask es un conjunto de objetos y métodos

definidos sobre Visual Basic basado en programación orientada a objetos. Cada uno de los
elementos en los que se descomponen las estructuras que se dibujarán en Autocad, son objetos
de una determinada clase, sobre los que se pueden aplicar unos métodos que variarán sus
dimensiones y el punto del plano en el que se dibujan.

Drawmask está programado en dos niveles. El nivel principal y el nivel de bloques. El nivel
principal, es el encargado de dibujar las estructuras y de manejar las interacciones con Autocad.
Para ello, este nivel hace uso del nivel de bloque. En el nivel de bloque se definen los elementos
básicos en los que se descomponen las estructuras. Dichos elementos se definen parametrizando
sus dimensiones. De este modo, al llamar a rutinas de este nivel, desde el nivel principal, se tiene
la libertad de realizar modificaciones en las dimensiones de los elementos. Dichos elementos se
definen como objetos de una determinada clase.

61
62 CAPÍTULO 6. PREPARACIÓN DEL LAYOUT

Cada objeto, además de atributos correspondientes a su geometría debe poseer un atributo

perteneciente a la clase ContactStruct. Esta clase es la más importante de todas las que
se definen en el programa, pues es la que nos permite conectar unos elementos con otros.
Los objetos de la clase ContactStruct, sólo tienen dos atributos, que son ContactPoint y
RotationAngle.

ContactPoint es un atributo compuesto por dos variables, x e y, que representan la

posición en el plano del elemento a dibujar.

RotationAngle es un atributo compuesto por una variable que almacena un determinado

ángulo.

Cualquier elemento que se represente, almacenará en este atributo el punto del plano en el
que acaba su dibujo. De este modo, los elementos que se representen después, harán uso de
estas coordenadas para comenzar su dibujo. La posición inicial, en la que se dibujará el primer
elemento, será un parámetro.

La existencia de esta clase, determina el modo de uso de DrawMask. Así, cada vez que se dibuja
un elemento es fundamental almacenar el contactPoint. Gracias a esta filosofía de diseño del
software, aseguramos por un lado, que la estructura sea totalmente continua y por otro lado
que el dibujo se realice de un modo totalmente secuencial.

A continuación en el algoritmo 6.1 se muestra un código en Visual Basic, que se encarga de

dibujar en Autocad la estructura representada en la figura 6.1.

Algoritmo 6.1 Código para crear en Autocad la estructura definida en la figura 6.1.1
Dim origin As contactStruct = New contactStruct ’1
Dim curve As New clCurve ( ThisDrawing ) ’2
Dim wg As New clWaveguide ( ThisDrawing ) ’3
origin . contactPoint (0) = 3000 ’4
origin . contactPoint (1) = 3000 ’5
origin . rotationAngle = pi / 2 ’6
wg . attach ( origin ) ’7
wg . length = 50 ’8
wg . draw () ’9
curve . attach ( wg . contactPoint (1) ) ’ 10
curve . arc = pi / 2 ’ 11
curve . radius = 20 ’ 12
curve . draw () ’ 13

En las líneas 1 a 3, se declaran todas las variables que se usan en el código. Origin es una
variable de tipo ContactStruct, y con ella fijamos el punto del plano a partir del cual se
representa la estructura. En las líneas 4,5, 6, se asigna a la variable origin el valor de sus
atributos, en este caso el ángulo de rotación no es relevante. La línea 7 sirve para asociar a la
variable wg su contactPoint, usando el método attach. Wg es un objeto de la clase waveguide,
6.2. AMPLIACIÓN DE LA HERRAMIENTA DRAWMASK 63

Figura 6.1.1: Ejemplo de máscara creada en Autocad

que modela una guía de onda. La longitud de la guía se establece en la línea 8, mientras que
su anchura, viene dada por defecto. Por otro lado, en la línea 9, se lleva a Autocad la guía
definida. Las siguientes líneas sirven para representar una guía curva, la cual se unirá a la
anterior. En primer lugar, se establece el punto a partir del cual se realiza la curva.

La línea 10, quizás la más importante del código, muestra el beneficio de usar los conctacPoints
para la representación secuencial de una estructura. En dicha línea se utiliza el contactpoint
que devuelve la función contacPoint() aplicada a wg, para asociárselo a la curva a dibujar. Las
líneas 11 y 12, asignan valores a parámetros geométricos de la curva y la línea 13 la envía a
representar en Autocad.

Con este ejemplo, queda descrita la filosofía de funcionamiento de Drawmask. En resumen, para
representar una estructura compleja en DrawMask en primer lugar hemos de descomponerla
en elementos más básicos, que son objetos de las clases definidas en el código de DrawMask.
Una vez realizada la división, cada elemento se describe haciendo uso de un objeto de la clase
correspondiente. Dicho objeto se dibujará en Autocad, y se almacenará su contactPoint. El
contactPoint almacenado, formará parte de la descripción del próximo elemento a dibujar.

6.2. Ampliación de la herramienta DrawMask

Las estructuras definidas en DrawMask, no eran suficientes para poder representar el layout del
rotador de polarización ajustable. Por lo tanto, hubo que crear nuevas clases que completaran la
herramienta, permitiendo dibujar en autocad el rotador completo, incluyendo los calentadores.

Las clases que se crearon fueron las siguientes:

clRotator: Los objetos de esta clase son las guías rotadoras de polarización. Hace uso de
la clase clRotatorParams.
64 CAPÍTULO 6. PREPARACIÓN DEL LAYOUT

• clRotatorParams: Esta clase facilita el manejo de los parámetros geométricos que

definen la sección transversal de la guía rotadora de polarización. Dichos parámetros
son los ya definidos en la figura 4.2.7.

clHeater: Los objetos de esta clase son los calentadores. Hace uso de la clase clHeater-
Params.

• clHeaterParams: Esta es similar a la clase clRotatorParams, pero para facilitar el

manejo de los calentadores. Se creó para tener una clase cuyos objetos fueran los
parámetros con los que se definen los calentadores.

Además de estas clases, también se han creado algunas funciones que hacen uso de las nuevas
clases definidas, y pertenecen al nivel de bloque, descrito al comienzo del presente capítulo.
No resulta útil profundizar más en ellas, pues no aporta información relevante. No obstante,
el resultado del trabajo ha sido el poder crear guías rotadoras (como la que se muestra en la
figura 6.2.1a) y calentadores que permitan aumentar la temperatura de los desplazadores de
fase de polarización, como el mostrado en la figura 6.2.1b.

Todos los elementos que se han creado, están totalmente parametrizados, de modo que volverlos
a dibujar variando cualquiera de sus dimensiones, es una tarea sencilla, ya que sólo basta crear
un nuevo objeto de tipo clRotator o de tipo clHeater , con las nuevas dimensiones, y llamar a
la función correspondiente.

Finalmente, en la figura 6.2.2 se muestra la máscara correspondiente al rotador ajustable de

polarización completo. La estructura azul, está compuesta por secciones que son guías de onda
y secciones que son guías rotadoras de polarización. Debido a la relación de aspecto entre los
calentadores y la guía, no se pueden mostrar ambos simultáneamente, por lo que se ha realizado
un zoom en la zona en la que se encuentra el rotador.
6.2. AMPLIACIÓN DE LA HERRAMIENTA DRAWMASK 65

(a)

(b)

Figura 6.2.1: Estructuras correspondientes (a) al layout de la guía rotadora de polarización y

(b) del calentador. Los tapers que aparecen en los extremos de la guía rotadora de polarización
sirven para reducir las pérdidas entre las guías normales y ésta.

Figura 6.2.2: Layout de un rotador de polarización ajustable completo.

66 CAPÍTULO 6. PREPARACIÓN DEL LAYOUT
Capítulo 7

Conclusiones y líneas futuras

Este capítulo se ha divido en dos secciones, en la primera de ellas, se exponen las conclusiones
obtenidas tras la realización del presente proyecto. En la segunda, se detallan posibles líneas
futuras.

7.1. Conclusiones

Este proyecto fin de carrera ha supuesto un empuje en el avance hacia la fabricación del ro-
tador de polarización ajustable. En primer lugar, se ha realizado un análisis de la variación
del funcionamiento de las guías rotadoras de polarización cuando se producen variaciones en
la geometría transversal. Además se ha realizado una extrapolación de la condición de com-
pensación, a un plano más experimental. Como resultado de este análisis, se ha establecido
una condición que permite comprobar experimentalmente si una determinada guía rotadora
de polarización es apta para construir el rotador ajustable. Además, se ha realizado un estudio
de las guías desplazadoras de fase de polarización, donde se ha visto como a partir de incre-
mentos de temperatura, se pueden conseguir aumentos de fase lineal. Con el fin de validar
la estructura se realizó una simulación electromagnética del problema completo, obteniendo
unos resultados favorables. Por otro lado, se han medido y caracterizado un conjunto de guías
rotadoras de polarización con el fin de incluirlas en el diseño final del rotador de polarización
ajustable. Como resultado, se ha podido seleccionar un conjunto de parámetros de fabricación
que garantizarán que el rotador ajustable funcione correctamente. Además, las pérdidas de in-
serción medidas de las guías rotadoras de polarización resultaron ser despreciables. Por tanto,
se realizó un primer diseño de layout de esquema del rotador ajustable completo. Para ello se
ha ampliado una herramienta software ya existente, desarrollada den el grupo de investigación.

67
68 CAPÍTULO 7. CONCLUSIONES Y LÍNEAS FUTURAS

A B C D E F

Rotador de polarización
Desplazador de fase de polarización
Guı́as de acceso

Figura 7.2.1: Esquema de controlador de polarización integrado

7.2. Líneas futuras

Como extensión natural de este proyecto, resulta lógico proponer la fabricación del rotador
de polarización ajustable. De este modo, el siguiente paso será finalizar el diseño del layout.
Para ello se propondrán diferentes variaciones de las estructuras, dentro de los parámetros
seleccionados en este trabajo. El objetivo de estas variaciones es realizar una caracterización
completa del rotador de polarización ajustable y demostrar que es capaz de compensar un
amplio abanico de variaciones de fabricación.

Además de la extensión natural, se propone una segunda línea sobre la que trabajar. Dicha
línea, se basa en una ampliación del esquema del rotador de polarización ajustable, añadiendo
una guía desplazadora de fase de polarización, tal y como se muestra en la figura 7.2.1. Al
añadir esta línea, conseguimos un nuevo grado de libertad, de modo que en teoría, sería posible
sintetizar cualquier estado de polarización, es decir, dispondríamos de un controlador de po-
larización completamente integrado. Al igual que se encontró una condición de compensación,
que establece la calidad mínima que han de tener las guías de onda rotadoras de polarización,
para poder lograr una rotación de polarización perfecta, es necesario encontrar una nueva
condición que establezca acerca de las guías rotadoras, que garantice que se pueda sintetizar
cualquier estado de polarización.
Bibliografía

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69
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Apéndice A

Conversión entre parámetros de Stokes

y Vectores de Jones

Sean las componentes transversales del campo eléctrico de una onda monocromática, propa-
gándose por un medio isótropo:

Ex = |Ex (x, y)| ej x

(A.0.1)
Ey = |Ey (x, y)| ej y

El vector de Jones se ha definido en (2.2.2), como:

2 3
|Ex (x, y)| ej( x y)

6 q 7 " # " #
6 |Ex (x, y|2 + |Ey (x, y)|2 7 |ex (x, y)| ej' J1
6 7
ẼJON ES =6 7= =
6 |Ey (x, y)| 7 |e y (x, y)| J2
4 q 5
|Ex (x, y|2 + |Ey (x, y)|2

Por otro lado, se han definido los parámetros de Stokes como

S0 = |Ex |2 + |Ey |2 (A.0.2)

S1 = |Ex |2 |Ey |2 (A.0.3)

S2 = 2 |Ex | |Ey | cos ' (A.0.4)

71
72APÉNDICE A. CONVERSIÓN ENTRE PARÁMETROS DE STOKES Y VECTORES DE JONES

S3 = 2 |Ex | |Ey | sin ' (A.0.5)

A partir del vector de Jones, podemos obtener los parámetros de Stokes normalizados al valor
de S0 . No podremos conocer el valor de S0 , ya que los parámetros de Jones en su definición,
sólo contemplan luz polarizada, y están normalizados. Por lo tanto:

S1
= |J1 |2 |J2 |2 (A.0.6)
S0

S2
= 2Re {J1 J2 } (A.0.7)
S0

S2
= 2Im {J1 J2 } (A.0.8)
S0

Por otro lado, si queremos obtener el vector de Jones a partir de los parámetros de Stokes el
cálculo a realizar será el siguiente:

r
S0 + S1
|J1 | = (A.0.9)
S0

r
S0 S1
|J2 | = (A.0.10)
S0

✓ ◆
S2 + jS3
' = arg (A.0.11)
2
Apéndice B

Tablas procedentes de la simulación

A continuación se muestran algunos de los resultados arrojados por las simulaciones realizadas
usando Fimmwave. Se añaden cuatro tablas en las que cada una representa la variación de un
parámetro de la geometría transversal de la guía rotadora de polarización. Cada tabla tiene 7
columnas en las que se muestra:

4xi : Variación del parámetro x de la guía rotadora de polarización. Los subíndices

indican si dicho parámetro pertenece a la zanja 1, o a la zanja 2.

x: Valor absoluto del parámetro x. x = xideal 4x. Donde xideal es el valor del parámetro
x en el caso ideal.

Nef 1 : Índice efectivo del modo 1 de la guía rotadora de polarización.

Nef 2 : Índice efectivo del modo 2 de la guía rotadora de polarización.

✓1 : Ángulo de inclinación del modo 1

✓2 : Ángulo de inclinación del modo 2

73
74 APÉNDICE B. TABLAS PROCEDENTES DE LA SIMULACIÓN

4t1 [nm] t1 [nm] Nef 1 Nef 2 Lpi [µm] ✓1 [ o ] ✓2 [ o ]

-50 10 1,9967 1,8789 6,5782 3,1429 85,2206
-45 15 1,9640 1,8652 7,8447 4,3692 84,1186
-40 20 1,9365 1,8516 9,1356 5,6642 81,7271
-35 25 1,9130 1,8382 10,3641 8,272 79,1336
-30 30 1,8926 1,8248 11,4263 11,9114 75,6796
-25 35 1,8748 1,8115 12,2338 15,6656 70,3777
-20 40 1,8591 1,7983 12,7538 21,0669 65,4002
-15 45 1,8450 1,7854 12,9944 25,6609 58,6966
-10 50 1,8323 1,7728 13,0218 31,4292 53,7848
-5 55 1,8206 1,7606 12,9059 36,8565 49,3817
0 60 1,8098 1,7488 12,7058 41,6145 45,6356
5 65 1,7997 1,7376 12,4759 44,9297 41,59
10 70 1,7901 1,7268 12,2400 48,4638 39,0534
15 75 1,7810 1,7165 12,0179 50,3488 35,8332
20 80 1,7723 1,7067 11,8194 52,8462 34,2437
25 85 1,7639 1,6974 11,6495 54,895 32,9709
30 90 1,7558 1,6885 11,5103 56,1237 31,4859
35 95 1,7481 1,6801 11,4020 57,527 30,7345
40 100 1,7405 1,6721 11,3243 57,8642 29,3541
45 105 1,7332 1,6645 11,2757 58,8403 28,9708
50 110 1,7261 1,6572 11,2556 59,6108 28,7131

Tabla B.1: Variaciones en las características de la guía rotadora al modificar la anchura de la

primera zanja, t1

4d1 [nm] d1 [nm] Nef 1 Nef 2 Lpi [µm] ✓1 [ o ] ✓2 [ o ]

-50 160 1,8947 1,7746 6,4533 15,7754 72,6845
-40 170 1,8773 1,7695 7,1901 18,2991 70,0881
-30 180 1,8598 1,7646 8,1378 21,4583 66,5250
-20 190 1,8425 1,7596 9,3564 26,0157 61,6874
-15 195 1,8341 1,7571 10,0682 29,0581 58,6607
-10 200 1,8259 1,7545 10,8584 32,4490 55,0038
-5 205 1,8178 1,7517 11,7357 36,5390 50,6880
0 210 1,8098 1,7488 12,7058 41,6145 45,6356
5 215 1,8023 1,7458 13,7026 47,2375 39,8504
10 220 1,7953 1,7425 14,6719 53,4849 33,6152
15 225 1,7887 1,7389 15,5626 60,1230 27,2891
20 230 1,7824 1,7324 15,4842 67,1122 19,1439
25 235 1,7768 1,7302 16,6168 72,6942 15,2835
35 245 1,7674 1,7201 16,4056 81,1336 7,3680
45 255 1,7599 1,7079 14,9145 85,3738 3,3225

Tabla B.2: Variaciones en las características de la guía rotadora al modificar la profundidad

de la primera zanja, d1
 75

4t2 [nm] t2 [nm] Nef 1 Nef 2 Lpi [µm] ✓1 [ o ] ✓2 [ o ]

-50 35 1,8766 1,8218 14,1212 12,8147 74,4944
-45 40 1,8681 1,8136 14,2427 15,6572 71,8153
-40 45 1,8601 1,8057 14,2597 18,6951 69,0179
-35 50 1,8526 1,7980 14,1941 21,5764 65,7750
-30 55 1,8456 1,7905 14,0618 24,8160 63,0958
-25 60 1,8390 1,7832 13,8876 27,5131 59,5010
-20 65 1,8327 1,7760 13,6805 30,7070 56,7380
-15 70 1,8266 1,7690 13,4512 33,8338 54,0600
-10 75 1,8208 1,7621 13,2086 36,8619 51,4838
-5 80 1,8152 1,7554 12,9583 39,3481 48,6589
0 85 1,8098 1,7488 12,7058 41,6145 45,6356
5 90 1,8046 1,7424 12,4546 44,2528 43,4992
10 95 1,7996 1,7361 12,2074 46,7281 41,4795
15 100 1,7946 1,7299 11,9662 49,0410 39,5935
20 105 1,7898 1,7238 11,7325 50,9787 37,5757
25 110 1,7851 1,7178 11,5071 52,9949 35,9517
30 115 1,7806 1,7119 11,2906 54,4095 33,8817
35 120 1,7761 1,7062 11,0839 56,1702 32,5010
40 125 1,7717 1,7005 10,8867 57,7958 31,2165
45 130 1,7673 1,6949 10,6988 59,1683 29,8674
50 135 1,7631 1,6894 10,5205 60,5593 28,7721

Tabla B.3: Variaciones en las características de la guía rotadora al modificar la anchura de la

segunda zanja, t2

4d2 [nm] d2 [nm] Nef 1 Nef 2 Lpi [µm] ✓1 [ o ] ✓2 [ o ]

-25 213 1,8382 1,7572 9,5681 26,7597 61,0797
-20 218 1,8326 1,7557 10,0711 28,9463 58,7310
-15 223 1,8270 1,7541 10,6307 31,5385 56,1257
-10 228 1,8213 1,7524 11,2530 34,4442 53,0791
-5 233 1,8155 1,7507 11,9484 37,8265 49,5708
0 238 1,8098 1,7488 12,7058 41,6145 45,6356
5 243 1,8043 1,7469 13,5116 46,4760 41,5044
10 248 1,7989 1,7448 14,3367 51,3310 36,6710
15 253 1,7936 1,7425 15,1589 56,2206 31,1140
20 258 1,7883 1,7397 15,9453 62,0622 25,4306
22 260 1,7861 1,7384 16,2504 64,5162 23,0422

Tabla B.4: Variaciones en las características de la guía rotadora al modificar la profundidad

de la segunda zanja, d2
76 APÉNDICE B. TABLAS PROCEDENTES DE LA SIMULACIÓN
Apéndice C

Resultados de las medidas realizadas

En este apéndice se muestran tres tablas correspondientes a las tres tensiones medidas para
cada guía que se caracterizó. Cada columna que se corresponde con un grupo, se identifica con
la letra Gi y cada fila, identificada con Wi , indica a qué guía dentro de cada grupo se refiere
la medida.

VT E G1 G2 G3 G4 G5 G6 G7 G8 G9 G10 G11 G12 G13 G14

W1 3,30 2,40 0,84 3,09 2,40 4,52 5,69 5,50 1,00 3,70 2,85 3,68 5,20 3,70
W2 0,93 0,41 1,16 0,74 0,71 1,30 1,15 1,05 1,00 3,04 1,47 3,00 3,60 4,08
W3 2,50 0,85 0,35 3,10 1,00 1,28 2,31 1,73 2,08 2,08 4,28 3,25 4,60 3,08
W4 0,53 0,65 0,45 2,15 1,35 2,08 2,27 1,55 3,10 1,68 3,15 2,95 2,82 4,80
W5 0,30 0,41 2,10 4,03 2,74 2,82 2,45 2,80 3,20 1,63 2,40 3,10 2,80 2,97
W6 0,73 1,47 2,30 1,70 0,70 3,48 2,91 3,91 2,00 1,85 1,97 2,35 2,10 3,12
W7 1,47 1,60 1,60 3,15 2,54 1,60 4,02 4,00 3,20 2,52 2,65 2,50 3,70 2,65

Tabla C.1: Medidas de la tensión proporcional a la potencia del modo TE, expresada en Voltios

___

77
78 APÉNDICE C. RESULTADOS DE LAS MEDIDAS REALIZADAS

VT M G1 G2 G3 G4 G5 G6 G7 G8 G9 G10 G11 G12 G13 G14

W1 0,18 0,30 0,17 0,45 0,25 0,31 0,32 0,33 1,00 0,33 0,20 0,41 0,33 0,25
W2 0,35 0,88 0,63 2,37 1,90 2,20 2,50 0,95 1,00 0,30 0,62 0,29 0,49 0,42
W3 1,65 0,26 2,85 0,62 2,40 1,10 2,02 1,02 1,00 0,42 0,67 0,67 0,67 0,45
W4 2,25 0,25 1,20 1,57 0,68 1,53 1,26 0,72 1,20 0,50 0,35 0,42 0,52 0,71
W5 0,65 1,97 1,00 0,40 0,90 0,85 0,46 0,45 0,46 0,41 0,22 0,40 0,38 0,41
W6 0,32 0,62 0,37 0,44 0,32 0,85 0,38 0,55 0,29 0,27 0,28 0,43 0,43 0,30
W7 0,32 0,24 0,20 0,27 0,45 0,26 0,34 0,27 0,28 0,39 0,25 0,37 0,32 0,52

Tabla C.2: Medidas de la tensión proporcional a la potencia del modo TE, expresada en Voltios

Vosc G1 G2 G3 G4 G5 G6 G7 G8 G9 G10 G11 G12 G13 G14

W1 0,12 0,10 0,10 0,25 0,16 0,21 0,15 0,14 0,50 0,14 0,11 0,18 0,20 0,18
W2 0,13 0,11 0,12 0,16 0,15 0,22 0,16 0,14 0,50 0,11 0,11 0,17 0,20 0,20
W3 0,10 0,12 0,11 0,15 0,15 0,22 0,15 0,15 0,15 0,12 0,12 0,17 0,20 0,22
W4 0,13 0,10 0,10 0,16 0,16 0,22 0,14 0,15 0,15 0,10 0,12 0,16 0,21 0,20
W6 0,11 0,12 0,12 0,15 0,16 0,21 0,16 0,14 0,15 0,12 0,12 0,18 0,21 0,21
W6 0,12 0,13 0,10 0,16 0,17 0,17 0,16 0,16 0,14 0,12 0,11 0,16 0,18 0,22
W7 0,11 0,11 0,11 0,16 0,17 0,15 0,15 0,15 0,16 0,12 0,11 0,18 0,16 0,23

Tabla C.3: Medidas de la tensión de ruido, expresada en Voltios