Benemérita Universidad

Autónoma De Puebla
Facultad de Ciencias de la
Electrónica

Tópicos Selectos de MENS/NEMS 1

NRC: 44093

REPORTE FINAL

Dra. Blanca Susana Soto Cruz

NOMBRE DEL ALUMNO

David Alcaide Cerezo 201510602

VERANO 2021
Abrimos un Nuevo Proyecto en Comsol Multiphysics
-Asistente de modelo

-Seleccionamos la dimensión de espacio 3D

-Seleccionamos nuestra física (Electroestática) y estudio (Estacionario)

-Tenemos nuestro espacio de trabajo y establecemos las unidades de medición

(𝜇𝑚)
Trabajaremos con nuestros cálculos para el proyecto
Se requiere una
C = 10[fF] ± 0.1 [fF]
C∆ = 0.1[fF]
Conocemos los siguientes parámetros
𝑭
𝜺𝟎 = 𝟖. 𝟖𝟓𝟗𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟐 𝒎 Permitividad del vacío

𝜺𝒓 = 𝟏. 𝟎𝟎𝟎𝟓 Permitividad del aire

Material: Silicio Isotrópico
𝑲𝒈
Densidad 𝝆 = 𝟐𝟑𝟐𝟗 𝒎𝟑

Módulo de Young 𝑬 = 𝟏𝟕𝟎 𝒙𝟏𝟎𝟗 𝑷𝒂

 ETAPA 1 ELECTROESTÁTICA

Se propone un d = 2.5 [𝜇𝑚]

Calculamos entonces siguiendo nuestro modelo el Área, Se tomo en cuenta

𝐶 = 10.6𝑥10−15

𝐶0 ∗𝑑 10.6𝑥10−15 𝐹∗ 2.5𝑥10−6 𝑚
A= = 𝐹
𝜀0 𝜀𝑟 8.859𝑥10−12 𝑚

[1]

A = 𝟑𝒙𝟏𝟎−𝟗 𝒎𝟐
[2]
Obtenemos el valor de A, y ahora se calculó el valor de 𝑡𝑓 y de 𝐿𝑓𝑜𝑣

Tenemos la siguiente Ecuación

A= 𝐿𝑓𝑜𝑣 * 𝑡𝑓

Se propuso 𝒕𝒇 = 𝟐𝟎[𝝁𝒎] y despejamos la variable 𝐿𝑓𝑜𝑣

𝐴
= 𝑡𝑓
𝐿𝑓𝑜𝑣

[3]
 3𝑥10−9 𝑚2
= 150𝑥10−6𝑚
20𝑥10−6 𝑚
[4]

Finalmente tenemos 𝑳𝒇𝒐𝒗 = 𝟏𝟓𝟎𝒙𝟏𝟎−𝟔 𝒎.

Tenemos los datos de nuestro Finger.

𝒕𝒇 = 𝟐𝟎[𝝁𝒎] Altura

𝑳𝒇𝒐𝒗 = 𝟏𝟓𝟎[𝝁𝒎] Largo

Wf = 𝟏𝟎[𝝁𝒎] Ancho tecnología MEMS

DESPLAZAMIENTO
Ahora obtenemos x empleando la siguiente formula

∆𝐶 2 𝑥 2 + 𝜀𝐴𝑥 − ∆𝐶𝑑2 = 0
[5]
Usamos la ecuación de formula general para resolverla

−𝐴𝜀+ √𝐴2 𝜀 2 +4∆𝐶 2 𝑑 2

𝑥=
2(∆𝐶)

[6]

−3𝑥10−9 8.859𝑥10−12 + √(3𝑥10−9 )2 (8.859𝑥10−12 )2 +4(0.1𝑥10−15 )2 (2.5𝑥10−6 )2

𝑥=
2(0.1𝑥10−15 )

[7]

𝑥 = 𝟐. 𝟑𝟓𝒙𝟏𝟎−𝟖m

𝑥 = 𝟎. 𝟎𝟐𝟑𝒙𝟏𝟎−𝟔m
𝒅 + 𝒙 = 2.52[𝝁𝒎]
𝒅 - 𝒙 = 2.47 [𝝁𝒎]

Tabla 2 Cálculos para las dimensiones del Finger.

𝒕𝒇 [𝝁𝒎] 𝑳𝒇𝒐𝒗 [𝝁𝒎] A[nm] 𝒅[𝝁𝒎] 𝒙[𝝁𝒎] 𝑪𝒐 [𝝁𝒎] GAP
[𝝁𝒎]
20 150 3 2.5 0.23 1.06x𝟏𝟎−𝟏𝟒 3

Resorte MEMS (CRAB - LEG)

𝑬 = 𝟏𝟕𝟎 𝒙𝟏𝟎𝟗 𝑷𝒂 Módulo de Young

Tabla 2. Datos para la Crab Leg

𝒘𝒄 𝒕𝒄 𝒍𝒃 𝑬
1[𝝁𝒎] = 5[𝝁𝒎] 504[𝝁𝒎] 𝟏𝟕𝟎 𝒙𝟏𝟎 𝑷𝒂𝟗
Procedemos a calcular
𝑡𝑐 3
𝑘 = 4𝐸𝑤𝑐 ( )
𝑙𝑏
[8]
3
9 2
5𝑥10−6 𝑚
−6
𝑘 = 4[170𝑥10 𝑁/𝑚 ](1𝑥10 𝑚) ( )
504𝑥10−6 𝑚

[9]

𝒌 = 𝟎. 𝟔𝟔𝟑𝟗𝑵/𝒎

Fuerza Eléctrica
Se consideró el Voltaje de 1 [V]

1 𝜀𝐴𝑉 2
𝐹𝑒 =
2 𝑑2
[10]
𝐹
1 8.85𝑥10−12 𝑚(3𝑥10−9 𝑚2 )(1[𝑉])2
𝐹𝑒 =
2 (2.5𝑋10−6 𝑚)2
[11]

𝑭𝒆 = 2.124𝒙𝟏𝟎−𝟗 N
Voltaje Pull – in : Debe ser mayor al Voltaje aplicado, ya que tendríamos problemas de
colapso

8𝑑3 𝑘
𝑉𝑝𝑢𝑙𝑙−𝑖𝑛 √
27𝜀𝐴

[12]

8(2.5𝑥10−6 𝑚)3 (0.6639𝑁/𝑚)

𝑉𝑝𝑢𝑙𝑙−𝑖𝑛 √
27(8.859𝑥10−12 )𝐹/𝑚(3𝑥10−9 )𝑚2

[13]
𝑉𝑝𝑢𝑙𝑙−𝑖𝑛 = 10.7540 𝑉

ETAPA 1 ELECTROESTÁTICA
DATO MODELO PROPUESTA CÁLCULO
𝐶0 = 10.6𝑥10 −15
𝜀 𝜀𝑟 ∗ 𝐴 d = 2.5[𝜇𝑚] 𝑡𝑓 = 20[𝜇𝑚]
𝐶0 = 0
𝑑 𝜀𝑟 = 1.007 (aire) 𝐿𝑓𝑜𝑣 = 150[𝜇𝑚]

∆𝐶 = 0.1[𝑓𝐹] ∆𝐶 2 𝑥 2 + 𝜀𝐴𝑥 − ∆𝐶𝑑2 = 0 𝑥 =0.023𝑥10−6 m

Resorte MEMS 𝑡𝑐 3 E = 170 𝑥109 𝑃𝑎

𝑘 = 4𝐸𝑤𝑐 ( ) 𝑘 = 0.6639𝑁/𝑚
𝑙𝑏 𝑤𝑐 = 1[𝜇𝑚]

8𝑑3 𝑘
𝑉𝑝𝑢𝑙𝑙−𝑖𝑛 𝑉𝑝𝑢𝑙𝑙−𝑖𝑛 √ 𝑉𝑎< 𝑉𝑝𝑢𝑙𝑙−𝑖𝑛 𝑉𝑝𝑢𝑙𝑙−𝑖𝑛 = 10.7540𝑣
27𝜀𝐴

1 𝜀𝐴𝑉 2
𝐹𝑒 𝐹𝑒 = 𝐹𝑒 = 2.124𝑥10−9 N
2 𝑑2
 ETAPA 2 MECÁNICA

Ahora procedemos a realizar los cálculos para la parte mecánica, se calcula la Fuerza de Hooke a
partir de los siguientes datos obtenidos.

𝑘 = 0.6639𝑁/𝑚
𝑥 = 0.023𝑥10−6 m

𝐹𝐻 = 𝑘 ∗ 𝑥
[14]
𝐹𝐻 = 0.6639𝑁/𝑚 ∗ 0.023𝑥10−6 m

[15]

𝑭𝑯 = 𝟏𝟓. 𝟔𝟎𝟏𝟔𝒙𝟏𝟎−𝟗 𝑵
La Fuerza de Hooke nos resulta mayor que la Fuerza eléctrica por lo que nuestro diseño si
podrá desplazarse

CALCULO DE MASA

𝒎𝒄 + 𝒎𝒇 = 𝒎𝒕𝒐𝒕𝒂𝒍

Tenemos los siguientes parámetros

Tabla 3. Datos para Calculo de masa

𝑽𝒇 3𝑥10−14 Volumen del finger.
𝝆 Kg Densidad del material.
2329 3
m
𝑽𝒄 1.90410−13 m3 Volumen masa central.
Procedemos a calcular la masa de los finger moviles

𝒎𝒇 = 𝝆 ∗ 𝑽𝒇

[16]

𝒎𝒇 = (2329 Kg/𝒎𝟑 ) (3𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟒 𝒎𝟑 )

[17]

𝒎𝒇 = 𝟔. 𝟗𝟖𝟕𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟏 𝒌𝒈

[18]

Recordando que tenemos 4 finger multiplicamos para tener nuestra masa de Fingers

𝒎𝒇 = 𝟐. 𝟕𝟗𝟓𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟎 𝒌𝒈

[19]

Procedemos a calcular la masa de la masa central

𝒎𝒄 = 𝝆 ∗ 𝑽𝒄

[20]

𝒎𝒄 = (2329 Kg/𝒎𝟑 ) (1.904𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟑 𝒎𝟑 )

[21]

𝒎𝒄 = 𝟒. 𝟒𝟑𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟎 𝒌𝒈

[22]

Sumamos nuestras dos masas y obtenemos la masa total

 𝒎𝒄 = 𝟒. 𝟒𝟑𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟎 𝒌𝒈 + 𝒎𝒇 = 𝟐. 𝟕𝟗𝟓𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟎 𝒌𝒈

[23]

𝒎𝒕 = 𝟕. 𝟐𝟐𝟗𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟎 𝒌𝒈

[24]

Procedemos a calcular el volumen teniendo en cuenta nuestra formula

𝒎
𝝆=
𝒗
[25]

𝒎
𝒗=
𝝆
[26]

𝟕. 𝟐𝟐𝟗𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟎 𝒌𝒈
𝒗=
𝟐𝟑𝟐𝟗𝒌𝒈/𝒎𝟑
[27]

Obtenemos nuestro volumen total.

𝒗 = 𝟑. 𝟏𝟎𝟒𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟑 𝒎𝟑
[28]
FUERZA DE NEWTON
𝑭𝑵 = m * a
[29]

𝑭𝑵 = 𝟕. 𝟐𝟐𝟗𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟎 𝒌𝒈 * 4(9.81m/𝒔𝟐 )

[30]

𝐅𝐍 = 𝟐𝟖. 𝟑𝟕𝐱𝟏𝟎−𝟗N
[31]

ETAPA 2 MECANICA
DATO MODELO PROPUESTA CÁLCULO
𝑘 = 0.6639𝑁/𝑚 𝐹𝐻 = 𝑘 ∗ 𝑥 𝐹𝐻 = 15.6016𝑥10−9 𝑁
𝑥 = 0.023𝑥10−6 m 𝐹𝐻 > 𝐹𝑒 =

a a = n* g Aplicación de Rangos a = n (9.81m/𝑠 2 )

𝜌𝑚 𝑚 Longitud masa ajustada n peines 𝒗 = 𝟑. 𝟏𝟎𝟒𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟑 𝒎𝟑
𝜌=
𝑣 𝐿𝑚 𝒎𝒕 = 𝟕. 𝟐𝟐𝟗𝒙𝟏𝟎−𝟏𝟎 𝒌𝒈
𝑤𝑚
𝑡𝑚

a 𝐹𝑁 = m * a 𝐹𝑁 > 𝐹𝑒

𝐹𝑁 = 𝑚 ∗ 𝑎 𝐹𝑁 = MIN, TYP, MAX

𝐹𝑁 > 𝐹𝐻 𝐅𝐍 = 𝟐𝟖. 𝟑𝟕𝐱𝟏𝟎−𝟗N

Procedemos en Comsol a añadir nuestros parámetros para el Finger

Creamos un nuevo bloque y se añade los parámetros para el Finger.

Al añadir los parámetros le damos en construir seleccionado y obtenemos del lado derecho
nuestro diseño.
Finalmente tenemos nuestro MODELADO de fingers con las medidas ideales.

Ahora se agrega el material a nuestro diseño en este caso para los Finger el (Sil. Isotrópico)
De igual manera agregamos material de Aire

En electroestática preparamos las condiciones iniciales. se añade una Terminal y

una Tierra y posteriormente añadimos a nuestro finger.

Figura 1. Aplicación de GND

 Figura 2. Aplicación de Voltaje
Procedemos a poner una malla a nuestro modelado en el apartado Malla, en este caso
malla controlada por la física “de tipo “FINA” y se le da en CONSTRUIR TODO.

Procedemos a obtener nuestra capacitancia de Maxwell. Primero aplicamos nuestra

malla fina en nuestro diseño.

Figura 3. Malla “Mas Fina”

Procedemos a dar click en “Estudio 1“y le Damos en Calcular
Obtenemos estos resultados en el Potencial Eléctrico

Figura 4. Potencial Eléctrico

Después se crea un nuevo grafio 3D en la “Superficie” y le damos en calcular

Figura 5. Capacitancia de Maxwell 𝐶 = 1.06𝑥10−15

Se pudo observar que, en la capacitancia de Maxwell, el modelo y condiciones es afectado

por el material de Silicio ya que nos daba la mitad de la capacitancia que debía ser. Sin
embargo, si tuviéramos placas de metal las condiciones quedarían sin afectar cumpliendo
nuestra Capacitancia.
Posteriormente realizamos nuestros demás fingers con su respectiva separación y GAP

Figura 6. Fingers lado derecho

Posteriormente se construye la masa central la cual es proporcional al tamaño de
ancho de los fingers.

Figura 6. Masa central

De igual manera construimos los fingers restantes para tener completo nuestro
diseño

Figura 7. Fingers lado izquierdo

Procedemos a realizar nuestro Crab Leg en base a las medidas ya establecidas.

Figura 8 y 9: Construcción de Crab Leg.

Una vez terminado nuestro diseño final procedemos a realizar la parte mecánica.

Figura 10: Diseño Final.

Agregamos la de mecánica de solidos en “Física”
Y agregamos un dominio deformante para el aire para no tener errores en los materiales

En la parte de mecánica de solidos en Restricción fija ponemos los extremos de nuestro

Crab-Leg. (Anclaje)

De igual manera lo aplicaos a las bases de los fingers

Añadimos la Carga de contorno ya que es donde aplicaremos la Fuerza de N en el resorte
para mover nuestro modelo.

Le damos en Resultados y procedemos a crear un grafico 3D para observar el

desplazamiento de nuestro modelo.
 RESULTADOS

GRAFICO DESPLAZAMIENTO EN X
Observamos el desplazamiento en x de nuestro diseño, se logró observar la deformación
del resorte y se logro entender que el modelado del resorte es aproximado o intenta tener
las características de lo que seria un resorte real.

GRAFICA DE CALIDAD DE MALLADO

CAPACITANCIA DE MAXWELL
GRÁFICO CAPACITANCIA DE MAXWELL GRÁFICO DESPLAZAMIENTO EN UN PUNTO

TENSION VON MISES

CONCLUSIÓN

En este diseño se logró entender diversos conceptos y fórmulas que fueron de importancia
para poder llevar nuestro diseño a funcionar. El software comsol tiene muchas herramientas
de análisis gráfico y diseño que nos pueden servir para diversos proyectos en un futuro.