Presión electrónica
Información técnica
Varios tipos de principios de medida son utilizados en los instrumentos electrónicos de presión. La mayoría de estos
están basados en la medida de un desplazamiento o una fuerza. Es decir, la presión tiene que ser convertida en una
variable que es eléctricamente cuantificable. Al contrario a los métodos de medición mecánica está conversión necesita
una energía auxiliar.
Gracias a una deformación mínima (unos µm), los instrumentos electrónicos de presión tienen una característica dinámi-
ca excelente y una tensión muy bajo de la materia. Eso resulta de una alta resistencia a cambios de carga y una
durabilidad a largo plazo.
Dependiente del rango de la presión, WIKA utiliza dos principios de medida: Para presiones < 16 bar sensores piezoresistivos
y para las presiones > 25 bar sensores de película delgada.
Ambas principios funcionan con bandas extensométricas, es decir hilos en forma de meandro, que cambian su resisten-
cia eléctrica según la longitud de los hilos. Cuatro bandas son conectadas en forma de puente de Wheatstone.
Elemento de película delgada Pads de
conexión
La producción de sensores con películas delgadas es una Pasivación Resistencias
combinación de una fabricación mecánica de alta precisión de puente
del cuerpo de deformación y la cubierta de este cuerpo con
bandas extensométricas en varios procesos.
Primero, el espesor de la membrana tiene que ser termina-
da con tolerancias muy pequeñas, generalmente con un Isolación
proceso de aislamiento. Ahora la superficie de la membra-
na está preparada para el proceso de cobertura. Una capa
Célula de
de aislamiento está aplicada a la membrana pulida de ace-
p acero
ro inoxidable. Eso se puede hacer, por ejemplo, mediante
inoxidable
un proceso de PECVD (plasma enhanced chemical vapour
deposition). En ese proceso una capa de SiO2 (comparable
con vidrio en sus características aislantes) está aplicada a
la membrana. La capa tiene un espesor de 4 - 6 mm y una
resistencia mínima aislante de 2 MOhm.
Después se aplica la capa de resistencia con un proceso
de deposición catódica. A esta aplicación sigue un proce-
so fotolitográfico para cauterizar las bandas
extensométricas. Más capas para aislar, pasivar y contac-
UB UM
tar son añadidas, también en tecnología de película delga-
da.
Las resistencias se encuentran en esas áreas de la mem-
brana donde ocurren los cambios más grandes de tensión.
Bajo presión, las resistencias experimentan la extensión la
más grande en el centro de la membrana y la compresión
Puente de
la más grande en las zonas al borde.
Wheatstone
Sensor piezoresistivo con puente de
Wheatstone
Este sensor de presión se basa en materias
semiconductoras. El cambio de resistencia se basa en
TO-8
la movilidad cambiada de los electrones en la estructura
encabezamiento
cristalina. Con materias semiconductores (generalmen-
te silicona) la cambia de resistencia es hasta 100 veces
más grande que con materias metálicas. Eso hace posi-
Aro de junta
ble, una fabricación de sensores muy pequeñas y a la
vez rangos de medida muy pequeños (mbar).
La materia de la membrana (silicona) y los contactos
eléctricos al sensor de presión son muy sensitivos y in-
compatible con la mayoría de los medios. Por lo tanto, la Membrana
presión tiene que ser dirigida a la membrana mediante Aceite
una membrana separadora y un líquido (generalmente silicono Elemento
aceite silicona) para transferir la presión. Al lado del me- piezoresistivo
dio, se utiliza una membrana con ondulaciones
concentricas de acero inoxidable.
Precisión de clase y error de conformidad
El error de conformidad se especifica como el desvío máxi-
mo de la curva característica medida y la línea ideal en-
tre el principio y el fin de la medición. Eso es posible, por
que DIN indica que solo el error singular máximo de Salida
linealidad, reproductibilidad y histeresis es decisivo para
el error de conformidad. Con sistemas de sensores mo-
dernos, la histeresis y la reproductibilidad se pueden des-
cuidar.
Especialmente, con instrumentos de presión importados,
muchas veces el error de conformidad está acompañado
de la abreviatura BFSL (best fit straight line). Este méto-
do de medición, también conocido como método de ban- p
da de tolerancia, calcula las líneas iniciales, que se apli-
can después a los valores medidos para mantener los
valores mejores que mejor se ajustan a la recta ideal.
Este método también está aceptado por DIN 16 086 como LPA (Limit Point Calibration)
una especificación, pero el método de determinación tie- 0,7 LPA = IPA (Initial Point Calibration)
Instrumentos WIKA, S.A. se reserva todos los derechos de actualización y modificación. Noviembre '99
ne que ser indicado. Muchas veces, sin embargo, esto 0,5 LPA = BFSL (Best Fit Straight Line)
no se hace, que significa generalmente que para el usua-
rio no es posible comparar los niveles de precisión indi-
cadas. Como regla aproximativa, se puede tomar un fac-
tor de 2 para la diferencia en precisión entre la calibra-
ción de punto limite (LPA) y la calibración de valor míni-
mo (1 % con el método de calibración de punto limite
corresponde a 0,5 % con calibración de valor mínimo de
acuerdo con BFSL).
Instrumentos WIKA, S.A.
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