「oxygen chamber」に関連した英語例文の一覧と使い方(11ページ目) - Weblio英語例文検索

The atmosphere in the vacuum chamber 12 is detected by a mass spectrometer 55, and, based on the signal from the mass spectrometer 55, a regulating valve 57 in an oxygen feed tube 43 is controlled by a control part 58.例文帳に追加

真空チャンバ１２内の雰囲気が質量分析計５５により検出され、質量分析機５５からの信号に基づいて制御部５８により酸素供給管４３の調整弁５７が制御される。 - 特許庁

The sealing ring 10 may include one or more devices, associated with operation of the chamber 101, including an atmosphere supply tube 14, an electric lead, a pressure differential sensor 16, a thermocouple, an oxygen sensor, and/or an auxiliary port 18.例文帳に追加

封止リング１０は、雰囲気供給管１４、電気リード、差圧センサ１６、熱電対、酸素センサおよび／または予備ポート１８を含む、チャンバ１０１の動作に関連する１つ以上の機器を有することができる。 - 特許庁

The raw milk inspection apparatus 1A is further provided with a stimulation means 4A for stimulating somatic cells in raw milk flowing through the channel 3 on the side more upstream than the measuring chamber 31 and producing active oxygen from the somatic cells.例文帳に追加

生乳検査装置１Ａは、さらに、測定室３１よりも上流側で流路３を流れる生乳中の体細胞に刺激を与えて該体細胞から活性酸素を発生させる刺激手段４Ａを備える。 - 特許庁

Negative ions, consisting of single atom ions containing oxide ions and/or oxygen negative ion radicals, are supplied into the processing chamber 5 and are made to react on the organic substances decomposed by UV-rays.例文帳に追加

そして、処理室５内に、酸素マイナスイオンラジカルまたは酸化物イオンと酸素マイナスイオンラジカルを含む単原子イオンから成るマイナスイオンを供給して、マイナスイオンを紫外線により分解された有機物と反応させる。 - 特許庁

A pressure in a reaction chamber is increased up to a fixed value under the state in which the introduction of the silane gas and the oxygen gas is stopped and the introduction of the argon gas is continued, and the supply of the voltage to the electrostatic chuck 2 is stopped.例文帳に追加

次に、シランガスと酸素ガスの導入を停止し、アルゴンガスの導入を継続した状態で、反応室内の圧力を所定値まで上昇させ、静電チャック２への電圧の供給を停止する。 - 特許庁

Accordingly, an adhered matter generated when irradiating the ultraviolet light on the silicon compound gas to process the substrate and adhered to a structure such as an inner wall of the processing chamber can be processed with the excited oxygen-containing gas to modify it.例文帳に追加

これにより、シリコン化合物ガスに紫外光を照射して基板を処理する際に処理室内壁等に付着した付着物を、励起された酸素含有ガスで処理することにより改質することができる。 - 特許庁

In addition, oxygen within the combustion chamber 21 is consumed through the combustion of the air-fuel mixture, thereby preventing combustion caused by the self-ignition of fuel to be observed (diesel fuel) injected in the formed high-temperature, high-pressure environment.例文帳に追加

しかも、混合気の燃焼によって燃焼室２１内の酸素が消費されるため、形成された高温・高圧場で噴射された観測用燃料（ディーゼル燃料）の自着火等による燃焼を的確に防止する。 - 特許庁

This NOx detector 1 starts a NOx pumping motion (pumping-out motion) from a gas detection chamber 19 (S170) when a first electromotive force Vs1 comes to an oxygen criterion value (positive determination at S150).例文帳に追加

ＮＯｘ検出装置１においては、第１起電力Ｖｓ１が酸素判定基準値になると（Ｓ１５０で肯定判定）、ガス検出室１９からのＮＯｘのポンピング動作（汲み出し動作）を開始する（Ｓ１７０）。 - 特許庁

Then, immediately before switching an engine to a stratified-charge combustion mode (SB10), air-fuel ratio in a combustion chamber is maintained in a slightly leaner condition than an ideal air-fuel ratio (SB11) to slightly increase oxygen concentration in the exhaust emission.例文帳に追加

その後、エンジン１を成層燃焼モードに切替える直前に（ＳＢ１０）、燃焼室４の空燃比を理論空燃比よりもややリーンな状態に維持して（ＳＢ１１）、排気中の酸素濃度をやや増大させる。 - 特許庁

During the vacuum carburization, the first on-off valve is closed, and any one or both of the second and third on-off valves are closed so that the zirconia type oxygen sensor is not subjected to the contact reaction with a hydrocarbon gas in the heating chamber.例文帳に追加

真空浸炭時には、第一の開閉バルブを閉とし、第二又は第三のいずれか又は両方を閉とし、ジルコニア式酸素センサーと加熱室の炭化水素系ガスとが接触反応しないようにする。 - 特許庁

The packaged body of the food product is constituted by storing the food product in each storing chamber in the pouch having the many chambers the wall of at least one of which is constituted of a multilayered film having an oxygen-absorbing resin layer.例文帳に追加

少なくとも１つの収納室の壁材が酸素吸収性樹脂層を有する多層フイルムにより構成された多室パウチの各収納室に食品を収納することにより食品包装体を構成する。 - 特許庁

The valve 61 is changed over so that a gas in the chamber 11 is introduced into a piping 60b before a heat- treatment process is started, and the oxygen concentration is measured so that the heat treatment is made under a gas concentration atmosphere appropriate for the heat treatment.例文帳に追加

熱処理工程の開始前に配管６０ｂ内へチャンバ１１内のガスを導入するように切り替え、酸素濃度を測定することで熱処理に適したガス濃度雰囲気のもとに処理を行う。 - 特許庁

O_2 is electrochemically reduced in an electrode part 181 that is the negative electrode of a solid electrolyte 120, and oxygen ions (O^2-) are diffused through the solid electrolyte 120 to arrive at the electrode part 191 of a measuring chamber 132.例文帳に追加

固体電解質体１２０の負極である電極部１８１で、Ｏ_２は、電気化学的に還元され、酸素イオン（Ｏ^２−）が固体電解質体１２０内を拡散し、測定室１３２の電極部１９１に到達する。 - 特許庁

The minus ion water is produced by subjecting pure water to deoxidation treatment to control the content of dissolved oxygen to ≤1 ppm, then performing electrolysis through an electrolytic tank and further charging water on the side of a cathode chamber to a stabilization tank.例文帳に追加

このマイナスイオン水は、純水から脱酸素処理を行い、溶存酸素を１ｐｐｍ以下にしてから電解質槽を通して電気分解し、更に陰極室側の水を安定化槽に入れて製造したものである。 - 特許庁

The number of water molecules, the number of organic gas molecules, and the number of oxygen molecules remaining in the vacuum chamber are selected in relation to the number of molecules of gas contributing to discharge to reduce bad influence caused by the remaining gas.例文帳に追加

減圧容器内に残留する水分子数、有機物ガス分子数、及び、酸素分子数を放電に寄与するガスの分子数と関連して選択することによって、残留ガスによる悪影響を軽減できる。 - 特許庁

In the case of oxidizing processing of a substrate 200 with a mixed gas of vapor and oxygen, helium and argon are supplied, together with vapor molecules and hydrogen molecules, in the horizontal direction from a gas introduction port 13 into a processing chamber 11.例文帳に追加

水蒸気と酸素の混合気体により、基板２００を酸化処理する場合に、ヘリウムとアルゴンとを水蒸気分子と酸素分子と共に処理室１１内にガス導入口１３より水平方向に供給する。 - 特許庁

To provide a refrigerator capable of maintaining the freshness of stored foods by controlling the atmosphere in a food storage chamber in a low oxygen state and cooling the foods at low temperatures to store the foods for a long period.例文帳に追加

食品収納室の空気雰囲気を低酸素状態に制御して収納食品の鮮度を保持するとともに、食品の低温冷却を可能にして、より長期保存をはかるようにした冷蔵庫を提供する。 - 特許庁

To resolve a conventional problem being very slow in forming a film by atomic layer deposition method by supplying both a metal source and an oxygen source into a film forming chamber at the same time in chemical vapor deposition (CVD) method.例文帳に追加

化学気相成長(CVD)法において金属源、ケイ素源および酸素源を成膜室に同時給送することにより、原子層堆積法の成膜は非常に低速であるという従来の難点を克服する。 - 特許庁

By partially removing a polymer film deposited on the inner wall of a reaction chamber, using oxygen plasma after processing of a fixed lot, maintenance cycle can be prolonged and as a result, the manufacturing cost of a semiconductor device can be lowered.例文帳に追加

一定のロットを処理した後、酸素プラズマを用いて反応室内壁に堆積したポリマー膜を一部除去することによりメンテナンスサイクルを長くし、これによって半導体装置の製造コストを下げる。 - 特許庁

Within an airtight chamber 7, a hollow pillar-shaped pipe electrode 1 is slidably attached as a cathode to a base stand while the target object is fixed as an anode to the upper lid of a cover 14 through an interval of a required machining gap, and a pressurized gas containing a specified volume of oxygen or nitrogen is supplied to the chamber 7.例文帳に追加

気密室７の室内に中空柱状のパイプ電極１を陰極として基台に摺動可能に取り付け、所定の加工間隙を隔てて被加工物２を陽極としてカバー１４の上蓋に固定して、気密室７に加圧した酸素あるいは窒素を所定量含む気体を供給する。 - 特許庁

This gas chamber is constituted by press forming a nickel sheet 8 to provide the central part thereof with a recessed part 9 of the dimension as the dimension of the gas diffusion electrode and inserting and installing a nickel mesh body as a spacer for assuring the passage for the oxygen into the gas chamber 4 formed of this recessed part and the gas diffusion electrode.例文帳に追加

ニッケル薄板８をプレス成形して、その中央部にガス拡散電極と同じ寸法の凹部９を設け、その凹部とガス拡散電極とで形成されるガス室４内に、酸素の通路を確保するためのスペーサーとしてニッケル製メッシュ体７を挿嵌内設して構成したことを特徴とするガス拡散電極のガス室。 - 特許庁

In this molten metal holding furnace, the quality of molten metal is prevented from getting low in accompaniment to oxidation of the molted metal generated in a molten metal holding process, by controlling the combustion air ratios to the unburnt gases in respective combustion parts of the fusion chamber and the holding chamber to reduce an oxygen concentration existing in the molten metal holding furnace.例文帳に追加

溶融金属保持炉は、保持室及び溶解室のそれぞれの燃焼部に発生する未燃焼ガスに対する燃焼空気比を制御して、溶融金属保持炉内に存在する酸素濃度を低減することで、溶湯保持工程において発生する溶湯酸化に伴う溶湯品質低下を防止することができる。 - 特許庁

In a plasma asher which introduces oxygen and steam into the evacuated vacuum chamber to generate the plasma at high frequency and peels resist off the substrate held horizontally, the substrate cleaning apparatus is characterized by obliquely irradiating the substrate with plasma by tilting an evacuated vacuum chamber.例文帳に追加

本発明は、減圧した真空チャンバ内に酸素と水蒸気を導入して高周波によりプラズマを発生させ、水平に保持した基板のレジストを剥離するプラズマアッシャーにおいて、前記真空チャンバを傾けて基板に対してプラズマを斜めから照射することを特徴とする基板洗浄装置の構成とした。 - 特許庁

In the plasma etching method, a substrate W having a mask pattern formed on a surface is etched in a plasma chamber wherein a target material 30 for sputtering is installed, and plasma of an oxygen-based gas is generated in the plasma chamber in or after the etching of the substrate to ash a surface of a target material 30.例文帳に追加

本発明に係るプラズマエッチング方法は、スパッタ用のターゲット材３０が設置されたプラズマチャンバ内で、表面にマスクパターンが形成された基板Ｗをエッチングし、基板のエッチングの途中またはエッチング後に、プラズマチャンバ内で酸素系ガスのプラズマを発生させて、ターゲット材３０の表面をアッシングする。 - 特許庁

An electromagnetic field introducing window, members constituting one part or the whole of the side of an etching chamber 1 which makes contact with plasma, or the members in the etching chamber 1 comprise the materials, in which the oxygen content is 50% or less, especially Si nitrides, or Si, or Si carbide, or carbon, or Al nitride film, or polyimide or polyamide.例文帳に追加

電磁界導入窓２や、プラズマと接触するエッチングチャンバ１壁面の一部または全部の構成部材や、エッチングチャンバ１内の構成部材を、酸素の組成比が５０％以下の材質、特にＳｉ窒化膜、またはＳｉ、またはＳｉ炭化物、または炭素、またはＡｌ窒化物、またはポリイミド、またはポリアミドとしたものである。 - 特許庁

To provide a heat treatment apparatus and a heat treatment method of a continuously cast slab capable of maintaining the oxygen concentration at a low value in a tunnel-shaped chamber at low cost in the apparatus for continuously performing the heat treatment of the cast slab in the chamber, and preventing oxidation of the slab with its surface layer being continuously heated during the conveyance.例文帳に追加

トンネル型のチャンバー内で鋳片を連続的に熱処理する装置において、前記チャンバー内で低コストで酸素濃度を低濃度に維持可能とし、搬送中に連続的に表層を加熱された鋳片の酸化を防止する連続鋳造鋳片の熱処理装置または熱処理方法を提供する。 - 特許庁

This invention relates to a method for shutting down a water electrolysis apparatus, in which current collectors are disposed on both sides of an electrolyte membrane and an electrolysis voltage is applied between the current collectors to electrolyze water to generate oxygen in an anode electrolysis chamber and hydrogen in a cathode electrolysis chamber under a pressure higher than a normal pressure.例文帳に追加

電解質膜の両側に給電体が設けられ、前記給電体間に電解電圧を印加することにより、水を電気分解してアノード側電解室に酸素を発生させるとともに、カソード側電解室に常圧よりも高圧な水素を発生させる水電解装置の運転停止方法に関するものである。 - 特許庁

In a gas fuel engine 10, oxygen and argon as working gas are supplied to a combustion chamber 21, hydrogen (gas fuel) supplied from a hydrogen tank 41 (gas fuel storage tank) is injected from a hydrogen injection valve 35 to the combustion chamber 35 at predetermined injection timing and is burned.例文帳に追加

ガス燃料エンジン１０は、燃焼室２１に、酸素と、作動ガスとしてのアルゴンからなるガスと、を供給するとともに、水素タンク４１（ガス燃料貯蔵タンク）から供給される水素（ガス燃料）を所定の噴射タイミングにて水素噴射弁３５から燃焼室２１に噴射し、その水素を燃焼させる。 - 特許庁

Oxygen gas is introduced into the PCVD chamber and high frequency electric power is supplied to the electrodes to generate oxygen plasma, while negative bias voltage is applied on the rails in the chamber to remove a carbon film depositing inside of the chamber.例文帳に追加

内部に配置された電極に高周波電力を供給してプラズマを発生させ、基板上にカーボン膜を形成するＰＣＶＤ室を含む複数の真空室を有し、真空室のそれぞれに敷設されたレール上を基板搭載キャリアを受け渡しながら移動させ、各真空室で基板に所定の処理を行う情報記録ディスクの製造装置及び方法であって、ＰＣＶＤ室に酸素ガスを導入し、電極に高周波電力を供給して酸素プラズマを発生させるとともに、室内のレールに負のバイアス電圧を印加して内部に付着したカーボン膜を除去する構成としたことを特徴とする。 - 特許庁

When stopping the operation of the alkali chloride electrolytic cell 1 equipped with the gas diffusion cathode 8, the supply of an oxygen-containing gas to the cathode gas chamber 4 is stopped, and the oxygen-containing gas atmosphere in the cathode gas chamber is substantially replaced by an aqueous caustic alkali solution.例文帳に追加

ガス拡散陰極８を備えた塩化アルカリ電解槽１の運転を停止する際、陰極ガス室４への酸素含有ガスの供給を停止するとともに、陰極ガス室を実質的に酸素含有ガス雰囲気から苛性アルカリ水溶液に置換することによって、電解槽停止中に発生する陰極ガス室の腐食を防止し、電解槽本来の高い電解性能を長期間維持できる塩化アルカリ電解槽の保護方法および保護装置。 - 特許庁

To obtain technology for maintaining the desirable operated condition, without causing knocking even during high-output operation, of a premix compression self-igniting engine in which the rotation of a crank shaft is maintained by inspiring an oxygen contained gas in an inlet passage 13 into a combustion chamber 11 via an inlet port, supplying a fuel into the oxygen contained gas, and self-igniting a premixture compressed in the combustion chamber.例文帳に追加

本発明は、吸気路１３内の酸素含有ガスａを、吸気口を介して燃焼室１１内に吸気すると共に、酸素含有ガスａに燃料ｇを供給し、燃焼室内において予混合気を圧縮して自着火させ、クランク軸の回転を維持する予混合圧縮自着火エンジン１００において、高出力運転を行っても、ノッキングを発生させること無く、好ましい運転状態を維持する技術を得ることを目的とする。 - 特許庁

The coating apparatus includes: a coating part for coating a substrate with a liquid body containing the easily oxidizable metal; a chamber surrounding a coating space for applying a liquid body in the coating part and a transporting space for the substrate coated with the liquid body after coating; and an isolating mechanism for isolating the liquid body from the atmosphere in the chamber when at least one of oxygen concentration and humidity in the chamber exceeds the threshold amount.例文帳に追加

易酸化性の金属を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記塗布部によって前記液状体の塗布を行う塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバと、前記チャンバ内の酸素濃度及び湿度のうち少なくとも一方が閾値を超えたときに前記液状体を前記チャンバ内雰囲気から隔離させる隔離機構とを備える。 - 特許庁

A process is provided for combustion of a fuel by oxygen rich oxidant in a combustion chamber 3 in which at least one main variable indicative of combustion in a combustion chamber 3 is measured periodically, and hereby a control instruction for adjusting flow rates of a fuel and oxidant injected into a combustion chamber 3 is determined as a function of a measured result of the at least one main variable.例文帳に追加

本発明は、周期的に、前記燃焼室（３）内での燃焼を表す少なくとも１つの主変数が測定され、前記少なくとも１つの主変数の測定結果の関数として、前記燃焼室（３）中に注入される燃料およびオキシダントの流量を調整するための制御命令が決定される、燃焼室（３）内での酸素が豊富なオキシダントによる燃料の燃焼のためのプロセスに関する。 - 特許庁

The provided CVD method comprises providing a basic material in a vacuum chamber, introducing a gaseous reagent containing a fluorine-providing gas, an oxygen-providing gas and at least one precursor gas selected from the group consisting of organosilanes and organosiloxanes into the vacuum chamber, and energizing the gaseous reagent in the chamber to cause a reaction of the gaseous reagent and forming a film on the basic material.例文帳に追加

提供されるＣＶＤ法は、真空チャンバーの内部に基材を提供すること、フッ素提供ガスと、酸素提供ガスと、オルガノシラン及びオルガノシロキサンから選択された少なくとも１つの前駆体ガスとを含むガス状試薬を真空チャンバーに導入すること、並びに該チャンバー中のガス状試薬にエネルギーを加えて、ガス状試薬の反応を引き起こし、基材上に膜を形成させることを含む。 - 特許庁

By using an apparatus composed of a high pressure water storage tank, a mixed gas ejection nozzle of oxygen and hydrogen and a pressure container provided with an ignition device and a combustion chamber, a mixed gas of oxygen and hydrogen is burned in high pressure water on which gold foil pieces are floated, the gold foil pieces are heated by the combustion gas and, thereby, the water dissolving superfine particle of gold is produced.例文帳に追加

高圧水収容タンク、酸素と水素の混合ガス噴射ノズル、点火装置及び燃焼室を備えた耐圧容器より構成された装置を用いて、金箔片を浮遊させた高圧水中で酸素と水素の混合ガスを燃焼させ、その燃焼ガスで金箔片を加熱することにより金の超微粒子の溶解水を製造する。 - 特許庁

The NOx detector 1 can accurately detect NOx concentration even if the oxygen concentration in exhaust gas varies, since the NOx detector 1 thus starts NOx discharge under the condition that the oxygen concentration in the detection chamber 19 becomes a constant concentration and detects NOx concentration based on the time (first elapsed time T_LR) required for the NOx discharge.例文帳に追加

このように、ＮＯｘ検出装置１は、ガス検出室１９の酸素濃度が一定濃度となる条件下でＮＯｘ排出を開始し、ＮＯｘの排出に要する時間（第１経過時間Ｔ_LR）に基づいてＮＯｘ濃度を検出することから、排気ガスの酸素濃度が変化した場合であっても、ＮＯｘ濃度を精度良く検出することができる。 - 特許庁

The NOx detector 1 can accurately detect NOx concentration even if oxygen concentration in the exhaust gas varies, since the NOx detector 1 starts NOx discharge under the condition that the oxygen concentration in the detection chamber 19 becomes a constant concentration and detects the NOx concentration based on the time (first elapsed time TD1) required for the NOx discharge.例文帳に追加

ＮＯｘ検出装置１は、ガス検出室１９の酸素濃度が一定濃度となる条件下でＮＯｘ排出を開始し、ＮＯｘの排出に要する時間（第１経過時間ＴＤ１）に基づいてＮＯｘ濃度を検出することから、排気ガスの酸素濃度が変化した場合であっても、ＮＯｘ濃度を精度良く検出できる。 - 特許庁

The manufacturing method of a substrate with a transparent conductive film includes: a step of depositing an Sn-containing indium oxide film on a transparent substrate by a sputtering method; and a step of exposing the substrate having the Sn-containing indium oxide film in plasma generated from gaseous oxygen while the gas pressure of gaseous oxygen in a chamber is ≥300 Pa.例文帳に追加

透明基板上に、Ｓｎ含有酸化インジウム膜をスパッタリング法により形成する工程と、チャンバー中の酸素ガスのガス圧を３００Ｐａ以上とし、酸素ガスより生成したプラズマ中に、前記Ｓｎ含有酸化インジウム膜付き基板を曝露する工程とを、含むことを特徴とする透明導電膜付き基板の製造方法である。 - 特許庁

In particular, it is desirable that an oxygen quantity is gradually changed from the inorganic solid electrolyte toward a lithium containing material on the boundary between the lithium containing material and the inorganic solid electrolyte in an analysis by XPS capable of keeping an analysis chamber in ultra-high vacuum ≤1.33×10^-9 hPa, and an oxygen containing layer having resided on the surface of the lithium containing material is generally removed.例文帳に追加

特に、分析室を1.33×10^-9hPa以下の超高真空に保持できるXPSによる分析で、リチウム含有材料と無機固体電解質との境界において、酸素量が無機固体電解質からリチウム含有材料に向かって漸次的に変化し、リチウム含有材料の表面に存在した酸素含有層がほぼ除去されていることが望ましい。 - 特許庁

An ordinary air-supply system, which supplies ordinary air and an adjusted air-supply system, which supplies air adjusted for oxygen concentration by means of a membrane separator are provided in parallel and connected to a mixing chamber, communicating with the indoor of the large-sized facility.例文帳に追加

通常空気の供給系統と、膜分離装置で酸素濃度を調整した空気を供給する調整空気供給系統とを並列に設け、前記二つの系統は大型施設の室内とつながる混合室へ接続する。 - 特許庁

Meanwhile, a sub-supply path 9 is connected to a side portion of the reaction chamber 2, wherein a second feed gas that contains the oxygen is supplied at least partially to downstream sides of the discharge regions 7a to 7c from branched paths 11a to 11c of the sub-supply path.例文帳に追加

また、反応容器２の側部には副供給路９が接続されており、その分岐路１１ａ〜１１ｃからは、酸素を含む第二の原料ガスの少なくとも一部が放電領域７ａ〜７ｃの下流側に供給される。 - 特許庁

The TEOS film is formed on a principal plane of a semiconductor wafer 1W placed on a stage 53 by a plasma CVD method, including a step of supplying a mixture gas containing TEOS and oxygen (O_2) to a reaction chamber 51.例文帳に追加

ＴＥＯＳおよび酸素（Ｏ_２）を含む混合ガスを反応室５１に供給する工程を有するプラズマＣＶＤ法によって、ステージ５３上に配置された半導体ウエハ１Ｗの主面上にＴＥＯＳ膜を成膜する。 - 特許庁

The first under surface electrode 12 decomposes NOx contained in gas to be measured in a gas introduction chamber 6 to generate oxygen, while the second under surface electrode 22 is formed with the gold content of 35-90 wt.% and does not decompose NOx.例文帳に追加

第１下面電極１２はガス導入室６内の被測定ガスに含まれるＮＯｘを分解して酸素を生成するが、第２下面電極２２は金含有量が３５〜９０重量％で形成されＮＯｘを分解しない。 - 特許庁

This NOx detector 1 starts a NOx pumping motion (pumping-out motion) from a gas detection chamber 19 (S470) when the electromotive force Vs of a gas detection cell 30 comes to an oxygen criterion value (positive determination at S450).例文帳に追加

ＮＯｘ検出装置１においては、ガス検出セル３０の起電力Ｖｓが酸素判定基準値になると（Ｓ４５０で肯定判定）、ガス検出室１９からのＮＯｘのポンピング動作（汲み出し動作）を開始する（Ｓ４７０）。 - 特許庁

Carbon deposits are attached on the inner walls of an etching chamber, an organic material layer 2 formed on a base board 1 is etched using an inorganic material layer 4 patterned as prescribed as a mask by the use of oxygen active species.例文帳に追加

エッチングチャンバ１０の内部に炭素系堆積物を付着させた状態で、下地基板１上に形成された有機材料層２を、所定の形状にパターニングされた無機材料層４をマスクとして酸素活性種でエッチングする。 - 特許庁