nilsを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 7件
To provide a phase shift mask which improves the NILS value of a pattern of ≤50 nm in mask pattern size when the pattern is exposed and a pattern exposing method using the same.例文帳に追加
マスクパターンサイズが５０ｎｍ以下パターンを露光する場合に、そのＮＩＬＳ値を改善する位相シフトマスクおよび、これを用いたパターン露光方法を提供する。 - 特許庁
Simulation to obtain an image log-slope (ILS), normalized image log-slope (NILS) or any other characteristic of image quality on edges of polygons in the circuit pattern obtained from circuit pattern data is performed.例文帳に追加
回路パターンデータから取得した回路パターンの多角形のエッジに関する像品質のイメージログスロープ（ＩＬＳ）、正規化イメージログスロープ（ＮＩＬＳ）、または任意の他の特徴を取得するシミュレーションを実行する。 - 特許庁
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