| 意味 | 例文 (665件) |
low pressure chamberの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 665件
For the low-temperature engine testing apparatus 10, the inner environment of the low-temperature testing room 30 can be maintained and the deterioration of the wall 40 can be controlled by setting up the small chamber 74 between the low-temperature room 30 and the machine room 20 and controlling the pressure therein.例文帳に追加
エンジンの低温試験装置10では、低温試験室30と機械室20の間に小部屋74を設け、その内部の圧力を調整することによって、低温試験室30の内部環境を維持することができるとともに、壁40の劣化を抑制することができる。 - 特許庁
To perform highly reliable measurement by preventing variations in internal pressure from being produced within a sample chamber in a thermal analyzer for measuring by setting the concentration of oxygen low around a sample by forming separate gas flows within the sample chamber.例文帳に追加
試料室の内部にガス分流を形成することにより試料のまわりを低酸素濃度に設定して測定を行う熱分析装置において、試料室の内部に内圧変動が発生することを防止して信頼性の高い測定を行う。 - 特許庁
An LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) device 1 is provided with: a processing chamber 11; and a reaction cooling means 25 which is arranged outside the processing chamber 11, produces hydrogen fluoride gas by reacting hydrogen gas with fluorine gas, and cools the hydrogen fluoride gas.例文帳に追加
LPCVD装置1において、処理チャンバー11を設け、処理チャンバー11の外部に配置され、水素ガスとフッ素ガスとを反応させてフッ化水素ガスを生成すると共に、このフッ化水素ガスを冷却する反応冷却手段25を設ける。 - 特許庁
When a volume of a gas of a space inside a head including a diaphragm chamber 5 and an actuator chamber 6 changes in accordance with the change of the temperature or the atmospheric pressure of the outside world, a low-rigidity variable part 8 lower in the rigidity than a diaphragm 31 moves and absorbs the volume change.例文帳に追加
外界の気温や気圧の変化に応じて振動室5およびアクチュエータ室6を含むヘッド内空間の気体が体積変化する際、振動板31より剛性の低い低剛性可変部8が変位してその体積変化を吸収する。 - 特許庁
Fuel inside a fuel tank is sucked by a low pressure pump and supplied to a fuel pump chamber 10, and fuel inside the fuel pump chamber 10 is pressurized by a fuel pump 15 and supplied to injectors provided for each intake manifold 3 through a fuel rail 11.例文帳に追加
燃料タンク内の燃料を低圧ポンプで吸引して燃料ポンプ室10に供給し、燃料ポンプ室10内の燃料を燃料ポンプ15で加圧してフューエルレール11で各インテークマニホールド3の箇所のインジェクタに供給する。 - 特許庁
When a vehicle is made to be comparatively low in speed, working oil of specified hydraulic pressure is supplied to a cylinder chamber B through an oil path 43 for clutch control (43a, 43b), the lock-up clutch 13 has specified torque capacity, the torque is transmitted directly to a turbine hub 30, and hydraulic pressure to be supplied to the cylinder chamber B is properly governed.例文帳に追加
車輌が比較的低速とすると、クラッチ制御用油路43を介してシリンダ室Bに所定油圧の作動油が供給され、ロックアップクラッチ13が所定トルク容量を有すし、上記トルクが直接タービンハブ30に伝達され、シリンダ室Bに供給される油圧は、適宜調圧される。 - 特許庁
The multistage supercharging device is provided with an intake side connection device 7 having an inlet side connection passage 61 for supplying air to the low-pressure side compressor chamber 53 and an outlet side connection part 62 for discharging air from the high-pressure side compressor chamber 43, and the intake side connection device 7 is provided as a block body.例文帳に追加
この多段式過給装置には、低圧側コンプレッサ室53へ空気を供給する入口側接続通路61及び高圧側コンプレッサ室43からの空気を排出する出口側接続部62を有する吸気側接続装置7が設けられ、この吸気側接続装置7は、ブロック体として設けられる。 - 特許庁
When a gas flow rate increases and its flow speed increases, pressure loss takes place between the upstream and downstream of the orifice 120, the pressure on the downstream side falls, the diaphragm 133 is displaced by the pressure difference between this pressure drop part and a low pressure reducing chamber 137 for supply communicating with the upstream side of the orifice 120, and the valve 149 is opened.例文帳に追加
ガス流量が増大し、流速が増してくると、オリフィス120の上下流間で圧力損失が生じて下流側の圧力が低下し、この圧力低下部位と、オリフィス120の上流側と連通している供給用低圧減圧室137との間の圧力差によって、供給用低圧ダイヤフラム133が変位し、バイパス弁149が開弁する。 - 特許庁
A high pressure compressed air flow passage 43 wherein the exhaust resistance of compressed air by a muffler tubes 33, 34, 35 is large, and a low pressure compressed air flow passage wherein the exhaust resistance of compressed air by the muffler tubes 33, 34, 35 is small, are disposed in the muffling chamber 41.例文帳に追加
消音室41内に、消音筒33,34,35による圧縮エアの排気抵抗が大きい高圧用流路43と、消音筒33,34,35による圧縮エアの排気抵抗が小さい低圧用流路とをそれぞれ設ける。 - 特許庁
The compressed air flowing into the bypass pipeline joins with the mixing gas in the mixing chamber in the state of low pressure drop without agitating the grinding powder and without passing a hole of a small sectional area and therefore the mixing gas is jetted with high pressure.例文帳に追加
バイパス管路にまわった圧縮空気は、研削性粉体を撹拌したり断面積の小さい孔を通ることもなく圧力損失の少ない状態で混合室にて混合気と合流するので、混合気は高い圧力で噴射される。 - 特許庁
To suppress non-smooth operation of a compression mechanism (20) by stirring loss of oil by suppressing leakage of a large amount of oil from oil grooves (70) of thrust bearing surfaces (29a, 29b) of the compression mechanism (20) provided on a scroll compressor to a low-pressure side second space (74b) of a back pressure chamber (74).例文帳に追加
スクロール圧縮機が有する圧縮機構(20)のスラスト軸受面(29a,29b)の油溝(70)から背圧室(74)の低圧側の第2空間(74b)へ油が多量に漏れるのを抑制し、油の撹拌損失で圧縮機構(20)が滑らかに動作しなくなるのを抑える。 - 特許庁
A fuel injection valve 30 includes a passage comprising holes 64a, 65a, etc., for supplying a low pressure fuel from a fuel tank 21 to the passage 41, etc., which discharges the fuel discharged from a back pressure chamber 56 to the outside of a housing 31.例文帳に追加
燃料噴射弁30は、背圧室56から排出された燃料をハウジング31の外部に排出する通路41などに、燃料タンク21からの低圧燃料を供給する孔64a、孔65aなどからなる通路を備えている。 - 特許庁
Another liquid fraction 35 is extracted from the second position or the third position on the lower side in the low-pressure tower, and introduced into an evaporation chamber of the first condenser/evaporator 4, to thereby evaporate a part thereof in the evaporation chamber, and a krypton/xenon-including fraction 138 is extracted from the evaporation chamber of the first condenser/evaporator.例文帳に追加
低圧塔の第2の位置又はその下方の第3の位置からは別の液体留分(35)を抽出してこれを第1の凝縮・蒸発器(4)の蒸発室に導入すると共に該蒸発室で一部を蒸発させ、第1の凝縮・蒸発器の蒸発室からクリプトン及びキセノン含有留分(138)を抽出する。 - 特許庁
The sound pressure level of the low frequency sound emitted from a speaker unit 1 is increased by amplifying the sound wave emitted through a 1st duct 6 from a 1st air chamber 3 at a 2nd air chamber 4, amplifying the sound wave emitted through a 2nd duct 7 at a 3rd air chamber 5 and emitting the amplified sound wave from a 3rd duct into air.例文帳に追加
スピーカーユニット1より放射される低音は第1の空気室3より第1のダクト6を通過し放射された音波を第2の空気室4で増幅し第2のダクト7を通過し放射された音波を第3の空気室5で増幅し第3のダクト8より大気中に放射して低音を増加するものである。 - 特許庁
To improve productivity by removing contaminant in high degree in such a manner that a vacuum chamber is kept at a desired low pressure in a lithography projector in which super-ultraviolet rays are used, patterning or projection means are equipped inside the vacuum chamber, and a thermal shield is equipped in order to thermally adjust components in the chamber.例文帳に追加
超紫外線を使うリソグラフィ投影装置であって、パターニング手段や投影手段が真空室内にあり、この室内の部品をを熱的に状態調節するために熱遮蔽体を備える装置に於いて、この真空室を所望の低圧に維持しながら高度に汚染物質を除去して生産性を向上すること。 - 特許庁
Water mist is sprayed on a carrot A on the belt conveyer 6 from an upper part by a high- pressure spray device 21, and air with low temperature low humidify is supplied to the carrot A from a lower air supply chamber 11 via a gap 6a of the belt conveyer 6.例文帳に追加
ベルトコンベア6上の人参Aに対して上方から高圧スプレー装置21によって水のミストが噴霧され、ベルトコンベア6の空隙6aを介して、下方の給気チャンバ11から低温低湿の空気が人参Aに供給される。 - 特許庁
To provide a silencer chamber for a low noise air conditioner capable of reducing the noise generated in accompany with the air flow, in particular, having the sound absorbing action even in a low frequency band, and reducing the pressure loss and the energy consumption.例文帳に追加
空気調和機において、空気流に伴って発生する騒音を低減し、特に、低周波数帯域でも減音作用があり、かつ、圧力損失が少なく、消費エネルギーも少ない低騒音空気調和機の消音チャンバーを提供する。 - 特許庁
Although in a conventional method, two pressure reduction pumps 29 of high pressure reduction ability are used not to lengthen a treatment tact when a large drying treatment chamber 21, in this method, it is sufficient that there be at least one pressure reduction pump 29, thus realizing low cost, restraining vibration and noise thereof and enabling more rapid pressure reduction drying, with small installation space requirement.例文帳に追加
このため、従来では、大きな乾燥処理室21を用いた場合には処理タクトを長くしないために2台の高減圧能力の減圧ポンプ29を用いたが、この減圧ポンプ29は少なくとも1台あればよく安価で、かつ、それによる振動や騒音を抑制できると共に、省設置スペースでより素早く減圧乾燥を行う。 - 特許庁
To provide an apparatus for introducing organic material gas to a reaction chamber and depositing a film by low pressure CVD method in which the time required for exhausting residual gas in the reaction chamber is shortened and the throughput is enhanced by adjusting the exhaust position and passage of a heater unit mounting a substrate.例文帳に追加
反応室に有機原料ガスを導入し、減圧CVD法等で成膜する装置において、基板を搭載したヒータユニットの排気の位置と通路を調整し、反応室の残留ガスの排気時間を短縮し、装置スループットの向上をはかる。 - 特許庁
An oil supply passage is provided for supplying oil to the compression chamber while keeping a crank angle section constant after completing the close-in, thus improving the sealing performance of the compression chamber particularly in the conditions of low speed and high differential pressure while suppressing the heating of the operating fluid during suction.例文帳に追加
圧縮室への給油を閉じ込み完了後のクランク角区間を一定として行う給油路を設けることにより、吸入途中の作動流体加熱を抑制しつつ、特に低速・高差圧条件での圧縮室のシール性を向上させることができる。 - 特許庁
By providing a check valve 120 between an oil pump 110 and a hydraulic chamber 51, oil can be supplied to a hydraulic chamber 51 by peak pressure from the oil pump 110 and ability of the oil pump 110 can be set at a low level.例文帳に追加
オイルポンプ110と油圧室51との間に逆止弁120を設けることで、オイルポンプ110の圧力脈動のピーク圧力で油圧室51にオイルを供給することが可能となり、オイルポンプ110の能力を小さく設定することができる。 - 特許庁
While a semiconductor substrate 18 in a reaction chamber of a low pressure CVD device is irradiated with a vacuum ultraviolet beam, tetramethyl chclotetrasiloxane (TOMCATS) as material gas is supplied into the reaction chamber and oxygen as additive gas is supplied.例文帳に追加
減圧CVD装置の反応室内の半導体基板18上に真空紫外光を照射した状態で、前記反応室内に原料ガスとして、テトラメチルシクロテトラシロキサン(TOMCATS)が供給されかつ添加ガスとして酸素が供給される。 - 特許庁
To prevent a lean mixture at low speed operating time, when a carburetor temperature rises, while fuel flow amount characteristics are stabilized, by quickly sucking vaporized fuel generated in a fuel chamber to an intake passage and stabilizing pressure in the fuel chamber.例文帳に追加
燃料室内で発生した蒸発燃料を速やかに吸気通路へ吸引させて燃料室内圧力を安定させ燃料流量特性を安定させると共に、気化器温度上昇時における低速運転時の混合気の希薄化を防止する。 - 特許庁
The oil grooves 19 and 20 have one end side communicating with a low pressure chamber 13, near the meshed portion of the gears, through a recess groove 17, and the other end side communicating with annular grooves 21 and 22 around shaft parts 8B and 9B.例文帳に追加
油溝19,20は一端側がギヤの噛合部位近傍で逃げ溝17を介して低圧室13に連通し、他端側は軸部8B,9B周囲の環状溝21,22に連通する。 - 特許庁
To provide an igniter capable of easily generating plasma even in a plasma generating chamber having a pressure as low as 10^-2 Torr, in the plasma generating device using a microwave.例文帳に追加
マイクロ波を利用したプラズマ発生装置において、10^−2Torr程度の低圧力のプラズマ発生室においてもプラズマを容易に発生させることができる点火装置を提供すること。 - 特許庁
Discharged gas discharged out of a vacuum chamber 1 is sucked by a vacuum pump 11 and fed into a cooling container 21 (22) through primary first and second valves 23 (25), 24 (25) under a low pressure condition.例文帳に追加
真空チャンバ1から排出される排ガスを真空ポンプ11で吸引し、低圧状態で一次側第1、第2バルブ23(25)、24(25)を介して冷却用容器21(22)に導入する。 - 特許庁
To obtain a vacuum treating apparatus in which the pressure of a vacuum conveying chamber is always maintained low without increasing the cost largely and a cycle time of each treatment can be shortened with high evacuating effect.例文帳に追加
大きなコストの増大を伴うことなく、真空搬送室の圧力を常に低く維持することができ、排気効果が高く、且つ、各処理のサイクルタイムを短縮することのできる真空処理装置を得る。 - 特許庁
The low pressure environment only inside the chamber 20 allows a very small size and a simple structure and thus, very inexpensive manufacturing is made possible by the diverted use of the testing equipment for evaluating performance of the reciprocal engine for an automobile.例文帳に追加
チャンバ20の内部のみを低圧環境とするから極めて小型で構造が簡単であり、自動車用レシプロエンジンの性能評価用試験設備を流用して極めて安価に製作できる。 - 特許庁
This combustion device comprises a mixing combustion structure 13 for injecting the burning flame into the combustion chamber 5 by introducing a low-pressure fuel gas and the combustion air and mixing them.例文帳に追加
低圧力燃料ガス及び燃焼用空気を内部に導入し、両者を混合して燃焼させ燃焼炎を燃焼室5内に噴出させる混合燃焼用構造体13を具備する。 - 特許庁
To reduce manufacturing costs by giving a plurality of sealing functions to a seal member, and reducing the number of seal members for sealing gaps between a drain part of a master cylinder, a low-pressure chamber of a booster, and atmosphere for simplifying a structure.例文帳に追加
シール部材に複数のシール機能を持たせ、マスタシリンダのドレン部、ブースタの低圧室、および大気の各間をシールするシール部材の数を減少し、構造を簡単にして製造コストを低減する。 - 特許庁
The substrate treatment apparatus, wherein an organic substance adhering a substrate is decomposed and removed by excited oxygen, is equipped with a chamber 1 into which the substrate is supplied, a low-pressure mercury lamp 7 for generating excited oxygen by exiting oxygen in the chamber, and a control device 15 for setting the oxygen concentration in the chamber in a specified range by controlling the amount of an inert gas supplied into the chamber.例文帳に追加
基板に付着した有機物を励起酸素で分解除去する基板の処理装置において、上記基板が供給されるチャンバ1と、このチャンバ内の酸素を励起して励起酸素を発生させる低圧水銀ランプ7と、上記チャンバ内に供給する不活性ガスの量を制御してこのチャンバ内の酸素濃度を所定の範囲に設定する制御装置15とを具備する。 - 特許庁
Since a valve opening hole formed on the valve body of a pressure control valve 30 is closed up by a piston before engine start and a fuel is not fed from a feed pump 20 to the pump chamber 14 of a high pressure fuel pump 10, the feeding pressure necessary for low speed rotation at engine start is secured to improve the engine starting performance.例文帳に追加
エンジン始動前に圧力調整弁30の弁ボディに形成される開弁孔がピストンにより遮断されており、フィードポンプ20から高圧燃料ポンプ10のポンプ室14に燃料が供給されないため、エンジン始動時の低速回転時に必要フィード圧が確保され、エンジンの始動性を向上することができる。 - 特許庁
The damping force in the low speed region of the piston velocity is adjusted by pressure control valve 19, 31, and also the damping force in the high speed region of the piston velocity is adjusted by controlling the valve opening pressure of disc valve 11, 23 by varying the pilot pressure introduced to the pilot chambers 14, 23 from oil chamber 20, 32 through cutouts 21, 33 and orifice grooves 22, 34.例文帳に追加
圧力制御弁19、31によってピストン速度低速域の減衰力を調整するとともに、油室20、32から切欠21、33及びオリフィス溝22、34を介してパイロット室14、26に導入されるパイロット圧力を変化させてディスクバルブ11、23の開弁圧力を制御し、ピストン速度高速域の減衰力を調整する。 - 特許庁
In this way, the resistance of the blade ring of the crusher 2 can be conquered, and a pressure zero point can be arranged in the crusher 2 so that a low negative pressure exists above a blade ring 11 in a crushing/sorting chamber and in the filter 8.例文帳に追加
これにより、ローラグラインド粉砕機のブレードリングの抵抗を克服することができ、圧力零点をローラグラインド粉砕機内とすることが可能になり、よって粉砕及び分級室内のブレードリング11の上及びフィルタ8内に低い負圧が存在する。 - 特許庁
When starting fuel injection, a second solenoid valve device 9 is opened, fuel in a pressure controlling chamber 21 of the injection valve 8 is exhausted from an orifice 23 and a fuel return passage 33 to a tank 10, and low pressure fuel is injected when a needle valve 25 rises.例文帳に追加
燃料噴射開始時に第2電磁式弁装置9が開弁され、噴射弁8の圧力制御室21の燃料がオリフィス23、燃料戻り通路33からタンク10に排出され、針弁25が上昇して低圧燃料が噴射される。 - 特許庁
To provide a high efficiency low power consumption ink jet head in which image formation can be carried out at a high speed while stabilizing ink ejection by suppressing residual oscillation due to a pressure wave being generated in a pressure chamber when ink is sucked or pressurized.例文帳に追加
圧力室内でインクの吸入及び加圧の際に発生する圧力波による残留振動を抑制し、インクの吐出が安定した画像形成を高速で実行可能であり、また、消費電力が小さく、高効率なインクジェットヘッドを提供する。 - 特許庁
A guide part 18 movable integrally with the control valve 16 is slidably stored in a guide hole 17 communicated with a valve chamber 15 via a high pressure port 20, and the control valve 16 is energized in the direction of closing the low pressure port 19 by a spring 26.例文帳に追加
バルブ室15に高圧ポート20を介して連通するガイド穴17には、制御バルブ16と一体に可動するガイド部18が摺動自在に収容され、スプリング26により制御バルブ16が低圧ポート19を閉じる方向に付勢されている。 - 特許庁
An intermediate discharge space 33 in which gas of intermediate pressure is discharged communicates with a suction port 25 of a high-stage compression chamber 23b through the intermediate communication passage 30 passing through the low-stage end plate 19b, low-stage cylinder 10a, partition plate 15, and high-stage cylinder 10b.例文帳に追加
中間圧力のガスが吐出される中間吐出空間33と高段圧縮室23bの吸込みポート25とは、低段端板19b、低段シリンダ10a、仕切り板15及び高段シリンダ10bを通る中間連通路30を介して連通されている。 - 特許庁
High/low speed orifices 32, 34 are provided in parallel, and also and orifice control valve 19 is provided in series to the low speed orifice 34 in an oil path discharging hydraulic pressure in an oil chamber B1' for operating a prescribed friction engaging element at down shift time.例文帳に追加
ダウンシフト時に所定の摩擦係合要素b_1 を作動させる油室B_1'の油圧を排出する油路中に、高速用オリフィス32と低速用オリフィス34とを並列に設けるとともに、低速用オリフィス34と直列にオリフィス制御弁19を設ける。 - 特許庁
To eliminate a lowering of an oil separation rate caused by facing of blow-by gas flowing into a gas-liquid separating chamber 6, and oil flowing down from the gas-liquid separating chamber 6, in a blow-by gas lead-in passage 8, focusing on and utilizing the presence of pulsation of pressure becoming high or low with the reciprocating motion of a piston, in pressure in a crankcase.例文帳に追加
クランクケース3内の圧力には、その圧力がピストンの往復動により高くなったり低くなったりする脈動が存在することに着目し、これを利用して、ブローバイガス導入通路8内で、気液分離室6へ流れ込むブローバイガスと、気液分離室6から流下するオイルとが対向することに起因するオイルの分離率の低下を解消する。 - 特許庁
The booster comprises an envelope in which a skirt dividing a low-pressure chamber from a variable-pressure chamber is slidably mounted in a sealed state, and further comprises a piston, and a three-way valve having a plunger distributor formed of a feeler slidably surrounded by a bushing forming a part of an emergency brake boosting device.例文帳に追加
ブースターは、外囲容器を備えており、その中には、低圧室と可変圧室を分けるスカートが、シールされた状態で滑動できるように取り付けられており、更に、ピストンと、緊急ブレーキ倍力装置の一部を形成するブッシングが滑動可能に取り囲んでいるフィーラーで形成されているプランジャ分配器器を備えた三方向弁と、が取り付けられている。 - 特許庁
Operation under low voltage and reliability are enhanced by providing an ink jet recording head 10 in which ink is ejected by elongating a diaphragm 112 partially or entirely in the plane direction thereof and flexing the diaphragm 112 toward the pressure chamber 11 side thereby varying the volume of a pressure chamber 7 filled with ink.例文帳に追加
振動板112の一部または全部を振動板112の面方向に伸長させることによって振動板112を圧力室11側に撓ませて、インクの充填される圧力室7に体積変化を与えることによってインク吐出を行なうインクジェット記録ヘッド10により、低電圧下での動作と信頼性の向上を実現した。 - 特許庁
Entrained air in fuel is discharged to the low pressure side with fuel through an opening and closing valve opened in accordance with the pulse width Prai and a discharge passage from a pressure control chamber of the injector, and accordingly, it is possible to avoid influences to combustion characteristics caused by injection of the entrained air to a combustion chamber from a nozzle hole with fuel.例文帳に追加
燃料内の混入エアは、インジェクタの圧力制御室から、パルス幅Praiに基づいて開弁している開閉弁、及び排出路を通じて燃料と共に低圧側に排出されるので、混入エアが燃料と共に噴孔から燃焼室に噴射されることに起因する燃焼特性への影響が、回避される。 - 特許庁
To provide an electrostatic ink jet head and a microactuator for ejecting an ink drop by deforming a diaphragm forming the wall face of a liquid chamber with an electrostatic force generated between the diaphragm and an electrode thereby varying the volume/pressure in the liquid chamber in which high image quality recording can be realized at a low cost by forming a micro liquid chamber with high accuracy at a low cost.例文帳に追加
液室壁面を形成する振動板と電極との間に発生させる静電気力によって振動板を変形変位させ、液室内の容積/圧力を変化させインク滴を吐出させる静電型のインクジェットヘッドおよびマイクロアクチュエータにおいて、微細な液室形成を高精度且つ低コストで実現することにより、低コストで高画質記録が可能なインクジェット記録装置および低コストのマイクロアクチュエータの提供。 - 特許庁
Since a seal member between a valve storage hole in which the servovalve device of the hydraulic servo device is stored and the planetary gear chamber in which the planetary gear mechanism is stored is eliminated, the low pressure operating oil flows into the planetary gear chamber from the valve storage hole and the planetary gear mechanism is dipped in the oil.例文帳に追加
油圧サーボ装置のサーボ弁装置が収納された弁収納孔と遊星歯車機構が収納された遊星歯車室との間のシール部材を削除したので、低圧の作動油が弁収納孔から遊星歯車室内に流入して遊星歯車機構を油漬けにする。 - 特許庁
In a plasma processing apparatus including a unit for generating a plasma, a processing chamber whose interior can be reduced in pressure by a vacuum evacuation unit connected thereto, and a unit for supplying gas to the processing chamber; an inner wall contacting the plasma is made of a material having low resistance.例文帳に追加
処理室内部にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、真空排気装置が接続され内部を減圧可能な処理室と、前記処理室内へのガス供給装置とから成るプラズマ処理装置において、プラズマと接する内壁を抵抗性材料で構成した。 - 特許庁
The method for manufacturing the semiconductor device comprises the steps of supplying an HMDSO(hexamethyldisiloxane) as a stock material into a reaction chamber 11 of a low pressure CVD unit 10, in a state in which an insulating film 15a of a semiconductor substrate 15 in the chamber 11 is irradiated thereon with a vacuum ultraviolet ray, and supplying oxygen as an adding gas.例文帳に追加
減圧CVD装置10の反応室11内の半導体基板15の絶縁膜15a上に真空紫外光を照射した状態で、前記反応室内に原料ガスとして、HMDSO(ヘキサメチルジシロキサン)が供給されかつ添加ガスとして酸素が供給される。 - 特許庁
The filter 7 is held in a balancing position by an energizing force of both springs 71 and 72, and is moved to the low pressure fuel pipe 104 side and the pressurizing chamber 22 side in response to the fuel flowing direction.例文帳に追加
フィルタ7を、上記両スプリング71,72の付勢力によって均衡位置に保持し、燃料の流れ方向に応じて低圧燃料配管104側および加圧室22側に移動させるようにしている。 - 特許庁
Therefore, even if pressure in a compression chamber 17 at the outer diameter side is low, the long seal portions 22, 27 push the one of the roll outermost diameter sides of the chip seal 20, 25 onto the end plates 9, 4, thereby increasing the sealability.例文帳に追加
従って、外径側の圧縮室17の圧力が低い場合でも、各長寸シール部22,27はチップシール20,25の最外径側の1巻を鏡板9,4に押付けることができ、シール性を向上することができる。 - 特許庁
Accurate gas sealability is not required for a muffling chamber 12b in the upper support member 12 since a refrigerant gas of an intermediate pressure compressed by the low-stage side rotating/compressing element is discharged into the closed container 1.例文帳に追加
密閉容器1内には低段側回転圧縮要素9で圧縮した中間圧の冷媒ガスを吐出するため、上部支持部材12における消音室12bでは高精度のガスシール性が要求されない。 - 特許庁
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