「high vacuum system」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

To provide a vacuum treating system by which film thickness can be controlled with high precision.例文帳に追加

膜厚を高精度にて管理することができる真空処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a vacuum film deposition system capable of generating and maintaining plasma even in a relatively high vacuum region.例文帳に追加

比較的高真空領域でもプラズマの発生及び維持ができる真空成膜装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

An evacuation system of the analysis apparatus 10 includes a roughing vacuum pump 50, and a turbo molecular pump 30 including a low vacuum side stage 32 and a high vacuum side stage 31.例文帳に追加

分析装置１０の真空排気系は、粗引ポンプ５０、及び低真空側段３２と高真空側段３１とを含むターボ分子ポンプ３０を有する。 - 特許庁

The manufacturing device of a lighting device has a vacuum chamber, an exhaust system to decompress or makes the vacuum chamber high vacuum condition, and a transfer chamber which transfers a substrate to the vacuum chamber.例文帳に追加

真空室と、真空室を減圧あるいは高真空状態とする排気系と、真空室へ基板を搬送する搬送室と、を有する照明装置の製造装置を提供する。 - 特許庁

To provide a substrate transfer system for a vacuum treatment device which realizes high production efficiency.例文帳に追加

高い生産効率を実現する真空処理装置用の基板搬送システムを提供する。 - 特許庁

To provide a high cleanliness space forming device with less contamination even for a vacuum chucking system.例文帳に追加

真空チャック方式でも汚染の少ない高清浄空間形成装置を実現する。 - 特許庁

To provide a vacuum film depositing system capable of performing film deposition at a low temperature and high in productivity.例文帳に追加

低温で成膜が可能でかつ生産性の高い真空成膜装置を提供する。 - 特許庁

Since the reticle stage and its drive system are contained entirely in the vacuum chamber 4, no movable section penetrates the vacuum chamber 4 and a high vacuum can be kept easily in the vacuum chamber 4.例文帳に追加

レチクルステージとその駆動系全体が真空チャンバー４内に収納されているので、可動部分が真空チャンバー４を貫通することが無く、真空チャンバー４内を高度の真空に保つことが容易である。 - 特許庁

To provide a vacuum valve by which the function of releasing an excessively high pressure can be achieved at low cost in a vacuum system, and a cryopump provided with such a vacuum valve.例文帳に追加

過度の高圧を解放する機能を真空システムに低コストに実現することを可能とする真空バルブ、及びそうした真空バルブを備えるクライオポンプを提供する。 - 特許庁

A plasma treatment system has this plasma source for efficiently coupling high-frequency energy to plasma in a vacuum treatment space of a vacuum chamber.例文帳に追加

プラズマ処理システムは、真空チャンバーの真空処理空間内のプラズマに高周波エネルギーを効率的に結合させるプラズマ源を有する。 - 特許庁

To provide a vacuum deposition system capable of forming a thin film in which high reflectivity is obtainable, and uniformity is high.例文帳に追加

高い反射率が得られ、且つ均一性の高い薄膜を成膜することができる真空成膜装置を提供する。 - 特許庁

ULTRA HIGH-SPEED VACUUM PUMP SYSTEM WITH FIRST STAGE TURBOFAN AND SECOND STAGE TURBOMOLECULAR PUMP例文帳に追加

第一段のターボファンと第二段の軸流分子ポンプとを備えた超高速真空ポンプ装置 - 特許庁

To suppress increase of a device scale and a processing scale in a measuring system of the degree of vacuum, and to measure the degree of vacuum accurately, easily and quickly in a wide range from the low degree of vacuum (atmospheric pressure) to the high degree of vacuum.例文帳に追加

真空度計測システムにおいて、装置規模及び処理規模の増大を抑えて、低真空度（大気圧）から高真空度までの広範囲の真空度計測を正確、容易かつ迅速に可能にする。 - 特許庁

To provide a vacuum deposition system capable of depositing a resin film despite its thickness with high productivity.例文帳に追加

樹脂フィルムの厚さにかかわらず高い生産性で成膜できる真空成膜装置を提供する。 - 特許庁

The method of priming a surgical system includes a step to pull a very high vacuum and then cycling fluid through the system as a fluid pulse.例文帳に追加

高真空に引き、そして、流体パルスとして流体を循環させる工程を含む、外科手術用装置の初期化方法。 - 特許庁

To inexpensively obtain a highly accurate nonmagnetic stage system that can be used in a high vacuum suitably to an electron beam exposure system.例文帳に追加

電子ビーム露光装置に適するように高真空中で使用でき、高精度且つ非磁性のステージ装置を低コストで実現する。 - 特許庁

To provide a vacuum thin film depositing system and a vacuum thin film depositing method capable of inexpensively depositing a thin film on a long-length organic base material at a high speed.例文帳に追加

長尺有機基材に高速かつ安価に薄膜を形成できる真空薄膜形成装置および真空薄膜形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a low-cost plasma vacuum system and a plasma vacuum processing method which enable automatic supply and high-massive processing of workpieces.例文帳に追加

処理対象物の自動供給及び高速・大量処理が可能な低コストのプラズマ真空装置及びプラズマ真空処理方法を提供すること。 - 特許庁

To prevent damages in the cathode of an electron gun by positive ions, while keeping high vacuum level for an electron gun chamber, even when the vacuum level of a lens/deflection system is low.例文帳に追加

レンズ・偏向系の真空度が低いときにも電子銃部の真空度を高く保持しつつ、正イオンによる電子銃のカソードの破損を防止する。 - 特許庁

The inside of a microscope body part 2 is held in high vacuum of 1×10-4 Pa by an exhaust system 3, and the inside of a sample chamber 1 is held in low vacuum of 1-270 Pa.例文帳に追加

排気系３によって鏡体部２内は１×１０^-4Ｐａの高真空に保持され、試料室１内は１〜２７０Ｐａの低真空に保持される。 - 特許庁

To provide a monitoring device having high selectivity, being a small-sized analyzer dispensing with a vacuum system.例文帳に追加

真空系を必要としない小型の分析装置でありながら選択性の高いモニタリング装置を提供する。 - 特許庁

To provide an ultra high-speed vacuum pump evacuation system having a first stage ultra-high speed turbofan and a conventional second stage turbomolecular pump.例文帳に追加

第一段の超高速ターボファンと第二段の従来形軸流分子ポンプとを含んだ超高速真空ポンプ排気装置を提供する。 - 特許庁

To provide a vacuum pressure control system that easily controls pressure in a wide range from atmospheric pressure or a low vacuum close to atmospheric pressure to a high vacuum, and reliably prevents scattering of particles by slow evacuation while controlling a pressure with high accuracy.例文帳に追加

大気圧又は大気圧に近い低真空から高真空までの広い圧力レンジを簡単に圧力制御でき、高精度に圧力制御しながらスロー排気してパーティクルの飛散を確実に防止する真空圧力制御システムを提供する。 - 特許庁

The vacuum pumping system has a spiral groove vacuum pump 37 having a rotor rotating at a high speed on the surface of which the spiral grooves are formed, and a rotary pump 38.例文帳に追加

前記真空排気手段は、高速で回転するロータの表面に渦巻き状の溝が設けられた渦巻き溝真空ポンプ３７と、ロータリーポンプ３８と、を有している。 - 特許庁

To provide a vacuum treating system in which the service life of a member of a reaction vessel of the vacuum treating system is prolonged and a safe and secure treatment can be performed with high efficiency.例文帳に追加

真空処理装置の反応容器に用いる部材の寿命を長くし、また、安全確実な処理を可能とすることもでき、その結果、処理効率をより優れたものとされた真空処理装置の提供。 - 特許庁

To provide a charged particle beam exposure system in which a high vacuum can be kept in a vacuum chamber and the effect of magnetism generated from a linear motor onto a charged particle beam optical system is suppressed.例文帳に追加

真空チャンバー内を高度の真空に保つことができ、かつ、リニアモーターが発生する磁気が、荷電粒子線光学系に与える影響を少なくした荷電粒子線露光装置を提供する。 - 特許庁

To realize a vacuum cooling and blast chiller cooling by one air cycle system and to cool an object to be cooled at a high speed.例文帳に追加

真空冷却ブラストチラー冷却とを一つの空気サイクルシステムにより実現し、冷却対象を高速冷却する。 - 特許庁

A system includes a loader/transport device 12 for moving waste to a high vacuum environment in a chamber of a plasma processor 14.例文帳に追加

システムは、廃棄物をプラズマ・プロセッサ１４の室内の高真空環境へと移動させるローダー／移送装置１２を含む。 - 特許庁

A high-pressure reduction piping system 31a which sets a suction force generated by a vacuum pump high and a low pressure reduction piping system 31b, which sets a suction force low are provided to the suction mechanism 3.例文帳に追加

吸引機構３には真空ポンプ３７による吸引力を高く設定する高減圧配管系３１ａと、低く設定する低減圧配管系３１ｂが配設される。 - 特許庁

Right before the hydrogen gas is introduced, the presence or not of vacuum leak from an evacuation system containing a mechanical booster pump 75 under a high vacuum is identified, followed by stopping the vacuum pump for performing pressure rise test in the hydrogen treatment chamber 1 and vacuum leak check.例文帳に追加

そして、水素ガスの導入の直前には、高真空下にメカニカルブースタポンプ７５を含む真空排気系の真空洩れの有無を確認し、続いて、真空ポンプを停止して水素処理室１の圧力上昇試験を行い真空洩れのチェックを行う。 - 特許庁

To provide an inline type film deposition system which can carry a carrier at a high speed, also has high exhaust capacity within a film deposition chamber, and can easily achieve a high vacuum degree in a short time.例文帳に追加

キャリアを高速で搬送することができ、なお且つ成膜室内の排気能力が高く、高真空度を短時間で容易に実現できるインライン式成膜装置を提供する。 - 特許庁

To provide a stage apparatus equipped with a power transmission system which enables high-precision stage movement in a vacuum container.例文帳に追加

真空容器内部での高精度なステージ移動を可能ならしめる動力伝達方式を備えたステージ装置を提供する。 - 特許庁

To provide a vacuum deposition system which is capable of forming a dense and high-quality film to a large area on a base material.例文帳に追加

基材上に緻密で高品質の膜を大面積に形成することができる真空成膜装置を提供することである。 - 特許庁

To provide a mask device and a vacuum film deposition system by which film deposition of a plurality of patterns can continuously be performed at a high speed.例文帳に追加

複数のパターンの成膜を高速で連続的に行うことが可能なマスク装置及び真空成膜装置を提供する。 - 特許庁

To provide a vacuum film deposition system capable of depositing a thin film and a multilayer film of high film thickness uniformity in a substrate surface.例文帳に追加

基板面内での膜厚均一性の高い薄膜や多層膜の成膜を可能とする真空成膜装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a radiation tube system capable of replacing a carbon nanotube negative electrode easily while maintaining a high vacuum.例文帳に追加

高真空を保持しながら容易に炭素ナノチューブ陰極を入れ替えることが可能な放射線管システムを提供すること。 - 特許庁

To provide a magnetic conveyance system of structure capable of stably conveying carriers at high speed and reduced in outbreak of dust inside a vacuum.例文帳に追加

キャリアを安定、かつ高速に搬送でき、さらに真空内で発塵の少ない構造の磁気搬送システムを提供する。 - 特許庁

To solve a problem that a conventional device is specialized for keeping a vacuum chamber to an ultrahigh vacuum, needs a complicated and expensive differential exhaust system, is high in manufacturing cost, and complicated in handling operation.例文帳に追加

従来では真空室を超高真空に保つため装置構造が特殊で、複雑かつ高価な差動排気システムが必要で、製造価格が高価で取り扱い操作が煩雑化である。 - 特許庁

To provide a sputtering system capable of directly measuring changes in the amount of target erosion with high precision when necessary after one stage of substrate processing while maintaining the vacuum of a vacuum vessel.例文帳に追加

真空容器の真空を維持したまま、基板処理の区切りで必要に応じてターゲットの侵食量の変化を、直接的に、精度よく計測可能なスパッタリング装置を提供する。 - 特許庁

The post-etch treatment system comprises a vacuum chamber, a radical generation system connected to the vacuum chamber, a radical gas distribution system that is connected to the radical generation system and configured to distribute reactive radicals above a substrate, and a high-temperature pedestal configured to be connected to the vacuum chamber and to support the substrate.例文帳に追加

エッチング後の処理システムには、真空チャンバ、真空チャンバに結合されたラジカル発生システム、ラジカル発生システムに結合され、基板より上に反応性のラジカルを分配するように構成されたラジカルガス分配システム、および真空チャンバに結合されるように構成された高温の台が設けられ、基板を支持するように構成されている。 - 特許庁

SUCTION TREATMENT OF HIGH TEMPERATURE HEAT INSULATION MATERIAL AND THE LIKE IN CLEANING SYSTEM FOR STEEL PLANT, AND VACUUM CLEANER USED TO THIS SUCTION TREATMENT例文帳に追加

製鋼工場の清掃システムにおける高温保温材等の吸引処理方法と該吸引処理方法に用いるバキュームクリーナー - 特許庁

To provide a vacuum processing system executing highly accurate high efficiency processing while simplifying the processing work and shortening the period thereof.例文帳に追加

処理作業を簡略化かつ短期間化しつつ、高精度かつ高効率な処理を実行可能な真空処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a process for producing a high precision thin film transistor simply and efficiently without requiring a vacuum system or photolithography.例文帳に追加

真空系やフォトリソを用いなくとも、精度の高い薄膜トランジスタ素子シートを、簡易、且つ、効率的に製造する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a roll to roll type system capable of performing stable vacuum film deposition for a long time and at high speed to a substrate or a base material.例文帳に追加

基板、基材に対し、安定して長時間、かつ高速での真空成膜が可能であるロール・ツー・ロール型装置を提供すること。 - 特許庁

The system for receiving the heat of the high heat-flux beam/energy recovery includes a differential pumping chamber 20 controlled in a vacuum atmosphere and an evaporation chamber 10.例文帳に追加

高熱流束ビーム受熱・エネルギー回収システムは真空雰囲気に管理された差動排気室２０と蒸発室１０を備える。 - 特許庁