「YAG」に関連した英語例文の一覧と使い方(7ページ目) - Weblio英語例文検索

In the ceramic nozzle having an inflow port, an outflow port and the fine hole provided in the vicinity of the outflow port and ejecting a fluid, the fine hole has a surface subjected to thermal melting treatment by processing the fine hole by YAG laser.例文帳に追加

流入口、流出口と該流出口近辺に細孔を有し、流体を噴出させるためのセラミック製ノズルにおいて、細孔をＹＡＧレーザにより加工することにより、少なくとも上記細孔が熱によって溶融処理された表面とする。 - 特許庁

To provide a photosensitive lithographic printing plate processible with an Ar ion laser, an FD-YAG laser, a violet laser, a short-wavelength semiconductor laser or the like, applicable as one for CTP, and satisfying both of scumming resistance (scumming property) in printing and printing durability.例文帳に追加

Ａｒイオンレーザー、ＦＤ−ＹＡＧレーザー、バイオレットレーザー、短波長半導体レーザー等で描画可能であり、ＣＴＰ用として適用可能な、印刷時の汚れ難さ(汚れ性)と耐刷性の両立ができる感光性平版印刷版を提供すること。 - 特許庁

Characters and patterns such as the scale 3 are formed by irradiating CO2 gas laser light or YAG laser light to an external or internal surface of the container 1 made of an olefin-based resin which contains a filler ranging from 0.05 to 3 wt.%.例文帳に追加

０．０５重量％〜３重量％の範囲内の充填剤を含むオレフィン系樹脂からなる容器１の外面または内面に、ＣＯ_2ガスレーザー光またはＹＡＧレーザー光を照射して目盛り３等の文字・図形を形成する - 特許庁

After coated optical fibers 5 are arranged in the V-grooves 7 of a V-grooved glass substrate 2 constituting the fiber array 1, silicon powder 6A is supplied thereon and cover glass 4 is superposed thereon and is irradiated with a YAG laser beam 12L from the outer side thereof.例文帳に追加

ファイバアレイ１を構成しているＶ溝ガラス基板２のＶ溝７に光ファイバイ芯線７を配置した後に、その上にシリコン粉末６Ａを供給し、カバーガラス４を重ねて、その外側からＹＡＧレーザー光１２Ｌを照射する。 - 特許庁

In the method and a device for adjusting the resistance of a resistor, the core diameter of an optical fiber 25 is selected and a cut groove 7 is formed in the resistance adjusting part 6 on the resistor film 3 of a resistor 10 using YAG pulse laser light.例文帳に追加

抵抗器の抵抗値を調整する抵抗調整方法及び抵抗調整装置にＹＡＧパルスレーザ光を用いて光ファイバ２５のコア径を選択して抵抗器１０の抵抗膜３上の抵抗調整部６にカット溝７を形成する。 - 特許庁

The surface of the liquid crystal mask 8, on which the printing data are displayed, is scanned with a laser beam 2 emitted from a YAG (yttrium aluminum garnet) laser oscillator 5, so that the same printing patterns are batch-printed on a plurality of silicon wafer chips placed on a table 13.例文帳に追加

ＹＡＧレーザー発振器５から出力されたレーザー光２で、印字データが表示された液晶マスク８の面をスキャンすることで、テーブル１３上のシリコンウエハの複数のチップに対して同じ印字パターンのものを一括して印字する。 - 特許庁

To provide a correcting method of a short-circuited defective part of the organic display panel electrode by removing the defective part by irradiating a YAG laser beam, which can correct the defective part without damaging its lower layer.例文帳に追加

有機ＥＬパネル用の電極のショート欠陥部を、ＹＡＧレーザを照射して除去することにより修正する、有機ＥＬ用パネルの電極欠陥修正方法で、欠陥部の下層にダメージを与えることなく、修正できる方法を提供する。 - 特許庁

To provide a cable harness comprising a ground cable which has an outer conductor cut by YAG laser and removed when lead processing and which does not easily have the central conductor damaged and its manufacturing method.例文帳に追加

口出し処理の際に外部導体がＹＡＧレーザによって切断されて除去されるグランドケーブルを備えたケーブルハーネスにおいて、グランドケーブルの中心導体が損傷し難いグランドケーブルを備えたケーブルハーネス及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

In laser irradiation, the Cu powder 20 melts instantaneously by absorbing laser energy of the YAG second harmonic efficiently and the inside of the through hole 16 is rendered conductive thus forming a conductor plug 22 composed of Cu in the through hole 16.例文帳に追加

このレーザ照射において、Ｃｕパウダー２０はＹＡＧ第２高調波のレーザエネルギーを効率的に吸収して瞬間的に溶融し、スルーホール１６内が導電化され、スルーホール１６内にＣｕから成る導体プラグ２２が形成される。 - 特許庁

The photosensitive composition curable by YAG laser light contains an active energy ray polymerization initiator (X component) having a structure (1): R1-C(=NO-R2)-R3 in the molecule and a polyfunctional thiol compound (Y component) having at least two mercapto groups in the molecule.例文帳に追加

分子内に下記の構造（１）を有する活性エネルギー線重合開始剤（Ｘ成分）と、分子内に少なくとも２個のメルカプト基を有する多官能チオール化合物（Ｙ成分）とを含有するＹＡＧレーザーで硬化する感光性組成物。 - 特許庁

To provide a synthetic quartz glass material suitably used for higher harmonic equal to or above the 3rd harmonic of YAG laser as a synthetic quartz glass optical material used for an optical member constituting a prism, a lens or the like used for a laser beam machine.例文帳に追加

レーザー加工機に使用されるプリズム、レンズ等を構成する光学部材に使用される合成石英ガラス光学材料において、ＹＡＧレーザーの第３高調波以上の高調波に好適に使用される合成石英ガラス材料を提供する。 - 特許庁

By using a short wavelength laser of UV rays at ≤360 nm wavelength, for example, by using the fourth order harmonic waves of a YAG laser, only the upper electrode near the short circuit defect can be removed with good accuracy without adding influences on the lower films.例文帳に追加

発振波長が３６０ｎｍ以下の紫外線である短波長レーザー、例えばＹＡＧレーザーの第４高調波を用いれば、下層膜に影響を与えずに短絡欠陥周辺部の上部電極のみを精度良く除去することができる。 - 特許庁

To provide a laser beam machining method capable of precisely and efficiently eliminating the damage of diamond etc., and to solve the problems of a machining cost and machining accuracy by using an inexpensive and easy-to-handle laser wavelength of particularly a YAG laser etc.例文帳に追加

ダイヤモンド等の損傷を無くし、精密かつ効率良く加工できるレーザー加工方法を提供するものであり、特にＹＡＧレーザーなどの安価で、取り扱いやすいレーザー波長を利用して、加工コストと加工精度の問題を解決する。 - 特許庁

To provide a photosensitive lithographic printing plate processible with an Ar ion laser, an FD-YAG laser, a violet laser, a short-wavelength semiconductor laser or the like, applicable as one for CTP, and satisfying both of scumming resistance in printing and printing durability.例文帳に追加

Ａｒイオンレーザー、ＦＤ−ＹＡＧレーザー、バイオレットレーザー、短波長半導体レーザー等で描画可能であり、ＣＴＰ用として適用可能な、印刷時の汚れ難さ(耐汚れ性)と耐刷性の両立ができる感光性平版印刷版を提供すること。 - 特許庁

A brazing filler metal 12 in a plate piece shape composed of silver solder for instance is set to the lead frame 10 set on a work bench 14, and the brazing filler metal 12 is temporarily brazed to the lead frame 10 by using a YAG laser beam LB emitted from a laser emission unit 16.例文帳に追加

作業台１４の上にセットされたリードフレーム１０に対して、たとえば銀ろうからなる板片状のろう材１２をセットし、レーザ出射ユニット１６より出射されるＹＡＧレーザ光ＬＢを用いて、リードフレーム１０にろう材１２を仮付けする。 - 特許庁

Further, the filter FL is pressed against the step part 41c through the pressing-down member 42 and buffer member 43 with a proper force and welding is performed at proper positions of the circumference of the pressing-down member 42 by using a YAG laser to fix the pressing-down member 42 to the frame body 41.例文帳に追加

さらに、押え部材４２及び緩衝部材４３を介してフィルタＦＬを段差部４１ｃ側に適当な力で押しつけるとともに、押え部材４２の周囲の適所にＹＡＧレーザを用いた溶接を施して押え部材４２を枠体４１に固定する。 - 特許庁

To provide an optical isolator which is surface-mounted with YAG welding without giving a shock or a strain to a function part composed of an optical element and a magnet, and in which the optical elements are accurately positioned despite a simple manufacturing process.例文帳に追加

表面実装のＹＡＧ溶接において、光学素子やマグネットからなる機能部に衝撃や歪みを与えることなく実装が可能で、また、単純な工程にもかかわらず高精度で光学素子の位置決めが可能な光アイソレータを提供することを課題とする。 - 特許庁

After the position of a second lens 39 is adjusted so that desired optical coupling is obtained between it and the LED 11 and further the second lens holder 36 is fixed to the tip end of the pipe part 22a by YAG welding, the package is heated to melt the solder ring 32.例文帳に追加

ＬＥＤ１１との間で所望の光結合が得られるように第２レンズ３９の位置を調整した上で第２レンズホルダ３６をＹＡＧ溶接によりパイプ部２２ａ先端へ固着した後、パッケージを加熱してはんだリング３２を溶融させる。 - 特許庁

Incident side polarizing plates 260 R, 260G, 260B are constituted by joining polarizing bodies to the surface of the holding plate made of a sintered body substrate of light transmissive ceramic (light transmissive yttrium-aluminum-garnet (YAG)) with an isotropic crystal structure without optical anisotropy.例文帳に追加

入射側偏光板２６０Ｒ，２６０Ｇ，２６０Ｂは、光学異方性のない等方性の結晶構造を有する透光性セラミックス（透光性イットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ））の焼結体基板からなる保持板の表面に偏光体が接合されている。 - 特許庁

When the end faces of the Tm: YAG rods 3, 3a are formed vertically to the laser optical axis, LD bars 9a to 9d are installed vertically to a plane made by an optical axis of the laser optical axis and the excited light from the LD bars 9a to 9d.例文帳に追加

この際、Ｔｍ：ＹＡＧロッド３、３ａの端面がレーザ光軸に対して垂直に形成されている場合は、レーザ光軸とＬＤバー９ａ〜９ｄからの励起光との光軸のなす平面に対し、ＬＤバー９ａ〜９ｄを垂直に設置する。 - 特許庁

In the machining method where a strain is given by irradiating a ceramic plate 11 with a pulsed laser beam emitted from a YAG pulse laser beam oscillator 10, a crack of the ceramic plate is prevented by making a pulse width of the pulsed laser beam 1 ns to 0.4 ms.例文帳に追加

ＹＡＧパルスレーザ発振器１０からのパルス状レーザ光をセラミック板１１に照射して歪みを与える加工方法において、前記パルス状レーザ光のパルス幅を１ｎｓｅｃ〜０．４ｍｓｅｃとすることにより、前記セラミック板の割れを防止する。 - 特許庁

The W silicide film (conductive film) 4b is heat-generated by irradiating the W silicide film (conductive film) 4b with electromagnetic waves, such as high frequency and YAG laser beams or the like, and the amorphous silicon film 2a is changed into the polysilicon film 2 utilizing heat.例文帳に追加

そして、Ｗシリサイド膜（導電膜）４ｂに対し、高周波やＹＡＧレーザービームなどの電磁波を照射することにより、Ｗシリサイド膜（導電膜）４ｂを発熱させ、この熱を利用して、非晶質シリコン膜２ａを多結晶シリコン膜２に変える。 - 特許庁

To provide a marking method of a nitride semiconductor substrate, which is capable of marking a surface of a nitride semiconductor substrate by a laser beam of a prescribed wavelength region including a fundamental wave and a second harmonic wave of Nd-YAG laser, and to provide a nitride semiconductor substrate.例文帳に追加

Ｎｄ−ＹＡＧレーザの基本波及び第２高調波を含む所定の波長領域のレーザ光により窒化物半導体基板の表面にマーキングすることを可能とする窒化物半導体基板のマーキング方法及び窒化物半導体基板を提供する。 - 特許庁

The laser beam emitted from a YAG laser oscillator passes through an aperture 111, as shown by a chain double-dashed line in the figure, its optical path is bent by 90 degree at a vertical reflecting mirror 112, then the laser beam enters into a conical mirror 113, and is emitted in a form of a ring laser beam.例文帳に追加

ＹＡＧレーザ発振器から出射したレーザ光は、図中に二点鎖線にて示す如く、アパーチャ１１１を通過し、落射ミラー１１２で光路を９０度折り曲げられた後、円錐レンズ１１３に入射して、リング状のレーザ光となって出射される。 - 特許庁

To provide an optical component for laser, which is an optical component used for refracting laser light in a near infrared light region, such as a fiber laser and a YAG laser, and can suitably correct chromatic aberration, while suppressing the increase of the cost and the absorption of the laser light.例文帳に追加

ファイバレーザやＹＡＧレーザ等の近赤外光領域のレーザ光を屈折させるために使用する光学部品であって、コストの増大やレーザ光の吸収を抑制しつつも色収差を好適に補正することができるレーザ用光学部品を提供する。 - 特許庁

If five kinds of the filter members are once designed, four kinds of the band-pass filters respectively capable of transmitting four wavelengths of the YAG lasers P can be easily manufactured and therefore the manufacturing efficiency can be improved and eventually the cost reduction is made possible.例文帳に追加

５種類のフィルタ部材を一度設計すれば、これらを組み合わせるだけで、ＹＡＧレーザＰの４波長がそれぞれ透過可能な４種類のバンドパスフィルタを容易に製作することができるから、製作効率を良好にできて、ひいてはコストダウンを図ることができる。 - 特許庁

To obtain Nd:YAG polycrystal, Nd:YAG single crystal and Nd:YAG polycrystal-single crystal (compound structure), having an energy-accumulating capacity in a level equal to or higher than that of a conventional YAG single crystal having an equal Nd concentration.例文帳に追加

同等のＮｄ濃度である従来のＹＡＧ単結晶体と比較して、レーザー活性イオンのエネルギー蓄積能力が同等レベル以上である、Ｎｄ：ＹＡＧ多結晶体、Ｎｄ：ＹＡＧ単結晶体およびＮｄ：ＹＡＧ多結晶体−単結晶体（複合構造）を得る。 - 特許庁

To provide a welding method, in which welding of high efficiency is performed by combining a gas-shielded arc welding method and a YAG-laser welding method, and by which generation of welding defects such as a blowhole is suppressed, the amount of spatters to be generated is reduced, and an excellent bead-shape is obtained.例文帳に追加

ガスシールドアーク溶接法とＹＡＧレーザ溶接法とを組み合わせて、高能率の溶接施工を可能にし、しかもブローホール等の溶接欠陥を抑制するとともにスパッタの発生量を低減でき、優れたビード形状が得られる溶接方法を提供する。 - 特許庁

The transparent decorating layer 4 including an infrared-ray absorbent is formed on a base material 1; infrared laser light for patternizing the transparent decorating layer by applying the infrared laser light is YAG laser light; and the infrared-ray absorbent is an immonium-based compound.例文帳に追加

基材１上に赤外線吸収剤を含む透光性加飾層４を形成し、赤外線レーザー光を照射して透光性加飾層をパターン化する赤外線レーザー光がＹＡＧレーザー光であり、赤外線吸収剤がイモニウム系化合物である。 - 特許庁

To prevent a YAG layer provided on a surface layer from being released or dropped to improve insulation properties at a high temperature in a silicon wafer support member such as a heater, an electrostatic chuck, a heater cover plate or the like using high heat transferable ceramic board such as an aluminum nitride or the like.例文帳に追加

窒化アルミニウムなどの高熱伝導性セラミック基板を用いたヒーター、静電チャック、ヒーターカバープレートなどのシリコンウェハ支持部材において、高温における絶縁性などを改善するために表面層に設けるＹＡＧ層が剥離し脱落することを防止する。 - 特許庁

To provide a glass film which has a preferable laser workability for a laser having a large energy, particularly for YAG lasers having wavelengths of 266 nm and 355 nm, or the like, further, hardly breaks in various kinds of processes after laser working and contributes to the thinning and the reduction of weight of various kinds of instruments.例文帳に追加

大きなエネルギーを持つレーザー、特に波長２６６ｎｍや３５５ｎｍのＹＡＧレーザー等に対し、良好なレーザー加工性を有し、且つレーザー加工後の各種工程で破損し難いガラスフィルムを創案し、各種機器の薄型化、軽量化に貢献すること。 - 特許庁

With the laser machining head 11 positioned at the optimum focal position of the YAG laser beam LB, a measuring light beam is emitted obliquely to the workpiece W from a head 41 for an external measuring light source; the reflected light of the measuring light beam on the workpiece W is imaged with the CCD camera 29 and displayed.例文帳に追加

予めレーザ加工ヘッド１１をＹＡＧレーザ光ＬＢの最適焦点位置に位置決めした状態で、外部の測定光源用ヘッド４１から測定光を斜めにワークＷに照射し、ワークＷ上の測定光の反射光をＣＣＤカメラ２９にて撮像して表示する。 - 特許庁

Further, a holder 11 supporting the wavelength conversion element 5 is turned by a moving mechanism 10 of a position selecting means 8 thus the object to be machined is irradiated with the basic wave laser beam 2 emitted from the YAG laser beam oscillator 1 via the optical fiber 3, without shortening the wavelength of the laser beam.例文帳に追加

また、位置選択手段８の移動機構１０により、波長変換素子５を支持しているホルダ１１を回動させ、ＹＡＧレーザ発振器１から光ファイバ３を経て出射される基本波レーザ光２を、短波長化させずに加工対象物に照射する。 - 特許庁

A YAG polycrystal having a concentration of impurities except Y, Al and O of 3,000 ppm or less in terms of an element and a pore volume of less than 100 ppm is polished by using a surface plate having a Brinell hardness of 40 or less and alumina or diamond-mixed abrasive grains whose main component is alumina as an abrasive material.例文帳に追加

Ｙ、Ａｌ、Ｏ以外の不純物濃度が元素換算で３０００ppm以下、気孔体積量が１００ppm未満のＹＡＧ多結晶体を、ブリネル硬度４０以下の定盤と、研磨材としてアルミナまたはアルミナを主成分としたダイヤモンド混合砥粒を用いて研磨する。 - 特許庁

Further, it may be a wavelength conversion type light emitting device 1, which emits white light based on mixing with yellow light obtained by exciting phosphors with blue light emitted from the LED element 2 by containing yellow phosphors such as YAG (Yttrium Aluminum Garnet) in silicone constituting a resin sealing part 4.例文帳に追加

また、樹脂封止部４を構成するシリコーンにＹＡＧ(Yttrium Aluminum Garnet)等の黄色蛍光体を含有し、ＬＥＤ素子２から発せられる青色光で蛍光体を励起することにより得られる黄色光との混合に基づく白色光を放射させる波長変換型の発光装置１であっても良い。 - 特許庁

The aluminum nitride sintered compact has grain boundary phases which are formed in the crystal structure of aluminum nitride and each of which contains at least one of YAG, YAM and YAL and has ≤1 μm maximum diameter and ≥188 W/m.K thermal conductivity.例文帳に追加

本発明に係る窒化アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウム結晶組織にＹＡＧ，ＹＡＭおよびＹＡＬの少なくとも一種を含む粒界相が形成され、粒界相の最大径が１μｍ以下であり、かつ熱伝導率が１８８Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることを特徴とする。 - 特許庁

In order to remove each gold plating layer 12 in the peeling region HE almost all over, relative movement (scanning) is performed between the YAG second harmonic laser beam SHG and each contact W as a work in a direction at a desired angle to the major axis direction of the elliptic beam spot SP_SHG.例文帳に追加

剥離領域ＨＥ内の金メッキ層１２をほぼ隈なく除去するために、ＹＡＧ第２高調波レーザ光ＳＨＧと加工対象のコンタクトＷとの間で楕円状ビームスポットＳＰ_SHGの長軸方向に対して所望の角度をなす方向に相対移動（走査）が行われる。 - 特許庁

As a sensor for detecting damage to the visible window part of a safety helmet and the like, a fine continuous wire is printed on the window member by a screen printing method so that the visibility is unimpaired, thereby providing a structure that stops YAG laser irradiation when disconnection of the wire is detected.例文帳に追加

このため、例えば安全ヘルメットの可視窓部の損傷を検出するセンサとして、窓部材にスクリーン印刷法により、視界を損わないよう印刷された細い連続ワイヤを設け、その断線を検出した時、ＹＡＧレーザの出射を停止するよう構成した。 - 特許庁

A YAG pulse laser oscillator 11 and a machining lens 23 for prescribing the reduction ratio of the laser light spot irradiating the HDD head 18 are included, and the HDD head is irradiated with the laser light from a laser oscillator to remove or induce the strain of the HDD head.例文帳に追加

ＹＡＧパルスレーザ発振器１１と、ＨＤＤヘッド１８に照射されるレーザ光スポットの縮小比を規定するための加工レンズ２３とを含み、前記レーザ発振器からのレーザ光を前記ＨＤＤヘッドに照射することにより、該ＨＤＤヘッドの持つ歪みを除去したり、歪みを与える。 - 特許庁

A tapered recess 5a in a substrate 5 mounting a blue light emitting element 1 is coated with first resin 10 containing phosphor 30 of YAG (yttrium-aluminum oxide) and the surface of the first resin 10 is coated with second resin 20.例文帳に追加

青色発光の発光素子１が載置されたテーパー形状の凹部を有する基体５の凹部５ａを、ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム酸化物）の蛍光体３０が含有された第１の樹脂１０で被覆しており、その第１の樹脂１０の表面を、第２の樹脂２０で被覆している。 - 特許庁

An EOM (electro optic modulator) 15, a photodetector (PD) 16 and a light output control part (APC (auto power controller)) 17 make exposure per unit area of a laser beam emitted from a laser source 14 for oscillating a recording laser beam of quartic harmonic (λ=266 nm) of a YAG laser to be constant.例文帳に追加

ＹＡＧレーザの４次高調波（λ＝２６６ｎｍ）の記録用レーザ光を発振するレーザ源１４から出射されたレーザ光は、ＥＯＭ１５と光検出器（ＰＤ）１６と光出力制御部（ＡＰＣ)１７によって、単位面積あたりの露光量が一定とされる。 - 特許庁

A Raman cell 1, having collimate lens 2a and 2d at the incident part and outgoing part of laser beams with Nd: YAG laser fourth higher harmonics in which hydrogen gas is used as a medium, is divided into operating sections in two stages, that is, lens 2a-2b and lens 2c-2d by two calcium fluoride lens 2b and 2c.例文帳に追加

Nd：YAGレーザ第４高調波のレーザ光の入射部と出射部にコリメートレンズ２ａ，２ｄを有し、水素ガスを媒体とするラマンセル１の内部を、２枚の弗化カルシウムレンズ２ｂ，２ｃにより、レンズ２ａ−２ｂ間、及びレンズ２ｃ−２ｄ間の２段の作用区画を設ける。 - 特許庁

When a through-hole is formed using laser such as UV-YAG laser, excimer laser or the like with a wavelength of 150-500 nm fitted to fine processing, the absorptance of laser beam in the region with a wavelength of 150-500 nm of the liquid crystal polymer layer is enhanced and, as a result, the laser processing time of the insulating film can be shortened.例文帳に追加

波長が150〜500ｎｍで微細加工に適したＵＶ−ＹＡＧレーザやエキシマレーザ等のレーザを用いて貫通孔を形成する際、液晶ポリマー層の波長150〜500ｎｍの領域におけるレーザ光の吸収率が向上し、その結果、絶縁フィルムのレーザ加工時間を短縮することができる。 - 特許庁

To provide a YAG laser beam machine including a compact welding head having a lighting system for lighting a workpiece in order to correctly observe the workpiece in the welding of a narrow place or a distal place to which any conventional welding head cannot reach.例文帳に追加

従来の溶接ヘッドでは入ることができなかった狭い場所や奥まった場所の溶接において、被加工対象物を正確に観察するための被加工対象物を照明する照明装置を有する小型化した溶接ヘッドを具備するＹＡＧレーザ加工機を提供する。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for laser annealing which can cause phase transition efficiently by providing sufficient energy for an amorphous silicon film even if a low cost laser light source device such as a YAG laser is used when a low temperature polysilicon film is formed by laser annealing the amorphous silicon film.例文帳に追加

アモルファスシリコン膜をレーザアニールして、低温ポリシリコン膜を形成する際に、ＹＡＧレーザのような低コストのレーザ光源装置を使用しても、アモルファスシリコン膜に対して、十分なエネルギを与えて効率的に相転移させることができるレーザアニール方法及び装置を提供する。 - 特許庁