vacuum ultraviolet radiationとは 意味・読み方・使い方

To provide an oxide fluorescent substance having a high quantum splitting property in vacuum ultraviolet radiation (VUV) and to provide a method of producing the same.例文帳に追加

真空紫外線（ＶＵＶ）照射時に高い量子分裂能力を有する酸化物系の蛍光体、並びに該蛍光体の製造方法の提供。 - 特許庁

To enable an ultra-microfabrication exceeding the conventional techniques by using a polymeric material having low absorption in the wavelength region of vacuum ultraviolet radiation (VUV).例文帳に追加

真空紫外線（ＶＵＶ）の波長領域での吸収の低い高分子材料を使用することにより、これまで以上の極微細加工を可能とする。 - 特許庁

To provide a resist composition which is superior in transmission of radiation and dry etching resistance and used for far-ultraviolet rays, such as those of KrF and ArF excimer lasers and vacuum ultraviolet rays, such as those of F_2 excimer laser.例文帳に追加

ＫｒＦ、ＡｒＦエキシマレーザー等の遠紫外線やＦ_2エキシマレーザー等の真空紫外線に対して用いられる、放射線の透過性に優れ、耐ドライエッチング性に優れたレジスト組成物の提供。 - 特許庁

Thereby, spots of the vacuum ultraviolet light radiation strength in non-discharge electrode parts and discharge parts 7 are eliminated and uniform surface light emitting is substantially obtained even in a large area.例文帳に追加

これにより、非放電電極部と放電部７の真空紫外光照射強度の斑をなくし、大面積でも実質的に均一面発光が得られる。 - 特許庁

To provide synthetic quartz glass having excellent resistance to radiation and UV irradiation, a method for manufacturing the same, and an optical base material for vacuum ultraviolet rays using the same.例文帳に追加

放射線及び紫外線照射耐性に優れた合成石英ガラス及びその製造方法並びにこれを用いた真空紫外光用光学素材を提供する。 - 特許庁

Next, a material gas for film formation such as tetraethocy orthosilicate 8 is introduced into the chamber, and the wafer is subjected to radiation of vacuum ultraviolet light from an excimer lamp 1 via a window 2 made of artificial quartz.例文帳に追加

次いで、成膜用の材料ガス、例えばテトラエトキシオルソシリケイト８を導入して、エキシマランプ１により、人工石英製の窓２を介して真空紫外光を照射する。 - 特許庁

To provide a fluorescent lamp having a phosphors coating film suitable for general lighting, basing on a vacuum ultraviolet radiation source especially emitting a wavelength within a rage of around 154 nm-185 nm.例文帳に追加

一般照明に適した蛍光体被膜を備え、約１４５ｎｍ〜１８５ｎｍの範囲の波長を特に発生する真空紫外線放射源を基礎とする蛍光ランプを提供する。 - 特許庁

To provide a fluorescent lamp having a phosphor coating suitable for general lighting, basing on a vacuum ultraviolet radiation source generating especially a wavelength in the range of about 145 nm-185 nm.例文帳に追加

一般照明に適した蛍光体被膜を備え、約１４５ｎｍ〜１８５ｎｍの領域の波長を特に発生する真空紫外線放射源を基礎とする蛍光ランプを提供する。 - 特許庁