vacuum ultraviolet photonとは 意味・読み方・使い方

In one embodiment, the sensor comprises an ion energy analyzer 400, a VUV (vacuum ultraviolet) photon detector 500, and a radical-ion species type optical emission spectrometer 600.例文帳に追加

基板上に、センサとして、イオン・エネルギー・アナラザ４００，ＶＵＶフォトン検出器５００，ラジカル・イオン種発光分光装置６００を備えた例である。 - 特許庁

Since O contained in additive gas is rendered active oxygen by the photon energy of an excimer lamp 1 under room temperature using vacuum ultraviolet CVS employing TEOS and the CH group of TEOS is substituted by the OH group, content of C can be controlled by controlling the type and flow rate of additive gas containing oxygen atoms.例文帳に追加

室温にて、ＴＥＯＳを用いた真空紫外光ＣＶＤにより、添加ガスに含まれるＯがエキシマランプ１のフォトンエネルギーにより活性酸素となり、ＴＥＯＳのＣＨ基をＯＨ基に置換するため、酸素原子を含む添加ガス種、流量をコントロールすることにより、Ｃ含有量を制御することができる。 - 特許庁