vacuum ultraviolet detectorとは 意味・読み方・使い方

In one embodiment, the sensor comprises an ion energy analyzer 400, a VUV (vacuum ultraviolet) photon detector 500, and a radical-ion species type optical emission spectrometer 600.例文帳に追加

基板上に、センサとして、イオン・エネルギー・アナラザ４００，ＶＵＶフォトン検出器５００，ラジカル・イオン種発光分光装置６００を備えた例である。 - 特許庁

To provide a temperature control means of a detector which does not contaminate a surface of a measured object, regularly maintains sensitivity of the detector and allows measuring an optical characteristic in a vacuum ultraviolet wavelength domain.例文帳に追加

被測定物の表面を汚染することなく、また検出器の感度を一定に維持して真空紫外波長領域の光学特性の測定をすることが可能となる検出器の温度制御手段を提供する。 - 特許庁

To provide a standard sample for calibration which indicates that an electron beam-excited emission detector for the vacuum ultraviolet region is normal and serves as a standard in quantitatively comparing emission intensities of samples or quantifying an element contributing to the emission.例文帳に追加

真空紫外領域用の電子線励起発光検出装置が正常であることを示すと共に、試料の発光強度の定量的な比較や発光に寄与する元素の定量に基準となる、校正用標準試料を提供することを目的とする。 - 特許庁