vacuum gaugesとは 意味・読み方・使い方

It is preferable that the vacuum gauges 41 and 42 are diaphragm vacuum gauges.例文帳に追加

前記真空計４１，４２は、隔膜真空計であることが望ましい。 - 特許庁

To provide a gas sensor that can be used for vacuum gauges and a vacuum measuring device using the gas sensor.例文帳に追加

真空計に使用できる気体センサとこれを用いた真空計測装置を提供する。 - 特許庁

To decide the regeneration timing for a getter pump, without using vacuum gauges which are expensive and difficult to handle or thermometers which cannot be used at high baking temperatures, when manufacturing.例文帳に追加

高価で取り扱い難い真空計や、製造時のベーキング温度を高くすることができない温度計を用いることなく、ゲッターポンプの再生時期を決める。 - 特許庁

The MBE device 100 is provided with molecular beam generators 10a/10b, vacuum gauges 14a/14b, an atomic absorptive film-formation monitor 8 having a light-source unit 6 and a light-receiving unit 7, and a temperature control calculator 13 for controlling temperatures of the molecular beam generators 10a/10b.例文帳に追加

本発明のＭＢＥ装置１００は、分子線発生部１０ａ・１０ｂと、真空計１４ａ・１４ｂと、光源ユニット６と受光ユニット７とを有する原子吸光式成膜モニタ８と、分子線発生部１０ａ・１０ｂの温度を制御する温度制御演算器１３とを備えている。 - 特許庁

The temperature control calculator 13 controls the temperatures of the molecular beam generators 10a/10b, so that a measurement result of the atomic absorptive film-formation monitor 8 becomes the control target value of the atomic absorptive film-formation monitor 8 calculated from a remaining amount of a molecular beam source calculated from measurement results of the vacuum gauges 14a/14b.例文帳に追加

温度制御演算器１３は、原子吸光式成膜モニタ８の測定結果が、真空計１４ａ・１４ｂの測定結果から算出した分子線源の残量より算出した原子吸光式成膜モニタ８の制御目標値となるように、分子線発生部１０ａ・１０ｂの温度を制御する。 - 特許庁