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In the substrate processing apparatus comprising a load lock chamber 7 for sending and receiving substrates 2 in different atmospheres, at least two substrate supporting stages 200a, 200b in the upper and lower portions and a substrate alignment device 6 for the positioning of the substrates 2 are provided in the load lock chamber 7.例文帳に追加
異なる雰囲気間で処理する基板２の授受を行うロードロック室７を具備する基板処理装置において、ロードロック室７内に、上下少なくとも２段以上の基板支持部２００ａ、２００ｂと、ロードロック室７内で基板２の位置合わせを行う基板アライメント装置６とを設けた基板処理装置。 - 特許庁
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