tunneling currentsとは 意味・読み方・使い方

To provide a semiconductor device and its manufacturing method that can suppress both leakage currents resulting from thermal emission of electrons from an electrode and from the tunneling effect, which has an MIM capacitor capable to maintain a high specific inductive capacity.例文帳に追加

電極からの電子の熱放出に起因するリーク電流及びトンネル効果に起因するリーク電流の両方を抑制でき、且つ高い比誘電率を維持できるＭＩＭキャパシタを備えた半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁