synchrotron lightとは 意味・読み方・使い方

X-ray aligners XST1 to XSTn are provided radially toward a synchrotron radiant light beam source SR used as a light source for an aligner.例文帳に追加

露光装置の光源として用いられるシンクロトロン放射光線源ＳＲに対して、放射状にＸ線露光装置ＸＳＴ１〜ＸＳＴｎが設けられている。 - 特許庁

Subsequently, inert gas is introduced into the working chamber 11 to obtain a non-reactive atmosphere, and synchrotron light is irradiated from a synchrotron light device 15 against the compound semiconductor S to etch a predetermined place on the compound semiconductor S under a condition that a negative potential is preferably biased on the compound semiconductor S.例文帳に追加

次いで、加工室１１内に不活性ガスを導入して非反応性雰囲気にし、好ましくは化合物半導体Ｓに負電位をバイアスした状態で、シンクロトロン光装置１５よりシンクロトロン光を照射し、化合物半導体Ｓの所定の箇所をエッチングする。 - 特許庁

As compared with an apparatus using a light source generated by the conventional synchrotron, the scale of an apparatus creating a light source can be decreased to a hundredth by using the high-order harmonic X-ray beams for a coherent light source.例文帳に追加

コヒーレントな光源に高次高調波エックス線ビームを使用することによって、光源を作り出す装置の規模を既存の放射光加速器で生成された光源を利用する装置と比較して、約１００分の１に減らすことができる。 - 特許庁

An arbiter ARB as a computer for managing the operational status of the synchrotron radiant light beam source SR and the X-ray aligners XST1 to XSTn is connected with a network.例文帳に追加

シンクロトロン放射光線源ＳＲとＸ線露光装置ＸＳＴ１〜ＸＳＴｎの稼働状況を管理する調停用のコンピュータであるアービタＡＲＢが前記ネットワークに接続されている。 - 特許庁

X rays called synchrotron radiation and visible rays are generated through the meandering of an electron beam e^- when it passes between pairs of magnets 25a and 25b constituting an insertion light source 22 in an accelerator 21.例文帳に追加

加速器２１内の挿入光源２２を構成する複数対の磁石２５ａ、２５ｂ間を電子ビームｅ^-が通過する際電子ビームｅ^-が蛇行してシンクロトロンと呼ばれるＸ線や可視光が発生する。 - 特許庁

The window foil 4 is fixed on a window frame 5 and a synchrotron radiant light source 1 is provided, so that it can be scanned in the direction vertical with respect to the radiation track surface of the light source 1 by an X-ray window scanning driving unit 11 connected with the window frame 5 via a transfer means 12.例文帳に追加

Ｘ線窓箔４は窓枠５で固定され、窓枠５に伝達手段１２を介して接続したＸ線窓走査駆動装置１１により、シンクロトロン放射光源１の放射軌道面に対して垂直方向に走査可能になっている。 - 特許庁

When the object 1 is moved, a part 4 to be heated enters a detection range of a light receiving part 5, a synchrotron radiation (infrared rays) 6 from the part 4 to be heated is incident on a light receiving element 9, and output information which is composed of the quantity of light of the condensed infrared rays and their incident position is obtained.例文帳に追加

物体１の移動により被加熱部４は受光部５の検出範囲に入り、被加熱部４からの放射光（赤外線）６が、集光レンズ７により集光されて受光素子９に入射し、集光された赤外線の光量および入射位置からなる出力情報が得られる。 - 特許庁

To provide a beam position monitor capable of measuring highly accurately the center position of a high energy beam such as a large-output synchrotron radiation, excimer laser light and an X-ray, and operating stably for a long period, and manufacturable at lower cost than a conventional one, and a beam position measuring method.例文帳に追加

大出力の放射光、エキシマレーザ光及びＸ線等の高エネルギービームの中心位置を高精度で測定することができ、長期間安定して動作すると共に、従来品よりも低コストで製造することができるビーム位置モニタ及びビーム位置測定方法を提供する。 - 特許庁