susceptorsとは 意味・読み方・使い方

To provide a heat treatment apparatus which can control the uniformity of temperatures on the surface of each substrate when heating the substrates mounted on a plurality of susceptors at a time.例文帳に追加

複数のサセプタに載置された基板を一度に加熱する際に，各基板の面内温度の均一性を制御できる熱処理装置を提供する。 - 特許庁

No wafer 200 is mounted on these dummy susceptors DMY1, DMY3 and the wafer 200 mounted on the susceptor 218H or the susceptor 218L is heated.例文帳に追加

これらのダミーサセプタＤＭＹ１、ＤＭＹ３には、ウェハ２００が搭載されておらず、サセプタ２１８Ｈもしくはサセプタ２１８Ｌに載置されたウェハ２００を加熱する。 - 特許庁

The edge susceptors 723 arranged in an annular region facing the edge of the wafer W, and the outer periphery susceptors 724 on the outside thereof are made of an material which is opaque from ultraviolet ray to infrared ray and has a thermal conductivity larger than that of quartz, e.g. silicon (Si), sintered ceramics (sintered SiC), or a metal (e.g. AlN).例文帳に追加

ウエハＷの端縁部に対向する円環状の領域に配置されるサセプタ端縁723と、その外側のサセプタ外周724とは、石英よりも熱伝導率が大きく、紫外線から赤外線にかけて不透明な素材であるシリコン（Ｓｉ）、焼結セラミックス（焼結ＳｉＣ）、金属（例えばＡｌＮ）などから作られる。 - 特許庁

The reaction vessel 1 is formed from a lower reaction vessel 2a, a lid 2b and an isolation member 9 for isolating the plurality of susceptors 4 from each other mounted on the lower surface of the lid 2b.例文帳に追加

反応容器１は下部反応容器２ａと蓋２ｂからなり、蓋２ｂの下面には複数のサセプタ４を互いに隔離する隔離部材９が取り付けられている。 - 特許庁

A container-like apparatus body 2 has a material gas introduction port 15, a heater 17 to heat a semiconductor wafer 3, and a material gas exhaust port 16, and at the same time, has a plurality of rotating susceptors 8 holding the each semiconductor wafer, and a disk-like revolution susceptor 4 on which the rotating susceptors 8 are installed in rotatable states through bearings 9 respectively.例文帳に追加

容器状の装置本体２に、原料ガス導入口１５、半導体ウエハ３を加熱するヒータ１７及び原料ガス排出口１６を有すると共に、各半導体ウエハを保持する複数個の自転サセプタ８及びこれら自転サセプタ８を夫々ベアリング９を介して回転自在に設置した円板状の公転サセプタ４を有する。 - 特許庁

When a single apparatus is provided with two or more susceptors or heaters, a prescribed substance film can be vapor deposited at different temperatures in the single apparatus.例文帳に追加

さらに、単一の装置内に２以上のサセプタまたはヒーターを具備することにより、同一の装置内において相異なる温度にて所定の物質膜を蒸着することができる。 - 特許庁

A susceptor 2 composing the production apparatus is composed of a first susceptor 21 and a second susceptor 22, and, in a state where the first susceptor 21 and the second susceptor 22 are combined, a prescribed gap is formed between the susceptors 21, 22.例文帳に追加

製造装置を構成するサセプタ２は、第１サセプタ２１および第２サセプタ２２で構成され、第１サセプタ２１および第２サセプタ２２を組み合わせた状態で各サセプタ２１，２２間に所定の隙間が形成される。 - 特許庁

To obtain an aluminum nitride substrate sintered compact capable of providing a sintered compact having a high volume resistivity and a low lightness at high temperatures, enabling accurate temperature measurement with a thermoviewer and useful as a substrate for hot plates, electrostatic chucks, wafer probers, susceptors, or the like.例文帳に追加

高温での体積抵抗率が高く、明度の低い焼結体が得られ、サーモビュアによる正確な温度測定が可能であり、ホットプレート、静電チャック、ウエハプローバ、サセプタなどの基板として有用な窒化アルミニウム基板焼結体を提供すること。 - 特許庁