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意味・対訳 スルタム
「sultam」を含む例文一覧
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A resist film 302 formed from a resist containing a butane-1,4-sultam being a heterocyclic sulfone is formed on a substrate 301, and then the resist film 302 is subjected to pattern exposure by selectively irradiating the resist film 302 with exposure light 303.例文帳に追加
基板３０１の上に、ヘテロ環式スルホンであるブタン-1,4-スルタムを含むレジストからなるレジスト膜３０２を形成し、続いて、レジスト膜３０２に対して露光光３０３を選択的に照射することによりパターン露光を行なう。 - 特許庁
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