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standard heat of reactionとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 1件
The method of manufacturing the elastic wave element includes a step of depositing an element with standard free energy of formation of larger diffusion coefficient than an Al and oxidation reaction while the element is mixed with the Al on a piezoelectric substrate 1, a step of manufacturing an electrode for the elastic wave element by using the metal film, and a step of heat treating the electrode in an oxygen atmosphere.例文帳に追加
圧電基板１上に、Ａｌよりも大きい拡散係数と酸化反応の標準生成自由エネルギーを持つ元素を、Ａｌと混合した状態で成膜し、前記金属膜を用いて弾性波素子用電極を作製し、前記電極を酸素雰囲気中で熱処理を行う。 - 特許庁
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