slurry tank unitとは 意味・読み方・使い方

The slurry precursor is introduced to a collision unit 15 to be treated with wet jet mill (S2) and is returned to the mixing tank 11 again.例文帳に追加

このスラリー前駆体は再び衝突ユニット１５に導かれて湿式ジェットミル処理（Ｓ２）が行われて再び混合槽１１に戻る。 - 特許庁

The device includes a substrate treatment unit 10 for treating the substrate, an ice slurry maker 12 causing pure water to contain fine ice particles, a means for dissolving a gas in ice slurry, a pressurizing pump 52 and a pressurizing tank 14 for pressurizing the ice slurry, and an ice slurry supply pipe 56 for supplying the pressurized ice slurry with the gas dissolved to the substrate treatment unit 10.例文帳に追加

基板の処理を行う基板処理部１０と、純水中に氷の微粒子を含有させる氷スラリー製造装置１２と、氷スラリー中に気体を溶解させる手段と、氷スラリーを加圧する加圧ポンプ５２および加圧タンク１４と、気体が溶解し加圧された氷スラリーを基板処理部１０へ供給する氷スラリー供給配管５６とを備えて装置を構成した。 - 特許庁

Agitation units 21 for swirling gypsum slurry A in are provided at the outer circumference of the liquid sump tank 20, and a unit for increasing the flow rate of the gypsum slurry A is provided near the central part of the liquid sump tank 20.例文帳に追加

石こうスラリーＡを液溜槽２０の内部で旋回させる撹拌手段２１を液溜槽の外周付近に設けるとともに、液溜槽２０の中央付近に、当該中央付近の石こうスラリーＡの流速を高める手段を設けた。 - 特許庁

The slurry supply system for semiconductor CMP process supplies slurry 12 stored in a slurry storage tank 11 through a specified slurry supply line to a CMP equipment wherein the slurry supply line is provided with means 12 for transmitting ultrasonic wave to the slurry 12 in order to prevent unit particles of the slurry from being aggregated to secondary particles.例文帳に追加

半導体ＣＭＰ工程のスラリ供給システムは、スラリ貯蔵タンク１１に貯蔵されたスラリ１２を所定のスラリ供給ラインを通じてＣＭＰ装備に供給する半導体ＣＭＰ工程のスラリ供給システムにおいて、前記スラリ１２の単位粒子が二次粒子に凝集されないように前記スラリ供給ラインに設置されて前記スラリ１２に超音波を伝波する超音波伝波手段を含めてなることを特徴とする。 - 特許庁