sideetchingとは 意味・読み方・使い方

An exposure part of a silicon oxide film 37 which is a sacrifial layer left behind as the anchor below a fixing part 2C is coated with a stopper(polysilicon thin film) 38 for preventing sideetching, thereby eliminating the side-etching of the sacrificial layer silicon oxide film 37 and preventing the entering in of chip fractures and of particles.例文帳に追加

固定部２Ｃの下にアンカーとして残される犠牲層であるシリコン酸化膜３７の露出部がサイドエッチングを防止するためのストッパ（ポリシリコン薄膜）３８で覆われ、これにより、犠牲層用シリコン酸化膜３７のサイドエッチングを無くし、チップの欠損およびパーティクルの入り込みを防止する。 - 特許庁