second-waverとは 意味・読み方・使い方

Polishing is performed by increasing viscosity of the abrasive material 12 (a second polishing stage), while continuing a relative motion of the waver W and the abrasive cloth 10.例文帳に追加

続いて、ウェーハＷと研磨布１０との相対運動を継続しながら、研磨剤１２の粘度を増大させて研磨を行う（第二の研磨段階）。 - 特許庁

The cluster tool contains a first chamber coupled with an organosilane source, a second chamber which is constituted to project the light energy upon the wafer received in the second chamber, and a robot section which is suitable for controlling the movement of the waver between the first and second chambers.例文帳に追加

クラスタ・ツールは、オルガノシラン源に結合される第１チャンバと、第２チャンバ内で受け取られるウエハに光エネルギーを照射するように構成される第２チャンバと、第１チャンバと第２チャンバ間のウエハの移動を制御するのに適したロボット・セクションとを含む。 - 特許庁

That is to say, the sealing film 15 is formed by being applied and hardened in a state where a groove causing degradation of strength is not formed on the upper surface side of the semiconductor wafer 21, and thereafter the second grooves 27 are formed on the upper surface side of the semiconductor wafer 21, whereby the semiconductor waver 21 can be prevented from being easily warped in hardening the sealing film 15 formed of the liquid resin.例文帳に追加

すなわち、半導体ウエハ２１の上面側に強度低下の原因となる溝を形成しない状態において封止膜１５を塗布硬化させて形成し、その後に半導体ウエハ２１の上面側に第２の溝２７を形成しているので、液状樹脂からなる封止膜１５を硬化させるとき、半導体ウエハ２１が反りにくいようにすることができる。 - 特許庁