scrub brushesとは 意味・読み方・使い方

Further, the dummy wafer 10 is mixed in the wafers input to the brush scrub cleaner 40, whereby the scrub brushes 52, 52 can be cleaned without lowering the availability factor of a device.例文帳に追加

また、ブラシスクラブ装置４０に投入されるウェーハのなかにダミーウェーハ１０を混入させておくことで、装置稼働率を低下させずにスクラブブラシ５２，５２の洗浄が行なえる。 - 特許庁

Similarly to a cleaning operation for a wafer which is ordinarily carried out, if the dummy wafer 10 is cleaned with a brush scrub cleaner 40, an impact is incurred on the scrub brushes 52, 52 by the unevenness 12 formed on the dummy wafer 10, and foreign substances adhering to the surfaces of the scrub brushes 52, 52 are brushed and removed.例文帳に追加

通常行なわれるウェーハへの洗浄動作と同様に、ブラシスクラブ洗浄装置４０にてダミーウェーハ１０に対して洗浄動作が行なわれると、ダミーウェーハ１０に形成された凹凸１２によって、スクラブブラシ５２，５２に衝撃が加えられ、スクラブブラシ５２，５２の表面に付着した異物が払い落とされて除去される。 - 特許庁

One 5a of the protruding parts has a bar-like hanging part 6 to get U-shaped sponge scrub brushes S fitted thereinto from above to hold.例文帳に追加

一方の突出部５ａは、Ｕ字状のスポンジたわしＳを上方から嵌合して保持しうる棒状吊掛部６を有するものとなされている。 - 特許庁

The activated water generation device 10 includes: a cylindrical vessel 1; and a metallic material 5 where both the edge parts thereof are disposed with disks 3 having a plurality of through-holes 3A and metal scrub brushes 4 obtained by rounding metal fine wires, and subjected to activation treatment for activating water by passing the water through the vicinity of the surface.例文帳に追加

活水発生装置１０を、筒状容器１と、その両端には複数の貫通孔３Ａを有する円板３と金属の細い線を丸めた金属束子４を配し、表面近傍を通水することにより水を活水化するべく活性化処理した金属材５と、を備えた構成とする。 - 特許庁