scatterometerとは 意味・読み方・使い方

An overlay marker used with a scatterometer has two two-dimensional gratings overlapping each other.例文帳に追加

スキャトロメータと共に使用するオーバーレイマーカは、重なり合う二つの２次元格子を有する。 - 特許庁

Accordingly, the single scatterometer can perform measurement using widely spaced wavelengths.例文帳に追加

したがって、１つのスキャトロメータが、広い間隔の波長を使用して測定を実行することができる。 - 特許庁

A cross-sectional area of radiation above a predetermined value is detected both in front of and behind the back focal plane of an optical system of a scatterometer so as to detect whether the substrate is in the focal plane of the scatterometer.例文帳に追加

基板がレンズのスキャトロメータの焦点面内にあるか否かを検出するため、スキャトロメータの光学システムの後側焦点面の前後において、所定値以上の放射の断面エリアを検出する。 - 特許庁

METHOD OF MEASURING ASYMMETRY IN SCATTEROMETER, METHOD OF MEASURING OVERLAY ERROR IN SUBSTRATE AND METROLOGY APPARATUS例文帳に追加

スキャトロメータの非対称性を測定する方法、基板のオーバレイエラーを測定する方法および計測装置 - 特許庁

ANGULARLY RESOLVED SCATTEROMETER, INSPECTION METHOD, LITHOGRAPHY EQUIPMENT, LITHOGRAPHIC PROCESSING CELL, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND ALIGNMENT SENSOR例文帳に追加

角度分解スキャトロメータ、検査方法、リソグラフィ装置、リソグラフィ処理セル、デバイス製造方法およびアラインメントセンサ - 特許庁

The scatterometer has a radiation source that emits radiation with different first and second wavelength ranges.例文帳に追加

スキャトロメータは、異なる第一および第二波長範囲の放射を放出することができる放射源を有する。 - 特許庁

To provide a method of measuring aberrations in a scatterometer having an illumination optical system and a projection optical system.例文帳に追加

照明光学システムおよび投影光学システムを有するスキャトロメータの収差を測定する方法が提供される。 - 特許庁

To provide a system reducing measurement points on a scatterometer measurement object or the degree of freedom of parameters for providing a method for quickly reconstructing a profile of the scatterometer measurement object from a diffraction spectrum.例文帳に追加

本発明の課題の1つは、回折スペクトルからスッキャトロメータ測定オブジェクトの輪郭を迅速に再構築する方法を提供するために、スッキャトロメータ測定オブジェクトの測定ポイントまたはパラメータの自由度の数を減少させるシステムを提供することである。 - 特許庁