scanning reflection electron microscopeとは 意味・読み方・使い方

REFLECTION ELECTRON DETECTION DEVICE OF SCANNING ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加

走査電子顕微鏡等の反射電子検出装置 - 特許庁

SEMICONDUCTOR REFLECTION ELECTRON DETECTOR FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加

走査型電子顕微鏡用半導体反射電子検出器 - 特許庁

To provide a semiconductor reflection electron detector for a scanning electron microscope, capable of achieving compatibly between data analysis and collection efficiency of reflection electrons, and capable of improving performance in 3D measurement.例文帳に追加

データ解析の向上及び反射電子の収集効率の向上を両立させ、且つ、３D計測の性能を改善することができる走査型電子顕微鏡用半導体反射電子検出器を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of efficiently detecting reflection electrons emitted by a sample at a small angle without degradation of resolution at the time of capturing a sample image.例文帳に追加

試料像の取得時における分解能の低下をもたらすことなく、試料からの低角度放出反射電子の検出を効率良く行う。 - 特許庁

A distribution of a reflection electron or secondary electron intensity is processed from a control system of a scanning microscope and an adjacent terminal, and a shape of an area expressing the vicinity of an edge is digitalized to calculate a tapering tendency based on a result thereof.例文帳に追加

走査型顕微鏡の制御系ないし隣接する端末から反射電子ないしは２次電子強度の分布を処理し、エッジ近傍を表わす領域の形状を数値化しそれらの結果からテーパ傾向を算出する。 - 特許庁