roughing pumpとは 意味・読み方・使い方

By closing these valves, the abnormality of the turbo-molecular pump 3 can be eliminated even if the rotation of a roughing vacuum pump RP stops.例文帳に追加

そしてこれらの弁を閉じることにより、粗引きポンプＲＰの回転が停止してもターボ分子ポンプ３に異常をきたすことはなくなる。 - 特許庁

An evacuation system of the analysis apparatus 10 includes a roughing vacuum pump 50, and a turbo molecular pump 30 including a low vacuum side stage 32 and a high vacuum side stage 31.例文帳に追加

分析装置１０の真空排気系は、粗引ポンプ５０、及び低真空側段３２と高真空側段３１とを含むターボ分子ポンプ３０を有する。 - 特許庁

An exhaust line from the vacuum chamber 1 has at least a first exhaust line (a) to directly exhaust gas from the vacuum chamber 1 via a valve by a roughing pump, and a second exhaust line (b) connected to the high vacuum pump 2 from the vacuum chamber 1 via a valve and connected from the high vacuum pump 2 to the roughing pump 3 via a valve.例文帳に追加

真空室１からの排気ラインは、少なくとも真空室１からバルブを介してあら引きポンプで直接排気する第１の排気ラインａと、真空室１からバルブを介して高真空ポンプ２につながり、高真空ポンプ２からバルブを介してあら引きポンプ３に至る第２の排気ラインｂとを備えている。 - 特許庁

A cold trap 36 is connected to the evacuation pipe 32, and a roughing vacuum pump is connected to the cold trap 36.例文帳に追加

排気配管３２にはコールドトラップ３６が接続され、コールドトラップ３６には粗引用真空ポンプが接続されている。 - 特許庁

To prevent the response of a measurement value from being extended by restraining a change in the exhausting velocity, when switched from a roughing pump mode to a test mode.例文帳に追加

粗引きモードからテストモードに切り替わった際の排気速度の変化を抑え、測定値の応答時間の延びを防止する。 - 特許庁

A rotary control unit 12 increases the number of revolutions of a roughing vacuum pump 11 at a timing when a reactive gas is introduced to a vacuum chamber 1 and decreases the number of revolutions of the roughing vacuum pump 11 at a timing when the introduction of the reactive gas into the vacuum chamber 1 is shut off.例文帳に追加

回転制御装置１２は、反応ガスが真空チャンバ１に導入されるタイミングで、粗引きポンプ１１の回転数を上昇させ、反応ガスの真空チャンバ１への導入が遮断されるタイミングで、粗引きポンプ１１の回転数を下降させる。 - 特許庁

A main body 20 connected to the roughing vacuum pump 50 includes a first chamber 24 substantially decompressed by the roughing vacuum pump 50, a second chamber 25 which is subsequently combined with the low vacuum side stage 32 of the turbo molecular pump 30 and into which the hydrogen gas is introduced, and a third chamber 26 which is subsequently combined with the high vacuum side stage 31.例文帳に追加

粗引ポンプ５０に結合された本体２０は、実質的に粗引ポンプ５０によって減圧される第１チャンバ２４と、その直後でターボ分子ポンプ３０の低真空側段３２に結合され、水素ガスが導入される第２チャンバ２５と、さらに後段でその高真空側段３１に結合される第３チャンバ２６とを含む。 - 特許庁

A mechanical roughing pump connected to the magnetron chamber pumps the main chamber through the bypass conduit to less than 1 Torr before the bypass valve is closed and the cryo pump is opened and thereafter continues to pump the magnetron chamber to reduce the pressure differential across the target.例文帳に追加

マグネトロンチャンバに連結された機械式粗引ポンプは、バイパスバルブを閉鎖し、クライオポンプを開口するに前に、バイパス導管を介して主チャンバを１Ｔｏｒｒより低く減圧し、続いてマグネトロンチャンバを継続して減圧することでターゲットを介した圧力差を低減する。 - 特許庁