resist coating machineとは 意味・読み方・使い方

RESIST COATING MACHINE例文帳に追加

レジスト塗布装置 - 特許庁

To provide a resist coating machine in which the interval volume of a resist filter is reduced, and a resist pipe is washed easily, securely, and safely.例文帳に追加

レジストフィルタ部の内容積を低減して容易にして、確実で、しかも安全なレジスト配管の洗浄が可能なレジスト塗布装置を提供する。 - 特許庁

The filtering device used in a resist coating machine has a housing 3 holding a filter 2, an inside pipeline 4 for supplying a resist to the housing 3 and an outside pipeline 1 for discharging the resist.例文帳に追加

レジスト塗布機に使用されるフィルタリング装置は、フィルタ２を収納するハウジング３と、ハウジング３にレジストを供給するイン側配管４及びレジストを排出するアウト側配管１とを有している。 - 特許庁

The resist coating machine has a top cover 13 having pipes 16, 17, and 18, in which a cap 21 having a depression 22 whose depth is shallower than that of a housing of a resist filter is attachable instead of the housing.例文帳に追加

レジスト塗布装置において、配管１６，１７，１８を有する上蓋１３に、レジストフィルタ部のハウジングに代えてこのハウジングより深さの浅い凹部２２を有するキャップ２１が取り付け可能な上蓋１３を有する。 - 特許庁