pyrogenic reactionとは 意味・読み方・使い方

The material gas is subjected to a pyrogenic reaction, and the dilute gas may be mixed with the generated precursor.例文帳に追加

原料ガスを加熱反応させ、生成した前駆体に希釈ガスを混合してもよい。 - 特許庁

To efficiently discharge residual water, left in a reaction chamber as a result of a pyrogenic oxidizing process by performing two processes composed of the pyrogenic oxidizing process and an NO oxynitriding process as continuously as possible.例文帳に追加

パイロジェニック酸化処理とＮＯ酸窒化処理とからなる２つの処理をできるだけ連続に近い形で行わせて、パイロジェニック酸化処理で生じる残留水分を効率良く排出させる。 - 特許庁

After a wafer 1 supported by a boat 2 in a reaction chamber 3 is subjected to pyrogenic oxidation, the wafer 1 is continuously subjected to NO oxynitridation.例文帳に追加

反応室３内で、ボート２により支持されたウェハ１に対し、パイロジェニック酸化を行った後、ＮＯ酸窒化を連続して行う。 - 特許庁

The reaction bed is formed from a microwave-pyrogenic material.例文帳に追加

有機化合物と、Ｈ_2Ｏ、ＣＯ_2、ＣＯ及びＯ_2から選択される少なくとも１種以上の反応気体とを、反応層に導入して通過させ、前記有機化合物の分解・改質反応をさせる。 - 特許庁

To improve the uniformity of thickness of a oxide film on a semiconductor substrate installed in a portion near a heat insulation member such as a lower region of a reaction chamber in the formation of a pyrogenic oxide film on the semiconductor substrate.例文帳に追加

半導体基板のパイロジェニック酸化膜形成において、反応室下部領域など断熱部材に近い部分に設置された半導体基板の酸化膜厚の均一性を向上することを目的としている。 - 特許庁

Before the NO oxynitridation is performed after the pyrogenic oxidation, the boat 2 is not exposed completely by pulling out the boat 2 from the reaction chamber 3 to an unloading position A, but partially exposed by pulling out the boat 2 from the chamber 3 to a semi-loading position C.例文帳に追加

このパイロジェニック酸化後、ＮＯ酸窒化を行う前に、反応室３からボート２をアンロード位置Ａまで引き出してボート２の全部を露出するのではなく、セミロード位置Ｃまで引き出しボート２の一部のみを露出させる。 - 特許庁

A nonaqueous electrolyte comprising a solution including a nonaqueous solvent and an electrolyte salt includes: a pyrogenic substance electrochemically causing an exothermic reaction at 4.3 V or more based on lithium metal; and a polymer type overcharge suppression material performing electrolytic polymerization at 4.3-5.5 V based on lithium metal.例文帳に追加

非水溶媒と電解質塩とを含む溶液であって、リチウム金属基準で４．３Ｖ以上で電気化学的に発熱反応を生じる発熱物質と、リチウム金属基準で４．３〜５．５Ｖで電解重合するポリマー型過充電抑制材とを含む非水電解液を用いる。 - 特許庁