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plasma focus dischargeとは 意味・読み方・使い方

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意味・対訳 プラズマフォーカス放電

JST科学技術用語日英対訳辞書での「plasma focus discharge」の意味

plasma focus discharge

プラズマフォーカス放電

「plasma focus discharge」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 1



例文

To inhibit a reaction product from being deposited in a gap between a wafer stage and a focus ring when treating a substrate to be treated utilizing plasma discharge.例文帳に追加

プラズマ放電を利用した被処理基板の処理に際して、反応生成物がウエハステージとフォーカスリングとの間の隙間に付着することを抑制する。 - 特許庁

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1
プラズマフォーカス放電 JST科学技術用語日英対訳辞書

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