plasma facing materialsとは 意味・読み方・使い方

In this plasma processing device and this plasma CVD device, an electrode includes a metallic electrode body, and a plurality of dielectric materials embedded in a surface of the metallic electrode body facing a substrate holder, the surface of the metallic electrode body facing the substrate holder is flat, and end surfaces of the plurality of dielectric materials embedded in the surface are located in the same plane as that of the metallic electrode body.例文帳に追加

本発明によるプラズマ処理装置又はプラズマＣＶＤ装置では、電極が、金属製電極本体と、基板ホルダーに対向する金属製電極本体の表面に埋め込まれた複数個の誘電体とで構成され、基板ホルダーに対向する金属製電極本体の表面が平坦であり、該表面に埋め込まれる複数個の誘電体の端表面が金属製電極本体の表面と同じ平面内に位置している。 - 特許庁