plasma actuatorとは 意味・読み方・使い方

In the case plasma ions are emitted to an another metal joint, the mask 10 is moved by controlling the actuator 16 by a mask controller 18.例文帳に追加

別の金属接合部にプラズマイオンを照射する場合には、マスクコントローラ１８によりアクチュエータ１６を制御してマスク１０を移動させる。 - 特許庁

To provide a system and a method for a plasma actuator for controlling the direction and/or the attitude thereof adapted to the use of an air movable platform such as an aircraft.例文帳に追加

特に航空機などの空中移動プラットフォーム上の使用に適合された方向および／または姿勢制御のためのプラズマアクチュエータシステムおよび方法を与える。 - 特許庁

This plasma etching apparatus 10 comprises a chamber 12 having an etching chamber 12a, an XYZ table 16 on which a silicon wafer 14 is loaded, an actuator 18 for the XYZ table 16, a nozzle 20A, and a magnetron 24 for generating a plasma from a process gas fed to the nozzle 20A.例文帳に追加

プラズマエッチング装置１０は、エッチング室１２ａを有するチャンバ１２と、Ｓｉウエハ１４が載置されるＸＹＺテーブル１６と、ＸＹＺテーブル１６の駆動部１８と、ノズル２０Ａと、ノズル２０Ａへ供給される処理ガスをプラズマ化するマグネトロン２４とから構成されている。 - 特許庁

In a cutting machine for cutting metals by plasma arc (22) or laser emitted from a torch (4), a hood (11), which can be raised and lowered by an actuator (15), is installed around the torch (4).例文帳に追加

トーチ（４）から発生するプラズマアーク（２２）またはレーザにより金属を切断する切断加工機において、前記トーチ（４）の周囲に、アクチュエータ（１５）により昇降自在とされたフード（１１）を設ける。 - 特許庁

The jet engine includes a plasma actuator 70 disposed at a position where the noise reduction structure 1 is installed, and for generating a volume force that promotes change in a flow field of a jet flow caused by the noise reduction structure 1.例文帳に追加

騒音低減構造１の設置位置に配置されると共に当該騒音低減構造１がおこすジェット噴流の流れ場の変化を助長する体積力を発生するプラズマアクチュエータ７０を備える。 - 特許庁

Used as an actuator is an induced flow which is produced in an induction way by surface plasma generated by applying a pulse voltage between upper and lower electrodes with a dielectric placed therebetween.例文帳に追加

誘電体を挟んで上部電極と下部電極を設け、両電極間にパルス電圧を印加することにより表面プラズマを発生させ、その表面プラズマにより誘起される誘起流をアクチュエータとして用いる。 - 特許庁

This device is provided with a process chamber forming a plasma CVD film and a load lock chamber communicated with the process chamber via a slit valve 14 freely capable of opening and shuttering, and, by an air actuator, the slit valve is driven so as to be opened and shut.例文帳に追加

本プラズマＣＶＤ装置は、プラズマＣＶＤ膜を成膜するプロセスチャンバと、開閉自在なスリットバルブ１４を介してプロセスチャンバと連通するロード・ロック室とを備え、エア・アクチュエータによりスリットバルブを開閉駆動するようにしたプラズマＣＶＤ装置である。 - 特許庁

To provide a polymer actuator, capable of operating with high speed and high displacement, in which a polymer film has an uniform surface by using anisotropic and isotropic plasma processings, and the expansion and contraction of the polymer film is formed readily, and to provide a method of manufacturing the same.例文帳に追加

非等方及び等方プラズマ処理を利用して高分子膜が均一な表面を有するようにすることによって、高分子膜の膨脹や収縮が容易になされることができるようにして、高速、高変位で動作が可能な高分子アクチュエーター及びその製造方法を提供する。 - 特許庁